JP2009204329A - 回路ボード検査システム及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】DUTボード上のDUTや通信デバイスの検証、DUTと通信デバイスの間の接続の検証、DUTボード上の搭載部品の接続の検証等を行えるようにすること。
【解決手段】テスタ60で被検査デバイスを検査する場合に使用する回路ボード10を検査する回路ボード検査システムであって、回路ボード10は、被検査デバイスを装着するソケット20が実装されるとともに、通信デバイス50が実装され、被検査デバイスの第1信号端子とテスタ60とを電気的に接続する配線11、12を有し、被検査デバイスの第1信号端子と電気的に接続されない第2信号端子と通信デバイス50の信号端子51、52とを電気的に接続する配線13、14を有し、回路ボード10を検査する際に被検査デバイスの代わりにショート基板30がソケット20に装着される。ショート基板30は、配線11、12と配線13、14を電気的に接続する短絡配線35、36を有する。
【選択図】図1
【解決手段】テスタ60で被検査デバイスを検査する場合に使用する回路ボード10を検査する回路ボード検査システムであって、回路ボード10は、被検査デバイスを装着するソケット20が実装されるとともに、通信デバイス50が実装され、被検査デバイスの第1信号端子とテスタ60とを電気的に接続する配線11、12を有し、被検査デバイスの第1信号端子と電気的に接続されない第2信号端子と通信デバイス50の信号端子51、52とを電気的に接続する配線13、14を有し、回路ボード10を検査する際に被検査デバイスの代わりにショート基板30がソケット20に装着される。ショート基板30は、配線11、12と配線13、14を電気的に接続する短絡配線35、36を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、テスタで被検査デバイスを検査する場合に使用する回路ボードを検査する回路ボード検査システム及び検査方法に関する。
LSI(Large Scale Integration)の多機能化、大規模化、高速化に伴い、LSIの全機能をLSIテスタの機能だけで検証することは難しくなっており、LSIテスタが高価になってきている。そのため、LSIテスタを高機能化するのではなく、LSIテスタとLSI等のDUT(Device Under Test;被検査デバイス)の間にDUTを装着することが可能なDUTボードを用いることで、検査コストの低減が図られている。このようなDUTボードにおいては、LSIテスタとDUTを電気的に接続するDUTボード上にCPU(Central Processing Unit)やメモリといった種々の通信デバイスを搭載し、通信デバイスとDUTを通信させて、DUTの機能を検証する場合が増えている。このような背景により、DUTボードの構成が従来に比べ飛躍的に複雑になる場合がある。なお、通常のDUTボードでは、DUTの信号端子とLSIテスタの信号端子が配線を通じて接続されているだけであり、その接続が正しいか否かは、LSIテスタの測定機能を用いて行われる。
しかしながら、種々の通信デバイスを搭載した複雑なDUTボードの場合、通信デバイスが所望の機能を有するか否か、DUTと通信デバイスの間の配線接続が正しいか否かは、通信デバイスの信号端子がLSIテスタの信号端子に接続されていないため、その検証が困難である。
また、DUTと通信デバイスの間の配線に、LSIテスタの機能を用いて通信デバイスの機能が正しいか否か、2つのデバイスが相互に接続されているか否かを検証するための回路を挿入することは、DUTボードの複雑化、高コスト化を招くことになる。さらに、DUTと通信デバイスの間の通信が高速である場合には、この回路によりDUTと通信デバイスの間の信号波形の劣化を招くため、現実上ほぼ不可能になってきている。
また、通信デバイス自体が所望の機能を有しているか否かを検証するためには、通信デバイス専用のDUTボードが必要となる場合もあり、高コストの要因となる。
なお、DUTボードやその検査方法に関する従来技術として、特許文献1では、複数のIC装着用ソケットを有するバーンインボードのテストを行うためのプローブが開示されている。このプローブは、ソケットに装着される被試験用IC搭載用パッケージと同様のパッケージを有しており、パッケージの所定の端子間が導通接続されている。このようなプローブをIC装着用ソケットに装着することで、バーインボードの内部配線の確認、搭載部品の確認を行っている。
また、特許文献2では、プリント基板と半導体集積回路装置の外部端子との接続の検査を容易に行う技術が開示されている。この半導体集積回路装置には、半導体集積回路装置の外部端子と接続する入力端子と出力端子とを内部回路を経由して接続するか、あるいは遮断するかを決定するスイッチング回路が設けられている。このような半導体集積回路装置をプリント基板に実装することにより、簡単な導通テスタを用いて単なる入力端子と出力端子の間の抵抗測定レベルを測定することで、接続検証を行っている。
しかしながら、特許文献1、2に記載の技術では、DUTや通信デバイスの検証を行うことができないとともに、DUTと通信デバイスの間の接続の検証を行うことができず、ボード上の搭載部品(終端抵抗や電源フィルター)の接続の検証を行うことができず、パラメータ測定を行うことができない。
本発明の主な課題は、DUTボード上のDUTや通信デバイスの検証、DUTと通信デバイスの間の接続の検証、DUTボード上の搭載部品の接続の検証、パラメータ測定を行えるようにすることである。
本発明の第1の視点においては、テスタで被検査デバイスを検査する場合に使用する回路ボードを検査する回路ボード検査システムであって、前記回路ボードは、前記被検査デバイスを着脱可能に装着するソケットが実装されるとともに、1又は複数の通信デバイスが直接又は間接的に実装され、前記被検査デバイスの第1信号端子と前記テスタとを電気的に接続する複数の第1配線を有し、前記被検査デバイスの前記第1信号端子と電気的に接続されない第2信号端子と前記通信デバイスの信号端子とを電気的に接続する複数の第2配線を有し、前記回路ボードを検査する際に前記被検査デバイスの代わりにショート基板が前記ソケットに装着され、前記ショート基板は、前記第1配線と前記第2配線を電気的に接続する短絡配線を有することを特徴とする。
本発明の第2の視点においては、テスタで被検査デバイスを検査する場合に使用する回路ボードを検査する回路ボード検査方法であって、前記テスタにて、前記回路ボードに装着されたショート基板のタイプを認識する工程と、前記テスタにて、認識された前記ショート基板のタイプに応じて、前記回路ボードと当該回路ボートに実装された通信デバイスとの電気的接続、又は前記通信デバイスの機能を検証する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明の第3の視点においては、テスタで実行されるプログラムであって、前記回路ボード検査方法の各工程をテスタで実行させることを特徴とする。
本発明によれば、回路ボードに実装された種々の部品の論理動作の検証、接続確認、パラメータ確認を、テスタの測定機能を用いて、高速に行うことができる。また、本発明によれば、回路ボード上の検査対象となる配線に検証用回路やテスタ信号端子を付加する必要がなく、テスト動作時の信号劣化を起こさず、特性に影響を与えることがなく、回路ボードの面積のオーバヘッドがない。さらに、本発明によれば、テスタで実行されるプログラムでショート基板が装着されたことや、装着されたショート基板の種類を特定できるため、量産の環境においても、テスタ用のソフトウェアをロードしなおしすることなしに回路ボードの検証が可能となり、量産のスループット低下を招かない。
本発明の実施形態に係る回路ボード検査システムでは、テスタ(図1の60)で被検査デバイスを検査する場合に使用する回路ボード(図1の10)を検査する回路ボード検査システムであって、前記回路ボード(図1の10)は、前記被検査デバイスを着脱可能に装着するソケット(図1の20)が実装されるとともに、1又は複数の通信デバイス(図1の50)が直接又は間接的に実装され、前記被検査デバイスの第1信号端子と前記テスタ(図1の60)とを電気的に接続する複数の第1配線(図1の11、12)を有し、前記被検査デバイスの前記第1信号端子と電気的に接続されない第2信号端子と前記通信デバイス(図1の50)の信号端子(図1の51)とを電気的に接続する複数の第2配線(図1の13、14)を有し、前記回路ボード(図1の10)を検査する際に前記被検査デバイスの代わりにショート基板(図1の30)が前記ソケット(図1の20)に装着され、前記ショート基板(図1の30)は、前記第1配線(図1の11、12)と前記第2配線(図1の13、14)を電気的に接続する短絡配線(図1の33、34)を有する。
本発明の実施形態に係る回路ボード検査方法では、テスタで被検査デバイスを検査する場合に使用する回路ボードを検査する回路ボード検査方法であって、前記テスタにて、前記回路ボードに装着されたショート基板のタイプを認識する工程(図2のステップA2)と、前記テスタにて、認識された前記ショート基板のタイプに応じて、前記回路ボードと当該回路ボートに実装された通信デバイスとの電気的接続、又は前記通信デバイスの機能を検証する工程(図2のステップA3)と、を含む。
本発明の実施例1に係る回路ボード検査システムについて図面を用いて説明する。図1は、本発明の実施例1に係る回路ボード検査システムの構成を示した模式図である。
回路ボード検査システムは、回路ボードとなるDUTボード10を検査するシステムであり、ショート基板30(又はDUT;Device Under Test;被検査デバイス)及び通信デバイス50を搭載したDUTボード10とLSIテスタ60が電気的に接続されている。
DUTボード10は、テスト時にショート基板30(又はDUT)及び通信デバイス50を搭載するための回路ボードである。DUTボード10には、ショート基板30(又はDUT)を着脱可能に装着するためのソケット20と、通信デバイス50を着脱可能に装着するためのソケット40と、が実装されている。DUTボード10には、ソケット20の端子21、22とLSIテスタ60の間を電気的に接続する配線11、12を有するとともに、ソケット20の端子23、24とソケット40の端子41、42の間を電気的に接続する配線13、14を有する。DUTボード10には、BOST(Built-Out Self Test)用のボードなど、種々の電子部品を搭載した回路基板を用いることができる。
配線11、12は、検査時にDUT(又はショート基板30)とLSIテスタ60の間の通信を行うために用いられる配線である。配線11、12は、DUTボード10内に形成されており、DUTボード10とLSIテスタ60の間の外部配線を介してLSIテスタ60と電気的に接続される。
配線13、14は、検査時にDUT(又はショート基板30)と通信デバイス50の間の通信を行うために用いられる配線である。配線13、14は、ソケット20の端子23、24とソケット40の端子41、42の間を電気的に接続する。配線13、14は、DUTボード10内に形成されている。
ソケット20は、ショート基板30(又はDUT)を着脱可能に装着するためのソケットである。ソケット20は、DUTボード10上に実装されており、ショート基板30(又はDUT)の信号端子31、32、33、34のそれぞれと対応する位置に端子21、22、23、24を有する。端子21は、ショート基板30(又はDUT)の信号端子31と接触し、配線11、外部配線を介してLSIテスタ60と電気的に接続されている。端子22は、ショート基板30(又はDUT)の信号端子32と接触し、配線12、外部配線を介してLSIテスタ60と電気的に接続されている。端子23は、ショート基板30(又はDUT)の信号端子33と接触し、配線13を介してソケット40の端子41と電気的に接続されている。端子24は、ショート基板30(又はDUT)の信号端子34と接触し、配線14を介してソケット40の端子42と電気的に接続されている。
ショート基板30は、ソケット20の端子21、22のそれぞれと対応する端子23、24を短絡するように配線された基板であり、DUT(図示せず)の代わりに用いられる。ショート基板30は、LSI等のDUT(Device Under Test;被検査デバイス;図示せず)と同様な大きさで構成されており、ソケット20に対して着脱可能に装着される。ショート基板30は、ソケット20の端子21、22、23、24と対向する面にボール状の信号端子31、32、33、34が取り付けられている。ショート基板30は、信号端子31、短絡配線35、及び信号端子33により配線11と配線13を短絡して電気的に接続するとともに、信号端子32、短絡配線36、及び信号端子34により配線12と配線14を短絡して電気的に接続する。
ソケット40は、通信デバイス50を着脱可能に装着するためのソケットである。ソケット40は、DUTボード10上に実装されており、通信デバイス50の信号端子51、52と対応する位置に端子41、42を有する。端子41は、配線13を介してソケット20の端子23と電気的に接続されている。端子42は、配線14を介してソケット20の端子24と電気的に接続されている。
通信デバイス50は、CPU(Central Processing Unit)やメモリといった通信機能を有するデバイスである。通信デバイス50は、ソケット40に対して着脱可能に装着される。通信デバイス50は、ソケット40の端子41、42のそれぞれと対向する面にボール状の信号端子51、52が取り付けられている。
LSIテスタ60は、DUT、通信デバイス50、DUTボード10をテストする装置である。LSIテスタ60は、外部配線を介してDUTボード10と電気的に接続されている。LSIテスタ60は、デバイス電源ユニット61と、信号端子検査ユニット62、63と、を有する。
デバイス電源ユニット61は、配線(図示せず)やDUTボード10を介してDUT、通信デバイス50に電源を供給するユニットである。
信号端子検査ユニット62は、DUTの信号端子や通信デバイス50の信号端子51を検査するためのユニットである。信号端子検査ユニット62は、スイッチユニット62aと、ドライバ62bと、コンパレータ62cと、測定ユニット62dと、を有する。スイッチユニット62aは、配線11とドライバ62b及びコンパレータ62cとの接続/遮断を切り換えるスイッチと、配線11と測定ユニット62dとの接続/遮断を切り換えるスイッチと、を有するユニットである。ドライバ62bは、検査時にテスト信号、クロック信号などの駆動信号(論理信号)を出力する回路ユニットであり、スイッチユニット62aと電気的に接続されている。コンパレータ62cは、検査時に駆動信号に応答してDUT、通信デバイス50から送信された結果と期待値を比較する回路ユニットである。測定ユニット62dは、DUT、通信デバイス50の電圧等のパラメータを測定するユニットである。
信号端子検査ユニット63は、DUTの信号端子や通信デバイス50の信号端子52を検査するためのユニットである。信号端子検査ユニット63は、スイッチユニット63a、ドライバ63bと、コンパレータ63cと、測定ユニット63dと、を有する。スイッチユニット63aは、配線12とドライバ63b及びコンパレータ63cとの接続/遮断を切り換えるスイッチと、配線12と測定ユニット63dとの接続/遮断を切り換えるスイッチと、を有するユニットである。ドライバ63bは、検査時にテスト信号、クロック信号などの駆動信号(論理信号)を出力する回路ユニットであり、スイッチユニット63aと電気的に接続されている。コンパレータ63cは、検査時に駆動信号に応答してDUT、通信デバイス50から送信された結果と期待値を比較する回路ユニットである。測定ユニット63dは、DUT、通信デバイス50の電圧等のパラメータを測定するユニットである。
なお、DUTについては、図示されていないが、DUTをソケット20に装着した時には、配線13、14とLSIテスタ60とは接続されず、LSIテスタ60の測定機能を用いて測定することはできないが、ショート基板30をソケット20に装着することにより、配線13が、ソケット20の端子23、ショート基板30の信号端子33、短絡配線35、信号端子31、ソケット20の端子21、配線11、外部配線を介して、LSIテスタ60の信号端子検査ユニット62に接続され、配線14は、ソケット20の端子24、ショート基板30の信号端子34、短絡配線36、信号端子32、ソケット20の端子22、配線12、外部配線を介してLSIテスタ60の信号端子検査ユニット63に接続される。この際、DUTとLSIテスタ60間の信号配線の本数が、検査すべき信号配線や、部品数よりも少ない場合は複数種類のショート基板30を用意することにより、全ての検査対象をLSIテスタ60に接続可能とする。
次に、本発明の実施例1に係る回路ボード検査システムの動作について図面を用いて説明する。図2は、本発明の実施例1に係る回路ボード検査システムの動作を模式的に示したフローチャートである。なお、回路ボード検査システムの各構成については、図1を参照されたい。
まず、図1のように、DUTボード10において通信デバイス50をソケット40に装着した状態で、ショート基板30をソケット20に装着する(ステップA1)。これにより、配線13が、ソケット20の端子23、ショート基板30の信号端子33、短絡配線35、信号端子31、ソケット20の端子21、配線11、外部配線を介してLSIテスタ60の信号端子検査ユニット62にインピーダンス制御、配線長制御可能に接続される。また、配線14が、ソケット20の端子24、ショート基板30の信号端子34、短絡配線36、信号端子32、ソケット20の端子22、配線12、外部配線を介してLSIテスタ60の信号端子検査ユニット63にインピーダンス制御、配線長制御可能に接続される。
なお、LSIテスタ60は、図示されていない複数の信号端子検査ユニットを有する場合は、図1と同様に、対応する通信デバイス50の複数の信号端子と電気的に接続することになる。また、DUTとLSIテスタ60間の接続信号本数が、検査すべき信号配線や、部品数よりも少ない場合は複数種類のショート基板を用意することにより、全検査対象をLSIテスタ60に接続することが可能となる。
次に、LSIテスタ60は、ショート基板判別用のソフトウェア(テストプログラム)を実行し、ショート基板30のタイプ(内部配線)を識別する(ステップA2)。
なお、通常、複数種類のショート基板30が存在する場合、それぞれのショート基板用のソフトウェアが必要になり、ショート基板30にあわせて、ソフトウェアの再ロード、または、外部フラグなどによる制御が必要となるが、実施例1では、ショート基板30自体に、その種類を自動認識する機能を付加しているため、ソフトウェア内にショート基板判定機能、フロー制御機能を持たせることが可能となり、ソフトウェアの再ロード、外部フラグなどによる制御を不要とし、DUTボードの検査時間を短縮している。
次に、LSIテスタ60は、ステップA2で識別されたショート基板30のタイプ(内部配線)に応じて、実行すべきソフトウェア(DUTボード検証プログラム)を実行する(ステップA3)。DUTボード検証プログラムを実行することで、信号端子検査ユニット62、63におけるドライバ62b、63bから通信デバイス50に駆動信号(論理信号)を入力し、信号端子検査ユニット62、63におけるコンパレータ62c、63cで通信デバイス50の出力信号を観測することで、通信デバイス50の論理的な機能検証を行う。例えば、DUTの検証に使用する通信デバイス50の機能検証、または、ソケット20と通信デバイス50との接続/接触抵抗の検証、または、ボード上の搭載部品(終端抵抗や電源フィルター;図示せず)の接続検証、パラメータ測定を行う。
なお、DUTボード検証プログラムを実行したときの具体的な電気的測定方法は、DUTをLSIテスタ60に接続して実施する既知の方法を用いる。例えば、信号端子検査ユニット62については、測定ユニット62dから定電流(例えば1mA)で印加を行い、発生した電圧測定を行う。これにより、信号端子検査ユニット62は、外部配線、配線11、ソケット20の端子21、ショート基板30の信号端子31、短絡配線35、信号端子33、ソケット20の端子23、配線13、ソケット40の端子41を介して通信デバイス50の信号端子51に電気的に接続されるので、通信デバイス50内の保護ダイオード素子等の特性を測定することが可能となる。また、信号端子検査ユニット63についても同様に、測定ユニット63dから定電流(例えば1mA)で印加を行い、発生した電圧測定を行う。これにより、信号端子検査ユニット63は、外部配線、配線12、ソケット20の端子22、ショート基板30の信号端子32、短絡配線36、信号端子34、ソケット20の端子24、配線14、ソケット40の端子42を介して通信デバイス50の信号端子52に電気的に接続されるので、通信デバイス50内の保護ダイオード素子等の特性を測定することが可能となる。また、信号端子検査ユニット62、63での測定結果に基づいて、ソケット20、配線14、ソケット40、通信デバイス50の接続確認(Open/Short)、接触・配線抵抗の測定を行う。
次に、LSIテスタ60は、ステップA3での各種検証・測定の結果と、予め設定された期待値とを比較して判定を行う(ステップA4)。なお、ステップA4においては、Pass/Fail判定をしないで、LSIテスタ60のLog採取機能によりファンクションLog、DC測定の実測値Logを得るようにしてもよい。
期待値から外れた場合(ステップA4のFail)、LSIテスタ60は、DUTボード30を不良と判定する(ステップA5)。その後、終了する。
一方、期待値から外れなかった場合(ステップA4のPass)、LSIテスタ60は、全てのショート基板30を使用したか確認する(ステップA6)。全てのショート基板30を使用していない場合(ステップA6のNO)、ステップA1に戻る。
全てのショート基板30を使用した場合(ステップA6のYES)、LSIテスタ60は、DUTボード10を正常と判定する(ステップA7)。
次に、図2のステップA2におけるショート基板30のタイプの自動識別動作について図面を用いて説明する。図3は、本発明の実施例1に係る回路ボード検査システムのショート基板のタイプの自動識別動作を説明するための模式図である。
例えば、信号端子間の短絡配線が図3のように配線された3種類のショート基板30A、30B、30Cを用意する。Pa、Pb、Pcは、LSIテスタ(図1の60)のシグナル端子(図示せず)に接続され、DPS1、DPS2はLSIテスタ(図1の60)の電源端子(図示せず)に接続される。ショート基板のタイプの識別時に、例えば、DPS1に0Vを印加し、かつ、DPS2に1Vを印加しておき、シグナル端子Pa、Pb、Pcの電位を測定することにより、現在挿入されているショート基板が30A、30B、30CのいずれかであることをLSIテスタ(図1の60)のソフトウェアで識別可能である。
図3のケースでは、Pa=0V、Pb=0V、Pc=0Vのときに、ショート基板30Aはショート基板−1と識別される。Pa=0V、Pb=0V、Pc=1Vのときに、ショート基板30Bはショート基板−2と識別される。Pa=0V、Pb=1V、Pc=1Vのときにショート基板30Cはショート基板−3と識別される。
実施例1によれば、DUTボード10に実装された種々の部品の論理動作の検証、接続確認、パラメータ確認を、LSIテスタ60の測定機能を用いて、高速に行うことができる。また、LSIテスタ60に直接接続されないDUTボード10の配線13、14をLSIテスタ60にインピーダンス制御、配線長制御可能なショート基板30の短絡配線35、36で接続することが可能となるため、DUTの検証に使用する通信デバイス50の機能検証、ソケット20、ソケット40と通信デバイス50との接続/接触抵抗の検証、ボード上の搭載部品(終端抵抗や電源フィルター)の接続検証、パラメータ測定を行うことができる。
また、実施例1によれば、DUTボード10上の検査対象となる配線13、14に検証用回路やテスタ信号端子を付加する必要がなく、テスト動作時の信号劣化を起こさず、特性に影響を与えることがなく、DUTボード10の面積のオーバヘッドがない。
また、実施例1によれば、DUTとソケット20間の接続など接触の状態により、その抵抗値が変動するような部分についても、DUTのテスト時と同一の状態を再現してDUTボード10の測定が可能となる。
さらに、実施例1によれば、LSIテスタ60で実行されるプログラムでショート基板30が装着されたことや、装着されたショート基板30の種類を特定できるため、量産の環境においても、テスタ用のソフトウェアをロードしなおしすることなしにDUTボード10の検証が可能となり、量産のスループット低下を招かない。
また、実施例1によれば、通信デバイス50をソケット40に挿入した状態、または実装した状態のまま検査が可能である。また、ハンディーテスタのプローブの接触抵抗による影響が無く、実使用状態での検査が可能である。ボード検査のために、LSIテスタ60の信号端子を消費する必要がない。さらに、通信デバイス30の論理検証を行う際に、通信デバイス検証用のボードが不要となる。
本発明の実施例2に係る回路ボード検査システムについて図面を用いて説明する。図4は、本発明の実施例2に係る回路ボード検査システムの構成を示した模式図である。
実施例2では、DUTボード10においてソケット40の直下の配線13、14間に配された終端抵抗15の特性を測定するようにしたものである。その他の構成は、実施例1と同様である。
図4のように、DUTボード10において通信デバイス50をソケット40に装着した状態で、ショート基板30をソケット20に装着することにより、配線13が、ソケット20、ショート基板30、配線11、外部配線を介してLSIテスタ60の信号端子検査ユニット62に接続され、また、配線14が、ソケット20、ショート基板30、配線12、外部配線を介してLSIテスタ60の信号端子検査ユニット63に接続される。この状態で、信号端子検査ユニット62のドライバ62cから定電圧を印加し、信号端子検査ユニット63の測定ユニット63dから定電流印加(例えば、1mA)を行い、発生した電圧測定を行うことにより配線11、12、ソケット20、ショート基板30、配線13、14を介し、ソケット40の直下の終端抵抗15の特性を測定することが可能となる。
実施例2によれば、ショート基板30の設計の工夫により、2つ以上の配線13、14間の終端抵抗15の特性もLSIテスタ60の測定機能を用いて測定することが可能となる。
本発明の実施例3に係る回路ボード検査システムについて図面を用いて説明する。図5は、本発明の実施例3に係る回路ボード検査システムの構成を示した模式図である。
実施例3では、DUTボード70において、電源フィルタ75を有し、ショート基板30を着脱可能に装着するためのソケット20が実装されている。DUTボード70には、ショート基板30の信号端子31とLSIテスタ60の信号端子検査ユニット62とを電気的に接続する配線71を有し、電源フィルタ75のコイルとLSIテスタ60のデバイス電源ユニット61とを電気的に接続する配線72を有し、電源フィルタ75のコンデンサ及び接地とデバイス電源ユニット61とを電気的に接続する配線73を有し、ショート基板30の信号端子33と電源フィルタ75のコイル及びコンデンサとを電気的に接続する配線74を有する。ショート基板30の信号端子31、33間は、ショート基板30において短絡配線35を介して電気的に接続されている。その他の構成は、実施例1と同様である。
図5のように、ショート基板30をソケット20に装着することにより、電源フィルタ75が、配線74、ソケット20、ショート基板30、配線71を介してLSIテスタ60の信号端子検査ユニット62に接続される。また、電源フィルタ75は、配線72、73を介してLSIテスタ60のデバイス電源ユニット61に接続されている。この状態で、デバイス電源ユニット61から定電圧を印加し、信号端子検査ユニット62の測定ユニット62dから定電流印加(例えば1mA)を行い、発生した電圧測定を行う。これにより配線71、DUTソケット20、ショート基板30を介し、DUTボード70におけるソケット20近傍の電源フィルタ75の特性を測定することができる。
(比較例)
次に、DUTの検証に使用する通信デバイスの機能検証、DUT用ソケットと通信デバイスとの接続/接触抵抗の検証、ボード上の搭載部品(終端抵抗や電源フィルター)の接続検証、パラメータ測定に関する比較例について図面を用いて説明する。図6は、比較例1に係る回路ボード検査システムの構成を示した模式図である。図7は、比較例2に係る回路ボード検査システムの構成を示した模式図である。
次に、DUTの検証に使用する通信デバイスの機能検証、DUT用ソケットと通信デバイスとの接続/接触抵抗の検証、ボード上の搭載部品(終端抵抗や電源フィルター)の接続検証、パラメータ測定に関する比較例について図面を用いて説明する。図6は、比較例1に係る回路ボード検査システムの構成を示した模式図である。図7は、比較例2に係る回路ボード検査システムの構成を示した模式図である。
従来のような種々の通信デバイスを搭載した複雑なDUTボードにおいて、LSIテスタに直接接続される配線は、DUTボードにDUTを装着することで、接続の確認、配線抵抗の測定が行える。しかしながら、LSIテスタの信号端子に直接接続されない配線や部品は、そのままではLSIテスタの機能を用いて検査することができない。このような、配線や部品を検査する回路ボード検査システムとして、以下のものが考えられる。
比較例1として、図6に示すようにLSIテスタに接続されていないDUT130用のソケット120と通信デバイス150用のソケット140の間の配線113の接続確認、配線抵抗の測定を行うためには、DUT130、通信デバイス150をそれぞれ、ソケット120、ソケット140から取り外し、ハンディーテスタ160等を用いて、抵抗を計測することにより行うことが考えられる。
しかしながら、比較例1(図6参照)には、主に以下の4つの問題がある。
第1に、DUTボード110においては配線113のような配線が1000本に及ぶ場合があり、検査時間が膨大になる。
第2に、通信デバイス150をソケット140に実装した状態では、測定不可能なため、通信デバイス150とソケット140間の接触の確認は不可能である。また、同様に、通信デバイス150をソケット140を用いずに、直接DUTボード110に半田付け実装した場合も実装が正しく行われているかの確認は不可能である。
第3に、ハンディーテスタ160のプローブ161、162の端子122、141への当たり方は、DUT130や通信デバイス150をそれぞれのソケット120、140に装着した場合とは、接触状態が大きく異なるため、実測定時の抵抗値を再現し、測定することができない。
第4に、通信デバイス150の機能検証ができない。
そこで、これらの問題点を解決する手法として、比較例2(図7参照)のような回路ボード検査システムが考えられる。比較例2では、DUT230の端子233と通信デバイス250の端子251との間の配線213の接続確認を行うため、リレー216、217を配線213に挿入している。また、リレー216、217間の配線213は、リレー218を介してLSIテスタ260の信号端子検査ユニット263と接続している。DUT230、通信デバイス250をそれぞれのソケット220、240に装着し、DUT230の端子233とLSIテスタ260の測定ユニット263dとを配線213、リレー216、配線213、リレー218、配線219、スイッチユニット263aを介して接続している。このとき、リレー217は、通信デバイス250と配線219を切り離している。このような状態で、測定ユニット263dにて、DUT230の信号端子233のダイオード特性を測定することで、配線213とDUT230の接続確認、配線抵抗の測定を行う。次に、リレー217、218は、通信デバイス250とLSIテスタ260の測定ユニット263dを配線219を介して接続する。このとき、リレー216は、DUT230と配線219は切り離す。このような状態で、測定ユニット263dにて、通信デバイス250の信号端子251のダイオード特性を測定することで、配線213とDUT230の接続確認、配線抵抗の測定を行う。また、上記にように通信デバイス250とLSIテスタ260を接続する配線が複数本存在する場合、配線219とLSIテスタ260のドライバ263b、コンパレータ263cとがスイッチユニット263aによって接続されるため、LSIテスタ260の論理動作検証機能を使用することにより、通信デバイス250の動作検証を行う。DUT230と通信デバイス250を通信させ、DUT230の検証を行う場合は、リレー216、217をクローズにし、リレー218をオープンとする。このような手法により、比較例1の第1〜第4の問題点が解決される。
しかしながら、比較例2(図7参照)では、別の問題として、以下の3つの問題が発生する。
第1に、配線213において、リレー213への配線がスタブとなり、高速信号を伝達する場合には、波形の歪を引き起こし、DUT230の検証に影響を及ぼす。
第2に、配線213間にリレー216、217を配置する必要があるため、配線スペースに余裕がない場合は設計の難易度が高くなる。
第3に、配線213の検査のために、LSIテスタ260の信号端子検査ユニット263を必要とする。ただし、図7において、配線211と配線219をリレーを介して接続するような設計を行えば、この限りではない。
以上のような比較例1、2の問題点を解決すべく、上記実施例1〜3を発明するに至った。
10 DUTボード(回路ボード)
11、12 配線(第1配線)
13、14 配線(第2配線)
15 終端抵抗
20 ソケット
21、22、23、24 端子
30、30A、30B、30C ショート基板
31、32、33、34 信号端子
35、36 短絡配線
40 ソケット
41、42 端子
50 通信デバイス
51、52 信号端子
60 LSIテスタ
61 デバイス電源ユニット
62、63 信号端子検査ユニット
62a、63a スイッチユニット
62b、63b ドライバ
62c、63c コンパレータ
62d、63d 測定ユニット
70 DUTボード(回路ボード)
71 配線(第1配線)
72、73 配線(第2配線)
74 配線
75 電源フィルタ
110 DUTボード(回路ボード)
111、112、113、114 配線
115 抵抗
120 ソケット
121、122 端子
130 DUT
140 ソケット
141 端子
150 通信デバイス
160 ハンディーテスタ
161 +極プローブ
162 −極プローブ
210 DUTボード(回路ボード)
211、213、219 配線
216、217、218 スイッチ
220 ソケット
230 DUT
231、233 信号端子
240 ソケット
250 通信デバイス
251 信号端子
260 LSIテスタ
261 デバイス電源ユニット
262、263 信号端子検査ユニット
262a、263a スイッチユニット
262b、263b ドライバ
262c、263c コンパレータ
262d、263d 測定ユニット
11、12 配線(第1配線)
13、14 配線(第2配線)
15 終端抵抗
20 ソケット
21、22、23、24 端子
30、30A、30B、30C ショート基板
31、32、33、34 信号端子
35、36 短絡配線
40 ソケット
41、42 端子
50 通信デバイス
51、52 信号端子
60 LSIテスタ
61 デバイス電源ユニット
62、63 信号端子検査ユニット
62a、63a スイッチユニット
62b、63b ドライバ
62c、63c コンパレータ
62d、63d 測定ユニット
70 DUTボード(回路ボード)
71 配線(第1配線)
72、73 配線(第2配線)
74 配線
75 電源フィルタ
110 DUTボード(回路ボード)
111、112、113、114 配線
115 抵抗
120 ソケット
121、122 端子
130 DUT
140 ソケット
141 端子
150 通信デバイス
160 ハンディーテスタ
161 +極プローブ
162 −極プローブ
210 DUTボード(回路ボード)
211、213、219 配線
216、217、218 スイッチ
220 ソケット
230 DUT
231、233 信号端子
240 ソケット
250 通信デバイス
251 信号端子
260 LSIテスタ
261 デバイス電源ユニット
262、263 信号端子検査ユニット
262a、263a スイッチユニット
262b、263b ドライバ
262c、263c コンパレータ
262d、263d 測定ユニット
Claims (6)
- テスタで被検査デバイスを検査する場合に使用する回路ボードを検査する回路ボード検査システムであって、
前記回路ボードは、
前記被検査デバイスを着脱可能に装着するソケットが実装されるとともに、
1又は複数の通信デバイスが直接又は間接的に実装され、
前記被検査デバイスの第1信号端子と前記テスタとを電気的に接続する複数の第1配線を有し、
前記被検査デバイスの前記第1信号端子と電気的に接続されない第2信号端子と前記通信デバイスの信号端子とを電気的に接続する複数の第2配線を有し、
前記回路ボードを検査する際に前記被検査デバイスの代わりにショート基板が前記ソケットに装着され、
前記ショート基板は、
前記第1配線と前記第2配線を電気的に接続する短絡配線を有することを特徴とする回路ボード検査システム。 - 前記回路ボードは、前記第2配線間に終端抵抗を有することを特徴とする請求項1記載の回路ボード検査システム。
- 前記回路ボードは、
電源フィルタを実装するとともに、
前記被検査デバイスの第3信号端子と前記テスタとを電気的に接続する第3配線を有し、
前記電源フィルタと前記テスタとを電気的に接続する第4配線を有し、
前記被検査デバイスの前記第3信号端子と電気的に接続されない第4信号端子と前記電源フィルタとを電気的に接続する第5配線を有し、
前記回路ボードを検査する際に前記被検査デバイスの代わりに第2ショート基板が前記ソケットに装着され、
前記第2ショート基板は、
前記第3配線と前記第5配線を電気的に接続する短絡配線を有することを特徴とする請求項1又は2記載の回路ボード検査システム。 - テスタで被検査デバイスを検査する場合に使用する回路ボードを検査する回路ボード検査方法であって、
前記テスタにて、前記回路ボードに装着されたショート基板のタイプを認識する工程と、
前記テスタにて、認識された前記ショート基板のタイプに応じて、前記回路ボードと当該回路ボートに実装された通信デバイスとの電気的接続、又は前記通信デバイスの機能を検証する工程と、
を含むことを特徴とする回路ボード検査方法。 - 前記テスタにて、検証結果と、予め設定された期待値とを比較して判定を行う工程と、
前記期待値から外れた場合、前記テスタにて、前記回路ボードを不良と判定する工程と、
前記期待値から外れた場合、前記テスタにて、全ての種類のショート基板で検証したか否かを確認する工程と、
全ての種類のショート基板で検証した場合、前記テスタにて、前記回路ボードを正常と判定する工程と、
を含むことを特徴とする請求項4記載の回路ボード検査方法。 - 請求項4又は5記載の回路ボード検査方法の各工程をテスタで実行させることを特徴とするプログラム。
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