JP2007098564A

JP2007098564A - 研磨装置

Info

Publication number: JP2007098564A
Application number: JP2006214811A
Authority: JP
Inventors: Akira Shirai; 明白井
Original assignee: Shirai Tech Ltd
Current assignee: Shirai Tech Ltd
Priority date: 2005-09-08
Filing date: 2006-08-07
Publication date: 2007-04-19
Also published as: KR20060095920A

Abstract

【課題】ガラス基板のサイズに応じて荷受けの変更が簡単に行えるガラス基板の辺縁を研磨する研磨装置を提供する。
【解決手段】進退走行手段Ａにより進退走行する走行体１と、この走行体のセンタ部分に旋回手段Ｂにより旋回するように設けた荷受けガラス基板Ｘの吸引保持機能付のテーブル７と、このテーブル上の対向二辺側にガイド手段により接近、離反走行するように設けた二本の並列するガラス基板受けステージ１３と、この両ステージを接近、離反走行させるスライド走行手段Ｅと、上記走行体の走行路の両側に設けたガラス基板の辺縁研磨用の回路砥石２１とからなり、上記のテーブル或いはステージのいずれか片方を昇降手段により昇降させる。
【選択図】図１

Description

この発明は、ガラス基板の辺縁を研磨する研磨装置に関する。

ガラス基板の辺縁を研磨するには、まず前後方向に走行する走行体の保持台上にガラス基板を載置すると共に、吸引方式によってガラス基板を保持する。

次に、保持台を前方に走行させながら、走行路の両側に配置してある回転砥石によりガラス基板の二辺の辺縁を研磨する。

研磨後に前進した走行体が停止すると、保持台と共にガラス基板を９０度旋回させたのち、後方に保持台と共に後方にガラス基板を走行させる。

このとき、走行路の両側の回転砥石によりガラス基板の残る二辺の辺縁を研磨する（特許文献１）。

ところで、特許文献１の構造によると、ガラス基板を載置（荷受け）するステージのサイズ（平面積）は、ガラス基板のサイズ（板面積）よりも小さくして、ガラス基板の研磨辺縁をステージの辺縁から突出するようになっている。

この要因は、研磨回転砥石とステージの辺縁との衝突を回避することにある。

すると、ガラス基板のサイズにより前記サイズに応じてステージが必要になると共に、ステージの取り替えが必要になる問題が発生した。

そこで、ガラス基板のサイズ載置（荷受け）が最小から最大迄１台のテーブルで行なうようにしたテーブルがある（特許文献２）。
特許第３４７００５７号公報特開２００４−２４３４１１号公報

ところで、特許文献２の構造によると、ガラス基板のサイズに応じて最小主テーブルのみ、或いは主テーブルの各辺から伸びるアームに副テーブルブロックを取付けて、小さいサイズから大きいサイズ迄の加工に１台で対応できるようにしてある。

すると、サイズの変更にともない副テーブルブロックを撤去し、又副テーブルブロックを一々取付けるので、段取り替えに手数がかかると共に、長時間かかって大幅な能率の低下になる問題があった。

そこで、この発明は、ガラス基板のサイズに応じて荷受けの変更が極めて簡単に行なえるようにしたものである。

そして、ガラス基板の辺縁研磨の面取り幅（量）に誤差が発生しないようにする。

上記の課題を解決するために、この発明は、進退走行手段により進退走行する走行体と、この走行体のセンタ部分に旋回手段により旋回するように設けた荷受けガラス基板の吸引保持機能付のテーブルと、このテーブルの対向二辺側にガイド手段により接近、離反走行するように設けた二本の並列するガラス基板受けステージと、この両ステージを接近、離反走行させるスライド走行手段と、上記走行体の走行路の両側に設けたガラス基板の辺縁研磨用の回路砥石とからなり、上記のテーブル或いはステージのいずれか片方を昇降手段により昇降させるようにした構成を採用する。

また、走行体と吸引保持機能付のテーブルとの間に上記吸収保持機能付のテーブルのθ軸補正手段を介在し、カメラによってガラス基板のアライメントマークを読み取って辺縁面取り幅の誤差の修正を行なうように上記θ軸補正手段を運転するように連動させた構成を採用する。

さらに、進退走行手段により進退走行する走行体と、この走行体上にθ軸補正手段を介し設けた荷受けガラス基板の吸引保持機能付のテーブルと、このテーブル上の対向二辺側にガイド手段により接近離反走行するように設けた二本の並列するガラス基板受けステージと、この両ステージを接近、離反走行させるように設けたスライド走行手段と、上記走行体の走行路の両側に設けたガラス基板の辺縁研磨用の回転砥石と、上記走行体の前進停止位置の走行路の直上と前記走行路から外れる退避位置との間で移動手段により移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降して上記テーブル上のガラス基板を吸引保持するように設けた吸引保持手段と、この吸収保持手段を旋回させるように設けた旋回手段とからなり、カメラによってガラス基板のアライメントマークを読み取って辺縁面取り幅の誤差の修正を行なうように上記θ軸補正手段を運転するように連動させた構成を採用する。

以上のように、この発明の研磨装置によれば、走行体の前進走行の途中でステージ上に荷受けし、かつテーブル上に吸引保持してあるガラス基板の二辺縁を回転砥石により研磨し、走行体の前進後テーブルを上昇させ、かつ９０度旋回によってガラス基板を旋回させたのち、テーブルを降下させてステージ上にガラス基板を荷受けし、或いはステージを上昇させてテーブル上のガラス基板を荷受けしてステージを降下した後、走行体の後退走行の途中でガラス基板の残る二辺縁を回転砥石により研磨するので、ガラス基板の四辺縁の研磨を能率よく行なうと共に、ガラス基板のサイズに応じて平行するステージを接近或いは離反させて、ガラス基板のサイズに応じた荷受けが可能になる。

このため、ガラス基板のサイズに応じたテーブルの交換が不要になる。

特にガラス基板が長方形の場合、走行体の前進時と後退時との研磨に際し、一方で短辺縁の研磨を、他方で長辺縁の研磨を行なうことができると共に、ガラス基板の旋回にともなう移動辺縁（例えば、短辺から長辺の研磨位置の変更による）の位置変更に際してもステージの位置変更によりガラス基板を荷受けできる。

また、ガラス基板のアライメントマークをカメラにより読み取って、θ軸補正手段によりガラス基板の吸引保持機能付のテーブルを時計、反時計方向に回転させながら面取り幅（量）に誤差が発生しないような修正を行なう。

このため、幅の均一な面取り加工（精度の良い）ができると共に、角度誤差の自動修正が可能になり、従来のような誤差の修正を、まず吸引による吸引保持を解いてガラス基板の旋回補正後、角度吸引保持する手間のかかる工程が不要になり、かつ完全な誤差修正ができないための精度の悪い面取り加工になるなどの問題をなくすることができる。

さらに、走行体のテーブル上に保持させてあるガラス基板のアライメントマークをカメラにより読み取ってガラス基板の角度補正を必要とする場合、θ軸補正手段によりテーブルと共に吸引保持ガラス基板を旋回させて補正し、又、二辺縁の研磨後前進走行停止時のガラス基板の直上に移動体を移動させたのち、テーブル上の吸引保持の解除されたガラス基板を昇降手段により降下させた吸引保持手段により吸引保持して荷受けし、次いで昇降手段によりガラス基板と共に吸引保持手段と共に荷受けしたガラス基板を上昇させたのち、旋回手段により吸引保持手段と共にガラス基板を９０度旋回させ、その後にテーブル上にガラス基板を荷受けさせて吸引保持させたのち、走行体を後退走行させ、次いで走行体を前進させながら前進走行途中にカメラによるアライメントマークの読み取り、補正を必要とする場合の補正手段によるテーブルの旋回、回転砥石による残る二辺の研磨をするので、幅の均一な（精度の良い）面取り加工ができ、又移動体の移動を利用してガラス基板のテーブル上への供給や、面取り加工ずみガラス基板の取り下ろしもできる。

この発明の第１の実施形態を添付図面に基づいて説明する。

この発明の第１の実施形態では、図１から図６に示すように、進退走行手段Ａにより走行体１が進退走行するようになっている。

上記の進退走行手段Ａは、図示の場合、前後方向に敷設したレール２と、走行体１の下面両側に設けてレール２にスライド自在に係合したスライダ３と、レール２に平行して定位置で回転するように設けた雄ネジ４と、走行体１の下面に取付けて雄ネジ４にねじ込んだ雌ネジ５と、雄ネジ４を可逆駆動する第１モーター６とで構成され、第１モーター６の正転、逆転運転により走行体１を前進、後退させるようにしたが、限定されず、その構成によって走行体１を進退走行させることもある。

また、走行体１上のセンタには、昇降手段Ｂにより昇降し、かつ旋回手段Ｃにより旋回する荷受けガラス基板Ｘの吸引保持機能付のテーブル７が設けてある。

上記のテーブル７は、図示の場合頂壁に無数の吸引小孔８を有するボックスにより形成され、テーブル７内を吸引して、テーブル７上に載置したガラス基板Ｘを吸引保持するようにしてあり、昇降手段Ｂは、図示の場合走行体１上にシリンダ９を介しテーブル７を据え付けて、シリンダ９の伸長、収縮により昇降するようにしてあり、旋回装置Ｃは、図示の場合、テーブル７の下部外周に設けてある歯部１０に第２モーター１１により駆動する歯車１２を噛み合わせ、第２モーター１１の運転によりテーブル７を旋回させるようにしたが、その他の方式で昇降、旋回させることもある。

さらに、テーブル７の対向二辺側には、ガイド手段Ｄにより接近、離反走行する二本の並列するガラス基板Ｘの荷受けステージ１３、１３が設けてある。

上記のステージ１３、１３は、荷受け上面が水平な角材を用い、走行体１上に走行方向に対し直角に交差する二条のガイドレール１４を設けて、このガイドレール１４、１４にステージ１３、１３の両端部下面に設けてあるスライダ１５をスライド自在に係合させてある。

また並列する両ステージ１３、１３は、スライド走行手段Ｅにより接近、離反スライドさせるようにしてある。

上記のスライド走行手段Ｅは、図示の場合、第３モーター１６により定位置で可逆駆動する雄ネジ１７と、この雄ネジ１７にねじ込んでステージ１３、１３に取付けた雌ネジ１８とで構成され、第３モーター１６の可逆運転により面ステージ１３、１３を接近、離反方向にスライドさせるようにしたが、その他の方式によってスライドさせてもよい。

さらに、走行体１の走行路の両側には、ガラス基板Ｘの二辺の上角のみ、或いは上角と下角を研磨する回転砥石２１、２１が設けてある。

勿論、回転砥石２１、２１の左右の対向間隔は、周知のようにガラス基板Ｘの二辺（研磨縁）間の寸法に応じて数値制御により調整するようになっている。例えば、特許文献１の方式を採用する。

図中２２は、走行体１上のステージ１３、１３間に上面がステージ１３の上面と面一になるように設けた補正ステージで、この補正ステージ２２により荷受けしたガラス基板Ｘの自量による歪の発生を防止する。

上記のように構成すると、図７に示すように後退停止している走行体１のステージ１３上にガラス基板Ｘを載置して荷受け（図３に示す）する。

このとき、面ステージ１３、１３は、ガラス基板Ｘのサイズによって第３モーター１６の運転により接近又は離反方向にスライドさせて、荷受けに最適な位置に移動させて調整しておく。

また、図４に示すようにテーブル７内を吸引して、テーブル７上にガラス基板Ｘを吸引保持する。

次に第１モーター６の正転運転により雄ネジ４をドライブして、前方に向け走行体１と共にガラス基板Ｘを走行させながら、図４に示すように回転砥石２１、２１によってガラス基板Ｘの走行方向に沿う二辺縁を研磨する。

そして、走行体１が前方で停止すると、テーブル７による吸引を維持しながら、まず昇降手段Ｂによりテーブル７と共にガラス基板Ｘを図５に示すように上昇させ、次いで旋回手段Ｃによりテーブル７と共にガラス基板Ｘを９０度旋回させたのち、昇降手段Ｂによりテーブル７と共にガラス基板Ｘを降下させて、図６に示すようにステージ１３、１３上にガラス基板Ｘを荷受けする。

このとき、両ステージ１３、１３は、ガラス基板Ｘの辺縁の長さに応じて（例えば、走行体１の前進時の長辺受架に対し、旋回後の受架辺縁が短辺になると）、両ステージ１３、１３を接近方向にスライドさせて、最適な荷受け位置に調整する。

しかして、旋回後に第１モーター６の逆転運転により走行体１を後方に向け走行させながら、図６に示すように走行途中に、回転砥石２１、２１によりガラス基板Ｘの残る二辺縁を研磨する。

研磨したガラス基板は、テーブル７により吸引保持を解除して取り下ろす。

なお、前述の実施例（図示の場合）では、テーブル７を昇降手段Ｂにより昇降させるようにしたが、テーブル７には、旋回手段Ｃにより旋回機能のみを付与し、ステージ１３に昇降機能（例えばステージ１３と雌ネジ１８との間にシリンダを介在するなどの方法で）を付与して、同目的を達成するようにしてもよい。

また、回転砥石２１は、Ｖ溝砥石、カップ砥石、マルチ砥石などを使用する。

この発明の第２の実施形態では、図８、９、１０に示すように、第１の実施形態の走行体１と吸引保持機能付のテーブル７との間には、テーブル７のθ軸補正手段Ｋが介在してある。

上記のθ軸補正手段Ｋとしては、可逆運転する第４モーター３１が用いられ、図示の場合走行体１とシリンダ９との間に介在して、シリンダ９と共にテーブル７を時計、反時計方向に修正に必要な角度旋回させるようにしたが、限定されず、例えばシリンダ９とテーブル７との間に配置してもよい。要するに修正に必要な角度、ガラス基板Ｘを旋回させればよい。

また、θ軸補正手段Ｋとしての第４モーター３１の運転は、走行体１の走行路の上側左右に配置してある対のカメラＰ₁、Ｐ₂によって走行途中のガラス基板Ｘの両側コーナーのアライメントマークＹを読み取って、この読み取りにともなうガラス基板Ｘの走行方向前後のアライメントマークＹのずれ量を接続された演算装置によって計算し、その計算にもとづいて制御装置によって第４モーター３１を可逆運転して、ガラス基板Ｘの吸引保持ずみのテーブル７を時計、反時計方向に旋回させる。

この旋回させる要因は、旋回角度誤差の修正にともない回転砥石２１による面取り加工幅が、面取り加工開始側と面取り終了側とで差異がない均一な加工を行なって、精度の悪い加工による不良品の発生をなくすることにある。

上記のカメラＰ₁、Ｐ₂は、ガラス基板Ｘの幅、すなわち、左右のアライメントマークＹの対向（左右）距離によって位置調整ができるようにしてある。

上記の位置調整は、図８、９、１０に示すように、走行体１の走行路の上を横切るフレーム３２を設けて、このフレーム３２の全長に設けてあるガイドレール３３に左右面ベース３４のスライダ３５をスライド自在に係合すると共に、フレーム３２の全長に沿わせて定位置でフリーに回転するように軸承した中間から片端に右ネジを、中間からもう片端に左ネジを設けた雄ネジ３６に左右両ベース３４にそれぞれ保持させた一方の雌ネジ３７を雄ネジ３６の右ネジに、他方の雌ネジ３７を雄ネジ３６の左ネジにそれぞれはじ込み、両ベース３４にカメラＰ₁、Ｐ₂を据え付けておく。

そして、第５モーター３７によって雄ネジ３６を可逆駆動して、ベース３４と共にカメラＰ₁、Ｐ₂をアライメントマークＹの位置に見合う（合致するように）ように接近、離反に移動させるようにしてある。

この発明の第３の実施形態では、図１１、１２に示すように、進退走行手段Ａによって走行体１が進退走行するようになっている。

上記の進退走行手段Ａは、第１の実施形態と同様につき構成、進退走行方法の説明を省略する。

また、走行体１上には、荷受けするガラス基板Ｘの吸引保持機能付のテーブル７が設けてあり、テーブル７の対向二辺側には、ガイド手段Ｄにより接近、離反走行する二本の並列するガラス基板Ｘの荷受けステージ１３、１３が設けてあり、両ステージ１３、１３は、スライド走行手段Ｅにより接近、離反スライドするようにしてある。

上記の吸引保持機能付のテーブル７、上記のステージ１３、１３のスライドのガイド手段Ｄ及びスライド走行手段Ｅは、第１の実施形態と同様につき構成や作用の説明を省略する。

そして、回転砥石２１は、Ｖ滑砥石、カップ砥石、マルチ砥石などを使用する。

なお、第１の実施形態と同様に補正ステージ２２を設けて、荷受けしたガラス基板Ｘの自重による歪の発生を防止する。

また、走行体１の前進停止した走行路の直上と走行路から外れる退避位置との間で移動手段Ｆにより移動する移動体Ｇを設ける。

上記の移動手段Ｆは、図示の場合移動体Ｇのベース４１に設けてあるスライダ４２をスライド自在に係合した水平なレール４３と、このレール４３の両端に両端がフリーに回転するように軸承した雄ネジ４４と、ベース４１に支持させて雄ネジ４４にねじ込んだ雌ネジ４５と、雄ネジ４４を可逆駆動する第６モーター４６とで構成され、第６モーター４６の可逆運転で移動体Ｇを前進停止したテーブル７の直上と、直上から外れる退避位置との間で進退走行させるようにしたが、その他の構成、例えばドライブ機能付のピニオンとラックとの噛み合いや、伸縮アームなどによって同目的を達成するようにしてもよい。

さらに、移動体Ｇには、昇降手段Ｂによって昇降し、かつ回転軸線が垂直な９０度の旋回手段Ｃによって旋回すると共に、テーブル７上のガラス基板Ｘを荷受けする吸引保持機能付のパット４７が設けてある。

上記の旋回手段Ｃは、図示の場合ベース４１の下面に旋回モーター４８を据え付け、昇降手段Ｂは、図示の場合旋回モーター４８とパット４７との間にシリンダ４９を介在して設けたが、旋回モーター４８とシリンダ４９の上下の配置に逆にすることもあり、図示のように対向側をスライド自在に嵌装した筒体と軸材とからなるガイド部材５０の相反する両面をベース４１とパット４７とに固定して、パット４７のフリーな回転を止めるようになっている。

なお、パット４７の吸引保持機能は、パット４７の底壁に無数の小孔（図示省略）を有するボックスを使用し、ボックス内を吸引してパット４７の下面にガラス基板Ｘを吸引して保持するようになっている。

また、走行体１の走行路の上側左右に対のカメラＰ₁、Ｐ₂を配置して、このカメラＰ₁、Ｐ₂によってテーブル７上の吸引保持ガラス基板Ｘの上面のコーナーのアライメントマークＹを読み取るようになっている。

上記カメラＰ₁、Ｐ₂及び左右のアライメントマークＹの直上にカメラＰ₁、Ｐ₂を合致させる接近離反方向の移動は、第２の実施形態と同様につき図示及び構成、作用の説明を省略する。

上記読み取りにともなうガラス基板Ｘの走行方向前後のアライメントマークＹのずれ量を接続された演算装置によって計算し、計算にもとづいて修正する。

上記の修正は、走行体１のテーブル７の下側に据え付けてある第２の実施形態と同様のθ軸補正手段Ｋとしてのモーター３１を時計、反時計方向にずれ量に応じた角度運転して、テーブル７と共に吸引保持のガラス基板Ｘを旋回させて行なう。

研磨後のガラス基板Ｘと共にテーブル７が前進位置で停止すると、ガラス基板Ｘの直上で停止している移動体Ｇのパット４７を昇降手段Ｂの運転により降下させて、テーブル７上のガラス基板Ｘにパット４７を当接すると共に、まずテーブル７側の吸引を解除し、次いでパット４７側を吸引して、マット４７にガラス基板Ｘを吸引保持させたのち、昇降手段Ｂの運転によってテーブル７上からガラス基板Ｘを浮上させる。

その後に、旋回手段Ｃのモーター４８の９０度運転によりガラス基板Ｘを旋回させ、旋回後に昇降手段Ｂの運転によってパット４７と共にガラス基板Ｘを降下させて、テーブル７上にガラス基板Ｘを載置したのち、テーブル７にガラス基板Ｘを吸収保持し、次いでパット４７によるガラス基板Ｘの吸引を解除したのち、昇降手段Ｂの運転によってパット４７を上昇させる。

しかるのち、テーブル７を後退させ、後退後前進させる。

この前進時に前述のようにカメラＰ₁、Ｐ₂によってアライメントマークＹを読み取り、読み取りにともなうずれ量を、上述のようにθ軸補正手段Ｋのモーター３１を運転して修正し、そして回転砥石２１によって残る二辺縁を面取り加工する。すると、各辺縁の面取り幅を均一化する。

走行体１の前進が終了すると、ガラス基板Ｘ上にパット４７を昇降手段Ｂにより降送して、パット４７にガラス基板Ｘを吸引保持させ、テーブル７によるガラス基板Ｘの吸引保持を解除する。

その後に昇降手段Ｂによってガラス基板Ｘと共にパット４７を上昇させたのち、移動手段Ｆの運転によって搬出コンベヤＳ上にガラス基板Ｘを移送し、移送後に昇降手段Ｂにより搬出コンベヤＳ上にガラス基板Ｘを吸引（パット４７側の）を解除して移載する。なお、テーブル７上へのガラス基板Ｘの供給もパット４７を利用して行うこともできる。

なお、前記第２、第３の実施形態のエッジ面取り量（面取り幅）の均一なθ軸旋回補正を行なうためのカメラＰ₁、Ｐ₂によるアライメントマークＹの読み取りは、例えば特願２００２−３７９５０５号や特願２００５−２２３５９３号の方式を採用して行なう。

この発明の第１の実施形態を示す平面図である。同上の縦断正面図である。同縦断側面図である。ガラス基板の吸引保持を示す縦断正面図である。ガラス基板の旋回を示す縦断正面図である。ガラス基板の残る二辺の研磨を示す縦断正面図である。作用工程図である。第２の実施形態を示す平面図である。同上の縦断拡大正面図である。同一部切欠大側面図である。第３の実施形態を示す縦断拡大側面図である。同縦断正面図である。

符号の説明

Ａ進退走行手段
Ｂ昇降手段
Ｃ旋回手段
Ｄガイド手段
Ｅスライド走行手段
Ｘガラス基板
Ｙアライメントマーク
１走行体
２レール
３スライダ
４雄ネジ
５雌ネジ
６第１モーター
７テーブル
８小孔
９シリンダ
１０歯部
１１第２モーター
１２歯車
１３ステージ
１４ガイドレール
１５スライダ
１６第３モーター
１７雄ネジ
１８雌ネジ
２１回転砥石
Ｋ θ軸補正手段
Ｐ₁、Ｐ₂ カメラ
３１第４モーター
３２フレーム
３３ガイドレール
３４ベース
３５スライダ
３６雄ネジ
３７第５モーター
Ｆ移動手段
Ｇ移動体
４１ベース
４２スライダ
４３レール
４４雄ネジ
４５雌ネジ
４６第６モーター
４７パット
４８旋回モーター
４９シリンダ
５０ガイド部材

Claims

進退走行手段により進退走行する走行体と、この走行体のセンタ部分に旋回手段により旋回するように設けた荷受けガラス基板の吸引保持機能付のテーブルと、このテーブルの対向二辺側にガイド手段により接近、離反走行するように設けた二本の並列するガラス基板受けステージと、この両ステージを接近、離反走行させるスライド走行手段と、上記走行体の走行路の両側に設けたガラス基板の辺縁研磨用の回路砥石とからなり、上記のテーブル或いはステージのいずれか片方を昇降手段により昇降させるようにしたことを特徴とする研磨装置。
前記走行体と吸引保持機能付のテーブルとの間に上記吸収保持機能付のテーブルのθ軸補正手段を介在し、カメラによってガラス基板のアライメントマークを読み取って辺縁面取り幅の誤差の修正を行なうように上記θ軸補正手段を運転するように連動させたことを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
進退走行手段により進退走行する走行体と、この走行体上にθ軸補正手段を介し設けた荷受けガラス基板の吸引保持機能付のテーブルと、このテーブルの対向二辺側にガイド手段により接近離反走行するように設けた二本の並列するガラス基板受けステージと、この両ステージを接近、離反走行させるように設けたスライド走行手段と、上記走行体の走行路の両側に設けたガラス基板の辺縁研磨用の回転砥石と、上記走行体の前進停止位置の走行路の直上と前記走行路から外れる退避位置との間で移動手段により移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降して上記テーブル上のガラス基板を吸引保持するように設けた吸引保持手段と、この吸収保持手段を旋回させるように設けた旋回手段とからなり、カメラによってガラス基板のアライメントマークを読み取って辺縁面取り幅の誤差の修正を行なうように上記θ軸補正手段を運転するように連動させたことを特徴とする研磨装置。