JP2008186761A - Method for producing particle transfer film, method for producing particle holding film, and anisotropic conductive film - Google Patents
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Abstract
【課題】ハニカム状に狭ピッチに導電性粒子を配列させることができ、かつ、導電性粒子を保持する膜材料の選択幅を広げることが可能な技術を提供すること。
【解決手段】多孔質膜の孔部に保持させた導電性粒子を、高分子製の平膜表面に転写して粒子転写膜を製造するにあたり、水滴に由来して形成され、かつ、ハニカム状に配列した多数の孔部を有する多孔質膜を使用する。また、このようにして得られた粒子転写膜が有する導電性粒子を、平膜内に埋め込んで保持させ、粒子保持膜を製造する。
【選択図】図1An object of the present invention is to provide a technique capable of arranging conductive particles at a narrow pitch in a honeycomb shape and expanding the selection range of a film material for holding the conductive particles.
In manufacturing a particle transfer film by transferring conductive particles held in pores of a porous film to a polymer flat film surface, the conductive particles are formed from water droplets and have a honeycomb shape. A porous membrane having a large number of pores arranged in a column is used. The conductive particles of the particle transfer film thus obtained are embedded and held in a flat film to produce a particle holding film.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、粒子転写膜の製造方法および粒子保持膜の製造方法ならびに異方性導電膜に関するものである。 The present invention relates to a method for producing a particle transfer film, a method for producing a particle holding film, and an anisotropic conductive film.
最近、様々な産業分野において、導電性粒子を規則的に配列して利用する機会が増大している。 Recently, in various industrial fields, opportunities for regularly arranging conductive particles are increasing.
例えば、電気、電子機器等の分野では、規則的に配列された導電性粒子が膜に保持されている粒子保持膜が、異方性導電膜の骨格として利用されている。 For example, in the fields of electric and electronic devices, a particle holding film in which regularly arranged conductive particles are held in a film is used as a skeleton of an anisotropic conductive film.
この種の異方性導電膜は、例えば、回路基板の回路パターンとICチップとの間等を、電気的および機械的に接続する際に好適に用いられている。 This type of anisotropic conductive film is suitably used, for example, when electrically and mechanically connecting a circuit pattern of a circuit board and an IC chip.
近年、電気、電子機器等の小型化、高機能化が図られてきており、回路パターンなどの微細化も進んでいる。そのため、それに連動して、狭ピッチに配列された導電性粒子を有する異方性導電膜が求められている。 In recent years, miniaturization and high functionality of electric and electronic devices have been achieved, and miniaturization of circuit patterns and the like is also progressing. For this reason, there is a demand for an anisotropic conductive film having conductive particles arranged in a narrow pitch in conjunction therewith.
このようなことから、狭ピッチに導電性粒子を配列させる技術が必要とされている。 For this reason, a technique for arranging conductive particles at a narrow pitch is required.
導電性粒子を配列させる技術としては、例えば、特許文献1には、磁性媒体に、磁気記録領域を形成した後、この磁気記録領域に導電性粒子を捕捉させ、この導電性粒子を粘着性を有する基材上に転写して粒子を配列させる技術が開示されている。他にも、この技術を適用して異方性導電膜を製造する方法も開示されている。 As a technique for arranging the conductive particles, for example, in Patent Document 1, after forming a magnetic recording region on a magnetic medium, the conductive particles are captured in the magnetic recording region, and the conductive particles are made sticky. A technique is disclosed in which particles are arranged by transferring onto a substrate having the same. In addition, a method for manufacturing an anisotropic conductive film by applying this technique is also disclosed.
そして上記技術を用いて、実際に、帯状に形成した磁気記録領域に導電性粒子を帯状に捕捉させ(帯長さ方向に導電性粒子が連続しており、帯幅は3〜4個分の導電性粒子で構成されている)、これを絶縁性接着剤に転写して固定化し、異方性導電膜を作製した点が記載されている。 Then, using the above technique, the conductive particles are actually trapped in the belt-shaped magnetic recording region (the conductive particles are continuous in the band length direction, and the band width is 3 to 4). It is composed of conductive particles), which is transferred to an insulating adhesive and fixed to produce an anisotropic conductive film.
また例えば、本件出願人による特許文献1には、高湿度雰囲気下で高分子溶液表面に水滴を結露させ、この水滴群を鋳型として多孔質膜を形成した後、その孔部内に導電性粒子を充填することにより粒子を配列させる技術が開示されている。他にも、この技術を適用して異方性導電膜を製造する方法も開示されている。 Further, for example, in Patent Document 1 by the present applicant, water droplets are condensed on the surface of the polymer solution in a high humidity atmosphere, and after forming a porous film using the water droplet group as a template, conductive particles are placed in the pores. A technique for arranging particles by packing is disclosed. In addition, a method for manufacturing an anisotropic conductive film by applying this technique is also disclosed.
しかしながら、従来技術は、以下の点で問題があった。 However, the prior art has problems in the following points.
すなわち、特許文献1の技術は、磁気によって導電性粒子同士がくっついてしまうため、そもそも個々の導電性粒子を互いに離間させて、ハニカム状などに規則的に配列すること自体が極めて難しいと思われる。 That is, in the technique of Patent Document 1, since the conductive particles adhere to each other due to magnetism, it is considered extremely difficult to arrange the individual conductive particles apart from each other and regularly arrange them in a honeycomb shape. .
一方、特許文献2の技術は、ハニカム状に狭ピッチに導電性粒子を配列させるのに適した技術である。 On the other hand, the technique of Patent Document 2 is a technique suitable for arranging conductive particles at a narrow pitch in a honeycomb shape.
ところが、この技術は、その原理上、高分子溶液表面に安定して水滴を結露させるため、疎水性の高分子を使用する必要がある。そのため、導電性粒子を規則的に配列させて保持させるための膜の材質に制約があった。また、この技術による粒子保持膜を用いて、例えば、異方性導電膜を製造すれば、異方性導電膜を形成する高分子の材料選択の幅も狭まってしまうといった問題があった。 However, this technique requires the use of a hydrophobic polymer in order to stably condense water droplets on the surface of the polymer solution. Therefore, there is a restriction on the material of the film for regularly arranging and holding the conductive particles. Further, for example, when an anisotropic conductive film is manufactured using the particle holding film according to this technique, there is a problem that the range of selection of a polymer material for forming the anisotropic conductive film is narrowed.
本発明は、上記問題点を鑑みてなされたもので、ハニカム状に狭ピッチに導電性粒子を配列させることができ、かつ、導電性粒子を保持する膜材料の選択幅を広げることが可能な技術を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and can arrange conductive particles at a narrow pitch in a honeycomb shape, and can widen the selection range of a film material holding the conductive particles. To provide technology.
上記課題を解決するため、本発明者らは種々検討を重ねた結果、ハニカム構造を有する多孔質膜を、導電性粒子を保持させる膜として直接使用するのではなく、転写型に使用すれば良いのではないかとの知見を得るに至った。本発明は、主に、上記知見に基づきなされたものである。 In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have made various studies. As a result, the porous film having a honeycomb structure may be used as a transfer mold, not directly as a film for holding conductive particles. It came to obtain the knowledge that it might be. The present invention has been made mainly based on the above findings.
すなわち、本発明に係る粒子転写膜の製造方法は、多孔質膜の孔部に保持させた導電性粒子を、高分子製の平膜表面に転写するにあたり、上記多孔質膜として、水滴に由来して形成され、かつ、ハニカム状に配列した多数の孔部を有する多孔質膜を用いることを要旨とする。 That is, in the method for producing a particle transfer film according to the present invention, when transferring the conductive particles held in the pores of the porous film to the surface of the polymer flat film, the porous film is derived from water droplets. The gist of the present invention is to use a porous film that is formed in a honeycomb shape and has a large number of pores arranged in a honeycomb shape.
ここで、上記多孔質膜は、疎水性および揮発性を有する有機溶媒と、この有機溶媒に可溶な高分子と、界面活性剤とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させることにより形成されていると良い。 Here, the porous membrane has a relative humidity of 50 and a support obtained by casting a polymer solution containing at least a hydrophobic and volatile organic solvent, a polymer soluble in the organic solvent, and a surfactant. % Is preferably formed by being present in an atmosphere of at least%.
また、上記転写時には、加熱および/または加圧を行っても良い。 Further, heating and / or pressurization may be performed during the transfer.
上記転写時に加熱を行う場合には、上記平膜を形成する高分子の粘度が2×104Pa・s以下となる温度で加熱を行うと良い。 When heating is performed at the time of the transfer, the heating is preferably performed at a temperature at which the viscosity of the polymer forming the flat film is 2 × 10 4 Pa · s or less.
一方、本発明に係る粒子保持膜の製造方法は、上記のようにして得られた粒子転写膜が有する導電性粒子を、平膜内に埋め込んで保持させ、粒子保持膜を製造することを要旨とする。 On the other hand, the method for producing a particle holding film according to the present invention is to produce a particle holding film by embedding and holding the conductive particles of the particle transfer film obtained as described above in a flat film. And
本発明に係る粒子転写膜の製造方法では、多孔質膜の孔部に保持させた導電性粒子を、高分子製の平膜表面に転写して粒子転写膜を製造するにあたり、水滴に由来して形成され、かつ、ハニカム状に配列した多数の孔部を有する多孔質膜を使用する。 In the method for producing a particle transfer film according to the present invention, the conductive particles held in the pores of the porous film are transferred to the surface of the polymer flat membrane to produce the particle transfer film. A porous membrane having a large number of pores arranged in a honeycomb shape is used.
そのため、導電性粒子を、ハニカム状に狭ピッチに配列して転写することができる。したがって、この粒子転写膜を用いれば、転写された導電性粒子をその状態を維持したまま膜に保持させることで、ハニカム状に狭ピッチに配列された状態で導電性粒子が保持された粒子保持膜を得ることが可能になる。 Therefore, it is possible to transfer the conductive particles arranged in a narrow pitch in a honeycomb shape. Therefore, if this particle transfer film is used, the transferred conductive particles are held in the film while maintaining the state, thereby holding the particles in which the conductive particles are held in a honeycomb-like arrangement at a narrow pitch. A film can be obtained.
また、上記粒子転写膜によれば、ハニカム構造を有する多孔質膜自体が、粒子転写膜の一部に含まれることがない。そのため、粒子転写膜を形成する高分子材料の選択幅が広がり、その結果、この粒子転写膜を用いて形成される粒子保持膜を形成する高分子材料の選択幅も広がる。 Further, according to the particle transfer film, the porous film itself having a honeycomb structure is not included in a part of the particle transfer film. Therefore, the selection range of the polymer material forming the particle transfer film is expanded, and as a result, the selection range of the polymer material forming the particle holding film formed using the particle transfer film is also expanded.
したがって、本発明を異方性導電膜に適用した場合には、ハニカム状に狭ピッチに導電性粒子が配列されており、かつ、導電性粒子を保持する膜材料の選択の自由度が高い異方性導電膜を得ることができるなどの利点がある。 Therefore, when the present invention is applied to an anisotropic conductive film, conductive particles are arranged in a narrow pitch in a honeycomb shape, and the degree of freedom in selecting a film material that holds the conductive particles is high. There is an advantage that a isotropic conductive film can be obtained.
ここで、上記多孔質膜が、疎水性および揮発性を有する有機溶媒と、この有機溶媒に可溶な高分子と、界面活性剤とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させることにより形成されている場合、その孔部がハニカム状に配列されるとともに、孔部の内壁面が外側方向に湾曲された多孔質膜を得やすい。 Here, the porous membrane has a relative humidity of 50 and a support obtained by casting a polymer solution containing at least a hydrophobic and volatile organic solvent, a polymer soluble in the organic solvent, and a surfactant. %, It is easy to obtain a porous film whose pores are arranged in a honeycomb shape and whose inner wall surface is curved outward.
また、上記転写時に、加熱および/または加圧を行った場合には、導電性粒子の転写性が向上する。 Further, when heating and / or pressurization is performed during the transfer, the transferability of the conductive particles is improved.
とりわけ、上記転写時に、上記平膜を形成する高分子の粘度が2×104Pa・s以下となる温度で加熱を行った場合には、平膜表面に導電性粒子が食い込みやすくなり、良好な転写率を確保しやすい。 In particular, when heating is performed at a temperature at which the viscosity of the polymer forming the flat film is 2 × 10 4 Pa · s or less during the transfer, the conductive particles tend to bite into the surface of the flat film, which is good. It is easy to secure a high transfer rate.
一方、本発明に係る粒子保持膜の製造方法によれば、上記粒子転写膜が有する導電性粒子を平膜内に埋め込んで保持させる。 On the other hand, according to the method for producing a particle holding film of the present invention, the conductive particles of the particle transfer film are embedded and held in a flat film.
そのため、粒子転写膜が有する粒子配列を持った粒子保持膜を簡易に得ることができる。 Therefore, a particle holding film having a particle arrangement that the particle transfer film has can be easily obtained.
以下、本実施形態に係る粒子転写膜の製造方法(以下、「第1の製造方法」という。)、本実施形態に係る粒子保持膜の製造方法(以下、「第2の製造方法」という。)について詳細に説明する。 Hereinafter, the manufacturing method of the particle transfer film according to the present embodiment (hereinafter referred to as “first manufacturing method”) and the manufacturing method of the particle holding film according to the present embodiment (hereinafter referred to as “second manufacturing method”). ) Will be described in detail.
1.第1の製造方法
第1の製造方法は、多孔質膜の孔部に保持させた導電性粒子を、高分子製の平膜表面に転写し、粒子転写膜を製造する方法である。
1. First Manufacturing Method The first manufacturing method is a method of manufacturing a particle transfer film by transferring conductive particles held in the pores of a porous film to a polymer flat film surface.
図1は、第1の製造方法の概略を示した図である。すなわち、図1(a)に示すように、先ず、孔部10に導電性粒子12を保持させた多孔質膜14と、高分子製の平膜16とを準備する。
FIG. 1 is a diagram showing an outline of the first manufacturing method. That is, as shown in FIG. 1A, first, a
そして、図1(b)に示すように、導電性粒子12を、多孔質膜14から平膜16表面に転写する。これにより、粒子転写膜18が得られる。
Then, as shown in FIG. 1B, the
(多孔質膜)
第1の製造方法は、転写型として多孔質膜を用いている。この多孔質膜は、水滴を利用した成膜法により得られたものであり、その材質は、基本的には、上記成膜法に適用することが可能な高分子(後述する)であれば、何れの高分子より形成されていても良い。
(Porous membrane)
The first manufacturing method uses a porous film as a transfer mold. This porous film is obtained by a film forming method using water droplets, and the material is basically a polymer (described later) that can be applied to the film forming method. , Any polymer may be used.
上記多孔質膜は、水滴に由来して形成され、かつ、ハニカム状に配列した多数の孔部を有している。 The porous membrane is formed from water droplets and has a large number of pores arranged in a honeycomb shape.
上記孔部は、貫通孔であっても良いし、非貫通孔であっても良い。また、上記孔部は、貫通孔および非貫通孔の両方を有していても良い。好ましくは、保持させた導電性粒子が脱落し難いなどの観点から、非貫通孔であると良い。 The hole may be a through hole or a non-through hole. The hole may have both a through hole and a non-through hole. Preferably, it is a non-through hole from the viewpoint that the held conductive particles are difficult to drop off.
また、上記孔部の開口径、孔部の深さは、導電性粒子を保持し、転写を行うことができれば、特に限定されるものではない。基本的には、用いる導電性粒子の粒径などを考慮して選択することができる。 Moreover, the opening diameter of the said hole part and the depth of a hole part will not be specifically limited if electroconductive particle is hold | maintained and transcription | transfer can be performed. Basically, it can be selected in consideration of the particle size of the conductive particles used.
導電性粒子の保持性が良好である、孔部一つにつき、導電性粒子を一つずつ保持させやすいなどの観点から、孔部の開口径/導電性粒子の粒径の比の上限は、好ましくは、1.8以下、より好ましくは、1.6以下、さらにより好ましくは、1.5以下にあると良い。一方、孔部の開口径/導電性粒子の粒径の比の下限は、好ましくは、1以上、より好ましくは、1.1以上、さらにより好ましくは、1.2以上にあると良い。 From the viewpoint of good holding of the conductive particles, easy holding of the conductive particles one by one for each hole, the upper limit of the ratio of the opening diameter of the holes / the particle diameter of the conductive particles is, Preferably, it is 1.8 or less, more preferably 1.6 or less, and even more preferably 1.5 or less. On the other hand, the lower limit of the ratio of the opening diameter of the hole / the particle diameter of the conductive particles is preferably 1 or more, more preferably 1.1 or more, and even more preferably 1.2 or more.
また、導電性粒子の転写性が良好である、孔部一つにつき、導電性粒子を一つずつ保持させやすいなどの観点から、孔部の深さ/導電性粒子の粒径の比の上限は、好ましくは、1以下、より好ましくは、0.95以下、さらにより好ましくは、0.9以下にあると良い。一方、孔部の深さ/導電性粒子の粒径の比の下限は、好ましくは、0.5以上、より好ましくは、0.6以上、さらにより好ましくは、0.7以上にあると良い。 In addition, the upper limit of the ratio of the depth of the pores / the particle size of the conductive particles from the viewpoint of good transferability of the conductive particles and easy holding of the conductive particles one by one. Is preferably 1 or less, more preferably 0.95 or less, and even more preferably 0.9 or less. On the other hand, the lower limit of the ratio of the depth of the hole / the particle size of the conductive particles is preferably 0.5 or more, more preferably 0.6 or more, and even more preferably 0.7 or more. .
この際、上記孔部の開口径、孔部の深さ、導電性粒子の粒径は、得られる粒子転写膜の用途にもよるが、基本的には、何れもμmオーダーであると良い。 At this time, the opening diameter of the hole, the depth of the hole, and the particle diameter of the conductive particles are basically in the order of μm, although depending on the use of the obtained particle transfer film.
例えば、粒子転写膜を異方性導電膜の用途に用いる場合、被接続物が有する導体の幅やピッチなどによっても異なるが、上記導電性粒子の粒径の上限は、好ましくは、10μm以下、より好ましくは、7μm以下、さらにより好ましくは、5μm以下から選択すると良い。一方、上記導電性粒子の粒径の下限は、好ましくは、1μm以上、より好ましくは、2μm以上、さらにより好ましくは、3μm以上から選択すると良い。 For example, when the particle transfer film is used for an anisotropic conductive film, the upper limit of the particle diameter of the conductive particles is preferably 10 μm or less, although it varies depending on the width and pitch of the conductor of the connected object. More preferably, it should be selected from 7 μm or less, and even more preferably, 5 μm or less. On the other hand, the lower limit of the particle size of the conductive particles is preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more, and even more preferably 3 μm or more.
また、上記孔部の間隔の上限は、好ましくは、30μm以下、より好ましくは、20μm以下、さらにより好ましくは、10μm以下から選択すると良い。一方、上記孔部の間隔の下限は、好ましくは、1μm以上、より好ましくは、2μm以上、さらにより好ましくは、3μm以上から選択すると良い。 The upper limit of the interval between the holes is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, and even more preferably 10 μm or less. On the other hand, the lower limit of the interval between the holes is preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more, and even more preferably 3 μm or more.
なお、上記孔部の開口径は、多孔質膜表面をレーザー顕微鏡で観察し、任意に選択した孔部10個について測定した各開口部分の直径の平均値である。上記孔部の深さとは、任意に選択した孔部10個についてレーザー顕微鏡で測定した深さの平均値である。上記導電性粒子の粒径とは、粒度分布測定装置(セイシン企業製、「PITA−1」)にて測定した平均粒径である。上記孔部の間隔は、多孔質膜表面をレーザー顕微鏡で観察し、任意に選択した隣接する孔部の開口縁部間10箇所について測定した各開口縁部間の距離の平均値である。 In addition, the opening diameter of the said hole part is an average value of the diameter of each opening part which observed the porous membrane surface with the laser microscope, and measured about 10 hole parts selected arbitrarily. The depth of the hole is an average value of the depth measured with a laser microscope for 10 arbitrarily selected holes. The particle diameter of the conductive particles is an average particle diameter measured with a particle size distribution measuring device (“PITA-1” manufactured by Seishin Enterprise). The space | interval of the said hole part is an average value of the distance between each opening edge measured by observing the porous membrane surface with a laser microscope, and measuring about 10 places between the opening edge parts of the adjacent hole part selected arbitrarily.
上記多孔質膜は、具体的には、水と混ざらず、揮発する有機溶媒中に高分子を溶かし、この高分子溶液をキャストした支持体を、高湿度雰囲気下に存在させる方法(結露による水滴を利用する成膜法)を用いて準備することができる。この方法によれば、ハニカム状に狭ピッチに配列した孔部を有する多孔質膜を準備しやすい。以下、この方法について順に説明する。 Specifically, the porous membrane is a method in which a polymer is dissolved in a volatile organic solvent that is not mixed with water, and the support obtained by casting the polymer solution is present in a high humidity atmosphere (water droplets due to condensation). Can be prepared using a film forming method using According to this method, it is easy to prepare a porous film having pores arranged in a narrow pitch in a honeycomb shape. Hereinafter, this method will be described in order.
この方法によれば、概ね以下の原理によって上記多孔質膜が自発的に形成される。 According to this method, the porous film is spontaneously formed on the basis of the following principle.
すなわち、支持体の表面に、所定塗布厚で膜状に形成された高分子溶液は、溶液中の有機溶媒が蒸発する際に潜熱を奪われる。そのため、温度が下がった高分子溶液の表面には、雰囲気中の水蒸気が凝結して形成された微小な水滴群が付着する。付着した水滴群は、潜熱によって高分子溶液内に生じた対流やキャピラリーフォースなどにより輸送、集積され、最終的には最密充填される。その後、最密充填された水滴群が蒸発すると、自己組織化的に配列した水滴群を鋳型として、ハニカム構造を有する多孔質膜が形成される。 That is, the polymer solution formed in a film shape with a predetermined coating thickness on the surface of the support is deprived of latent heat when the organic solvent in the solution evaporates. Therefore, a group of minute water droplets formed by condensation of water vapor in the atmosphere adheres to the surface of the polymer solution whose temperature has decreased. The adhering water droplets are transported and collected by convection or capillary force generated in the polymer solution by latent heat, and are finally packed most closely. Thereafter, when the closely packed water droplet group evaporates, a porous film having a honeycomb structure is formed using the self-organized water droplet group as a template.
このようにして形成された多孔質膜は、貫通孔、非貫通孔の何れの孔部を有している場合であっても、基本的には、ほぼ次のようなハニカム構造を有している。 The porous membrane formed in this manner basically has the following honeycomb structure regardless of whether it has through holes or non-through holes. Yes.
すなわち、孔部は、最密に充填した水滴群を鋳型として形成されることから、ハニカム状、かつ、狭ピッチに配列されている。もっとも、隣接する孔部同士は、隣接する水滴同士の隙間に入り込んだ高分子溶液により形成された隔壁により離間されている。また、孔部は、水滴を鋳型として形成されることから、その内壁面が、外側方向に向かって略球面状に湾曲されている(水滴表面に由来するため、孔部の開口径より孔部の内径の方が大きくなっている)。 That is, the holes are formed in a honeycomb shape and at a narrow pitch because the holes are formed by using a closely packed water droplet group as a mold. However, adjacent hole portions are separated by a partition formed by a polymer solution that has entered a gap between adjacent water droplets. In addition, since the hole is formed using a water drop as a mold, the inner wall surface thereof is curved in a substantially spherical shape toward the outer side (because it is derived from the surface of the water drop, the hole is formed from the opening diameter of the hole. The inner diameter of is larger).
なお、上記ハニカム構造は、通常、機械的な加工などを用いて作製することが困難な構造である。そのため、上記ハニカム構造を有することは、水滴を利用した成膜法を使用していることの有力な根拠の一つとなる。 The honeycomb structure is usually a structure that is difficult to fabricate using mechanical processing or the like. Therefore, having the honeycomb structure is one of the promising grounds for using a film forming method using water droplets.
上記多孔質膜の形成方法としては、より具体的には、例えば、疎水性および揮発性を有する有機溶媒と、この有機溶媒に可溶な高分子と、界面活性剤とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させる方法などを好適に用いることができる。 More specifically, the method for forming the porous film is, for example, a polymer solution containing at least a hydrophobic and volatile organic solvent, a polymer soluble in the organic solvent, and a surfactant. For example, a method in which a support obtained by casting is present in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more can be suitably used.
この場合、上記疎水性および揮発性を有する有機溶媒としては、具体的には、例えば、クロロホルム、塩化メチレンなどのハロゲン化物、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類、メチルエチルケトン(MEK)、アセトンなどのケトン類などを例示することができる。これらは1種または2種以上混合されていても良い。 In this case, specific examples of the hydrophobic and volatile organic solvent include halides such as chloroform and methylene chloride, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene, ethyl acetate, butyl acetate and the like. And ketones such as methyl ethyl ketone (MEK) and acetone. These may be used alone or in combination.
上記高分子としては、具体的には、例えば、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマールなどのポリビニルアセタール系樹脂;ポリスルホン;ポリエーテルスルホン;ポリフェニレンサルファイド;ポリイミド;ポリアミドイミド;ポリエーテルイミド;ポリエーテルエーテルケトン;ポリエステル;ポリアミド;ポリフェニレンエーテル;ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂;ゴム;熱可塑性エラストマーなどを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。 Specific examples of the polymer include, for example, polyvinyl acetal resins such as polyvinyl butyral and polyvinyl formal; polysulfone; polyethersulfone; polyphenylene sulfide; polyimide; polyamideimide; polyetherimide; polyetheretherketone; Examples thereof include polyamide; polyphenylene ether; fluorine resin such as polytetrafluoroethylene; rubber; thermoplastic elastomer. These may be contained alone or in combination of two or more.
上記ポリイミドとしては、より具体的には、例えば、シロキサン成分を重合成分として含むポリイミドなどを例示することができる。 More specifically, examples of the polyimide include polyimide containing a siloxane component as a polymerization component.
上記ポリアミドイミドとしては、より具体的には、例えば、シロキサン成分を重合成分として含むポリアミドイミドや、環式炭化水素基(脂環式炭化水素基および/または芳香族炭化水素基)を有するジイソシアネート成分またはジアミン成分と、酸無水物、多価カルボン酸、酸クロリドなどの酸成分とを重合成分として含むポリアミドイミド、このポリアミドイミドにポリカプロラクトンなどのポリエステルなどが共重合されたものなどを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。 More specifically, examples of the polyamideimide include a polyamideimide containing a siloxane component as a polymerization component, and a diisocyanate component having a cyclic hydrocarbon group (an alicyclic hydrocarbon group and / or an aromatic hydrocarbon group). Or, a polyamideimide containing a diamine component and an acid component such as an acid anhydride, polyvalent carboxylic acid or acid chloride as a polymerization component, or a polyamideimide such as polycaprolactone copolymerized with this polyamideimide Can do. These may be contained alone or in combination of two or more.
上記ゴムとしては、より具体的には、例えば、ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブチルゴム、ウレタンゴム、アクリルゴム、シリコーンゴム、クロルスルホン化ポリエチレン、エピクロルヒドリンゴム、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、フッ素ゴム、クロロプレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエン3元共重合体、天然ゴムなどを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。 More specifically, as the rubber, for example, butadiene rubber, styrene butadiene rubber, isoprene rubber, butyl rubber, urethane rubber, acrylic rubber, silicone rubber, chlorosulfonated polyethylene, epichlorohydrin rubber, nitrile rubber, hydrogenated nitrile rubber, Examples thereof include fluorine rubber, chloroprene rubber, ethylene / propylene / diene terpolymer, and natural rubber. These may be contained alone or in combination of two or more.
上記熱可塑性エラストマーとしては、より具体的には、例えば、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマー、ウレタン系熱可塑性エラストマー、エステル系熱可塑性エラストマー、アミド系熱可塑性エラストマー、シリコーン系熱可塑性エラストマー、フッ素系熱可塑性エラストマーなどを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。 More specifically, the thermoplastic elastomer is, for example, a styrene thermoplastic elastomer, an olefin thermoplastic elastomer, a urethane thermoplastic elastomer, an ester thermoplastic elastomer, an amide thermoplastic elastomer, or a silicone thermoplastic elastomer. Fluorine-based thermoplastic elastomers can be exemplified. These may be contained alone or in combination of two or more.
上記界面活性剤は、主として、高分子溶液の表面上に付着する水滴群を安定化させるなどの目的で添加されるものである。基本的には、疎水的な部位と親水的な部位とを合わせ持った化合物である。 The surfactant is added mainly for the purpose of stabilizing water droplets adhering to the surface of the polymer solution. Basically, it is a compound having both a hydrophobic part and a hydrophilic part.
上記界面活性剤としては、具体的には、例えば、親水性のアクリルアミドポリマーを主鎖骨格とし、疎水性側鎖としてドデシル基など、親水性側鎖としてラクトース基もしくはカルボキシル基などを併せもつポリマー、または、ヘパリンやデキストラン硫酸などのアニオン性多糖と4級の長鎖アルキルアンモニウム塩とのポリイオン性錯体などを例示することができる。これらは1種または2種以上併用することができる。 As the surfactant, specifically, for example, a polymer having a hydrophilic acrylamide polymer as a main chain skeleton, a dodecyl group as a hydrophobic side chain, a lactose group or a carboxyl group as a hydrophilic side chain, Alternatively, a polyionic complex of an anionic polysaccharide such as heparin or dextran sulfate and a quaternary long chain alkyl ammonium salt can be exemplified. These can be used alone or in combination of two or more.
上記高分子溶液中に含まれる高分子の濃度の上限は、結露する水滴の保持性などの観点から、好ましくは、1重量%以下、より好ましくは、0.5重量%以下、さらにより好ましくは、0.4重量%以下である。 The upper limit of the concentration of the polymer contained in the polymer solution is preferably 1% by weight or less, more preferably 0.5% by weight or less, and still more preferably, from the viewpoint of retention of water droplets that form condensation. 0.4 wt% or less.
一方、上記高分子溶液中に含まれる高分子の濃度の下限は、水滴結露時間などの観点から、好ましくは、0.01重量%以上、より好ましくは、0.1重量%以上、さらにより好ましくは、0.2重量%以上である。 On the other hand, the lower limit of the concentration of the polymer contained in the polymer solution is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.1% by weight or more, and still more preferably from the viewpoint of water droplet condensation time. Is 0.2% by weight or more.
また、上記界面活性剤の含有量の上限は、結露する水滴の保持性などの観点から、高分子量に対して、好ましくは、1倍量以下、より好ましくは、1/2倍量以下、さらにより好ましくは、1/4倍量以下である。 In addition, the upper limit of the content of the surfactant is preferably 1 time or less, more preferably 1/2 time or less, and more preferably 1/2 times or less, with respect to the high molecular weight, from the viewpoint of retention of water droplets that form condensation. More preferably, it is 1/4 times or less.
一方、上記界面活性剤の含有量の下限は、結露する水滴の保持性などの観点から、高分子量に対して、好ましくは、1/30倍量以上、より好ましくは、1/20倍量以上、さらにより好ましくは、1/15倍量以上である。 On the other hand, the lower limit of the content of the surfactant is preferably 1/30 times or more, more preferably 1/20 times or more, with respect to the high molecular weight, from the viewpoint of retention of dewdrops. Even more preferably, the amount is 1/15 times or more.
上記高分子溶液をキャストする支持体の材料は、上記高分子溶液による液膜の形成に影響を及ぼさない一方、当該溶液に含まれる有機溶媒や各種の添加剤などにより、変質したり、腐食したりしない材料であれば、特に限定されるものではない。支持体の材料としては、具体的には、例えば、ガラス、金属、シリコンウェハーなどの無機材料、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエーテルケトン、フッ素樹脂などの高分子材料、水、流動パラフィンなどの液体などを例示することができる。 While the material of the support for casting the polymer solution does not affect the formation of a liquid film by the polymer solution, it is altered or corroded by an organic solvent or various additives contained in the solution. The material is not particularly limited as long as it is a non-destructive material. Specific examples of the material for the support include inorganic materials such as glass, metal, and silicon wafers, polymer materials such as polypropylene, polyethylene, polyetherketone, and fluororesin, and liquids such as water and liquid paraffin. It can be illustrated.
上記支持体の形状は、特に限定されるものではなく、上記高分子溶液による液膜をその表面で安定して保持できるような形状であれば良い。通常は、例えば、板状、フィルム状などの平面状のものを好適に用いることができる。 The shape of the support is not particularly limited as long as it can stably hold the liquid film formed of the polymer solution on the surface thereof. Usually, for example, a planar shape such as a plate shape or a film shape can be suitably used.
上記高分子溶液を支持体上にキャストする際の塗布厚は、例えば、上記高分子の濃度、溶液の粘度などを考慮して、水滴群が貫通孔、非貫通孔を形成できるように適宜調節することができる。 The coating thickness when casting the polymer solution on the support is appropriately adjusted so that the water droplet group can form through-holes and non-through-holes, taking into account, for example, the concentration of the polymer and the viscosity of the solution. can do.
上記高分子溶液をキャストした支持体は、相対湿度50%以上、好ましくは、50%〜95%の気体雰囲気下に存在させることが望ましい。相対湿度が上記範囲内にあれば、十分な結露を生じさせやすいためである。 The support on which the polymer solution is cast is desirably present in a gas atmosphere having a relative humidity of 50% or more, preferably 50% to 95%. This is because if the relative humidity is within the above range, sufficient condensation is likely to occur.
この際、相対湿度50%以上の雰囲気下中で上記高分子溶液を支持体上にキャストしても良いし、予め高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に置いても良い。また、相対湿度50%以上の気体を高分子溶液に、上方または斜め方向から吹きかけるなどしても良い。 At this time, the polymer solution may be cast on a support in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more, or the support on which the polymer solution has been cast in advance is placed in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more. Also good. Alternatively, a gas having a relative humidity of 50% or more may be blown onto the polymer solution from above or from an oblique direction.
雰囲気中の気体、吹きかける気体としては、具体的には、例えば、アルゴンガス、窒素ガスなどの不活性ガス、空気などを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。好ましくは、コスト的に有利な空気(大気)を用いると良い。 Specific examples of the gas in the atmosphere and the gas to be sprayed include inert gases such as argon gas and nitrogen gas, and air. These may be contained alone or in combination of two or more. Preferably, air (atmosphere) advantageous in cost is used.
この方法では、膜の形成条件を適宜調整することにより、貫通孔、非貫通孔の何れについても形成可能である。貫通・非貫通を決する膜の形成条件としては、具体的には、例えば、高分子溶液の塗布厚(キャスト量)、高分子溶液に含まれる当該高分子の濃度、相対湿度などを例示することができる。 In this method, it is possible to form both through-holes and non-through-holes by appropriately adjusting the film formation conditions. Specific examples of conditions for forming a film that determines penetration or non-penetration include, for example, the coating thickness (cast amount) of the polymer solution, the concentration of the polymer contained in the polymer solution, and the relative humidity. Can do.
より具体的には、例えば、高分子溶液の塗布厚(キャスト量)を厚くする(多くする)、高分子溶液に含まれる当該高分子の濃度を高くする、相対湿度を低くするなどの調整を行えば、非貫通孔が形成されやすくなる。その逆の調整を行えば、貫通孔が形成されやすくなる。 More specifically, for example, adjustments such as increasing (increasing) the coating thickness (cast amount) of the polymer solution, increasing the concentration of the polymer contained in the polymer solution, and decreasing the relative humidity, etc. If it does, it will become easy to form a non-through-hole. If the reverse adjustment is performed, the through hole is easily formed.
これらのうち、簡単かつ効果的に、貫通・非貫通を決することができる条件は、高分子溶液の塗布厚(キャスト量)、高分子溶液に含まれる当該高分子の濃度である。 Among these, the conditions for determining penetration / non-penetration simply and effectively are the coating thickness (cast amount) of the polymer solution and the concentration of the polymer contained in the polymer solution.
なお、形成した多孔質膜が貫通孔、非貫通孔の何れを有しているかを確認するには、膜の表面を観察し、孔部内に支持体が露出しているか否かを確認したり、支持体から膜を剥離し、膜の裏面を観察したりするなどすれば良い。 In order to confirm whether the formed porous membrane has through-holes or non-through-holes, the surface of the membrane is observed to confirm whether the support is exposed in the pores. The film may be peeled off from the support and the back surface of the film may be observed.
上記多孔質膜の形成方法では、膜形成時に、有機溶媒の蒸発や、水滴群の蒸発を促進させるなどのため、必要に応じて、多孔質膜の形成に影響を及ぼさない範囲内で、加熱、乾燥などを行っても良い。 In the method for forming a porous film, heating is performed within a range that does not affect the formation of the porous film, if necessary, in order to promote the evaporation of the organic solvent and the evaporation of water droplets during film formation. Drying or the like may be performed.
また、上記多孔質膜を形成後、膜の平坦性を向上させる観点から、多孔質膜のが破壊しない範囲内で、加圧しても良い。なお、この加圧時に加熱を行っても良い。 Moreover, after forming the said porous film, you may pressurize within the range which does not destroy a porous film from a viewpoint of improving the flatness of a film | membrane. In addition, you may heat at the time of this pressurization.
(導電性粒子)
第1の製造方法において、用いる導電性粒子としては、具体的には、例えば、略球状(断面が略楕円形状のものも含む)、略柱状、紡錘状、針状などを例示することができる。好ましくは、多孔質膜の孔部内に導電性粒子を保持させやすいなどの観点から、略球状であると良い。
(Conductive particles)
Specific examples of the conductive particles used in the first production method include, for example, a substantially spherical shape (including those having a substantially elliptical cross section), a substantially columnar shape, a spindle shape, and a needle shape. . Preferably, the spherical shape is preferable from the viewpoint of easily holding the conductive particles in the pores of the porous membrane.
上記導電性粒子としては、具体的には、例えば、その表面から中心部まで導電性物質で満たされている粒子、高分子粒子の表面に1層または2層以上の導電性層が被覆されている粒子などを例示することができる。 Specific examples of the conductive particles include, for example, particles that are filled with a conductive substance from the surface to the center thereof, and the surface of the polymer particles that are coated with one or more conductive layers. The particle | grains etc. which can be illustrated can be illustrated.
好ましくは、後者の粒子を用いると良い。加圧により粒子が弾性変形しやすいため、得られた粒子転写膜を用いて、例えば、異方性導電膜を製造した場合に、その異方性導電膜の圧着使用時に、被接続物が有する導体との接触面積が大きくなり、膜厚方向の導通性を確保しやすくなるからである。 The latter particles are preferably used. Since the particles are easily elastically deformed by pressurization, when the anisotropic conductive film is manufactured using the obtained particle transfer film, for example, the connected object has at the time of pressure bonding of the anisotropic conductive film. This is because the contact area with the conductor is increased and it is easy to ensure conductivity in the film thickness direction.
より具体的には、例えば、前者の粒子の例として、金属粒子、カーボン粒子などを、後者の粒子の例として、樹脂粒子の表面に1層または2層以上の金属めっき層(電解めっき、無電解めっきなど)やスパッタ層などを有する粒子などを例示することができる。 More specifically, for example, as an example of the former particles, metal particles, carbon particles and the like are used, and as an example of the latter particles, one or two or more metal plating layers (electrolytic plating, Electrolytic plating etc.) and particles having a sputtered layer can be exemplified.
上記導電性物質、導電性層に適用可能な金属としては、具体的には、例えば、金、銀、白金属(白金、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、オスミニウム、イリジウム)、ニッケル、銅、亜鉛、鉄、鉛、錫、アルミニウム、コバルト、インジウム、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、ゲルマニウム、カドミウムなどの金属、錫−鉛合金、錫−銅合金、錫−銀合金、錫−鉛−銀合金などの2種以上の金属で構成される合金などを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。 Specific examples of metals that can be used in the conductive material and conductive layer include gold, silver, white metals (platinum, palladium, ruthenium, rhodium, osmium, iridium), nickel, copper, zinc, and iron. 2 such as lead, tin, aluminum, cobalt, indium, chromium, titanium, antimony, bismuth, germanium, cadmium, etc., tin-lead alloy, tin-copper alloy, tin-silver alloy, tin-lead-silver alloy, etc. Examples include alloys composed of more than one kind of metal. These may be contained alone or in combination of two or more.
上記高分子粒子に適用可能な高分子としては、具体的には、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリイソブチレン、ポリブタジエン、ポリアルキレンテレフタレート、ポリスルホン、ポリカーボネート、ポリアミド、フェノールホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、(メタ)アクリル酸エステル重合体、ジビニルベンゼン重合体、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体やジビニルベンゼン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体等のジビニルベンゼン系重合体などを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。なお、上記(メタ)アクリル酸エステルは、必要に応じて架橋されていても良い。 Specific examples of the polymer applicable to the polymer particles include polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polytetrafluoroethylene, polyisobutylene, polybutadiene, polyalkylene terephthalate, polysulfone, Polycarbonate, polyamide, phenol formaldehyde resin, melamine formaldehyde resin, benzoguanamine formaldehyde resin, urea formaldehyde resin, (meth) acrylic acid ester polymer, divinylbenzene polymer, divinylbenzene-styrene copolymer and divinylbenzene- (meth) acrylic acid Examples thereof include divinylbenzene polymers such as ester copolymers. These may be contained alone or in combination of two or more. In addition, the said (meth) acrylic acid ester may be bridge | crosslinked as needed.
好ましくは、(メタ)アクリル酸エステル重合体、ジビニルベンゼン重合体、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体やジビニルベンゼン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体等のジビニルベンゼン系重合体などである。 Preferred are dimethybenzene-based polymers such as (meth) acrylic acid ester polymers, divinylbenzene polymers, divinylbenzene-styrene copolymers and divinylbenzene- (meth) acrylic acid ester copolymers.
さらに、第1の製造方法では、上記導電性粒子の表面に、TiO2などの絶縁性の酸化物や上記高分子などによる絶縁層が1層または2層以上被覆された粒子を用いても良い。 Further, in the first manufacturing method, particles in which one or two or more insulating layers made of an insulating oxide such as TiO 2 or the above polymer are coated on the surface of the conductive particles may be used. .
なお、第1の製造方法では、上記した導電性粒子を1種または2種以上併用しても構わない。また、上記導電性粒子の粒径などについては、上記多孔質膜の孔部との関係において上述した通りである。 In the first manufacturing method, the above-described conductive particles may be used alone or in combination of two or more. The particle size of the conductive particles is as described above in relation to the pores of the porous membrane.
(保持)
第1の製造方法では、上記多孔質膜の孔部に導電性粒子を保持させる必要がある。
(Retention)
In the first manufacturing method, it is necessary to hold conductive particles in the pores of the porous membrane.
この場合、孔部深さ方向に導電性粒子が積み重ならないように、導電性粒子を保持させるのが好ましい。換言すれば、ほぼ同一平面内に存在するように、導電性粒子を孔部に保持させるのが好ましい。転写時に、積み重なった導電性粒子が崩れ落ちることがないからである。より好ましくは、導電性粒子を一つ一つ互いに離間させた状態にする観点から、孔部一つにつき、導電性粒子を一つずつ保持させるのが良い。 In this case, it is preferable to hold the conductive particles so that the conductive particles are not stacked in the hole depth direction. In other words, it is preferable to hold the conductive particles in the pores so that they are substantially in the same plane. This is because the accumulated conductive particles do not collapse during transfer. More preferably, it is preferable to hold the conductive particles one by one for each hole from the viewpoint of keeping the conductive particles separated from each other.
上記多孔質膜の孔部に導電性粒子を保持させる方法としては、具体的には、例えば、(1)導電性粒子自体またはその分散液を上記多孔質膜の膜面上に散布した後、刷毛、ブラシ、ブレードなどの擦り切り手段に膜表面を擦り切り、孔部内に導電性粒子を入れる方法、(2)導電性粒子自体またはその分散液を上記多孔質膜の膜面上に散布した後、外部から磁力や振動を加え、孔部内に導電性粒子を入れる方法、(3)上記分散液中に上記多孔質膜を浸漬する方法、(4)上記多孔質膜の孔部形成面と一定距離離間させて板状部材を配置し、形成された隙間に、上記分散液を導入し、多孔質膜および/または板状部材をスライド移動させる方法、これらの組み合わせなどを例示することができる。 As a method for retaining the conductive particles in the pores of the porous membrane, specifically, for example, (1) after spraying the conductive particles themselves or a dispersion thereof on the membrane surface of the porous membrane, A method in which the surface of the membrane is scraped off with a scraping means such as a brush, brush, blade, etc., and conductive particles are placed in the pores. (2) After the conductive particles themselves or a dispersion thereof are dispersed on the membrane surface of the porous membrane, A method of applying magnetic force or vibration from the outside to put conductive particles in the pores, (3) a method of immersing the porous membrane in the dispersion, (4) a constant distance from the pore-forming surface of the porous membrane Examples of the method include a method in which the plate-like members are arranged apart from each other, the dispersion liquid is introduced into the formed gap, and the porous membrane and / or the plate-like member is slid and moved.
導電性粒子を孔部内に物理的に押し込むので、導電性粒子をより確実に保持させやすい、保持させるのに要する時間が比較的短いなどの観点から、好ましくは、(1)の方法を用いるのが良い。より好ましくは、乾式で行うことができるなどの観点から、(1)の方法において粉末状の導電性粒子自体を用いるのが良い。さらに好ましくは、導電性粒子が孔部内に導入されやすくなるなどの観点から、(1)の方法において、導電性粒子の散布面と反対側から磁力により導電性粒子を多孔質膜側に引きつけつつ、擦り切り手段により擦り切ると良い。なお、この場合には、導電性粒子としては、導電性とともに磁性を有しているものを用いれば良い。 Since the conductive particles are physically pushed into the pores, the method (1) is preferably used from the viewpoint of easily holding the conductive particles more reliably and relatively short time required for holding. Is good. More preferably, from the viewpoint of being able to carry out by a dry method, it is preferable to use powdered conductive particles themselves in the method (1). More preferably, in the method (1), the conductive particles are attracted to the porous membrane side by a magnetic force from the side opposite to the surface to which the conductive particles are dispersed in the method (1) from the viewpoint that the conductive particles are easily introduced into the pores. It is good to scrape off by a scraping means. In this case, the conductive particles may be those having conductivity and magnetism.
(平膜)
第1の製造方法において、上記平膜は、高分子材料を用いてほぼ平らに形成された膜である。
(Flat membrane)
In the first manufacturing method, the flat film is a film formed substantially flat using a polymer material.
平膜を形成する高分子は、特に限定されるものではなく、各種の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂やゴムなどを用いることができる。好ましくは、導電性粒子の転写性を向上させやすい、粒子転写膜自体(粒子保持膜(後述する)自体)に接着性を付与することができるなどの観点から、平膜を形成する高分子は、接着性を有していると良い。 The polymer that forms the flat film is not particularly limited, and various thermosetting resins, thermoplastic resins, rubbers, and the like can be used. Preferably, the polymer that forms a flat film from the viewpoint of easily improving the transferability of the conductive particles and being able to impart adhesion to the particle transfer film itself (particle holding film (described later) itself). It is good to have adhesiveness.
平膜を形成する高分子としては、具体的には、例えば、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、フェノール系樹脂、ジアリルフタレート系樹脂、ビスマレイミドトリアジン系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、フェノキシ系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリフェニレンオキシド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリアセタール系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリビニル系樹脂などの熱可塑性樹脂、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ビニル基、アミノ基、エポキシ基などの官能基を1種または2種以上含むゴムやエラストマーなどを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。 Specific examples of the polymer forming the flat film include, for example, epoxy resins, melamine resins, phenol resins, diallyl phthalate resins, bismaleimide triazine resins, unsaturated polyester resins, polyurethane resins, Thermosetting resins such as phenoxy resin, polyamide resin, polyimide resin, polyamide resin, polyester resin, polycarbonate resin, polyphenylene oxide resin, polyurethane resin, polyacetal resin, polyvinyl acetal resin, polyethylene resin Examples include thermoplastic resins such as resins, polypropylene resins and polyvinyl resins, rubbers and elastomers containing one or more functional groups such as hydroxyl groups, carboxyl groups, vinyl groups, amino groups and epoxy groups. it can. These may be contained alone or in combination of two or more.
平膜を形成する高分子は、好ましくは、例えば、異方性導電膜に用いた際、圧着時の加熱により硬化し、強固な機械的接続が得られる、圧着後、導電性粒子の反発力による影響を受け難いなどの観点から、熱硬化性であると良い。 The polymer forming the flat film is preferably cured by heating at the time of pressure bonding, for example, when used for an anisotropic conductive film, and a strong mechanical connection is obtained. From the viewpoint of being less susceptible to the effects of heat, it is preferable that the resin is thermosetting.
また、上記平膜を形成する高分子は、85℃における弾性率(熱硬化するものは熱硬化前)が、好ましくは、1MPa以上、より好ましくは、7MPa以上であると良い。また、210℃における弾性率(熱硬化するものは熱硬化後)が、好ましくは、1.5MPa以上、より好ましくは、2.5MPa以上であると良い。 The polymer forming the flat film preferably has an elastic modulus at 85 ° C. (before thermosetting for those that are thermoset), preferably 1 MPa or more, and more preferably 7 MPa or more. The elastic modulus at 210 ° C. (after thermosetting for those that are thermally cured) is preferably 1.5 MPa or more, and more preferably 2.5 MPa or more.
弾性率が上記範囲内であれば、粒子保持膜とした際の導電性粒子の保持力が良好であるからである。 This is because, when the elastic modulus is within the above range, the holding force of the conductive particles when the particle holding film is formed is good.
なお、上記85℃の弾性率は、その高分子よる試料(直径20mm、厚み400μm)を作製し、応力制御型レオメータ(例えば、ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン(株)製、「AR500」などが上市されている。)を使用して、昇温速度5℃/分、周波数1Hz、圧縮歪み0.1%の測定条件にて、20℃から180℃までの弾性率を測定して求まる値である。
The elastic modulus at 85 ° C. was obtained by preparing a sample (
一方、上記210℃の弾性率は、その高分子による試料(幅5mm、長さ30mm、厚み200μm)を210℃、5MPaで6分間熱圧着したサンプルを作製し、動的粘弾性測定装置(例えば、株式会社ユービーエム製、「Rheogel−E4000F」などが上市されている。)を使用して、昇温速度3℃/分、周波数15Hz、歪み0.05%(自動調整)、自動静荷重、チャック間隔20mmの測定条件にて、30℃〜230℃までの弾性率を測定して求まる値である。
On the other hand, the elastic modulus at 210 ° C. is obtained by preparing a sample obtained by thermocompression bonding a sample made of the polymer (width 5 mm, length 30 mm, thickness 200 μm) at 210 ° C. and 5 MPa for 6 minutes. , Manufactured by UBM Co., Ltd., “Rheogel-E4000F” etc. is marketed.), Temperature rising rate 3 ° C./min, frequency 15 Hz, strain 0.05% (automatic adjustment), automatic static load, It is a value obtained by measuring the elastic modulus from 30 ° C. to 230 ° C. under the measurement condition of
上記平膜の膜厚は、得られた粒子転写膜から粒子保持膜を得る際に、導電性粒子を膜内に保持させやすくするなどの観点から、導電性粒子の粒径を考慮して決定すると良い。 The film thickness of the flat film is determined in consideration of the particle size of the conductive particles from the viewpoint of making it easier to hold the conductive particles in the film when obtaining the particle holding film from the obtained particle transfer film. Good.
具体的には、例えば、上記平膜の膜厚の上限は、好ましくは、上記導電性粒子の粒径の3/2倍以下、より好ましくは、上記導電性粒子の粒径の1倍以下、さらにより好ましくは、上記導電性粒子の粒径の2/3倍以下であると良い。 Specifically, for example, the upper limit of the film thickness of the flat film is preferably 3/2 or less of the particle diameter of the conductive particles, more preferably, 1 or less of the particle diameter of the conductive particles, Even more preferably, it is 2/3 times or less the particle size of the conductive particles.
一方、上記平膜の膜厚の下限は、好ましくは、上記導電性粒子の粒径の1/10倍以上、より好ましくは、上記導電性粒子の粒径の1/5倍以上、さらにより好ましくは、上記導電性粒子の粒径の1/3倍以上であると良い。 On the other hand, the lower limit of the film thickness of the flat film is preferably 1/10 or more times the particle size of the conductive particles, more preferably 1/5 or more times the particle size of the conductive particles, and even more preferably. Is preferably at least 1/3 times the particle size of the conductive particles.
なお、上記平膜は、上記平膜を形成する高分子材料を適当な固形分量、粘度となるように調製した塗液を、コーターなどの公知の塗工手段を用いて基材上に塗工し、必要に応じて乾燥させる方法、上記平膜を形成する高分子材料を平坦な膜状にプレス成形する方法などにより準備することができ、特に限定されるものではない。 In addition, the above-mentioned flat film is prepared by applying a coating liquid prepared from the polymer material forming the above-described flat film so as to have an appropriate solid content and viscosity onto a substrate using a known coating means such as a coater. And it can prepare by the method of drying as needed, the method of press-molding the polymeric material which forms the said flat film in flat film shape, etc., It does not specifically limit.
(転写)
第1の製造方法では、上記の通り準備した、導電性粒子を孔部に保持させた多孔質膜から、平膜表面上に、導電性粒子を転写する。転写後、多孔質膜は分離される。
(Transcription)
In the first production method, the conductive particles are transferred onto the flat membrane surface from the porous film prepared as described above and holding the conductive particles in the pores. After the transfer, the porous membrane is separated.
具体的には、導電性粒子を孔部に保持させた多孔質膜の粒子保持面と、平膜表面とを接触させれば良い。 Specifically, the particle holding surface of the porous membrane holding the conductive particles in the pores may be brought into contact with the flat membrane surface.
上記転写時には、加熱および/または加圧を伴っていても良い。具体的には、ラミネート手法などを適用することができる。 The transfer may be accompanied by heating and / or pressurization. Specifically, a laminating method or the like can be applied.
上記転写時に加熱を行う場合、その加熱温度としては、平膜に使用する高分子の粘度(硬化するものは硬化前の状態)が、好ましくは、2×104Pa・s以下、より好ましくは、1.5×104Pa・s以下、さらにより好ましくは、1×104Pa・s以下となる温度を選択すると良い。平膜表面に導電性粒子が食い込みやすく、転写率が良くなるからである。 When heating is performed during the transfer, the heating temperature is preferably the viscosity of the polymer used for the flat film (the one to be cured is the state before curing), preferably 2 × 10 4 Pa · s or less, more preferably 1.5 × 10 4 Pa · s or less, and even more preferably, a temperature that is 1 × 10 4 Pa · s or less is selected. This is because the conductive particles easily bite into the flat film surface and the transfer rate is improved.
なお、上記粘度は、その高分子よる試料(直径20mm、厚み400μm)を作製し、応力制御型レオメータ(例えば、ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン(株)製、「AR500」などが上市されている。)を使用して、昇温速度5℃/分、周波数1Hz、圧縮歪み0.1%の測定条件にて、20℃から180℃までの粘度を測定して求まる値である。
For the above viscosity, a sample (
また、上記転写時に加圧を行う場合、その加圧力は特に限定されることはない。転写率、多孔質膜および平膜の膜強度などを考慮して選択すれば良い。通常、上記加圧力は、0.01〜1MPa程度である。 Further, when pressure is applied during the transfer, the pressure is not particularly limited. The selection may be made in consideration of the transfer rate, the film strength of the porous film and the flat film, and the like. Usually, the applied pressure is about 0.01 to 1 MPa.
なお、平膜が粘着性を有する材料よりなる場合には、特に加熱、加圧などを行わなくても転写可能である。 When the flat film is made of an adhesive material, the transfer can be performed without particularly heating or pressing.
以上、第1の製造方法によれば、図1(b)に示すように、高分子製の平膜16表面に、多孔質膜14に保持されていたときの粒子配列でもって導電性粒子12が転写された粒子転写膜18を得ることができる。
As described above, according to the first manufacturing method, as shown in FIG. 1B, the
2.第2の製造方法
第2の製造方法は、上記第1の製造方法により得られた粒子転写膜を用い、図2に例示するように、転写された導電性粒子12を平膜16内に埋め込んで保持させ、粒子保持膜20を製造する方法である。
2. Second Manufacturing Method The second manufacturing method uses the particle transfer film obtained by the first manufacturing method, and embeds the transferred
ここで、上記埋め込み方法は、特に限定されるものではない。転写時の導電性粒子の規則性を損ない難い方法であれば、何れの方法であっても適用することができる。 Here, the embedding method is not particularly limited. Any method can be applied as long as it does not easily impair the regularity of the conductive particles during transfer.
上記埋め込み方法としては、具体的には、例えば、(1)導電性粒子を加圧する方法、(2)平膜を加熱して軟化させ、導電性粒子の自重により導電性粒子を膜内に埋没させる方法、(3)転写面に高分子材料を被覆する方法などを例示することができる。これら方法は、互いに組み合わせて行っても良い。 Specifically, the embedding method includes, for example, (1) a method of pressurizing the conductive particles, and (2) heating and softening the flat film, and burying the conductive particles in the film by the weight of the conductive particles. And (3) a method of coating a transfer surface with a polymer material, and the like. These methods may be performed in combination with each other.
導電性粒子を確実に膜に保持させやすいなどの観点から、(1)の方法が良い。より好ましくは、(1)の方法において、平膜を加熱しながら導電性粒子を加圧すると良い。具体的には、ラミネート手法などを適用することができる。なお、上記加圧は、導電性粒子の上にセパレータなどの介在物を任意に介して行うことができる。 The method (1) is preferable from the viewpoint of easily holding the conductive particles on the film. More preferably, in the method (1), the conductive particles may be pressurized while heating the flat film. Specifically, a laminating method or the like can be applied. In addition, the said pressurization can be performed through inclusions, such as a separator, on electroconductive particle arbitrarily.
上記加圧を行う場合、その加圧力は特に限定されることはない。膜強度、膜厚、導電性粒子の強度などを考慮して選択すれば良い。通常、0.01〜1MPa程度である。 When the pressurization is performed, the applied pressure is not particularly limited. Selection may be made in consideration of film strength, film thickness, strength of conductive particles, and the like. Usually, it is about 0.01-1 MPa.
上記加熱を行う場合、その加熱温度は特に限定されることはない。加熱温度は、使用する高分子の種類、耐熱性などによっても異なるが、好ましくは、平膜を形成する高分子のガラス転移温度+20℃〜+40℃程度の温度を選択すると良い。平膜内に導電性粒子を埋め込みやすくなるからである。 When performing the said heating, the heating temperature is not specifically limited. The heating temperature varies depending on the type of polymer to be used, heat resistance, and the like, but it is preferable to select a glass transition temperature of a polymer forming a flat film from about + 20 ° C. to + 40 ° C. This is because it becomes easier to embed conductive particles in the flat film.
導電性粒子は、平膜内にその全てが埋め込まれていても良いし、平膜表面にその一部が露出していても良い。また、転写面と反対面に、導電性粒子が露出していても良いし、露出していなくても良い。 The conductive particles may be entirely embedded in the flat film, or a part thereof may be exposed on the flat film surface. Further, the conductive particles may be exposed on the surface opposite to the transfer surface or may not be exposed.
なお、上記導電性粒子の埋め込み程度は、加圧力、加圧時間、加熱温度、加熱時間などを適宜調節することで可変させることができる。 Note that the degree of embedding of the conductive particles can be varied by appropriately adjusting the pressing force, pressurizing time, heating temperature, heating time, and the like.
以上、第2の製造方法によれば、図2に示すように、高分子製の平膜16内に導電性粒子12が保持された粒子保持膜20を得ることができる。
As described above, according to the second manufacturing method, as shown in FIG. 2, the
3.粒子転写膜、粒子保持膜の用途
上記粒子転写膜、上記粒子保持膜は、転写型である上記多孔質膜に由来する、ハニカム状に狭ピッチに配列した導電性粒子を有している。また、両膜を構成する高分子材料の選択の自由度も高い。
3. Use of Particle Transfer Film and Particle Holding Film The particle transfer film and the particle holding film have conductive particles arranged in a narrow pitch in a honeycomb shape derived from the porous film as a transfer type. Moreover, the freedom degree of selection of the polymeric material which comprises both membranes is also high.
そのため、これらの利点を活かし、上記粒子転写膜から製造した上記粒子保持膜は、例えば、異方性導電膜などに好適に用いることができる。 Therefore, taking advantage of these advantages, the particle holding film manufactured from the particle transfer film can be suitably used for an anisotropic conductive film, for example.
例えば、上記粒子保持膜を異方性導電膜に適用する場合には、上記粒子保持膜自体が接着性を有しているときには、これをそのまま異方性導電膜として使用することができる。 For example, when the particle holding film is applied to an anisotropic conductive film, when the particle holding film itself has adhesiveness, it can be used as it is as an anisotropic conductive film.
好ましくは、上記粒子保持膜の片面に接着層が形成された2層構造とすると良い。圧着使用時に、膜の崩れ、これに起因する導電性粒子の流出などを抑制しやすく、膜厚方向の導電性を向上させやすい、1層構造と比較して、強固な機械的接続が得られるなどの利点があるからである。 A two-layer structure in which an adhesive layer is formed on one side of the particle holding film is preferable. Compared with a single-layer structure, it is easy to suppress the collapse of the film and the outflow of the conductive particles due to this, and to improve the conductivity in the film thickness direction when using the pressure bonding. This is because there are advantages such as.
また、上記粒子保持膜自体が接着性を有していない場合には、この膜の両面に接着層が形成された3層構造とすれば良い。 When the particle holding film itself does not have adhesiveness, a three-layer structure in which an adhesive layer is formed on both surfaces of the film may be used.
なお、上記接着層材料としては、各種の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂やゴムなどを用いることができる。具体的には、例えば、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、フェノール系樹脂、ジアリルフタレート系樹脂、ビスマレイミドトリアジン系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、フェノキシ系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、シアネート系樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリフェニレンオキシド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリアセタール系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリビニル系樹脂などの熱可塑性樹脂、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ビニル基、アミノ基、エポキシ基などの官能基を1種または2種以上含むゴムやエラストマーなどを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。
As the adhesive layer material, various thermosetting resins, thermoplastic resins, rubbers, and the like can be used. Specifically, for example, epoxy resin, melamine resin, phenol resin, diallyl phthalate resin, bismaleimide triazine resin, unsaturated polyester resin, polyurethane resin, phenoxy resin, polyamide resin, polyimide resin Thermosetting resins such as resins, cyanate resins, polyamide resins, polyester resins, polycarbonate resins, polyphenylene oxide resins, polyurethane resins, polyacetal resins, polyvinyl acetal resins, polyethylene resins, polypropylene resins, Examples thereof include thermoplastic resins such as polyvinyl resins, rubbers and elastomers containing one or more functional groups such as hydroxyl groups, carboxyl groups, vinyl groups, amino groups, and epoxy groups. These may be contained alone or in combination of two or more.
また、上記接着層材料は、85℃における弾性率(熱硬化するものは熱硬化前)が、好ましくは、1MPa以上、より好ましくは、7MPa以上であると良い。また、210℃における弾性率(熱硬化するものは熱硬化後)が、好ましくは、1.5MPa以上、より好ましくは、2.5MPa以上であると良い。なお、弾性率の測定方法は、上記と同様である。 The adhesive layer material preferably has an elastic modulus at 85 ° C. (before thermosetting for those that are thermoset), preferably 1 MPa or more, and more preferably 7 MPa or more. The elastic modulus at 210 ° C. (after thermosetting for those that are thermally cured) is preferably 1.5 MPa or more, and more preferably 2.5 MPa or more. Note that the elastic modulus is measured in the same manner as described above.
弾性率が上記範囲内であれば、圧着時に、接着層材料を流動排除しやすく、また、圧着後の機械的な接続性にも優れるからである。 This is because, if the elastic modulus is within the above range, the adhesive layer material can be easily flown out at the time of pressure bonding, and the mechanical connectivity after pressure bonding is excellent.
以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail using examples.
1.粒子転写膜(実施例1T)および粒子保持膜(実施例1H)の作製
(実施例1)
初めに、以下の要領で、多孔質膜を準備した。すなわち、ポリカーボネート系樹脂(Aldrich社製、「ポリビスフェノールAカーボネート」)を0.26wt%の濃度となるようにクロロホルムに溶解した液に、界面活性剤として、ドデシルアクリルアミドとカプロン酸との共重合体を、ポリビニルブチラール系樹脂に対して0.026wt%添加し、高分子溶液を調製した。
1. Production of Particle Transfer Film (Example 1T) and Particle Retaining Film (Example 1H) (Example 1)
First, a porous membrane was prepared as follows. That is, a copolymer of dodecylacrylamide and caproic acid as a surfactant in a solution in which a polycarbonate resin (manufactured by Aldrich, “polybisphenol A carbonate”) is dissolved in chloroform so as to have a concentration of 0.26 wt%. Was added at 0.026 wt% to the polyvinyl butyral resin to prepare a polymer solution.
次いで、温度22℃、相対湿度57%の雰囲気中にて、ガラス基板上に上記高分子溶液を塗布膜厚1100μmでキャストした。その後、エアポンプを用いて、上記と同温同湿度の空気(流量9L/min)を、塗布液面へ75°の角度から15分間連続的に吹き付けた。 Next, the polymer solution was cast on a glass substrate with an applied film thickness of 1100 μm in an atmosphere at a temperature of 22 ° C. and a relative humidity of 57%. Thereafter, using an air pump, air having the same temperature and humidity as described above (flow rate 9 L / min) was continuously sprayed from the angle of 75 ° for 15 minutes to the coating liquid surface.
その結果、クロロホルムの揮発とともに高分子溶液表面に結露による水滴群が付着し、これが最密充填した後、水滴群が蒸発することにより、ハニカム状に配列した多数の孔部(非貫通孔)を有する、ポリカーボネート系樹脂製の多孔質膜(膜厚5μm)が得られた。 As a result, water droplets due to condensation adhere to the polymer solution surface along with the volatilization of chloroform, and after this close-packed, the water droplets evaporate, resulting in a large number of pores (non-through holes) arranged in a honeycomb shape. A porous film made of polycarbonate resin (film thickness 5 μm) was obtained.
なお、得られた多孔質膜につき、孔部の開口径、孔部の深さ、隣接する孔部の開口中心間の距離を、レーザー顕微鏡(超深度カラー3D形状測定顕微鏡、キーエンス社製「VK−9500」)により測定した結果、それぞれ5μm、4μm、6μmであった。 In addition, about the obtained porous membrane, the distance between the opening diameter of a hole part, the depth of a hole part, and the opening center of an adjacent hole part is measured with a laser microscope (ultra-depth color 3D shape measurement microscope, Keyence Corporation "VK. -9500 "). As a result, they were 5 μm, 4 μm, and 6 μm, respectively.
次に、以下の要領で、孔部に樹脂めっき粒子が保持された多孔質膜を準備した。すなわち、ジビニルベンゼン系架橋樹脂よりなる粒子の表面に、Niめっき層、Auめっき層が順に被覆された、粉末状の樹脂めっき粒子(積水化学工業(株)、「ミクロパールAU−204」、平均粒径4μm)を、上記多孔質膜の孔部形成面上に散布した。 Next, a porous film having resin plating particles held in the holes was prepared as follows. That is, powder-like resin plating particles (Sekisui Chemical Co., Ltd., “Micropearl AU-204”, average) in which Ni plating layer and Au plating layer are sequentially coated on the surface of particles made of divinylbenzene-based crosslinked resin. A particle diameter of 4 μm) was sprayed on the pore-forming surface of the porous membrane.
次いで、孔部形成面と反対側に設置した永久磁石((株)西興産業製、フェライト磁石、1000ガウス)にて、樹脂めっき粒子を多孔質膜に引きつけつつ、刷毛にて膜表面を1回擦り切り、孔部内に樹脂めっき粒子を保持させた。 Next, a permanent magnet (manufactured by Seiko Sangyo Co., Ltd., ferrite magnet, 1000 gauss) installed on the side opposite to the hole forming surface is used to attract the resin plating particles to the porous film, and the surface of the film is 1 with a brush. The resin plating particles were held in the holes by scraping off once.
なお、孔部が形成されていない多孔質膜表面に付着していた樹脂めっき粒子や、孔部に保持された樹脂めっき粒子に静電気力などで付着していた樹脂めっき粒子などは、上記擦り切りによりほとんど除去された。 Resin plating particles adhering to the surface of the porous film in which no pores are formed or resin plating particles adhering to the resin plating particles held in the pores due to electrostatic force etc. Almost removed.
これにより、孔部内に樹脂めっき粒子が保持されたポリカーボネート系樹脂製の多孔質膜を準備した。なお、樹脂めっき粒子は、実質的に、孔部一つにつき一つずつ保持されていた。 Thereby, a porous film made of a polycarbonate resin in which the resin plating particles were held in the pores was prepared. In addition, the resin plating particles were substantially held one by one for each hole.
次に、以下の要領で、ポリアミド樹脂とフェノキシ樹脂とを主成分とする樹脂製の平膜を準備した。なお、この平膜材料は、結露による水滴を利用する成膜法に適用することができないものである。 Next, a resin flat film mainly composed of a polyamide resin and a phenoxy resin was prepared in the following manner. This flat film material cannot be applied to a film forming method using water droplets due to condensation.
すなわち、アルコール可溶ポリアミド樹脂23.39重量部と、フェノキシ樹脂(東都化成(株)製、「EFR−0010M30」)25.16重量部と、エポキシ樹脂(東都化成(株)製、「FX289EK75」)4.9重量部と、エポキシ樹脂(東都化成(株)製、「FX305EK70」)2.67重量部と、メラミン樹脂(三和ケミカル(株)製、「ニカラックMX−750」)1.37重量部と、硬化剤(四国化成(株)製、「C11Z」)0.38重量部と、硬化剤(三菱ガス化学(株)製、「F−TMA」)0.57重量部と、メタノール24.26重量部、トルエン48.05重量部、メチルセロソルブ69.2重量部とを混合し、高分子溶液を調製した。 That is, 23.39 parts by weight of an alcohol-soluble polyamide resin, 25.16 parts by weight of a phenoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., “EFR-0010M30”), and an epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., “FX289EK75”). 4.9 parts by weight, 2.67 parts by weight of epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., “FX305EK70”) and 1.37 parts of melamine resin (manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., “Nicarac MX-750”) 1.37 Parts by weight, curing agent (Shikoku Kasei Co., Ltd., "C11Z") 0.38 parts by weight, curing agent (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., "F-TMA") 0.57 parts by weight, methanol 24.26 parts by weight, 48.05 parts by weight of toluene, and 69.2 parts by weight of methyl cellosolve were mixed to prepare a polymer solution.
次いで、コンマコーターを用い、ベース基材(ポリエチレンテレフタレート、厚み38μm、リンテック(株)製「PET38X」)の離型面に、上記高分子溶液を塗工した。 Next, the polymer solution was applied to the release surface of a base substrate (polyethylene terephthalate, thickness 38 μm, “PET 38X” manufactured by Lintec Corporation) using a comma coater.
次いで、この塗工層を160℃で90秒間乾燥させ、ポリアミド樹脂とフェノキシ樹脂とを主成分とする樹脂よりなる平膜(厚み4μm)を形成した。その後、この平膜の表面に、セパレータ(ポリエチレンテレフタレート、厚み75μm、リンテック(株)製、「PET75C」)の離型面を合わせて巻き取った。 Next, this coating layer was dried at 160 ° C. for 90 seconds to form a flat film (thickness 4 μm) made of a resin mainly composed of polyamide resin and phenoxy resin. Thereafter, the release surface of the separator (polyethylene terephthalate, thickness 75 μm, manufactured by Lintec Corporation, “PET75C”) was put on the surface of the flat film and wound up.
これにより、ポリアミド樹脂とフェノキシ樹脂とを主成分とする樹脂製の平膜を準備した。 In this way, a resin flat film having polyamide resin and phenoxy resin as main components was prepared.
そして、上記準備した、孔部に樹脂めっき粒子が保持された多孔質膜と、セパレータを剥離して露出させた平膜の表面とを重ね合わせ、これを、温度120℃、加圧力0.1MPa、加熱加圧時間60秒の条件で、熱ラミネートし、室温まで冷却した後、多孔質膜を取り除いた。 Then, the prepared porous film in which the resin plating particles are held in the holes and the surface of the flat film exposed by peeling the separator are overlapped, and this is formed at a temperature of 120 ° C. and a pressure of 0.1 MPa. The film was heat-laminated under the condition of a heating and pressing time of 60 seconds, cooled to room temperature, and then the porous film was removed.
以上により、ハニカム構造を有する多孔質膜による粒子配列をほぼ維持したまま、ポリアミド樹脂とフェノキシ樹脂とを主成分とする樹脂製の平膜表面に樹脂めっき粒子が転写されてなる、実施例1Tに係る粒子転写膜を得た。 As described above, Example 1T in which the resin plating particles are transferred onto the surface of the flat resin film mainly composed of polyamide resin and phenoxy resin while maintaining the particle arrangement by the porous film having the honeycomb structure. Such a particle transfer film was obtained.
また、さらに、上記実施例1Tに係る粒子転写膜が有する、多数の樹脂めっき粒子の表面にセパレータ(ポリエチレンテレフタレート、厚み38μm、リンテック(株)製「PET38C」)を重ね、これを、温度140℃、加圧力0.1MPa、加熱加圧時間60秒の条件で、熱ラミネートした。 Further, a separator (polyethylene terephthalate, thickness 38 μm, “PET38C” manufactured by Lintec Co., Ltd.) is stacked on the surface of a large number of resin plating particles of the particle transfer film according to Example 1T, and the temperature is 140 ° C. Thermal lamination was performed under the conditions of a pressure of 0.1 MPa and a heating and pressing time of 60 seconds.
以上により、転写された樹脂めっき粒子を平膜内に埋め込んで当該膜内に保持させ、実施例1Hに係る粒子保持膜を得た。なお、樹脂めっき粒子は、転写時の粒子配列をほぼ維持したまま膜に保持されていた。また、膜の転写面からその一部が僅かに突出しており、かつ、膜の裏面(転写面と反対側の面)にその一部が露出されていない状態で膜に保持されていた。 As described above, the transferred resin plating particles were embedded in a flat film and held in the film, and a particle holding film according to Example 1H was obtained. The resin plating particles were held in the film while maintaining the particle arrangement at the time of transfer. Further, a part of the film was slightly protruded from the transfer surface of the film, and the film was held in a state where the part was not exposed on the back surface of the film (the surface opposite to the transfer surface).
2.異方性導電膜の作製
次に、以下の要領で、上記実施例に係る粒子保持膜を備えた異方性導電膜を作製した。
2. Preparation of Anisotropic Conductive Film Next, an anisotropic conductive film provided with the particle holding film according to the above example was prepared as follows.
すなわち、ジシクロペンタジエン型エポキシ系樹脂(大日本インキ(株)製、「エピクロンHP7200HH」)90重量部と、ニトリルゴム(NBR)(日本ゼオン(株)製、「ニポール1072J」)10重量部と、硬化剤(旭化成ケミカルズ(株)製、「ノバキュアHXA3932HP」)187重量部とを、固形分量が42%となるようにトルエンにて希釈し、接着剤溶液を調製した。 That is, 90 parts by weight of a dicyclopentadiene type epoxy resin (Dainippon Ink Co., Ltd., “Epicron HP7200HH”) and 10 parts by weight of nitrile rubber (NBR) (Nippon Zeon Co., Ltd., “Nipol 1072J”) 187 parts by weight of a curing agent (manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation, “Novacure HXA3932HP”) was diluted with toluene so that the solid content was 42% to prepare an adhesive solution.
次いで、コンマコーターを用い、ベース基材(ポリエチレンテレフタレート、厚み38μm、リンテック(株)製「PET38C」)の離型面に、上記接着剤溶液を塗工した。 Next, the above adhesive solution was applied to a release surface of a base substrate (polyethylene terephthalate, thickness 38 μm, “PET38C” manufactured by Lintec Corporation) using a comma coater.
次いで、この塗工層を110℃で90秒間乾燥させ、接着層(厚み20μm)を形成した。その後、この接着層の表面に、セパレータ(ポリエチレンテレフタレート、厚み38μm、リンテック(株)製、「PET38B」)の離型面を合わせて巻き取った。
Subsequently, this coating layer was dried at 110 ° C. for 90 seconds to form an adhesive layer (
これにより、ベース基材とセパレータとの間に挟持された接着層を準備した。 This prepared the contact bonding layer pinched between the base substrate and the separator.
次いで、上記セパレータを剥離して露出させた接着層の表面と、上記作製した粒子保持膜の表面(粒子埋め込み面側)とを重ね合わせ、これを貼り合わせた。 Next, the surface of the adhesive layer exposed by peeling the separator was overlapped with the surface of the produced particle holding film (particle embedding surface side), and these were bonded together.
以上により、粒子保持膜の片面に接着層が形成された2層構造を有する、実施例1Aに係る異方性導電膜を得た。 Thus, an anisotropic conductive film according to Example 1A having a two-layer structure in which an adhesive layer was formed on one surface of the particle holding film was obtained.
3.異方性導電膜の評価
上記作製した異方性導電膜につき、膜厚方向の導通性能および膜面方向の絶縁性能を評価した。
3. Evaluation of Anisotropic Conductive Film About the produced anisotropic conductive film, the conducting performance in the film thickness direction and the insulating performance in the film surface direction were evaluated.
(評価試料の作製)
すなわち、先ず、厚み0.7mmのガラス基板表面に形成した回路パターン(材質ITO、パターンピッチ30μm、パターン幅20μm)上に、異方導電性膜を載置し、温度110℃、回路パターン上に貼りつけた異方性導電膜の面積に対して加圧力0.25MPa、圧着時間5秒の条件で、仮圧着した。
(Preparation of evaluation sample)
That is, first, an anisotropic conductive film is placed on a circuit pattern (material ITO, pattern pitch 30 μm,
次いで、仮圧着された異方性導電膜の上に、Auバンプを有するICチップ(バンプピッチ30μm、バンプ幅20μm)を、回路パターンとAuバンプとが相対峙するように載置した。
Next, an IC chip having an Au bump (bump pitch 30 μm,
次いで、この状態のまま、温度210℃、加圧力80MPa、圧着時間60秒の条件で、本圧着した。上記本圧着後、引き続き、温度50℃、加圧力80MPa、時間5秒の条件で、冷却を行った。 Next, in this state, the main pressure bonding was performed under the conditions of a temperature of 210 ° C., a pressure of 80 MPa, and a pressure bonding time of 60 seconds. After the main pressure bonding, cooling was subsequently performed under the conditions of a temperature of 50 ° C., a pressure of 80 MPa, and a time of 5 seconds.
以上により、試料1を作製した。なお、試料の番号は、実施例の番号と対応している。 Thus, Sample 1 was produced. The sample number corresponds to the number of the example.
(膜厚方向の導通性能の評価)
得られた試料1につき、相対峙する回路パターン−Auバンプ間の電気抵抗を、抵抗率計(ダイアインスツルメンツ製、「ロレスタGP」)を用い、4端子4探針法により測定した。なお、試料数は、N=10[個]であり、算術平均による平均値を算出し、これを膜厚方向の電気抵抗とした。
(Evaluation of conduction performance in the film thickness direction)
About the obtained sample 1, the electrical resistance between the circuit pattern and Au bump which face each other was measured by the 4 terminal 4 probe method using the resistivity meter (the product made by Dia Instruments, "Loresta GP"). The number of samples was N = 10 [pieces], an average value was calculated by arithmetic average, and this was used as the electric resistance in the film thickness direction.
(膜面方向の絶縁性能の評価)
得られた試料1につき、隣接する回路パターン間の電気抵抗を、テスターT2(AND社製、「AD5522」)を用いて測定した。なお、試料数は、N=10[個]であり、電気抵抗が108Ω以上となる割合=絶縁性確保率(%)を求めた。
(Evaluation of insulation performance in the film surface direction)
About the obtained sample 1, the electrical resistance between adjacent circuit patterns was measured using the tester T2 (the product made by AND, "AD5522"). Note that the number of samples was N = 10 [pieces], and the ratio of the electrical resistance to 10 8 Ω or more = insulation securing ratio (%) was determined.
(評価結果)
上記評価の結果、試料1の膜厚方向の電気抵抗は、1.0(Ω)であった。一方、試料1の絶縁性確保率は、80(%)であった。これらの結果から、実施例に係る粒子転写膜、粒子保持膜を、異方性導電膜に適用すれば、良好な異方導電性が得られることが確認できた。
(Evaluation results)
As a result of the evaluation, the electric resistance in the film thickness direction of Sample 1 was 1.0 (Ω). On the other hand, the insulation securing ratio of Sample 1 was 80 (%). From these results, it was confirmed that when the particle transfer film and the particle holding film according to the example were applied to an anisotropic conductive film, good anisotropic conductivity could be obtained.
以上、本発明の一実施形態、一実施例について説明したが、本発明は上記実施形態、実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。 Although one embodiment and one example of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiment and example, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. is there.
10 孔部
12 導電性粒子
14 多孔質膜
16 平膜
18 粒子転写膜
20 粒子保持膜
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記多孔質膜は、水滴に由来して形成され、かつ、ハニカム状に配列した多数の孔部を有することを特徴とする粒子転写膜の製造方法。 A method for producing a particle transfer film, wherein the conductive particles held in the pores of the porous film are transferred to the surface of a polymer flat film,
The method for manufacturing a particle transfer film, wherein the porous film is formed from water droplets and has a large number of pores arranged in a honeycomb shape.
Priority Applications (1)
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