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JP2008186760A - Anisotropic conductive film and method for producing the same - Google Patents

Anisotropic conductive film and method for producing the same Download PDF

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JP2008186760A
JP2008186760A JP2007020962A JP2007020962A JP2008186760A JP 2008186760 A JP2008186760 A JP 2008186760A JP 2007020962 A JP2007020962 A JP 2007020962A JP 2007020962 A JP2007020962 A JP 2007020962A JP 2008186760 A JP2008186760 A JP 2008186760A
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JP
Japan
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film
conductive particles
mol
porous membrane
anisotropic conductive
Prior art date
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Pending
Application number
JP2007020962A
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Japanese (ja)
Inventor
Akimasa Katayama
晶雅 片山
Takahiro Hayashi
恭弘 林
Akio Sato
明生 佐藤
Hiroki Inagaki
宏樹 稲垣
Masatsugu Shimomura
政嗣 下村
Hiroshi Yabu
浩 藪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hokkaido University NUC
Sumitomo Riko Co Ltd
Original Assignee
Hokkaido University NUC
Sumitomo Riko Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an anisotropic conductive film and its manufacturing method capable of improving its conductive performance while a porous membrane formed by making use of waterdrops is used. <P>SOLUTION: The anisotropic conductive film comprises the porous membrane having numerous hole sections arranged in a honeycomb shape and bending an inner wall surface of each hole section in an outward direction, conductive particles retained in the hole sections of the porous membrane, and an adhesive layer formed on one side of the porous membrane. In the anisotropic conductive film, the porous membrane is made of polyvinyl acetal system resin in which an amount of residual hydroxyl group is within a range from more than 22 mol% to less than 30 mol%. The porous membrane is suitably made by making exist a support body casting polymer solution at least including an organic solvent having hydrophobicity and volatility, the polyvinyl acetal system resin, and a surfactant at an ambient atmosphere of 50% or more of relative humidity. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、異方性導電膜およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to an anisotropic conductive film and a method for producing the same.

近年、電子機器の高機能化、小型化などに伴い、狭ピッチに配列された導体を有する部材間を電気的および機械的に接続する必要性が増大している。このような必要性が生ずる場合としては、例えば、液晶ディスプレイ(Liquid Crystal Display:LCD)の分野において、駆動ICチップを搭載したTAB(Tape Automated Bonding)の電極と液晶パネルの電極とを接続する場合や、液晶パネルの電極上に裸の駆動ICチップ(ベアーチップ)を直接接続する(Chip On Glass:COG)場合などが挙げられる。   2. Description of the Related Art In recent years, with the increase in functionality and miniaturization of electronic devices, the need to electrically and mechanically connect members having conductors arranged at a narrow pitch has increased. As a case where such a need arises, for example, in the field of liquid crystal display (LCD), a TAB (Tape Automated Bonding) electrode on which a driving IC chip is mounted and a liquid crystal panel electrode are connected. And a case where a bare drive IC chip (bare chip) is directly connected to the electrode of the liquid crystal panel (Chip On Glass: COG).

上記接続においては、一般に、膜厚方向に導電性を示し、かつ、膜面方向に絶縁性を示す異方性導電膜(Anisotropic Conductive Film:ACF)が使用されることが多い。   In the above connection, generally, an anisotropic conductive film (ACF) showing conductivity in the film thickness direction and insulating in the film surface direction is often used.

上記異方性導電膜としては、例えば、本件出願人による特許文献1には、疎水性を示し、かつ、揮発する有機溶媒中に高分子を溶解し、この高分子溶液をキャストした支持基板を高湿度条件下に存在させることにより多孔質膜を形成し、この多孔質膜の孔部内に導電性粒子を充填した後、膜の両面を接着層により被覆した3層構造の異方性導電膜が開示されている。   As the anisotropic conductive film, for example, in Patent Document 1 by the present applicant, a support substrate in which a polymer is dissolved in an organic solvent that exhibits hydrophobicity and volatilizes, and this polymer solution is cast is described. An anisotropic conductive film having a three-layer structure in which a porous film is formed by being present under high humidity conditions, conductive particles are filled in the pores of the porous film, and then both surfaces of the film are covered with an adhesive layer Is disclosed.

上記多孔質膜の形成手法によれば、概略、有機溶媒が蒸発する際の潜熱によって液膜表面に結露による水滴が生じ、これが自己組織化的に最密にパッキングした後、水滴群が蒸発することにより、ハニカム状に配列した多数の孔部を有する多孔質膜が形成される。   According to the method for forming the porous film, water droplets due to condensation are generated on the surface of the liquid film due to the latent heat generated when the organic solvent evaporates. As a result, a porous film having a large number of pores arranged in a honeycomb shape is formed.

国際公開第WO2005/096442号パンフレットInternational Publication No. WO2005 / 096442 Pamphlet

しかしながら、従来の3層構造の異方性導電膜は、以下の点で改良すべき点があることが判明した。   However, it has been found that the conventional three-layer anisotropic conductive film has the following points to be improved.

すなわち、例えば、ICチップと回路パターンとの間に、3層構造の異方性導電膜を介在させ、これらを熱圧着すると、ICチップの電極であるバンプと回路パターンとの間にある接着層が流動排除される。また、両者の間に導電性粒子が挟持される。そしてこの状態を保ったまま、ICチップと回路パターンとが接着されることにより、ICチップと回路パターンとが、電気的および機械的に接続される。   That is, for example, when an anisotropic conductive film having a three-layer structure is interposed between an IC chip and a circuit pattern, and these are thermocompression bonded, an adhesive layer between a bump that is an electrode of the IC chip and the circuit pattern Is eliminated. In addition, conductive particles are sandwiched between the two. Then, the IC chip and the circuit pattern are bonded together while maintaining this state, whereby the IC chip and the circuit pattern are electrically and mechanically connected.

ところが、本発明者らのこれまでの研究成果によれば、圧着条件などにもよるが、圧着後、接続すべき導体間に捕捉される導電性粒子数が少なくなる場合があることが判明した。   However, according to the results of previous research conducted by the present inventors, it has been found that the number of conductive particles trapped between conductors to be connected may be reduced after crimping depending on the crimping conditions and the like. .

これは、接着層の流動に伴い、多孔質膜が崩れ、当該膜から導電性粒子が流出してしまうためであると考えられる。この種の現象は、回路パターン側など、接着層が流動排除されるスペースが少ない側で生じやすい。   This is considered to be because the porous film collapses with the flow of the adhesive layer, and the conductive particles flow out from the film. This type of phenomenon is likely to occur on the side where there is little space where the adhesive layer is fluidly excluded, such as on the circuit pattern side.

そのため、せっかく導電性粒子を規則的に配置した異方性導電膜を作製しても、圧着時に導電性粒子の規則性が乱れてしまい、これ以上、導通性能を向上させることが困難であった。   Therefore, even if an anisotropic conductive film in which conductive particles are regularly arranged is produced, the regularity of the conductive particles is disturbed at the time of pressure bonding, and it is difficult to further improve the conduction performance. .

また、水滴を利用して多孔質膜を形成する場合、規則的に配列した孔部を安定して形成するためには、液膜表面に結露による水滴群を安定して生じさせる必要がある。そのため、これまで、疎水性の高分子材料を使用するのが通常であった。   Further, when forming a porous film using water droplets, it is necessary to stably generate a group of water droplets due to condensation on the surface of the liquid film in order to stably form regularly arranged pores. For this reason, it has been usual to use a hydrophobic polymer material.

したがって、ガラス基板や回路パターンなど、親水性材料よりなる被接続物との接着力を確保するため、疎水性の多孔質膜の両面に接着層を形成せねばならなかった。それ故、水滴を利用して形成した多孔質膜を使用しつつ、上記問題を回避するのは困難な状況にあった。   Therefore, in order to secure an adhesive force with a connected object made of a hydrophilic material such as a glass substrate or a circuit pattern, an adhesive layer has to be formed on both surfaces of the hydrophobic porous film. Therefore, it has been difficult to avoid the above problems while using a porous film formed using water droplets.

本発明は、上記問題点を鑑みてなされたもので、水滴を利用して形成した多孔質膜を使用しつつ、かつ、導通性能を向上させることが可能な異方性導電膜、また、その製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and an anisotropic conductive film that can improve the conduction performance while using a porous film formed by using water droplets, and its It is to provide a manufacturing method.

上記課題を解決するため、本発明に係る異方性導電膜は、ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、上記孔部の内壁面が外側方向に湾曲されている多孔質膜と、上記多孔質膜の孔部内に保持された導電性粒子と、上記多孔質膜の片面に形成された接着層とを有し、上記多孔質膜は、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂より形成されていることを要旨とする。   In order to solve the above problems, an anisotropic conductive film according to the present invention has a porous film having a large number of holes arranged in a honeycomb shape, and an inner wall surface of the holes is curved outward. , Having conductive particles held in the pores of the porous membrane and an adhesive layer formed on one side of the porous membrane, the porous membrane having a residual hydroxyl group content of more than 22 mol% to 30 mol% The gist is that it is formed from a polyvinyl acetal resin within a range of less than

ここで、上記導電性粒子は、多孔質膜に融着されていると良い。   Here, the conductive particles are preferably fused to the porous film.

また、上記導電性粒子は、ほぼ同一平面内に存在すると良い。   The conductive particles are preferably present in substantially the same plane.

また、上記多孔質膜は、疎水性および揮発性を有する有機溶媒と、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂と、界面活性剤とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させることにより形成されたものであると良い。   The porous membrane is a polymer containing at least a hydrophobic and volatile organic solvent, a polyvinyl acetal resin having a residual hydroxyl amount in the range of more than 22 mol% to less than 30 mol%, and a surfactant. It is preferable that the support formed by casting the solution is formed by being present in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more.

一方、本発明に係る異方性導電膜の製造方法は、ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、上記孔部の内壁面が外側方向に湾曲されている、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂よりなる多孔質膜を形成する工程と、上記多孔質膜の孔部内に導電性粒子を充填する工程と、上記導電性粒子を充填した膜の片面に接着層を形成する工程とを有することを要旨とする。   On the other hand, the method for producing an anisotropic conductive film according to the present invention has a large number of holes arranged in a honeycomb shape, the inner wall surface of the holes is curved outward, and the residual hydroxyl group amount is 22 mol. A step of forming a porous film made of a polyvinyl acetal resin in the range of more than% to less than 30 mol%, a step of filling conductive particles in the pores of the porous film, and a filling of the conductive particles And a step of forming an adhesive layer on one side of the film.

この際、上記多孔質膜の形成は、疎水性および揮発性を有する有機溶媒と、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂と、界面活性剤とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させることによると良い。   At this time, the formation of the porous film includes at least a hydrophobic and volatile organic solvent, a polyvinyl acetal resin having a residual hydroxyl group content in the range of more than 22 mol% to less than 30 mol%, and a surfactant. It is preferable that the support on which the polymer solution is contained be present in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more.

本発明に係る異方性導電膜は、ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、孔部の内壁面が外側方向に湾曲されている多孔質膜と、多孔質膜の孔部内に保持された導電性粒子と、高分子膜の片面に形成された接着層とを有しており、上記多孔質膜は、残存水酸基量が特定範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂より形成されている。   An anisotropic conductive film according to the present invention has a porous film having a large number of pores arranged in a honeycomb shape, and an inner wall surface of the pores is curved outward, and in the pores of the porous membrane. It has conductive particles held and an adhesive layer formed on one side of the polymer film, and the porous film is formed from a polyvinyl acetal resin having a residual hydroxyl group amount within a specific range. .

そのため、上記異方性導電膜は、水滴を利用して形成した多孔質膜を使用しつつ、かつ、導通性能を向上させることができる。   Therefore, the anisotropic conductive film can improve the conduction performance while using a porous film formed using water droplets.

すなわち、上記多孔質膜を形成するポリビニルアセタール系樹脂は、残存水酸基量が上記上限値で規定される。この場合、ポリビニルアセタール系樹脂の親水性の度合いが高くなりすぎず、これを原料にして水滴を利用した多孔質膜の形成方法を行っても、安定して成膜を行うことができる。そのため、水滴を利用して形成されるハニカム構造を有する多孔質膜の採用が可能となる。   That is, in the polyvinyl acetal resin forming the porous film, the amount of residual hydroxyl groups is defined by the above upper limit value. In this case, the degree of hydrophilicity of the polyvinyl acetal resin does not become too high, and even if a method for forming a porous film using water droplets is used as a raw material, the film can be stably formed. Therefore, it is possible to employ a porous film having a honeycomb structure formed using water droplets.

また、上記多孔質膜を形成するポリビニルアセタール系樹脂は、残存水酸基量が上記下限値で規定される。この場合、ポリビニルアセタール系樹脂の親水性の度合いが低くなりすぎず、多孔質膜自体が、被接続物との良好な接着性を発揮できる。そのため、多孔質膜の両面に接着層を形成する必要がなくなり、多孔質膜の片面に接着層を形成した2層構造の採用が可能となる。   In addition, the polyvinyl acetal resin forming the porous film has a residual hydroxyl amount defined by the lower limit. In this case, the degree of hydrophilicity of the polyvinyl acetal resin does not become too low, and the porous film itself can exhibit good adhesiveness to the connected object. Therefore, it is not necessary to form an adhesive layer on both sides of the porous film, and it is possible to adopt a two-layer structure in which an adhesive layer is formed on one side of the porous film.

上記導通性能が向上する理由としては、2層構造を採用可能になったことで、圧着時に、接着層の流動に伴う多孔質膜の崩れ、これに起因する導電性粒子の流出を抑制することができ、より多くの導電性粒子を、当初の規則的な配列をほぼ維持したまま被接続物の導体間に捕捉することが可能になること、多孔質膜自体が有する接着性と接着層とにより、多くの導電性粒子を挟持した状態のまま、被接続物間を機械的に接続することが可能なことなどが考えられる。   The reason why the conduction performance is improved is that by adopting a two-layer structure, it is possible to suppress the collapse of the porous film due to the flow of the adhesive layer and the outflow of conductive particles due to the flow during the pressure bonding. It is possible to capture more conductive particles between conductors of the connected object while maintaining the original regular arrangement, and the adhesion and adhesion layer of the porous film itself. Thus, it is conceivable that the objects to be connected can be mechanically connected in a state where many conductive particles are sandwiched.

なお、上記異方性導電膜は、片面に接着層を有しているので、例えば、ICチップのバンプなど、比較的高い突起状導体を有する被接続物との間でも、良好な電気的および機械的接続を図ることができる。   Since the anisotropic conductive film has an adhesive layer on one side, for example, good electrical and electrical connection with a connected object having a relatively high protruding conductor such as a bump of an IC chip. Mechanical connection can be achieved.

ここで、上記導電性粒子が多孔質膜に融着されている場合には、導電性粒子と多孔質膜との密着性が高まる。そのため、異方性導電膜の製造時に、導電性粒子が脱落し難くなり、ハンドリング性に優れる。   Here, when the conductive particles are fused to the porous film, the adhesion between the conductive particles and the porous film is enhanced. Therefore, at the time of manufacturing the anisotropic conductive film, the conductive particles are difficult to drop off, and the handling property is excellent.

また、多孔質膜に保持されている多数の導電性粒子が、ほぼ同一平面内に存在している場合には、積み重なった導電性粒子同士の接触によらずに、膜厚方向の導通を確保することができる。そのため、導電性粒子同士の接触抵抗がなくなり、その分、導通性能の向上に寄与する。また、圧着時に積み重なった導電性粒子が導体間から弾き出され、絶縁性を悪化させる心配も無くなる。   In addition, when a large number of conductive particles held in the porous film are present in almost the same plane, the conduction in the film thickness direction is ensured without depending on the contact between the stacked conductive particles. can do. Therefore, the contact resistance between the conductive particles is eliminated, which contributes to the improvement of the conduction performance. In addition, the conductive particles stacked at the time of crimping are ejected from between the conductors, and there is no fear of deteriorating insulation.

一方、本発明に係る異方性導電膜の製造方法は、ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、孔部の内壁面が外側方向に湾曲されている、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂よりなる多孔質膜を形成する工程と、多孔質膜の孔部内に導電性粒子を充填する工程と、導電性粒子を充填した膜の片面に接着層を形成する工程とを有する。そのため、上記作用効果を奏する異方性導電膜を得ることができる。   On the other hand, the method for producing an anisotropic conductive film according to the present invention has a large number of holes arranged in a honeycomb shape, the inner wall surface of the holes is curved outward, and the residual hydroxyl group amount is 22 mol%. A step of forming a porous film made of a polyvinyl acetal-based resin in a range of ultra to less than 30 mol%, a step of filling conductive particles in the pores of the porous film, and one side of the film filled with the conductive particles Forming an adhesive layer. Therefore, an anisotropic conductive film that exhibits the above-described effects can be obtained.

上記多孔質膜の形成が、疎水性および揮発性を有する有機溶媒と、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂と、界面活性剤とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させることによる場合には、水滴に由来して形成され、かつ、ハニカム状に配列した多数の孔部を有する、ハニカム構造の多孔質膜を得やすい。   The porous film is formed of a polymer containing at least a hydrophobic and volatile organic solvent, a polyvinyl acetal resin having a residual hydroxyl amount in the range of more than 22 mol% to less than 30 mol%, and a surfactant. When the support on which the solution is cast is present in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more, the honeycomb structure has a large number of pores formed from water droplets and arranged in a honeycomb shape. Easy to obtain a membrane.

以下、本実施形態に係る異方性導電膜(以下、「本ACF」ということがある。)本実施形態に係る異方性導電膜の製造方法(以下、「本製造方法」という。)について詳細に説明する。   Hereinafter, the anisotropic conductive film according to the present embodiment (hereinafter also referred to as “the present ACF”). The method for manufacturing the anisotropic conductive film according to the present embodiment (hereinafter referred to as “the present manufacturing method”). This will be described in detail.

1.本ACF
図1に、本ACFの模式的な断面図の一例を示す。本ACF10は、多孔質膜12と、導電性粒子14と、接着層16とを有している。
1. This ACF
FIG. 1 shows an example of a schematic cross-sectional view of the present ACF. The ACF 10 includes a porous film 12, conductive particles 14, and an adhesive layer 16.

本ACF10は、多孔質膜12と接着層16との2層構造であり、多孔質膜12自体が有する接着性と接着層16とにより、被接続物間を接着することができる。   The ACF 10 has a two-layer structure of a porous film 12 and an adhesive layer 16, and the objects to be connected can be bonded by the adhesive property of the porous film 12 itself and the adhesive layer 16.

(多孔質膜)
本ACFにおいて、多孔質膜は、ポリビニルアセタール系樹脂より形成されている。
(Porous membrane)
In the present ACF, the porous film is formed of a polyvinyl acetal resin.

上記ポリビニルアセタール系樹脂は、基本的には、ポリビニルアルコールを各種アルデヒドでアセタール化したものである。上記多孔質膜は、1種または2種以上のポリビニルアセタール系樹脂により形成されていても良い。   The polyvinyl acetal resin is basically a polyvinyl alcohol acetalized with various aldehydes. The porous film may be formed of one or more polyvinyl acetal resins.

上記アセタール化に用いるアルデヒドとしては特に限定されず、例えば、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ブチルアルデヒド、プロピルアルデヒドなどのアセタール化できるアルデヒドであればどのようなアルデヒドを用いてもよい。   The aldehyde used for the acetalization is not particularly limited, and any aldehyde that can be acetalized, such as formaldehyde, acetaldehyde, butyraldehyde, propylaldehyde, and the like may be used.

上記ポリビニルアセタール系樹脂としては、具体的には、例えば、ガラス、金属などとの接着性が良好である、入手がしやすいなどの観点から、ポリビニルブチラール系樹脂、ポリビニルホルマール系樹脂などが好ましい。特に好ましくは、ポリビニルブチラール系樹脂である。   Specific examples of the polyvinyl acetal resin include a polyvinyl butyral resin and a polyvinyl formal resin from the viewpoints of, for example, good adhesion to glass, metal, and the like, and easy availability. Particularly preferred is a polyvinyl butyral resin.

ここで、多孔質膜を形成するポリビニルアセタール系樹脂は、その残存水酸基量が、22mol%超〜30mol%未満の範囲内にある。   Here, the polyvinyl acetal resin forming the porous film has a residual hydroxyl amount in the range of more than 22 mol% to less than 30 mol%.

上記ポリビニルアセタール系樹脂は、基本的には、親水性材料であるが、上記残存水酸基量によってその親水性の度合が異なる。本ACFにおいて、上記残存水酸基量は、後述する水滴を利用してハニカム構造の多孔質膜を成膜する際の成膜性、本ACF使用時における被接続物との接着性の両方を確保するのに関与する物性である。   The polyvinyl acetal resin is basically a hydrophilic material, but the degree of hydrophilicity varies depending on the amount of residual hydroxyl group. In the present ACF, the amount of residual hydroxyl group ensures both the film formability when forming a honeycomb-structured porous film using water droplets, which will be described later, and the adhesion to the connected object when the present ACF is used. It is a physical property involved in

本ACFは、多孔質膜を形成するポリビニルアセタール系樹脂の残存水酸基量を上記範囲内とすることで、多孔質膜の成膜性と被接着物との接着性とのバランスに優れている。   This ACF is excellent in the balance between the film formability of the porous film and the adhesiveness to the adherend by setting the residual hydroxyl amount of the polyvinyl acetal resin forming the porous film within the above range.

上記残存水酸基量の下限は、接着性がより向上するなどの観点から、好ましくは、23mol%以上、より好ましくは、24mol%以上、さらにより好ましくは、24.5mol%以上であると良い。   The lower limit of the residual hydroxyl group is preferably 23 mol% or more, more preferably 24 mol% or more, and even more preferably 24.5 mol% or more, from the viewpoint of improving the adhesiveness.

一方、上記残存水酸基量の上限は、水滴を利用した多孔質膜の成膜性がより向上するなどの観点から、好ましくは、29.5mol%以下、より好ましくは、29mol%以下、さらにより好ましくは、28.5mol%以下であると良い。   On the other hand, the upper limit of the amount of the remaining hydroxyl group is preferably 29.5 mol% or less, more preferably 29 mol% or less, and still more preferably, from the viewpoint of improving the film formability of the porous film using water droplets. Is preferably 28.5 mol% or less.

上記残存水酸基量が22mol%以下になると、親水性の度合が低くなって接着性が低下し、圧着後に剥離する傾向が見られる。また、上記残存水酸基量が30mol%以上になると、親水性の度合が高くなり、水滴を利用して、規則性の良好なハニカム構造の多孔質膜を成膜し難くなる傾向が見られる。   When the amount of the residual hydroxyl group is 22 mol% or less, the degree of hydrophilicity is lowered, the adhesiveness is lowered, and a tendency to peel off after press bonding is observed. In addition, when the amount of the remaining hydroxyl group is 30 mol% or more, the degree of hydrophilicity increases, and it tends to be difficult to form a porous film having a well-ordered honeycomb structure using water droplets.

なお、上記残存水酸基量は、IR測定により、ビニルアルコールに由来する水酸基量(mol%)と、残存アセチル基に由来するアセチル基量(mol%)とについて予め吸光度を用いた検量線を求めておき、実際のサンプルを測定して、上記検量線から算出することができる(JISK6728に準拠)。   The amount of residual hydroxyl group was determined by IR measurement in advance with a calibration curve using absorbance for the amount of hydroxyl group derived from vinyl alcohol (mol%) and the amount of acetyl group derived from residual acetyl group (mol%). In addition, an actual sample can be measured and calculated from the calibration curve (based on JISK6728).

本ACFにおいて、上記多孔質膜は、ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、孔部の内壁面が外側方向に湾曲されたハニカム構造を有している。   In the present ACF, the porous film has a honeycomb structure in which a large number of holes are arranged in a honeycomb shape, and the inner wall surface of the holes is curved outward.

ここで、上記孔部は、膜厚方向に貫通する貫通孔であっても良いし、膜厚方向に貫通しない非貫通孔であっても良い。また、上記孔部は、貫通孔と非貫通孔との両方を有していても良い。好ましくは、非貫通孔であると良い。   Here, the hole may be a through-hole penetrating in the film thickness direction or a non-through hole not penetrating in the film thickness direction. The hole may have both a through hole and a non-through hole. Preferably, it is a non-through hole.

本ACFの製造時に、導電性粒子が脱落し難くなりハンドリング性に優れる、本ACF圧着時に、接着層形成面側と反対面側から導電性粒子が流出し難くなり、導通性能を高めやすくなるなどの利点があるからである。   During production of this ACF, the conductive particles are less likely to drop off and have excellent handling properties. During this ACF press-bonding, it is difficult for the conductive particles to flow out from the side opposite to the adhesive layer forming surface, making it easier to improve the conduction performance. Because there is an advantage of.

上記孔部の内壁面の湾曲形状としては、具体的には、例えば、略球面状(厚み方向に潰れた略球面状なども含む)などを好適な形状として例示することができる。   Specific examples of the curved shape of the inner wall surface of the hole include, for example, a substantially spherical shape (including a substantially spherical shape crushed in the thickness direction) and the like.

なお、上記ハニカム構造は、通常、機械的な加工などを用いて作製することが困難な構造である。そのため、上記ハニカム構造を有することは、後述する水滴を利用した成膜法を使用していることの有力な根拠の一つとなる。   The honeycomb structure is usually a structure that is difficult to fabricate using mechanical processing or the like. Therefore, having the honeycomb structure is one of the promising grounds for using a film forming method using water droplets, which will be described later.

上記孔部の開口径は、異方導電の信頼性を高めるなどの観点から、例えば、被接続物が有する複数の導体の間隔のうち、最も狭いものよりも小さく、かつ、上記孔部の間隔は、被接続物が有する複数の導体(例えば、ICチップのバンプ、プリント配線板の回路パターンなど)の幅のうち、最も狭いものよりも小さいことが望ましい。   From the standpoint of increasing the reliability of anisotropic conduction, for example, the opening diameter of the hole is smaller than the narrowest of the intervals between the plurality of conductors of the connected object, and the interval between the holes. Is preferably smaller than the narrowest of the widths of a plurality of conductors (for example, bumps of an IC chip, circuit patterns of a printed wiring board, etc.) included in the connected object.

この場合、好ましくは、上記孔部の開口径は、被接続物が有する複数の導体の間隔のうち、最も狭いものの1/2以下、かつ、上記孔部の間隔は、被接続物が有する複数の導体の幅のうち、最も狭いものの1/2以下であると良い。   In this case, it is preferable that the opening diameter of the hole is ½ or less of the narrowest of the intervals between the plurality of conductors of the connected object, and the interval of the hole is a plurality of the number of the connected object. The width of the conductor is preferably 1/2 or less of the narrowest width.

なお、上記孔部の開口径とは、多孔質膜表面をレーザー顕微鏡で観察し、任意に選択した孔部10個について測定した各開口部分の直径の平均値をいう。また、上記孔部の間隔とは、多孔質膜表面をレーザー顕微鏡で観察し、任意に選択した隣接する孔部の開口縁部間10箇所について測定した各開口縁部間の距離の平均値をいう。   In addition, the opening diameter of the said hole means the average value of the diameter of each opening part measured about 10 porous parts which observed the porous membrane surface with the laser microscope and was selected arbitrarily. Moreover, the said space | interval of the said hole part observes the porous membrane surface with a laser microscope, and measured the average value of the distance between each opening edge part measured about 10 places between the opening edge parts of the adjacently selected hole part. Say.

このような多孔質膜は、水と混ざらず、揮発する有機溶媒中に、上記ポリビニルアセタール系樹脂を溶かし、この高分子溶液をキャストした支持体を、高湿度雰囲気下に存在させる方法を用いて好適に形成することができる。詳しくは、本製造方法の項にて後述する。   Such a porous membrane is obtained by dissolving the polyvinyl acetal resin in a volatile organic solvent that is not mixed with water and using a method in which a support obtained by casting the polymer solution is present in a high humidity atmosphere. It can form suitably. Details will be described later in the section of this manufacturing method.

上記多孔質膜の膜厚は、充填する導電性粒子の粒径、膜強度、製造時のハンドリング性などを考慮して決定することができる。   The film thickness of the porous film can be determined in consideration of the particle size of the conductive particles to be filled, the film strength, the handleability during production, and the like.

上記多孔質膜の膜厚の上限は、好ましくは、上記導電性粒子の粒径の3/2倍以下、より好ましくは、上記導電性粒子の粒径の1倍以下、さらにより好ましくは、上記導電性粒子の粒径の2/3倍以下であると良い。   The upper limit of the thickness of the porous membrane is preferably 3/2 or less of the particle size of the conductive particles, more preferably 1 or less of the particle size of the conductive particles, and even more preferably It is good that it is 2/3 times or less the particle size of the conductive particles.

一方、上記多孔質膜の膜厚の下限は、好ましくは、上記導電性粒子の粒径の1/10倍以上、より好ましくは、上記導電性粒子の粒径の1/5倍以上、さらにより好ましくは、上記導電性粒子の粒径の1/3倍以上であると良い。   On the other hand, the lower limit of the thickness of the porous membrane is preferably 1/10 or more times the particle size of the conductive particles, more preferably 1/5 or more times the particle size of the conductive particles, and even more. Preferably, it is 1/3 times or more the particle size of the conductive particles.

上記多孔質膜の膜厚が上記範囲内にある場合には、導電性粒子の充填時に、膜厚方向に導電性粒子が積み重なって充填され難くなる。また、被接続物が有する導体(ICチップのバンプなど)が導電性粒子を押し潰す際に、多孔質膜がそれを阻害し難い。そのため、導電性粒子が捕捉されやすくなり、膜厚方向の導通性能も向上させやすくなるからである。   When the film thickness of the porous film is within the above range, the conductive particles are stacked in the film thickness direction and difficult to be filled when the conductive particles are filled. In addition, when a conductor (IC chip bump or the like) included in the connected object crushes the conductive particles, the porous film is unlikely to hinder it. For this reason, the conductive particles are easily captured and the conduction performance in the film thickness direction is easily improved.

(導電性粒子)
本ACFにおいて、導電性粒子は、上記多孔質膜が有する多数の孔部内に保持されている。
(Conductive particles)
In the present ACF, the conductive particles are held in a large number of pores of the porous film.

上記導電性粒子の形態としては、具体的には、例えば、略球状(断面が略楕円形状のものも含む)、略柱状、紡錘状、針状などを例示することができる。好ましくは、本ACFの製造時に孔部内に導電性粒子を充填しやすい、膜面方向の絶縁信頼性に優れる、均等に圧縮されやすいなどの観点から、導電性粒子の形態は、略球状であると良い。   Specific examples of the conductive particles include substantially spherical shapes (including those having a substantially elliptical cross section), substantially columnar shapes, spindle shapes, needle shapes, and the like. Preferably, the shape of the conductive particles is substantially spherical from the viewpoint of easily filling the pores with the conductive particles during the production of the present ACF, excellent insulation reliability in the film surface direction, and being easily compressed uniformly. And good.

上記導電性粒子は、本ACFの使用時に、膜厚方向を電気的に接続可能な導電性を備えておれば良い。   The conductive particles only need to have conductivity capable of being electrically connected in the film thickness direction when the ACF is used.

上記導電性粒子としては、具体的には、例えば、その表面から中心部まで導電性物質で満たされている粒子、高分子粒子の表面に1層または2層以上の導電性層が被覆されている粒子などを例示することができる。   Specific examples of the conductive particles include, for example, particles that are filled with a conductive substance from the surface to the center thereof, and the surface of the polymer particles that are coated with one or more conductive layers. The particle | grains etc. which can be illustrated can be illustrated.

好ましくは、後者の粒子を用いると良い。加圧により粒子が弾性変形しやすいため、本ACFの使用時に、被接続物が有する導体との接触面積が大きくなり、膜厚方向の導通性を確保しやすくなるからである。   The latter particles are preferably used. This is because the particles are easily elastically deformed by the pressurization, so that when the present ACF is used, the contact area with the conductor of the connected object is increased, and it is easy to ensure conductivity in the film thickness direction.

より具体的には、例えば、前者の粒子の例として、金属粒子、カーボン粒子などを、後者の粒子の例として、樹脂粒子の表面に1層または2層以上の金属めっき層(電解めっき、無電解めっきなど)やスパッタ層などを有する粒子などを例示することができる。   More specifically, for example, as an example of the former particles, metal particles, carbon particles and the like are used, and as an example of the latter particles, one or two or more metal plating layers (electrolytic plating, Electrolytic plating etc.) and particles having a sputtered layer can be exemplified.

上記導電性物質、導電性層に適用可能な金属としては、具体的には、例えば、金、銀、白金属(白金、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、オスミニウム、イリジウム)、ニッケル、銅、亜鉛、鉄、鉛、錫、アルミニウム、コバルト、インジウム、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、ゲルマニウム、カドミウムなどの金属、錫−鉛合金、錫−銅合金、錫−銀合金、錫−鉛−銀合金などの2種以上の金属で構成される合金などを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。   Specific examples of metals that can be used in the conductive material and conductive layer include gold, silver, white metals (platinum, palladium, ruthenium, rhodium, osmium, iridium), nickel, copper, zinc, and iron. 2 such as lead, tin, aluminum, cobalt, indium, chromium, titanium, antimony, bismuth, germanium, cadmium, etc., tin-lead alloy, tin-copper alloy, tin-silver alloy, tin-lead-silver alloy, etc. Examples include alloys composed of more than one kind of metal. These may be contained alone or in combination of two or more.

上記高分子粒子に適用可能な高分子としては、具体的には、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリイソブチレン、ポリブタジエン、ポリアルキレンテレフタレート、ポリスルホン、ポリカーボネート、ポリアミド、フェノールホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、(メタ)アクリル酸エステル重合体、ジビニルベンゼン重合体、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体やジビニルベンゼン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体等のジビニルベンゼン系重合体などを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。なお、上記(メタ)アクリル酸エステルは、必要に応じて架橋されていても良い。   Specific examples of the polymer applicable to the polymer particles include polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polytetrafluoroethylene, polyisobutylene, polybutadiene, polyalkylene terephthalate, polysulfone, Polycarbonate, polyamide, phenol formaldehyde resin, melamine formaldehyde resin, benzoguanamine formaldehyde resin, urea formaldehyde resin, (meth) acrylic acid ester polymer, divinylbenzene polymer, divinylbenzene-styrene copolymer and divinylbenzene- (meth) acrylic acid Examples thereof include divinylbenzene polymers such as ester copolymers. These may be contained alone or in combination of two or more. In addition, the said (meth) acrylic acid ester may be bridge | crosslinked as needed.

好ましくは、(メタ)アクリル酸エステル重合体、ジビニルベンゼン重合体、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体やジビニルベンゼン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体等のジビニルベンゼン系重合体などである。   Preferred are dimethybenzene-based polymers such as (meth) acrylic acid ester polymers, divinylbenzene polymers, divinylbenzene-styrene copolymers and divinylbenzene- (meth) acrylic acid ester copolymers.

さらに、本ACFでは、上記導電性粒子の表面に、TiOなどの絶縁性の酸化物や上記高分子などによる絶縁層が1層または2層以上被覆された粒子を用いても良い。もっとも、上記絶縁層は、本ACFの圧着時に、少なくとも電極などの導体に接した部分が破壊されて導通可能になる厚さとされている必要がある。このような粒子を用いた場合には、電極などの導体に接しない部分は絶縁層が破壊し難いため、膜面方向の絶縁性を向上させやすい。 Further, in the present ACF, particles in which one or two or more insulating layers made of an insulating oxide such as TiO 2 or the above polymer are coated on the surface of the conductive particles may be used. However, it is necessary that the insulating layer has a thickness that allows at least a portion in contact with a conductor such as an electrode to be broken and conductive when the ACF is crimped. In the case where such particles are used, the insulating layer is difficult to break in a portion that is not in contact with a conductor such as an electrode, so that it is easy to improve the insulation in the film surface direction.

上記導電性粒子の粒径は、上記多孔質膜の孔部の開口径、孔部の深さ、被接続物が有する導体の幅やピッチなどを考慮して決定することができる。   The particle size of the conductive particles can be determined in consideration of the opening diameter of the hole of the porous film, the depth of the hole, the width and pitch of the conductor of the connected object, and the like.

上記導電性粒子の粒径の上限は、具体的には、好ましくは、10μm以下、より好ましくは、7μm以下、さらにより好ましくは、5μm以下などである。   Specifically, the upper limit of the particle size of the conductive particles is preferably 10 μm or less, more preferably 7 μm or less, and even more preferably 5 μm or less.

一方、上記導電性粒子の粒径の下限は、具体的には、好ましくは、1μm以上、より好ましくは、2μm以上、さらにより好ましくは、3μm以上などである。   On the other hand, the lower limit of the particle size of the conductive particles is specifically preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more, and even more preferably 3 μm or more.

なお、上記導電性粒子の粒径は、粒度分布測定装置(セイシン企業製、「PITA−1」)にて測定した平均粒径である。また、本ACFは、上記した導電性粒子を1種または2種以上含んでいても良い。   In addition, the particle diameter of the said electroconductive particle is an average particle diameter measured with the particle size distribution measuring apparatus (The Seishin company make, "PITA-1"). Further, the present ACF may contain one or more of the above-described conductive particles.

本ACFにおいて、上記導電性粒子は、当該導電性粒子と多孔質膜との間に隙間を有した状態で、多孔質膜に保持されていても良いし、当該導電性粒子と多孔質膜とが密着した状態で、多孔質膜に保持されていても良い。   In the present ACF, the conductive particles may be held in the porous film with a gap between the conductive particles and the porous film, or the conductive particles and the porous film May be held in the porous membrane in a state of being in close contact with each other.

本ACFの製造時などに、導電性粒子が脱落し難く、ハンドリング性に優れるなどの観点から、当該導電性粒子と多孔質膜とは密着していると良い。より好ましくは、上記効果に優れるなどの観点から、当該導電性粒子と多孔質膜とは融着していると良い。   The conductive particles and the porous film are preferably in close contact with each other from the viewpoint that the conductive particles do not easily fall off during the production of the present ACF and the handling property is excellent. More preferably, the conductive particles and the porous film are preferably fused from the viewpoint of excellent effects.

上記導電性粒子は、上記多孔質膜の両面に導電性粒子の一部が露出された状態で保持されていても良いし、上記多孔質膜の何れか一方面に導電性粒子の一部が露出された状態で保持されていても良い。   The conductive particles may be held in a state in which a part of the conductive particles are exposed on both surfaces of the porous film, or a part of the conductive particles may be on one side of the porous film. It may be held in an exposed state.

導電性粒子が露出されている場合には、露出面側に配置される被接続物の導体と接触しやすくなる。そのため、導通性を確保しやすくなる。   When the conductive particles are exposed, the conductive particles are easily brought into contact with the conductor of the connected object disposed on the exposed surface side. Therefore, it becomes easy to ensure conductivity.

好ましくは、上記効果に優れるなどの観点から、上記導電性粒子は、多孔質膜膜の少なくとも一方面から、その一部を突出させた状態で保持されていると良い。   Preferably, from the viewpoint of excellent effects, the conductive particles may be held in a state in which a part thereof is projected from at least one surface of the porous membrane.

また、上記導電性粒子が、接着層形成面と反対側の膜面に、その一部を露出させずに、多孔質膜に保持されている場合には、本ACFの製造時に、導電性粒子が脱落し難くなるため、ハンドリング性に優れる。   Further, when the conductive particles are held on the porous film without exposing a part of the conductive particles on the film surface opposite to the adhesive layer forming surface, the conductive particles are produced during the production of the ACF. Since it is difficult to drop off, it is excellent in handling.

なお、上記導電性粒子は、多孔質膜の両面に露出されない状態で、保持されていても構わない。   In addition, the said electroconductive particle may be hold | maintained in the state which is not exposed on both surfaces of a porous membrane.

本ACFでは、多数の導電性粒子は、ほぼ同一平面(多孔質膜の膜面とほぼ平行な面)内に存在すると良い。この場合には、膜厚方向に複数の導電性粒子が積み重ならない。そのため、膜厚方向の導通に、導電性粒子同士の接触抵抗が関与せず、導通性能を向上させやすくなる。また、圧着時に積み重なった導電性粒子が導体間から弾き出され、絶縁性を悪化させる心配も無くなる。   In the present ACF, a large number of conductive particles are preferably present in substantially the same plane (a plane substantially parallel to the membrane surface of the porous membrane). In this case, a plurality of conductive particles are not stacked in the film thickness direction. Therefore, the contact resistance between the conductive particles is not involved in the conduction in the film thickness direction, and the conduction performance is easily improved. In addition, the conductive particles stacked at the time of crimping are ejected from between the conductors, and there is no fear of deteriorating insulation.

なお、上記導電性粒子同士の間隔は、用いた多孔質膜の孔部の間隔によって、主に決定される。   In addition, the space | interval of the said electroconductive particles is mainly determined by the space | interval of the hole part of the used porous membrane.

(接着層)
本ACFは、上記多孔質膜の片面に接着層を有している。強固な機械的接続を得るなどの観点から、接着層は1層あった方が良いからである。
(Adhesive layer)
This ACF has an adhesive layer on one side of the porous membrane. This is because it is better to have one adhesive layer from the viewpoint of obtaining a strong mechanical connection.

上記接着層材料は、被接続物との接着性、絶縁性を有するものであれば、何れのものでも使用することができる。   Any material can be used as the adhesive layer material as long as it has adhesiveness and insulating properties with respect to the connected object.

上記接着層材料としては、各種の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂やゴムなどを用いることができる。具体的には、例えば、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、フェノール系樹脂、ジアリルフタレート系樹脂、ビスマレイミドトリアジン系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、フェノキシ系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、シアネート系樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリフェニレンオキシド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリアセタール系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリビニル系樹脂などの熱可塑性樹脂、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ビニル基、アミノ基、エポキシ基などの官能基を1種または2種以上含むゴムやエラストマーなどを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。   As the adhesive layer material, various thermosetting resins, thermoplastic resins, rubbers, and the like can be used. Specifically, for example, epoxy resin, melamine resin, phenol resin, diallyl phthalate resin, bismaleimide triazine resin, unsaturated polyester resin, polyurethane resin, phenoxy resin, polyamide resin, polyimide resin Resin, thermosetting resin such as cyanate resin, polyamide resin, polyester resin, polycarbonate resin, polyphenylene oxide resin, polyurethane resin, polyacetal resin, polyvinyl acetal resin, polyethylene resin, polypropylene resin, Examples thereof include thermoplastic resins such as polyvinyl resins, rubbers and elastomers containing one or more functional groups such as hydroxyl groups, carboxyl groups, vinyl groups, amino groups, and epoxy groups. These may be contained alone or in combination of two or more.

上記熱硬化性樹脂としては、被接続物との密着性に優れるなどの観点から、具体的には、例えば、エポキシ系樹脂などを好適に用いることができる。   Specifically, as the thermosetting resin, for example, an epoxy resin or the like can be suitably used from the viewpoint of excellent adhesion to an object to be connected.

また、上記接着層材料は、上記熱硬化性樹脂を半硬化させたプリプレグとされていても良い。この場合には、例えば、被接続物が有する複数の導体間の隙間に接着層が流動排除されやすくなる。また、被接続物との密着性も高まる。   The adhesive layer material may be a prepreg obtained by semi-curing the thermosetting resin. In this case, for example, the adhesive layer easily flows out in the gaps between the plurality of conductors of the connected object. Moreover, the adhesiveness with a to-be-connected object also increases.

上記接着層材料は、85℃における弾性率(熱硬化するものは熱硬化前)が、好ましくは、1MPa以上、より好ましくは、7MPa以上であると良い。また、210℃における弾性率(熱硬化するものは熱硬化後)が、好ましくは、1.5MPa以上、より好ましくは、2.5MPa以上であると良い。   The adhesive layer material preferably has an elastic modulus at 85 ° C. (before thermosetting for those that are thermally cured), preferably 1 MPa or more, and more preferably 7 MPa or more. The elastic modulus at 210 ° C. (after thermosetting for those that are thermally cured) is preferably 1.5 MPa or more, and more preferably 2.5 MPa or more.

弾性率が上記範囲内であれば、導電性粒子の保持力が良好であり、多孔質膜の動きも少なく、導電性粒子が一層流出し難いからである。   If the elastic modulus is within the above range, the holding force of the conductive particles is good, the movement of the porous film is small, and the conductive particles are more difficult to flow out.

なお、上記85℃の弾性率は、その高分子よる試料(直径20mm、厚み400μm)を作製し、応力制御型レオメータ(例えば、ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン(株)製、「AR500」などが上市されている。)を使用して、昇温速度5℃/分、周波数1Hz、圧縮歪み0.1%の測定条件にて、20℃から180℃までの弾性率を測定して求まる値である。   The elastic modulus at 85 ° C. was obtained by preparing a sample (diameter 20 mm, thickness 400 μm) of the polymer and using a stress-controlled rheometer (for example, “AR500” manufactured by TA Instruments Japan Co., Ltd.). Etc.) is used to measure the elastic modulus from 20 ° C. to 180 ° C. under the measurement conditions of a temperature rising rate of 5 ° C./min, a frequency of 1 Hz, and a compression strain of 0.1%. Value.

一方、上記210℃の弾性率は、その高分子による試料(幅5mm、長さ30mm、厚み2mm)を210℃、5MPaで6分間熱圧着したサンプルを作製し、動的粘弾性測定装置(例えば、株式会社ユービーエム製、「Rheogel−E4000F」などが上市されている。)を使用して、昇温速度3℃/分、周波数15Hz、歪み0.05%(自動調整)、自動静荷重、チャック間隔20mmの測定条件にて、30℃〜230℃までの弾性率を測定して求まる値である。   On the other hand, the elastic modulus at 210 ° C. is obtained by preparing a sample obtained by thermocompression bonding a sample made of the polymer (width 5 mm, length 30 mm, thickness 2 mm) at 210 ° C. and 5 MPa for 6 minutes. , Manufactured by UBM Co., Ltd., “Rheogel-E4000F” etc. is marketed.), Temperature rising rate 3 ° C./min, frequency 15 Hz, strain 0.05% (automatic adjustment), automatic static load, It is a value obtained by measuring the elastic modulus from 30 ° C. to 230 ° C. under the measurement condition of chuck interval 20 mm.

上記接着層の厚みは、接着層と接着する被接続物が有する導体(ICチップのバンプなど)の高さ、被接続物同士(ICチップと回路パターンなど)の間に生じる隙間量などを考慮して決定することができる。   The thickness of the adhesive layer takes into account the height of the conductor (IC chip bump, etc.) of the connected object to be bonded to the adhesive layer, and the amount of gap generated between the connected objects (IC chip and circuit pattern, etc.). Can be determined.

上記接着層の厚みの上限は、好ましくは、接着層と接着する被接続物が有する導体の高さの3倍以下、より好ましくは、2倍以下、さらにより好ましくは、1.75倍以下であると良い。   The upper limit of the thickness of the adhesive layer is preferably 3 times or less, more preferably 2 times or less, and even more preferably 1.75 times or less the height of the conductor of the connected object to be bonded to the adhesive layer. Good to have.

上記接着層の厚みの下限は、好ましくは、接着層と接着する被接続物が有する導体の高さの1倍以上、より好ましくは、1.2倍以上、さらにより好ましくは、1.3倍以上であると良い。   The lower limit of the thickness of the adhesive layer is preferably 1 time or more, more preferably 1.2 times or more, and even more preferably 1.3 times the height of the conductor of the connected object to be bonded to the adhesive layer. It is good to be above.

この際、上記接着層の厚みは、被接続物同士の間に生じる隙間を埋めやすくなるなどの観点から、上記多孔質膜の膜厚よりも厚くなるように選択すると良い。   At this time, the thickness of the adhesive layer is preferably selected so as to be thicker than the thickness of the porous film from the viewpoint of easily filling a gap generated between the connected objects.

2.本製造方法
本製造方法は、多孔質膜形成工程と、粒子充填工程と、接着層形成工程とを有している。
2. This Manufacturing Method This manufacturing method includes a porous film forming step, a particle filling step, and an adhesive layer forming step.

(多孔質膜形成工程)
本製造方法において、多孔質膜形成工程は、ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、上記孔部の内壁面が外側方向に湾曲されている、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂よりなる多孔質膜を形成する工程である。
(Porous membrane formation process)
In this production method, the porous film forming step has a large number of holes arranged in a honeycomb shape, and the inner wall surface of the holes is curved outward, and the amount of residual hydroxyl group exceeds 22 mol% to 30 mol. It is a step of forming a porous film made of a polyvinyl acetal resin within a range of less than%.

ここで、上記多孔質膜は、水と混ざらず、揮発する有機溶媒中に、上記ポリビニルアセタール系樹脂を溶かし、この高分子溶液をキャストした支持体を、高湿度雰囲気下に存在させる方法を用いて好適に形成することができる。   Here, the porous membrane is not mixed with water, and uses a method in which the polyvinyl acetal resin is dissolved in a volatile organic solvent and the support obtained by casting the polymer solution is present in a high-humidity atmosphere. Can be suitably formed.

この方法によれば、概ね以下の原理によって上記多孔質膜が自発的に形成される。   According to this method, the porous film is spontaneously formed on the basis of the following principle.

すなわち、支持体の表面に、所定塗布厚で膜状に形成された高分子溶液は、溶液中の有機溶媒が蒸発する際に潜熱を奪われる。そのため、温度が下がった高分子溶液の表面には、雰囲気中の水蒸気が凝結して形成された微小な水滴群が付着する。付着した水滴群は、潜熱によって高分子溶液内に生じた対流やキャピラリーフォースなどにより輸送、集積され、最終的には最密充填される。その後、最密充填された水滴群が蒸発すると、自己組織化的に配列した水滴群を鋳型として、ハニカム構造を有する多孔質膜が形成される。   That is, the polymer solution formed in a film shape with a predetermined coating thickness on the surface of the support is deprived of latent heat when the organic solvent in the solution evaporates. Therefore, a group of minute water droplets formed by condensation of water vapor in the atmosphere adheres to the surface of the polymer solution whose temperature has decreased. The adhering water droplets are transported and collected by convection or capillary force generated in the polymer solution by latent heat, and are finally packed most closely. Thereafter, when the closely packed water droplet group evaporates, a porous film having a honeycomb structure is formed using the self-organized water droplet group as a template.

このようにして形成された多孔質膜は、貫通孔、非貫通孔の何れの孔部を有している場合であっても、基本的には、次のような立体構造を有している。   The porous membrane thus formed basically has the following three-dimensional structure regardless of whether it has through holes or non-through holes. .

すなわち、孔部は、ハニカム状に配列されており、隣接する各孔部同士は、隔壁により離間されている。また、これら孔部は、水滴を鋳型として形成されることから、その内壁面が、外側方向に向かって略球面状に湾曲されている(水滴表面に由来するため、孔部の開口径より孔部の内径の方が大きくなっている)。また、それ故、隔壁は、隣接する各孔部の内壁面同士が最も近接する付近に、膜面付近よりも肉厚の薄いくびれ部を有している。   That is, the holes are arranged in a honeycomb shape, and the adjacent holes are separated by the partition walls. In addition, since these holes are formed using water droplets as a mold, the inner wall surface thereof is curved in a substantially spherical shape toward the outer side (because it is derived from the surface of the water droplets, the hole diameter is larger than the opening diameter of the holes). The inner diameter of the part is larger). Therefore, the partition wall has a constricted portion having a thinner thickness than the vicinity of the film surface in the vicinity where the inner wall surfaces of the adjacent hole portions are closest to each other.

上記多孔質膜の形成方法としては、より具体的には、例えば、疎水性および揮発性を有する有機溶媒と、上記ポリビニルアセタール系樹脂と、界面活性剤とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させる方法などを好適に用いることができる。   More specifically, the method for forming the porous film is, for example, a support obtained by casting a polymer solution containing at least a hydrophobic and volatile organic solvent, the polyvinyl acetal resin, and a surfactant. A method of allowing the body to exist in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more can be suitably used.

この場合、上記疎水性および揮発性を有する有機溶媒としては、具体的には、例えば、クロロホルム、塩化メチレンなどのハロゲン化物、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類、メチルエチルケトン(MEK)、アセトンなどのケトン類などを例示することができる。これらは1種または2種以上混合されていても良い。   In this case, specific examples of the hydrophobic and volatile organic solvent include halides such as chloroform and methylene chloride, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene, ethyl acetate, butyl acetate and the like. And ketones such as methyl ethyl ketone (MEK) and acetone. These may be used alone or in combination.

上記ポリビニルアセタール系樹脂の内容は、「1.本ACF」で述べた通りであるので割愛するが、1種または2種以上併用することができる。   Since the content of the polyvinyl acetal resin is as described in “1. Present ACF”, it is omitted here, but one or more of them can be used in combination.

上記界面活性剤は、主として、高分子溶液の表面上に付着する水滴群を安定化させるなどの目的で添加されるものである。基本的には、疎水的な部位と親水的な部位とを合わせ持った化合物である。   The surfactant is added mainly for the purpose of stabilizing water droplets adhering to the surface of the polymer solution. Basically, it is a compound having both a hydrophobic part and a hydrophilic part.

上記界面活性剤としては、具体的には、例えば、親水性のアクリルアミドポリマーを主鎖骨格とし、疎水性側鎖としてドデシル基など、親水性側鎖としてラクトース基もしくはカルボキシル基などを併せもつポリマー、または、ヘパリンやデキストラン硫酸などのアニオン性多糖と4級の長鎖アルキルアンモニウム塩とのポリイオン性錯体などを例示することができる。これらは1種または2種以上併用することができる。   As the surfactant, specifically, for example, a polymer having a hydrophilic acrylamide polymer as a main chain skeleton, a dodecyl group as a hydrophobic side chain, a lactose group or a carboxyl group as a hydrophilic side chain, Alternatively, a polyionic complex of an anionic polysaccharide such as heparin or dextran sulfate and a quaternary long chain alkyl ammonium salt can be exemplified. These can be used alone or in combination of two or more.

上記高分子溶液中に含まれるポリビニルアセタール系樹脂の濃度の上限は、結露する水滴の保持性などの観点から、好ましくは、1重量%以下、より好ましくは、0.5重量%以下、さらにより好ましくは、0.4重量%以下である。   The upper limit of the concentration of the polyvinyl acetal resin contained in the polymer solution is preferably 1% by weight or less, more preferably 0.5% by weight or less, and even more preferably, from the viewpoint of retention of water droplets that form condensation. Preferably, it is 0.4 weight% or less.

一方、上記高分子溶液中に含まれるポリビニルアセタール系樹脂の濃度の下限は、水滴結露時間などの観点から、好ましくは、0.01重量%以上、より好ましくは、0.1重量%以上、さらにより好ましくは、0.2重量%以上である。   On the other hand, the lower limit of the concentration of the polyvinyl acetal resin contained in the polymer solution is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.1% by weight or more, from the viewpoint of water droplet condensation time, etc. More preferably, it is 0.2% by weight or more.

また、上記界面活性剤の含有量の上限は、結露する水滴の保持性などの観点から、ポリビニルアセタール系樹脂量に対して、好ましくは、1倍量以下、より好ましくは、1/2倍量以下、さらにより好ましくは、1/4倍量以下である。   In addition, the upper limit of the content of the surfactant is preferably not more than 1 time, more preferably 1/2 times the amount of the polyvinyl acetal resin, from the viewpoint of retention of water droplets that form condensation. In the following, it is even more preferably ¼ or less.

一方、上記界面活性剤の含有量の下限は、結露する水滴の保持性などの観点から、ポリビニルアセタール系樹脂量に対して、好ましくは、1/30倍量以上、より好ましくは、1/20倍量以上、さらにより好ましくは、1/15倍量以上である。   On the other hand, the lower limit of the content of the surfactant is preferably 1/30 times or more, more preferably 1/20, relative to the amount of polyvinyl acetal resin, from the viewpoint of retention of water droplets that form condensation. Double amount or more, and even more preferably, 1/15 times or more.

上記高分子溶液をキャストする支持体の材料は、上記高分子溶液による液膜の形成に影響を及ぼさない一方、当該溶液に含まれる有機溶媒や各種の添加剤などにより、変質したり、腐食したりしない材料であれば、特に限定されるものではない。支持体の材料としては、具体的には、例えば、ガラス、金属、シリコンウェハーなどの無機材料、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエーテルケトン、フッ素樹脂などの高分子材料、水、流動パラフィンなどの液体などを例示することができる。   While the material of the support for casting the polymer solution does not affect the formation of a liquid film by the polymer solution, it is altered or corroded by an organic solvent or various additives contained in the solution. The material is not particularly limited as long as it is a non-destructive material. Specific examples of the material for the support include inorganic materials such as glass, metal, and silicon wafers, polymer materials such as polypropylene, polyethylene, polyetherketone, and fluororesin, and liquids such as water and liquid paraffin. It can be illustrated.

上記支持体の形状は、特に限定されるものではなく、上記高分子溶液による液膜をその表面で安定して保持できるような形状であれば良い。通常は、例えば、板状、フィルム状などの平面状のものを好適に用いることができる。   The shape of the support is not particularly limited as long as it can stably hold the liquid film formed of the polymer solution on the surface thereof. Usually, for example, a planar shape such as a plate shape or a film shape can be suitably used.

上記高分子溶液を支持体上にキャストする際の塗布厚は、例えば、上記ポリビニルアセタール系樹脂の濃度、溶液の粘度などを考慮して、水滴群が貫通孔、非貫通孔を形成できるように適宜調節することができる。   The coating thickness when casting the polymer solution on the support is such that, for example, the concentration of the polyvinyl acetal resin, the viscosity of the solution, etc. are taken into account so that the water droplet group can form through holes and non-through holes. It can be adjusted as appropriate.

上記高分子溶液をキャストした支持体は、相対湿度50%以上、好ましくは、50%〜95%の気体雰囲気下に存在させることが望ましい。相対湿度が上記範囲内にあれば、十分な結露を生じさせやすいためである。   The support on which the polymer solution is cast is desirably present in a gas atmosphere having a relative humidity of 50% or more, preferably 50% to 95%. This is because if the relative humidity is within the above range, sufficient condensation is likely to occur.

この際、相対湿度50%以上の雰囲気下中で上記高分子溶液を支持体上にキャストしても良いし、予め高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に置いても良い。また、相対湿度50%以上の気体を高分子溶液に、上方または斜め方向から吹きかけるなどしても良い。   At this time, the polymer solution may be cast on a support in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more, or the support on which the polymer solution has been cast in advance is placed in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more. Also good. Alternatively, a gas having a relative humidity of 50% or more may be blown onto the polymer solution from above or from an oblique direction.

雰囲気中の気体、吹きかける気体としては、具体的には、例えば、アルゴンガス、窒素ガスなどの不活性ガス、空気などを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。好ましくは、コスト的に有利な空気(大気)を用いると良い。   Specific examples of the gas in the atmosphere and the gas to be sprayed include inert gases such as argon gas and nitrogen gas, and air. These may be contained alone or in combination of two or more. Preferably, air (atmosphere) advantageous in cost is used.

この方法では、膜の形成条件を適宜調整することにより、貫通孔、非貫通孔の何れについても形成可能である。貫通・非貫通を決する膜の形成条件としては、具体的には、例えば、高分子溶液の塗布厚(キャスト量)、高分子溶液に含まれる当該樹脂の濃度、相対湿度などを例示することができる。   In this method, it is possible to form both through-holes and non-through-holes by appropriately adjusting the film formation conditions. Specific examples of conditions for forming a film that determines penetration or non-penetration include, for example, the coating thickness (cast amount) of the polymer solution, the concentration of the resin contained in the polymer solution, and the relative humidity. it can.

より具体的には、例えば、高分子溶液の塗布厚(キャスト量)を厚くする(多くする)、高分子溶液に含まれる当該樹脂の濃度を高くする、相対湿度を低くするなどの調整を行えば、非貫通孔が形成されやすくなる。その逆の調整を行えば、貫通孔が形成されやすくなる。   More specifically, for example, adjustments such as increasing (increasing) the coating thickness (cast amount) of the polymer solution, increasing the concentration of the resin contained in the polymer solution, and decreasing the relative humidity are performed. For example, non-through holes are easily formed. If the reverse adjustment is performed, the through hole is easily formed.

これらのうち、簡単かつ効果的に、貫通・非貫通を決することができる条件は、高分子溶液の塗布厚(キャスト量)、高分子溶液に含まれる当該樹脂の濃度である。   Among these, the conditions for determining penetration / non-penetration simply and effectively are the coating thickness (cast amount) of the polymer solution and the concentration of the resin contained in the polymer solution.

なお、形成した多孔質膜が貫通孔、非貫通孔の何れを有しているかを確認するには、膜の表面を観察し、孔部内に支持体が露出しているか否かを確認したり、支持体から膜を剥離し、膜の裏面を観察したりするなどすれば良い。   In order to confirm whether the formed porous membrane has through-holes or non-through-holes, the surface of the membrane is observed to confirm whether the support is exposed in the pores. The film may be peeled off from the support and the back surface of the film may be observed.

上記多孔質膜の形成方法では、膜形成時に、有機溶媒の蒸発や、水滴群の蒸発を促進させるなどのため、必要に応じて、多孔質膜の形成に影響を及ぼさない範囲内で、加熱、乾燥などを行っても良い。 In the method for forming a porous film, heating is performed within a range that does not affect the formation of the porous film, if necessary, in order to promote the evaporation of the organic solvent and the evaporation of water droplets during film formation. Drying or the like may be performed.

(粒子充填工程)
本製造方法において、粒子充填工程は、上記多孔質膜の孔部内に上述した導電性粒子を充填する工程である。
(Particle filling process)
In this production method, the particle filling step is a step of filling the conductive particles described above into the pores of the porous membrane.

この工程では、孔部深さ方向に導電性粒子が積み重ならないように、導電性粒子を充填するのが好ましい。換言すれば、ほぼ同一平面内に存在するように、導電性粒子を孔部内に充填するのが好ましい。より好ましくは、導電性粒子を一つ一つ互いに離間させた状態にする観点から、孔部一つにつき、導電性粒子が一つずつ充填すると良い。   In this step, it is preferable to fill the conductive particles so that the conductive particles are not stacked in the hole depth direction. In other words, it is preferable to fill the pores with the conductive particles so that they are substantially in the same plane. More preferably, from the viewpoint of making the conductive particles separated from each other one by one, the conductive particles may be filled one by one for each hole.

上記導電性粒子の充填方法としては、具体的には、例えば、(1)導電性粒子自体またはその分散液を上記多孔質膜の表面上に広げた後、刷毛、ブラシ、ブレードなどで擦り切り、孔部内に導電性粒子を入れる方法、(2)導電性粒子自体またはその分散液を上記多孔質膜の表面上に広げた後、外部から磁力や振動を加え、孔部内に導電性粒子を入れる方法、(3)上記分散液中に上記多孔質膜を浸漬する方法、(4)上記多孔質膜の表面と一定距離離間させて板状部材を配置し、形成された隙間に、上記分散液を導入し、多孔質膜および/または板状部材をスライド移動させる方法、これらの組み合わせなどを例示することができる。   Specifically, as the method for filling the conductive particles, for example, (1) after spreading the conductive particles themselves or a dispersion thereof on the surface of the porous film, scraping with a brush, brush, blade, etc. (2) After spreading the conductive particles themselves or a dispersion thereof on the surface of the porous film, applying magnetic force or vibration from the outside to put the conductive particles in the pores A method, (3) a method of immersing the porous membrane in the dispersion, (4) a plate-like member arranged at a certain distance from the surface of the porous membrane, and the dispersion in the formed gap And a method of slidably moving the porous membrane and / or the plate-like member, a combination thereof, and the like.

導電性粒子を孔部内に物理的に押し込むので、導電性粒子をより確実に充填しやすい、充填させるのに要する時間が比較的短いなどの観点から、好ましくは、(1)の方法を用いるのが良い。より好ましくは、乾式で行うことができるなどの観点から、(1)の方法において粉末状の導電性粒子自体を用いるのが良い。さらに好ましくは、導電性粒子が孔部内に導入されやすくなるなどの観点から、(1)の方法において、導電性粒子を広げた面側と反対側から磁力により導電性粒子を多孔質膜に引きつけつつ、擦り切り手段により擦り切ると良い。なお、この場合には、導電性粒子としては、導電性とともに磁性を有しているものを用いれば良い。   Since the conductive particles are physically pushed into the pores, it is preferable to use the method (1) from the viewpoint of easy filling of the conductive particles more reliably and a relatively short time required for filling. Is good. More preferably, from the viewpoint of being able to carry out by a dry method, it is preferable to use powdered conductive particles themselves in the method (1). More preferably, in the method (1), the conductive particles are attracted to the porous film by a magnetic force from the side opposite to the side where the conductive particles are spread, from the viewpoint that the conductive particles are easily introduced into the pores. On the other hand, it is good to scrape off by a scraping means. In this case, the conductive particles may be those having conductivity and magnetism.

(接着層形成工程)
本製造方法において、接着層形成工程は、導電性粒子を充填した膜の片面に接着層を形成する工程である。
(Adhesive layer forming process)
In this manufacturing method, the adhesive layer forming step is a step of forming an adhesive layer on one side of the film filled with conductive particles.

この際、導電性粒子を保持した膜の両面が接着性を有する場合には、何れの面に接着層を形成しても良い。また、導電性粒子を保持した膜の片面が接着性を有する場合、その面とは反対側の面に接着層を形成することになる。   At this time, when both surfaces of the film holding the conductive particles have adhesiveness, an adhesive layer may be formed on any surface. Moreover, when one side of the film holding the conductive particles has adhesiveness, an adhesive layer is formed on the surface opposite to the surface.

上記接着層の形成方法としては、具体的には、例えば、上記接着層材料を適当な固形分量、粘度となるように調製した塗液を、コーターなどの公知の塗工手段を用いて塗工し、必要に応じて乾燥させる方法、予め作製しておいた膜状の接着層を積層して接合する方法などを例示することができる。   As the method for forming the adhesive layer, specifically, for example, a coating liquid prepared so that the adhesive layer material has an appropriate solid content and viscosity is applied using a known coating means such as a coater. Examples thereof include a method of drying as necessary, and a method of laminating and bonding a film-like adhesive layer prepared in advance.

本製造方法は、上記工程以外にも、以下に説明する付加的な工程を1つまたは2つ以上有していても良い。   This manufacturing method may have one or two or more additional steps described below in addition to the above steps.

(加熱処理工程)
本製造方法は、上記多孔質膜形成工程と上記粒子充填工程との間、上記粒子充填工程と上記接着層形成工程との間、上記接着層形成工程の後の少なくとも何れかに、多孔質膜を形成するポリビニルアセタール系樹脂のガラス転移温度〜ガラス転移温度+100℃程度の温度で、多孔質膜を加熱処理する工程を有していても良い。
(Heat treatment process)
The present manufacturing method includes a porous membrane between at least one of the porous membrane forming step and the particle filling step, between the particle filling step and the adhesive layer forming step, and after the adhesive layer forming step. A step of heat-treating the porous film at a temperature of about a glass transition temperature to a glass transition temperature + 100 ° C. of the polyvinyl acetal resin that forms the film may be included.

上記水滴を利用した多孔質膜の形成方法によれば、隣接する各孔部同士の間に位置する隔壁は、隣接する水滴同士の隙間に入り込んだ高分子溶液により形成される。   According to the method for forming a porous film using water droplets, the partition located between adjacent pores is formed by a polymer solution that has entered a gap between adjacent water droplets.

そのため、水滴と水滴とが最も近接するくびれ部付近は、特に、隔壁が薄くなる傾向がある。ときには、隣接する孔部同士を連通する連通孔がくびれ部に存在することもありうる。   Therefore, especially in the vicinity of the constricted portion where the water droplet and the water droplet are closest, the partition wall tends to be thin. In some cases, there may be a communication hole in the constriction that communicates adjacent holes.

ところが、上記加熱処理工程を行った場合には、多孔質膜の隔壁のうち、肉厚の薄いくびれ部がいち早く軟化・溶融し、くびれ部に存在することがある連通孔が潰される。そのため、隣接する各孔部間の独立性を増大させることができる。また、隔壁の強度も向上させることができる。その後、この孔部同士の独立性が向上した多孔質膜の孔部内に導電性粒子を充填すれば、得られる異方性導電膜の膜面方向の絶縁信頼性を向上させることができる。   However, when the heat treatment step is performed, the narrow constricted portion of the porous membrane partition is softened and melted quickly, and the communication hole that may exist in the constricted portion is crushed. Therefore, the independence between adjacent holes can be increased. In addition, the strength of the partition can be improved. Then, if the conductive particles are filled in the pores of the porous film in which the independence between the pores is improved, the insulation reliability in the film surface direction of the obtained anisotropic conductive film can be improved.

この際、多孔質膜を加熱する時間は、上記温度範囲などとの兼ね合いで、適宜調整することが可能である。加熱時間が過度に長すぎると、多孔質膜が変形してしまう場合がある。一方、加熱時間が過度に短すぎると、孔部の独立性を向上させる効果が不十分になるなどの傾向が見られる。したがって、多孔質膜の加熱する際には、これらに留意すると良い。   At this time, the time for heating the porous film can be appropriately adjusted in consideration of the above temperature range and the like. If the heating time is too long, the porous film may be deformed. On the other hand, when the heating time is too short, the tendency to improve the independence of the hole is insufficient. Therefore, when heating a porous membrane, it is good to pay attention to these.

多孔質膜を加熱する方法は、接触式、非接触式の何れの加熱方法であっても良く、特に限定されるものではない。   The method for heating the porous membrane may be either a contact type or non-contact type heating method, and is not particularly limited.

上記加熱方法としては、具体的には、例えば、上記温度に調温された加熱源と多孔質膜とを、直接または熱伝導可能な部材などを介した状態で、一定時間当接させる方法、当該加熱源と多孔質膜とを近接させる方法などを例示することができる。   Specifically, as the heating method, for example, a method of bringing the heating source adjusted to the above temperature and the porous membrane into contact with each other for a certain period of time directly or via a member capable of conducting heat, etc. A method of bringing the heating source and the porous film close to each other can be exemplified.

より具体的には、例えば、所定温度に調温されたホットプレートなどの加熱源上に、ガラス基板などを介して、多孔質膜を一定時間載置する方法などを例示することができる。   More specifically, for example, a method of placing the porous film on a heating source such as a hot plate adjusted to a predetermined temperature via a glass substrate for a predetermined time can be exemplified.

ここで、上記加熱処理工程は、さらに、膜厚方向への多孔質膜の加圧を伴った加熱・加圧処理工程であっても良い。   Here, the heat treatment step may be a heat / pressure treatment step accompanied by pressurization of the porous film in the film thickness direction.

上記水滴を利用した多孔質膜の形成方法では、高分子溶液の表面上に結露した水滴は、浮島状に密集する。そして、この浮島状に密集した水滴群が輸送、集積されると、水滴群同士がぶつかり合った境界近辺に、膜厚方向の段差ないし凹凸が生じやすい。   In the method for forming a porous film using water droplets, water droplets condensed on the surface of the polymer solution are concentrated in a floating island shape. When the water droplet groups densely packed in a floating island shape are transported and accumulated, a step or unevenness in the film thickness direction tends to occur near the boundary where the water droplet groups collide with each other.

ところが、膜形成後、多孔質膜を加熱・加圧した場合には、多孔質膜表面に生じた段差ないし凹凸が均一化される。その後、上記粒子充填工程において、孔部に導電性粒子を充填しやすくなる。また、くびれ部に存在することがある膜面方向の連通孔も、加圧により潰されやすくなる。そのため、上記した隣接する各孔部間の独立化も図りやすくなる。   However, when the porous film is heated and pressurized after the film formation, the steps or irregularities generated on the surface of the porous film are made uniform. Thereafter, in the particle filling step, the holes are easily filled with conductive particles. Further, the communication hole in the film surface direction that may exist in the constricted portion is also easily crushed by pressurization. Therefore, it becomes easy to achieve independence between the adjacent holes described above.

多孔質膜を加圧する方法としては、具体的には、例えば、平坦面を有する板状部材により多孔質膜を挟持し、この状態を保持したまま、公知の加圧装置により直接あるいは介在部材を介して間接的に加圧する方法などを例示することができる。   As a method for pressurizing the porous membrane, specifically, for example, the porous membrane is sandwiched by a plate-like member having a flat surface, and while maintaining this state, the intervening member is directly or by a known pressurizing device. For example, a method of indirectly pressurizing the pressure can be exemplified.

また、多孔質膜を加圧する圧力は、その膜を形成する樹脂の硬さ、くびれ部の肉厚、膜の加熱時間などを考慮して種々調節すれば良い。すなわち、膜形成過程において生じた段差を平坦にすることができる圧力であれば良い。多孔質膜を過度に加圧すると、膜の立体構造がくずれてしまう場合がある。一方、多孔質膜に対する加圧力が過度に少ないと、段差を平坦にし難い。したがって、多孔質膜を加圧する場合には、これらに留意すると良い。   Further, the pressure for pressurizing the porous film may be variously adjusted in consideration of the hardness of the resin forming the film, the thickness of the constricted portion, the heating time of the film, and the like. That is, any pressure may be used as long as the level difference generated in the film formation process can be made flat. When the porous membrane is excessively pressurized, the three-dimensional structure of the membrane may be broken. On the other hand, if the pressure applied to the porous film is too small, it is difficult to flatten the step. Therefore, when pressurizing the porous membrane, these should be noted.

また、多孔質膜を加圧する場合、この加圧は、多孔質膜の加熱とほぼ同時に行っても良いし、加圧した多孔質膜を加熱しても、加熱した多孔質膜を加圧しても良い。すなわち、多孔質膜に対して少なくとも所望の熱および圧力が掛かった状態が得られれば、何れのタイミングで加圧しても良い。   Further, when pressurizing the porous membrane, this pressurization may be performed almost simultaneously with the heating of the porous membrane, or even if the pressurized porous membrane is heated, the heated porous membrane is pressurized. Also good. That is, pressurization may be performed at any timing as long as at least desired heat and pressure are applied to the porous membrane.

3.本ACFの使用方法
本ACFは、例えば、次のようにして使用することができる。
3. Method of using the present ACF The present ACF can be used, for example, as follows.

図2に示すように、例えば、ICチップ22と基板24上に形成された回路パターン26との間に本ACF10を置き、図3に示すように、接着層16が流動する温度で熱圧着する。そうすると、ICチップ22のバンプ28と回路パターン26との間にある接着層16が流動排除される。また、バンプ28と回路パターン26との間に導電性粒子14が挟持される。そして、多孔質膜12が有する接着性と接着層16とにより、導電性粒子14を挟持した状態のまま、ICチップ22と回路パターン26とが接着される。これにより、ICチップ22と回路パターン26とは、電気的および機械的に接続される。   As shown in FIG. 2, for example, the ACF 10 is placed between the IC chip 22 and the circuit pattern 26 formed on the substrate 24, and thermocompression bonding is performed at a temperature at which the adhesive layer 16 flows as shown in FIG. . As a result, the adhesive layer 16 between the bumps 28 of the IC chip 22 and the circuit pattern 26 is fluidly eliminated. Further, the conductive particles 14 are sandwiched between the bumps 28 and the circuit pattern 26. Then, the IC chip 22 and the circuit pattern 26 are bonded to each other while the conductive particles 14 are sandwiched between the adhesive property of the porous film 12 and the adhesive layer 16. Thereby, the IC chip 22 and the circuit pattern 26 are electrically and mechanically connected.

ここで、本ACFは、接着層形成面側を加圧側とし、接着層形成面と反対側の膜表面を非加圧側として使用すると良い。   Here, in the present ACF, the adhesive layer forming surface side is preferably used as the pressure side, and the film surface opposite to the adhesive layer forming surface is preferably used as the non-pressurizing side.

例えば、ICチップと回路パターンとを接続する場合、上記のとおり、通常、ICチップ側が加圧側となり、回路パターン側が非加圧側となることが多い。   For example, when connecting an IC chip and a circuit pattern, as described above, the IC chip side is usually the pressure side and the circuit pattern side is often the non-pressure side.

回路パターン側は、バンプを有するICチップ側と比較して、接着層が流れるスペースが少ない。そのため、こちら側に接着層がないことで、多孔質膜の崩れ、導電性粒子の流出をより抑制しやすくなり、当初の導電性粒子の配列を維持したまま接続しやすくなるからである。   The circuit pattern side has less space for the adhesive layer to flow than the IC chip side having bumps. For this reason, the absence of an adhesive layer on this side makes it easier to prevent the porous film from collapsing and the outflow of the conductive particles, and to facilitate the connection while maintaining the original arrangement of the conductive particles.

また、接着層側に、バンプを有するICチップなど、比較的高さの高い導体を有する被接続物を接触させれば、導体間の隙間を接着層により満たしやすくなる。そのため、機械的な接続性を向上させやすくなるからである。   Further, if an object to be connected having a relatively high conductor such as an IC chip having bumps is brought into contact with the adhesive layer side, the gap between the conductors can be easily filled with the adhesive layer. Therefore, it becomes easy to improve mechanical connectivity.

以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail using examples.

1.多孔質膜材料の選定
初めに、多孔質膜材料を選定するため、以下の簡易評価を行った。
1. Selection of porous membrane material First, the following simple evaluation was performed in order to select a porous membrane material.

(成膜性評価)
残存水酸基量の異なる数種のポリビニルブチラール系樹脂と、ポリブタジエンゴムとを準備し、これらを用いて、水滴を利用して多孔質膜を形成し、その成膜性を評価した。
(Film formability evaluation)
Several types of polyvinyl butyral resins having different residual hydroxyl amounts and polybutadiene rubber were prepared, and using these, a porous film was formed using water droplets, and the film formability was evaluated.

ここで、使用したポリビニルブチラール系樹脂、ポリブタジエンゴムは、次の通りである。
・残存水酸基量が20mol%のポリビニルブチラール系樹脂(積水化学工業(株)製、「エスレック BL5」)
・残存水酸基量が22mol%のポリビニルブチラール系樹脂(積水化学工業(株)製、「エスレック BL−S」)
・残存水酸基量が25mol%のポリビニルブチラール系樹脂(積水化学工業(株)製、「エスレック KS−3Z」)
・残存水酸基量が28mol%のポリビニルブチラール系樹脂(積水化学工業(株)製、「エスレック BL−10」)
・残存水酸基量が30mol%のポリビニルブチラール系樹脂(積水化学工業(株)製、「エスレック BH−6」)
・残存水酸基量が33mol%のポリビニルブチラール系樹脂(積水化学工業(株)製、「エスレック BX−3」)
・残存水酸基量が36mol%のポリビニルブチラール系樹脂(積水化学工業(株)製、「エスレック BL−2」)
・ポリブタジエンゴム(JSR(株)製、「RB820」)
Here, the polyvinyl butyral resin and polybutadiene rubber used are as follows.
-Polyvinyl butyral resin having a residual hydroxyl content of 20 mol% (Sekisui Chemical Co., Ltd., "S-Rec BL5")
-Polyvinyl butyral resin having a residual hydroxyl content of 22 mol% (Sekisui Chemical Co., Ltd., "S-Rec BL-S")
-Polyvinyl butyral resin having a residual hydroxyl content of 25 mol% (Sekisui Chemical Co., Ltd., "S-REC KS-3Z")
-Polyvinyl butyral resin having a residual hydroxyl content of 28 mol% (Sekisui Chemical Co., Ltd., "S-Rec BL-10")
-Polyvinyl butyral resin having a residual hydroxyl group content of 30 mol% (Sekisui Chemical Co., Ltd., "S-REC BH-6")
-Polyvinyl butyral resin having a residual hydroxyl group content of 33 mol% (Sekisui Chemical Co., Ltd., "ESREC BX-3")
-Polyvinyl butyral resin having a residual hydroxyl content of 36 mol% (Sekisui Chemical Co., Ltd., "S-Rec BL-2")
・ Polybutadiene rubber (manufactured by JSR Corporation, “RB820”)

なお、各ポリビニルブチラール系樹脂の残存水酸基量は、上記測定方法に基づき算出された値である。   In addition, the amount of residual hydroxyl groups of each polyvinyl butyral resin is a value calculated based on the above measurement method.

また、多孔質膜は以下の手順で作製した。すなわち、上記所定のポリビニルブチラール系樹脂を0.26wt%の濃度となるようにクロロホルムに溶解した液に、界面活性剤として、ドデシルアクリルアミドとカプロン酸との共重合体を、ポリビニルブチラール系樹脂に対して0.026wt%添加し、高分子溶液を調製した。   Moreover, the porous membrane was produced in the following procedures. That is, a copolymer of dodecylacrylamide and caproic acid as a surfactant is added to a solution obtained by dissolving the predetermined polyvinyl butyral resin in chloroform to a concentration of 0.26 wt% with respect to the polyvinyl butyral resin. 0.026 wt% was added to prepare a polymer solution.

次いで、温度22℃、相対湿度57%の雰囲気中にて、φ90mm(外径)のシャーレ上に上記高分子溶液を7mlキャストした。その後、エアポンプを用いて、上記と同温同湿度の空気(流量2L/min)を、液面へ20°の角度から連続的に吹き付けた。   Next, 7 ml of the polymer solution was cast on a petri dish having a diameter of 90 mm (outer diameter) in an atmosphere at a temperature of 22 ° C. and a relative humidity of 57%. Thereafter, air having the same temperature and humidity as described above (flow rate 2 L / min) was continuously blown onto the liquid surface from an angle of 20 ° using an air pump.

30分経過後、形成された膜を、マイクロスコープ(倍率450倍)にて観察した。そして、シャーレの底の全面積に対する、孔部の規則性および孔径が良好な部位の面積率(%)(以下、「成膜良好部の面積率」ということがある。)を求めた。   After 30 minutes, the formed film was observed with a microscope (450 times magnification). Then, the area ratio (%) of the part having good regularity of the hole and the hole diameter with respect to the total area of the bottom of the petri dish (hereinafter, sometimes referred to as “the area ratio of the good film forming part”) was obtained.

(接着性評価)
次に、上記成膜性評価にて得られた各多孔質膜と、後述する手順とほぼ同様にして準備した接着層とを、孔部に導電性粒子を充填しない状態で貼り合わせることにより、各模擬膜を作製した。
(Adhesion evaluation)
Next, by bonding each porous film obtained in the above film formability evaluation and the adhesive layer prepared in substantially the same manner as described later, without filling the pores with conductive particles, Each simulated membrane was prepared.

次いで、各模擬膜を、ITOによる回路パターンを形成したガラス基板と、金バンプを有するICチップとの間に介在させ、これらを、温度210℃、加圧力80MPa、圧着時間60秒の条件で圧着した各サンプルを作製した。なお、この際、各模擬膜の接着層形成面側にICチップを配置した。   Next, each simulated film is interposed between a glass substrate on which a circuit pattern made of ITO is formed and an IC chip having gold bumps, and these are bonded under the conditions of a temperature of 210 ° C., a pressing force of 80 MPa, and a pressing time of 60 seconds. Each sample was made. At this time, an IC chip was disposed on the adhesive layer forming surface side of each simulated film.

次いで、各サンプルの初期状態と、80℃で24時間加熱した後における剥離の発生状態を、マイクロスコープ(倍率450倍)にて確認した。   Next, the initial state of each sample and the state of peeling after heating at 80 ° C. for 24 hours were confirmed with a microscope (450 magnifications).

そして、任意の5点を撮影し、撮影した面内の白もや部分が、初期と処理後と比較して増加した面積を実測し、撮影面積に対する、白もやの面積の比率を算出した。これに基づき、ICチップの全面積に対する、剥離時に見られる白いもやの無い部分の面積率(%)(以下、「非剥離部の面積率」ということがある。)を求めた。   Then, arbitrary five points were photographed, and the area where white haze in the photographed surface increased compared to the initial and after processing was measured, and the ratio of the area of the white haze to the photographing area was calculated. . Based on this, the area ratio (%) of the portion without white haze seen at the time of peeling with respect to the total area of the IC chip (hereinafter, sometimes referred to as “the area ratio of the non-peeled portion”) was obtained.

図4に、使用したポリビニルブチラール系樹脂の残存水酸基量(mol%)と、上記非剥離部の面積率(%)(接着性)および成膜良好部の面積率(成膜性)との関係を示す。   FIG. 4 shows the relationship between the amount of residual hydroxyl groups (mol%) of the used polyvinyl butyral resin, the area ratio (%) of the non-peeled part (adhesiveness), and the area ratio of the good film forming part (film forming property). Indicates.

図4によれば、接着性と成膜性とはトレードオフの関係があるが、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にある場合には、接着性と成膜性との両者のバランスに優れていることが確認できた。   According to FIG. 4, there is a trade-off relationship between adhesiveness and film formability, but when the amount of residual hydroxyl group is in the range of more than 22 mol% to less than 30 mol%, there is a relationship between adhesiveness and film formability. It was confirmed that the balance between the two was excellent.

また、この結果から、残存水酸基量は、上記接着性と成膜性と密接な関係があるといえ、ポリビニルブチラール系樹脂と同系統の樹脂であるポリビニルホルマール系樹脂などのポリビニルアセタール系樹脂についても、同様の性質を有するものと推察される。   In addition, from this result, it can be said that the amount of residual hydroxyl groups is closely related to the adhesiveness and film formability, and also for polyvinyl acetal resins such as polyvinyl formal resins, which are the same series of resins as polyvinyl butyral resins. It is presumed that they have similar properties.

2.実施例および比較例に係る異方性導電膜の作製
上記「1.多孔質膜材料の選定」における簡易評価により得られた知見に基づき、実際に異方性導電膜を作製した。
2. Production of Anisotropic Conductive Film According to Examples and Comparative Examples An anisotropic conductive film was actually produced based on the knowledge obtained by the simple evaluation in “1. Selection of porous film material”.

(実施例1)
初めに、残存水酸基量が25mol%であるポリビニルブチラール系樹脂(積水化学工業(株)製、「エスレックKS−3Z」)を0.26wt%の濃度となるようにクロロホルムに溶解した液に、界面活性剤として、ドデシルアクリルアミドとカプロン酸との共重合体を、ポリビニルブチラール系樹脂に対して0.026wt%添加し、高分子溶液を調製した。
(Example 1)
First, a polyvinyl butyral resin (Sekisui Chemical Co., Ltd., “ESREC KS-3Z”) having a residual hydroxyl group content of 25 mol% was dissolved in chloroform to a concentration of 0.26 wt%. As an activator, a copolymer of dodecylacrylamide and caproic acid was added in an amount of 0.026 wt% to the polyvinyl butyral resin to prepare a polymer solution.

次いで、温度22℃、相対湿度57%の雰囲気中にて、ガラス基板上に上記高分子溶液を塗布膜厚1100μmでキャストした。その後、エアポンプを用いて、上記と同温同湿度の空気(流量2L/min)を、塗布液面へ20°の角度から30分間連続的に吹き付けた。   Next, the polymer solution was cast on a glass substrate with an applied film thickness of 1100 μm in an atmosphere at a temperature of 22 ° C. and a relative humidity of 57%. Thereafter, using an air pump, air having the same temperature and humidity as described above (flow rate 2 L / min) was continuously blown onto the coating liquid surface for 30 minutes from an angle of 20 °.

その結果、クロロホルムの揮発とともに高分子溶液表面に結露による水滴群が付着し、これが最密充填した後、水滴群が蒸発することにより、ハニカム状に配列された多数の孔部(非貫通孔)を有し、孔部の内壁面が外側方向に湾曲されている、ポリビニルブチラール系樹脂製の多孔質膜(膜厚5μm)が得られた。   As a result, a group of water droplets due to condensation adheres to the polymer solution surface along with the volatilization of chloroform, and after this close-packed, the water droplet group evaporates, resulting in a large number of holes arranged in a honeycomb shape (non-through holes). A porous film (film thickness 5 μm) made of polyvinyl butyral resin in which the inner wall surface of the hole is curved outward is obtained.

なお、得られた多孔質膜につき、孔部の開口径、孔部の深さ、隣接する孔部の開口中心間の距離を、レーザー顕微鏡(超深度カラー3D形状測定顕微鏡、キーエンス社製「VK−9500」)により測定した結果、それぞれ5μm、4μm、6μmであった。   In addition, about the obtained porous membrane, the distance between the opening diameter of a hole part, the depth of a hole part, and the opening center of an adjacent hole part is measured with a laser microscope (ultra-depth color 3D shape measurement microscope, Keyence Corporation "VK. -9500 "). As a result, they were 5 μm, 4 μm, and 6 μm, respectively.

次に、ジビニルベンゼン系架橋樹脂よりなる粒子の表面に、Niめっき層、Auめっき層が順に被覆された、平均粒径4μmの樹脂めっき粒子(積水化学工業(株)、「ミクロパールAU−204」)を、上記多孔質膜の孔部形成面上に広げた。   Next, resin plating particles having an average particle diameter of 4 μm (Sekisui Chemical Co., Ltd., “Micropearl AU-204”) are obtained by sequentially coating the surface of particles made of divinylbenzene-based crosslinked resin with a Ni plating layer and an Au plating layer. ") Was spread on the pore-forming surface of the porous membrane.

次いで、孔部形成面と反対側に設置した永久磁石((株)西興産業製、フェライト磁石、1000ガウス)にて、樹脂めっき粒子を多孔質膜に引きつけつつ、刷毛にて表面を擦り切り、孔部内に樹脂めっき粒子を導入した。   Next, with a permanent magnet installed on the side opposite to the hole forming surface (manufactured by Seiko Sangyo Co., Ltd., ferrite magnet, 1000 gauss), the surface is scraped off with a brush while attracting resin plating particles to the porous film, Resin plating particles were introduced into the holes.

なお、孔部が形成されていない多孔質膜表面に付着していた樹脂めっき粒子や、孔部に導入された樹脂めっき粒子に静電気力などで付着していた樹脂めっき粒子は、表面の擦り切りや、微粘着テープ((株)きもと製、「ビエーフルEP50」)を用いることで除去されている。   Resin plating particles adhering to the porous membrane surface where no hole is formed, or resin plating particles adhering to the resin plating particle introduced into the hole due to electrostatic force, etc. It is removed by using a slightly adhesive tape (manufactured by Kimoto Co., Ltd., “Bieful EP50”).

これにより、孔部内に樹脂めっき粒子が充填された多孔質膜を用意した。なお、樹脂めっき粒子は、実質的に、孔部一つにつき一つずつ充填されていた。樹脂めっき粒子は、多孔質膜の粒子導入面からその一部が僅かに突出しており、かつ、膜の裏面(粒子導入面と反対側の面)にその一部が露出されていない状態で膜に充填されていた。   Thereby, a porous film in which resin plating particles were filled in the pores was prepared. The resin plating particles were substantially filled one by one for each hole. The resin-plated particles are slightly protruded from the particle introduction surface of the porous membrane, and the membrane is not exposed on the back surface (surface opposite to the particle introduction surface) of the membrane. Had been filled.

次に、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(大日本インキ(株)製、「エピクロンHP7200HH」)90重量部と、ニトリルゴム(NBR)(日本ゼオン(株)製、「ニポール1072J」)10重量部と、硬化剤(旭化成ケミカルズ(株)製、「ノバキュアHXA3932HP」)187重量部とを、固形分量が42%となるようにトルエンにて希釈し、接着剤溶液を調製した。   Next, 90 parts by weight of a dicyclopentadiene type epoxy resin (Dainippon Ink Co., Ltd., “Epiclon HP7200HH”) and 10 parts by weight of nitrile rubber (NBR) (manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd., “Nipol 1072J”) 187 parts by weight of a curing agent (manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation, “Novacure HXA3932HP”) was diluted with toluene so that the solid content was 42% to prepare an adhesive solution.

次いで、コンマコーターを用い、連続的に供給されるベース基材(ポリエチレンテレフタレート、厚み38μm、リンテック(株)製「PET38C」)の離型面に、上記接着剤溶液を塗工した。   Next, the above adhesive solution was applied to the release surface of a continuously supplied base substrate (polyethylene terephthalate, thickness 38 μm, “PET38C” manufactured by Lintec Corporation) using a comma coater.

次いで、この塗工層を110℃で90秒間乾燥させ、接着層(厚み20μm)を形成した。その後、この接着層の表面に、セパレータ(ポリエチレンテレフタレート、厚み38μm、リンテック(株)製、「PET38B」)の離型面を合わせて巻き取った。   Subsequently, this coating layer was dried at 110 ° C. for 90 seconds to form an adhesive layer (thickness 20 μm). Then, the release surface of the separator (polyethylene terephthalate, thickness 38 μm, manufactured by Lintec Corporation, “PET38B”) was put on the surface of the adhesive layer and wound up.

これにより、ベース基材とセパレータとの間に挟持された接着層を用意した。   Thus, an adhesive layer sandwiched between the base substrate and the separator was prepared.

次いで、上記セパレータを剥離して露出させた接着層の表面と、樹脂めっき粒子を充填した多孔質膜の表面(粒子導入面側)とを重ね合わせ、これを貼り合わせた。   Next, the surface of the adhesive layer exposed by peeling the separator was overlapped with the surface of the porous film filled with resin plating particles (particle introduction surface side), and these were bonded together.

以上により、樹脂めっき粒子を充填した膜の片面に接着層を形成した。   As described above, an adhesive layer was formed on one side of the film filled with the resin plating particles.

上記の通りにして、ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、孔部の内壁面が外側方向に湾曲されている、ポリビニルアセタール系樹脂(残存水酸基量割合25mol%)製の多孔質膜と、多孔質膜の孔部内に保持された樹脂めっき粒子と、多孔質膜の片面に形成された接着層とを有する、実施例1に係る異方性導電膜を作製した。なお、上記多孔質膜は、膜自体が接着性を有している。   As described above, a porous material made of polyvinyl acetal resin (residual hydroxyl group content ratio 25 mol%) having a large number of pores arranged in a honeycomb shape and the inner wall surface of the pores being curved outward. An anisotropic conductive film according to Example 1 having a film, resin plating particles held in the pores of the porous film, and an adhesive layer formed on one surface of the porous film was produced. The porous film itself has adhesiveness.

(実施例2)
実施例1に係る異方性導電膜の作製において、高分子溶液の調製時に、残存水酸基量が25mol%であるポリビニルブチラール系樹脂に代えて、残存水酸基量が28mol%であるポリビニルブチラール系樹脂(積水化学工業(株)製、「エスレック BL−10」)を用い、ハニカム構造の多孔質膜(膜厚5μm)を形成した点以外は同様にして、実施例2に係る異方性導電膜を作製した。
(Example 2)
In the preparation of the anisotropic conductive film according to Example 1, a polyvinyl butyral resin having a residual hydroxyl amount of 28 mol% (instead of the polyvinyl butyral resin having a residual hydroxyl content of 25 mol%) at the time of preparing the polymer solution ( The anisotropic conductive film according to Example 2 was manufactured in the same manner except that a porous film (film thickness 5 μm) having a honeycomb structure was formed using “S-LEC BL-10” manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. Produced.

なお、得られた多孔質膜の孔部の開口径、孔部の深さ、隣接する孔部の開口中心間の距離は、それぞれ5μm、4μm、6μmであった。   In addition, the opening diameter of the hole part of the obtained porous membrane, the depth of a hole part, and the distance between the opening centers of an adjacent hole part were 5 micrometers, 4 micrometers, and 6 micrometers, respectively.

(比較例1)
クロロホルムにポリブタジエンゴム(JSR製、「RB820」)を0.1wt%の濃度で溶解した液に、界面活性剤として、ドデシルアクリルアミドとカプロン酸との共重合体をポリブタジエンゴムに対して0.01wt%添加し、高分子溶液を調製した。
(Comparative Example 1)
A copolymer of dodecylacrylamide and caproic acid as a surfactant in a solution obtained by dissolving polybutadiene rubber (manufactured by JSR, “RB820”) at a concentration of 0.1 wt% in chloroform is 0.01 wt% with respect to the polybutadiene rubber. This was added to prepare a polymer solution.

次いで、この高分子溶液を、相対湿度50%の空気を連続的に吹き付けているガラス基板上に塗布膜厚1800μmでキャストし、クロロホルムを揮発させた。   Next, this polymer solution was cast at a coating film thickness of 1800 μm on a glass substrate onto which air having a relative humidity of 50% was continuously blown to volatilize chloroform.

その結果、ハニカム状に配列された多数の孔部(非貫通孔)を有するポリブタジエンゴム製の多孔質膜(膜厚5μm)が得られた。この際、得られた多孔質膜の孔部の開口径、孔部の深さ、隣接する孔部の開口中心間の距離は、それぞれ5μm、4μm、6μmであった。   As a result, a porous film (film thickness: 5 μm) made of polybutadiene rubber having a large number of holes (non-through holes) arranged in a honeycomb shape was obtained. At this time, the opening diameter of the hole portion, the depth of the hole portion, and the distance between the opening centers of the adjacent hole portions were 5 μm, 4 μm, and 6 μm, respectively.

そして、実施例1に係る異方性導電膜の作製において、ポリビニルブチラール系樹脂製の多孔質膜に代えて、上記ポリブタジエンゴム製の多孔質膜を用いた点、接着層形成時に、樹脂めっき粒子が充填された多孔質膜の両面に、それぞれ接着層(但し、粒子導入面側の接着層20μm、その反対面側の接着層2μm)を形成した点以外は同様にして、比較例1に係る異方性導電膜を作製した。   And in preparation of the anisotropic conductive film which concerns on Example 1, it replaced with the porous film made from a polyvinyl butyral resin, the point which used the said porous film made from polybutadiene rubber, resin plating particle | grains at the time of adhesive layer formation In the same manner as in Comparative Example 1 except that adhesive layers (20 μm on the particle introduction surface side and 2 μm on the opposite surface side) were formed on both surfaces of the porous film filled with An anisotropic conductive film was produced.

なお、比較例1に係る異方性導電膜は、ポリブタジエンゴム製の多孔質膜の孔部内に樹脂めっき粒子が充填されており、この膜の両面に接着層が被覆された従来の3層構造である。   The anisotropic conductive film according to Comparative Example 1 has a conventional three-layer structure in which resin plating particles are filled in the pores of a porous film made of polybutadiene rubber, and an adhesive layer is coated on both surfaces of the film. It is.

(比較例2)
比較例1に係る異方性導電膜の作製において、樹脂めっき粒子の導入面と反対側を接着層で被覆しなかった点以外は同様にして、比較例2に係る異方性導電膜を作製した。
(Comparative Example 2)
In the production of the anisotropic conductive film according to Comparative Example 1, the anisotropic conductive film according to Comparative Example 2 was produced in the same manner except that the side opposite to the introduction surface of the resin plating particles was not covered with the adhesive layer. did.

この際、得られた多孔質膜の孔部の開口径、孔部の深さ、隣接する孔部の開口中心間の距離は、それぞれ5μm、4μm、6μmであった。   At this time, the opening diameter of the hole portion, the depth of the hole portion, and the distance between the opening centers of the adjacent hole portions were 5 μm, 4 μm, and 6 μm, respectively.

なお、比較例2に係る異方性導電膜は、ポリブタジエンゴム製の多孔質膜の孔部内に樹脂めっき粒子が充填されており、この膜の片面に接着層が被覆された2層構造である。   The anisotropic conductive film according to Comparative Example 2 has a two-layer structure in which resin plating particles are filled in the pores of a polybutadiene rubber porous film, and an adhesive layer is covered on one side of the film. .

3.各異方性導電膜の評価
上記作製した実施例および比較例に係る異方性導電膜につき、膜厚方向の導通性能および膜面方向の絶縁性能を評価した。
3. Evaluation of Each Anisotropic Conductive Film With respect to the anisotropic conductive films according to Examples and Comparative Examples prepared above, the conducting performance in the film thickness direction and the insulating performance in the film surface direction were evaluated.

(評価試料の作製)
すなわち、先ず、厚み0.7mmのガラス基板表面に形成した回路パターン(材質ITO、パターンピッチ30μm、パターン幅20μm)上に、異方導電性膜を載置し、温度120℃、回路パターン上に貼りつけた異方性導電膜の面積に対して加圧力0.25MPa、圧着時間5秒の条件で、仮圧着した。
(Preparation of evaluation sample)
That is, first, an anisotropic conductive film is placed on a circuit pattern (material ITO, pattern pitch 30 μm, pattern width 20 μm) formed on the surface of a 0.7 mm thick glass substrate, and the temperature is 120 ° C. on the circuit pattern. Temporary pressure bonding was performed on the bonded anisotropic conductive film under the conditions of a pressure of 0.25 MPa and a pressure bonding time of 5 seconds.

次いで、仮圧着された異方性導電膜のセパレータを剥離した後、その上に、Auバンプを有するICチップ(バンプピッチ30μm、バンプ幅20μm)を、回路パターンとAuバンプとが相対峙するように載置した。   Next, after separating the temporarily-bonded anisotropic conductive film separator, an IC chip (bump pitch 30 μm, bump width 20 μm) having an Au bump is placed on the separator so that the circuit pattern and the Au bump face each other. Placed on.

次いで、この状態のまま、温度210℃、加圧力80MPa、圧着時間60秒の条件で、本圧着した。上記本圧着後、引き続き、温度50℃、加圧力80MPa、時間30秒の条件で、冷却を行った。   Next, in this state, the main pressure bonding was performed under the conditions of a temperature of 210 ° C., a pressure of 80 MPa, and a pressure bonding time of 60 seconds. After the main pressure bonding, cooling was subsequently performed under the conditions of a temperature of 50 ° C., a pressure of 80 MPa, and a time of 30 seconds.

以上により、試料1〜試料2、比較試料1〜比較試料2を作製した。なお、試料および比較試料の番号は、実施例および比較例の番号と対応している。   Thus, Sample 1 to Sample 2 and Comparative Sample 1 to Comparative Sample 2 were prepared. Note that the numbers of the sample and the comparative sample correspond to the numbers of the example and the comparative example.

(膜厚方向の導通性能の評価)
得られた各試料につき、相対峙する回路パターン−Auバンプ間の電気抵抗を、抵抗率計(ダイアインスツルメンツ製、「ロレスタGP」)を用い、4端子4探針法により測定した。なお、各試料数は、それぞれN=10[個]であり、算術平均による平均値を算出し、これを膜厚方向の電気抵抗とした。
(Evaluation of conduction performance in the film thickness direction)
With respect to each of the obtained samples, the electric resistance between the circuit pattern and the Au bump that face each other was measured by a four-terminal four-probe method using a resistivity meter (“Loresta GP” manufactured by Dia Instruments). The number of each sample was N = 10 [pieces], and an average value was calculated by arithmetic average, and this was taken as the electric resistance in the film thickness direction.

(膜面方向の絶縁性能の評価)
得られた各試料につき、隣接する回路パターン間の電気抵抗を、テスターT2(AND社製、「AD5522」)を用いて測定した。なお、各試料数は、それぞれN=10[個]であり、電気抵抗が10Ω以上となる割合=絶縁性確保率(%)を求めた。
(Evaluation of insulation performance in the film surface direction)
About each obtained sample, the electrical resistance between adjacent circuit patterns was measured using tester T2 (the product made by AND, "AD5522"). Note that the number of each sample was N = 10 [pieces], and the ratio of the electrical resistance to 10 8 Ω or more = insulation securing ratio (%) was determined.

(評価結果)
表1に、実施例および比較例に係る異方性導電膜の評価結果をまとめて示す。
(Evaluation results)
Table 1 summarizes the evaluation results of the anisotropic conductive films according to Examples and Comparative Examples.

Figure 2008186760
Figure 2008186760

(考察)
表1を相対比較すると次のことが分かる。
(Discussion)
A relative comparison of Table 1 shows the following.

すなわち、比較例1に係る異方性導電膜は、従来の3層構造である。そのため、他に比較して、膜厚方向の電気抵抗が大きかった。   That is, the anisotropic conductive film according to Comparative Example 1 has a conventional three-layer structure. For this reason, the electrical resistance in the film thickness direction is larger than the others.

これは、回路パターン側の接着層の流動に伴い、多孔質膜が崩れて孔部から樹脂めっき粒子が流出してしまい、当初の規則的な配置が乱れ、回路パターンとバンプとの間に捕捉されるはずの樹脂めっき粒子が少なくなってしまったためであると推察される。   This is because the flow of the adhesive layer on the circuit pattern side causes the porous film to collapse and the resin plating particles to flow out of the holes, disturbing the initial regular arrangement and trapping between the circuit pattern and the bumps. This is presumably because the resin plating particles that should have been reduced.

また、比較例2に係る異方性導電膜は、比較例1と同様に、疎水性材料であるポリブタジエンゴムよりなる多孔質膜を用いたものであるが、接着層が1層である。そのため、接着層形成面と反対側の多孔質膜の表面は、全く接着性を有していない。それ故、回路パターンとバンプとの間に樹脂めっき粒子を圧縮挟持した状態で、両者を機械的に接続することができず、膜厚方向の電気抵抗が極めて大きく、絶縁性を示した。   Further, the anisotropic conductive film according to Comparative Example 2 uses a porous film made of polybutadiene rubber, which is a hydrophobic material, as in Comparative Example 1, but has one adhesive layer. Therefore, the surface of the porous film on the side opposite to the adhesive layer forming surface has no adhesiveness. Therefore, in a state where the resin plating particles are compressed and sandwiched between the circuit pattern and the bumps, the two cannot be mechanically connected, and the electric resistance in the film thickness direction is extremely large, indicating insulation.

ここで、実施例1および実施例2では、何れも、水滴を利用して多孔質膜を形成するにあたり、親水性材料であるポリビニルブチラール系樹脂を用いて、従来の疎水性高分子を用いた場合とほぼ同様にして、ハニカム構造の多孔質膜を形成できている点が注目に値すると言える。その結果、本発明では、このハニカム構造の多孔質膜が有する規則的な孔部の配列を利用することができる。   Here, in Example 1 and Example 2, in forming a porous film using water droplets, a conventional hydrophobic polymer was used using a polyvinyl butyral resin that is a hydrophilic material. It can be said that it is remarkable that a porous film having a honeycomb structure can be formed in substantially the same manner as in the case. As a result, in the present invention, it is possible to utilize a regular arrangement of pores of the porous membrane having the honeycomb structure.

そして、実施例1および実施例2に係る異方性導電膜は、従来の3層構造の比較例1に係る異方性導電膜に比較して、導通性能を向上させることもできていることが分かる。   And the anisotropic conductive film which concerns on Example 1 and Example 2 can also improve conduction | electrical_connection performance compared with the anisotropic conductive film which concerns on the comparative example 1 of the conventional 3 layer structure. I understand.

この理由としては、2層構造を採用可能となったことで、圧着時に接着層の流動に伴う多孔質膜の崩れ、これに伴う樹脂めっき粒子の流出を抑制することができ、多くの樹脂めっき粒子を、当初の規則的な配列をほぼ保持したまま、回路パターンとバンプとの間に捕捉することができたこと、多孔質膜自体が有する接着性と接着層とにより、多くの樹脂めっき粒子を挟持した状態のまま、回路パターンとICチップとの間を機械的に接続することができたことなどが挙げられる。   The reason for this is that by adopting a two-layer structure, it is possible to prevent the porous film from collapsing due to the flow of the adhesive layer at the time of crimping, and to suppress the outflow of resin plating particles accompanying this. Many resin-plated particles due to the fact that the particles could be captured between the circuit pattern and the bump while maintaining the original regular arrangement, and the adhesion and adhesive layer of the porous film itself. For example, the circuit pattern and the IC chip can be mechanically connected in a state where the pin is sandwiched.

したがって、これらの結果から、本発明に係る異方性導電膜およびその製造方法によれば、水滴を利用して形成した多孔質膜を使用しつつ、かつ、導通性能を向上させることが可能であることが確認できた。   Therefore, from these results, according to the anisotropic conductive film and the method for manufacturing the same according to the present invention, it is possible to improve the conduction performance while using the porous film formed using water droplets. It was confirmed that there was.

以上、本発明の一実施形態、一実施例について説明したが、本発明は上記実施形態、実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。   Although one embodiment and one example of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiment and example, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. is there.

本実施形態に係る異方性導電膜の模式的な断面図の一例である。It is an example of the typical sectional view of the anisotropic conductive film concerning this embodiment. ICチップと回路パターンとの間に本実施形態に係る異方性導電膜を介在させた状態を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the state which interposed the anisotropic conductive film which concerns on this embodiment between IC chip and a circuit pattern. ICチップと回路パターンとの間が本実施形態に係る異方性導電膜により接続された状態を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the state from which the IC chip and the circuit pattern were connected by the anisotropic conductive film which concerns on this embodiment. ポリビニルブチラール系樹脂の残存水酸基量(mol%)と、上記非剥離部の面積率(%)(接着性)および成膜良好部の面積率(成膜性)との関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the amount of residual hydroxyl groups (mol%) of a polyvinyl butyral resin, the area ratio (%) (adhesiveness) of the said non-peeling part, and the area ratio (film forming property) of a film-forming favorable part. .

符号の説明Explanation of symbols

10 ACF
12 多孔質膜
14 導電性粒子
16 接着層
22 ICチップ
24 基板
26 回路パターン
28 バンプ
10 ACF
12 Porous film 14 Conductive particles 16 Adhesive layer 22 IC chip 24 Substrate 26 Circuit pattern 28 Bump

Claims (6)

ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、前記孔部の内壁面が外側方向に湾曲されている多孔質膜と、
前記多孔質膜の孔部内に保持された導電性粒子と、
前記多孔質膜の片面に形成された接着層とを有し、
前記多孔質膜は、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂より形成されていることを特徴とする異方性導電膜。
A porous membrane having a large number of pores arranged in a honeycomb shape, and an inner wall surface of the pores being curved outward;
Conductive particles held in the pores of the porous membrane;
An adhesive layer formed on one side of the porous membrane,
The anisotropic conductive film, wherein the porous film is formed of a polyvinyl acetal resin having a residual hydroxyl group content in the range of more than 22 mol% to less than 30 mol%.
前記導電性粒子は、前記多孔質膜に融着されていることを特徴とする請求項1に記載の異方性導電膜。   The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein the conductive particles are fused to the porous film. 前記導電性粒子は、ほぼ同一平面内に存在することを特徴とする請求項1または2に記載の異方性導電膜。   The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein the conductive particles exist in substantially the same plane. 前記多孔質膜は、疎水性および揮発性を有する有機溶媒と、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂と、界面活性剤とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させることにより形成されたものであることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の異方性導電膜。   The porous membrane comprises a polymer solution containing at least a hydrophobic and volatile organic solvent, a polyvinyl acetal resin having a residual hydroxyl amount in the range of more than 22 mol% to less than 30 mol%, and a surfactant. 4. The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein the anisotropic conductive film is formed by allowing a cast support to exist in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more. ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、前記孔部の内壁面が外側方向に湾曲されている、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂よりなる多孔質膜を形成する工程と、
前記多孔質膜の孔部内に導電性粒子を充填する工程と、
前記導電性粒子を充填した膜の片面に接着層を形成する工程と、
を有することを特徴とする異方性導電膜の製造方法。
A polyvinyl acetal resin having a large number of holes arranged in a honeycomb shape, the inner wall surface of which is curved outward, and the amount of residual hydroxyl group is in the range of more than 22 mol% to less than 30 mol% Forming a porous film comprising:
Filling the pores of the porous membrane with conductive particles;
Forming an adhesive layer on one side of the film filled with the conductive particles;
A method for producing an anisotropic conductive film, comprising:
前記多孔質膜の形成は、疎水性および揮発性を有する有機溶媒と、残存水酸基量が22mol%超〜30mol%未満の範囲内にあるポリビニルアセタール系樹脂と、界面活性剤とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持体を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させることによることを特徴とする請求項5に記載の異方性導電膜の製造方法。   The porous film is formed by a polymer containing at least a hydrophobic and volatile organic solvent, a polyvinyl acetal resin having a residual hydroxyl amount in the range of more than 22 mol% to less than 30 mol%, and a surfactant. 6. The method for producing an anisotropic conductive film according to claim 5, wherein the support on which the solution is cast is present in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012175004A (en) * 2011-02-23 2012-09-10 Sekisui Chem Co Ltd Method of manufacturing connection structure
JP2014212311A (en) * 2013-04-02 2014-11-13 国立大学法人大阪大学 Anisotropic conductive film and anisotropic conductive connector

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