JP2009073714A

JP2009073714A - ガラス基板の切断装置

Info

Publication number: JP2009073714A
Application number: JP2007246797A
Authority: JP
Inventors: Takaaki Shirai; 孝明白井; Toshiaki Ikuta; 利章生田
Original assignee: Shirai Tech Ltd
Current assignee: Shirai Tech Ltd
Priority date: 2007-09-25
Filing date: 2007-09-25
Publication date: 2009-04-09
Anticipated expiration: 2027-09-25
Also published as: JP5492375B2

Abstract

【課題】カッタにより入れる切断線の正確なラインを保障するようにする。
【解決手段】ガラス基板を保持する旋回手段２付テーブル３の走行路の直上を横切るガイドレール２２に横移動手段によりそれぞれが左右方向にスライドするように設けた複数のスライダと、この各スライダに昇降手段２４により昇降するように設けたカッタと、上記各スライダに上記ガラス基板の各スクライブ位置マークａ及びアライメントマークを読み取るように搭載したカメラ３１とからなり、上記カメラによるアライメントマークの読み取りにともなう加工ずれ量を旋回手段によりテーブルを旋回させ、又カメラによるスクライブマークと上記カッタでの短い試し切り線との読み取りにともなうスクライブ加工ずれ量を横移動手段により補正位置に上記スライダを移動させるように連動させる。
【選択図】図１

Description

この発明は、大判な液晶パネルなどのガラス基板に製品サイズの小割り用の切断線を同時に多数本入れる切断装置に関する。

大判な液晶パネルのガラス基板から一度に多数枚の製品サイズの基板を同時に得ることで生産性を上げることができる。

上記目的を達成するために、往復走行するテーブル上に大判なガラス基板を載置したのち、テーブルを走行させながら、テーブルの走行路の直上に左右に所定の間隔を在して並ぶ複数のカッタの降下によりガラス基板の表面（上面）に一度に多数条の平行する小割用の切断線を入れる。この小割用切断線は、Ｘ軸方向のみ或いはＸ軸方向及びＹ軸方向に入れる。

そして、並列各カッタは、製品サイズの寸法に見合うように数値制御により間隔を調整することができるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
特開平１１−３４３１３３号公報

上記特許文献１の板ガラスの切断方式によると、大判なガラス基板から一度に多数枚の製品サイズの基板を同時に得る切断線を入れて生産性を向上することができる。

ところで、特許文献１の切断方式では、初期の段階において、マザー基板に試し切り（切断線を入れる）を行ない、試し切りした各切断線がスクライブ位置にあるか、ないかの確認を行ない、切断線がスクライブ位置にない場合カッタの位置調整を行なう。又このカッタの位置調整には、順次ガラス基板を供給して切断線を入れることにより行う。

しかしながら、試し切りを行なうと、大判で高額なマザー基板を用いるので、無駄に行なって不必要な出費になる問題が発生した。

また、切断線が変更するその都度試し切りを行なうので、大幅な出費になる以外にスクライブ位置の確認作業などにより機械の稼働率が著しく低下する問題もあった。

そこで、この発明は、上述の問題を解消したガラス基板の切断装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、この発明は、往復走行するように設けた走行体と、この走行体上に旋回手段により平面上で旋回すると共に、載置した大判なガラス基板を保持するように設けたテーブルと、このテーブルの走行路の直上を横切るガイドレールに横移動手段によりそれぞれが左右方向にスライドするように設けた複数のスライダと、この各スライダに昇降手段により昇降するように設けたカッタと、上記各スライダに上記ガラス基板の各スクライブ位置マーク及びアライメントマークを読み取るように搭載したカメラとからなり、上記カメラによるアライメントマークの読み取りにともなう加工ずれ量を旋回手段によりテーブルを旋回させ、又カメラによるスクライブマークと上記カッタでの短い試し切り線との読み取りにともなうスクライブ加工ずれ量を横移動手段により補正位置に上記スライダを移動させるように連動させた構成を採用する。すると、設定された位置の線上に切断を入れることができる。

以上のように、この発明のガラス基板の切断装置によれば、カメラによってアライメントマークの読み取りにともなうガラス基板の左右両辺縁に対する加工ずれ量を、旋回手段によりテーブルを旋回させて補正し、又カッタを降下し、かつテーブルを若干走行させてガラス基板に入れた短い試し切り線とスクライブマークとをカメラによってそれぞれ読み取り、読み取りにともなうスクライブマークに対する試し切り線とのずれ量を、横移動手段によりスライダを左又は右方向にスライドさせて補正するので、マザー基板を用いての試し切りが不要になる。

このため、大判で高価なマザー基板を使用したための無駄な出費をなくすることができると共に、試し切りと、その後のスクライブ位置の確認のために発生した機械の大幅な稼働率が低下するような問題もなくすることができる。

以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。

この発明の実施形態では、図１から図６に示すように、往復走行する走行体１上には、旋回手段２により平面上で旋回するとと共に、載置した大判なガラス基板Ａを保持するテーブル３が設けてある。

上記走行体１の往復走行は、図示の場合、敷設した二条のレール４に走行体１の両側下面に設けてあるスライダ５をスライド自在に係合すると共に、レール４間に配置して両端を回動自在に軸承した雄ネジ６に走行体１の下面に取り付けてある雌ネジ７をねじ込み、第１モータ８の運転により雄ネジ６を可逆駆動して走行体１を前後方向に走行させるようにしたが、限定されず、その他の構成により前後方向に走行させてもよい。

上記の旋回手段２は、図示の場合、走行体１上に可逆モータを据え付けて、この可逆モータの出力軸をテーブル３の下面中心に固定したが、限定されない。

上記テーブル３上に載置するガラス基板Ａの保持は、テーブル３をボックスとしてボックス内を吸引し、ボックスの頂壁に多数の連通小孔３５を設けて、吸引により保持するようにしてある。

その際、テーブル３上の１つのコーナーを挟む二辺のピン９にガラス基板Ａの辺縁を当接させて位置決めするようにしてある。

さらに、テーブル３の走行路を横切る水平材２１の両端間にガイドレール２２を設けて、このガイドレール２２に複数のスライダ２３をスライド自在に係合し、この各スライダ２３には、シリンダなどの昇降手段２４により昇降するカッタ２５が設けてある。

そして、各スライダ２３は、横移動手段２６により単独に左右方向に移動できるようになっている。

上記の横移動手段２６は、図示の場合、水平材２１の略全長にラック２７を敷設して、各スライダ２３のベース２８に据え付けてある第２モータ２９の出力軸に固定したピニオン３０を噛み合わせ、第２モータ２９の可逆運転によりスライダ２３を左方向、右方向にスライドさせるようにしてある。

そして各カッタ２５の近傍には、ベース２８に据え付けたカメラ３１が設けてある。

このカメラ３１は、横移動手段２６により両サイドのスライダ２３をガラス基板Ａの上面両側角のアライメントマークａの位置に移動させて、アライメントマークａを読み取り、又ガラス基板Ａの上面に設けてあるスクライブマークＢ及び各カッタ２５によりガラス基板Ａの辺縁部上面に入れた短い試し切り線Ｃを読み取る。
図中４１はカッタ２５の昇降をガイドするガイド手段である。

上記のように構成すると、テーブル３上に液晶パネルのガラス基板Ａを載置し、走行体１を往復走行させて、カメラ３１によりガラス基板Ａの四角のアライメントマークＢを読み取り、読み取りにともなう加工ずれ量をカメラ３１に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて制御装置により旋回手段２を運転してテーブル３を時計、反時計方向に補正量に応じた角度旋回させる。

また、ガラス基板Ａに対向する両側二辺の縁間にカッタ２５により切断線を入れる（スクライブ）前に、まずテーブル３と共に保持ガラス基板Ａを若干前方に走行させる。

このとき、昇降手段２４により各カッタ２５を降下させて図４に示すガラス基板Ａの必要とする辺縁部の表面に印刷してある各スクライブマークＢの手前の（スライブマークＢから外れた）部分に図５や図６に示す短い試し切り線Ｃを入れ、試し切り線Ｃを入れたのち、昇降手段２４により各カッタ２５を上昇復帰させる。

このとき、各カメラ３１によってスクライブマークＢと試し切り線Ｃとを読み取り、読み取りにともなう試し切り線ＣがスクライブマークＢの設定された正規の位置（図５に示す）にあるか、図６に示すように不正規の位置にあるかを検知し、検知にともなう不正規の位置にカッタ２５のスライダ２３を横移動手段２６により（第２モータ２９の運転により）ずれ量に見合う修正をして正規の位置に微動させる（補正する）。

上記の補正方式は、カメラ３１に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて制御装置により第２モータ２９を正転、逆転運転する。

しかして、走行体１を前進走行させながら、テーブル３上のガラス基板Ａに昇降手段２４により下降させてあるカッタ２５により切断線を入れる。

なお、切断線は、同様の手順をへて前の切断線間にも単数、複数回入れることができ、又テーブル３と共に保持状態のガラス基板Ａを９０°旋回させて、直角に交差する切断線を入れることができる。

なお、周知のようにガラス基板Ａの厚み（板厚）に応じてカッタ２５の降下量、すなわちスクライブ深さを決定する。

また、カッタ２５が守備範囲のアライメントマークａに対してアライメントマークａを基準として設定ｍｍ移動し、その時のずれ量＋ｍｍを記憶し、次に２線目のスクライブマークＢ位置に移動し、その時のずれ量−ｍｍ、３線目のずれ量＋ｍｍの各ずれ量を演算装置に送って補正値を演算してスクライブマークＢ中心値に位置決めできるようにする。

すなわち、上記の移動値、ずれ量で各スクライブマークＢ位置を読み、誤差分の補正値を入れて次にカッタ２５を動かすと、スクライブマークＢの中心にカメラ３１の中心が合うことになる。

この考えで各カッタ２５の移動値を読み取り、上記の方法で補正をかけることにより、それぞれのカッタ２５位置全てがスクライブマークＢ基準値の位置に位置決めできる。

その後再度カッタ２５がスクライブマークＢ位置に移動してその位置でガラス基板Ａの１部分にスクライブラインを入れる。

なお、上記の条件ができて各カッタ２５が１本目のスクライブ完了後実際にスクライブができているかの確認をしてもよい。

この発明の実施形態を示す平面図。同上の側面図。同要部を示す縦断拡大側面図。ガラス基板の平面図。試し切り線とスクライブマークとの関係を示す拡大平面図。試し切り線とスクライブマークとの関係を示す拡大平面図。

符号の説明

Ａガラス基板
ａアライメントマーク
Ｂスクライブマーク
Ｃ試し切り線
１走行体
２旋回手段
３テーブル
４レール
５スライダ
６雄ネジ
７雌ネジ
８第１モータ
９ピン
２１水平材
２２レール
２３スライダ
２４昇降手段
２５カッタ
２６横移動手段
２７ラック
２８ベース
２９第２モータ
３０ピニオン
３１カメラ

Claims

往復走行するように設けた走行体と、この走行体上に旋回手段により平面上で旋回すると共に、載置した大判なガラス基板を保持するように設けたテーブルと、このテーブルの走行路の直上を横切るガイドレールに横移動手段によりそれぞれが左右方向にスライドするように設けた複数のスライダと、この各スライダに昇降手段により昇降するように設けたカッタと、上記各スライダに上記ガラス基板の各スクライブ位置マーク及びアライメントマークを読み取るように搭載したカメラとからなり、上記カメラによるアライメントマークの読み取りにともなう加工ずれ量を旋回手段によりテーブルを旋回させ、又カメラによるスクライブマークと上記カッタでの短い試し切り線との読み取りにともなうスクライブ加工ずれ量を横移動手段により補正位置に上記スライダを移動させるように連動させたことを特徴とするガラス基板の切断装置。