JP2008122240A - 電気抵抗測定用コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置 - Google Patents
電気抵抗測定用コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008122240A JP2008122240A JP2006306632A JP2006306632A JP2008122240A JP 2008122240 A JP2008122240 A JP 2008122240A JP 2006306632 A JP2006306632 A JP 2006306632A JP 2006306632 A JP2006306632 A JP 2006306632A JP 2008122240 A JP2008122240 A JP 2008122240A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrical resistance
- sheet
- inspected
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
【課題】 被検査回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものでも、所要の電気的接続が確実に達成され、所期の電気抵抗の測定が高い精度で確実に行われる電気抵抗測定用コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置の提供。
【解決手段】 矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が配置されてなる接続用電極組を有するコネクター板と、第１の異方導電性エラストマーシートと、複合導電性シートと、第２の異方導電性エラストマーシートとを具え、複合導電性シートは、電流供給用電極および電圧測定用電極に対応して貫通孔が形成された絶縁性シートと、絶縁性シートの貫通孔に配置された剛性導体とからなり、剛性導体の各々が、絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされている。
【選択図】 図１
【解決手段】 矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が配置されてなる接続用電極組を有するコネクター板と、第１の異方導電性エラストマーシートと、複合導電性シートと、第２の異方導電性エラストマーシートとを具え、複合導電性シートは、電流供給用電極および電圧測定用電極に対応して貫通孔が形成された絶縁性シートと、絶縁性シートの貫通孔に配置された剛性導体とからなり、剛性導体の各々が、絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされている。
【選択図】 図１
Description
本発明は、回路基板における配線の電気抵抗を測定するために用いられる電気抵抗測定用コネクター装置およびこの電気抵抗測定用コネクター装置を具えた回路基板の電気抵抗測定装置に関する。
近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速化の要請に伴って、ＢＧＡやＣＳＰなどのＬＳＩパッケージを構成する回路基板やこれらの半導体装置が搭載される回路基板として、電極間における配線の電気抵抗が低いものが要求されている。そのため、このような回路基板の電気的検査においては、その電極間における配線の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。
従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図２６に示すように、被検査回路基板９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信号処理装置９４において処理することにより、当該被検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。
従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図２６に示すように、被検査回路基板９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信号処理装置９４において処理することにより、当該被検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。
しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを被検査電極９１，９２に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、しかも、当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極９１，９２の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできない。
このような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマーにより構成された電気抵抗測定装置が提案されており、具体的には、（ｉ）電流供給用電極および電圧測定用電極上に、それぞれの電極に対応して導電路形成部が形成された異方導電性エラストマーシートが配置されてなる電気抵抗測定装置（特許文献１参照。）、（ii）同一の被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異方導電性エラストマーシートよりなる共通の弾性接続用部材を有する電気抵抗測定装置（特許文献２参照。）、（iii ）表面に複数の検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラストマーシートよりなる弾性接続用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置（特許文献３参照。）などが知られている。
このような電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。
このような電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。
しかしながら、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間における電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。
近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された被検査回路基板についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要である。
また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料によって、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で、当該回路基板連結体における各回路基板についての電気的検査を一括して行い、その後、回路基板連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造する方法が採用されている。
近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された被検査回路基板についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要である。
また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料によって、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で、当該回路基板連結体における各回路基板についての電気的検査を一括して行い、その後、回路基板連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造する方法が採用されている。
然るに、検査対象である回路基板連結体は、その面積が相当に大きく、また、被検査電極の数も極めて多いものであり、特に多層回路基板を製造する場合には、その製造プロセスにおける工程数が多く、加熱処理による熱履歴を受ける回数が多いため、被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成されることが少なくない。このように、大面積で、多数の被検査電極を有し、当該被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成された被検査回路基板について、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって電気抵抗の測定を行う場合には、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させることは極めて困難である。
具体的な一例を挙げて説明すると、図２７に示すように、直径Ｌが３００μｍの被検査電極Ｔに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極Ｔに電気的に接続される電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄは１５０μｍ程度であるが、図２８（イ）および（ロ）に示すように、被検査回路基板の位置合わせにおいて、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖに対する被検査電極Ｔの位置が、図２７に示す所期の位置から電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖが並ぶ方向（図において左右方向）に７５μｍずれたときには、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖのいずれか一方と被検査電極Ｔとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができない。
具体的な一例を挙げて説明すると、図２７に示すように、直径Ｌが３００μｍの被検査電極Ｔに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極Ｔに電気的に接続される電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄは１５０μｍ程度であるが、図２８（イ）および（ロ）に示すように、被検査回路基板の位置合わせにおいて、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖに対する被検査電極Ｔの位置が、図２７に示す所期の位置から電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖが並ぶ方向（図において左右方向）に７５μｍずれたときには、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖのいずれか一方と被検査電極Ｔとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができない。
また、電流供給用電極および電圧供給用電極の各々を、互いに電気的に絶縁された状態で一の被検査電極に同時に電気的に接続するためには、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち分解能の高い異方導電性エラストマーシートを用いることが必要となる。そして、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得るためには、当該異方導電性エラストマーシートの厚みを小さくすることが肝要である。
然るに、厚みの小さい異方導電性エラストマーシートにおいては、被検査電極の各々における高さレベルのバラツキを吸収して当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち凹凸吸収能が低い、という問題がある。具体的には、異方導電性エラストマーシートの凹凸吸収能は、当該異方導電性エラストマーシートの厚みの２０％程度であり、例えば厚みが１００μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが２０μｍ程度の接続対象体に対しても安定な電気的接続を達成することができるが、厚みが５０μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが１０μｍを超える接続対象体に対しては、安定な電気的接続を達成することが困難となる。
然るに、厚みの小さい異方導電性エラストマーシートにおいては、被検査電極の各々における高さレベルのバラツキを吸収して当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち凹凸吸収能が低い、という問題がある。具体的には、異方導電性エラストマーシートの凹凸吸収能は、当該異方導電性エラストマーシートの厚みの２０％程度であり、例えば厚みが１００μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが２０μｍ程度の接続対象体に対しても安定な電気的接続を達成することができるが、厚みが５０μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが１０μｍを超える接続対象体に対しては、安定な電気的接続を達成することが困難となる。
一方、上記（iii ）の電気抵抗測定装置によれば、被検査電極の各々に対応して、電流供給用電極および電圧測定用電極を形成することが不要であるため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、多数の被検査電極を有し、かつ、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置されてなるものであっても、当該被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きく、また、当該電気抵抗測定装置の作製が容易である。
しかしながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗の低い回路基板について、その電気抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である。
しかしながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗の低い回路基板について、その電気抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である。
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる電気抵抗測定用コネクター装置およびこの電気抵抗測定用コネクター装置を具えた回路基板の電気抵抗測定装置を提供することにある。
本発明の電気抵抗測定用コネクター装置は、絶縁性基板およびその表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組を有し、当該接続用電極組の各々が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が、互いに離間して配置されてなるコネクター板と、このコネクター板上に配置された第１の異方導電性エラストマーシートと、この第１の異方導電性エラストマーシート上に配置された複合導電性シートと、この複合導電性シート上に配置された第２の異方導電性エラストマーシートとを具えてなり、 前記複合導電性シートは、前記電流供給用電極および前記電圧測定用電極に対応するパターンに従って厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面から突出するよう配置された複数の剛性導体とからなり、当該剛性導体の各々が、当該絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする。
本発明の電気抵抗測定用コネクター装置においては、複合導電性シートの剛性導体の各々は、絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなることが好ましい。
また、コネクター板の絶縁性基板の裏面に、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された複数の中継電極が配置されていることが好ましい。
このような電気抵抗測定用コネクター装置においては、複数の電流供給用電極に電気的に接続された中継電極を有することが好ましい。
また、コネクター板の絶縁性基板の裏面に、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された複数の中継電極が配置されていることが好ましい。
このような電気抵抗測定用コネクター装置においては、複数の電流供給用電極に電気的に接続された中継電極を有することが好ましい。
本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、上記の電気抵抗測定用コネクター装置を具えてなることを特徴とする。
本発明の電気抵抗測定用コネクター装置によれば、コネクター板の接続用電極組における２つの電流供給用電極が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、２つの電圧測定用電極が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されることにより、当該矩形における辺方向に被検査電極が位置ずれした場合であっても、当該被検査電極は、少なくとも１つの電流供給用電極および少なくとも１つの電圧測定用電極の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、複合導電性シートの剛性導体の各々は、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされているため、被検査電極によって厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シートの一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシートおよび当該複合導電性シートの他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシートは、剛性導体が絶縁性シートの厚み方向に移動することによって互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が電気抵抗測定用コネクター装置の凹凸吸収能として発現されるので、高い凹凸吸収能を得ることができる。そして、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートの合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。
従って、本発明の電気抵抗測定用コネクター装置によれば、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。
また、複合導電性シートの剛性導体の各々は、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされているため、被検査電極によって厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シートの一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシートおよび当該複合導電性シートの他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシートは、剛性導体が絶縁性シートの厚み方向に移動することによって互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が電気抵抗測定用コネクター装置の凹凸吸収能として発現されるので、高い凹凸吸収能を得ることができる。そして、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートの合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。
従って、本発明の電気抵抗測定用コネクター装置によれば、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。
本発明の回路装置の電気抵抗測定装置によれば、上記の電気抵抗測定用コネクター装置を有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈電気抵抗測定用コネクター装置〉
図１は、本発明の電気抵抗測定用コネクター装置の一例における構成を示す説明用断面図であり、図２は、図１に示す電気抵抗測定用コネクター装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター装置１０は、コネクター板１１と、このコネクター板１１の表面上に配置された第１の異方導電性エラストマーシート１８と、この第１の異方導電性エラストマーシート１８上に配置された複合導電性シート２０と、この複合導電性シート２０上に配置された第２の異方導電性エラストマーシート１９とにより構成されている。
〈電気抵抗測定用コネクター装置〉
図１は、本発明の電気抵抗測定用コネクター装置の一例における構成を示す説明用断面図であり、図２は、図１に示す電気抵抗測定用コネクター装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター装置１０は、コネクター板１１と、このコネクター板１１の表面上に配置された第１の異方導電性エラストマーシート１８と、この第１の異方導電性エラストマーシート１８上に配置された複合導電性シート２０と、この複合導電性シート２０上に配置された第２の異方導電性エラストマーシート１９とにより構成されている。
コネクター板１１は、図３にも示すように、絶縁性基板１２を有し、この絶縁性基板１２の表面には、複数の接続用電極組１３が、電気抵抗を測定すべき回路基板の一面に形成された一面側被検査電極２（図３において一点鎖線で示す）のパターンに対応するパターンに従って配置されている。この接続用電極組１３の各々は、２つの矩形の電流供給用電極１４および２つの矩形の電圧測定用電極１５の合計４つの電極よりなり、これらの４つの電極は、電流供給用電極１４の各々が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、電圧測定用電極１５の各々が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されるよう、互いに離間して配置されている。
また、絶縁性基板１２の裏面には、複数の中継電極１６が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極１６の各々には、絶縁性基板１１に形成された配線部１７によって、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５のいずれか一方が電気的に接続されている。
また、絶縁性基板１２の裏面には、複数の中継電極１６が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極１６の各々には、絶縁性基板１１に形成された配線部１７によって、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５のいずれか一方が電気的に接続されている。
絶縁性基板１２を構成する材料としては、ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ビスマレイミドトリアジン樹脂などを用いることができる。また、絶縁性基板１２は、単層構成のものであっても多層構成のものであってもよい。
絶縁性基板１２の厚みは、例えば５０〜１０００μｍであることが好ましく、より好ましくは１００〜５００μｍである。
絶縁性基板１２の厚みは、例えば５０〜１０００μｍであることが好ましく、より好ましくは１００〜５００μｍである。
電流供給用電極１４、電圧測定用電極１５、中継電極１６および配線部１７を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。
また、電流供給用電極１４、電圧測定用電極１５、中継電極１６および配線部１７は、プリント配線板を製造するために一般に用いられる方法によって、形成することができる。
また、電流供給用電極１４、電圧測定用電極１５、中継電極１６および配線部１７は、プリント配線板を製造するために一般に用いられる方法によって、形成することができる。
接続用電極組１３における電流供給用電極１４と電圧測定用電極１５との間の離間距離は、２０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜８０μｍである。この離間距離が過小である場合には、電流供給用電極１４と電圧測定用電極１５との間に必要な絶縁性を確保することが困難となることがあり、また、当該コネクター板１１の製造が困難となることがある。一方、この離間距離が過大である場合には、被検査電極に対する位置ずれの許容度が小さくなり、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方を被検査電極に確実に電気的に接続することが困難となることがある。
この例における第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９は、いずれも絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。
第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。
シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度１０-1ｓｅｃで１０5 ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。
また、シリコーンゴムは、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が１０，０００〜４０，０００のものであることが好ましい。また、得られる異方導電性エラストマーシートに良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数（標準ポリスチレン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレン換算数平均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。以下同じ。）が２以下のものが好ましい。
第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。
シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度１０-1ｓｅｃで１０5 ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。
また、シリコーンゴムは、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が１０，０００〜４０，０００のものであることが好ましい。また、得られる異方導電性エラストマーシートに良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数（標準ポリスチレン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレン換算数平均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。以下同じ。）が２以下のものが好ましい。
第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９に含有される導電性粒子Ｐとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。
導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。
また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子Ｐを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。
また、導電性粒子Ｐとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマーシートの耐久性が向上する。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。
また、導電性粒子Ｐとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマーシートの耐久性が向上する。
このような導電性粒子Ｐは、異方導電性エラストマーシート中に体積分率で１０〜４０％、特に１５〜３５％となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマーシートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすく、異方導電性エラストマーシートとして必要な弾性が得られないことがある。
また、第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９の各々の厚みは、２０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは２５〜７０μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。
第１の異方導電性エラストマーシート１８は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図４に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材３０および他面側成形部材３１と、目的とする第１の異方導電性エラストマーシート１６の平面形状に適合する形状の開口３２Ｋを有すると共に当該第１の異方導電性エラストマーシート１６の厚みに対応する厚みを有する枠状のスペーサー３２とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図５に示すように、他面側成形部材３１の成形面（図５において上面）上にスペーサー３２を配置し、他面側成形部材３１の成形面上におけるスペーサー３２の開口３２Ｋ内に、調製した導電性エラストマー用材料１８Ｂを塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料１８Ｂ上に一面側成形部材３０をその成形面（図５において下面）が導電性エラストマー用材料１８Ｂに接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１を構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、後述する導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。
先ず、図４に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材３０および他面側成形部材３１と、目的とする第１の異方導電性エラストマーシート１６の平面形状に適合する形状の開口３２Ｋを有すると共に当該第１の異方導電性エラストマーシート１６の厚みに対応する厚みを有する枠状のスペーサー３２とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図５に示すように、他面側成形部材３１の成形面（図５において上面）上にスペーサー３２を配置し、他面側成形部材３１の成形面上におけるスペーサー３２の開口３２Ｋ内に、調製した導電性エラストマー用材料１８Ｂを塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料１８Ｂ上に一面側成形部材３０をその成形面（図５において下面）が導電性エラストマー用材料１８Ｂに接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１を構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、後述する導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。
次いで、図６に示すように、加圧ロール３３および支持ロール３４よりなる加圧ロール装置３５を用い、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１によって導電性エラストマー用材料１８Ｂを挟圧することにより、当該一面側成形部材３０と当該他面側成形部材３１との間に、所要の厚みの導電性エラストマー用材料層１８Ａを形成する。この導電性エラストマー用材料層１８Ａにおいては、図７に拡大して示すように、導電性粒子Ｐが均一に分散した状態で含有されている。
その後、一面側成形部材３０の裏面および他面側成形部材３１の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１８Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１８Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１８Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、図８に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子Ｐによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１８Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第１の異方導電性エラストマーシート１８が製造される。
その後、一面側成形部材３０の裏面および他面側成形部材３１の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１８Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１８Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１８Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、図８に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子Ｐによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１８Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第１の異方導電性エラストマーシート１８が製造される。
以上において、導電性エラストマー用材料層１８Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
導電性エラストマー用材料層１８Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１８Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１８Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。
導電性エラストマー用材料層１８Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１８Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１８Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。
また、第２の異方導電性エラストマーシート１９は、第１の異方導電性エラストマーシート１８と同様の方法によって製造することができる。
複合導電性シート２０は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２１Ｈがコネクター板１１における電流供給用電極１４およひ電圧測定用電極１５のパターンに対応するパターンに従って形成された絶縁性シート２１と、この絶縁性シート２１の各貫通孔２１Ｈに当該絶縁性シート２１の両面の各々から突出するよう配置された複数の剛性導体２２とにより構成されている。
剛性導体２２の各々は、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに挿通された円柱状の胴部２２ａと、この胴部２２ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート２１の表面に露出する端子部２２ｂとにより構成されている。剛性導体２２における胴部２２ａの長さは、絶縁性シート２１の厚みより大きく、また、当該胴部２２ａの径は、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径より小さいものとされており、これにより、当該剛性導体２２は、絶縁性シート２１の厚み方向に移動可能とされている。また、剛性導体２２における端子部２２ｂの径は、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径より大きいものとされている。
剛性導体２２の各々は、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに挿通された円柱状の胴部２２ａと、この胴部２２ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート２１の表面に露出する端子部２２ｂとにより構成されている。剛性導体２２における胴部２２ａの長さは、絶縁性シート２１の厚みより大きく、また、当該胴部２２ａの径は、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径より小さいものとされており、これにより、当該剛性導体２２は、絶縁性シート２１の厚み方向に移動可能とされている。また、剛性導体２２における端子部２２ｂの径は、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径より大きいものとされている。
絶縁性シート２１を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。
また、電気抵抗測定用コネクター装置１０を高温環境下で使用する場合には、絶縁性シート２１として、線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０-6〜２×１０-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０-6〜６×１０-6／Ｋである。このような絶縁性シート２１を用いることにより、当該絶縁性シート２１の熱膨張による剛性導体２２の位置ずれを抑制することができる。
また、絶縁性シート２１の厚みは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径は、２０〜３００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜１５０μｍである。
また、電気抵抗測定用コネクター装置１０を高温環境下で使用する場合には、絶縁性シート２１として、線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０-6〜２×１０-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０-6〜６×１０-6／Ｋである。このような絶縁性シート２１を用いることにより、当該絶縁性シート２１の熱膨張による剛性導体２２の位置ずれを抑制することができる。
また、絶縁性シート２１の厚みは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径は、２０〜３００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜１５０μｍである。
剛性導体２２を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において絶縁性シートに形成される金属薄層よりもエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
剛性導体２２における胴部１２ａの径は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径が過小である場合には、当該剛性導体２２に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径と剛性導体２２における胴部１２ａの径との差は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性シート２１の厚み方向に対して剛性導体２２を移動させることが困難となることがある。
剛性導体２２における端子部２２ｂの径と絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径との差は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、剛性導体２２が絶縁性シート２１から脱落する恐れがある。
剛性導体２２における端子部１２ｂの厚みは、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
絶縁性シート２１の厚み方向における剛性導体２２の移動可能距離、すなわち剛性導体２２における胴部２２ａの長さと絶縁性シート２１の厚みとの差は、３〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍである。剛性導体２２の移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、剛性導体２２の移動可能距離が過大である場合には、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈから露出する剛性導体２２の胴部２２ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、剛性導体２２の胴部２２ａが座屈または損傷するおそれがある。
剛性導体２２における胴部１２ａの径は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径が過小である場合には、当該剛性導体２２に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径と剛性導体２２における胴部１２ａの径との差は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性シート２１の厚み方向に対して剛性導体２２を移動させることが困難となることがある。
剛性導体２２における端子部２２ｂの径と絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径との差は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、剛性導体２２が絶縁性シート２１から脱落する恐れがある。
剛性導体２２における端子部１２ｂの厚みは、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
絶縁性シート２１の厚み方向における剛性導体２２の移動可能距離、すなわち剛性導体２２における胴部２２ａの長さと絶縁性シート２１の厚みとの差は、３〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍである。剛性導体２２の移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、剛性導体２２の移動可能距離が過大である場合には、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈから露出する剛性導体２２の胴部２２ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、剛性導体２２の胴部２２ａが座屈または損傷するおそれがある。
上記の複合導電性シート２０は、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、図９に示すように、絶縁性シート２１の一面に易エッチング性の金属層２３Ａが一体的に積層されてなる積層材料２０Ｂを用意し、この積層材料２０Ｂにおける金属層２３Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図１０に示すように、金属層２３Ａに所要のパターンに従って複数の開口２３Ｋを形成する。次いで、図１１に示すように、積層材料２０Ｂにおける絶縁性シート２１に、それぞれ金属層２３Ａの開口２３Ｋに連通して厚み方向に伸びる貫通孔２１Ｈを形成する。そして、図１２に示すように、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層２３Ｂを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２１Ｈが形成された絶縁性シート２１と、この絶縁性シート２１の一面に積層された、それぞれ絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに連通する複数の開口２３Ｋを有する易エッチング性の金属層２３Ａと、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層２３Ｂとを有してなる複合積層材料２０Ａが製造される。
以上において、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈを形成する方法としては、レーザー加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。
金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅などを用いることができる。
また、金属層２３Ａの厚みは、目的とする剛性導体２２の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、３〜７５μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜５０μｍ、さらに好ましくは８〜２５μｍである。
また、金属薄層２３Ｂの厚みは、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径と形成すべき剛性導体２２における胴部２２ａの径とを考慮して設定される。
また、金属薄層２３Ｂを形成する方法としては、無電解メッキ法などを利用することができる。
先ず、図９に示すように、絶縁性シート２１の一面に易エッチング性の金属層２３Ａが一体的に積層されてなる積層材料２０Ｂを用意し、この積層材料２０Ｂにおける金属層２３Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図１０に示すように、金属層２３Ａに所要のパターンに従って複数の開口２３Ｋを形成する。次いで、図１１に示すように、積層材料２０Ｂにおける絶縁性シート２１に、それぞれ金属層２３Ａの開口２３Ｋに連通して厚み方向に伸びる貫通孔２１Ｈを形成する。そして、図１２に示すように、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層２３Ｂを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２１Ｈが形成された絶縁性シート２１と、この絶縁性シート２１の一面に積層された、それぞれ絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに連通する複数の開口２３Ｋを有する易エッチング性の金属層２３Ａと、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層２３Ｂとを有してなる複合積層材料２０Ａが製造される。
以上において、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈを形成する方法としては、レーザー加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。
金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅などを用いることができる。
また、金属層２３Ａの厚みは、目的とする剛性導体２２の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、３〜７５μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜５０μｍ、さらに好ましくは８〜２５μｍである。
また、金属薄層２３Ｂの厚みは、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径と形成すべき剛性導体２２における胴部２２ａの径とを考慮して設定される。
また、金属薄層２３Ｂを形成する方法としては、無電解メッキ法などを利用することができる。
そして、この複合積層材料２０Ａに対してフォトメッキ処理を施すことにより、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの各々に剛性導体２２を形成する。具体的に説明すると、図１３に示すように、絶縁性シート２１の一面に形成された金属層２３Ａの表面および絶縁性シート２１の他面の各々に、形成すべき剛性導体２２における端子部２２ｂのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに連通する複数のパターン孔２４Ｈが形成されたレジスト膜２４を形成する。次いで、金属層２３Ａを共通電極として電解メッキ処理を施して当該金属層２３Ａにおける露出した部分に金属を堆積させると共に、金属薄層２３Ｂの表面に金属を堆積させて絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈ内およびレジスト膜２４のパターン孔２４Ｈ内に金属を充填することにより、図１４に示すように、絶縁性シート２１の厚み方向に伸びる剛性導体２２を形成する。
このようにして剛性導体２２を形成した後、金属層２３Ａの表面からレジスト膜２４を除去することにより、図１５に示すように、金属層２３Ａを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを除去することにより、複合導電性シート２０が得られる。
このようにして剛性導体２２を形成した後、金属層２３Ａの表面からレジスト膜２４を除去することにより、図１５に示すように、金属層２３Ａを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを除去することにより、複合導電性シート２０が得られる。
上記の電気抵抗測定用コネクター装置１０においては、図１６に示すように、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面に、コネクター板１１における各接続用電極組１３が当該被検査回路基板１の各一面側被検査電極２上に位置するよう配置され、適宜の手段によって押圧されることにより、被検査回路基板１の一面側被検査電極２が、第２の異方導電性シート１９、複合導電性シート２０および第１の異方導電性エラストマーシート１８を介して、コネクター板１１における接続用電極組１３における電極に電気的に接続される。
このような状態において、電流供給用電極１４を介して被検査回路基板１の被検査電極間に定電流を供給すると共に、被検査回路基板１における一面側被検査電極２に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、この指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。
このような状態において、電流供給用電極１４を介して被検査回路基板１の被検査電極間に定電流を供給すると共に、被検査回路基板１における一面側被検査電極２に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、この指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。
このような電気抵抗測定用コネクター装置１０によれば、コネクター板１１における各接続用電極組１３には、２つの電流供給用電極１４が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、２つの電圧測定用電極１５が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されているため、当該矩形における辺方向（図３において左右方向および上下方向）に、一面側被検査電極２が位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極２は、少なくとも１つの電流供給用電極１４および少なくとも１つの電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
具体的な例を挙げて説明すると、図１７（イ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において右方に位置ずれした場合には、それぞれ図において右側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１７（ロ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において左方に位置ずれした場合には、それぞれ図において左側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１７（ハ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において上方に位置ずれした場合には、それぞれ図において上側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１７（ニ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において下方に位置ずれした場合には、それぞれ図において下側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
具体的な例を挙げて説明すると、図１７（イ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において右方に位置ずれした場合には、それぞれ図において右側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１７（ロ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において左方に位置ずれした場合には、それぞれ図において左側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１７（ハ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において上方に位置ずれした場合には、それぞれ図において上側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１７（ニ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において下方に位置ずれした場合には、それぞれ図において下側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、複合導電性シート２０の剛性導体２２の各々は、絶縁性シート２１に対してその厚み方向に移動可能とされているため、一面側被検査電極２によって厚み方向に加圧されたときには、第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９は、剛性導体２２が絶縁性シート２１の厚み方向に移動することによって互いに連動して圧縮変形し、これにより、両者の有する凹凸吸収能の合計が電気抵抗測定用コネクター装置１０の凹凸吸収能として発現されるので、高い凹凸吸収能を得ることができる。そして、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９の合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。
従って、上記の電気抵抗測定用コネクター装置１０によれば、被検査回路基板１との電気的接続作業において、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きく、また、分解能および凹凸吸収性が共に高いものであるため、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方の電気接続を確実に達成することができ、しかも、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の間の所要の電気的絶縁状態が確保されるので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
本発明において、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１としては、図１８（イ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２のみを有し、当該一面側被検査電極２間に形成された回路４ａのみを有するもの、図１８（ロ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２および他面に形成された他面側被検査電極３を有し、一面側被検査電極２と他面側被検査電極３との間に形成された回路４ｂのみを有するもの、図１８（ハ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２および他面に形成された他面側被検査電極３を有し、一面側被検査電極２間に形成された回路４ａおよび一面側被検査電極２と他面側被検査電極３との間に形成された回路４ｂの両方を有するもののいずれであってもよい。
〈回路基板の電気抵抗測定装置〉
図１９は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を示す説明図であり、図２０は、図１９に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明図である。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図１９において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図１９において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されている。
図１９は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を示す説明図であり、図２０は、図１９に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明図である。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図１９において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図１９において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されている。
上部側アダプター４０においては、被検査回路基板１の一面側（図１９において上側）に配置される、例えば図１に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられ、この電気抵抗測定用コネクター装置１０の裏面（図１９において上面）には、第１の上部側異方導電性シート４４を介して一面側検査用回路基板４１が配置されている。この一面側検査用回路基板４１の表面（図１９において下面）には、電気抵抗測定用コネクター装置１０における中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って、複数の検査電極４２が配置され、当該一面側検査用回路基板４１の裏面（図１９において上面）には、後述する電極板４８の標準配列電極４９の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極４３が配置されおり、この端子電極４３の各々は対応する検査電極４２に、電気的に接続されている。
一面側検査用回路基板４１の裏面上には、第２の上部側異方導電性シート４５を介して電極板４８が設けられている。この電極板４８は、その表面（図１９において下面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された複数の標準配列電極４９を有し、これらの標準配列電極４９の各々は、第２の上部側異方導電性シート４５を介して一面側検査用回路基板４１の端子電極４３に電気的に接続されると共に、電極板４８の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続されている。
この例における第１の上部側異方導電性シート４４は、いわゆる偏在型異方導電性シートであって、電気抵抗測定用コネクター装置１０の中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。
また、第２の上部側異方導電性シート４５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の上部側異方導電性シート４４および第２の上部側異方導電性シート４５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。
また、第２の上部側異方導電性シート４５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の上部側異方導電性シート４４および第２の上部側異方導電性シート４５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。
下部側アダプター５０においては、他面側検査用回路基板５１が設けられ、この他面側検査用回路基板５１の表面（図１９において上面）には、被検査回路基板１の他面側被検査電極３の配置パターンに対応するパターンに従って、１つの他面側被検査電極３に対して、互いに離間して配置された電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂよりなる検査電極対が、他面側被検査電極３が占有する領域と同等の面積の領域内に位置するよう配置されている。他面側検査用回路基板５１の裏面には、後述する電極板６０の標準配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従って電流供給用端子電極５３ａおよび電圧測定用端子電極５３ｂが配置されており、これらの電流供給用端子電極５３ａおよび電圧測定用端子電極５３ｂの各々は、対応する電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂに電気的に接続されている。
他面側検査用回路基板５１の表面上には、異方導電性エラストマー層５５が一体的に形成されている。この異方導電性エラストマー層５５には、検査電極対の各々を構成する電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂの両方の表面（図１９において上面）に接する共通の導電路形成部５６が形成され、隣接する導電路形成部５６の間には、これらを相互に絶縁する絶縁部５７が形成されている。導電路形成部５６は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部５７は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。また、この例の異方導電性エラストマー層５５においては、導電路形成部５６の表面（図３１において上面）が絶縁部５７の表面から突出した状態で形成されている。
他面側検査用回路基板５１の裏面（図１９において下面）には、下部側異方導電性シート６２を介して電極板６０が設けられている。
電極板６０および下部側異方導電性シート６２は、上部側アダプター４０における電極板４８および第２の上部側異方導電性シート４５に対応するものであり、電極板６０は、その表面（図１９において上面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された複数の標準配列電極６１を有し、これらの標準配列電極６１の各々は、下部側異方導電性シート６２を介して他面側検査用回路基板５１の電流供給用端子電極５３ａまたは電圧測定用端子電極５３ｂに電気的に接続されると共に、電極板６０の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続されている。下部側異方導電性シート６２は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
電極板６０および下部側異方導電性シート６２は、上部側アダプター４０における電極板４８および第２の上部側異方導電性シート４５に対応するものであり、電極板６０は、その表面（図１９において上面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された複数の標準配列電極６１を有し、これらの標準配列電極６１の各々は、下部側異方導電性シート６２を介して他面側検査用回路基板５１の電流供給用端子電極５３ａまたは電圧測定用端子電極５３ｂに電気的に接続されると共に、電極板６０の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続されている。下部側異方導電性シート６２は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
異方導電性エラストマー層５５における導電路形成部５６は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が１以下、特に０．５以下であるような電気的特性を有するものであることが好ましい。
この比が１を超える場合には、導電路形成部５６を介して電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
このような観点から、導電路形成部５６における導電性粒子の充填率が５〜５０体積％であることが好ましい。
このような異方導電性エラストマー層５５は、適宜の方法例えば特開２０００−７４９６５号公報に記載された方法によって形成することができる。
また、異方導電性エラストマー層５５および下部側異方導電性シート６２を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。
この比が１を超える場合には、導電路形成部５６を介して電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
このような観点から、導電路形成部５６における導電性粒子の充填率が５〜５０体積％であることが好ましい。
このような異方導電性エラストマー層５５は、適宜の方法例えば特開２０００−７４９６５号公報に記載された方法によって形成することができる。
また、異方導電性エラストマー層５５および下部側異方導電性シート６２を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。
他面側検査用回路基板５１における電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間の離間距離は１０μｍ以上であることが好ましい。この離間距離が１０μｍ未満である場合には、導電路形成部５６を介して電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検査電極３の寸法およびピッチによって定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が過大である場合には、他面側被検査電極３の１つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となることがある。
一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検査電極３の寸法およびピッチによって定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が過大である場合には、他面側被検査電極３の１つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となることがある。
以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板１における任意の一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗が測定される。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１９が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、他面側検査用回路基板５１の表面上に形成された異方導電性エラストマー層５５が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１９が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、他面側検査用回路基板５１の表面上に形成された異方導電性エラストマー層５５が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。
この測定状態において、電気抵抗測定用コネクター装置１０における電流供給用電極１４と他面側検査用回路基板５１における電流供給用検査電極５２ａとの間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極２に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極１５と、当該電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続された検査電極対における電圧測定用検査電極５２ｂとの間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。
そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。
以上において、被検査回路基板１における１つの一面側被検査電極２に、電気抵抗測定用コネクター装置１０の接続用電極組１３における２つの電圧測定用電極１５が電気的に接続された場合には、図２１に示すように、当該一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間には、２つの電圧測定用回路Ｃ１，Ｃ２が形成されることになる。このような場合には、電圧測定用回路Ｃ１による電気抵抗値および電圧測定用回路Ｃ２による電圧値のうちその値が高いものが採用され、当該電圧値に基づいて一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、その上部側アダプター４０に、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きく、かつ、分解能および凹凸吸収性が共に高い電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられていることにより、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方の電気接続を確実に達成することができ、しかも、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の間の所要の電気的絶縁状態が確保されるので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
図２２は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の他の例における構成を示す説明図であり、図２３は、図２２に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明図である。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図２２において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図２２において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されており、上部側アダプター４０は、図１９に示す電気抵抗測定装置における上部側アダプターと同様の構成である。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図２２において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図２２において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されており、上部側アダプター４０は、図１９に示す電気抵抗測定装置における上部側アダプターと同様の構成である。
下部側アダプター５０においては、被検査回路基板１の他面側（図２２において下側）に配置される、例えば図１に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられ、この電気抵抗測定用コネクター装置１０の裏面（図２２において下面）には、第１の下部側異方導電性シート６４を介して他面側検査用回路基板５１が配置されており、この他面側検査用回路基板５１の裏面上には、第２の下部側異方導電性シート６５を介して電極板６０が設けられている。この電極板６０は、図１９に示す電気抵抗測定装置の下部側アダプターにおける電極板と同様の構成である。
他面側検査用回路基板５１の表面（図２２において上面）には、電気抵抗測定用コネクター装置１０における中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って、複数の検査電極５２が配置され、当該他面側検査用回路基板５１の裏面（図２２において下面）には、電極板６０の標準配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極５３が配置されおり、この端子電極５３の各々は対応する検査電極５２に、電気的に接続されている。
他面側検査用回路基板５１の表面（図２２において上面）には、電気抵抗測定用コネクター装置１０における中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って、複数の検査電極５２が配置され、当該他面側検査用回路基板５１の裏面（図２２において下面）には、電極板６０の標準配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極５３が配置されおり、この端子電極５３の各々は対応する検査電極５２に、電気的に接続されている。
この例における第１の下部側異方導電性シート６４は、いわゆる偏在型異方導電性シートであって、電気抵抗測定用コネクター装置１０の中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。
また、第２の下部側異方導電性シート６５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の下部側異方導電性シート６４および第２の下部側異方導電性シート６５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。
また、第２の下部側異方導電性シート６５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の下部側異方導電性シート６４および第２の下部側異方導電性シート６５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。
以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板１における任意の一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗が測定される。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、上部側アダプター４０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における第２の異方導電性エラストマーシート１９が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、下部側アダプター５０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における第２の異方導電性エラストマーシート１９が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、上部側アダプター４０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における第２の異方導電性エラストマーシート１９が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、下部側アダプター５０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における第２の異方導電性エラストマーシート１９が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。
この測定状態において、上部側アダプター４０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における電流供給用電極１４と下部側アダプター５０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における電流供給用電極１４との間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極１５と、当該電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続された電圧測定用電極１５との間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。
そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。
以上において、被検査回路基板１における１つの一面側被検査電極２に、電気抵抗測定用コネクター１０の接続用電極組１３における２つの電圧測定用電極１５が電気的に接続され、当該被検査回路基板１における１つの他面側被検査電極３に、電気抵抗測定用コネクター１０の接続用電極組１３における２つの電圧測定用電極１５が電気的に接続された場合には、図２４に示すように、当該一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間には、４つの電圧測定用回路Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が形成されることになる。このような場合には、電圧測定用回路Ｃ１、電圧測定用回路Ｃ２、電圧測定用回路Ｃ３および電圧測定用回路Ｃ４の各々による電圧値のうちその値が最も高いものが採用され、当該電圧値に基づいて、一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、その上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の各々に、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きく、かつ、分解能および凹凸吸収性が共に高い電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられていることにより、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方の電気接続を確実に達成することができ、しかも、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の間の所要の電気的絶縁状態が確保されるので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
本発明のは、上記の例に限定されず、以下のような種々の変更を加えることが可能である。
（１）電気抵抗測定用コネクター装置１０におけるコネクター板１１は、図２５に示すように、複数の電流供給用電極１４に電気的に接続された中継電極１６を有するものであってもよい。このような電気抵抗測定用コネクター装置１０によれば、コネクター板１１における中継電極１６の数が少なくなり、従って、当該電気抵抗測定用コネクター装置１０が電気的に接続される検査用回路基板における検査電極の数を少なくすることができるので、検査用回路基板の製造が容易となり、また、検査用回路基板の製造コストの低減化を図ることができる。
（２）回路基板の電気抵抗測定装置においては、下部側アダプター５０の他面側検査用回路基板５１は、１つの他面側被検査電極３に対して、検査電極対を構成する電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査電極５３が電気的に接続された状態を達成することのできるものであれば、種々のものを用いることができる。
また、異方導電性エラストマー層５５としては、電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査電極５３の各々に対応して導電路形成部が形成されてなるものを用いることができる。
また、個々の先端に導電性エラストマーが設けられた検査電極や、更に、許容される場合にはプローブピンを検査電極として用いることも可能である。
また、被検査回路基板が片面プリント回路基板である場合には、下部側アダプターを設けることは不要である。
（１）電気抵抗測定用コネクター装置１０におけるコネクター板１１は、図２５に示すように、複数の電流供給用電極１４に電気的に接続された中継電極１６を有するものであってもよい。このような電気抵抗測定用コネクター装置１０によれば、コネクター板１１における中継電極１６の数が少なくなり、従って、当該電気抵抗測定用コネクター装置１０が電気的に接続される検査用回路基板における検査電極の数を少なくすることができるので、検査用回路基板の製造が容易となり、また、検査用回路基板の製造コストの低減化を図ることができる。
（２）回路基板の電気抵抗測定装置においては、下部側アダプター５０の他面側検査用回路基板５１は、１つの他面側被検査電極３に対して、検査電極対を構成する電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査電極５３が電気的に接続された状態を達成することのできるものであれば、種々のものを用いることができる。
また、異方導電性エラストマー層５５としては、電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査電極５３の各々に対応して導電路形成部が形成されてなるものを用いることができる。
また、個々の先端に導電性エラストマーが設けられた検査電極や、更に、許容される場合にはプローブピンを検査電極として用いることも可能である。
また、被検査回路基板が片面プリント回路基板である場合には、下部側アダプターを設けることは不要である。
１ 被検査回路基板
２ 一面側被検査電極
３ 他面側被検査電極
４ａ，４ｂ 回路
１０ 電気抵抗測定用コネクター装置
１１ コネクター板
１２ 絶縁性基板
１３ 接続用電極組
１４ 電流供給用電極
１５ 電圧測定用電極
１６ 中継電極
１７ 配線部
１８ 第１の異方導電性エラストマーシート
１８Ａ 導電性エラストマー用材料層
１８Ｂ 導電性エラストマー用材料
１９ 第２の異方導電性エラストマーシート
２０ 複合導電性シート
２０Ａ 複合積層材料
２０Ｂ 積層材料
２１ 絶縁性シート
２１Ｈ 貫通孔
２２ 剛性導体
２２ａ 胴部
２２ｂ 端子部
２３Ａ 金属層
２３Ｂ 金属薄層
２３Ｋ 開口
２４ レジスト膜
２４Ｈ パターン孔
３０ 一面側成形部材
３１ 他面側成形部材
３２ スペーサー
３２Ｋ 開口
３３ 加圧ロール
３４ 支持ロール
３５ 加圧ロール装置
４０ 上部側アダプター
４１ 一面側検査用回路基板
４２ 検査電極
４３ 端子電極
４４ 第１の上部側異方導電性シート
４５ 第２の上部側異方導電性シート
４８ 電極板
４９ 標準配列電極
５０ 下部側アダプター
５１ 他面側検査用回路基板
５２ 検査電極
５３ 端子電極
５２ａ 電流供給用検査電極
５２ｂ 電圧測定用検査電極
５３ａ 電流供給用端子電極
５３ｂ 電圧測定用端子電極
５５ 異方導電性エラストマー層
５６ 導電路形成部
５７ 絶縁部
５９ テスター
６０ 電極板
６１ 標準配列電極
６２ 下部側異方導電性シート
６４ 第１の下部側異方導電性シート
６５ 第２の下部側異方導電性シート
９０ 被検査回路基板
９１，９２ 被検査電極
ＰＡ，ＰＤ 電流供給用プローブ
ＰＢ，ＰＣ 電圧測定用プローブ
Ａ 電流供給用電極
Ｖ 電圧測定用電極
Ｔ 被検査電極
Ｐ 導電性粒子
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４ 電圧測定用回路
２ 一面側被検査電極
３ 他面側被検査電極
４ａ，４ｂ 回路
１０ 電気抵抗測定用コネクター装置
１１ コネクター板
１２ 絶縁性基板
１３ 接続用電極組
１４ 電流供給用電極
１５ 電圧測定用電極
１６ 中継電極
１７ 配線部
１８ 第１の異方導電性エラストマーシート
１８Ａ 導電性エラストマー用材料層
１８Ｂ 導電性エラストマー用材料
１９ 第２の異方導電性エラストマーシート
２０ 複合導電性シート
２０Ａ 複合積層材料
２０Ｂ 積層材料
２１ 絶縁性シート
２１Ｈ 貫通孔
２２ 剛性導体
２２ａ 胴部
２２ｂ 端子部
２３Ａ 金属層
２３Ｂ 金属薄層
２３Ｋ 開口
２４ レジスト膜
２４Ｈ パターン孔
３０ 一面側成形部材
３１ 他面側成形部材
３２ スペーサー
３２Ｋ 開口
３３ 加圧ロール
３４ 支持ロール
３５ 加圧ロール装置
４０ 上部側アダプター
４１ 一面側検査用回路基板
４２ 検査電極
４３ 端子電極
４４ 第１の上部側異方導電性シート
４５ 第２の上部側異方導電性シート
４８ 電極板
４９ 標準配列電極
５０ 下部側アダプター
５１ 他面側検査用回路基板
５２ 検査電極
５３ 端子電極
５２ａ 電流供給用検査電極
５２ｂ 電圧測定用検査電極
５３ａ 電流供給用端子電極
５３ｂ 電圧測定用端子電極
５５ 異方導電性エラストマー層
５６ 導電路形成部
５７ 絶縁部
５９ テスター
６０ 電極板
６１ 標準配列電極
６２ 下部側異方導電性シート
６４ 第１の下部側異方導電性シート
６５ 第２の下部側異方導電性シート
９０ 被検査回路基板
９１，９２ 被検査電極
ＰＡ，ＰＤ 電流供給用プローブ
ＰＢ，ＰＣ 電圧測定用プローブ
Ａ 電流供給用電極
Ｖ 電圧測定用電極
Ｔ 被検査電極
Ｐ 導電性粒子
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４ 電圧測定用回路
Claims (5)
- 絶縁性基板およびその表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組を有し、当該接続用電極組の各々が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が、互いに離間して配置されてなるコネクター板と、このコネクター板上に配置された第１の異方導電性エラストマーシートと、この第１の異方導電性エラストマーシート上に配置された複合導電性シートと、この複合導電性シート上に配置された第２の異方導電性エラストマーシートとを具えてなり、
前記複合導電性シートは、前記電流供給用電極および前記電圧測定用電極に対応するパターンに従って厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面から突出するよう配置された複数の剛性導体とからなり、当該剛性導体の各々が、当該絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター装置。 - 複合導電性シートの剛性導体の各々は、絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなることを特徴とする請求項１に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。
- コネクター板の絶縁性基板の裏面には、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された複数の中継電極が配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。
- 複数の電流供給用電極に電気的に接続された中継電極を有することを特徴とする請求項３に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。
- 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクター装置を具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006306632A JP2008122240A (ja) | 2006-11-13 | 2006-11-13 | 電気抵抗測定用コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006306632A JP2008122240A (ja) | 2006-11-13 | 2006-11-13 | 電気抵抗測定用コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008122240A true JP2008122240A (ja) | 2008-05-29 |
Family
ID=39507144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006306632A Withdrawn JP2008122240A (ja) | 2006-11-13 | 2006-11-13 | 電気抵抗測定用コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2008122240A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101846706A (zh) * | 2010-05-18 | 2010-09-29 | 宁波大学 | 一种动态测量高分子薄片高阻的方法 |
| JP2019197042A (ja) * | 2018-03-16 | 2019-11-14 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅＢｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 界面における電気接触抵抗を測定するためのシステム及び方法 |
-
2006
- 2006-11-13 JP JP2006306632A patent/JP2008122240A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101846706A (zh) * | 2010-05-18 | 2010-09-29 | 宁波大学 | 一种动态测量高分子薄片高阻的方法 |
| JP2019197042A (ja) * | 2018-03-16 | 2019-11-14 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅＢｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 界面における電気接触抵抗を測定するためのシステム及び方法 |
| JP7286348B2 (ja) | 2018-03-16 | 2023-06-05 | ザ・ボーイング・カンパニー | 界面における電気接触抵抗を測定するためのシステム及び方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7038471B2 (en) | Connector for measuring electric resistance, apparatus and method for measuring electric resistance of circuit board | |
| EP1768214B1 (en) | Inspection equipment for circuit device with anisotropic conductive connector | |
| KR100655832B1 (ko) | 이방 도전성 시트 및 그 제조 방법, 어댑터 장치 및 그제조 방법 및 회로 장치의 전기적 검사 장치 | |
| KR20030041176A (ko) | 전기 저항 측정용 커넥터 및 회로 기판의 전기 저항 측정장치 및 측정 방법 | |
| EP1607751A1 (en) | Connector for measurement of electric resistance, connector device for measurement of electric resistance and production process thereof, and measuring apparatus and measuring method of electric resistance for circuit board | |
| KR20080079670A (ko) | 웨이퍼 검사용 회로 기판 장치, 프로브 카드 및 웨이퍼검사 장치 | |
| US7675303B2 (en) | Connector for measuring electrical resistance, and apparatus and method for measuring electrical resistance of circuit board | |
| JP2006040632A (ja) | 異方導電性コネクターおよびその製造方法、アダプター装置並びに回路装置の電気的検査装置 | |
| JP4380373B2 (ja) | 電気抵抗測定用コネクター、電気抵抗測定用コネクター装置およびその製造方法並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法 | |
| JP4725318B2 (ja) | 複合導電性シートおよびその製造方法、異方導電性コネクター、アダプター装置並びに回路装置の電気的検査装置 | |
| JP2010066003A (ja) | 電気抵抗測定用電極シートおよびその製造方法、電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置 | |
| JP2008122240A (ja) | 電気抵抗測定用コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置 | |
| JP2007071753A (ja) | 電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法 | |
| JP2009129609A (ja) | 複合導電性シート、異方導電性コネクター、アダプター装置および回路装置の電気的検査装置 | |
| JP3966357B2 (ja) | 電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法 | |
| JP2010112849A (ja) | 電気抵抗測定用シート、電気抵抗測定用コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置 | |
| JP2007225534A (ja) | 複合導電性シート、異方導電性コネクターおよびアダプター装置並びに回路装置の電気的検査装置 | |
| JP2007265705A (ja) | 異方導電性コネクターおよびその応用 | |
| JP2007093237A (ja) | ウエハ検査用プローブカード並びにウエハ検査装置およびウエハ検査方法 | |
| JPWO2007029766A1 (ja) | ウエハ検査用プローブカード並びにウエハ検査装置およびウエハ検査方法 | |
| JP2008249425A (ja) | 異方導電性コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置 | |
| JP2008027818A (ja) | 複合導電性シート、異方導電性コネクターおよびアダプター装置 | |
| JP2007040952A (ja) | アダプター装置およびその製造方法並びに回路装置の電気的検査装置 | |
| JP2007220534A (ja) | 複合導電性シートおよびその製造方法、異方導電性コネクター、アダプター装置並びに回路装置の電気的検査装置 | |
| JPWO2007026663A1 (ja) | 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法並びに異方導電性コネクター |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100202 |