JP2003301264A - 切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲット材およびその製造方法ならびに皮膜コーティング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空蒸着用のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材
に関するものであり、特にはアークイオンプレーティン
グ法による蒸発源として、優れた耐摩耗性、耐酸化性、
耐凝着性、密着性を皮膜に付与でき、切削工具の表面皮
膜のコーティングに最適なＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット
材およびその製造方法と、そのターゲット材による皮膜
コーティング方法を提供する。 【解決手段】 実質的にＡｌとＴｉとからなり、酸素を
０．２〜０．６質量％含み、原子％でＡｌとＴｉの組成
比率がＡｌ／Ｔｉ：０．４〜１．９である切削工具の皮
膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲット材。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、切削工具の表面皮
膜を形成させるための真空蒸着用のターゲット材に関す
るものであり、特にはアークイオンプレーティング法に
よる皮膜コーティングの際の蒸発源として有効なＴｉ−
Ａｌ合金系ターゲット材およびその製造方法と、そのタ
ーゲット材による皮膜コーティング方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】切削工具等の表面に耐摩耗性、耐酸化性
の向上を目的として、例えばその窒化膜や炭窒化膜とい
ったＴｉ−Ａｌ系硬質皮膜が適用されている。Ｔｉ−Ａ
ｌ系硬質皮膜のコーティングには、蒸発源としてＴｉ−
Ａｌ合金系ターゲット材を使用し、前述のアークイオン
プレーティング法にて成膜を行うことが最適である。

【０００３】イオンプレーティング法の１種であるアー
クイオンプレーティング法は、減圧した反応ガス雰囲気
中において、皮膜の原料となるターゲット材をアーク放
電にて瞬時に溶解、イオン化し、負に印加した被覆母材
に付着させ皮膜を形成する方法である。この時、溶解さ
れたターゲット材は、被覆母材とターゲット材の間に発
生するプラズマ中で、反応ガスとともにイオン化され
る。アークイオンプレーティング法は、電子銃等を用い
たイオンプレーティング法に比べ、蒸発金属のイオン化
率が高いため、密着力に優れた皮膜が得られることか
ら、現在ではその適用量が増加している。

【０００４】一般にＴｉ−Ａｌ系硬質皮膜は、反応ガス
として窒素を用いた窒化膜として用いられる。最近特開
平８−３７５０に記載されるように、例えばガス中に窒
素と酸素を同時に添加し、窒化皮膜中に酸化物を介在さ
せることで、皮膜の耐凝着性は更に良好となり、切削工
具等の性能が向上することが提案された。

【０００５】Ｔｉ−Ａｌ系硬質皮膜は、皮膜中の残留圧
縮応力が大きいため、被覆母材が変形すると、皮膜が剥
離しやすいという欠点を有するが、上述の手法により、
皮膜中に酸化物を介在させることで残留圧縮応力は低下
し、皮膜の密着性が向上する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】先述のように、従来の
Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲット材を使用した場合、Ｔｉ−
Ａｌ系硬質皮膜に酸化物を介在させるためには、反応ガ
ス中に数％の酸素を添加する必要があるが、酸素を混合
した反応ガスは、加熱された炉内全域に広がる。そのた
め、成膜作業を繰返すにしたがい、本来、電気的に導電
性が必要とされる成膜装置真空容器内壁や、装置内に配
置される電極等の表面は、絶縁物質である酸化物によっ
て徐々に覆われることになる。これにより、成膜装置は
安定した成膜が行えなくなっていき、得られる皮膜の性
能も著しく劣化していく。このことから、酸化物が介在
するＴｉ−Ａｌ系硬質皮膜は、実験的に成膜が可能であ
っても、工業製品としての量産には十分に適用できると
は言い難かった。

【０００７】本発明はこうした事情に着目してなされた
ものであって、特に耐凝着性、密着性が要求される切削
工具の表面への最適なＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材お
よびその製造方法ならびに、その有効な皮膜コーティン
グ方法を確立するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者は、成膜雰囲気
中に多量の酸素を導入するのではなく、特定組成のＴｉ
−Ａｌ合金系ターゲット材自身の酸素含有量を特定の値
とすることで、切削工具としての優れた皮膜特性が得ら
れることを見出し、本発明に至った。

【０００９】すなわち、本発明は実質的にＡｌとＴｉと
からなり、酸素を０．２〜０．６質量％含み、原子％で
ＡｌとＴｉの組成比率がＡｌ／Ｔｉ：０．４〜１．９で
あることを特徴とする切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−
Ａｌ合金系ターゲット材である。

【００１０】本発明の切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−
Ａｌ合金系ターゲット材は、ターゲット材組織が、面積
率でターゲット材構成元素による金属間化合物相が２０
〜９０％、Ｔｉを除くターゲット材構成元素がＴｉに固
溶したＴｉ合金相および純Ｔｉ相のいずれか１種もしく
は２種が実質的に残部を構成しているＴｉ−Ａｌ合金系
ターゲット材が更に好ましい。

【００１１】また、本発明のターゲット材は、アークイ
オンプレーティング用に好ましい。

【００１２】本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材の
製造方法は、原子％でＡｌとＴｉの組成比率をＡｌ／Ｔ
ｉ：０．４〜１．９とし、酸素含有量を０．２〜０．６
質量％とした混合粉末を、加圧焼結法を用いて圧密化す
ることである。この時、ターゲット材構成元素からなる
金属間化合物粉末とＴｉ粉末を所定比率に混合し、酸素
含有量を０．２〜０．６質量％とした混合粉末を、加圧
焼結法を用いて焼結温度８００〜１２００℃で圧密化す
ることで組織中にターゲット材構成元素からなる金属間
化合物相と、Ｔｉを除くターゲット材構成元素がＴｉに
固溶したＴｉ合金相および純Ｔｉ相のいずれか１種もし
くは２種を適度に残留させることが更に望ましい。

【００１３】そして、これら技術を利用することによ
り、切削工具の表面への最適なＴｉ−Ａｌ系硬質皮膜の
コーティング技術として、その有効な皮膜コーティング
方法を確立した。すなわち、ターゲット材を用いた皮膜
コーティング方法において、酸素を０．２〜０．６質量
％含み、原子％でＡｌとＴｉの組成比率がＡｌ／Ｔｉ：
０．４〜１．９であるＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材、
あるいは更に面積率でターゲット材構成元素による金属
間化合物相が２０〜９０％、Ｔｉを除くターゲット材構
成元素がＴｉに固溶したＴｉ合金相および純Ｔｉ相のい
ずれか１種もしくは２種が実質的に残部を構成している
Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲット材を窒化雰囲気中でアーク
イオンプレーティングによって切削工具をコーティング
することを特徴とする皮膜コーティング方法である。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の重要な特徴は、反応ガス
中に多量の酸素を添加することなく、Ｔｉ−Ａｌ合金系
ターゲット材の酸素添加量を特定の範囲に規定した点で
ある。ターゲット中に適量の酸素を含有させることで、
酸素の多くは、被覆母材とターゲット材の間に発生する
プラズマ中に、ターゲット材金属元素とともに存在しイ
オン化されることから、従来のように、酸素が加熱され
た炉内全域に広がることはなくなり、成膜装置は安定し
た成膜が行えるようになる。これは、特にアークイオン
プレーティング法に適用して安定した成膜特性を発揮す
るだけでなく、切削工具に被覆した際、優れた耐摩耗
性、耐酸化性、耐凝着性、密着性を付与できる。

【００１５】最初に、本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲ
ット材の酸素含有量について説明する。一般に減圧中で
使用されるターゲット材においては、不純物成分として
の酸素の含有量は、少ないほど良いと考えられている
が、発明者等が検討した結果、これは１０^−１Ｐａ以下
の減圧下で使用されるスパッタリング用ターゲット材に
おいて該当することであり、切削工具等への硬質皮膜の
被覆を目的とするイオンプレーティングに関しては、そ
の使用圧力が１０^−１Ｐａ以上のため、ある特定の範囲
内では問題の無いことを確認した。

【００１６】ターゲット材中の酸素は、皮膜中に酸化物
を介在させる。これにより、皮膜硬さは若干低下するも
のの、金属に対する皮膜の化学的親和性は低下するた
め、切削時、皮膜と被加工材である金属が摩擦するよう
な場合、切削工具の刃先において凝着等の現象が抑制さ
れ、結果的に皮膜の耐摩耗性が向上する。また、従来の
Ｔｉ−Ａｌ系硬質皮膜は、皮膜中の残留圧縮応力が大き
いため、被覆母材が変形すると、皮膜が剥離しやすいと
いう欠点を有するが、本発明を適用することで、皮膜中
に介在した酸化物により残留圧縮応力は緩和され、皮膜
の密着性も向上する。特に６０ＨＲＣ程度の高硬度材を
乾式で高速切削するような超硬合金製コーティングエン
ドミル等では、被覆母材が超硬合金であっても切削応力
や切削時の発熱によって、工具の刃先が変形してしまう
ため、皮膜の密着性が非常に重要となる。

【００１７】このとき、ターゲット材中の酸素含有量が
０．２質量％未満であると皮膜中に酸化物が十分に形成
しないため、その効果が得られない。しかしながら、酸
素含有量が０．６％を越えるとターゲット材中に分散す
る酸化物が粗大となるため、使用中に異常放電が発生し
アークが度々失火する等、放電が極端に不安定になる。
その結果、得られる皮膜の特性も低下する。加えて、タ
ーゲット材表面も不均一に消耗するため、ターゲット材
自体の寿命が極端に短くなる。以上の理由から酸素含有
量は質量％で０．２〜０．６％に規定する。より好まし
くは０．３％を超え、０．５％以下である。

【００１８】本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材の
組成について説明する。Ａｌは、例えばアークイオンプ
レーティングのような成膜方法によって得られるＴｉ−
Ａｌ系硬質皮膜の耐酸化性の向上、高硬度化に効果を示
す元素であり、そのＡｌ／Ｔｉの値が重要である。Ａｌ
／Ｔｉが原子％で、０．４未満であるとＡｌ含有量が少
なすぎるため上記効果が得られず、逆に１．９を越える
と皮膜の密着力低下および硬さの低下が著しい。そのた
め原子％でＡｌとＴｉの組成比率はＡｌ／Ｔｉ：０．４
〜１．９とする。好ましく０．６〜１．５である。

【００１９】本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材
は、ドロップレット発生量を抑制する場合は、面積率で
ターゲット材構成元素による金属間化合物相が２０〜９
０％、残部実質的にＴｉを除くターゲット材構成元素が
Ｔｉに固溶したＴｉ合金相および純Ｔｉ相のいずれか１
種もしくは２種であることが望ましい。通常、粉末を原
料に用いてＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材を製造する場
合、純Ｔｉおよび純Ａｌ粉末を使用するが、これにより
製造されたＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材の組織には、
融点の低いＡｌ相と融点の高いＴｉ相が共存する。これ
をアークイオンプレーティング法に適用すると、融点の
低いＡｌ相の溶融量が多くなり、ドロップレットの原因
となる。そのためドロップレット発生量を抑制する場合
は、各相の融点の差を小さくする目的で、ターゲット材
の組織を金属間化合物相とＴｉ合金相および純Ｔｉ相の
いずれか１種もしくは２種で構成することが望ましい。

【００２０】ターゲット材構成元素からなる金属間化合
物相は、Ｔｉ_３Ａｌ、ＴｉＡｌ、ＴｉＡｌ_３といった金
属間化合物の一種以上を主体とし、これらの金属間化合
物の面積率がターゲット材組織中において２０〜９０
％、残部実質的にＴｉを除くターゲット材構成元素がＴ
ｉに固溶したＴｉ合金相および純Ｔｉ相のいずれか１種
もしくは２種である場合に、ドロップレットの発生量は
抑制される。これら金属間化合物相の面積率が２０％未
満であると、Ａｌ含有量を本発明組成範囲内にするため
には、Ａｌ合金相が組織中に存在することとなるため、
上記効果は得られなくなり望ましくない。逆に９０％を
越えるとターゲット材の強度、靭性が不足するため、使
用中にクラックや割れが発生し、異常放電の発生原因と
なる。よってターゲット材構成元素からなる金属間化合
物相は、面積率で２０〜９０％、残部実質的にＴｉを除
くターゲット材構成元素がＴｉに固溶したＴｉ合金相お
よび純Ｔｉ相のいずれか１種もしくは２種であることが
望ましい。また上記金属間化合物相は、ターゲット材中
に均一分散していることが好ましく。より好ましい範囲
は２５〜８５％である。

【００２１】本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材
は、スパッタリングによる成膜にも用いることができる
が、切削工具の皮膜に用いる際には、皮膜の密着性に優
れるといった面からアークイオンプレーティング用とす
ることが最も好ましいものである。スパッタリングは、
１０^−１Ｐａ以下の減圧下で使用されるため、ターゲッ
ト材中から発生する酸素が、皮膜中に含有され難いだけ
でなく、ターゲット材表面のグロー放電を不安定にす
る。一方、アークイオンプレーティングにおいては、そ
の使用圧力が１０^−１Ｐａ以上、具体的には数Ｐａと、
スパッタリングに対して高圧であるため、酸素は皮膜中
に含有されやすく、またターゲット材表面を溶融、蒸発
させるためのアーク放電は不安定になり難い。このこと
から、本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材は、アー
クイオンプレーティング用とすることが最も好ましい。

【００２２】本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材を
製造するにあたっては、まず、Ａｌ／Ｔｉ比が所定比率
であり、かつ酸素を０．２〜０．６質量％含む混合粉末
を加圧焼結法、例えばＨＩＰ法またはホットプレス法の
いずれかを用い圧密化する。原料として酸素を０．２〜
０．６質量％含む粉末を用いることで、本発明のＴｉ−
Ａｌ合金系ターゲット材の製造が可能となる。この時、
圧密化の圧力等は特に限定されるものではないが、相対
密度が９８％以下となるような条件では、ターゲット材
中にミクロポア等の欠陥が多数残存してしまい、ターゲ
ット材使用中の異常放電等の不具合が発生するため好ま
しくない。

【００２３】更にドロップレット発生量を抑制する目的
においては、ターゲット材構成元素からなる金属間化合
物粉末とＴｉ粉末とを所定比率に混合し、酸素含有量を
０．２〜０．６質量％とした混合粉末を加圧焼結法、例
えばＨＩＰ法またはホットプレス法のいずれかを用いて
８００〜１２００℃で圧密化することが望ましい。使用
するターゲット材構成元素からなる金属間化合物粉末
は、Ｔｉ_３Ａｌ、ＴｉＡｌ、ＴｉＡｌ_３といった金属間
化合物から、所定のＡｌ／Ｔｉによって必要に応じて選
択できる。この時、圧密化温度が８００℃未満では、圧
密化が十分でないため、ターゲット材中にミクロポア等
の欠陥が多数残存してしまうことや、各粉末間の結合が
不十分で強度不足を招く。逆に１２００℃を超えて圧密
化すると、ターゲット材を構成する元素からなる金属間
化合物相が、面積率で９０％を越えてしまい、ターゲッ
ト材が脆くなってしまう。そのためＨＩＰ法あるいはホ
ットプレス法による圧密化の温度は８００〜１２００℃
と限定する。

【００２４】また、本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲッ
ト材を使用して、窒化雰囲気中あるいは炭窒化雰囲気中
で、アークイオンプレーティングによって切削工具に窒
化膜あるいは炭窒化膜といったＴｉ−Ａｌ系硬質皮膜を
コーティングすることで耐凝着性、密着性に優れる切削
工具を得ることができる。

【００２５】また、本発明のターゲット材は実質的にＴ
ｉ、Ａｌとからなるものであるが、必要に応じてIVａ、
Vａ、VIａ属の金属元素ならびにＳｉ、Ｂを必要に応
じ、原子％で３０％以下、更には１０％以下微量添加し
てもよい。更に不可避的不純物としては、Ｈ、Ｎ、Ｃ
ｌ、Ｆｅを挙げることができるが、これらはＨ：０．１
質量％以下、Ｎ：０．０５質量％以下、Ｃｌ：０．２質
量％以下、Ｆｅ：０．１質量％以下であることがよい。

【００２６】

【実施例】次に実施例に基づき詳細に説明するが、本発
明は下記実施例によって限定を受けるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲で任意に変更が可能であ
り、それらはいずれも本発明の技術的範囲に含まれる。

【００２７】いずれも１００メッシュ以下のＴｉ粉末、
Ａｌ粉末およびＴｉＡｌ_３粉末から種々選択し、表１に
記載のターゲット材の原子量比（Ａｌ／Ｔｉ）にそれぞ
れ調整後、Ｖ型混合機により混合紛を作製し、鋼製の容
器に充填した後、これを表１に記載の条件にてＨＩＰ処
理し圧密化した。

【００２８】得られた成形品より機械加工によって、組
織評価用の１５ｍｍ×１５ｍｍ×厚み１０ｍｍのブロッ
クサンプルと、放電特性および皮膜特性を調査する目的
でφ１００ｍｍ×厚み１４ｍｍ、底面はφ１０５×厚み
２ｍｍの固定用つばがついたターゲット材を削り出し
た。各粉末およびターゲット材に含まれる酸素量も表１
に示す。

【００２９】

【表１】

【００３０】ブロックサンプルについては、Ｘ線マイク
ロアナライザーによりＴｉ、Ａｌの面分析を行い、ター
ゲット材構成元素からなる金属間化合物相を特定し、画
像解析によってそれらの面積率を算出し、また、Ｘ線回
折によってターゲット材を構成している金属相を定性し
た。ここで、本発明のターゲット材Ｎｏ．１１を観察し
たＳＥＭ写真を図１に示す。濃灰色の部分が金属間化合
物相、白い部分が純Ｔｉ相、その中間色の部分がＴｉ合
金相である。

【００３１】一方、ターゲット材は、アークイオンプレ
ーティング装置の水冷カソードへ装着し、実際に成膜を
行い評価した。この時、密着性ならびにドロップレット
による面粗さの変化を評価するために、被覆面（１３ｍ
ｍ×１３ｍｍ）を鏡面研磨した超硬合金（ＪＩＳ Ｐ４
０相当材）製サンプルを被覆母材として使用した。ま
た、皮膜の実用特性の評価には外径８ｍｍの超硬合金製
６枚刃エンドミルを用いた。被覆条件は、始めに１×１
０^−３Ｐａまで真空引きし、５００℃に加熱、３０分間
保持した後、Ａｒ雰囲気中１．０Ｐａの圧力にし、被覆
母材のＢｉａｓ電圧を−４００Ｖで６０分間のＡｒイオ
ンによる被覆表面の洗浄を行った後、Ｎ_２雰囲気中、圧
力：３．０Ｐａ、ターゲット材のアーク電流：１００
Ａ、被覆母材のＢｉａｓ電圧：−１００Ｖにて７０分の
条件で窒化膜の成膜を行った。

【００３２】ターゲット材の放電特性については、ター
ゲット上でアーク放電の失火回数で評価した。また、得
られた皮膜については、ロックウェルＣスケール硬さ試
験機を用い圧痕周囲における皮膜剥離の状態を図２に示
す４段階に区分し皮膜の密着性評価を行い、触針式表面
粗さ測定機にて面粗さＲｙ（ＪＩＳ−Ｂ−０６０１：最
大高さ）で被覆表面のドロップレットの評価を行った。
なお、ドロップレット量が増加、もしくは粗大なドロッ
プレットが発生した場合、被覆表面の凹凸が大きくなる
ためＲｙは増加する。更に、皮膜の実用特性の評価につ
いては、次に示す乾式高速切削条件にて切削性能を評価
し、刃先の欠けないしは摩耗等により工具が切削不能と
なるまで加工を続け、この時の切削長を工具寿命とした
評価した。ターゲット材組織、ターゲット材の使用状
態、皮膜の評価結果を表２に示す。

【００３３】（切削条件） 工具 ：超硬合金製６枚刃エンドミル 外径８ｍｍ 切削方法：側面切削ダウンカット、エアーブロー 被削材 ：ＳＫＤ１１（硬さ６０ＨＲＣ） 切り込み：Ａｄ １２ｍｍ×Ｒｄ ０．２ｍｍ 切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ 送り ：０．０５ｍｍ／ｔｏｏｔｈ

【００３４】

【表２】

【００３５】表２より明らかなように、酸素含有量なら
びにＡｌ／Ｔｉが本発明の範囲を外れる比較品は、その
使用状態、皮膜特性が本発明品に比べ劣ることがわか
る。特に工具寿命に著しい差が見とめられる。比較品Ｎ
ｏ．２７は従来品同等のターゲット材であり、従来品の
中では比較的工具寿命が優れるものの、酸素含有量が低
いため、本発明品の工具寿命に及ばない。図３は本発明
品Ｎｏ．８から得られたＴｉ−Ａｌ窒化膜の光電子分光
装置（ＸＰＳ、Ｘ−ｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏ
ｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）による測定結果である
が、ＴｉとＮの結合を示すピークのほかに、ＴｉとＯの
結合を示すピークも認められ、皮膜中には酸化物も介在
していることがわかる。また、本発明品の中でも金属間
化合物相の面積率およびターゲットを構成する組織が本
発明の望ましい範囲にあるものは、工具寿命が優れるだ
けでなく、面粗さＲｙも小さくなるため、硬質皮膜被覆
後の表面に平滑度が必要とされるような精密仕上用切削
工具へも適用が可能となる。

【００３６】

【発明の効果】以上のように、本発明のＴｉ−Ａｌ合金
系ターゲット材は、ターゲット材の酸素添加量を規定し
たことによって、装置に対して有害な酸素を反応ガス中
に添加することなく、酸化物の介在するＴｉ−Ａｌ系硬
質皮膜を安定して得ることが可能となる。これにより、
切削工具に被覆した際、優れた耐摩耗性、耐酸化性、耐
凝着性、密着性を付与でき、表面皮膜のコーティングに
最適なターゲット材として供給が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材の一実
施例を示すＳＥＭ組織写真である。

【図２】ロックウェルＣスケール硬さ試験機を用いた際
の、圧痕周囲における皮膜の密着性について優劣を示し
た図である。

【図３】本発明のＴｉ−Ａｌ合金系ターゲット材から得
られたＴｉ−Ａｌ窒化膜の一実施例の光電子分光装置に
よる測定結果を示した図である。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 実質的にＡｌとＴｉとからなり、酸素を
   ０．２〜０．６質量％含み、原子％でＡｌとＴｉの組成
   比率がＡｌ／Ｔｉ：０．４〜１．９であることを特徴と
   する切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲ
   ット材。
2. 【請求項２】 ターゲット材組織は、面積率でターゲッ
   ト材構成元素による金属間化合物相が２０〜９０％、Ｔ
   ｉを除くターゲット材構成元素がＴｉに固溶したＴｉ合
   金相および純Ｔｉ相のいずれか１種もしくは２種が実質
   的に残部を構成していることを特徴とする請求項１に記
   載の切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲ
   ット材。
3. 【請求項３】 ターゲット材はアークイオンプレーティ
   ング用であることを特徴とする請求項１または２に記載
   の切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲッ
   ト材。
4. 【請求項４】 原子％でＡｌとＴｉの組成比率をＡｌ／
   Ｔｉ：０．４〜１．９とし、酸素含有量を０．２〜０．
   ６質量％とした混合粉末を、加圧焼結法を用いて圧密化
   することを特徴とする切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−
   Ａｌ合金系ターゲット材の製造方法。
5. 【請求項５】 ターゲット材構成元素からなる金属間化
   合物粉末とＴｉ粉末を所定比率に混合し、酸素含有量を
   ０．２〜０．６質量％とした混合粉末を、加圧焼結法を
   用いて８００〜１２００℃で圧密化し、組織中にターゲ
   ット材構成元素からなる金属間化合物相と、Ｔｉを除く
   ターゲット材構成元素がＴｉに固溶したＴｉ合金相およ
   び純Ｔｉ相のいずれか１種もしくは２種を残留させるこ
   とを特徴とする切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合
   金系ターゲット材の製造方法。
6. 【請求項６】 ターゲット材はアークイオンプレーティ
   ング用であることを特徴とする請求項４または５に記載
   の切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲッ
   ト材の製造方法。
7. 【請求項７】 請求項１または２に記載のＴｉ−Ａｌ合
   金系ターゲット材をターゲットとして窒化雰囲気中でア
   ークイオンプレーティングによって切削工具をコーティ
   ングすることを特徴とする皮膜コーティング方法。