[go: up one dir, main page]

JP2008149710A - Barrier laminate manufacturing method, barrier laminate, barrier film substrate, and organic EL device. - Google Patents

Barrier laminate manufacturing method, barrier laminate, barrier film substrate, and organic EL device. Download PDF

Info

Publication number
JP2008149710A
JP2008149710A JP2007302638A JP2007302638A JP2008149710A JP 2008149710 A JP2008149710 A JP 2008149710A JP 2007302638 A JP2007302638 A JP 2007302638A JP 2007302638 A JP2007302638 A JP 2007302638A JP 2008149710 A JP2008149710 A JP 2008149710A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
organic
barrier
barrier laminate
general formula
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007302638A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Jiro Tsukahara
次郎 塚原
Yuya Agata
祐也 阿形
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2007302638A priority Critical patent/JP2008149710A/en
Publication of JP2008149710A publication Critical patent/JP2008149710A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

【課題】水蒸気バリア性が高く、かつ、臭気の低減されたバリア性積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】 有機層と無機層とが積層した構造を含むバリア性積層体の製造方法であって、前記有機層は、下記一般式(1)で表されるモノマーを含む重合性組成物を100Pa以下の圧力下で重合させることにより形成することを特徴とする、バリア性積層体の製造方法。

Figure 2008149710

[一般式(1)において、Lはm価の連結基を表し、mは1〜6の整数を表す。]
【選択図】なしA method for producing a barrier laminate having high water vapor barrier properties and reduced odor is provided.
A method for producing a barrier laminate comprising a structure in which an organic layer and an inorganic layer are laminated, wherein the organic layer comprises a polymerizable composition containing a monomer represented by the following general formula (1). It forms by superposing | polymerizing under the pressure of 100 Pa or less, The manufacturing method of the barriering laminated body characterized by the above-mentioned.
Figure 2008149710

[In General Formula (1), L represents an m-valent linking group, and m represents an integer of 1 to 6. ]
[Selection figure] None

Description

本発明は、バリア性積層体の製造方法、該製造方法により得られるバリア性積層体およびバリア性フィルム基板ならびに、該バリア性積層体および/またはバリア性フィルム基板を用いた有機電界発光素子(有機EL素子)に関するものである。  The present invention relates to a method for producing a barrier laminate, a barrier laminate and a barrier film substrate obtained by the production method, and an organic electroluminescent element (organic) using the barrier laminate and / or barrier film substrate. EL element).

従来から、プラスチックフィルムの表面に、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化珪素等の金属酸化物層を形成したバリア性フィルムは、水蒸気や酸素など各種ガスの遮断を必要とする物品の包装や、食品、工業用品および医薬品等の変質を防止するための包装用途に広く用いられている。  Conventionally, a barrier film in which a metal oxide layer such as aluminum oxide, magnesium oxide, silicon oxide or the like is formed on the surface of a plastic film is used for wrapping articles, food, Widely used in packaging applications to prevent alteration of industrial products and pharmaceuticals.

近年、液晶表示素子や有機EL素子等の分野においては、重くて割れやすいガラス基板に代わって、プラスチックフィルム基板が採用され始めている。プラスチックフィルム基板はロールトゥロール(Roll to Roll)方式に適用可能であることから、コストの点でも有利である。しかし、プラスチックフィルム基板はガラス基板と比較して水蒸気バリア性に劣るという問題がある。このため、プラスチックフィルム基板を液晶表示素子に用いると、水蒸気が液晶セル内に侵入し、表示欠陥が発生する。  In recent years, in the fields of liquid crystal display elements, organic EL elements, and the like, plastic film substrates have begun to be used in place of heavy and fragile glass substrates. Since the plastic film substrate can be applied to a roll-to-roll method, it is advantageous in terms of cost. However, there is a problem that the plastic film substrate is inferior in water vapor barrier property as compared with the glass substrate. For this reason, when a plastic film substrate is used for a liquid crystal display element, water vapor enters the liquid crystal cell and a display defect occurs.

この問題を解決するために、プラスチックフィルム上にバリア性積層体を形成したバリア性フィルム基板を用いることが検討されている。バリア性積層体としては、酸化珪素を蒸着したもの(例えば、特許文献1参照)や、酸化アルミニウムを蒸着したもの(例えば、特許文献2参照)が知られており、これらはいずれも水蒸気透過能が1g/m2/day程度となるバリア性を有する。 In order to solve this problem, it has been studied to use a barrier film substrate in which a barrier laminate is formed on a plastic film. Known barrier laminates include those deposited with silicon oxide (for example, see Patent Document 1) and those deposited with aluminum oxide (for example, see Patent Document 2), both of which are water vapor permeable. Has a barrier property of about 1 g / m 2 / day.

しかし、有機EL素子などに用いるための基板には、水蒸気透過率が0.01g/m2/day未満となるような高いバリア性が要求される。かかる要求に応えるための手段として、特許文献3および特許文献4には有機層と無機層を含むバリア性積層体により、水蒸気透過率として0.01g/m2/day未満を実現する技術が開示されている。 However, a substrate for use in an organic EL element or the like is required to have a high barrier property such that the water vapor transmission rate is less than 0.01 g / m 2 / day. As means for meeting such demands, Patent Documents 3 and 4 disclose a technique for realizing a water vapor transmission rate of less than 0.01 g / m 2 / day by using a barrier laminate including an organic layer and an inorganic layer. Has been.

この技術は有機層をアクリレートまたはメタクリレートの重合反応で形成することを特徴とするが、有機層に起因すると推定される臭気が問題となっていた。このため、有機層と無機層の積層体を含むバリア性積層体において、水蒸気透過率が0.01g/m2/day未満であって、かつ、臭気の問題がないような製造方法の開発が望まれていた。 Although this technique is characterized in that the organic layer is formed by a polymerization reaction of acrylate or methacrylate, the odor estimated to be caused by the organic layer has been a problem. For this reason, in a barrier laminate including a laminate of an organic layer and an inorganic layer, development of a production method that has a water vapor transmission rate of less than 0.01 g / m 2 / day and has no odor problem has been developed. It was desired.

特公昭53−12953号公報(第1頁〜第3頁)Japanese Examined Patent Publication No. 53-12953 (pages 1 to 3) 特開昭58−217344号公報(第1頁〜第4頁)JP 58-217344 A (pages 1 to 4) 米国特許第6,413,645号US Pat. No. 6,413,645 米国特許第6,268,695号US Pat. No. 6,268,695

本発明の目的は、水蒸気バリア性が高く、かつ、臭気の低減されたバリア性積層体の製造方法を提供することである。本発明の第2の目的は、前記バリア性積層体の製造方法により得られたバリア性積層体およびバリア性フィルム基板、ならびにこれを用いた有機EL素子を提供することである。  An object of the present invention is to provide a method for producing a barrier laminate having high water vapor barrier properties and reduced odor. The second object of the present invention is to provide a barrier laminate and a barrier film substrate obtained by the method for producing a barrier laminate, and an organic EL device using the same.

上記課題のもと、発明者が鋭意検討した結果、無機層と有機層を含むバリア層を有するバリア性積層体における臭気の問題は、有機層を形成する際の未反応モノマー(アクリレートまたはメタクリレート)による臭気であると考えられた。モノマーの臭気はアクリレートよりもメタクリレートの方が弱いため、本来、メタクリレートを主成分とする方が好ましい。しかしながら、メタクリレートは、空気中の酸素によって重合阻害を受けてしまう。一方、窒素置換法によって重合時の酸素濃度を0.5%以下に抑えても重合が十分に進行せず、却って臭気が残ってしまった。そして、発明者による検討の結果、100Pa以下の圧力で重合を行うと重合が十分に進行し、かつ、臭気が低減することを見出した。
具体的には、下記手段により、上記課題を解決しうることを見出した。
(1)有機層と無機層とが積層した構造を含むバリア性積層体の製造方法であって、前記有機層は、下記一般式(1)で表されるモノマーを含む重合性組成物を100Pa以下の圧力下で重合させることにより形成することを特徴とする、バリア性積層体の製造方法。

Figure 2008149710
[一般式(1)において、Lはm価の連結基を表し、mは1〜6の整数を表す。]
(2)前記重合性組成物は、一般式(1)においてm=2であるモノマーを60〜80質量%、一般式(1)においてm=3であるモノマーおよび/または一般式(1)においてm=4であるモノマーを20〜40質量%を含む、(1)に記載のバリア性積層体の製造方法。
(3)一般式(1)におけるLの総炭素数が8〜16であることを特徴とする(1)または(2)に記載のバリア性積層体の製造方法。
(4)有機層および無機層を、連続して、100Pa以下の圧力下で形成することを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法。
(5)前記重合性組成物を、100Pa以下の圧力下で、2J/cm2以上のエネルギーの紫外線を照射して重合させることを特徴とする、(1)〜(4)のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法。
(6)前記重合性組成物を、30Pa以下の圧力下で、0.5J/cm2以上のエネルギーの紫外線を照射して重合させることを特徴とする、(1)〜(4)のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法。
(7)(1)〜(6)のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法より製造したバリア性積層体。
(8)プラスチックフィルム基板上に、(1)〜(6)のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法より製造したバリア性積層体を有するバリア性フィルム基板。
(9)赤外線吸収法で定量した重合率の値が88%以上であることを特徴とする、(8)に記載のバリア性フィルム基板。
(10)(7)に記載のバリア性積層体、または、(8)若しくは(9)に記載のバリア性フィルム基板を用いた有機EL素子。
(11)(7)に記載のバリア性積層体と、(8)または(9)に記載のバリア性フィルム基板の両方を用いた有機EL素子。 As a result of intensive studies by the inventors under the above-mentioned problems, the problem of odor in a barrier laminate having a barrier layer including an inorganic layer and an organic layer is an unreacted monomer (acrylate or methacrylate) when forming the organic layer. It was thought that it was an odor. Since the odor of the monomer is weaker with methacrylate than with acrylate, it is inherently preferable to have methacrylate as the main component. However, methacrylate is subject to polymerization inhibition by oxygen in the air. On the other hand, even if the oxygen concentration at the time of polymerization was suppressed to 0.5% or less by the nitrogen substitution method, the polymerization did not proceed sufficiently, and an odor remained on the contrary. As a result of the study by the inventors, it was found that when polymerization is performed at a pressure of 100 Pa or less, the polymerization proceeds sufficiently and the odor is reduced.
Specifically, it has been found that the above problems can be solved by the following means.
(1) A method for producing a barrier laminate comprising a structure in which an organic layer and an inorganic layer are laminated, wherein the organic layer comprises a polymerizable composition containing a monomer represented by the following general formula (1) at 100 Pa. It forms by polymerizing under the following pressures, The manufacturing method of a barriering laminated body characterized by the above-mentioned.
Figure 2008149710
[In General Formula (1), L represents an m-valent linking group, and m represents an integer of 1 to 6. ]
(2) In the polymerizable composition, the monomer having m = 2 in the general formula (1) is 60 to 80% by mass, the monomer having m = 3 in the general formula (1) and / or the general formula (1). The method for producing a barrier laminate according to (1), wherein the monomer having m = 4 contains 20 to 40% by mass.
(3) The method for producing a barrier laminate according to (1) or (2), wherein the total carbon number of L in the general formula (1) is 8 to 16.
(4) The method for producing a barrier laminate according to any one of (1) to (3), wherein the organic layer and the inorganic layer are continuously formed under a pressure of 100 Pa or less.
(5) Any one of (1) to (4), wherein the polymerizable composition is polymerized by irradiation with ultraviolet rays having an energy of 2 J / cm 2 or more under a pressure of 100 Pa or less. A method for producing a barrier laminate as described in 1.
(6) Any of (1) to (4), wherein the polymerizable composition is polymerized by irradiating with ultraviolet rays having an energy of 0.5 J / cm 2 or more under a pressure of 30 Pa or less. 2. A method for producing a barrier laminate according to item 1.
(7) A barrier laminate produced by the method for producing a barrier laminate according to any one of (1) to (6).
(8) A barrier film substrate having a barrier laminate produced by the method for producing a barrier laminate according to any one of (1) to (6) on a plastic film substrate.
(9) The barrier film substrate according to (8), wherein the polymerization rate determined by an infrared absorption method is 88% or more.
(10) An organic EL device using the barrier laminate according to (7) or the barrier film substrate according to (8) or (9).
(11) An organic EL device using both the barrier laminate described in (7) and the barrier film substrate described in (8) or (9).

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。尚、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。   Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail. In the present specification, “to” is used to mean that the numerical values described before and after it are included as a lower limit value and an upper limit value.

(バリア性積層体の形成方法)
本発明のバリア性積層体は、有機層と無機層とを積層することにより形成される。有機層および無機層は、積層数は所望するバリア能により適宜選択され、1層ずつであってもよいし、複数層が積層されていてもよい。一般に積層数が多いほど、バリア能の高い積層体が得られる。また、本発明における、有機層と無機層とが積層した構造とは、有機層同士が隣接したり、無機層同士が隣接している構造も含む。本発明のバリア性積層体を、有機EL素子に用いる場合、該有機EL素子を環境中の水分から保護するためには、通常、少なくとも2層の無機層とそれらを隔てる少なくとも1層の有機層が必要となる。2層以上の無機層が存在する場合、それらは互いに同一でも異なっていても良い。2層以上の有機層が存在する場合、それらは互いに同一でも異なっていても良い。
本発明のバリア性積層体はデバイス(例えば、有機EL素子)上に形成しても良いし、プラスチックフィルム上に形成しても良い。プラスチックフィルム上に本発明のバリア性積層体を形成したものが、本発明のバリア性フィルム基板である。
(Method for forming barrier laminate)
The barrier laminate of the present invention is formed by laminating an organic layer and an inorganic layer. The number of layers of the organic layer and the inorganic layer is appropriately selected depending on the desired barrier ability, and may be one layer or a plurality of layers. In general, the larger the number of layers, the higher the barrier ability. Moreover, the structure in which the organic layer and the inorganic layer are laminated in the present invention includes a structure in which the organic layers are adjacent to each other or the inorganic layers are adjacent to each other. When the barrier laminate of the present invention is used for an organic EL element, in order to protect the organic EL element from moisture in the environment, it is usually at least two inorganic layers and at least one organic layer separating them. Is required. When two or more inorganic layers are present, they may be the same as or different from each other. When two or more organic layers are present, they may be the same as or different from each other.
The barrier laminate of the present invention may be formed on a device (for example, an organic EL element) or may be formed on a plastic film. What formed the barriering laminated body of this invention on the plastic film is the barriering film board | substrate of this invention.

(有機層の形成方法)
本発明において有機層は、下記一般式(1)で表されるモノマーを含む重合性組成物を100Pa以下の圧力下で、好ましくは、30Pa以下の圧力下で重合させることにより形成される。ここで、圧力の下限値としては、0.01Pa以上であることが好ましく、0.1Pa以上であることがより好ましい。

Figure 2008149710
[一般式(1)において、Lはm価の連結基を表し、mは1〜6の整数を表す。] (Formation method of organic layer)
In the present invention, the organic layer is formed by polymerizing a polymerizable composition containing a monomer represented by the following general formula (1) under a pressure of 100 Pa or less, preferably under a pressure of 30 Pa or less. Here, the lower limit value of the pressure is preferably 0.01 Pa or more, and more preferably 0.1 Pa or more.
Figure 2008149710
[In General Formula (1), L represents an m-valent linking group, and m represents an integer of 1 to 6. ]

一般式(1)において、mは、2〜4の整数が好ましい。Lの炭素数は、好ましくは3〜24、より好ましくは5〜20、さらに好ましくは8〜16、特に好ましくは10〜16である。本発明では、100Pa以下の圧力下で重合させるため、モノマーの揮発が問題となるが、mやLを上記好ましい範囲とすることにより、モノマーの揮発を抑制できる傾向にある。   In general formula (1), m is preferably an integer of 2 to 4. The carbon number of L is preferably 3 to 24, more preferably 5 to 20, still more preferably 8 to 16, and particularly preferably 10 to 16. In the present invention, since the polymerization is carried out under a pressure of 100 Pa or less, the volatilization of the monomer becomes a problem, but the volatilization of the monomer tends to be suppressed by setting m and L within the above preferred ranges.

mが2の場合、Lは2価の連結基を表すが、そのような2価の連結基の例として、アルキレン基(例えば、1,3−プロピレン基、2,2−ジメチル−1,3−プロピレン基、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロピレン基、1,6−ヘキシレン基、1,9−ノニレン基、1,12−ドデシレン基、1,16−ヘキサデシレン基等)、エーテル基、イミノ基、カルボニル基、およびこれらの2価基が複数個直列に結合した2価残基(例えば、ポリエチレンオキシ基、ポリプロピレンオキシ基、プロピオニルオキシエチレン基、ブチロイルオキシプロピレン基、カプロイルオキシエチレン基、カプロイルオキシブチレン基等)を挙げることができる。これらの中ではアルキレン基が好ましい。   When m is 2, L represents a divalent linking group. Examples of such a divalent linking group include an alkylene group (for example, 1,3-propylene group, 2,2-dimethyl-1,3). -Propylene group, 2-butyl-2-ethyl-1,3-propylene group, 1,6-hexylene group, 1,9-nonylene group, 1,12-dodecylene group, 1,16-hexadecylene group, etc.), ether Groups, imino groups, carbonyl groups, and divalent residues in which a plurality of these divalent groups are connected in series (for example, polyethyleneoxy group, polypropyleneoxy group, propionyloxyethylene group, butyroyloxypropylene group, caproyloxy) Ethylene group, caproyloxybutylene group, etc.). Among these, an alkylene group is preferable.

Lは置換基を有してもよく、Lを置換することのできる置換基の例としては、アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、ブチル基等)、アリール基(例えば、フェニル基等)、アミノ基(例えば、アミノ基、メチルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基等)、アルコキシ基(例えば、メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基、2−エチルヘキシロキシ基等)、アシル基(例えば、アセチル基、ベンゾイル基、ホルミル基、ピバロイル基等)、アルコキシカルボニル基(例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基等)、ヒドロキシ基、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子)、シアノ基などが挙げられる。置換基として好ましくは、含酸素官能基を持たない基が後述の理由から好ましく、特に、アルキル基が好ましい。すなわち、mが2の場合、Lは含酸素官能基を持たないアルキレン基が最も好ましい。このような基を採用することにより、水蒸気透過率をより低くすることが可能になる。   L may have a substituent, and examples of the substituent that can substitute L include an alkyl group (for example, a methyl group, an ethyl group, and a butyl group), and an aryl group (for example, a phenyl group). , Amino groups (for example, amino group, methylamino group, dimethylamino group, diethylamino group, etc.), alkoxy groups (for example, methoxy group, ethoxy group, butoxy group, 2-ethylhexyloxy group, etc.), acyl groups (for example, Acetyl group, benzoyl group, formyl group, pivaloyl group, etc.), alkoxycarbonyl group (eg, methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, etc.), hydroxy group, halogen atom (eg, fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, iodine atom) And a cyano group. As the substituent, a group having no oxygen-containing functional group is preferable for the reason described later, and an alkyl group is particularly preferable. That is, when m is 2, L is most preferably an alkylene group having no oxygen-containing functional group. By adopting such a group, it becomes possible to further lower the water vapor transmission rate.

mが3の場合、Lは3価の連結基を表すが、そのような3価の連結基の例として、前述の2価の連結基から任意の水素原子を1個除いて得られる3価残基、または、前述の2価の連結基から任意の水素原子を1個除き、ここにアルキレン基、エーテル基、カルボニル基、およびこれらを直列に結合した2価基を置換した3価残基を挙げることができる。このうち、アルキレン基から任意の水素原子を1個除いて得られる、含酸素官能基を含まない3価残基が好ましい。このような基を採用することにより、水蒸気透過率をより低くすることが可能になる。   When m is 3, L represents a trivalent linking group. As an example of such a trivalent linking group, trivalent obtained by removing one arbitrary hydrogen atom from the above-mentioned divalent linking group. Residue or trivalent residue obtained by removing one arbitrary hydrogen atom from the aforementioned divalent linking group and substituting an alkylene group, an ether group, a carbonyl group, and a divalent group in which these are connected in series Can be mentioned. Among these, a trivalent residue containing no oxygen-containing functional group obtained by removing one arbitrary hydrogen atom from an alkylene group is preferable. By adopting such a group, it becomes possible to further lower the water vapor transmission rate.

mが4以上の場合、Lは4価以上の連結基を表すが、そのような4価の連結基の例として、前述の2価の連結基から任意の水素原子を2個除いて得られる4価残基、または、前述の3価の連結基から任意の水素原子を1個除き、ここにアルキレン基、エーテル基、カルボニル基、およびこれらを直列に結合した3価基を置換した4価残基を挙げることができる。このうち、アルキレン基から任意の水素原子を2個除いて得られる、含酸素官能基を含まない2価残基が好ましい。このような基を採用することにより、水蒸気透過率をより低くすることが可能になる。   When m is 4 or more, L represents a tetravalent or higher valent linking group. Examples of such a tetravalent linking group are obtained by removing two arbitrary hydrogen atoms from the above divalent linking group. A tetravalent residue or a tetravalent group in which any one hydrogen atom is removed from the above-described trivalent linking group and an alkylene group, an ether group, a carbonyl group, and a trivalent group in which these groups are connected in series are substituted. Residues can be mentioned. Among these, a divalent residue obtained by removing two arbitrary hydrogen atoms from an alkylene group and not containing an oxygen-containing functional group is preferable. By adopting such a group, it becomes possible to further lower the water vapor transmission rate.

一般式(1)で表されるモノマーは1種類のみを用いてもよいし、2種類以上を用いてもよい。
一般式(1)で表されるモノマーが重合性組成物中に占める割合は60質量%〜100質量%であることが好ましい。また、本発明では、一般式(1)において、m=2のモノマーが60〜80質量%と、一般式(1)において、m=3および/またはm=4のモノマーの合計20〜40質量%とを含む重合性組成物を用いることが好ましく、一般式(1)においてm=2であるモノマーを60〜80質量%と、一般式(1)においてm=3であるモノマーおよび/または一般式(1)においてm=4であるモノマーを20〜40質量%とからなる重合性組成物を用いることがさらに好ましい。特に、本発明では、一般式(1)においてm=2であるモノマーの重合性組成物中に占める割合が60〜80質量%のとき、残りの成分は一般式(1)においてm=3および/またはm=4のモノマー以外の各種重合性モノマーを含んでいてもよいが、その含量20質量%未満であることが好ましい。一般式(1)においてm=3および/またはm=4のモノマー以外の各種重合性モノマーとしては、例えば、一般式(1)においてmが1であるモノマー、あるいは後に構造式を示すモノマー等が例示される。
Only one type of monomer represented by the general formula (1) may be used, or two or more types may be used.
The proportion of the monomer represented by the general formula (1) in the polymerizable composition is preferably 60% by mass to 100% by mass. Moreover, in this invention, the monomer of m = 2 in General formula (1) is 60-80 mass%, and the sum total of 20-40 mass of the monomer of m = 3 and / or m = 4 in General formula (1). It is preferable to use a polymerizable composition that includes 60% by mass to 80% by mass of a monomer having m = 2 in the general formula (1) and / or a monomer having m = 3 in the general formula (1). It is more preferable to use a polymerizable composition comprising 20 to 40% by mass of the monomer in formula (1) where m = 4. In particular, in the present invention, when the proportion of the monomer having m = 2 in the general formula (1) in the polymerizable composition is 60 to 80% by mass, the remaining components in the general formula (1) are m = 3 and Although various polymerizable monomers other than the monomer of m = 4 may be included, the content is preferably less than 20% by mass. Examples of various polymerizable monomers other than the monomer of m = 3 and / or m = 4 in the general formula (1) include a monomer in which m is 1 in the general formula (1), or a monomer having a structural formula later. Illustrated.

また、本発明の有機層はフラッシュ蒸着法で形成することが好ましい。フラッシュ蒸着法で形成することにより、より有機層の臭気度を低減することができる。但し、上記一般式(1)において、mが5以上である化合物を採用する場合や、Lの炭素数が24以上である化合物を採用する場合、揮発性が低すぎてフラッシュ蒸着し難くなる場合がある。
加えて、本発明では、有機層および無機層を、連続して100Pa以下の圧力下で行うことが好ましい。ここで、連続してとは、有機層を形成した後、無機層を形成する場合、あるいは、無機層を形成した後、有機層を形成する場合に、圧力を常に100Pa以下に保ったまま積層工程を行うことをいう。圧力の下限値としては、特に定めるものではないが、有機層の圧力は0.01Pa以上であることが好ましく、無機層の圧力は1×10-5Pa以上であることが好ましい。このような手段を採用することにより、積層成膜のタクト時間を短縮することができるばかりでなく、得られるバリア性フィルム基板のガスバリア性をより向上させることができる。
The organic layer of the present invention is preferably formed by flash vapor deposition. By forming by the flash vapor deposition method, the odor degree of the organic layer can be further reduced. However, in the above general formula (1), when a compound having m of 5 or more is employed, or when a compound having L carbon number of 24 or more is employed, the volatility is too low to make flash deposition difficult. There is.
In addition, in this invention, it is preferable to perform an organic layer and an inorganic layer continuously under the pressure of 100 Pa or less. Here, the term “continuous” means that when the inorganic layer is formed after forming the organic layer, or when the organic layer is formed after forming the inorganic layer, the pressure is always kept at 100 Pa or less. The process is performed. The lower limit of the pressure is not particularly defined, but the pressure of the organic layer is preferably 0.01 Pa or more, and the pressure of the inorganic layer is preferably 1 × 10 −5 Pa or more. By adopting such means, not only the cycle time of the laminated film formation can be shortened, but also the gas barrier property of the resulting barrier film substrate can be further improved.

本発明では、重合性組成物は、通常の溶液塗布法、あるいは真空成膜法により成膜することができる。溶液塗布法としては、例えば、ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコ−ト法、グラビアコート法、スライドコート法、または、エクストルージョンコート法(米国特許第2,681,294号明細書に記載のホッパ−を使用するエクストルージョンコート法)が挙げられる。真空成膜法としては、特に制限はないが、前述のようにフラッシュ蒸着法が好ましい。
塗布した重合性組成物を重合する方法としては紫外線重合法、プラズマ重合法、電子線重合法、熱重合法が挙げられる。このうち、紫外線重合法が好ましい。この場合、通常、重合性組成物に光重合開始剤を添加する。光重合開始剤の例としては、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社から市販されているイルガキュア(Irgacure)シリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア754、イルガキュア184、イルガキュア2959イルガキュア907、イルガキュア369、イルガキュア379、イルガキュア819など)、ダロキュア(Darocure)シリーズ(例えば、ダロキュアTPO、ダロキュア1173など)、クオンタキュア(Quantacure)PDO、サートマー(Sartomer)社から市販されているエザキュア(Esacure)シリーズ(例えばエザキュアTZM、エザキュアTZTなど)等が挙げられる。
In the present invention, the polymerizable composition can be formed by an ordinary solution coating method or a vacuum film forming method. Examples of the solution coating method include a dip coating method, an air knife coating method, a curtain coating method, a roller coating method, a wire bar coating method, a gravure coating method, a slide coating method, and an extrusion coating method (US Pat. No. 2). , 681,294 specification, an extrusion coating method using a hopper). Although there is no restriction | limiting in particular as a vacuum film-forming method, As mentioned above, a flash vapor deposition method is preferable.
Examples of a method for polymerizing the applied polymerizable composition include an ultraviolet polymerization method, a plasma polymerization method, an electron beam polymerization method, and a thermal polymerization method. Of these, the ultraviolet polymerization method is preferred. In this case, a photopolymerization initiator is usually added to the polymerizable composition. Examples of the photopolymerization initiator include Irgacure series (for example, Irgacure 651, Irgacure 754, Irgacure 184, Irgacure 2959 Irgacure 907, Irgacure 369, Irgacure 379, Irgacure, commercially available from Ciba Specialty Chemicals. 819), Darocure series (eg, Darocur TPO, Darocur 1173, etc.), Quantacure PDO, Esacure series (eg, Ezacure TZM, Ezacure TZT, etc.) commercially available from Sartomer. ) And the like.

紫外線重合を行う場合、系の圧力は、30Pa以下であることがより好ましい。下限値としては、特に定めるものではないが、0.1Pa以上であることが好ましい。系の圧力の上限は、酸素による重合阻害を起き難くさせる観点から好ましい。
紫外線の照射量は、0.1〜10J/cm2が好ましく、0.2〜5J/cm2がより好ましい。照射量の下限は重合率を高める意味であり、上限は被照射物が過熱状態とならないために重要である。本発明では、100Paの圧力下で、2〜5J/cm2のエネルギーを照射して紫外線重合を行うか、30Paの圧力下で、0.5〜2J/cm2のエネルギーを照射して紫外線重合を行うことが特に好ましい。
When performing ultraviolet polymerization, the pressure of the system is more preferably 30 Pa or less. The lower limit is not particularly defined, but is preferably 0.1 Pa or more. The upper limit of the pressure of the system is preferable from the viewpoint of making it difficult to inhibit polymerization by oxygen.
0.1-10 J / cm < 2 > is preferable and the irradiation amount of an ultraviolet-ray is more preferable 0.2-5 J / cm < 2 >. The lower limit of the irradiation amount is meant to increase the polymerization rate, and the upper limit is important because the irradiated object is not overheated. In the present invention, under a pressure of 100 Pa, or irradiated with energy 2~5J / cm 2 UV polymerization are, under a pressure of 30 Pa, UV polymerization with energy irradiation of 0.5~2J / cm 2 It is particularly preferable to carry out.

本発明で用いる重合性組成物を重合したあとの重合率は、膜強度の観点から高い方が好ましい。さらに臭気度をより軽減するためには、重合率は80%以上であることが好ましく、88%以上であることがさらに好ましい。ここで、重合率は公知の方法で測定することができる。例えば、赤外線吸収法により未反応の二重結合を定量する方法、あるいは抽出法により未反応のモノマーを高速液体クロマトグラフ法で定量する方法等が挙げられる。   The polymerization rate after polymerizing the polymerizable composition used in the present invention is preferably higher from the viewpoint of film strength. In order to further reduce the odor level, the polymerization rate is preferably 80% or more, and more preferably 88% or more. Here, the polymerization rate can be measured by a known method. For example, a method of quantifying unreacted double bonds by an infrared absorption method, a method of quantifying unreacted monomers by a high performance liquid chromatography method by an extraction method, and the like can be mentioned.

本発明における有機層の厚みは、50nm〜5000nmであることが好ましく、200nm〜2000nmがより好ましい。  The thickness of the organic layer in the present invention is preferably 50 nm to 5000 nm, and more preferably 200 nm to 2000 nm.

以下に一般式(1)で表されるメタクリレートの好ましい具体例を示すが、本発明はこれらに限定されない。

Figure 2008149710
Figure 2008149710
Although the preferable specific example of the methacrylate represented by General formula (1) below is shown, this invention is not limited to these.
Figure 2008149710
Figure 2008149710

以下に、本発明に用いられる他の重合性モノマーの具体例を示すが、本発明はこれらに限定されない。

Figure 2008149710
Although the specific example of the other polymerizable monomer used for this invention below is shown, this invention is not limited to these.
Figure 2008149710

Figure 2008149710
Figure 2008149710

Figure 2008149710
Figure 2008149710

Figure 2008149710
Figure 2008149710

Figure 2008149710
Figure 2008149710

Figure 2008149710
Figure 2008149710

(無機層の形成方法)
無機層は、金属化合物からなる薄膜の層である。無機層の形成方法は、目的の薄膜を形成できる方法であればいかなる方法でも用いることができる。例えば、塗布法、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法などが適しており、具体的には、特許第3400324号公報、特開2002−322561号公報、特開2002−361774号公報に記載の形成方法を採用することができる。
無機層に含まれる成分は、上記性能を満たすものであれば特に限定されないが、例えば、Mg、Si、Al、In、Sn、Zn、Ti、CeおよびTaから選ばれる1種以上の金属を含む酸化物、窒化物、炭化物もしくは酸化窒化物、酸化炭化物、窒化炭化物などを用いることができる。これらの中でも、Mg、Si、Al、In、Sn、ZnおよびTiから選ばれる1種以上の金属を含む酸化物、窒化物もしくは酸化窒化物が好ましく、特にSiおよび/またはAlの酸化物、窒化物もしくは酸化窒化物が好ましい。これらは、副次的な成分として他の元素を含有してもよい。
(Formation method of inorganic layer)
The inorganic layer is a thin film layer made of a metal compound. As a method for forming the inorganic layer, any method can be used as long as it can form a target thin film. For example, a coating method, a sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, a plasma CVD method, and the like are suitable, and specifically, Japanese Patent No. 30032344, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-322561, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-361774. The forming method described in the publication can be employed.
The component contained in the inorganic layer is not particularly limited as long as it satisfies the above performance, but includes, for example, one or more metals selected from Mg, Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Ce, and Ta. Oxides, nitrides, carbides or oxynitrides, oxide carbides, nitride carbides, and the like can be used. Among these, oxides, nitrides or oxynitrides containing one or more metals selected from Mg, Si, Al, In, Sn, Zn and Ti are preferable, and particularly oxides and nitrides of Si and / or Al. Or oxynitrides are preferred. These may contain other elements as secondary components.

無機層の厚みに関しては特に限定されないが、2nm〜500nmの範囲内であることが好ましく、5nm〜300nmの範囲内であることがより好ましく、20nm〜200nmの範囲内であることがさらに好ましい。   The thickness of the inorganic layer is not particularly limited, but is preferably in the range of 2 nm to 500 nm, more preferably in the range of 5 nm to 300 nm, and still more preferably in the range of 20 nm to 200 nm.

(バリア性フィルム基板)
本発明のバリア性フィルム基板はプラスチックフィルム上に、前記本発明のバリア性積層体を形成したものである。
(Barrier film substrate)
The barrier film substrate of the present invention is obtained by forming the barrier laminate of the present invention on a plastic film.

(プラスチックフィルム)
本発明に用いられるプラスチックフィルムは、特に制限はなく、バリア性フィルム基板の使用用途等に応じて、適宜選択することができる。具体的には、ポリエステル、メタクリル樹脂、メタクリル酸−マレイン酸共重合体、ポリスチレン、透明フッ素樹脂、ポリイミド、フッ素化ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、セルロースアシレート、ポリウレタン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、脂環式ポリオレフィン、ポリアリレート、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン、フルオレン環変性ポリカーボネート、脂環変性ポリカーボネート、フルオレン環変性ポリエステル、アクリロイル化合物などの熱可塑性樹脂が挙げられる。
(Plastic film)
The plastic film used for this invention does not have a restriction | limiting in particular, According to the use application etc. of a barrier film board | substrate, it can select suitably. Specifically, polyester, methacrylic resin, methacrylic acid-maleic acid copolymer, polystyrene, transparent fluororesin, polyimide, fluorinated polyimide, polyamide, polyamideimide, polyetherimide, cellulose acylate, polyurethane, polyetheretherketone And thermoplastic resins such as polycarbonate, alicyclic polyolefin, polyarylate, polyethersulfone, polysulfone, fluorene ring-modified polycarbonate, alicyclic modified polycarbonate, fluorene ring-modified polyester, and acryloyl compound.

これらのプラスチックフィルムの厚みは用途によって適宜選択されるので、特に制限がないが、典型的には1〜800μmであり、好ましくは10〜500μmである。特に、有機EL素子に用いる場合、20〜300μmが好ましい。これらのプラスチックフィルムは、片面もしくは両面に下塗り層を有していても良い。下塗り層の例としては、マット剤層の他、保護層、帯電防止層、平滑化層、密着改良層、遮光層、反射防止層、ハードコート層等が挙げられる。本発明のプラスチックフィルムはこれらの下塗り層のうち、片面にマット剤層を有するのが好ましい。   The thickness of these plastic films is appropriately selected depending on the application, and is not particularly limited, but is typically 1 to 800 μm, preferably 10 to 500 μm. In particular, when used for an organic EL element, 20 to 300 μm is preferable. These plastic films may have an undercoat layer on one side or both sides. Examples of the undercoat layer include a matting agent layer, a protective layer, an antistatic layer, a smoothing layer, an adhesion improving layer, a light shielding layer, an antireflection layer, and a hard coat layer. The plastic film of the present invention preferably has a matting agent layer on one side of these undercoat layers.

(層構成)
本発明のバリア性フィルム基板の層構成としては、プラスチックフィルム上に少なくとも1層の有機層と少なくとも1層の無機層を有する。プラスチックフィルムに最も近い第1層は、有機層であっても無機層であってもよい。第1層が有機層のとき第2層は無機層であり、第1層が無機層のとき第2層は有機層であることが好ましい。第1層、第2層の上に、さらに有機層、無機層を交互に積層してもよい。最上層は有機層であっても良いし無機層であってもよい。さらに、任意の層間もしくは最上層として他の機能性層を有していてもよい。機能性層の例は、前記下塗り層の例と同様である。
(Layer structure)
As a layer structure of the barrier film substrate of the present invention, it has at least one organic layer and at least one inorganic layer on a plastic film. The first layer closest to the plastic film may be an organic layer or an inorganic layer. When the first layer is an organic layer, the second layer is preferably an inorganic layer, and when the first layer is an inorganic layer, the second layer is preferably an organic layer. An organic layer and an inorganic layer may be alternately stacked on the first layer and the second layer. The uppermost layer may be an organic layer or an inorganic layer. Furthermore, you may have another functional layer as an arbitrary interlayer or uppermost layer. Examples of the functional layer are the same as those of the undercoat layer.

(有機EL素子)
本発明のバリア性フィルム基板は有機EL素子の基板として好ましく使用することができる。本発明のバリア性フィルム基板を用いた有機EL素子の例を図1に示すが、本発明はこれに限定されない。図1において100は本発明のバリア性フィルム基板であり、200は有機EL素子構成層であり、300は有機EL素子である。有機EL素子の各構成層は、通常、本発明のバリア性フィルム基板100のバリア層が形成された側に設置される。次に、本発明のバリア性フィルム基板を用いた有機EL素子(以下、「本発明の有機EL素子」と呼ぶ)について説明する。
(Organic EL device)
The barrier film substrate of the present invention can be preferably used as a substrate for an organic EL device. Although the example of the organic EL element using the barrier film substrate of this invention is shown in FIG. 1, this invention is not limited to this. In FIG. 1, 100 is a barrier film substrate of the present invention, 200 is an organic EL element constituent layer, and 300 is an organic EL element. Each constituent layer of the organic EL element is usually installed on the side of the barrier film substrate 100 of the present invention on which the barrier layer is formed. Next, an organic EL element using the barrier film substrate of the present invention (hereinafter referred to as “organic EL element of the present invention”) will be described.

本発明の有機EL素子は基板上に、陰極と陽極を有し、両電極の間に有機発光層(以下、単に「発光層」と称する場合がある。)を含む有機化合物層を有する。発光素子の性質上、陽極及び陰極のうち少なくとも一方の電極は、透明であることが好ましい。
本発明における有機化合物層の積層の態様としては、陽極側から、正孔輸送層、発光層、電子輸送層の順に積層されている態様が好ましい。さらに、正孔輸送層と発光層との間、又は、発光層と電子輸送層との間には、電荷ブロック層等を有していてもよい。陽極と正孔輸送層との間に、正孔注入層を有してもよく、陰極と電子輸送層との間には、電子注入層を有してもよい。尚、各層は複数の二次層に分かれていてもよい。
The organic EL device of the present invention has a cathode and an anode on a substrate, and an organic compound layer including an organic light emitting layer (hereinafter sometimes simply referred to as “light emitting layer”) between both electrodes. In view of the properties of the light emitting element, at least one of the anode and the cathode is preferably transparent.
As an aspect of lamination of the organic compound layer in the present invention, an aspect in which a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer are laminated in this order from the anode side is preferable. Furthermore, a charge blocking layer or the like may be provided between the hole transport layer and the light-emitting layer, or between the light-emitting layer and the electron transport layer. A hole injection layer may be provided between the anode and the hole transport layer, and an electron injection layer may be provided between the cathode and the electron transport layer. Each layer may be divided into a plurality of secondary layers.

(陽極)
陽極は、通常、有機化合物層に正孔を供給する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。前述のごとく、陽極は、通常透明陽極として設けられる。
(anode)
The anode usually has a function as an electrode for supplying holes to the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc., depending on the use and purpose of the light-emitting element. , Can be appropriately selected from known electrode materials. As described above, the anode is usually provided as a transparent anode.

陽極の材料としては、例えば、金属、合金、金属酸化物、導電性化合物、又はこれらの混合物が好適に挙げられる。陽極材料の具体例としては、アンチモンやフッ素等をドープした酸化錫(ATO、FTO)、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)等の導電性金属酸化物、金、銀、クロム、ニッケル等の金属、さらにこれらの金属と導電性金属酸化物との混合物又は積層物、ヨウ化銅、硫化銅などの無機導電性物質、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロールなどの有機導電性材料、及びこれらとITOとの積層物などが挙げられる。この中で好ましいのは、導電性金属酸化物であり、特に、生産性、高導電性、透明性等の点からはITOが好ましい。  Suitable examples of the material for the anode include metals, alloys, metal oxides, conductive compounds, and mixtures thereof. Specific examples of the anode material include conductive metals such as tin oxide (ATO, FTO) doped with antimony or fluorine, tin oxide, zinc oxide, indium oxide, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), etc. Metals such as oxides, gold, silver, chromium, nickel, and mixtures or laminates of these metals and conductive metal oxides, inorganic conductive materials such as copper iodide and copper sulfide, polyaniline, polythiophene, polypyrrole, etc. Organic conductive materials, and a laminate of these and ITO. Among these, conductive metal oxides are preferable, and ITO is particularly preferable from the viewpoints of productivity, high conductivity, transparency, and the like.

陽極は、例えば、印刷方式、コーティング方式等の湿式方式、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理的方式、CVD法、プラズマCVD法等の化学的方式などの中から、陽極を構成する材料との適性を考慮して適宜選択した方法に従って、前記基板上に形成することができる。例えば、陽極の材料として、ITOを選択する場合には、陽極の形成は、直流又は高周波スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法等に従って行うことができる。  The anode is, for example, a wet method such as a printing method or a coating method, a physical method such as a vacuum deposition method, a sputtering method or an ion plating method, or a chemical method such as a CVD method or a plasma CVD method. It can be formed on the substrate in accordance with a method appropriately selected in consideration of suitability with the constituent material. For example, when ITO is selected as the anode material, the anode can be formed according to a direct current or high frequency sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, or the like.

本発明の有機EL素子において、陽極の形成位置としては特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて適宜選択することができるが、前記基板上に形成されるのが好ましい。この場合、陽極は、基板における一方の表面の全部に形成されていてもよく、その一部に形成されていてもよい。なお、陽極を形成する際のパターニングとしては、フォトリソグラフィーなどによる化学的エッチングによって行ってもよいし、レーザーなどによる物理的エッチングによって行ってもよく、また、マスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法や印刷法によって行ってもよい。陽極の厚みとしては、陽極を構成する材料により適宜選択することができ、一概に規定することはできないが、通常、10nm〜50μm程度であり、50nm〜20μmが好ましい。  In the organic EL device of the present invention, the formation position of the anode is not particularly limited and can be appropriately selected according to the use and purpose of the light emitting device, but is preferably formed on the substrate. In this case, the anode may be formed on the entire one surface of the substrate, or may be formed on a part thereof. The patterning for forming the anode may be performed by chemical etching such as photolithography, or may be performed by physical etching such as laser, or vacuum deposition or sputtering with a mask overlapped. It may be performed by a lift-off method or a printing method. The thickness of the anode can be appropriately selected depending on the material constituting the anode and cannot be generally defined, but is usually about 10 nm to 50 μm, and preferably 50 nm to 20 μm.

陽極の抵抗値としては、103Ω/□以下が好ましく、102Ω/□以下がより好ましい。
陽極が透明である場合は、無色透明であっても、有色透明であってもよい。透明陽極側から発光を取り出すためには、その透過率としては、60%以上が好ましく、70%以上がより好ましい。なお、透明陽極については、沢田豊監修「透明電極膜の新展開」シーエムシー刊(1999)に詳述があり、ここに記載される事項を本発明に適用することができる。耐熱性の低いプラスチック基材を用いる場合は、ITO又はIZOを使用し、150℃以下の低温で成膜した透明陽極が好ましい。
The resistance value of the anode is preferably 10 3 Ω / □ or less, and more preferably 10 2 Ω / □ or less.
When the anode is transparent, it may be colorless and transparent or colored and transparent. In order to take out light emission from the transparent anode side, the transmittance is preferably 60% or more, and more preferably 70% or more. The transparent anode is described in detail in the book “New Development of Transparent Electrode Films” published by CMC (1999), supervised by Yutaka Sawada, and the matters described here can be applied to the present invention. When using a plastic substrate with low heat resistance, a transparent anode formed using ITO or IZO at a low temperature of 150 ° C. or lower is preferable.

(陰極)
陰極は、通常、有機化合物層に電子を注入する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。陰極を構成する材料としては、例えば、金属、合金、金属酸化物、電気伝導性化合物、これらの混合物などが挙げられる。具体例としてはアルカリ金属(例えば、Li、Na、K、Cs等)、アルカリ土類金属(例えば、Mg、Ca等)、金、銀、鉛、アルミニウム、ナトリウム−カリウム合金、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−銀合金、インジウム、イッテルビウム等の希土類金属、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいが、安定性と電子注入性とを両立させる観点からは、2種以上を好適に併用することができる。
(cathode)
The cathode usually has a function as an electrode for injecting electrons into the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc., depending on the use and purpose of the light-emitting element, It can select suitably from well-known electrode materials. Examples of the material constituting the cathode include metals, alloys, metal oxides, electrically conductive compounds, and mixtures thereof. Specific examples include alkali metals (eg, Li, Na, K, Cs, etc.), alkaline earth metals (eg, Mg, Ca, etc.), gold, silver, lead, aluminum, sodium-potassium alloy, lithium-aluminum alloy, Examples thereof include magnesium-silver alloys, rare earth metals such as indium and ytterbium. These may be used alone, but two or more can be suitably used in combination from the viewpoint of achieving both stability and electron injection.

これらの中でも、陰極を構成する材料としては、電子注入性の点で、アルカリ金属やアルカリ土類金属が好ましく、保存安定性に優れる点で、アルミニウムを主体とする材料が好ましい。
アルミニウムを主体とする材料とは、アルミニウム単独、アルミニウムと0.01〜10質量%のアルカリ金属又はアルカリ土類金属との合金若しくはこれらの混合物(例えば、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金など)をいう。なお、陰極の材料については、特開平2−15595号公報、特開平5−121172号公報に詳述されており、これらの公報に記載の材料は、本発明においても適用することができる。
Among these, as a material constituting the cathode, an alkali metal or an alkaline earth metal is preferable from the viewpoint of electron injecting property, and a material mainly composed of aluminum is preferable from the viewpoint of excellent storage stability.
The material mainly composed of aluminum is aluminum alone, an alloy of aluminum and 0.01 to 10% by mass of alkali metal or alkaline earth metal, or a mixture thereof (for example, lithium-aluminum alloy, magnesium-aluminum alloy, etc.) Say. The cathode materials are described in detail in JP-A-2-15595 and JP-A-5-121172, and the materials described in these publications can also be applied in the present invention.

陰極の形成方法については、特に制限はなく、公知の方法に従って行うことができる。
例えば、印刷方式、コーティング方式等の湿式方式、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理的方式、CVD法、プラズマCVD法等の化学的方式などの中から、前記した陰極を構成する材料との適性を考慮して適宜選択した方法に従って形成することができる。例えば、陰極の材料として、金属等を選択する場合には、その1種又は2種以上を同時又は順次にスパッタ法等に従って行うことができる。陰極を形成するに際してのパターニングは、フォトリソグラフィーなどによる化学的エッチングによって行ってもよいし、レーザーなどによる物理的エッチングによって行ってもよく、マスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法や印刷法によって行ってもよい。
There is no restriction | limiting in particular about the formation method of a cathode, According to a well-known method, it can carry out.
For example, the cathode is configured from a printing method, a wet method such as a coating method, a physical method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, or an ion plating method, or a chemical method such as a CVD method or a plasma CVD method. The film can be formed according to a method appropriately selected in consideration of suitability with the material to be used. For example, when a metal or the like is selected as the cathode material, one or more of them can be simultaneously or sequentially performed according to a sputtering method or the like. Patterning when forming the cathode may be performed by chemical etching such as photolithography, physical etching by laser, or the like, or by vacuum deposition or sputtering with the mask overlaid. It may be performed by a lift-off method or a printing method.

本発明において、陰極形成位置は特に制限はなく、有機化合物層上の全部に形成されていてもよく、その一部に形成されていてもよい。また、陰極と前記有機化合物層との間に、アルカリ金属又はアルカリ土類金属のフッ化物、酸化物等による誘電体層を0.1〜5nmの厚みで挿入してもよい。この誘電体層は、一種の電子注入層と見ることもできる。誘電体層は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等により形成することができる。陰極の厚みは、陰極を構成する材料により適宜選択することができ、一概に規定することはできないが、通常10nm〜5μm程度であり、50nm〜1μmが好ましい。
また、陰極は、透明であってもよいし、不透明であってもよい。なお、透明な陰極は、陰極の材料を1〜10nmの厚さに薄く成膜して、更にITOやIZO等の透明な導電性材料を積層することにより形成することができる。
In the present invention, the cathode formation position is not particularly limited, and may be formed on the entire organic compound layer or a part thereof. Further, a dielectric layer made of an alkali metal or alkaline earth metal fluoride or oxide may be inserted between the cathode and the organic compound layer with a thickness of 0.1 to 5 nm. This dielectric layer can also be regarded as a kind of electron injection layer. The dielectric layer can be formed by, for example, a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or the like. The thickness of the cathode can be appropriately selected depending on the material constituting the cathode and cannot be generally defined, but is usually about 10 nm to 5 μm, and preferably 50 nm to 1 μm.
Further, the cathode may be transparent or opaque. The transparent cathode can be formed by forming a thin film of the cathode material to a thickness of 1 to 10 nm and further laminating a transparent conductive material such as ITO or IZO.

(有機化合物層)
本発明における有機化合物層について説明する。
本発明の有機EL素子は、発光層を含む少なくとも一層の有機化合物層を有しており、有機発光層以外の他の有機化合物層としては、正孔輸送層、電子輸送層、電荷ブロック層、正孔注入層、電子注入層等の各層が挙げられる。
(Organic compound layer)
The organic compound layer in the present invention will be described.
The organic EL device of the present invention has at least one organic compound layer including a light emitting layer, and other organic compound layers other than the organic light emitting layer include a hole transport layer, an electron transport layer, a charge blocking layer, Examples thereof include a hole injection layer and an electron injection layer.

有機化合物層の形成
本発明の有機EL素子において、有機化合物層を構成する各層は、蒸着法やスパッタ法等の乾式製膜法、転写法、印刷法等いずれによっても好適に形成することができる。
Formation of Organic Compound Layer In the organic EL device of the present invention, each layer constituting the organic compound layer can be suitably formed by any of a dry film forming method such as a vapor deposition method and a sputtering method, a transfer method, and a printing method. .

有機発光層
有機発光層は、電界印加時に、陽極、正孔注入層、又は正孔輸送層から正孔を受け取り、陰極、電子注入層、又は電子輸送層から電子を受け取り、正孔と電子の再結合の場を提供して発光させる機能を有する層である。本発明における発光層は、発光材料のみで構成されていてもよく、ホスト材料と発光材料の混合層とした構成でもよい。発光材料は蛍光発光材料でも燐光発光材料であってもよく、ドーパントは1種であっても2種以上であってもよい。ホスト材料は電荷輸送材料であることが好ましい。ホスト材料は1種であっても2種以上であってもよく、例えば、電子輸送性のホスト材料とホール輸送性のホスト材料を混合した構成が挙げられる。さらに、発光層中に電荷輸送性を有さず、発光しない材料を含んでいてもよい。また、発光層は1層であっても2層以上であってもよく、それぞれの層が異なる発光色で発光してもよい。
Organic light-emitting layer The organic light-emitting layer receives holes from the anode, hole injection layer, or hole transport layer and receives electrons from the cathode, electron injection layer, or electron transport layer when an electric field is applied. It is a layer having a function of providing a recombination field to emit light. The light emitting layer in the present invention may be composed of only a light emitting material, or may be a mixed layer of a host material and a light emitting material. The light emitting material may be a fluorescent light emitting material or a phosphorescent light emitting material, and the dopant may be one type or two or more types. The host material is preferably a charge transport material. The host material may be one type or two or more types, and examples thereof include a configuration in which an electron transporting host material and a hole transporting host material are mixed. Furthermore, the light emitting layer may include a material that does not have charge transporting properties and does not emit light. Further, the light emitting layer may be a single layer or two or more layers, and each layer may emit light in different emission colors.

本発明に使用できる蛍光発光材料の例としては、例えば、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、スチリルベンゼン誘導体、ポリフェニル誘導体、ジフェニルブタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、ナフタルイミド誘導体、クマリン誘導体、縮合芳香族化合物、ペリノン誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサジン誘導体、アルダジン誘導体、ピラリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、ビススチリルアントラセン誘導体、キナクリドン誘導体、ピロロピリジン誘導体、チアジアゾロピリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、スチリルアミン誘導体、ジケトピロロピロール誘導体、芳香族ジメチリディン化合物、8−キノリノール誘導体の金属錯体やピロメテン誘導体の金属錯体に代表される各種金属錯体等、ポリチオフェン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン等のポリマー化合物、有機シラン誘導体などの化合物等が挙げられる。  Examples of fluorescent materials that can be used in the present invention include, for example, benzoxazole derivatives, benzimidazole derivatives, benzothiazole derivatives, styrylbenzene derivatives, polyphenyl derivatives, diphenylbutadiene derivatives, tetraphenylbutadiene derivatives, naphthalimide derivatives, coumarin derivatives. , Condensed aromatic compounds, perinone derivatives, oxadiazole derivatives, oxazine derivatives, aldazine derivatives, pyralidine derivatives, cyclopentadiene derivatives, bisstyrylanthracene derivatives, quinacridone derivatives, pyrrolopyridine derivatives, thiadiazolopyridine derivatives, cyclopentadiene derivatives, styryl Of amine derivatives, diketopyrrolopyrrole derivatives, aromatic dimethylidin compounds, metal complexes of 8-quinolinol derivatives and pyromethene derivatives And various metal complexes typified by metal complex, polythiophene, polyphenylene, polyphenylene vinylene polymer compounds include compounds such as organic silane derivatives.

また、本発明に使用できる燐光発光材料は、例えば、遷移金属原子又はランタノイド原子を含む錯体が挙げられる。遷移金属原子としては、特に限定されないが、好ましくは、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、及び白金が挙げられ、より好ましくは、レニウム、イリジウム、及び白金である。ランタノイド原子としては、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユーロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテシウムが挙げられる。これらのランタノイド原子の中でも、ネオジム、ユーロピウム、及びガドリニウムが好ましい。  Examples of the phosphorescent material that can be used in the present invention include complexes containing transition metal atoms or lanthanoid atoms. Although it does not specifically limit as a transition metal atom, Preferably, ruthenium, rhodium, palladium, tungsten, rhenium, osmium, iridium, and platinum are mentioned, More preferably, they are rhenium, iridium, and platinum. Examples of lanthanoid atoms include lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium, europium, gadolinium, terbium, dysprosium, holmium, erbium, thulium, ytterbium, and lutetium. Among these lanthanoid atoms, neodymium, europium, and gadolinium are preferable.

錯体の配位子としては、例えば、G.Wilkinson等著,Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press社1987年発行、H.Yersin著,「Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds」 Springer-Verlag社1987年発行、山本明夫著「有機金属化学−基礎と応用−」裳華房社1982年発行等に記載の配位子などが挙げられる。具体的な配位子としては、好ましくは、ハロゲン配位子(好ましくは塩素配位子)、含窒素ヘテロ環配位子(例えば、フェニルピリジン、ベンゾキノリン、キノリノール、ビピリジル、フェナントロリンなど)、ジケトン配位子(例えば、アセチルアセトンなど)、カルボン酸配位子(例えば、酢酸配位子など)、一酸化炭素配位子、イソニトリル配位子、シアノ配位子であり、より好ましくは、含窒素ヘテロ環配位子である。上記錯体は、化合物中に遷移金属原子を一つ有してもよいし、また、2つ以上有するいわゆる複核錯体であってもよい。異種の金属原子を同時に含有していてもよい。  Examples of the ligand of the complex include G. Wilkinson et al., Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press, 1987, H. Yersin, “Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds,” Springer-Verlag, 1987, Akio Yamamoto. Examples of the ligands described in the book “Organic Metal Chemistry-Fundamentals and Applications-” published in 1982 by Hankabosha. Specific ligands are preferably halogen ligands (preferably chlorine ligands), nitrogen-containing heterocyclic ligands (eg, phenylpyridine, benzoquinoline, quinolinol, bipyridyl, phenanthroline, etc.), diketones Ligand (for example, acetylacetone), carboxylic acid ligand (for example, acetic acid ligand), carbon monoxide ligand, isonitrile ligand, cyano ligand, more preferably nitrogen-containing Heterocyclic ligand. The complex may have one transition metal atom in the compound, or may be a so-called binuclear complex having two or more. Different metal atoms may be contained at the same time.

燐光発光材料は、発光層中に、0.1〜40質量%含有されることが好ましく、0.5〜20質量%含有されることがより好ましい。また、本発明における発光層に含有されるホスト材料としては、例えば、カルバゾール骨格を有するもの、ジアリールアミン骨格を有するもの、ピリジン骨格を有するもの、ピラジン骨格を有するもの、トリアジン骨格を有するもの及びアリールシラン骨格を有するものや、後述の正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層の項で例示されている材料が挙げられる。発光層の厚さは、特に限定されるものではないが、通常、1nm〜500nmであるのが好ましく、5nm〜200nmであるのがより好ましく、10nm〜100nmであるのがさらに好ましい。  The phosphorescent material is preferably contained in the light emitting layer in an amount of 0.1 to 40% by mass, and more preferably 0.5 to 20% by mass. Examples of the host material contained in the light emitting layer in the present invention include those having a carbazole skeleton, those having a diarylamine skeleton, those having a pyridine skeleton, those having a pyrazine skeleton, those having a triazine skeleton, and aryl. Examples thereof include materials having a silane skeleton and materials exemplified in the sections of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer described later. Although the thickness of a light emitting layer is not specifically limited, Usually, it is preferable that they are 1 nm-500 nm, it is more preferable that they are 5 nm-200 nm, and it is further more preferable that they are 10 nm-100 nm.

正孔注入層、正孔輸送層
正孔注入層、正孔輸送層は、陽極又は陽極側から正孔を受け取り陰極側に輸送する機能を有する層である。正孔注入層、正孔輸送層は、具体的には、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、ポルフィリン系化合物、有機シラン誘導体、カーボン、等を含有する層であることが好ましい。正孔注入層、正孔輸送層の厚さは、駆動電圧を下げるという観点から、各々500nm以下であることが好ましい。
Hole injection layer, hole transport layer The hole injection layer and the hole transport layer are layers having a function of receiving holes from the anode or the anode side and transporting them to the cathode side. Specifically, the hole injection layer and the hole transport layer are carbazole derivatives, triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamines. Derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, aromatic tertiary amine compounds, styrylamine compounds, aromatic dimethylidin compounds, porphyrin compounds, organosilane derivatives, carbon , Etc. are preferable. The thicknesses of the hole injection layer and the hole transport layer are each preferably 500 nm or less from the viewpoint of lowering the driving voltage.

正孔輸送層の厚さとしては、1nm〜500nmであるのが好ましく、5nm〜200nmであるのがより好ましく、10nm〜100nmであるのが更に好ましい。また、正孔注入層の厚さとしては、0.1nm〜200nmであるのが好ましく、0.5nm〜100nmであるのがより好ましく、1nm〜100nmであるのが更に好ましい。正孔注入層、正孔輸送層は、上述した材料の1種又は2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成又は異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。  The thickness of the hole transport layer is preferably 1 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm, and still more preferably 10 nm to 100 nm. In addition, the thickness of the hole injection layer is preferably 0.1 nm to 200 nm, more preferably 0.5 nm to 100 nm, and still more preferably 1 nm to 100 nm. The hole injection layer and the hole transport layer may have a single-layer structure composed of one or more of the materials described above, or may have a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions. .

電子注入層、電子輸送層
電子注入層、電子輸送層は、陰極又は陰極側から電子を受け取り陽極側に輸送する機能を有する層である。電子注入層、電子輸送層は、具体的には、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、フルオレノン誘導体、ントラキノジメタン誘導体、アントロン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド誘導体、フルオレニリデンメタン誘導体、ジスチリルピラジン誘導体、ナフタレン、ペリレン等の芳香環テトラカルボン酸無水物、フタロシアニン誘導体、8−キノリノール誘導体の金属錯体やメタルフタロシアニン、ベンゾオキサゾールやベンゾチアゾールを配位子とする金属錯体に代表される各種金属錯体、有機シラン誘導体、等を含有する層であることが好ましい。
Electron Injection Layer, Electron Transport Layer The electron injection layer and the electron transport layer are layers having a function of receiving electrons from the cathode or the cathode side and transporting them to the anode side. Specifically, the electron injection layer and the electron transport layer are triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, fluorenone derivatives, traquinodimethane derivatives, anthrone derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, Carbodiimide derivatives, fluorenylidenemethane derivatives, distyrylpyrazine derivatives, aromatic tetracarboxylic anhydrides such as naphthalene and perylene, phthalocyanine derivatives, metal complexes of 8-quinolinol derivatives, metal phthalocyanines, benzoxazoles and benzothiazoles as ligands It is preferably a layer containing various metal complexes typified by metal complexes, organosilane derivatives, and the like.

電子注入層、電子輸送層の厚さは、駆動電圧を下げるという観点から、各々50nm以であることが好ましい。電子輸送層の厚さとしては、1nm〜500nmであるのが好ましく、5nm〜200nmであるのがより好ましく、10nm〜100nmであるのがさらに好ましい。また、電子注入層の厚さとしては、0.1nm〜200nmであるのが好ましく、0.2nm〜100nmであるのがより好ましく、0.5nm〜50nmであるのが更に好ましい。電子注入層、電子輸送層は、上述した材料の1種又は2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成又は異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。  The thicknesses of the electron injection layer and the electron transport layer are each preferably 50 nm or less from the viewpoint of lowering the driving voltage. The thickness of the electron transport layer is preferably 1 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm, and even more preferably 10 nm to 100 nm. In addition, the thickness of the electron injection layer is preferably 0.1 nm to 200 nm, more preferably 0.2 nm to 100 nm, and still more preferably 0.5 nm to 50 nm. The electron injection layer and the electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above-described materials, or may have a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.

正孔ブロック層
正孔ブロック層は、陽極側から発光層に輸送された正孔が、陰極側に通りぬけることを防止する機能を有する層である。本発明において、発光層と陰極側で隣接する有機化合物層として、正孔ブロック層を設けることができる。正孔ブロック層を構成する有機化合物の例としては、BAlq等のアルミニウム錯体、トリアゾール誘導体、BCP等のフェナントロリン誘導体、等が挙げられる。正孔ブロック層の厚さとしては、1nm〜500nmであるのが好ましく、5nm〜200nmであるのがより好ましく、10nm〜100nmであるのが更に好ましい。正孔ブロック層は、上述した材料の1種又は2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成又は異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。
Hole blocking layer The hole blocking layer is a layer having a function of preventing holes transported from the anode side to the light emitting layer from passing through to the cathode side. In the present invention, a hole blocking layer can be provided as an organic compound layer adjacent to the light emitting layer on the cathode side. Examples of the organic compound constituting the hole blocking layer include aluminum complexes such as BAlq, triazole derivatives, phenanthroline derivatives such as BCP, and the like. The thickness of the hole blocking layer is preferably 1 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm, and still more preferably 10 nm to 100 nm. The hole blocking layer may have a single layer structure composed of one or more of the above-described materials, or may have a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.

保護層
本発明において、有機EL素子全体は、保護層によって保護されていてもよい。
保護層に含まれる材料としては、平坦化作用を持つ材料、水分や酸素が素子内に入ることを抑止する機能を有しているものが好ましい。具体例としては、In、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al、Ti、Ni等の金属、MgO、SiO、SiO2、Al23、GeO、NiO、CaO、BaO、Fe23、Y23、TiO2等の金属酸化物、SiNx等の金属窒化物、SiNxOy等の金属窒化酸化物、MgF2、LiF、AlF3、CaF2等の金属フッ化物、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルメタクリレート、ポリイミド、ポリウレア、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリジクロロジフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレンとジクロロジフルオロエチレンとの共重合体、テトラフルオロエチレンと少なくとも1種のコモノマーとを含むモノマー混合物を共重合させて得られる共重合体、共重合主鎖に環状構造を有する含フッ素共重合体、吸水率1%以上の吸水性物質、吸水率0.1%以下の防湿性物質等が挙げられる。
これらのうち、金属の酸化物、窒化物、窒化酸化物が好ましく、珪素の酸化物、窒化物、窒化酸化物が特に好ましい。
Protective layer In the present invention, the entire organic EL device may be protected by a protective layer.
As a material contained in the protective layer, a material having a planarizing action and a material having a function of preventing moisture and oxygen from entering the element are preferable. Specific examples, In, Sn, Pb, Au , Cu, Ag, Al, Ti, a metal such as Ni, MgO, SiO, SiO 2, Al 2 O 3, GeO, NiO, CaO, BaO, Fe 2 O 3 , Metal oxides such as Y 2 O 3 and TiO 2 , metal nitrides such as SiN x, metal nitride oxides such as SiN x O y, metal fluorides such as MgF 2 , LiF, AlF 3 and CaF 2 , polyethylene, polypropylene, poly Monomers containing methyl methacrylate, polyimide, polyurea, polytetrafluoroethylene, polychlorotrifluoroethylene, polydichlorodifluoroethylene, a copolymer of chlorotrifluoroethylene and dichlorodifluoroethylene, tetrafluoroethylene and at least one comonomer A copolymer obtained by copolymerizing the mixture, and having a cyclic structure in the copolymer main chain And a fluorine-containing copolymer, a water-absorbing substance having a water absorption of 1% or more, and a moisture-proof substance having a water absorption of 0.1% or less.
Of these, metal oxides, nitrides, and nitride oxides are preferable, and silicon oxides, nitrides, and nitride oxides are particularly preferable.

保護層の形成方法については、特に限定はなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、MBE(分子線エピタキシ)法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法(高周波励起イオンプレーティング法)、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、ガスソースCVD法、真空紫外CVD法、コーティング法、印刷法、転写法を適用できる。本発明においては、保護層が導電性層として使用されてもよい。  The method for forming the protective layer is not particularly limited, and for example, vacuum deposition, sputtering, reactive sputtering, MBE (molecular beam epitaxy), cluster ion beam, ion plating, plasma polymerization (high frequency) Excited ion plating method), plasma CVD method, laser CVD method, thermal CVD method, gas source CVD method, vacuum ultraviolet CVD method, coating method, printing method, transfer method can be applied. In the present invention, a protective layer may be used as the conductive layer.

封止有機EL素子
さらに、本発明の有機EL素子は、封止容器を用いて素子全体を封止してもよい。
また、封止容器と発光素子の間の空間に水分吸収剤又は不活性液体を封入してもよい。水分吸収剤としては、特に限定されることはないが、例えば、酸化バリウム、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、五酸化燐、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、塩化銅、フッ化セシウム、フッ化ニオブ、臭化カルシウム、臭化バナジウム、モレキュラーシーブ、ゼオライト、酸化マグネシウム等を挙げることができる。不活性液体としては、特に限定されることはないが、例えば、パラフィン類、流動パラフィン類、パーフルオロアルカンやパーフルオロアミン、パーフルオロエーテル等のフッ素系溶剤、塩素系溶剤、シリコーンオイル類が挙げられる。
Sealing organic EL element Furthermore, the organic EL element of this invention may seal the whole element using a sealing container.
Further, a moisture absorbent or an inert liquid may be sealed in a space between the sealing container and the light emitting element. Although it does not specifically limit as a moisture absorber, For example, barium oxide, sodium oxide, potassium oxide, calcium oxide, sodium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, phosphorus pentoxide, calcium chloride, magnesium chloride, copper chloride Cesium fluoride, niobium fluoride, calcium bromide, vanadium bromide, molecular sieve, zeolite, magnesium oxide and the like. The inert liquid is not particularly limited, and examples thereof include fluorinated solvents such as paraffins, liquid paraffins, perfluoroalkanes, perfluoroamines, perfluoroethers, chlorinated solvents, and silicone oils. It is done.

別の封止法として、いわゆる固体封止法を用いてもよい。固体封止法とは有機EL素子の上にバリア性支持体層を設ける方法である。通常、有機EL素子とバリア性支持体層の間に、接着剤を重ね硬化する。接着剤は特に制限はないが、熱硬化性エポキシ樹脂、光硬化性アクリレート樹脂等が例示される。さらに、バリア性支持体層の上に保護層を設けてから、接着剤を重ねて硬化してもよい。バリア性支持体はガラスでもよいが、本発明のバリア性プラスチック基板を用いることが好ましい。  As another sealing method, a so-called solid sealing method may be used. The solid sealing method is a method of providing a barrier support layer on an organic EL element. Usually, an adhesive is stacked and cured between the organic EL element and the barrier support layer. Although there is no restriction | limiting in particular in an adhesive agent, A thermosetting epoxy resin, a photocurable acrylate resin, etc. are illustrated. Furthermore, after providing a protective layer on the barrier support layer, an adhesive may be stacked and cured. Although the barrier support may be glass, it is preferable to use the barrier plastic substrate of the present invention.

さらに別の封止法として、いわゆる膜封止法を用いてもよい。膜封止法とは有機EL素子の上に、無機層、有機層の交互積層体を設ける方法である。交互積層体を設ける前に、有機EL素子を保護層で覆ってもよい。  As another sealing method, a so-called film sealing method may be used. The film sealing method is a method of providing an alternating laminate of an inorganic layer and an organic layer on an organic EL element. Before providing the alternate laminate, the organic EL element may be covered with a protective layer.

本発明の有機EL素子は、陽極と陰極との間に直流(必要に応じて交流成分を含んでもよい)電圧(通常2ボルト〜15ボルト)、又は直流電流を印加することにより、発光を得ることができる。本発明の有機EL素子の駆動方法については、特開平2−148687号、同6−301355号、同5−29080号、同7−134558号、同8−234685号、同8−241047号の各公報、特許第2784615号、米国特許5828429号、同6023308号の各明細書等に記載の駆動方法を適用することができる。  The organic EL device of the present invention obtains light emission by applying a direct current (which may include an alternating current component if necessary) voltage (usually 2 to 15 volts) or a direct current between the anode and the cathode. be able to. Regarding the driving method of the organic EL device of the present invention, each of JP-A-2-148687, JP-A-6-301355, JP-A-5-290080, JP-A-7-134558, JP-A-8-234658, and JP-A-8-2441047. The driving methods described in Japanese Patent Publication No. 2784615, US Pat. Nos. 5,828,429, and 6,023,308 can be applied.

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below.

実施例1 有機層作製のための検討
(1−1)アクリレートを主成分とする有機層(AY−1)の作製
ポリエチレンナフタレートフィルム上に、1,9−ノナンジオールジアクリレート(共栄社化学(株)製、ライトアクリレート1.9ND−A)を20g、紫外線重合開始剤(イルガキュアー907、チバスペシヤリティケミカズル社製)を0.6g、2−ブタノン200gの混合溶液を液厚5μmとなるようにワイヤーバーを用いて塗布した。室温にて2時間乾燥した後、窒素置換法により酸素濃度が0.45%となったチャンバー内(圧力:1気圧)にて高圧水銀ランプの紫外線を照射し、有機層を形成した。このとき、紫外線の積算照射量は2J/cm2であった。得られた有機層(AY−1)の膜厚は460nmであった。
Example 1 Study for preparation of organic layer (1-1) Preparation of organic layer (AY-1) mainly composed of acrylate 1,9-nonanediol diacrylate (Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) on a polyethylene naphthalate film ), 20 g of light acrylate 1.9ND-A), 0.6 g of UV polymerization initiator (Irgacure 907, manufactured by Ciba Specialty Chemicals) and 200 g of 2-butanone have a liquid thickness of 5 μm. It applied using a wire bar. After drying at room temperature for 2 hours, an organic layer was formed by irradiating ultraviolet rays from a high-pressure mercury lamp in a chamber (pressure: 1 atm) in which the oxygen concentration was 0.45% by the nitrogen substitution method. At this time, the cumulative amount of UV irradiation was 2 J / cm 2 . The film thickness of the obtained organic layer (AY-1) was 460 nm.

(1−2)重合率の測定
上記(1−1)で作製した硬化後の有機層と硬化前のモノマー混合物のそれぞれについて、赤外吸収スペクトルにおける1720cm-1付近のカルボニル基に基づく吸収強度と810cm-1付近の炭素−炭素二重結合に基づく吸収強度を測定し、以下の計算式にしたがって重合率を算出した。この方法によって算出された有機層(AY−1)の重合率は93%であった。
重合率(%)={(a×d−b×c)/a×d}×100
a:硬化膜の1720cm-1付近のピーク強度
b:硬化膜の810cm-1付近のピーク強度
c:モノマー混合物の1720cm-1付近のピーク強度
d:モノマー混合物の810cm-1付近のピーク強度
(1-2) Measurement of polymerization rate About each of the organic layer after hardening produced in said (1-1), and the monomer mixture before hardening, the absorption intensity based on the carbonyl group of 1720 cm < -1 > vicinity in an infrared absorption spectrum, and The absorption intensity based on the carbon-carbon double bond near 810 cm −1 was measured, and the polymerization rate was calculated according to the following formula. The polymerization rate of the organic layer (AY-1) calculated by this method was 93%.
Polymerization rate (%) = {(a × d−b × c) / a × d} × 100
a: Peak intensity around 1720 cm −1 of the cured film
b: Peak intensity of the cured film near 810 cm −1
c: peak intensity around 1720 cm −1 of the monomer mixture
d: Peak intensity around 810 cm −1 of the monomer mixture

(1−3)悪臭度の測定
上記で作製した有機層(AY−1)について臭気に関する官能試験を行った。官能試験は20人の審査員にそれぞれ前記有機層を形成したフィルムを手にとって臭いを嗅がせ、悪臭を感じた場合はプラス、悪臭を感じなかった場合はマイナスと判定してもらい、プラス判定を出した人数を悪臭度として数値化した。有機層(AY−1)の悪臭度は19であった。以上の結果から、アクリレートからなる有機層では臭気が問題になることがわかった。
(1-3) Measurement of malodor The sensory test regarding an odor was done about the organic layer (AY-1) produced above. In the sensory test, 20 judges each smelled the film with the organic layer formed in their hands, and if it felt bad smell, it was judged positive, and if it did not feel bad smell, it was judged negative. The number of people put out was quantified as the odor level. The malodor of the organic layer (AY-1) was 19. From the above results, it was found that odor is a problem in the organic layer made of acrylate.

(1−4)メタクリレート主成分とする有機層(MY−1)の作製
ポリエチレンナフタレートフィルム上に、2官能モノマー(共栄社化学(株)製、ライトエステル1.9ND、1,9−ノナンジオールジメタクリレート)を20g、紫外線重合開始剤(イルガキュアー907)を0.6g、2−ブタノン200gの混合溶液を液厚5μmとなるようにワイヤーバーを用いて塗布した。室温にて2時間乾燥した後、窒素置換法により酸素濃度が0.45%となったチャンバー内(圧力:1気圧)にて高圧水銀ランプの紫外線を照射した。このとき、紫外線の積算照射量は2.0J/cm2であった。ところが、膜は十分に固化せず目的とする有機層を得ることができなかった。このときの重合率は55%であった。以上の結果から、メタクリレートは重合反応性が問題であることがわかった。
そこで、上記(1−1)と同様の方法により、塗布し、乾燥したフィルムを真空チャンバーに入れ、圧力が3Paとなるまで真空脱気し、高圧水銀ランプの紫外線を照射したところ、今度は固化した有機層(MY−1)が得られた。前記方法にて重合率を測定したところ、重合率は90%となっていた。このとき、紫外線の積算照射量は1J/cm2であった。作製した有機層(MY−1)の膜厚は460nmであった。
(1-4) Preparation of organic layer (MY-1) containing methacrylate as main component Bifunctional monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., light ester 1.9ND, 1,9-nonanediol di) on a polyethylene naphthalate film A mixed solution of 20 g of methacrylate), 0.6 g of an ultraviolet polymerization initiator (Irgacure 907), and 200 g of 2-butanone was applied using a wire bar so as to have a liquid thickness of 5 μm. After drying at room temperature for 2 hours, ultraviolet rays from a high-pressure mercury lamp were irradiated in a chamber (pressure: 1 atm) in which the oxygen concentration was 0.45% by the nitrogen substitution method. At this time, the cumulative irradiation amount of ultraviolet rays was 2.0 J / cm 2 . However, the film was not sufficiently solidified and the desired organic layer could not be obtained. At this time, the polymerization rate was 55%. From the above results, it was found that methacrylate has a problem of polymerization reactivity.
Therefore, the coated and dried film was put in a vacuum chamber by the same method as in (1-1) above, vacuum degassed until the pressure became 3 Pa, and irradiated with ultraviolet rays from a high pressure mercury lamp. The obtained organic layer (MY-1) was obtained. When the polymerization rate was measured by the above method, the polymerization rate was 90%. At this time, the cumulative amount of UV irradiation was 1 J / cm 2 . The film thickness of the produced organic layer (MY-1) was 460 nm.

(1−5)バリア性フィルム基板の作製
ポリエチレンナフタレートフィルムの上に、紫外線重合開始剤(イルガキュアー907)0.6g、および2−ブタノン200gの混合溶液を液厚5μmとなるようにワイヤーバーを用いて塗布した。その後、室温にて2時間乾燥したフィルムを真空チャンバーに入れ、高圧水銀ランプの紫外線を照射した。このときの圧力と紫外線の積算照射量を表1に示した。得られた有機層の悪臭度を評価した。
(1-5) Production of Barrier Film Substrate On a polyethylene naphthalate film, a wire bar is prepared so that a mixed solution of 0.6 g of an ultraviolet polymerization initiator (Irgacure 907) and 200 g of 2-butanone has a liquid thickness of 5 μm. It applied using. Thereafter, the film dried at room temperature for 2 hours was put in a vacuum chamber and irradiated with ultraviolet rays from a high-pressure mercury lamp. Table 1 shows the pressure and the cumulative amount of UV irradiation. The malodor of the obtained organic layer was evaluated.

アクリレートを主成分とするAY−2およびAY−3(比較例)は真空成膜においても悪臭度が14と高かった。一方、MY−1の悪臭度は9であり、改善が見られた。さらに、紫外線の積算照射量を2J/cm2としたMY−2では悪臭度が1と大幅に改善した。単官能モノマーの添加系(MY−3〜MY−7)では、単官能アクリレートを添加したMY−7よりも単官能メタクリレートを添加したMY−3〜MY−6の方が、悪臭度が低かった。単官能メタクリレートを添加したMY−3〜MY−6の中でも一般式(1)における連結基Lの炭素数が10〜16のMY−4〜6が、悪臭度が低く特に好ましいことがわかった。
MY−1とMY−8の比較から、硬化時の圧力が50PaであるMY−8に対して、硬化時の圧力が3PaであるMY−1の方が、悪臭度が低いことがわかる。
AY-2 and AY-3 (comparative examples) containing acrylate as a main component had a high malodor of 14 even in vacuum film formation. On the other hand, the odor degree of MY-1 was 9, and an improvement was observed. Furthermore, MY-2 with a cumulative UV dose of 2 J / cm 2 significantly improved the odor level to 1. In the monofunctional monomer addition system (MY-3 to MY-7), MY-3 to MY-6 to which monofunctional methacrylate was added was lower in malodor than MY-7 to which monofunctional acrylate was added. . Among MY-3 to MY-6 to which a monofunctional methacrylate was added, it was found that MY-4 to 6 having a linking group L of 10 to 16 carbon atoms in the general formula (1) has a low bad odor and is particularly preferable.
From the comparison of MY-1 and MY-8, it can be seen that MY-1 having a curing pressure of 3 Pa has a lower malodor degree than MY-8 having a curing pressure of 50 Pa.

Figure 2008149710
Figure 2008149710

(1−6)フラッシュ蒸着−真空硬化(3Pa)による各種有機層の作製
ポリエチレンナフタレートフィルム(PENフィルム、帝人デュポン社製、商品名:テオネックスQ65FA)を20cm角に裁断し、その平滑面側に有機無機積層製膜装置(ヴァイテックス・システムズ社製、Guardian200)を用いて有機層を成膜した。この装置の有機層製膜法は内圧3Paでのフラッシュ蒸着であり、重合のための紫外線の照射エネルギーは1J/cm2である。有機層の原料として、表2のモノマー混合物100g、紫外線重合開始剤(ESACURE−TZT、5g)の混合溶液を用いた。
(1-6) Preparation of various organic layers by flash vapor deposition-vacuum curing (3 Pa) A polyethylene naphthalate film (PEN film, manufactured by Teijin DuPont, trade name: Teonex Q65FA) is cut into a 20 cm square, and on its smooth surface side An organic layer was formed using an organic / inorganic laminated film forming apparatus (manufactured by Vitex Systems, Guardian 200). The organic layer deposition method of this apparatus is flash vapor deposition at an internal pressure of 3 Pa, and the irradiation energy of ultraviolet rays for polymerization is 1 J / cm 2 . As a raw material for the organic layer, a mixed solution of 100 g of the monomer mixture in Table 2 and an ultraviolet polymerization initiator (ESACURE-TZT, 5 g) was used.

Figure 2008149710
Figure 2008149710

表2中のTMPTMAはトリメチロールプロパントリメタクリレート(3官能モノマー)を、PETMAはペンタエリスリトールテトラメタクリレート(4官能モノマー)を、PETMA−OHはペンタエリスリトールトリメタクリレート(3官能モノマー)を、それぞれ表す。   In Table 2, TMPTMA represents trimethylolpropane trimethacrylate (trifunctional monomer), PETMA represents pentaerythritol tetramethacrylate (tetrafunctional monomer), and PETMA-OH represents pentaerythritol trimethacrylate (trifunctional monomer).

表1のMY−1と表2のMY−21との比較から、フラッシュ蒸着法で作成した有機層は、紫外線の積算照射量が1J/cm2であっても、悪臭度が低いことがわかる。表2のMY−21とMY−22との比較から、連結基Lの炭素数が6の2官能メタクリレートを用いた有機層よりも、連結基Lの炭素数が9の2官能メタクリレートを用いた有機層の方が、悪臭度が低いことがわかる。
表2のMY−21(3官能メタクリレートなし)、MY−23(3官能メタクリレートを15質量%添加)、MY−24〜MY−25(3官能メタクリレートを25質量%添加)の比較から、3官能メタクリレートを添加すると悪臭度が良化し、添加量が20%を超えると官能試験で検知不能なレベルに到達することがわかる。このとき、MY−24の重合率は94%であった。3官能メタクリレートの添加によって重合率は変化していないが、悪臭が低減していることがわかる。
表2のMY−26から、混合する多官能モノマーは4官能モノマーであっても、検知不能の結果を与え、好ましいことがわかる。
From the comparison between MY-1 in Table 1 and MY-21 in Table 2, it can be seen that the organic layer produced by the flash vapor deposition method has a low malodor even when the cumulative dose of ultraviolet rays is 1 J / cm 2. . From comparison between MY-21 and MY-22 in Table 2, a bifunctional methacrylate having 9 carbon atoms in the linking group L was used rather than an organic layer using a bifunctional methacrylate having 6 carbon atoms in the linking group L. It can be seen that the organic layer has a lower malodor.
From the comparison of MY-21 (without trifunctional methacrylate), MY-23 (added 15 mass% of trifunctional methacrylate) and MY-24 to MY-25 (added 25 mass% of trifunctional methacrylate) in Table 2, trifunctional It can be seen that when the methacrylate is added, the malodor is improved, and when the added amount exceeds 20%, a level undetectable by the sensory test is reached. At this time, the polymerization rate of MY-24 was 94%. Although the polymerization rate is not changed by the addition of the trifunctional methacrylate, it can be seen that malodor is reduced.
MY-26 in Table 2 shows that even if the polyfunctional monomer to be mixed is a tetrafunctional monomer, it gives undetectable results and is preferable.

実施例2 バリア性フィルム基板の作製
ポリエチレンナフタレートフィルム(PENフィルム、帝人デュポン社製、商品名:テオネックスQ65FA)を20cm角に裁断し、その平滑面側に有機無機積層製膜装置(ヴァイテックス・システムズ社製、Guardian200)を用いてバリア層を成膜した。なお、この装置は、有機層と無機層を真空一貫製膜するものであるため、バリア層が完成するまで大気に開放されることがない。
Example 2 Production of Barrier Film Substrate A polyethylene naphthalate film (PEN film, manufactured by Teijin DuPont, trade name: Teonex Q65FA) is cut into a 20 cm square, and an organic / inorganic laminated film forming apparatus (Vytex / A barrier layer was formed using System 200 (Guardian 200). In addition, since this apparatus carries out the vacuum integrated film formation of the organic layer and the inorganic layer, it is not open | released to air | atmosphere until a barrier layer is completed.

(2−1)第1有機層の形成
有機層の原料として、1,9−ノナンジオールジメタクリレート(共栄社化学(株)製、ライトエステル1.9ND)を75g、ペンタエリスリトールテトラアクリレート25g、紫外線重合開始剤(ESACURE−TZT、5g)の混合溶液を用い、実施例1と同様にして有機層を形成した。膜厚は900nmとなるように調整した。
(2-1) Formation of first organic layer As raw materials for the organic layer, 75 g of 1,9-nonanediol dimethacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., light ester 1.9ND), 25 g of pentaerythritol tetraacrylate, UV polymerization An organic layer was formed in the same manner as in Example 1 using a mixed solution of an initiator (ESACURE-TZT, 5 g). The film thickness was adjusted to 900 nm.

ポリエチレンナフタレートフィルム上に、液厚5μmとなるようにワイヤーバーを用いて塗布した。室温にて2時間乾燥した後、フィルムを真空チャンバーに入れ、圧力が3Paとなるまで真空脱気し、高圧水銀ランプの紫外線を照射した。このとき、積算照射量は2J/cm2であった。作製した有機層の膜厚は460nmであった。 It apply | coated using the wire bar so that it might become a liquid thickness of 5 micrometers on a polyethylene naphthalate film. After drying at room temperature for 2 hours, the film was placed in a vacuum chamber, vacuum deaerated until the pressure reached 3 Pa, and irradiated with ultraviolet rays from a high-pressure mercury lamp. At this time, the integrated irradiation dose was 2 J / cm 2 . The film thickness of the produced organic layer was 460 nm.

(2−2)第1無機層の形成
引き続きGuardian200を用いて、無機層を製膜した。無機層の成膜方法はアルミニウムをターゲットとする直流パルスによる反応性スパッタ法(反応性ガスは酸素)による酸化アルミニウム製膜により行った。得られた無機層(酸化アルミニウム)の膜厚は40nmであった。
(2−3)第2有機層の形成
第1有機層と同様の方法で第1無機層上に第2有機層を形成した。
(2−4)第2無機層の形成
第1無機層と同様の方法で第2有機層上に第2の無機層を形成した。
(2−5)第3有機層の形成
第1有機層と同様の方法で第2無機層上に第3有機層を形成した。
(2−6)第3無機層の形成
第1無機層と同様の方法で第3有機層上に第3の無機層を形成した。
以上のようにして、本発明の臭気の低減されたバリア性フィルム基板BFS−1を真空から取り出すことなく一貫法で作製した。
(2-2) Formation of First Inorganic Layer Subsequently, using Guardian 200, an inorganic layer was formed. The inorganic layer was formed by an aluminum oxide film formed by a reactive sputtering method using a direct current pulse with aluminum as a target (reactive gas is oxygen). The film thickness of the obtained inorganic layer (aluminum oxide) was 40 nm.
(2-3) Formation of second organic layer A second organic layer was formed on the first inorganic layer in the same manner as the first organic layer.
(2-4) Formation of Second Inorganic Layer A second inorganic layer was formed on the second organic layer by the same method as that for the first inorganic layer.
(2-5) Formation of third organic layer A third organic layer was formed on the second inorganic layer in the same manner as the first organic layer.
(2-6) Formation of third inorganic layer A third inorganic layer was formed on the third organic layer in the same manner as the first inorganic layer.
As described above, the barrier film substrate BFS-1 with reduced odor according to the present invention was produced by a consistent method without taking it out of vacuum.

水蒸気透過率の測定
MOCON社製、「PERMATRAN−W3/31」を用いて、40℃/相対湿度90%における水蒸気透過率をBFM−1について測定を行ったところ、水蒸気透過率が検出限界以下(0.01g/m2・day以下)であった。
Measurement of water vapor transmission rate When the water vapor transmission rate at 40 ° C / 90% relative humidity was measured for BFM-1 using "PERMATRAN-W3 / 31" manufactured by MOCON, the water vapor transmission rate was below the detection limit ( 0.01 g / m 2 · day or less).

実施例3 有機EL素子の作製と評価
(3−1)有機EL素子の作成
実施例2で作成したバリア性フィルム基板BFM−1を真空チャンバー内に導入し、無機層側に、ITOターゲットを用いて、DCマグネトロンスパッタリングにより、厚み0.2μmのITO薄膜からなる透明電極を形成した。ITO膜を有する水蒸気バリア性フィルムを2−プロパノールで洗浄した後、10分間UV−オゾン処理を行った。この基板(陽極)上に真空蒸着法にて以下の有機化合物層を順次蒸着した。
Example 3 Production and Evaluation of Organic EL Element (3-1) Creation of Organic EL Element The barrier film substrate BFM-1 created in Example 2 was introduced into a vacuum chamber, and an ITO target was used on the inorganic layer side. Then, a transparent electrode made of an ITO thin film having a thickness of 0.2 μm was formed by DC magnetron sputtering. The water vapor barrier film having an ITO film was washed with 2-propanol and then subjected to UV-ozone treatment for 10 minutes. The following organic compound layers were sequentially deposited on this substrate (anode) by vacuum deposition.

(第1正孔輸送層)
銅フタロシアニン:膜厚10nm
(第2正孔輸送層)
N,N’−ジフェニル−N,N’−ジナフチルベンジジン:膜厚40nm
(発光層兼電子輸送層)
トリス(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム:膜厚60nm
最後にフッ化リチウムを1nm、金属アルミニウムを100nm順次蒸着して陰極とし、その上に厚さ5μm窒化珪素膜を平行平板CVD法によって付け、有機EL素子(OEL−1)を作製した。
(First hole transport layer)
Copper phthalocyanine: film thickness 10nm
(Second hole transport layer)
N, N′-diphenyl-N, N′-dinaphthylbenzidine: film thickness 40 nm
(Light emitting layer and electron transport layer)
Tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum: film thickness 60nm
Finally, 1 nm of lithium fluoride and 100 nm of metal aluminum were sequentially deposited to form a cathode, and a 5 μm thick silicon nitride film was formed thereon by a parallel plate CVD method to produce an organic EL element (OEL-1).

(3−2)有機EL素子上へのガスバリア層の設置
熱硬化型の接着剤(エポテック310、ダイゾーニチモリ(株))を用いて、有機EL素子(OEL−1)の窒化珪素膜側に、封子フィルムとして、もう1枚のバリア性フィルム基板BFM−1を貼り合せ、65℃で3時間加熱して接着剤を硬化させた。このようにして封止有機EL素子(BOEL−1)を得た。
(3-2) Installation of Gas Barrier Layer on Organic EL Element Using a thermosetting adhesive (Epotech 310, Daizonichimori Co., Ltd.), on the silicon nitride film side of the organic EL element (OEL-1), As the seal film, another barrier film substrate BFM-1 was bonded and heated at 65 ° C. for 3 hours to cure the adhesive. Thus, the sealing organic EL element (BOEL-1) was obtained.

(3−3)有機EL素子発光面状の評価
作製直後の封子有機EL素子(BOEL−1)をソースメジャーユニット(Keithley社製、SMU2400型)を用いて7Vの電圧を印加して発光させた。顕微鏡を用いて発光面状を観察したところ、いずれの素子もダークスポットの無い均一な発光を与えることが確認された。次に各素子を60℃、90%の暗い室内に30日間静置した後、発光面状を観察した。発光部位の面積は保存前の発光面積の95%であり、ダークスポットの発生は見られなかった。
(3-3) Evaluation of organic EL element light emitting surface condition Immediately after production, a sealed organic EL element (BOEL-1) is made to emit light by applying a voltage of 7 V using a source measure unit (Keithley, SMU2400 type). It was. When the surface of the light emitting surface was observed using a microscope, it was confirmed that all the elements gave uniform light emission without dark spots. Next, each element was allowed to stand in a dark room at 60 ° C. and 90% for 30 days, and the light emitting surface state was observed. The area of the luminescent site was 95% of the luminescent area before storage, and no dark spots were observed.

本発明のバリア性フィルム基板を用いた有機EL素子は湿熱耐久性に優れていることが認められた。  It was recognized that the organic EL element using the barrier film substrate of the present invention was excellent in wet heat durability.

図1は、本発明のバリア性フィルム基板を用いた有機EL素子の一例の構成を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of an example of an organic EL element using the barrier film substrate of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

100 バリア性フィルム基板
200 有機EL素子の構成層
300 有機EL素子
100 Barrier Film Substrate 200 Organic EL Element Configuration Layer 300 Organic EL Element

Claims (11)

有機層と無機層とが積層した構造を含むバリア性積層体の製造方法であって、前記有機層は、下記一般式(1)で表されるモノマーを含む重合性組成物を100Pa以下の圧力下で重合させることにより形成することを特徴とする、バリア性積層体の製造方法。
Figure 2008149710
[一般式(1)において、Lはm価の連結基を表し、mは1〜6の整数を表す。]
A method for producing a barrier laminate comprising a structure in which an organic layer and an inorganic layer are laminated, wherein the organic layer comprises a polymerizable composition containing a monomer represented by the following general formula (1) at a pressure of 100 Pa or less. A method for producing a barrier laminate, wherein the barrier laminate is formed by polymerization under pressure.
Figure 2008149710
[In General Formula (1), L represents an m-valent linking group, and m represents an integer of 1 to 6. ]
前記重合性組成物は、一般式(1)においてm=2であるモノマーを60〜80質量%、一般式(1)においてm=3であるモノマーおよび/または一般式(1)においてm=4であるモノマーを20〜40質量%を含む、請求項1に記載のバリア性積層体の製造方法。 The polymerizable composition includes 60 to 80% by mass of a monomer having m = 2 in the general formula (1), m = 3 in the general formula (1) and / or m = 4 in the general formula (1). The manufacturing method of the barriering laminated body of Claim 1 containing 20-40 mass% of monomers which are. 一般式(1)におけるLの総炭素数が8〜16であることを特徴とする請求項1または2に記載のバリア性積層体の製造方法。 The method for producing a barrier laminate according to claim 1 or 2, wherein the total carbon number of L in the general formula (1) is 8 to 16. 有機層および無機層を、連続して、100Pa以下の圧力下で形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法。 The method for producing a barrier laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the organic layer and the inorganic layer are continuously formed under a pressure of 100 Pa or less. 前記重合性組成物を、100Pa以下の圧力下で、2J/cm2以上のエネルギーの紫外線を照射して重合させることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法。 The barrier property according to claim 1, wherein the polymerizable composition is polymerized by irradiating with ultraviolet rays having an energy of 2 J / cm 2 or more under a pressure of 100 Pa or less. A manufacturing method of a layered product. 前記重合性組成物を、30Pa以下の圧力下で、0.5J/cm2以上のエネルギーの紫外線を照射して重合させることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法。 5. The polymerization composition according to claim 1, wherein the polymerizable composition is polymerized by irradiating with ultraviolet rays having an energy of 0.5 J / cm 2 or more under a pressure of 30 Pa or less. 6. A method for producing a barrier laminate. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法より製造したバリア性積層体。 The barriering laminated body manufactured from the manufacturing method of the barriering laminated body of any one of Claims 1-6. プラスチックフィルム基板上に、請求項1〜6のいずれか1項に記載のバリア性積層体の製造方法より製造したバリア性積層体を有するバリア性フィルム基板。 A barrier film substrate having a barrier laminate produced by the method for producing a barrier laminate according to any one of claims 1 to 6 on a plastic film substrate. 赤外線吸収法で定量した重合率の値が88%以上であることを特徴とする、請求項8に記載のバリア性フィルム基板。 9. The barrier film substrate according to claim 8, wherein the polymerization rate determined by an infrared absorption method is 88% or more. 請求項7に記載のバリア性積層体、または、請求項8若しくは9に記載のバリア性フィルム基板を用いた有機EL素子。 An organic EL device using the barrier laminate according to claim 7 or the barrier film substrate according to claim 8 or 9. 請求項7に記載のバリア性積層体と、請求項8または請求項9に記載のバリア性フィルム基板の両方を用いた有機EL素子。 An organic EL device using both the barrier laminate according to claim 7 and the barrier film substrate according to claim 8 or 9.
JP2007302638A 2006-11-22 2007-11-22 Barrier laminate manufacturing method, barrier laminate, barrier film substrate, and organic EL device. Pending JP2008149710A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007302638A JP2008149710A (en) 2006-11-22 2007-11-22 Barrier laminate manufacturing method, barrier laminate, barrier film substrate, and organic EL device.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006316088 2006-11-22
JP2007302638A JP2008149710A (en) 2006-11-22 2007-11-22 Barrier laminate manufacturing method, barrier laminate, barrier film substrate, and organic EL device.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008149710A true JP2008149710A (en) 2008-07-03

Family

ID=39652411

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007302638A Pending JP2008149710A (en) 2006-11-22 2007-11-22 Barrier laminate manufacturing method, barrier laminate, barrier film substrate, and organic EL device.
JP2007302637A Pending JP2008153211A (en) 2006-11-22 2007-11-22 Barrier film substrate and manufacturing method thereof

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007302637A Pending JP2008153211A (en) 2006-11-22 2007-11-22 Barrier film substrate and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP2008149710A (en)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012029765A1 (en) * 2010-09-03 2012-03-08 株式会社アルバック Protective film forming method, and surface flattening method
US20150364690A1 (en) * 2014-06-12 2015-12-17 Samsung Sdi Co., Ltd. Composition for encapsulating organic light emitting diode device and organic light emitting diode display using the same
KR20170140149A (en) 2015-04-17 2017-12-20 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for electronic device, and method for manufacturing electronic device
KR20180059391A (en) 2015-09-24 2018-06-04 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Electronic device sealing agent and electronic device manufacturing method
KR20190064529A (en) 2016-10-19 2019-06-10 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device
KR20190064531A (en) 2016-10-19 2019-06-10 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device
KR20190064528A (en) 2016-10-19 2019-06-10 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device
KR20190064530A (en) 2016-10-19 2019-06-10 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device and method for producing encapsulant for organic EL display device
KR20190065188A (en) 2016-10-19 2019-06-11 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device
KR20190100155A (en) 2017-01-12 2019-08-28 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for Organic EL Display Element
KR20200018388A (en) 2017-06-07 2020-02-19 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for Organic EL Display Element
KR20200019110A (en) 2017-06-15 2020-02-21 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for Organic EL Display Element
KR20200089254A (en) 2017-12-15 2020-07-24 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for electronic devices and encapsulant for organic EL display elements
KR20200097677A (en) 2017-12-15 2020-08-19 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealants for electronic devices and sealants for organic EL display elements
CN111972046A (en) * 2018-03-30 2020-11-20 积水化学工业株式会社 Sealing agent for organic EL display element
KR20200136362A (en) 2018-03-30 2020-12-07 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic EL display devices
KR20200141978A (en) 2018-04-09 2020-12-21 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic EL display devices
KR20210003713A (en) 2018-04-20 2021-01-12 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic EL display devices

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010034275A (en) * 2008-07-29 2010-02-12 Toyo Aluminium Kk Backside protection sheet for solar cell module
JP5185039B2 (en) * 2008-09-24 2013-04-17 富士フイルム株式会社 Optical film, manufacturing method thereof, polarizing plate and liquid crystal display device using the same
JP5938759B2 (en) * 2011-12-13 2016-06-22 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. Barrier film for electronic device and manufacturing method thereof

Cited By (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012029765A1 (en) * 2010-09-03 2012-03-08 株式会社アルバック Protective film forming method, and surface flattening method
DE112011102927T5 (en) 2010-09-03 2013-07-04 Ulvac, Inc. Method for forming a protective film and method for surface flattening
US10020465B2 (en) 2014-06-12 2018-07-10 Samsung Sdi Co., Ltd. Composition for encapsulating organic light emitting diode device and organic light emitting diode display using the same
KR20150142965A (en) * 2014-06-12 2015-12-23 제일모직주식회사 Composition for encapsulating organic light emitting diode device and organic light emitting diode display using the same
CN105273136A (en) * 2014-06-12 2016-01-27 三星Sdi株式会社 Composition for encapsulating organic light emitting diode device and organic light emitting diode display using the same
KR101712700B1 (en) * 2014-06-12 2017-03-07 제일모직주식회사 Composition for encapsulating organic light emitting diode device and organic light emitting diode display using the same
US20150364690A1 (en) * 2014-06-12 2015-12-17 Samsung Sdi Co., Ltd. Composition for encapsulating organic light emitting diode device and organic light emitting diode display using the same
KR20170140149A (en) 2015-04-17 2017-12-20 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for electronic device, and method for manufacturing electronic device
KR20180059391A (en) 2015-09-24 2018-06-04 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Electronic device sealing agent and electronic device manufacturing method
KR20190064528A (en) 2016-10-19 2019-06-10 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device
KR20190064531A (en) 2016-10-19 2019-06-10 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device
KR20190064529A (en) 2016-10-19 2019-06-10 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device
KR20190064530A (en) 2016-10-19 2019-06-10 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device and method for producing encapsulant for organic EL display device
KR20190065188A (en) 2016-10-19 2019-06-11 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for organic EL display device
KR20220059563A (en) 2016-10-19 2022-05-10 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic electroluminescent display element
KR20220100723A (en) 2016-10-19 2022-07-15 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Organic el display element sealing agent
KR20220097552A (en) 2016-10-19 2022-07-07 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Organic el display element sealing agent, and method for producing organic el display element sealing agent
KR20220061267A (en) 2016-10-19 2022-05-12 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic el display elements
KR20220061263A (en) 2016-10-19 2022-05-12 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic el display elements
KR20190100155A (en) 2017-01-12 2019-08-28 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for Organic EL Display Element
KR20200018388A (en) 2017-06-07 2020-02-19 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for Organic EL Display Element
KR20200019110A (en) 2017-06-15 2020-02-21 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for Organic EL Display Element
KR20200097677A (en) 2017-12-15 2020-08-19 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealants for electronic devices and sealants for organic EL display elements
KR20200089254A (en) 2017-12-15 2020-07-24 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Encapsulant for electronic devices and encapsulant for organic EL display elements
KR20240052999A (en) 2017-12-15 2024-04-23 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for electronic devices, and sealant for organic el display devices
KR20240052998A (en) 2017-12-15 2024-04-23 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for an electronic device and sealant for an organic el display element
KR20200136362A (en) 2018-03-30 2020-12-07 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic EL display devices
KR20200136878A (en) 2018-03-30 2020-12-08 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic EL display devices
CN111972046A (en) * 2018-03-30 2020-11-20 积水化学工业株式会社 Sealing agent for organic EL display element
KR20200141978A (en) 2018-04-09 2020-12-21 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic EL display devices
KR20210003713A (en) 2018-04-20 2021-01-12 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Sealant for organic EL display devices

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008153211A (en) 2008-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008149710A (en) Barrier laminate manufacturing method, barrier laminate, barrier film substrate, and organic EL device.
JP5161470B2 (en) GAS BARRIER LAMINATED FILM, PROCESS FOR PRODUCING THE SAME, AND IMAGE DISPLAY ELEMENT
JP5139153B2 (en) Gas barrier film and organic device using the same
KR101356298B1 (en) Gas-barrier laminate film and method for producing same, and image display device
JP4425167B2 (en) Gas barrier film, substrate film and organic electroluminescence device
JP4698310B2 (en) Gas barrier film, substrate film and organic electroluminescence device
JP5174517B2 (en) Gas barrier film and organic device using the same
JP4663381B2 (en) Gas barrier film, substrate film and organic electroluminescence device
JP2007030387A (en) Barrier film substrate and organic electroluminescence device using the same
US8586189B2 (en) Gas-barrier film and organic device comprising same
JP4717674B2 (en) Gas barrier film, substrate film and organic electroluminescence device
JP4717497B2 (en) Gas barrier film
WO2008027132A1 (en) Charge transforting layer for organic electroluminescent device
JP4995137B2 (en) Gas barrier film and organic device using the same
JP4717669B2 (en) Gas barrier film and organic device using the same
JP4583277B2 (en) Gas barrier film and organic device using the same
JP2009081123A (en) Top emission type organic EL device and method for producing the same.
JP2007118564A (en) GAS BARRIER MATERIAL, ITS MANUFACTURING METHOD, AND GAS BARRIER LAYER INSTALLATION METHOD
JP2007253589A (en) Barrier film substrate and organic electroluminescence device
JP2007090702A (en) Water vapor barrier film and organic electroluminescence device
JP2006054422A (en) Organic electroluminescent element and display device
JP2007253588A (en) Barrier film substrate and organic electroluminescence device
JP5232528B2 (en) ENVIRONMENTAL SENSITIVE DEVICE SEALING METHOD AND IMAGE DISPLAY ELEMENT
JP5261028B2 (en) Display element