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JP2007016179A - Porous film and anisotropic electrically-conductive film given by using the same - Google Patents

Porous film and anisotropic electrically-conductive film given by using the same Download PDF

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JP2007016179A
JP2007016179A JP2005201025A JP2005201025A JP2007016179A JP 2007016179 A JP2007016179 A JP 2007016179A JP 2005201025 A JP2005201025 A JP 2005201025A JP 2005201025 A JP2005201025 A JP 2005201025A JP 2007016179 A JP2007016179 A JP 2007016179A
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Japan
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polyamideimide
film
porous
porous membrane
polymer
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Pending
Application number
JP2005201025A
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Japanese (ja)
Inventor
Akio Sato
明生 佐藤
Hideyuki Sato
秀之 佐藤
Hisami Bessho
久美 別所
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Sumitomo Riko Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Riko Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sumitomo Riko Co Ltd filed Critical Sumitomo Riko Co Ltd
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  • Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a porous film more excellent in productivity than ever, excellent in adhesion to adhesive layers, even when used for an anisotropic electrically-conductive film, and formed out of a polyamide imide, and to provide the anisotropic electrically-conductive film given by using the same. <P>SOLUTION: This porous film is formed by placing a support base plate on which a polymer solution containing at least a polyamide imide, an amphipathic substance, and an organic solvent having hydrophobicity and volatility is casted in an atmosphere having a relative humidity of not less than 50%, wherein a polymer which contains an acid component and a diisocyanate component having a hydrophobic site or a diamine component having the hydrophobic site as polymerization components is used as the polyamide imide. The hydrophobic site preferably comprises a cyclic hydrocarbon group and the polyamide imide may be copolymerized with a polyester. The anisotropic electrically-conductive film is given by filling pores of the porous film with an electrically-conductive substance and coating both surfaces of the film with the adhesive layers. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、多孔質膜およびこれを用いた異方性導電膜に関し、さらに詳しくは、ポリアミドイミドより形成された多孔質膜およびこれを用いた異方性導電膜に関するものである。   The present invention relates to a porous film and an anisotropic conductive film using the same, and more particularly to a porous film formed of polyamideimide and an anisotropic conductive film using the same.

従来、微細な孔部を有する高分子製の多孔質膜が種々の用途に使用されている。例えば、電子部品関連などでは、膜厚方向に導電性を示し、かつ、膜面方向に絶縁性を示す異方性導電膜(Anisotropic Conductive Film:ACF)の基膜材料などに使用されている。   Conventionally, polymer porous membranes having fine pores have been used in various applications. For example, in electronic parts, etc., it is used as a base film material of an anisotropic conductive film (ACF) that exhibits conductivity in the film thickness direction and insulation in the film surface direction.

多孔質膜の製法としては、例えば、所望の高分子を疎水性溶媒に溶解し、これを高湿度条件下でキャストする方法が近年注目されている(例えば、非特許文献1参照)。この方法によれば、高分子溶液表面に結露した水滴群が自己組織化的に規則配列し、この水滴を鋳型とすることにより、ハニカム状に配列した微細な孔部を有する多孔質膜を簡便に得ることができる。   As a method for producing a porous membrane, for example, a method in which a desired polymer is dissolved in a hydrophobic solvent and cast under a high humidity condition has recently attracted attention (for example, see Non-Patent Document 1). According to this method, water droplets condensed on the surface of the polymer solution are regularly arranged in a self-organized manner, and by using these water droplets as a template, a porous membrane having fine pores arranged in a honeycomb shape can be easily obtained. Can get to.

ところで、異方性導電膜などの電子部品に多孔質膜を適用する場合、一般に、耐熱性が要求されることが多い。耐熱性に優れた高分子としては、ポリイミド、ポリアミドイミドなどが知られているが、これらは疎水性溶媒に不溶ないし難溶である。   By the way, in general, when a porous film is applied to an electronic component such as an anisotropic conductive film, heat resistance is often required. As a polymer excellent in heat resistance, polyimide, polyamideimide and the like are known, but these are insoluble or hardly soluble in a hydrophobic solvent.

そのため、その原理的に、疎水性溶媒に可溶な高分子しか用いることができない上記多孔質膜の製法では、ポリイミド、ポリアミドイミドをそのまま用いることが難しい。   Therefore, in principle, it is difficult to use polyimide and polyamideimide as they are in the above-described method for producing a porous membrane, in which only a polymer soluble in a hydrophobic solvent can be used.

そこで、例えば、特許文献1では、上記多孔質膜の製法を利用してポリイミドからなる多孔質膜を得るにあたり、一旦、ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸と脂質とのポリイオン性錯体溶液を調製し、これを経由してポリアミック酸からなる多孔質膜を作製した後、これをイミド化処理する手法を採用している。   Therefore, for example, in Patent Document 1, in order to obtain a porous film made of polyimide using the above-described method for producing a porous film, a polyionic complex solution of polyamic acid and a lipid, which is a precursor of polyimide, is once prepared. Then, a method is adopted in which a porous film made of polyamic acid is produced via this and then imidized.

また、本件出願人は、以前、上記多孔質膜の製法を利用してポリアミドイミドからなる多孔質膜を得るにあたり、ポリアミドイミドをシロキサン変性することにより、疎水性溶媒に対する溶解性を付与する手法を採用した。そして、得られたシロキサン変性ポリアミドイミドよりなる多孔質膜の孔部に導電性物質を充填し、接着層を被覆してなる異方性導電膜を開発し、既に特許出願も行っている(特許文献2参照)。   In addition, the present applicant has previously used a method for imparting solubility to a hydrophobic solvent by modifying a polyamideimide with a siloxane in order to obtain a porous membrane made of polyamideimide by using the above-described method for producing a porous membrane. Adopted. And the anisotropic conductive film formed by filling the pores of the obtained porous film made of siloxane-modified polyamideimide with a conductive substance and covering the adhesive layer has been developed, and a patent application has already been filed (patent) Reference 2).

下村政嗣,「高分子材料の自己組織化によるナノ・メゾホール構造の形成と機能化」,機能材料,株式会社シーエムシー出版,2003年10月,vol.23,No.10,p.18−p.26Masahiro Shimomura, “Formation and functionalization of nano-mesohol structures by self-organization of polymer materials”, Functional Materials, CMC Publishing Co., Ltd., October 2003, vol. 23, no. 10, p. 18-p. 26 特開2003−80538号JP 2003-80538 A PCT/JP2005/006584PCT / JP2005 / 006584

しかしながら、特許文献1の手法に準じて、ポリアミドイミドからなる多孔質膜を製造しようとする場合、高分子溶液を調製する際に何度も溶媒置換を行ったり、得られた膜に対してイミド化処理を行ったりするなど、製造工程が多く煩雑であった。そのため、多孔質膜の生産性に劣るなどの問題があった。   However, when a porous membrane made of polyamideimide is to be produced in accordance with the technique of Patent Document 1, solvent substitution is performed many times when preparing a polymer solution, or imide is used for the obtained membrane. The manufacturing process was complicated and complicated. For this reason, there are problems such as poor productivity of the porous membrane.

一方、シロキサン変性ポリアミドイミドを用いた場合、特許文献1に準じた手法に比較すれば、生産性に優れている。   On the other hand, when the siloxane-modified polyamideimide is used, the productivity is excellent as compared with the method according to Patent Document 1.

ところが、シロキサン変性ポリアミドイミドよりなる多孔質膜を用いて異方性導電膜を製造すると、以下のような問題が生じることが最近になって分かってきた。   However, it has recently been found that the following problems arise when an anisotropic conductive film is produced using a porous film made of siloxane-modified polyamideimide.

すなわち、上記の場合、ポリアミドイミドに対して導入できるシロキサン量に限界がある。そのため、疎水性溶媒に対する可溶性を高めるにも限界ある。さらに、疎水性溶媒に対する可溶性を一層高めようとして、シロキサン導入量を多くし過ぎると、多孔質膜と接着層との密着力が低下し、ふくれや剥離などが生じやすくなる。このように、この手法に頼り過ぎるのも難しい場合があることが判明した。   That is, in the above case, there is a limit to the amount of siloxane that can be introduced to the polyamideimide. For this reason, there is a limit to increasing the solubility in a hydrophobic solvent. Furthermore, if the amount of siloxane introduced is excessively increased in order to further increase the solubility in the hydrophobic solvent, the adhesion between the porous film and the adhesive layer is reduced, and blistering or peeling is likely to occur. Thus, it has been found that it may be difficult to rely on this technique too much.

そこで、本発明が解決しようとする課題は、従来よりも生産性に優れ、かつ、異方性導電膜に用いた場合であっても、接着層との密着性に優れたポリアミドイミドからなる多孔質膜を提供することにある。また、これを用いた異方性導電膜を提供することにある。   Therefore, the problem to be solved by the present invention is a porous body made of polyamideimide that is superior in productivity and has excellent adhesion to the adhesive layer even when used in an anisotropic conductive film. It is to provide a membrane. Another object is to provide an anisotropic conductive film using the same.

上記課題を解決するため、本発明に係る多孔質膜は、酸成分と、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分とを重合成分として含むポリアミドイミドより形成されてなることを要旨とする。   In order to solve the above problems, the porous membrane according to the present invention is formed of a polyamideimide containing an acid component and a diisocyanate component having a hydrophobic site or a diamine component having a hydrophobic site as a polymerization component. The gist.

また、本発明に係る多孔質膜は、酸成分と、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分とを重合成分として含むポリアミドイミドと、両親媒性物質と、疎水性および揮発性を有する有機溶媒とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持基板を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させることにより形成されうることを要旨とする。   In addition, the porous membrane according to the present invention comprises a polyamideimide containing an acid component and a diisocyanate component having a hydrophobic site or a diamine component having a hydrophobic site as a polymerization component, an amphiphile, hydrophobicity and volatilization. The gist of the invention is that it can be formed by allowing a support substrate casted with a polymer solution containing at least an organic solvent having a property to exist in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more.

ここで、上記疎水性部位は、環式炭化水素基であると良い。   Here, the hydrophobic part is preferably a cyclic hydrocarbon group.

また、上記ポリアミドイミドには、ポリエステルが共重合されていると良い。   The polyamideimide is preferably copolymerized with polyester.

また、上記多孔質膜は、ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、孔部の内壁面は外側方向に湾曲されている孔形態を有していると良い。   The porous film preferably has a number of holes arranged in a honeycomb shape, and the inner wall surface of the holes has a hole shape that is curved outward.

一方、本発明に係る異方性導電膜は、上記多孔質膜と、この多孔質膜の孔部内に充填された導電性物質と、多孔質膜の両面に被覆された接着層とを備えたことを要旨とする。   On the other hand, an anisotropic conductive film according to the present invention includes the porous film, a conductive material filled in the pores of the porous film, and an adhesive layer coated on both surfaces of the porous film. This is the gist.

本発明に係る多孔質膜を形成するポリアミドイミドは、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分とを重合成分として含んでいるので、疎水性溶媒に溶解する。   Since the polyamideimide forming the porous membrane according to the present invention contains a diisocyanate component having a hydrophobic site or a diamine component having a hydrophobic site as a polymerization component, it is dissolved in a hydrophobic solvent.

そのため、本発明に係る多孔質膜は、自己組織化現象を利用した多孔質膜の製法を用いる際に、従来のように溶媒置換を行ったり、イミド化処理を行ったりするなどの工程を経る必要がない。そのため、従来よりも簡単かつ少ない工程で製造することができ、生産性に優れる。   Therefore, the porous film according to the present invention undergoes processes such as solvent replacement or imidization treatment as in the conventional case when using a method for producing a porous film utilizing the self-organization phenomenon. There is no need. Therefore, it can be manufactured with simpler and fewer processes than conventional methods, and the productivity is excellent.

また、本発明に係る多孔質膜を異方性導電膜の基膜材料に用いた場合、シロキサン変性ポリアミドイミドより形成された多孔質膜を用いた場合に比較して、膜と接着層との密着性に優れる。そのため、ふくれや剥離などが生じ難い。   Further, when the porous film according to the present invention is used as the base film material of the anisotropic conductive film, the film and the adhesive layer are compared with the case where the porous film formed from the siloxane-modified polyamideimide is used. Excellent adhesion. Therefore, blistering and peeling are unlikely to occur.

この際、上記疎水性部位が環式炭化水素基である場合には、上記作用効果に優れる。また、上記ポリアミドイミドにポリエステルが共重合されている場合には、耐熱性が一層向上する。   At this time, when the hydrophobic portion is a cyclic hydrocarbon group, the above-described effects are excellent. Moreover, when polyester is copolymerized with the polyamideimide, the heat resistance is further improved.

一方、本発明に係る異方性導電膜は、上記ポリアミドイミドより形成された多孔質膜を用いているので、生産性、膜と接着層との密着性に優れ、耐熱性にも優れる。   On the other hand, since the anisotropic conductive film according to the present invention uses a porous film formed from the above polyamideimide, it is excellent in productivity, adhesion between the film and the adhesive layer, and excellent in heat resistance.

以下、本実施形態に係る多孔質膜(以下、「本多孔質膜」ということがある。)、これを用いた本実施形態に係る異方性導電膜(以下、「本ACF」ということがある。)について詳細に説明する。   Hereinafter, the porous film according to the present embodiment (hereinafter sometimes referred to as “the present porous film”) and the anisotropic conductive film according to the present embodiment using the porous film (hereinafter referred to as “the present ACF”). Will be described in detail.

1.本多孔質膜
本多孔質膜は、酸成分と、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分とを重合成分として含むポリアミドイミドより形成されている。
1. This porous membrane This porous membrane is formed from the polyamideimide which contains an acid component and the diisocyanate component which has a hydrophobic part, or the diamine component which has a hydrophobic part as a polymerization component.

上記ポリアミドイミドにおいて、酸成分としては、具体的には、例えば、酸無水物、多価カルボン酸、酸クロリドなどを例示することができ、これらは1種または2種以上含まれていても良い。   In the polyamideimide, specific examples of the acid component include acid anhydrides, polyvalent carboxylic acids, and acid chlorides, and these may be used alone or in combination of two or more. .

酸無水物としては、具体的には、例えば、トリメリット酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、プロピレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、1,4ブタンジオールビスアンヒドロトリメリテート、ヘキサメチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、ポリエチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、ポリプロピレングリコールビスアンヒドロトリメリテートなどのアルキレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、ピロメリット酸無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、3,3’,4,4’ジフェニルスルホンテトラカルボン酸無水物、3,3’,4,4’ビフェニルテトラカルボン酸無水物、4,4’オキシジフタル酸無水物などを例示することができ、これらは1種または2種以上含まれていても良い。   Specific examples of the acid anhydride include trimellitic acid anhydride, ethylene glycol bisanhydro trimellitate, propylene glycol bis anhydro trimellitate, 1,4 butanediol bis anhydro trimellitate, hexa Alkylene glycol bisanhydro trimellitate such as methylene glycol bisanhydro trimellitate, polyethylene glycol bis anhydro trimellitate, polypropylene glycol bis anhydro trimellitate, pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic anhydride, 3,3 ′, 4,4′diphenylsulfonetetracarboxylic acid anhydride, 3,3 ′, 4,4′biphenyltetracarboxylic acid anhydride, 4,4′oxydiphthalic acid anhydride, etc. Is one kind It may contain two or more kinds.

多価カルボン酸としては、具体的には、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、4,4’ビフェニルジカルボン酸、4,4’ビフェニルエーテルジカルボン酸、4,4’ビフェニルスルホンジカルボン酸、4,4’ベンゾフェノンジカルボン酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、3,3’,4,4’ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’ビフェニルスルホンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’ビフェニルテトラカルボン酸、アジピン酸、セバチン酸、マレイン酸、フマル酸、ダイマー酸、スチルベンジカルボン酸、1,4シクロヘキサンジカルボン酸、1,2シクロヘキサンジカルボン酸などを例示することができ、これらは1種または2種以上含まれていても良い。   Specific examples of the polyvalent carboxylic acid include terephthalic acid, isophthalic acid, 4,4 ′ biphenyl dicarboxylic acid, 4,4 ′ biphenyl ether dicarboxylic acid, 4,4 ′ biphenyl sulfone dicarboxylic acid, and 4,4 ′. Benzophenone dicarboxylic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 3,3 ′, 4,4 ′ benzophenone tetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4′biphenylsulfone tetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4 ′ Biphenyltetracarboxylic acid, adipic acid, sebacic acid, maleic acid, fumaric acid, dimer acid, stilbene dicarboxylic acid, 1,4 cyclohexane dicarboxylic acid, 1,2 cyclohexane dicarboxylic acid and the like can be exemplified, and these are one kind or Two or more kinds may be contained.

酸クロリドとしては、具体的には、例えば、上記多価カルボン酸の酸クロリドなどを例示することができ、これらは1種または2種以上含まれていても良い。   Specific examples of the acid chloride include the acid chlorides of the above polyvalent carboxylic acids, and these may be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、酸成分としては、耐熱性、溶剤溶解性などの観点から、トリメリット酸、トリメリット酸無水物、シクロヘキサンジカルボン酸などを好適なものとして例示することができる。   Among these, preferable examples of the acid component include trimellitic acid, trimellitic acid anhydride, and cyclohexanedicarboxylic acid from the viewpoints of heat resistance and solvent solubility.

一方、上記ポリアミドイミドにおいて、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分は、主として、ポリアミドイミドに疎水性を付与し、疎水性溶媒に可溶化させるための成分として機能する。   On the other hand, in the polyamideimide, the diisocyanate component having a hydrophobic site or the diamine component having a hydrophobic site mainly functions as a component for imparting hydrophobicity to the polyamideimide and solubilizing it in a hydrophobic solvent.

ここで、疎水性部位としては、具体的には、例えば、環式炭化水素基、とりわけ、耐熱性に優れる環式炭化水素基などを好適なものとして例示することができる。   Here, as a hydrophobic site | part, specifically, a cyclic hydrocarbon group, especially the cyclic hydrocarbon group excellent in heat resistance etc. can be illustrated as a suitable thing, for example.

疎水性部位が環式炭化水素基である場合、環式炭化水素基を有するジイソシアネートは、脂環式炭化水素基を有するジイソシアネート、芳香族炭化水素基を有するジイソシアネートの何れか一方であっても良いし、双方の組み合わせであっても良い。同様に、環式炭化水素基を有するジアミンは、脂環式炭化水素基を有するジアミン、芳香族炭化水素基を有するジアミンの何れか一方であっても良いし、双方の組み合わせであっても良い。   When the hydrophobic site is a cyclic hydrocarbon group, the diisocyanate having a cyclic hydrocarbon group may be either a diisocyanate having an alicyclic hydrocarbon group or a diisocyanate having an aromatic hydrocarbon group. However, a combination of both may be used. Similarly, the diamine having a cyclic hydrocarbon group may be either a diamine having an alicyclic hydrocarbon group or a diamine having an aromatic hydrocarbon group, or a combination of both. .

好ましくは、疎水性溶媒に対する溶解性の観点から、脂環式炭化水素基を有するジイソシアネートまたは脂環式炭化水素基を有するジアミンをそれぞれ単独で用いる、あるいは、主に用いると良い。   Preferably, from the viewpoint of solubility in a hydrophobic solvent, a diisocyanate having an alicyclic hydrocarbon group or a diamine having an alicyclic hydrocarbon group may be used alone or mainly.

脂環式炭化水素基を有するジイソシアネートとしては、具体的には、例えば、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン4,4’ジイソシアネート、1,3ビス(イソシアナトメチル)シクロヘキサンなどを例示することができ、これらは1種または2種以上併用しても良い。   Specific examples of the diisocyanate having an alicyclic hydrocarbon group include isophorone diisocyanate, dicyclohexylmethane 4,4 ′ diisocyanate, 1,3 bis (isocyanatomethyl) cyclohexane, and the like. You may use together 1 type, or 2 or more types.

芳香族炭化水素基を有するジイソシアネートとしては、具体的には、例えば、2,4トリレンジイソシアネート、2,6トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタン4,4’ジイソシアネート、3,3’ジメチルジフェニルメタンジイソシアネート、3,3’ジエチルジフェニルメタン4,4’ジイソシアネート、3,3’ジクロロジフェニルメタン4,4’ジイソシアネート、4,4’ジイソシアネート3,3’ジメチルビフェニル、p−フェニレンジイソシアネート、m−フェニレンジイソシアネートなどを例示することができ、これらは1種または2種以上併用しても良い。   Specific examples of the diisocyanate having an aromatic hydrocarbon group include 2,4 tolylene diisocyanate, 2,6 tolylene diisocyanate, diphenylmethane 4,4 ′ diisocyanate, 3,3′dimethyldiphenylmethane diisocyanate, 3,3. Examples include 'diethyldiphenylmethane 4,4' diisocyanate, 3,3'dichlorodiphenylmethane 4,4 'diisocyanate, 4,4' diisocyanate 3,3 'dimethylbiphenyl, p-phenylene diisocyanate, m-phenylene diisocyanate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、疎水性溶媒に対する溶解性、耐熱性などの観点から、イソホロンジイソシアネート、ジフェニルメタン4,4’ジイソシアネート、2,4トリレンジイソシアネートなどを好適なものとして例示することができる。   Of these, isophorone diisocyanate, diphenylmethane 4,4′diisocyanate, 2,4tolylene diisocyanate, and the like can be exemplified as preferable from the viewpoint of solubility in a hydrophobic solvent, heat resistance, and the like.

また、脂環式炭化水素基を有するジアミンとしては、具体的には、例えば、イソホロンジアミン、4,4’ジアミノジシクロヘキシルメタン、1,3シクロヘキサンビス(メチルアミン)などを例示することができ、これらは1種または2種以上併用しても良い。   Specific examples of the diamine having an alicyclic hydrocarbon group include isophorone diamine, 4,4′diaminodicyclohexyl methane, 1,3 cyclohexane bis (methylamine), and the like. May be used alone or in combination of two or more.

芳香族炭化水素基を有するジアミンとしては、具体的には、例えば、オルトクロロパラフェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4’ジアミノジフェニルエーテル、3,4ジアミノジフェニルエーテル、4,4’ジアミノジフェニルメタン、3,4ジアミノジフェニルメタン、4,4’ジアミノジフェニルスルホン、3,4’ジアミノジフェニルスルホン、4,4’ジアミノベンゾフェノン、3,4’ジアミノベンゾフェノン、2,2’ビス(アミノフェニル)プロパン、2,4トリレンジアミン、2,6トリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、m−キシリレンジアミンなどを例示することができ、これらは1種または2種以上併用しても良い。   Specific examples of the diamine having an aromatic hydrocarbon group include, for example, orthochloroparaphenylenediamine, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4′diaminodiphenyl ether, 3,4 diaminodiphenyl ether, 4,4. 'Diaminodiphenylmethane, 3,4diaminodiphenylmethane, 4,4'diaminodiphenylsulfone, 3,4'diaminodiphenylsulfone, 4,4'diaminobenzophenone, 3,4'diaminobenzophenone, 2,2'bis (aminophenyl) propane 2,4tolylenediamine, 2,6tolylenediamine, p-xylylenediamine, m-xylylenediamine and the like, and these may be used alone or in combination.

これらのうち、疎水性溶媒に対する溶解性、耐熱性などの観点から、イソホロンジアミン、4,4’ジアミノジフェニルメタン、2,4トリレンジアミンなどを好適なものとして例示することができる。   Of these, isophoronediamine, 4,4′diaminodiphenylmethane, 2,4tolylenediamine, and the like can be exemplified as preferable from the viewpoint of solubility in a hydrophobic solvent, heat resistance, and the like.

また、耐熱性に悪影響を及ぼさない範囲内で、脂肪族ジカルボン酸、脂肪族ジアミンおよびこれらのジイソシアネートを含んでいても良い。具体的には、例えば、脂肪族ジカルボン酸としては、ドデカンジカルボン酸、ジカルボキシポリブタジエン、ジカルボキシポリブタジエン、ジカルボキシポリ(アクリロニトリル−ブタジエン)、ジカルボキシポリ(スチレン−ブタジエン)などが挙げられ、これらは1種または2種以上含まれていても良い。また、脂肪族ジアミンとしては、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどが挙げられ、これらは1種または2種以上含まれていても良い。   In addition, aliphatic dicarboxylic acids, aliphatic diamines and these diisocyanates may be contained within a range that does not adversely affect heat resistance. Specific examples of the aliphatic dicarboxylic acid include dodecanedicarboxylic acid, dicarboxypolybutadiene, dicarboxypolybutadiene, dicarboxypoly (acrylonitrile-butadiene), dicarboxypoly (styrene-butadiene), and the like. One kind or two or more kinds may be contained. Moreover, as aliphatic diamine, ethylenediamine, propylenediamine, hexamethylenediamine, etc. are mentioned, These may be contained 1 type (s) or 2 or more types.

上記ポリアミドイミドにおいて、酸成分の割合と、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分の割合とは、特に限定されるものではない。もっとも、前者が過度に多く、後者が過度に少なくなると、疎水性溶媒に対する溶解性が低下し、自己組織化を利用した多孔質膜の製法を用いた場合に、優れた孔形態が得られ難くなるなどの傾向が見られる。一方、前者が過度に少なく、後者が過度に多くなると、多孔質膜の耐熱性が低下するなどの傾向が見られる。したがって、両者の割合の選択は、これらに留意すると良い。   In the polyamideimide, the ratio of the acid component and the ratio of the diisocyanate component having a hydrophobic site or the diamine component having a hydrophobic site are not particularly limited. However, if the former is excessively large and the latter is excessively low, the solubility in a hydrophobic solvent is lowered, and it is difficult to obtain an excellent pore shape when a porous membrane manufacturing method using self-organization is used. There is a tendency to become. On the other hand, when the former is excessively small and the latter is excessively large, the heat resistance of the porous film tends to decrease. Therefore, it is good to pay attention to these when selecting the ratio of the two.

例えば、酸成分の割合は、好ましくは、20〜80モル%、より好ましくは30〜75モル%、最も好ましくは、40〜60モル%の範囲にあると良い。一方、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分の割合は、好ましくは、80〜20モル%、より好ましくは70〜25モル%、最も好ましくは、60〜40モル%の範囲にあると良い。   For example, the ratio of the acid component is preferably in the range of 20 to 80 mol%, more preferably 30 to 75 mol%, and most preferably 40 to 60 mol%. On the other hand, the proportion of the diisocyanate component having a hydrophobic site or the diamine component having a hydrophobic site is preferably in the range of 80 to 20 mol%, more preferably 70 to 25 mol%, most preferably 60 to 40 mol%. Good to be.

これら範囲内にあれば、疎水性溶媒に対する可溶性、耐熱性などのバランスに優れるからである。   It is because it is excellent in the balance of the solubility with respect to a hydrophobic solvent, heat resistance, etc. if it exists in these ranges.

また、上記ポリアミドイミドには、多孔質膜の耐熱性を向上させるなどの目的で、アミド結合、イミド結合より極性が低い重合体が共重合されていても良い。この場合、共重合は、ランダムであっても、ブロックであっても良く、特に限定されるものではない。なお、本願では、ポリアミドイミドに他の重合体が共重合されたものも、ポリアミドイミドの概念に含まれる。   The polyamideimide may be copolymerized with a polymer having a polarity lower than that of an amide bond or imide bond for the purpose of improving the heat resistance of the porous membrane. In this case, the copolymerization may be random or block, and is not particularly limited. In addition, in this application, what copolymerized another polymer with the polyamideimide is also contained in the concept of a polyamideimide.

上記他の重合体としては、具体的には、例えば、ポリエステル、ポリエーテル、ポリスルホン、ポリアミド、ポリウレタンなどを例示することができ、これらは1種または2種以上併用しても良い。   Specific examples of the other polymer include polyester, polyether, polysulfone, polyamide, polyurethane and the like, and these may be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、多孔質膜の耐熱性を向上させやすい観点から、ポリエステルなどを好適なものとして例示することができる。   Among these, from the viewpoint of easily improving the heat resistance of the porous membrane, polyester and the like can be exemplified as suitable ones.

ポリエステルとしては、具体的には、例えば、ポリカプロラクトン、ジカルボン酸とジオールとから重合されたものなどを例示することができるが、特に限定されるものではない。   Specific examples of the polyester include, but are not particularly limited to, polycaprolactone, polymerized from dicarboxylic acid and diol, and the like.

上記ジカルボン酸としては、具体的には、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、オルソフタル酸、2,6ナフタレンジカルボン酸、4,4’ビフェニルジカルボン酸、4,4’ビフェニルエーテルジカルボン酸、4,4’ベンゾフェノンジカルボン酸などの芳香族ジカルボン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマール酸、ダイマー酸、ドデカンジカルボン酸、アゼライン酸などの脂肪族ジカルボン酸、1,2シクロヘキサンジカルボン酸、1,3シクロヘキサンジカルボン酸、1,4シクロヘキサンジカルボン酸などの脂環族ジカルボン酸などを例示することができ、これらは1種または2種以上併用しても良い。   Specific examples of the dicarboxylic acid include terephthalic acid, isophthalic acid, orthophthalic acid, 2,6 naphthalene dicarboxylic acid, 4,4 ′ biphenyl dicarboxylic acid, 4,4 ′ biphenyl ether dicarboxylic acid, and 4,4 ′. Aromatic dicarboxylic acids such as benzophenone dicarboxylic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, sebacic acid, maleic acid, fumaric acid, dimer acid, aliphatic dicarboxylic acid such as dodecanedicarboxylic acid, azelaic acid, 1,2 cyclohexane dicarboxylic acid Examples thereof include alicyclic dicarboxylic acids such as 1,3 cyclohexanedicarboxylic acid and 1,4 cyclohexanedicarboxylic acid, and these may be used alone or in combination of two or more.

一方、上記ジオールとしては、具体的には、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、1,4ブタンジオール、1,5ペンタンジオール、1,6ヘキサンジオール、1,9ノナンジオール、1,10デカンジオール、1,2シクロヘキサンジメタノール、1,3シクロヘキサンジメタノール、1,4シクロヘキサンジメタノール、テトラメチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコールなどのアルキレングリコールなどを例示することができ、これらは1種または2種以上併用しても良い。   On the other hand, as the diol, specifically, for example, ethylene glycol, propylene glycol, neopentyl glycol, 1,4 butanediol, 1,5 pentanediol, 1,6 hexanediol, 1,9 nonanediol, 1, Examples include 10-decanediol, 1,2-cyclohexanedimethanol, 1,3-cyclohexanedimethanol, 1,4-cyclohexanedimethanol, tetramethylene glycol, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene ether glycol and other alkylene glycols. These may be used alone or in combination of two or more.

ポリアミドイミドに他の重合体を任意で共重合させる場合、他の重合体の割合は、好ましくは、70重量%以下、より好ましくは、55重量%以下、最も好ましくは、30重量%以下であると良い。   When the polyamideimide is optionally copolymerized with another polymer, the proportion of the other polymer is preferably 70% by weight or less, more preferably 55% by weight or less, and most preferably 30% by weight or less. And good.

この場合、ポリアミドイミド中の酸成分の割合は、好ましくは、30〜98モル%、より好ましくは40〜95モル%、最も好ましくは、55〜85モル%の範囲にあると良い。一方、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分の割合は、好ましくは、70〜2モル%、より好ましくは60〜5モル%、最も好ましくは、45〜15モル%の範囲にあると良い。   In this case, the ratio of the acid component in the polyamideimide is preferably in the range of 30 to 98 mol%, more preferably 40 to 95 mol%, and most preferably 55 to 85 mol%. On the other hand, the ratio of the diisocyanate component having a hydrophobic site or the diamine component having a hydrophobic site is preferably in the range of 70 to 2 mol%, more preferably 60 to 5 mol%, most preferably 45 to 15 mol%. Good to be.

これら範囲内にあれば、疎水性溶媒に対する可溶性、耐熱性などのバランスに優れるからである。   It is because it is excellent in the balance of the solubility with respect to a hydrophobic solvent, heat resistance, etc. if it exists in these ranges.

なお、他にも、上記ポリアミドイミド中に、疎水性溶媒に対する溶解性などを損なわない範囲内で、エポキシプレポリマー、硬化剤、増感剤などの添加剤が添加されていても良い。これらが添加されている場合には、膜の構造が崩れない条件で本多孔質膜を熱硬化、光硬化させることができるので、膜強度などを向上させることが可能となる。   In addition, additives such as an epoxy prepolymer, a curing agent, and a sensitizer may be added to the polyamideimide within a range that does not impair the solubility in a hydrophobic solvent. When these are added, the present porous film can be heat-cured and photocured under the condition that the structure of the film does not collapse, so that the film strength and the like can be improved.

上記ポリアミドイミドの重合は、例えば、上記酸成分と、上記ジイソシアネート(ジアミン)成分とから、イソシアネート法または酸クロリド法などの方法を用い、任意に触媒を存在させ、アミド系溶剤などの極性溶剤中で行えば良い。なお、ポリアミドイミドに他の重合体を共重合させる場合には、溶液重合法、溶融重合法、これらを組み合わせた方法などを用いることができる。例えば、ポリアミドイミドを溶液重合した溶液に、予め溶融重合した他の重合体を加えて重合する方法などを例示することができる。   Polymerization of the polyamide imide is carried out, for example, by using a method such as an isocyanate method or an acid chloride method from the acid component and the diisocyanate (diamine) component, optionally in the presence of a catalyst in a polar solvent such as an amide solvent. Just do it. In addition, when copolymerizing another polymer with polyamideimide, a solution polymerization method, a melt polymerization method, a method combining these, or the like can be used. For example, a method of polymerizing a solution obtained by polymerizing polyamideimide with another polymer previously melt-polymerized can be exemplified.

本多孔質膜において、孔形態(孔部の立体的形状、孔部が膜厚方向に貫通するか否か、孔の配列など)、孔径の大きさ、膜厚などは特に限定されるものではなく、用途に合わせて適宜調節することができる。   In this porous membrane, the pore shape (three-dimensional shape of the hole, whether the hole penetrates in the film thickness direction, the arrangement of the holes, etc.), the size of the hole diameter, the film thickness, etc. are not particularly limited. And can be adjusted appropriately according to the application.

例えば、本多孔質膜を異方性導電膜の基膜材料として用いる場合、本多孔質膜の孔形態としては、膜厚方向に貫通する多数の孔部を有し、これら孔部はハニカム状に配列されるとともに孔部の内壁面は外側方向に湾曲された孔形態などを好適なものとして例示することができる。   For example, when this porous film is used as a base film material for an anisotropic conductive film, the pore form of the porous film has a large number of holes that penetrate in the film thickness direction. For example, the inner wall surface of the hole portion may be exemplified by a hole shape that is curved outward.

上記孔形態の一例につき、図を用いてより具体的に説明する。図1(a)に示すように、この多孔質膜10は、膜厚方向に貫通した多数の孔部12を有している。また、これら孔部12の内壁面14は、外側方向に向かって略球面状に湾曲されている。また、図1(b)に示すように、これら孔部12は、ハニカム状に配列されており、隣接する各孔部12同士は、隔壁16により離間されている。また、隔壁16は、隣接する各孔部12の内壁面14同士が最も隣接する付近に、肉厚の薄いくびれ部16aを有している。   An example of the hole shape will be described more specifically with reference to the drawings. As shown in FIG. 1A, the porous film 10 has a large number of holes 12 penetrating in the film thickness direction. The inner wall surfaces 14 of these holes 12 are curved in a substantially spherical shape toward the outer side. Further, as shown in FIG. 1B, these hole portions 12 are arranged in a honeycomb shape, and the adjacent hole portions 12 are separated from each other by a partition wall 16. Further, the partition wall 16 has a narrow constricted portion 16a in the vicinity where the inner wall surfaces 14 of the adjacent hole portions 12 are most adjacent to each other.

この場合、孔部の径および間隔については、被接続物(例えば、ICチップ、フレキシブルプリント配線板:FPCなど)が有する複数の導体(例えば、突起電極、配線パターンなど)の幅や間隔などを考慮して決定すれば良い。   In this case, with respect to the diameter and interval of the hole, the width and interval of a plurality of conductors (for example, protruding electrodes, wiring patterns, etc.) of the connected object (for example, IC chip, flexible printed wiring board: FPC, etc.) It may be determined in consideration.

もっとも、膜面方向の絶縁性を確実なものとし、高い接続信頼性を得るなどの観点から、孔部の径は、被接続物が有する複数の導体の間隔のうち、最も狭いものよりも小さく、かつ、孔部の間隔は、被接続物が有する複数の導体の幅のうち、最も狭いものよりも小さいことが望ましい。   However, from the viewpoint of ensuring insulation in the film surface direction and obtaining high connection reliability, the diameter of the hole is smaller than the narrowest of the intervals between the plurality of conductors of the connected object. And it is desirable that the interval between the holes is smaller than the narrowest of the widths of the plurality of conductors of the connected object.

好ましくは、孔部の径は、被接続物が有する複数の導体の間隔のうち、最も狭いものの1/2以下、かつ、孔部の間隔は、被接続物が有する複数の導体の幅のうち、最も狭いものの1/2以下とするのが良い。   Preferably, the diameter of the hole is ½ or less of the narrowest of the intervals between the plurality of conductors of the connected object, and the interval of the hole is the width of the plurality of conductors of the connected object It is good to make it 1/2 or less of the narrowest.

なお、図1(b)に示すように、孔部の径とは、膜表面または裏面に表れる孔部の開口部分の直径Rを測定して平均した値をいう。一方、孔部の間隔とは、膜表面または裏面に表れる孔部の開口部分と隣接する孔部の開口部分との間の距離Lを測定して平均した値をいう。また、上記直径Rおよび距離Lは、多孔質膜表面の電子顕微鏡写真、光学顕微鏡写真などにより測定することができる。   In addition, as shown in FIG.1 (b), the diameter of a hole means the value which measured and averaged the diameter R of the opening part of the hole which appears on the film | membrane surface or a back surface. On the other hand, the interval between the hole portions means a value obtained by measuring and averaging the distance L between the opening portion of the hole portion appearing on the film surface or the back surface and the opening portion of the adjacent hole portion. The diameter R and the distance L can be measured by an electron micrograph, an optical micrograph, etc. on the surface of the porous membrane.

また、膜厚については、異方性導電膜の機械的強度、耐電圧性などを考慮して決定すれば良い。一般的には、好ましい上限値として100μm、50μmなどを例示することができ、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値としては、1μm、5μmなどを例示することができる。   The film thickness may be determined in consideration of the mechanical strength, voltage resistance, etc. of the anisotropic conductive film. Generally, examples of preferable upper limit values include 100 μm and 50 μm, and examples of preferable lower limit values that can be combined with these preferable upper limit values include 1 μm and 5 μm.

このようなハニカム構造を有し、上記ポリアミドイミドよりなる多孔質膜を製造するには、上記ポリアミドイミドと、両親媒性物質と、疎水性および揮発性を有する有機溶媒とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持基板を高湿度雰囲気下に存在させる手法などによると良い。この手法を用いた場合、概ね以下の原理によって上記孔形態を有する多孔質膜が自発的に形成される。   In order to produce a porous membrane made of the polyamideimide having such a honeycomb structure, a polymer solution containing at least the polyamideimide, an amphiphile, and an organic solvent having hydrophobicity and volatility It is preferable to use a method in which a support substrate in which is cast is present in a high humidity atmosphere. When this method is used, a porous film having the above pore shape is spontaneously formed on the basis of the following principle.

すなわち、支持基板上に、所定濃度、所定塗布厚でキャストされた高分子溶液は、有機溶媒が蒸発する際に潜熱を奪われる。そのため、温度が下がった高分子溶液の表面には、雰囲気中の水蒸気が凝結して形成された微小な水滴群が付着する。付着した水滴群は、潜熱によって高分子溶液内に生じた対流やキャピラリーフォースなどにより輸送、集積され、最終的には最密充填される。その後、水滴群が蒸発すると、水滴群を鋳型として、ハニカム状に配列された多数の孔部を有する多孔質膜が形成される。   That is, the polymer solution cast on the support substrate with a predetermined concentration and a predetermined coating thickness is deprived of latent heat when the organic solvent evaporates. Therefore, a group of minute water droplets formed by condensation of water vapor in the atmosphere adheres to the surface of the polymer solution whose temperature has decreased. The adhering water droplets are transported and collected by convection or capillary force generated in the polymer solution by latent heat, and are finally packed most closely. Thereafter, when the water droplet group evaporates, a porous film having a large number of pores arranged in a honeycomb shape is formed using the water droplet group as a template.

上記高分子溶液において、ポリアミドイミドは、上述したものが挙げられ、これらは1種または2種以上混合されていても良い。   In the polymer solution, examples of the polyamideimide include those described above, and these may be used alone or in combination.

上記高分子溶液において、両親媒性物質とは、いわゆる、界面活性剤のことであり、疎水的な部位と親水的な部位とを合わせ持った化合物をいう。この両親媒性物質は、主として、高分子溶液の表面上に付着する水滴群を安定化させるなどの目的で添加される。   In the polymer solution, the amphiphilic substance is a so-called surfactant, which is a compound having both a hydrophobic part and a hydrophilic part. This amphiphilic substance is added mainly for the purpose of stabilizing the water droplet group adhering to the surface of the polymer solution.

このような両親媒性物質としては、具体的には、例えば、親水性のアクリルアミドポリマーを主鎖骨格とし、疎水性側鎖としてドデシル基、親水性側鎖としてラクトース基もしくはカルボキシル基を併せもつポリマー、または、ヘパリンやデキストラン硫酸などのアニオン性多糖と4級の長鎖アルキルアンモニウム塩とのポリイオン性錯体などを例示することができる。これらは1種または2種以上混合されていても良い。   As such an amphiphilic substance, specifically, for example, a polymer having a hydrophilic acrylamide polymer as a main chain skeleton, a dodecyl group as a hydrophobic side chain, and a lactose group or a carboxyl group as a hydrophilic side chain. Or, a polyionic complex of an anionic polysaccharide such as heparin or dextran sulfate and a quaternary long-chain alkylammonium salt can be exemplified. These may be used alone or in combination.

上記高分子溶液において、疎水性および揮発性を有する有機溶媒としては、具体的には、例えば、クロロホルム、塩化メチレンなどのハロゲン化物、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類、メチルエチルケトン(MEK)、アセトンなどのケトン類などを例示することができる。これらは1種または2種以上混合されていても良い。   Specific examples of the organic solvent having hydrophobicity and volatility in the polymer solution include, for example, halides such as chloroform and methylene chloride, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene, ethyl acetate and acetic acid. Examples thereof include esters such as butyl, ketones such as methyl ethyl ketone (MEK) and acetone. These may be used alone or in combination.

この際、上記高分子溶液に含まれるポリアミドイミドの濃度としては、好ましい上限値として50重量%、10重量%などを例示することができ、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値としては、0.05重量%、0.1重量%などを例示することができる。   At this time, the concentration of the polyamideimide contained in the polymer solution can be exemplified by 50% by weight, 10% by weight, etc. as a preferred upper limit, and as a preferred lower limit that can be combined with these preferred upper limits, Examples thereof include 0.05% by weight and 0.1% by weight.

また、上記高分子溶液に含まれる両親媒性物質の割合としては、上記ポリアミドイミドに対し、好ましい上限値として20重量%、10重量%などを例示することができ、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値として0.01重量%、0.05重量%などを例示することができる。   Moreover, as a ratio of the amphipathic substance contained in the polymer solution, it is possible to exemplify 20% by weight, 10% by weight, etc. as preferable upper limit values for the polyamideimide, and these preferred upper limit values can be combined. Examples of preferable lower limit values include 0.01% by weight and 0.05% by weight.

また、上記高分子溶液をキャストする支持基板の材料としては、具体的には、例えば、ガラス、金属、シリコンウェハーなどの無機材料、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエーテルケトン、フッ素樹脂などの高分子材料、水、流動パラフィンなどを例示することができる。   Further, as the material of the support substrate for casting the polymer solution, specifically, for example, inorganic materials such as glass, metal, silicon wafer, polymer materials such as polypropylene, polyethylene, polyetherketone, fluororesin, Examples thereof include water and liquid paraffin.

また、上記高分子溶液を支持基板上にキャストする際の塗布厚としては、好ましい上限値として3500μm、2000μmなどを例示することができ、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値として50μm、150μmなどを例示することができる。   Examples of the coating thickness when casting the polymer solution on a support substrate include 3500 μm and 2000 μm as preferable upper limit values, and 50 μm and 150 μm as preferable lower limit values that can be combined with these preferable upper limit values. Etc. can be illustrated.

また、上記高分子溶液をキャストした支持基板は、相対湿度50%〜95%の高湿度雰囲気下に存在させることが望ましい。相対湿度が50%未満では、結露が不十分となる傾向が見られ、95%を越えると、環境の制御が難しくなる傾向が見られるからである。   Moreover, it is desirable that the support substrate cast with the polymer solution be present in a high humidity atmosphere with a relative humidity of 50% to 95%. This is because if the relative humidity is less than 50%, condensation tends to be insufficient, and if it exceeds 95%, it tends to be difficult to control the environment.

この手法では、高湿度雰囲気中で高分子溶液を支持基板上にキャストしても良いし、予め高分子溶液をキャストした支持基板を高湿度雰囲気下に置いても良い。また、高湿度に加湿された気体を高分子溶液に吹きつけるなどしても良い。なお、上記雰囲気中の気体、吹きつけ用の気体は、特に限定されるものではない。これら気体としては、具体的には、例えば、空気、窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性ガス、これらの混合ガスなどを例示することができる。好適には、コスト的に有利な空気を用いると良い。   In this method, the polymer solution may be cast on a support substrate in a high humidity atmosphere, or the support substrate on which the polymer solution is cast in advance may be placed in a high humidity atmosphere. Alternatively, a gas humidified at high humidity may be blown onto the polymer solution. In addition, the gas in the said atmosphere and the gas for spraying are not specifically limited. Specific examples of these gases include air, inert gases such as nitrogen gas and argon gas, and mixed gases thereof. Preferably, air that is advantageous in terms of cost is used.

また、有機溶媒の蒸発や、水滴群の蒸発を促進させるため、多孔質膜の形成中に、膜形成に影響を及ぼさない範囲内で加熱、乾燥などを行っても良い。   Further, in order to promote the evaporation of the organic solvent and the evaporation of the water droplet group, heating and drying may be performed during the formation of the porous film within a range that does not affect the film formation.

また、このようにして得られた本多孔質膜を、さらに、ポリアミドイミドのガラス転移温度近傍まで加熱しても良い。   Further, the porous membrane thus obtained may be further heated to near the glass transition temperature of polyamideimide.

上述した原理によれば、隣接する各孔部同士の間に位置する隔壁は、隣接する水滴同士の隙間に入り込んだ高分子溶液により形成される。そのため、水滴と水滴とが最も近接するくびれ部付近では、特に、隔壁が薄くなる傾向が見られる。   According to the principle described above, the partition located between the adjacent holes is formed by the polymer solution that has entered the gap between the adjacent water droplets. Therefore, especially in the vicinity of the constricted portion where the water droplets and water droplets are closest to each other, there is a tendency that the partition wall becomes thin.

ところが、膜形成後に、さらにポリアミドイミドのガラス転移温度近傍まで加熱した場合には、肉厚の薄いくびれ部がいち早く軟化・溶融し、くびれ部が太くなったり、くびれ部に存在することがある連通孔が潰されたりする。   However, when the film is formed and heated to near the glass transition temperature of polyamideimide, the thinned constriction part softens and melts quickly, and the constriction part becomes thicker or may exist in the constriction part. The hole is crushed.

これにより、隣接する各孔部間の独立性が増大し、孔部の独立性に優れた多孔質膜とすることができる。そのため、これを例えば、異方性導電膜に用いた場合には、得られる異方性導電膜の膜面方向の絶縁性を向上させることができる。   Thereby, the independence between each adjacent hole part increases, and it can be set as the porous film excellent in the independence of a hole part. Therefore, when this is used for an anisotropic conductive film, for example, the insulation property in the film surface direction of the obtained anisotropic conductive film can be improved.

また、上記加熱にあたり、さらに、膜厚方向に任意に加圧を行っても良い。   Moreover, in the said heating, you may further pressurize arbitrarily in a film thickness direction.

上述した原理によれば、高分子溶液の表面上に結露した水滴は、浮島状に密集する。そして、この浮島状に密集した水滴群が輸送、集積されると、水滴群同士がぶつかり合った境界近辺に、膜厚方向の段差ないし凹凸が生じやすい。ところが、膜形成後、さらに加熱・加圧を行った場合には、膜表面に生じた段差ないし凹凸が均一化される。   According to the principle described above, water droplets condensed on the surface of the polymer solution are concentrated in a floating island shape. When the water droplet groups densely packed in a floating island shape are transported and accumulated, a step or unevenness in the film thickness direction tends to occur near the boundary where the water droplet groups collide with each other. However, when heating and pressurization are further performed after the film formation, the level difference or unevenness generated on the film surface is made uniform.

これにより、表面の平滑性に優れた多孔質膜とすることができる。そのため、これを例えば、異方性導電膜に用いた場合には、孔部内に導電性物質を均一に充填させやすく、得られる異方性導電膜の膜厚方向の導通性を向上させることができる。   Thereby, it can be set as the porous film excellent in the smoothness of the surface. Therefore, when this is used for an anisotropic conductive film, for example, it is easy to uniformly fill the hole with a conductive substance, and the conductivity of the obtained anisotropic conductive film in the film thickness direction can be improved. it can.

2.本ACF
図2に例示するように、本ACF20は、上述した本多孔質膜10と、その孔部12内に充填された導電性物質22と、膜10の両面に被覆された接着層24とを備えている。
2. This ACF
As illustrated in FIG. 2, the ACF 20 includes the porous film 10 described above, a conductive material 22 filled in the pores 12, and an adhesive layer 24 coated on both surfaces of the film 10. ing.

ここで、上記導電性物質は、微小な孔部内へ均一に充填されやすく、膜厚方向の導通に優れるなどの観点から、導電性粒子の群より構成されていると良い。この場合、導電性粒子の平均径は、孔部の孔径などに応じて決定すれば良い。導電性粒子の平均径としては、概ね1μm程度以下を例示することができる。   Here, the conductive substance is preferably composed of a group of conductive particles from the viewpoint of being easily filled into minute holes and being excellent in conduction in the film thickness direction. In this case, the average diameter of the conductive particles may be determined according to the hole diameter of the hole. As an average diameter of electroconductive particle, about 1 micrometer or less can be illustrated in general.

導電性粒子としては、具体的には、例えば、金属粒子、樹脂めっき粒子、カーボン粒子などを例示することができる。これらは、1種または2種以上混合されていても良い。   Specific examples of the conductive particles include metal particles, resin plating particles, and carbon particles. These may be used alone or in combination.

これら導電性粒子のうちでは、金属粒子を好適に用いることができる。電気抵抗が小さく、また、粒子の小径化により、金属の融点が下がるので、低温で熱融着させやすいからである。   Among these conductive particles, metal particles can be preferably used. This is because the electric resistance is small and the melting point of the metal is lowered by reducing the diameter of the particles, so that it is easy to perform heat fusion at a low temperature.

金属粒子としては、具体的には、例えば、Ag粒子、Au粒子、Pt粒子、Ni粒子、Cu粒子、Pd粒子などを例示することができる。これらは1種または2種以上混合されていても良い。これらの金属粒子は、電気導電性に優れるので、膜厚方向の導通を得やすい利点がある。これら金属粒子のうち、とりわけ、Ag粒子を好適に用いることができる。   Specific examples of the metal particles include Ag particles, Au particles, Pt particles, Ni particles, Cu particles, and Pd particles. These may be used alone or in combination. Since these metal particles are excellent in electric conductivity, there is an advantage that conduction in the film thickness direction is easily obtained. Among these metal particles, particularly, Ag particles can be preferably used.

導電性粒子が、金属粒子や樹脂めっき粒子など、少なくとも粒子表面が金属からなる場合、孔部内に充填されたこれら粒子の群は、孔部内において、熱融着されて一体化されていると良い。粒子間の隙間が少なくなるとともに接触抵抗が小さくなり、膜厚方向の電気抵抗を小さくすることができるからである。また、加熱により、これら粒子間に存在する有機物質などが取り除かれるので、これによっても膜厚方向の電気抵抗を小さくすることができるからである。   In the case where the conductive particles are metal particles, resin plating particles, or the like, at least the particle surface is made of metal, the group of these particles filled in the holes is preferably fused and integrated in the holes. . This is because the gap between the particles is reduced, the contact resistance is reduced, and the electric resistance in the film thickness direction can be reduced. Moreover, since the organic substance etc. which exist between these particles are removed by heating, the electrical resistance in the film thickness direction can also be reduced by this.

なお、本ACFでは、本多孔質膜が有する全ての孔部内に導電性物質が充填されていても良いし、孔部の一部に導電性物質が充填されていない箇所が部分的に存在していても良い。すなわち、被接続物が有する導体と対向する孔部のうち、少なくとも1つ以上の孔部内に導電性物質が充填されていれば良い。   In the present ACF, all the pores of the porous membrane may be filled with a conductive substance, or a part of the hole is not filled with a conductive substance. May be. That is, it is only necessary that at least one of the holes facing the conductor of the connected object is filled with a conductive substance.

上記導電性物質を充填する手法は、導電性物質の種類や性状などを考慮して適宜選択することができる。   The method of filling the conductive material can be appropriately selected in consideration of the type and properties of the conductive material.

具体的な導電性物質の充填手法としては、例えば、本多孔質膜を形成するポリアミドイミドが不溶な溶媒中に導電性物質を分散させた分散溶液を用い、(1)この分散溶液中に本多孔質膜を浸漬する方法、(2)本多孔質膜の表面に、上記分散溶液を滴下もしくは塗布する方法、(3)基板上に載置された本多孔質膜表面と一定距離離間させて他の基板を配置し、本多孔質膜と他の基板との隙間に、上記分散溶液を導入し、何れか一方の基板または両基板を膜面方向にスライド移動させる方法などを例示することができる。   As a specific method of filling the conductive material, for example, a dispersion solution in which the conductive material is dispersed in a solvent in which the polyamideimide forming the porous film is insoluble is used. A method of immersing the porous membrane, (2) a method of dripping or coating the dispersion solution on the surface of the porous membrane, and (3) a distance from the surface of the porous membrane placed on the substrate by a certain distance. An example is a method in which another substrate is placed, the dispersion solution is introduced into the gap between the porous membrane and the other substrate, and one or both of the substrates are slid in the film surface direction. it can.

ここで、上記分散溶液において、溶媒としては、エタノールなどのアルコール系溶媒、水、エステル系溶媒、アミド系溶媒、炭化水素系溶媒、ケトン系溶媒、エーテル系溶媒などを例示することができる。これらは1種または2種以上混合されていても良い。   Here, in the dispersion solution, examples of the solvent include alcohol solvents such as ethanol, water, ester solvents, amide solvents, hydrocarbon solvents, ketone solvents, ether solvents, and the like. These may be used alone or in combination.

この際、親水性の溶媒を用いる場合には、本多孔質膜の表面に、予め親水処理を施しておくと良い。本多孔質膜と溶媒との濡れ性が改善され、孔部内に分散溶液を浸透させ易くなるので、孔部内に導電性物質が均一に充填され易くなるからである。   At this time, when a hydrophilic solvent is used, it is preferable that the surface of the porous membrane is subjected to a hydrophilic treatment in advance. This is because the wettability between the present porous membrane and the solvent is improved, and the dispersion solution is easily penetrated into the pores, so that the conductive material is easily uniformly filled in the pores.

親水処理としては、具体的には、例えば、紫外線照射、コロナ処理、プラズマ処理などが挙げられる。   Specific examples of the hydrophilic treatment include ultraviolet irradiation, corona treatment, and plasma treatment.

また、上記分散溶液において、導電性物質の含有量としては、好ましい上限値として30重量%、20重量%、10重量%、5重量%などを例示することができ、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値としては、0.1重量%、0.5重量%、1重量%などを例示することができる。   Further, in the dispersion solution, the content of the conductive substance can be exemplified by 30% by weight, 20% by weight, 10% by weight, 5% by weight, etc. as a preferable upper limit value, which can be combined with these preferable upper limit values. Examples of preferable lower limit values include 0.1% by weight, 0.5% by weight, and 1% by weight.

上記導電性物質の充填手法のうち、好ましくは、孔部内に選択的に導電性物質を充填することができるなどの観点から、(3)の手法を好適に用いることができる。以下、この手法について説明する。   Of the above-described methods for filling the conductive material, the method (3) can be preferably used from the viewpoint that the conductive material can be selectively filled into the hole. Hereinafter, this method will be described.

この充填手法によれば、基板を膜面方向にゆっくり移動させると、溶媒の表面張力により、本多孔質膜の表面では導電性物質が滑っていく。そして、孔部上を分散溶液の界面が通り越すときに、毛管現象による孔部内への分散溶液の浸透と、孔部内での溶媒の蒸発とが繰り返し行われ、孔部内に徐々に導電性物質が充填されていく。これにより、本多孔質膜の孔部内に選択的に導電性物質が充填される。   According to this filling method, when the substrate is moved slowly in the film surface direction, the conductive material slips on the surface of the porous film due to the surface tension of the solvent. Then, when the interface of the dispersion solution passes over the pores, the penetration of the dispersion solution into the pores due to capillary action and the evaporation of the solvent in the pores are repeated, and the conductive substance is gradually formed in the pores. It will be filled. As a result, the conductive material is selectively filled into the pores of the porous membrane.

この充填手法において、両基板は、平坦で平滑な面を有しておれば、特に限定されることなく用いることができる。基板の具体的な材質としては、ガラス、セラミックス、金属などの無機材料、ポリマーなどの有機材料、あるいは、これらを複合した複合材料などが挙げられる。   In this filling method, both substrates can be used without particular limitation as long as they have flat and smooth surfaces. Specific examples of the substrate include inorganic materials such as glass, ceramics, and metals, organic materials such as polymers, and composite materials obtained by combining these materials.

また、本多孔質膜の表面と他の基板との間の距離は、隙間に導入される分散溶液の溶媒の表面張力により、分散溶液を保持できる範囲内にあれば良い。   Further, the distance between the surface of the present porous membrane and another substrate may be within a range in which the dispersion solution can be held by the surface tension of the solvent of the dispersion solution introduced into the gap.

一般的には、両者の距離が過度に近すぎると、隙間に導入できる分散溶液の量が少なくなるので、孔部内に充填される導電性物質の量が少なくなる傾向が見られる。一方、両者の距離が過度に遠すぎると、本多孔質膜の表面と基板との間に分散溶液を保持できなくなり、基板をスライド移動させること自体が難くなる傾向が見られる。したがって、本多孔質膜の表面と基板との間の距離は、これらに留意して設定すれば良い。   In general, if the distance between the two is too close, the amount of the dispersion solution that can be introduced into the gap is reduced, so that the amount of the conductive material filled in the pores tends to be reduced. On the other hand, if the distance between the two is excessively large, the dispersion solution cannot be held between the surface of the porous membrane and the substrate, and it tends to be difficult to slide the substrate itself. Therefore, the distance between the surface of the porous membrane and the substrate may be set in consideration of these.

また、この充填手法を用いる場合、上述した分散溶液の溶媒としては、水を好適に用いることができる。表面張力が大きく、導電性物質を膜表面で移動させやすいなどの利点があるからである。   Moreover, when using this filling method, water can be used suitably as a solvent of the dispersion solution mentioned above. This is because the surface tension is large and there is an advantage that the conductive substance can be easily moved on the film surface.

また、両基板の移動速度は、基本的には、分散溶液の溶媒の種類、溶媒の表面張力、分散溶液の濃度などを考慮し、孔部内への分散溶液の浸透と孔部内での溶媒の蒸発とがバランス良く生じるように、適宜最適な速度を選択すれば良い。   The movement speed of both substrates is basically determined in consideration of the solvent type of the dispersion solution, the surface tension of the solvent, the concentration of the dispersion solution, etc., and the penetration of the dispersion solution into the pores and the solvent in the pores. An optimal speed may be selected as appropriate so that evaporation occurs in a well-balanced manner.

この際、上記移動速度が過度に速くなると、孔部内に充填される導電性物質の量が少なくなったり、導電性物質が不均一に充填される傾向が見られる。一方、上記移動速度が過度に遅くなると、分散溶液中の溶媒が蒸発し、分散溶液の濃度が高くなりすぎて、本多孔質膜の表面に導電性物質が付着する傾向が見られる。したがって、これらに留意して移動速度を選択すると良い。   At this time, when the moving speed is excessively high, the amount of the conductive material filled in the hole portion is reduced, or the conductive material tends to be filled unevenly. On the other hand, when the moving speed is excessively slow, the solvent in the dispersion solution evaporates, the concentration of the dispersion solution becomes too high, and the conductive material tends to adhere to the surface of the porous membrane. Therefore, it is preferable to select the moving speed in consideration of these.

好ましくは、孔部内に導電性物質をより均一に充填できるなどの観点から、移動速度は等速であると良い。移動速度としては、具体的には、例えば、1〜15μm/secなどを例示することができる。   Preferably, the moving speed is preferably constant from the viewpoint of more uniformly filling the hole with the conductive material. Specific examples of the moving speed include 1 to 15 μm / sec.

また、この充填手法では、孔部内に充填される導電性物質の量などに影響がない範囲で、環境雰囲気の温度を高温にしたり、本多孔質膜を加熱したりするなどして、孔部内へ浸透した分散溶液の溶媒の蒸発を促進させても良い。これらを行った場合には、孔部内への導電性物質の充填が促進されるので、上記移動速度を速くすることができる。そのため、異方性導電膜の生産能力などを種々調節することが可能となる。   In addition, in this filling method, the temperature of the environmental atmosphere is increased or the porous membrane is heated within a range that does not affect the amount of the conductive material filled in the hole. The evaporation of the solvent of the dispersed solution that has penetrated into the solution may be promoted. When these are performed, filling of the conductive material into the hole is promoted, so that the moving speed can be increased. For this reason, the production capacity of the anisotropic conductive film can be variously adjusted.

このようにして孔部内に導電性物質が充填された本多孔質膜の両面には、接着層が被覆される。接着層形成材料としては、被接続物との接着性、絶縁性を有するものであれば、何れのものでもあっても用いることができる。具体的には、例えば、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、シアネート樹脂などの熱硬化性樹脂を半硬化状態としたプリプレグなどを例示することができる。   In this way, the adhesive layer is coated on both surfaces of the porous membrane in which the pores are filled with the conductive material. As the adhesive layer forming material, any material can be used as long as it has adhesiveness and insulating properties with respect to the connected object. Specifically, for example, a prepreg in which a thermosetting resin such as an epoxy resin, an unsaturated polyester resin, a bismaleimide resin, or a cyanate resin is in a semi-cured state can be exemplified.

接着層がプリプレグである場合には、被接続物が有する導体間の隙間部分に接着層が流動排除されやすく、また、被接続部との密着性も高まり、高い接続信頼性を確保しやすい。   In the case where the adhesive layer is a prepreg, the adhesive layer is likely to flow away from the gap between the conductors of the connected object, and the adhesiveness with the connected part is increased, so that high connection reliability can be easily ensured.

上記熱硬化性樹脂としては、被接続部との密着性に優れるなどの観点から、エポキシ系樹脂を好適に用いることができる。   As said thermosetting resin, an epoxy-type resin can be used suitably from a viewpoint of being excellent in adhesiveness with a to-be-connected part.

また、接着層の厚さは、被接続物が有する導体の高さ、導体の間隔などを考慮して適宜設定すれば良い。一般に、接着層の厚さが過度に薄すぎると、熱圧着後の機械的強度が低くなる傾向が見られる。一方、接着層の厚さが過度に厚すぎると、熱圧着時に接着層が流動排除されにくくなる傾向が見られる。したがって、接着層の厚さは、これらに留意して選択すると良い。   In addition, the thickness of the adhesive layer may be set as appropriate in consideration of the height of the conductor of the connected object, the distance between the conductors, and the like. In general, if the thickness of the adhesive layer is too thin, the mechanical strength after thermocompression tends to be low. On the other hand, when the thickness of the adhesive layer is excessively large, there is a tendency that the adhesive layer is less likely to be fluidly eliminated during thermocompression bonding. Therefore, the thickness of the adhesive layer is preferably selected in consideration of these.

接着層の厚さとしては、好ましい上限値として100μm、50μmなどを例示することができ、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値としては、0.1μm、1μmなどを例示することができる。   Examples of the thickness of the adhesive layer include 100 μm and 50 μm as preferable upper limit values, and examples of preferable lower limit values that can be combined with these preferable upper limit values include 0.1 μm and 1 μm.

接着層を被覆する具体的な方法としては、コーターなどの公知の塗布手段を用いて接着層形成材料を塗布する方法や、予め作製しておいた膜状の接着層をラミネートする方法などが挙げられる。   Specific methods for coating the adhesive layer include a method of applying an adhesive layer forming material using a known coating means such as a coater, and a method of laminating a film-like adhesive layer prepared in advance. It is done.

以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail using examples.

1.実施例に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製
(実施例1に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
酸成分としてトリメリット酸無水物76.6g、脂環式ジイソシアネート成分としてイソホロンジイソシアネート204.5g、触媒としてフッ化カリウム1gを、1,3ジメチル2イミダゾリジノン(極性溶媒)とともに、ポリマー濃度が50重量%となるように反応容器に仕込んだ後(溶媒はN−メチル−2−ピロリドン:NMP)、180℃に昇温して1時間反応させた。
1. Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example (Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 1)
76.6 g of trimellitic anhydride as the acid component, 204.5 g of isophorone diisocyanate as the alicyclic diisocyanate component, 1 g of potassium fluoride as the catalyst, together with 1,3 dimethyl 2-imidazolidinone (polar solvent) and a polymer concentration of 50 After being charged in a reaction vessel so as to be wt% (solvent is N-methyl-2-pyrrolidone: NMP), the temperature was raised to 180 ° C. and the reaction was carried out for 1 hour.

次いで、得られたポリマー溶液(ポリマーの重量平均分子量Mw=82000)を冷却しながらポリマー濃度が20重量%になるように希釈し、これを撹拌している水中に投入し沈澱させ乾燥した。   Next, the obtained polymer solution (polymer weight average molecular weight Mw = 82000) was diluted with cooling so that the polymer concentration became 20% by weight, and this was poured into stirring water, precipitated and dried.

これにより、トリメリット酸無水物30molと、イソホロンジイソシアネート70molとを重合成分として含むポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例1用のポリアミドイミドという。   As a result, a polyamideimide containing 30 mol of trimellitic anhydride and 70 mol of isophorone diisocyanate as polymerization components was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 1.

(実施例2に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物103.4g、イソホロンジイソシアネート177.7gとした以外は、実施例1用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物40molと、イソホロンジイソシアネート60molとを重合成分として含むポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例2用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=78000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 2)
Except for 103.4 g of trimellitic anhydride and 177.7 g of isophorone diisocyanate, 40 mol of trimellitic anhydride and 60 mol of isophorone diisocyanate are included as polymerization components in the same manner as in the production of polyamideimide for Example 1. Polyamideimide was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 2. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 78000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例3に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物131.0g、イソホロンジイソシアネート150.1gとした以外は、実施例1用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物50molと、イソホロンジイソシアネート50molとを重合成分として含むポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例3用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=80000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 3)
Except for 131.0 g of trimellitic anhydride and 150.1 g of isophorone diisocyanate, 50 mol of trimellitic anhydride and 50 mol of isophorone diisocyanate are included as polymerization components in the same manner as in the production of polyamideimide for Example 1. Polyamideimide was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 3. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 80000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例4に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物159.4g、イソホロンジイソシアネート121.7gとした以外は、実施例1用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物60molと、イソホロンジイソシアネート40molとを重合成分として含むポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例4用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=75000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 4)
Except for 159.4 g of trimellitic anhydride and 121.7 g of isophorone diisocyanate, 60 mol of trimellitic anhydride and 40 mol of isophorone diisocyanate are included as polymerization components in the same manner as in the production of polyamideimide for Example 1. Polyamideimide was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 4. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 75000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例5に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物203.4g、イソホロンジイソシアネート77.7gとした以外は、実施例1用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物60molと、イソホロンジイソシアネート40molとを重合成分として含むポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例5用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=72000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 5)
Except for 203.4 g of trimellitic anhydride and 77.7 g of isophorone diisocyanate, 60 mol of trimellitic anhydride and 40 mol of isophorone diisocyanate are included as polymerization components in the same manner as in the production of polyamideimide for Example 1. A polyamideimide was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 5. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 72000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例6に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
酸成分としてトリメリット酸無水物87.9g、脂環式ジイソシアネート成分としてイソホロンジイソシアネート117.1g、触媒としてフッ化カリウム1gを、1,3ジメチル2イミダゾリジノン(極性溶媒)とともに、ポリマー濃度が50重量%となるように反応容器に仕込んだ後(溶媒NMP)、180℃に昇温して1時間反応させた。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 6)
87.9 g trimellitic anhydride as acid component, 117.1 g isophorone diisocyanate as alicyclic diisocyanate component, 1 g potassium fluoride as catalyst, 1,3 dimethyl 2-imidazolidinone (polar solvent) and polymer concentration 50 After being charged into the reaction vessel so as to be wt% (solvent NMP), the temperature was raised to 180 ° C. and the reaction was carried out for 1 hour.

さらに、ポリ−ε−カプロラクトン(重量平均分子量Mw=10000)133.3gを反応容器に加えて3時間反応を続けた。   Furthermore, 133.3 g of poly-ε-caprolactone (weight average molecular weight Mw = 10000) was added to the reaction vessel, and the reaction was continued for 3 hours.

次いで、得られたポリマー溶液(ポリマーの重量平均分子量Mw=48000)を冷却しながらポリマー濃度が20重量%になるように希釈し、これを撹拌している水中に投入し沈澱させ乾燥した。   Next, the obtained polymer solution (polymer weight average molecular weight Mw = 48000) was diluted with cooling so that the polymer concentration became 20% by weight, and this was poured into stirring water, precipitated and dried.

これにより、トリメリット酸無水物53molと、イソホロンジイソシアネート47molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトン(ポリエステルの一種、以下省略)が33重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例6用のポリアミドイミドという。   As a result, a polyamideimide in which 33% by weight of polycaprolactone (a type of polyester, hereinafter omitted) was copolymerized with a polyamideimide containing 53 mol of trimellitic anhydride and 47 mol of isophorone diisocyanate as polymerization components was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 6.

(実施例7に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物96.3g、イソホロンジイソシアネート51.5g、ポリ−ε−カプロラクトン133.3gとした以外は、実施例6用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物68molと、イソホロンジイソシアネート32molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトンが54重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例7用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=53000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 7)
In the same manner as in the preparation of polyamideimide for Example 6, except that 96.3 g of trimellitic anhydride, 51.5 g of isophorone diisocyanate, and 133.3 g of poly-ε-caprolactone, Polyamideimide obtained by copolymerizing 54% by weight of polycaprolactone with polyamideimide containing 32 mol of isophorone diisocyanate as a polymerization component was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 7. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 53000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例8に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物116.4g、イソホロンジイソシアネート99.9g、ポリ−ε−カプロラクトン64.8gとした以外は、実施例6用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物57molと、イソホロンジイソシアネート43molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトンが28重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例8用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=48000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 8)
Trimellitic anhydride 57mol, similar to the production of polyamideimide for Example 6, except that 116.4g trimellitic anhydride, 99.9g isophorone diisocyanate, 64.8g poly-ε-caprolactone, A polyamideimide obtained by copolymerizing 28% by weight of polycaprolactone with a polyamideimide containing 43 mol of isophorone diisocyanate as a polymerization component was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 8. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 48000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例9に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物125.8g、イソホロンジイソシアネート43.2g、ポリ−ε−カプロラクトン112.0gとした以外は、実施例6用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物77molと、イソホロンジイソシアネート23molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトンが47重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例9用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=45000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 9)
Except for 125.8 g of trimellitic anhydride, 43.2 g of isophorone diisocyanate, and 112.0 g of poly-ε-caprolactone, 77 mol of trimellitic anhydride, A polyamideimide in which 47% by weight of polycaprolactone was copolymerized with a polyamideimide containing 23 mol of isophorone diisocyanate as a polymerization component was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 9. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 45000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例10に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物144.7g、イソホロンジイソシアネート82.7g、ポリ−ε−カプロラクトン53.8gとした以外は、実施例6用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物67molと、イソホロンジイソシアネート33molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトンが24重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例10用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=56000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 10)
Except for the trimellitic anhydride 144.7 g, isophorone diisocyanate 82.7 g, and poly-ε-caprolactone 53.8 g, in the same manner as in the preparation of the polyamideimide for Example 6, 67 mol trimellitic anhydride, Polyamideimide obtained by copolymerizing 24% by weight of polycaprolactone with polyamideimide containing 33 mol of isophorone diisocyanate as a polymerization component was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 10. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 56000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例11に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物154.2g、イソホロンジイソシアネート35.4g、ポリ−ε−カプロラクトン91.5gとした以外は、実施例6用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物83molと、イソホロンジイソシアネート17molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトンが39重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例11用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=52000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 11)
Trimellitic anhydride 83mol, similar to the production of polyamideimide for Example 6, except that 154.2g of trimellitic anhydride, 35.4g of isophorone diisocyanate, 91.5g of poly-ε-caprolactone, A polyamideimide obtained by copolymerizing 39% by weight of polycaprolactone with a polyamideimide containing 17 mol of isophorone diisocyanate as a polymerization component was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 11. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 52000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例12に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物172.5g、イソホロンジイソシアネート65.9g、ポリ−ε−カプロラクトン42.7gとした以外は、実施例6用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物75molと、イソホロンジイソシアネート25molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトンが19重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例12用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=58000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 12)
75 mol trimellitic anhydride, in the same manner as in the production of polyamideimide for Example 6, except that 172.5 g trimellitic anhydride, 65.9 g isophorone diisocyanate, and 42.7 g poly-ε-caprolactone, A polyamideimide in which 19% by weight of polycaprolactone was copolymerized with a polyamideimide containing 25 mol of isophorone diisocyanate as a polymerization component was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 12. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 58000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例13に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物181.5g、イソホロンジイソシアネート27.7g、ポリ−ε−カプロラクトン71.8gとした以外は、実施例6用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物88molと、イソホロンジイソシアネート12molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトンが24重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例13用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=47000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 13)
Except for 181.5 g of trimellitic anhydride, 27.7 g of isophorone diisocyanate, and 71.8 g of poly-ε-caprolactone, in the same manner as in the preparation of polyamideimide for Example 6, 88 mol of trimellitic anhydride, A polyamideimide obtained by copolymerizing 24% by weight of polycaprolactone with a polyamideimide containing 12 mol of isophorone diisocyanate as a polymerization component was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 13. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 47000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例14に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物213.8g、イソホロンジイソシアネート40.7g、ポリ−ε−カプロラクトン26.6gとした以外は、実施例6用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物86molと、イソホロンジイソシアネート14molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトンが12重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例14用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=46000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 14)
Except for 213.8 g of trimellitic anhydride, 40.7 g of isophorone diisocyanate, and 26.6 g of poly-ε-caprolactone, in the same manner as the production of polyamideimide for Example 6, 86 mol of trimellitic anhydride, A polyamideimide obtained by copolymerizing 12% by weight of polycaprolactone with a polyamideimide containing 14 mol of isophorone diisocyanate as a polymerization component was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 14. In addition, it was the polymer weight average molecular weight Mw = 46000 of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

(実施例15に係る多孔質膜用のポリアミドイミドの作製)
トリメリット酸無水物220.5g、イソホロンジイソシアネート17.0g、ポリ−ε−カプロラクトン43.6gとした以外は、実施例6用のポリアミドイミドの製造と同様にして、トリメリット酸無水物94molと、イソホロンジイソシアネート6molとを重合成分として含むポリアミドイミドにポリカプロラクトンが20重量%共重合されたポリアミドイミドを得た。以下、これを実施例15用のポリアミドイミドという。なお、製造途中で得られたポリマー溶液のポリマーの重量平均分子量Mw=42000であった。
(Preparation of polyamideimide for porous membrane according to Example 15)
94 mol trimellitic anhydride, similar to the production of polyamideimide for Example 6, except that 220.5 g trimellitic anhydride, 17.0 g isophorone diisocyanate, 43.6 g poly-ε-caprolactone, A polyamideimide obtained by copolymerizing 20% by weight of polycaprolactone with a polyamideimide containing 6 mol of isophorone diisocyanate as a polymerization component was obtained. Hereinafter, this is referred to as polyamideimide for Example 15. In addition, it was the weight average molecular weight Mw = 42000 of the polymer of the polymer solution obtained in the middle of manufacture.

2.比較例1に係る多孔質膜用のシロキサン変性ポリアミドイミドの作製
トリメリット酸無水物220.5g、ジフェニルメタン・ジイソシアネート17.0g、フッ化カリウム1gを、1,3ジメチル2イミダゾリジノン(極性溶媒)とともに、ポリマー濃度が50重量%となるように反応容器に仕込んだ後(溶媒NMP使用)、180℃に昇温して1時間反応させた。
2. Preparation of siloxane-modified polyamideimide for porous membrane according to Comparative Example 1 220.5 g of trimellitic anhydride, 17.0 g of diphenylmethane diisocyanate, 1 g of potassium fluoride, 1,3 dimethyl 2-imidazolidinone (polar solvent) At the same time, the reaction vessel was charged with a polymer concentration of 50% by weight (using a solvent NMP), and then heated to 180 ° C. and reacted for 1 hour.

さらに、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン43.6gを反応容器に加えて3時間反応を続けた。   Further, 43.6 g of 1,3-bis (3-aminopropyl) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane was added to the reaction vessel, and the reaction was continued for 3 hours.

次いで、得られたポリマー溶液(ポリマーの重量平均分子量Mw=32000)を冷却しながらポリマー濃度が20重量%になるように希釈し、これを撹拌している水中に投入し沈澱させ乾燥した。これにより、比較例1用のシロキサン変性ポリアミドイミドを得た。   Next, the obtained polymer solution (polymer weight average molecular weight Mw = 32000) was diluted with cooling so that the polymer concentration became 20% by weight, and this was poured into stirring water, precipitated and dried. As a result, a siloxane-modified polyamideimide for Comparative Example 1 was obtained.

3.比較例2に係る多孔質膜用のポリイオン性錯体溶液の作製
3,4’−ジアミノジフェニルエーテル120.2g(0.6mol)、イソフタル酸74.7g(0.45mol)、ピリジン135g(1.71mol)、亜リン酸トリフェニル279g(0.9mol)、塩化リチウム15.3g(0.36mol)、塩化カルシウム44.1g(0.4mol)のN−メチル−2−ピロリドン5リットル混合溶液を100℃で4時間撹拌した。これを放冷後、重合体溶液をメタノール5リットル中に注入し、室温で1時間撹拌し、析出した固形物を濾別後、濾過物をメタノールを用いて洗浄し、乾燥した。
3. Preparation of polyionic complex solution for porous membrane according to Comparative Example 2 120.2 g (0.6 mol) of 3,4'-diaminodiphenyl ether, 74.7 g (0.45 mol) of isophthalic acid, 135 g of pyridine (1.71 mol) , A mixed solution of 279 g (0.9 mol) of triphenyl phosphite, 15.3 g (0.36 mol) of lithium chloride and 44.1 g (0.4 mol) of calcium chloride in 5 liters of N-methyl-2-pyrrolidone at 100 ° C. Stir for 4 hours. After allowing to cool, the polymer solution was poured into 5 liters of methanol, stirred at room temperature for 1 hour, the precipitated solid was filtered off, and the filtrate was washed with methanol and dried.

次いで、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物656g(2.05mol)のN−メチル−2−ピロリドン5.4リットル溶液に、氷冷下、得られた固形物を添加した。添加後、窒素雰囲気下、氷冷下で1時間、室温で4時間反応させて、ポリアミック酸溶液を得た。   Subsequently, the obtained solid substance was added to a solution of 656 g (2.05 mol) of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride in 5.4 liters of N-methyl-2-pyrrolidone under ice cooling. Added. After the addition, the mixture was reacted for 1 hour under a nitrogen atmosphere and ice-cooling, and at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution.

このポリアミック酸溶液を酢酸エチルにゆっくりと投入し再沈殿させ、濾過、乾燥処理をしてポリアミック酸粉末を得た。このポリアミック酸100mgをpH8の水に熱をかけて溶解させた。   This polyamic acid solution was slowly poured into ethyl acetate to cause reprecipitation, followed by filtration and drying to obtain a polyamic acid powder. 100 mg of this polyamic acid was dissolved in water at pH 8 by heating.

一方、ジメチルジオクタデシルアンモニウムブロミド 200mgを200mLの水に超音波をかけて分散させた。上記の2液を混合し、温度を室温に戻して一晩撹拌した。この後クロロホルムを加え、分液漏斗でクロロホルム相を分取した。エバポレータでクロロホルムを濃縮し、アセトンで再沈した。遠心分離機で2600rpm,30分遠心分離し、溶媒を乾燥させた。これにより、ポリイオン性錯体溶液を得た。   Meanwhile, 200 mg of dimethyl dioctadecyl ammonium bromide was dispersed in 200 mL of water by applying ultrasonic waves. The above two liquids were mixed, and the temperature was returned to room temperature and stirred overnight. Thereafter, chloroform was added, and the chloroform phase was separated with a separatory funnel. Chloroform was concentrated with an evaporator and reprecipitated with acetone. Centrifugation was performed at 2600 rpm for 30 minutes using a centrifuge, and the solvent was dried. As a result, a polyionic complex solution was obtained.

4.実施例および比較例に係る多孔質膜の作製
(実施例1〜15および比較例1に係る多孔質膜の作製)
実施例1用のポリアミドイミドをクロロホルムに0.2重量%の濃度で溶解した液に、両親媒性物質として、ドデシルアクリルアミドとカプロン酸の共重合体を上記ポリアミドイミドに対して10重量%添加し、高分子溶液を調製した。
4). Production of porous films according to Examples and Comparative Examples (Production of porous films according to Examples 1 to 15 and Comparative Example 1)
To a solution obtained by dissolving the polyamideimide for Example 1 in chloroform at a concentration of 0.2% by weight, a copolymer of dodecylacrylamide and caproic acid as an amphiphile was added at 10% by weight with respect to the polyamideimide. A polymer solution was prepared.

次いで、この高分子溶液を、相対湿度70%の空気を2L/分の流量で連続的に吹き付けているシャーレ(φ90mm)に塗布膜厚1560μmでキャストし、クロロホルムを揮発させた。その結果、膜厚方向に貫通した多数の孔部を有し、孔部はハニカム状に配列されるとともに、孔部の内壁面は外側方向に湾曲されている、ポリアミドイミドよりなる多孔質膜(膜厚4μm)が得られた。以下、これを実施例1に係る多孔質膜という。   Next, this polymer solution was cast at a coating film thickness of 1560 μm onto a petri dish (φ90 mm) continuously sprayed with air having a relative humidity of 70% at a flow rate of 2 L / min to volatilize chloroform. As a result, a porous membrane made of polyamideimide having a large number of pores penetrating in the film thickness direction, the pores being arranged in a honeycomb shape, and the inner wall surface of the pores being curved outwardly ( A film thickness of 4 μm) was obtained. Hereinafter, this is referred to as a porous film according to Example 1.

また、実施例2〜15用のポリアミドイミドを用いた以外は実施例1に係る多孔質膜の作製手順と同様にして、膜厚方向に貫通した多数の孔部を有し、孔部はハニカム状に配列されるとともに、孔部の内壁面は外側方向に湾曲されている、それぞれのポリアミドイミドよりなる多孔質膜(各膜厚4μm)を作製した。以下、これらを実施例2〜15に係る多孔質膜という。   Moreover, it has many hole parts penetrated in the film thickness direction like the preparation procedure of the porous film which concerns on Example 1 except having used the polyamideimide for Examples 2-15, and a hole part is a honeycomb. A porous membrane (each film thickness: 4 μm) made of each polyamideimide was prepared, in which the inner wall surfaces of the holes were curved outwardly. Hereinafter, these are referred to as porous membranes according to Examples 2 to 15.

図3および図4に、得られた多孔質膜の例として、実施例3および実施例5に係る多孔質膜の電子顕微鏡写真を示す。   3 and 4 show electron micrographs of the porous films according to Examples 3 and 5 as examples of the obtained porous film.

また、比較例1用のシロキサン変性ポリアミドイミドを用いた以外は実施例1に係る多孔質膜の作製手順と同様にして、膜厚方向に貫通した多数の孔部を有し、孔部はハニカム状に配列されるとともに、孔部の内壁面は外側方向に湾曲されている、シロキサン変性ポリアミドイミドよりなる多孔質膜(膜厚4μm)を作製した。以下、これを比較例1に係る多孔質膜という。   Moreover, it had many holes penetrated in the film thickness direction in the same manner as the porous film production procedure according to Example 1 except that the siloxane-modified polyamideimide for Comparative Example 1 was used. A porous film (film thickness: 4 μm) made of siloxane-modified polyamideimide was prepared, in which the inner wall surfaces of the holes were curved outwardly. Hereinafter, this is referred to as a porous film according to Comparative Example 1.

(比較例2に係る多孔質膜の作製)
上記作製したポリイオン性錯体溶液を希釈し、0.2重量%の濃度のクロロホルム溶液を調製した。この溶液を、相対湿度70%の空気を2L/分の流量で連続的に吹き付けているシャーレ(φ90mm)に塗布膜厚1560μmでキャストし、クロロホルムを揮発させた。その結果、膜厚方向に貫通した多数の孔部を有し、孔部はハニカム状に配列されるとともに、孔部の内壁面は外側方向に湾曲されている、ポリイオン性錯体よりなる前駆体膜が得られた。この前駆体膜をベンゼン:無水酢酸:ピリジン=3:1:1の溶液中に一晩浸漬し、ポリイオン性錯体をイミド化処理をしてポリアミドイミドよりなる多孔質膜(膜厚4μm)を作製した。なお、脂質は、エタノールでリンスすることによって除去した。
(Preparation of porous membrane according to Comparative Example 2)
The prepared polyionic complex solution was diluted to prepare a 0.2 wt% chloroform solution. This solution was cast at a coating film thickness of 1560 μm on a petri dish (φ90 mm) in which air having a relative humidity of 70% was continuously blown at a flow rate of 2 L / min to volatilize chloroform. As a result, a precursor film made of a polyionic complex has a large number of holes penetrating in the film thickness direction, the holes are arranged in a honeycomb shape, and the inner wall surfaces of the holes are curved outward. was gotten. This precursor film is immersed in a solution of benzene: acetic anhydride: pyridine = 3: 1: 1 overnight, and a polyionic complex is imidized to produce a porous film (film thickness: 4 μm) made of polyamideimide. did. The lipid was removed by rinsing with ethanol.

5.実施例および比較例に係る異方性導電膜の作製
実施例1に係る多孔質膜を、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体フィルム(以下、「FEPフィルム」という。)上に載置し、多孔質膜の表面に、UV照射器(セン特殊光源(株)製)を用いてUV光(258nm)を10分間照射し、膜表面を親水処理した。
5. Production of Anisotropic Conductive Film According to Examples and Comparative Examples The porous film according to Example 1 is placed on a tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer film (hereinafter referred to as “FEP film”). Then, the surface of the porous membrane was irradiated with UV light (258 nm) for 10 minutes using a UV irradiator (manufactured by Sen Special Light Source Co., Ltd.), and the membrane surface was subjected to a hydrophilic treatment.

次いで、上記FEPフィルム上に固定された多孔質膜と一定距離隔ててガラス基板を配置し、この多孔質膜と他のガラス基板との隙間に、濃度3重量%のAg水分散溶液(日本ペイント製、「ファインスフィアSVW102」、平均粒径50nm)を注入し、多孔質膜と他のガラス基板との隙間にAg水分散溶液を表面張力により保持させた。   Next, a glass substrate is arranged at a certain distance from the porous membrane fixed on the FEP film, and an Ag aqueous dispersion (Nippon Paint) having a concentration of 3% by weight is placed in the gap between the porous membrane and another glass substrate. “Fine Sphere SVW102” having an average particle size of 50 nm) was injected, and the Ag aqueous dispersion was held by the surface tension in the gap between the porous membrane and the other glass substrate.

次いで、ガラス基板を一定速度(5〜10μm/sec)でスライド移動させ、ガラス基板を引き離した。その結果、孔部内にAg粒子が選択的に充填された多孔質膜が得られた。なお、孔部内に充填されたAg粒子は、150℃で3分間加熱することにより熱融着させた。   Next, the glass substrate was slid at a constant speed (5 to 10 μm / sec), and the glass substrate was pulled away. As a result, a porous membrane was obtained in which the pores were selectively filled with Ag particles. The Ag particles filled in the pores were thermally fused by heating at 150 ° C. for 3 minutes.

次いで、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン製、「エピコート1001」)と、NBR(日本ゼオン製、「ニポール1072J」)と、イミダゾール硬化剤(四国化成製、「キュアゾールC11Z」)とを、ビスフェノールA型エポキシ樹脂:NBR:イミダゾール硬化剤=40:50:5の重量割合で、固形分が30重量%となるようにMEK/THF=50/50の混合溶媒に溶解し、この液を60℃で10分間乾燥させて接着層を作製した。   Next, a bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Japan Epoxy Resin, “Epicoat 1001”), NBR (manufactured by Nippon Zeon, “Nipol 1072J”), and an imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Kasei, “Curesol C11Z”) are combined with bisphenol. A-type epoxy resin: NBR: imidazole curing agent = 40: 50: 5 In a weight ratio of 40: 50: 5, dissolved in a mixed solvent of MEK / THF = 50/50 so that the solid content is 30% by weight. And dried for 10 minutes to prepare an adhesive layer.

次いで、この接着層を、孔部内にAg粒子が選択的に充填された多孔質膜の表面に、23℃±2℃、1MPaの条件でラミネートした後、多孔質膜の裏面からFEPフィルムを剥離した。次いで、多孔質膜の裏面に、同様の条件で、接着層をラミネートした。これにより、実施例1に係る異方性導電膜を作製した。   Next, after laminating this adhesive layer on the surface of the porous membrane in which Ag particles are selectively filled in the pores under the conditions of 23 ° C. ± 2 ° C. and 1 MPa, the FEP film is peeled off from the back surface of the porous membrane did. Next, an adhesive layer was laminated on the back surface of the porous film under the same conditions. Thereby, an anisotropic conductive film according to Example 1 was produced.

実施例2〜15に係る多孔質膜、比較例1〜2に係る多孔質膜を用いた以外は、実施例1に係る異方性導電膜の作製手順と同様にして、実施例2〜15に係る異方性導電膜、比較例1〜2に係る異方性導電膜を作製した。   Except for using the porous film according to Examples 2 to 15 and the porous film according to Comparative Examples 1 to 2, Examples 2 to 15 were carried out in the same manner as in the procedure for producing the anisotropic conductive film according to Example 1. The anisotropic conductive film which concerns on this, and the anisotropic conductive film which concerns on Comparative Examples 1-2 were produced.

6.実施例および比較例に係る多孔質膜、異方性導電膜の評価
実施例および比較例に係る多孔質膜、異方性導電膜の評価は、以下のようにして行った。
6). Evaluation of porous films and anisotropic conductive films according to examples and comparative examples Evaluation of porous films and anisotropic conductive films according to examples and comparative examples was performed as follows.

(多孔質膜を形成するポリマーの耐熱性)
各多孔質膜を形成するポリマーにつき、動的粘弾性測定装置((株)ユービーエム製「Rheogel−E4000F」)を用い、動的粘弾性測定(測定条件:歪み0.1%、周波数15Hz、温度−50℃〜300℃、昇温速度3℃/min)により、ポリマーのガラス転移温度Tgを測定した。ポリマーのガラス転移温度Tgが130℃以上のものを合格「○」と評価し、130℃未満のものを不合格「×」と評価した。また、合格「○」としたもののうち、ポリマーのガラス転移温度Tgが130℃以上〜150℃未満の範囲内であったものを「△」とした。
(The heat resistance of the polymer that forms the porous membrane)
About the polymer which forms each porous film, dynamic viscoelasticity measurement (measuring conditions: strain 0.1%, frequency 15Hz, using a dynamic viscoelasticity measuring device ("Rheogel-E4000F" manufactured by UBM)) The glass transition temperature Tg of the polymer was measured at a temperature of −50 ° C. to 300 ° C. and a heating rate of 3 ° C./min. A polymer having a glass transition temperature Tg of 130 ° C. or higher was evaluated as a pass “◯”, and a polymer having a glass transition temperature Tg of less than 130 ° C. was evaluated as a reject “X”. Further, among the samples that were passed “◯”, those in which the glass transition temperature Tg of the polymer was within the range of 130 ° C. or higher and lower than 150 ° C. were set as “Δ”.

(多孔質膜の孔部の状態)
各多孔質膜表面を光学顕微鏡にて3000倍の倍率で観察し、0.075mm×0.1mmの視野中に、孔崩れが5個未満であった場合を合格「○」と評価し、5個以上あった場合を不合格「×」と評価した。また、合格「○」としたもののうち、孔崩れが相対的に多く見られたものを「△」とした。
(Porosity state of porous membrane)
The surface of each porous membrane was observed with an optical microscope at a magnification of 3000 times, and a case where less than 5 holes collapsed in a field of view of 0.075 mm × 0.1 mm was evaluated as a pass “◯”. The case where there were more than one was evaluated as a failure “x”. In addition, among those that passed “◯”, those that showed a relatively large number of hole collapses were marked “△”.

(多孔質膜の形成工程数)
各多孔質膜の形成工程が相対的に少なく、実生産上許容範囲内であるものを合格「○」と評価し、形成工程が相対的に多く、実生産上許容範囲を越えるものを不合格「×」と評価した。
(Number of porous membrane formation steps)
Each porous membrane forming process is relatively few, and those that are within the allowable range for actual production are evaluated as “good”, and those that have relatively many forming processes that exceed the allowable range for actual production are rejected. Evaluated as “x”.

(異方性導電膜の異方導電性)
各異方性導電膜につき、膜厚方向の導通性能および膜面方向の絶縁性能を評価することにより異方導電性の評価を行った。
(Anisotropic conductivity of anisotropic conductive film)
Each anisotropic conductive film was evaluated for anisotropic conductivity by evaluating the conduction performance in the film thickness direction and the insulation performance in the film surface direction.

(1)膜厚方向の導通性能の評価
膜厚方向の導通性能の評価は、以下のように行った。すなわち、各異方性導電膜の一方面を、30μmピッチのくし型電極(隣り合う電極が、絶縁基材により互いに絶縁されて配置されているくし状の電極)にそれぞれ仮圧着した。次いで、各異方性導電膜の他方面側に銅板を置き、170℃で20秒間本圧着し、各試料Aを作製した。次いで、各試料Aの導通性能をテスター(AND社製、「AD5522」)で測定した。
(1) Evaluation of conduction performance in the film thickness direction Evaluation of conduction performance in the film thickness direction was performed as follows. That is, one surface of each anisotropic conductive film was temporarily press-bonded to a comb-shaped electrode having a pitch of 30 μm (comb-like electrodes in which adjacent electrodes are insulated from each other by an insulating base material). Next, a copper plate was placed on the other surface side of each anisotropic conductive film and subjected to main pressure bonding at 170 ° C. for 20 seconds to prepare each sample A. Next, the conduction performance of each sample A was measured with a tester (manufactured by AND, “AD5522”).

膜厚方向の抵抗が5Ω以下のものを合格「○」と評価し、5Ωを越えたものを不合格「×」として評価した。   Those having a resistance in the film thickness direction of 5Ω or less were evaluated as pass “◯”, and those exceeding 5Ω were evaluated as reject “x”.

(2)膜面方向の絶縁性能の評価
膜面方向の絶縁性能の評価は、以下のように行った。すなわち、各異方性導電膜の一方面を、30μmピッチのくし型電極にそれぞれ仮圧着した。次いで、各異方性導電膜の他方面側にガラス板を置き、170℃で20秒間本圧着し、各試料Bを作製した。次いで、各試料Bの絶縁性能をテスターで測定した。
(2) Evaluation of insulation performance in the film surface direction Evaluation of the insulation performance in the film surface direction was performed as follows. That is, one surface of each anisotropic conductive film was temporarily pressure-bonded to a comb-shaped electrode having a pitch of 30 μm. Next, a glass plate was placed on the other surface side of each anisotropic conductive film and subjected to main pressure bonding at 170 ° C. for 20 seconds to prepare each sample B. Next, the insulation performance of each sample B was measured with a tester.

膜面方向の抵抗が10Ω以上のものを合格「○」と評価し、10Ω未満のものを不合格「×」として評価した。また、合格「○」としたもののうち、膜面方向の抵抗が10〜10Ωの範囲内であったものを「△」とした。 Resistance of the film surface direction was evaluated as acceptable "○" of not less than 10 7 Omega, was evaluated of less than 10 7 Omega as unacceptable "×". In addition, among the samples that passed “◯”, those in which the resistance in the film surface direction was within the range of 10 7 to 10 8 Ω were rated “Δ”.

(異方性導電膜の外観)
各異方性導電膜につき、製造後、23℃±2℃の温度で24時間保存した後、外観を目視で観察した。この際、多孔質膜と接着層との間に、ふくれ・剥離が無かったものを合格「○」と評価し、ふくれ・剥離が見られたものを不合格「×」と評価した。
(Appearance of anisotropic conductive film)
Each anisotropic conductive film was stored for 24 hours at a temperature of 23 ° C. ± 2 ° C. after production, and then visually observed for appearance. At this time, the case where there was no blistering / peeling between the porous film and the adhesive layer was evaluated as a pass “◯”, and the case where blistering / peeling was observed was evaluated as a fail “x”.

以上の評価結果を表1〜2に示す。   The above evaluation results are shown in Tables 1-2.

表1〜2によれば、本発明で規定するポリアミドイミドではなく、シロキサン変性ポリアミドイミドより形成された比較例1に係る多孔質膜を用いた比較例1に係る異方性導電膜は、シロキサン変性に起因して、多孔質膜と接着層との密着性に劣っていることが分かる。   According to Tables 1 and 2, the anisotropic conductive film according to Comparative Example 1 using the porous film according to Comparative Example 1 formed from siloxane-modified polyamideimide instead of the polyamideimide specified in the present invention is siloxane. It can be seen that due to the modification, the adhesion between the porous membrane and the adhesive layer is poor.

また、比較例2に係る多孔質膜は、上述した通り、実施例に係る多孔質膜と比較して、膜形成時に、水からクロロホルムに溶媒置換する工程や、前駆体膜を形成後、イミド化処理する工程を含んでおり、その製造工程数が非常に多く煩雑であった。そのため、比較例2に係る多孔質膜、これを用いた比較例2に係る異方性導電膜は、生産性に劣っていることが分かる。   In addition, as described above, the porous film according to Comparative Example 2 was compared with the porous film according to the Example. The manufacturing process was included, and the number of manufacturing steps was very large and complicated. Therefore, it turns out that the porous membrane which concerns on the comparative example 2, and the anisotropic electrically conductive film which uses this for the comparative example 2 are inferior in productivity.

これらに対し、実施例に係る多孔質膜は、疎水性溶媒に可溶な特定のポリアミドイミドを用いているので、疎水性溶媒に可溶な他のポリマーと同様に、自己組織化現象を利用した膜製法を用いても問題なくハニカム構造が得られる。また、その製造工程数も、比較例2に比較して簡単でありかつ少なくて済む。そのため、実施例に係る多孔質膜は生産性に優れていることが分かる。   On the other hand, since the porous membrane according to the example uses a specific polyamideimide soluble in a hydrophobic solvent, the self-organization phenomenon is utilized in the same manner as other polymers soluble in a hydrophobic solvent. A honeycomb structure can be obtained without any problem even if the above-described film manufacturing method is used. Also, the number of manufacturing steps is simpler and less than that of Comparative Example 2. Therefore, it turns out that the porous membrane which concerns on an Example is excellent in productivity.

また、実施例に係る多孔質膜は、特定のポリアミドイミドより形成されたものであるが、十分な耐熱性を有していることが分かる。   Moreover, although the porous film which concerns on an Example is formed from the specific polyamide imide, it turns out that it has sufficient heat resistance.

また、実施例に係る多孔質膜を基膜に用いた実施例に係る異方性導電膜は、問題なく異方導電性を発現できることが分かる。さらに、シロキサン変性ポリアミドイミドより形成された比較例1に係る多孔質膜を基膜に用いた場合に比較して、多孔質膜と接着層との密着性に優れ、ふくれや剥離などが生じ難く、信頼性に優れていることが分かる。   Moreover, it turns out that the anisotropic conductive film which concerns on the Example which used the porous film which concerns on an Example for a base film can express anisotropic conductivity without a problem. Furthermore, compared with the case where the porous film according to Comparative Example 1 formed from siloxane-modified polyamideimide is used as the base film, the adhesion between the porous film and the adhesive layer is excellent, and blistering and peeling are less likely to occur. It turns out that it is excellent in reliability.

以上、実施形態、実施例について説明したが、本発明は上記実施形態、実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。   Although the embodiments and examples have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

例えば、上記実施形態、実施例では、多孔質膜の孔部が貫通孔である場合について詳細に例示したが、孔部は、非貫通孔であっても良く、用途に合わせて種々選択することができる。   For example, in the above-described embodiments and examples, the case where the hole of the porous film is a through-hole is illustrated in detail, but the hole may be a non-through-hole, and variously selected according to the application. Can do.

なお、非貫通孔を形成するには、上述した高分子溶液の塗布厚(キャスト量)を厚くする(多くする)、高分子溶液に含まれるポリアミドイミドの濃度を高くする、相対湿度を低くするなど、膜の形成条件を適宜調整することにより行えば良い。このうち、高分子溶液の塗布厚を厚くするのが最も効果的である。   In order to form non-through holes, the coating thickness (cast amount) of the polymer solution described above is increased (increased), the concentration of polyamideimide contained in the polymer solution is increased, and the relative humidity is decreased. The film formation conditions may be adjusted as appropriate. Of these, it is most effective to increase the coating thickness of the polymer solution.

また、多孔質膜の用途として、異方性導電膜の基膜材料に用いる場合について例示したが、それ以外にも、この多孔質膜は、例えば、大面積・フレキシブル表示デバイス、ELパネルなどの面発光体・表示デバイス、記憶素子などの電子工学分野、フォトニック結晶や光導波路などの非線形光学材料、光エネルギー変換阻止などの光学および電子分野、各種触媒の支持体、マイクロリアクターなどの化学分野、DNAチップ、細胞培養基板などのバイオテクノロジー分野など、幅広い分野に利用することが可能である。   Moreover, although the case where it uses for the base film material of an anisotropic conductive film was illustrated as a use of a porous film, this porous film is used for a large area, a flexible display device, an EL panel etc. other than that, for example. Fields of electronics such as surface light emitters, display devices, memory elements, nonlinear optical materials such as photonic crystals and optical waveguides, optics and electronics such as blocking of light energy conversion, chemical fields such as supports for various catalysts, microreactors, etc. It can be used in a wide range of fields such as biotechnology fields such as DNA chips and cell culture substrates.

本実施形態に係る多孔質膜の構成を模式的に示した図であり、(a)が多孔質膜の断面図、(b)が多孔質膜の平面図である。It is the figure which showed typically the structure of the porous film which concerns on this embodiment, (a) is sectional drawing of a porous film, (b) is a top view of a porous film. 本実施形態に係る異方性導電膜の構成を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the structure of the anisotropic electrically conductive film which concerns on this embodiment. 実施例3に係る多孔質膜の電子顕微鏡写真である。4 is an electron micrograph of a porous film according to Example 3. 実施例5に係る多孔質膜の電子顕微鏡写真である。7 is an electron micrograph of a porous film according to Example 5.

符号の説明Explanation of symbols

10 多孔質膜
12 孔部
14 内壁面
16 隔壁
16a くびれ部
20 異方性導電膜(ACF)
22 導電性物質
24 接着層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Porous film 12 Hole part 14 Inner wall surface 16 Partition 16a Constriction part 20 Anisotropic conductive film (ACF)
22 Conductive substance 24 Adhesive layer

Claims (6)

酸成分と、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分とを重合成分として含むポリアミドイミドより形成されてなることを特徴とする多孔質膜。   A porous membrane comprising an acid component and a polyamideimide containing a diisocyanate component having a hydrophobic site or a diamine component having a hydrophobic site as polymerization components. 酸成分と、疎水性部位を有するジイソシアネート成分または疎水性部位を有するジアミン成分とを重合成分として含むポリアミドイミドと、両親媒性物質と、疎水性および揮発性を有する有機溶媒とを少なくとも含む高分子溶液をキャストした支持基板を相対湿度50%以上の雰囲気下に存在させることにより形成されうることを特徴とする多孔質膜。   Polymer comprising at least an acid component, a polyamideimide containing a diisocyanate component having a hydrophobic site or a diamine component having a hydrophobic site as a polymerization component, an amphiphilic substance, and an organic solvent having hydrophobicity and volatility A porous film characterized in that it can be formed by allowing a support substrate cast with a solution to exist in an atmosphere having a relative humidity of 50% or more. 前記疎水性部位は、環式炭化水素基であることを特徴とする請求項1または2に記載の多孔質膜。   The porous membrane according to claim 1 or 2, wherein the hydrophobic portion is a cyclic hydrocarbon group. 前記ポリアミドイミドにポリエステルが共重合されていることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の多孔質膜。   The porous film according to any one of claims 1 to 3, wherein polyester is copolymerized with the polyamideimide. ハニカム状に配列された多数の孔部を有し、前記孔部の内壁面は外側方向に湾曲されていることを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の多孔質膜。   5. The porous film according to claim 1, wherein the porous film has a large number of holes arranged in a honeycomb shape, and an inner wall surface of the hole is curved outward. 請求項1から5の何れかに記載の多孔質膜と、この多孔質膜の孔部内に充填された導電性物質と、多孔質膜の両面に被覆された接着層とを備えたことを特徴とする異方性導電膜。   A porous membrane according to any one of claims 1 to 5, a conductive material filled in pores of the porous membrane, and an adhesive layer coated on both sides of the porous membrane. An anisotropic conductive film.
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