JP2010020017A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 物体面から像面に至る光路に第１凹反射面、凸反射面、第２凹反射面が順に配置され、前記物体面に配置された物体の像を前記像面に投影する投影光学系であって、
   前記光路に配置された第１屈折光学ユニットおよび第２屈折光学ユニットを備え、
   前記第１屈折光学ユニットおよび前記第２屈折光学ユニットは、それぞれ、２以上のシリンドリカル面を有し、
   前記第１屈折光学ユニットは、第１方向における前記投影光学系の投影倍率を調整可能に構成され、前記第２屈折光学ユニットは、前記第１方向に直交する第２方向における前記投影光学系の投影倍率を調整可能に構成されている、
   ことを特徴とする投影光学系。
2. 前記第１屈折光学ユニットおよび前記第２屈折光学ユニットの少なくとも一方は、第１面および第２面を有する屈折光学素子を含み、前記第１面はシリンドリカル面であり、前記第２面は曲面である、
   ことを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
3. 前記第１方向における投影倍率が第１目標投影倍率になるように前記第１屈折光学ユニットを駆動する第１アクチュエータと、
   前記第２方向における投影倍率が第２目標投影倍率になるように前記第２屈折光学ユニットを駆動する第２アクチュエータとを更に備える、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の投影光学系。
4. 前記第１屈折光学ユニットは、前記物体面と前記第１凹反射面との間に配置され、前記第２屈折光学ユニットは、前記第２凹反射面と前記像面との間に配置されている、
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の投影光学系。
5. 前記物体面と前記像面との間において前記投影光学系の光軸を折り曲げるミラーを更に備える、
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の投影光学系。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の投影光学系を備え、前記投影光学系によって原版のパターンを基板に投影して該基板を露光することを特徴とする露光装置。
7. 原版および基板を走査方向に走査しながら前記基板を露光する露光装置であって、
   請求項１乃至５のいずれか１項に記載の投影光学系を備え、
   前記第１方向は前記走査方向であって、
   前記第２方向は前記走査方向に垂直な方向であって、
   前記第１屈折光学ユニットの２以上のシリンドリカル面の間隔を変更することによって、前記走査方向における前記投影光学系の投影倍率が調整可能であり、
   前記第２屈折光学ユニットの２以上のシリンドリカル面の間隔を変更することによって、前記走査方向に垂直な方向における前記投影光学系の投影倍率が調整可能であることを特徴とする露光装置。
8. 前記走査方向の投影倍率が第１目標投影倍率になるように、前記第１屈折光学ユニットの２以上のシリンドリカル面の間隔を変更し、
   前記走査方向に対して垂直な方向の投影倍率が第２目標投影倍率になるように、前記第２屈折光学ユニットの２以上のシリンドリカル面の間隔を変更する
   ことを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
9. デバイス製造方法であって、
   感光剤が塗布された基板を請求項６乃至８のいずれか１項に記載の露光装置によって露光する工程と、
   該感光剤を現像する工程と、
   を含むことを特徴とするデバイス製造方法。