JP2010099597A - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板が高精細化しても、装置を複雑にすることなく、基板とノズルを精度よく位置合わせして塗布できる塗布装置および塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板のアライメントマークをカメラにより検出してノズルとの位置合わせを行なう塗布装置において、カメラおよびノズルの基準位置からの変位情報を記憶する手段を備え、マークを検出した際にカメラの基準位置からの変位情報およびノズルの基準位置からの変位情報に基づいて該ノズルと該アライメントマークの相対位置を演算し、その結果に基づき該ノズルと該基板の相対位置を合わせる。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板を装置上のテーブル面に載置して、載置した基板の位置を基板面のアライメントマークにより検出し、基板とノズルの相対位置決めを行い、基板面の所望位置に塗布を施す塗布装置に関する。

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのパネルは、ガラス基板に微細なパターンの描画や塗布などの処理を行う。こうした従来の処理装置においては、例えば、基板を装置のテーブル面に載置して固定し、その基板の位置を検出して、処理部と相対位置合わせしたのち、基板と処理部を相対移動させながら処理する技術が用いられている。

例えば特許文献１のように、基板上に形成されたリブ間に塗布を行う塗布装置においては、塗布の開始端と終了端のリブ位置を検出し、基板の位置とノズルの位置を相対位置合わせしたのち、ノズルを直線的に移動しながら塗布する方法や、ノズルの直線移動に合わせてリブの位置を逐次検出して基板の直交方向の位置を調整しながら塗布する技術が考案されている。

しかし、このような塗布装置においては、ノズルと基板の位置検出部との位置合わせは一点でしか行っておらず、位置検出部の検出位置への移動およびノズルの塗布移動位置への移動精度は、機械的な加工精度に依存している。ところが、近年ではパターンの高精細化に伴い、こうした塗布装置におけるノズルと基板の位置合わせ精度の向上やノズルの直線移動のより高精度化が要求され、機械加工精度には限界もあって対応が困難となってきた。

一方で、例えば特許文献２のように、基板を載置したステージを相対移動して描画する装置において、基板の位置を撮像するときのステージの正規位置に対する位置の誤差を測定し、基板の位置を算出するときに前記誤差の結果に応じて補正する装置が提案されている。この装置においては、描画部となる露光部が固定され、基板のアライメントマークとステージの位置情報を基に、描画するデータを加工して位置を調整するように構成している。つまり、位置の補正を制御技術により対処されるものである。

しかし、この描画装置はステージの位置を検出する複数の手段を備え、高度な処理技術により位置制御を行うもので、複雑でコスト高な装置となってしまう課題がある。また、検出部におけるステージとマークの位置ずれ量を基に露光位置の補正が行われるもので、露光位置におけるヘッドとステージの位置の誤差は考慮されておらず露光位置のずれる問題が残る。
特開Ｈ１１−２７９３５１号公報 特開２００８−８３２２７号公報

本発明はこうした従来技術の問題点に鑑み、基板が高精細になっても、装置を複雑にすることなく、基板上の意図した位置に精度よく塗布できる塗布装置および塗布方法を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の塗布装置は、
基板を載置するテーブル、
塗液を吐出するノズルおよび該基板上のアライメントマークを検出するアライメントカメラを取り付けたガントリー、
該ガントリーを塗布方向に略直線状に移動する移動手段、ならびに
該テーブルの塗布幅方向の位置およびテーブル面内の角度を調整する調整手段
を有する塗布装置であって、
さらに、
予め複数のガントリー移動位置における該アライメントカメラの基準位置からの変位情報および該ノズルの基準位置からの変位情報を記憶する記憶手段と、
該アライメントカメラを用いて該アライメントマークを検出した際のガントリー位置におけるアライメントカメラの基準位置からの変位情報およびノズルの基準位置からの変位情報に基づいて該ノズルと該アライメントマークの相対位置を演算し、その結果に基づき該ノズルと該基板の相対位置を調整する制御信号を該調整手段に送出する制御手段
を有することを特徴とし、アライメントカメラとノズルの基準位置からの変位情報を予め測定して記憶する手段を有することにより、それぞれの位置検出手段を必要とせず、装置構成を複雑にすることなく基板とノズルの相対位置関係を精度よく計算でき、ノズルと基板の相対位置を調整する制御信号を送出することができる。

また、本発明の塗布方法は、上述の塗布装置を用い、
前記アライメントカメラを用いて前記アライメントマークを検出した際のガントリー位置における該アライメントカメラの基準位置からの変位情報および前記ノズルの基準位置からの変位情報に基づいて該ノズルと該アライメントマークの相対位置を演算し、
その結果に基づき、基板上の意図した位置に塗布を行うよう該ノズルと前記基板の相対位置および角度を調整した後に、
該ガントリーを塗布方向に略直線状に移動しながら該ノズルから塗液を吐出することによって該基板上に塗液を略直線状に塗布する塗布方法であって、基板とノズルの相対位置合わせにおいて、マークを検出した際の基板の位置情報と、アライメントカメラとノズルの基準位置からの変位情報を用いることで、カメラとノズルのずれの問題を低減し、基板とノズルを精度よく相対位置合わせできて、意図した位置にノズル移動による略直線状の塗布ができる。

本発明の塗布方法においては、前記アライメントカメラの基準位置からの変位情報として、予め前記アライメントカメラの基準位置からの塗布幅方向への変位情報を測定して記憶することが好ましい。アライメントカメラはガントリーに取り付けられ塗布方向へ略直線状に移動する。この移動における塗布幅方向の変位は装置の機械精度に依存するもので、位置合わせ精度に大きく影響するため、この変位を補正することでずれの問題を低減する。

さらに、前記ノズルの基準位置からの変位情報として、同じガントリー位置における前記アライメントカメラの基準位置からの塗布幅方向への変位情報を用いる方法については、ノズルとカメラの変位に差が少なく何れか一方のデータで代表できる場合において、変位の測定やデータの扱いが簡素化できて好ましい。

また、前記ガントリーを塗布長手方向に略直線状に移動するとともに、該ガントリーの移動位置における前記ノズルの基準位置からの変位情報に基づいて、前記テーブルの塗布幅方向の位置を調整しながら前記ノズルから塗液を吐出する方法は、ノズルの塗布幅方向の変位に合わせて基板を移動するため、ノズルと基板の位置を正確に合わせることができてより好ましい。

本発明の塗布装置によれば、基板の位置検出部とノズルの変位情報を用いて位置を補正することで、基板とノズルを精度よく位置合わせができるので、機械加工の高精度化問題を回避できる。

また、基板とノズルの変位情報をあらかじめ測定して記憶しておくことで、装置構成を複雑にすることなく位置が補正できるので、装置のコスト増加を抑制できる。

以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る一例の塗布装置の全体構成を示した概略平面図である。まず、図中の矢印ＸＹ方向は、Ｘが塗布方向を示し、Ｙがその直交方向となる塗布幅方向を示している。

図１において、基板２０は塗布対象物のワークであってテーブル２の上面略中央に載置される。基板２０には塗布方向となる基板短尺方向に、直線状のリブが全面に渡り所定間隔で形成され、リブの間に溝を構成している。また、基板長尺方向の略中央の基板端面近くにはアライメントマーク２０ａ，２０ｂが形成され、リブとの位置関係が分かるようになっている。

テーブル２は、その上面に基板を吸着するための吸着孔が設けられ、図示しない吸着装置によって基板を吸着固定する。また、テーブル２はＹ軸駆動部３を備え、機台１をベースに固定したＹ軸ガイドレール３ａ，３ｂに沿ってＹ軸方向に自在に移動可能であって、さらにテーブル面内の中心を基準に面内角度を調整する図示しないθ軸駆動部を備えていて、吸着した基板の塗布幅方向の移動および角度の調整ができるように構成されている。

この図１の塗布装置においては、上述のＹ軸駆動部３およびθ軸駆動部がテーブルの塗布幅方向の位置およびテーブル面内の角度を調整する調整手段である。

また、ガントリー４はテーブル２を跨ぐ門型構造をしており、その両側脚部には塗布方向へ移動する移動手段であるＸ軸駆動部５を備え、テーブル面に載置した基板面の上方をＸ軸ガイドレール５ａ，５ｂに沿って往復自在移動可能になっている。なお、これらガントリー４およびテーブル２の各軸駆動部はサーボモータにより駆動され、それぞれの軸に平行に設置されたエンコーダをセンサとして制御装置９の軸制御部１２に接続され、演算指令部１１からの指令信号により移動制御できるように構成されている。従って、図１の塗布装置においては、演算指令部１１および軸制御部１２が制御手段となる。

また、ガントリー４の門型梁中央部の塗布方向側にはテーブル面に載置した基板のアライメントマークを撮像するアライメントカメラ６と、反対側には基板面にペーストを吐出するノズル７が固定されていて、ガントリー４の移動制御によりＸ方向の位置決め移動および塗布走査を行なう。

また、アライメントカメラ６で撮像したアライメントマークの画像信号は、制御装置９の位置検出部１０に接続され、位置検出部１０では撮像した画像を処理してカメラ視野内における位置を測定し、演算指令部１１にて各軸の位置情報と合わせて基板の位置を算出する。

一方、ノズル７は着脱式で、ガントリー４に固定したときにその長手方向がテーブル２のＹ軸移動方向に並行となるように調整されている。このノズル７は塗布する基板のサイズに合わせて選択され、下面にはその基板に形成された所望の全ての溝に対して１回の塗布動作で塗布を完了するための吐出孔が略一直線状に配列して設けられている。そして、その中央孔には基板との位置合わせを行うための基準孔マークが施されていて、この基準孔に対して基板を相対位置合わせして塗布を行なう。なお、ノズルの内部にはペースト貯留部があり、外部から配管を介してペーストを供給し、内部を加圧することにより吐出孔からペーストを吐出するようになっている。

また、カメラ８はアライメントカメラ６とノズル７の相互の位置関係を求めるための基準位置カメラであって、上方に向かって機台１に固定されている。ガントリー４をＸ方向に移動してアライメントカメラ６およびノズル７をこのカメラ８の上方に移動させてそれぞれの位置関係を検出する。カメラ８にはアライメントカメラ６との位置関係を検出するためのガラス面に十字マークを描いた基準治具を取り付け、この基準治具のマークをそれぞれのカメラで撮像して相互の位置関係を求める。ノズル７については中央の基準孔をカメラ８で直接撮像してその位置を検出する。このカメラ８で撮像した画像信号はアライメントカメラ６と同様に制御装置９の位置検出部１０に接続され、演算指令部１１にて相互の位置関係を算出する。なお、この基準位置カメラによる相互の位置検出は次に述べる装置の調整段階で行なう。

また、制御装置９の記憶部１３は、ガントリー４をＸ方向に移動したときのアライメントカメラ６およびノズル７の基準位置からのＸ方向およびＹ方向の変位を記憶する記憶手段のメモリである。この変位についても次に述べる図２に示す方法によりあらかじめ測定して記憶しておき、基板とノズルを相対位置合わせするときおよび塗布するときに演算指令部１１により読み出して用いる。

図２は、上述した塗布装置の初期調整と基板の位置関係を示した図である。この装置のカメラ８の視野中心を基準位置としてアライメントカメラ６とノズル７の基準位置合わせを行なう。図２（ａ）において、ガントリー４は図の下方にあって、アライメントカメラ６およびノズル７はそれぞれ初期位置にある。まず、カメラ８に図示しないガラス面に十字マークを描いた基準治具を取り付け、カメラ８の視野中心からのマーク中心のＸＹ位置を測定する。次に、ガントリー４をＸ軸方向に操作して治具のマーク上方にアライメントカメラ６を移動し、アライメントカメラ６の視野内にマークが入ったところで停止して、同様に視野中心からのマーク中心のＸＹ位置を測定する。この結果、カメラ８とアライメントカメラ６の位置関係が明確となる。そして次に、治具を外してガントリー４をＸ軸方向に操作し、カメラ８の上方にノズル７を移動する。カメラ８でノズル下面の基準孔を撮像して視野中心からのノズルの基準孔のＸＹ位置を測定する。以上の結果、ガントリーのＸ軸方向の操作量とノズル基準孔のＸＹ位置測定結果を基に、アライメントカメラ６とノズル７の位置関係が求められることになる。

ところで、このカメラ８を基準とする１点での初期調整については、従来の塗布装置における方法と同じである。この初期調整によりノズルと基板の相対位置合わせは可能となるので、従来技術においては、以降はテーブル面に基板を載置吸着固定して、アライメントカメラ６で基板の位置を検出し、テーブルのＹ・θ軸を操作してノズルと基板の相対位置合わせを行なった後、ノズルをＸ軸方向に走査してノズル孔からペーストを吐出することで、基板面に形成したリブの溝内に塗布を行なっていた。

ところが、この１点での初期調整だけでは、ガントリー４のＸ軸の真直度が悪いとアライメントカメラ６とノズル７の軌道にずれが生じる。この状況の模式図を図２（ｂ）のグラフに示した。このグラフはアライメントカメラ６の軌道を実線で、ノズル７の軌道を破線で基準点からの変位として表したものである。Ｙ方向の変位についてはＸ方向の変位に比べて非常に小さので、分かりやすくするため拡大表示している。ここで、アライメントカメラ６とノズル７のＹ方向の変位についてはＸ軸方向の移動量に対して同一変化するものとして同一形状の曲線で表しているが、それぞれの軌道は基準点で一致するよう位置合わせするため、Ｘ方向、Ｙ方向共にずれが生じる。基板２０との位置関係は破線で示したとおりで、アライメントカメラ６で基板の位置を検出した位置情報だけでノズルとの相対位置合わせを行なっても塗布位置はずれてしまうことになる。つまり、従来技術においては、Ｘ方向移動によるＹ方向の位置精度は機械の加工精度により確保してきたが、その対応にも限界があり、基板面に形成したリブの溝幅が狭いとペーストがリブからはみ出し、溝内に塗布できないという問題があった。

そこで本発明においては、このＸ軸方向の移動量に対するＸ方向，Ｙ方向の変位をあらかじめ測定して記憶しておき、基板とノズルを相対位置合わせするときにこの記憶した変位による補正を行なう。このＸ方向，Ｙ方向の変位をあらかじめ測定する方法は、図２の左側に示したように例えばレーザー干渉計１００により測定する。レーザー干渉計１００にはＸ方向，Ｙ方向の変位を検出するためのターゲット１０１を、その検出する部位のノズル７およびアライメントカメラ６に取り付け、ガントリー４を初期位置からノズル７を基準位置合わせする位置までＸ方向に移動させて測定する。このときのＸ軸方向の測定ピッチは全移動量の１／２００〜１／２０が好適で、Ｙ方向の変位が必要な精度で測定できればよい。こうして測定したデータを、アライメントカメラ６とノズル７のそれぞれを基準位置に合わせたときのＸ，Ｙ測定値を基準に、その位置からの変位として制御装置９の記憶部１３に記憶しておく。

図３は、この記憶データの一例を表にしたものである。ガントリーのＸ軸方向初期位置をゼロとして、アライメントカメラ６の基準位置合わせを行なうガントリーのカメラ基準位置は１２００ｍｍ、ノズル基準位置が１７００ｍｍのときの、それぞれの変位データを１０ｍｍピッチで測定記憶した例である。各変位データはそれぞれの基準位置における測定値をゼロとして、その位置からの変化分を変位として記憶する。従って、このデータからガントリーのＸ軸方向移動量つまり初期位置をゼロとしたＸ軸方向の位置におけるアライメントカメラ６とノズル７の変位が容易に取り出せることになる。なお、この変位の測定は、装置を設置した時点での精度確認や調整段階で行なえばよい。こうした装置は温度変化が少なく安定した環境の中で使うので、機械精度の経時的変化が少ないためであるが、定期的に測定してデータを更新することはより好ましい。

次に、図２（ｂ）の状態を基に位置合わせ方法の詳細について図４ないし図６を用いて説明する。
図４はアライメントカメラ６で基板の位置を検出して、アライメントカメラ６の軌道に位置合わせを行なう説明図である。図４（ａ）は、アライメントカメラ６の軌道と基板を検出した位置関係を示している。基板２０はアライメントマーク２０ａ，２０ｂがアライメントカメラ６をＸ方向に移動したときにその視野内に入る位置に吸着固定されていて、ガントリー４をＸ方向に移動してアライメントカメラ６をアライメント前位置およびアライメント後位置に移動させて、それぞれのカメラ視野中心からのマークの位置を測定する。図のｄｙ1およびｄｙ2はそれぞれの位置におけるＹ方向のずれ量を示す。このＹ方向のずれ量がゼロとなるように基板の角度とＹ方向の移動量を計算し、テーブルのθ軸とＹ軸を調整することでアライメントカメラ６に基板２０の位置合わせができる。なお、Ｘ方向の位置合わせについては、その位置情報を記憶しておき、塗布動作におけるガントリーのＸ方向への移動の塗布位置で調整する。この装置においては構成簡素化のためテーブルのＸ方向調整機構を省略しているためで、塗布位置の調整方法については後述する。

図４（ｂ）は基板をアライメントカメラ６に位置合わせした状態を示す。基板２０はアライメントカメラ６の軌道上の前後アライメント位置においてアライメントマークが合うように位置決めされる。しかし、前述したとおりこの状態では基板はノズルの軌道に合わないため、次に、あらかじめ測定して記憶しておいたアライメントカメラ６とノズル７のＹ方向変位を用いて位置決め位置を補正する。

図５は、この変位の補正を行なって基板をノズル７の軌道上に合わせる説明図である。図５（ａ）は図４（ｂ）の状態におけるアライメントカメラ６とノズル７の軌道および基準位置との関係を示した図である。
基板２０とノズルを位置合わせするには、基板２０のアライメントマークをノズル７の軌道上に移動すればよい。基板２０は既にアライメントカメラ６の軌道上のアライメント前後位置でアライメントマークが合うように位置決めされているので、このアライメント前後位置におけるアライメントカメラ６とノズル７のそれぞれのＹ方向変位の差ｄｙ３，ｄｙ４を移動すればよいことが分かる。

ここでこの変位の差を求める方法について、図３に戻って説明する。今、アライメント前位置におけるカメラとノズルの変位の差を求めるものとする。まず、アライメントカメラ６をアライメント前位置に移動したときのガントリーＸ軸方向の位置は分かるので仮に２００ｍｍであったとする。そこで記憶したデータからこの２００ｍｍの位置におけるアライメントカメラ６のＹ方向変位を読み出す。この位置におけるアライメントカメラ６のＹ方向変位は−０．０１２ｍｍである。次にノズルのＹ方向変位は、ノズルのＸ方向位置がこのアライメント前位置になったときの値とする必要があり、その位置となるのは、基準位置からのノズルのＸ方向変位がカメラのＸ方向変位と同じ値のときとなる。つまり、アライメントカメラ６のＸ軸方向位置２００ｍｍにおけるＸ方向変位は−１０００．００３ｍｍであり、ノズル７のＸ方向変位がこの値となるときのノズルのＹ方向変位を読み出す。しかし、記憶したデータの測定ピッチは１０ｍｍのためＸ方向変位は正確に一致しないので、最も近い値を抽出し−１０００．００６における値−０．００５ｍｍをノズルＹ方向変位とする。こうしてアライメントカメラ６とノズル７のＹ方向変位が求まるとその差ｄｙ３は０．００７ｍｍと求まる。同様に、アライメント後位置にガントリーを移動してＹ方向変位差ｄｙ４を求める。なお、この例においては、ピッチ毎のＹ方向変化量が微小となるようにデータを採取しているのでＸ方向変位を近似値として読み出したが、より正確に求める場合や、ピッチ間を大きくして測定した場合は、比例計算によりピッチ間のＸ方向，Ｙ方向の変位を求めるようにするのが好適である。以上の方法によって、ガントリーＸ軸方向の任意の位置におけるカメラとノズルのＹ方向変位の差が求められることになる。

次に図５に戻って、図５（ｂ）は図５（ａ）のＹ方向変位の差ｄｙ３，ｄｙ４がゼロとなるようにテーブルのＹ，θ軸を操作して基板の角度とＹ方向位置を移動した図である。基板２０はノズル７の軌道上の前後アライメント位置においてアライメントマークが合うように位置決めされ、カメラとノズルの変位差によるノズルと基板の位置合わせのずれが低減できることになる。

但し、基板はマーク２点で位置合わせを行なうので、この図５（ｂ）に示したように、マークを結ぶ直線とこの範囲内のノズルの軌道に偏りが生じる。そこで、この直線がノズルの軌道の中央となるように基板のＹ方向の位置を更に調整する。具体的には、アライメントマークを結ぶ直線からのノズルのＹ方向最大変位幅ｄｙ５を、記憶した変位と直線の傾きから求め、その中間位置へ直線が来るようにテーブルをＹ軸方向に移動することで基板とのズレを更に低減する。

ところで、このＸ方向の位置合わせについては、前述の通り塗布位置つまり塗布の開始位置および終了位置の調整により行なう。これらの位置は塗布のＸ軸方向の移動においてノズルからペーストを吐出する位置であり、基板のアライメントマークからの距離で指定する。従って、この時点でのＸ方向については、アライメントマークとガントリーＸ軸方向の位置関係を計算して、ガントリーＸ軸方向の塗布開始および終了位置に移動したときのカメラとノズルのＸ方向変位差を前述のＹ方向変位と同じ要領で求め、それぞれの位置の補正を行なう。ただ、こうしたペーストを吐出する塗布装置においては、塗布の開始および終了位置の要求精度は低く、問題ないときはＸ方向の補正を省略しても差し支えない。

以上のような手順で、基板とノズルの相対位置合わせが終了したら、ガントリーを一旦初期位置に戻し、ガントリーをＸ軸方向に走査させて、塗布開始位置でノズルからペーストを吐出するようノズル内を加圧し、塗布終了位置で停止するようノズル内圧力を制御することで、意図した位置に精度よく塗布することができる。

次に、本実施形態における別の塗布方法について説明する。この塗布方法においても、前述の実施形態における図４のアライメントカメラ６と基板２０の位置合わせまでは同一内容であり省略する。そこで図６に移って、図６（ａ）は、図４（ｂ）と同じ状態を示した図である。基板２０はアライメントカメラ６の軌道上の前後アライメント位置においてアライメントマークが合うように位置決めされている。この図において、アライメントマークを結ぶ直線からのノズル軌道のＹ方向ずれ量（図中に示した矢印幅）が分かれば、基板をその量だけＹ方向に移動することで、ノズルの軌道に正確に合うことが分かる。図６（ｂ）はその一状態を示した図で、塗布の略中間点において基板をＹ方向に移動させてノズル軌道と合ったところである。そこで、このＹ方向ずれ量をノズルのＸ方向移動位置毎に計算してＹ方向補正データとして記憶する。このＸ方向移動の間隔については、あらかじめ測定するノズルの変位測定ピッチと同じとするのが好適である。そして、移動位置毎にＹ方向補正データを計算記憶したら、ガントリーを初期位置に戻し、ガントリーをＸ軸方向に走査してノズルからペーストを吐出する塗布動作を行なう。このときＹ方向補正データを塗布走査のＸ軸方向移動に合わせて読み出し、テーブルをＹ軸方向に移動制御することにより基板の位置が補正され、意図した位置に精度よく塗布することができる。

以上、前記発明の実施の形態においては、カメラとノズルのＸ軸方向移動量に対するＸ方向，Ｙ方向の変位をあらかじめ測定したが、それぞれのＹ方向変位に差が少なく何れか一方のデータで代表できるときは、例えばカメラのデータを測定し、他方ノズルのデータについてはカメラのＸ方向変位にカメラとノズル間の距離を加算してデータとして記憶してもよい。また、データを記憶するときにカメラのＸ方向変位とノズルのＸ方向変位データが同じデータ行に並ぶようにシフトさせても良い。つまりカメラとノズルのＸ方向位置の差５００ｍｍをオフセットして記憶しておくと、Ｘ軸座標の値でカメラとノズルのＹ方向変位が読み出せるのでデータ抽出の簡略化ができる。

また、前記発明の実施の形態においては、基板の位置を検出するアライメントカメラ６をアライメントマークに合わせて１台の固定としたが、複数のアライメントマークのときは梁部に沿って移動可能としてもよく、マークの数に合わせて複数台配置してもよい。

本発明に係る一例の塗布装置の全体構成を示した概略平面図である。 塗布装置の初期調整と基板の位置関係を示した図である。 記憶データの一例を表にしたものである。 基板をアライメントカメラ６の軌道上に位置合わせする説明図である。 基板をノズル７の軌道上に位置合わせする説明図である。 別の塗布方法における基板の位置合わせの説明図である。

符号の説明

１ 機台
２ テーブル
３ Ｙ軸駆動部
３ａ，３ｂ Ｙ軸ガイドレール
４ ガントリー
５ Ｘ軸駆動部
５ａ，５ｂ Ｘ軸ガイドレール
６ アライメントカメラ
７ ノズル
８ カメラ
９ 制御装置
１０ 位置検出部
１１ 演算指令部
１２ 軸制御部
１３ 記憶部

Claims (5)

1. 基板を載置するテーブル、
   塗液を吐出するノズルおよび該基板上のアライメントマークを検出するアライメントカメラを取り付けたガントリー、
   該ガントリーを塗布方向に略直線状に移動する移動手段、ならびに
   該テーブルの塗布幅方向の位置およびテーブル面内の角度を調整する調整手段
   を有する塗布装置であって、
   さらに、
   予め複数のガントリー移動位置における該アライメントカメラの基準位置からの変位情報および該ノズルの基準位置からの変位情報を記憶する記憶手段と、
   該アライメントカメラを用いて該アライメントマークを検出した際のガントリー位置におけるアライメントカメラの基準位置からの変位情報およびノズルの基準位置からの変位情報に基づいて該ノズルと該アライメントマークの相対位置を演算し、その結果に基づき該ノズルと該基板の相対位置を調整する制御信号を該調整手段に送出する制御手段
   を有することを特徴とする塗布装置。
2. 請求項１に記載の塗布装置を用い、
   前記アライメントカメラを用いて前記アライメントマークを検出した際のガントリー位置における該アライメントカメラの基準位置からの変位情報および前記ノズルの基準位置からの変位情報に基づいて該ノズルと該アライメントマークの相対位置を演算し、
   その結果に基づき、基板上の意図した位置に塗布を行うよう該ノズルと前記基板の相対位置および角度を調整した後に、
   該ガントリーを塗布方向に略直線状に移動しながら該ノズルから塗液を吐出することによって該基板上に塗液を略直線状に塗布する塗布方法。
3. 前記アライメントカメラの基準位置からの変位情報として、予め前記アライメントカメラの基準位置からの塗布幅方向への変位情報を測定して記憶する請求項２に記載の塗布方法。
4. 前記ノズルの基準位置からの変位情報として、同じガントリー位置における前記アライメントカメラの基準位置からの塗布幅方向への変位情報を用いる請求項３に記載の塗布方法。
5. 前記ガントリーを塗布長手方向に略直線状に移動するとともに、該ガントリーの移動位置における前記ノズルの基準位置からの変位情報に基づいて、前記テーブルの塗布幅方向の位置を調整しながら前記ノズルから塗液を吐出する請求項２〜４のいずれかに記載の塗布方法。

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