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JP2002019876A - Tray for semiconductor chip - Google Patents

Tray for semiconductor chip

Info

Publication number
JP2002019876A
JP2002019876A JP2000208607A JP2000208607A JP2002019876A JP 2002019876 A JP2002019876 A JP 2002019876A JP 2000208607 A JP2000208607 A JP 2000208607A JP 2000208607 A JP2000208607 A JP 2000208607A JP 2002019876 A JP2002019876 A JP 2002019876A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tray
chip
semiconductor chip
storage frame
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000208607A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sachihiro Mekawa
祥弘 女川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2000208607A priority Critical patent/JP2002019876A/en
Publication of JP2002019876A publication Critical patent/JP2002019876A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tray for semiconductor chips, which prevents damages of semiconductor chips during transport and which flexibly and easily copes with variation in the sizes of chips. SOLUTION: The tray has a tray main body 1 and a chip storing frame 3. The tray main body 1 holds the chip storing frame 3 in a replaceable manner. Further, the tray main body 1 has protrusions 4 which receive corner parts 3a of the chip storing frame 3 to determine the positioning of the chip storing frame 3 on the tray main body 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップの保
管或いは運搬等に用いる半導体チップトレーに関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor chip tray used for storing or transporting semiconductor chips.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、半導体チップの保管及び運搬等に
用いる半導体チップトレーは図5に示すように、硬質な
樹脂からなる基板1a上に硬質な樹脂からなるチップ収
納枠1bが一体に成形され、チップ収納枠1bには、半
導体チップを受入れる凹部2が設けられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 5, a semiconductor chip tray used for storing and transporting semiconductor chips has a chip housing frame 1b made of a hard resin integrally formed on a substrate 1a made of a hard resin. The chip housing frame 1b is provided with a recess 2 for receiving a semiconductor chip.

【0003】半導体チップを保管或いは運搬する際に
は、半導体チップをチップ収納枠1bの凹部2に投入し
て半導体チップトレーに搭載している。
When a semiconductor chip is stored or transported, the semiconductor chip is loaded into the recess 2 of the chip housing frame 1b and mounted on a semiconductor chip tray.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に
示す半導体チップトレーは、半導体チップを硬質樹脂の
凹部2に収納するため、搬送時の振動などで半導体チッ
プが凹部2の内側壁と衝突して欠損してしまうという問
題がある。
However, in the semiconductor chip tray shown in FIG. 5, since the semiconductor chips are stored in the concave portion 2 of the hard resin, the semiconductor chip collides with the inner wall of the concave portion 2 due to vibration during transportation. There is a problem that it is lost.

【0005】また半導体チップを収納するための凹部2
の内法寸法は、トレーの樹脂加工時に決まってしまうた
め、収納すべき半導体チップの寸法が変更されると、そ
の都度半導体チップのサイズに合わせた樹脂製トレーを
用意する必要がある。
A recess 2 for accommodating a semiconductor chip.
Since the internal dimensions of the semiconductor chip are determined at the time of resin processing of the tray, when the dimensions of the semiconductor chips to be stored are changed, it is necessary to prepare a resin tray in accordance with the size of the semiconductor chip each time.

【0006】半導体チップのサイズの変更に対応させる
ためには図6に示すように、凹部2の内側壁を階段状に
段加工し、各段毎にサイズの異なる支持部2a,2bを
付設し、半導体チップのサイズに合った支持部2a又は
2bを選択し、その選択した支持部2a又は2bに半導
体チップを支持させることで対処することが可能であ
る。
In order to cope with a change in the size of the semiconductor chip, as shown in FIG. 6, the inner wall of the concave portion 2 is stepped in steps, and supporting portions 2a and 2b having different sizes are provided for each step. It is possible to cope with the problem by selecting a support portion 2a or 2b suitable for the size of the semiconductor chip and supporting the semiconductor chip on the selected support portion 2a or 2b.

【0007】しかし、図6に示す方法によれば、設けら
れる支持部の段数に相当するサイズにのみ限定されてし
まい、半導体チップのフルサイズに十分に対応すること
は不可能であり、必ずしも有効な手段とは言えないもの
である。
However, according to the method shown in FIG. 6, the size is limited only to the number of steps of the supporting portion provided, and it is impossible to sufficiently cope with the full size of the semiconductor chip, and it is not always effective. It is not a simple means.

【0008】さらに支持部2a,2bを穴2の深さ方向
に複数段設けるため、1個の半導体チップを収納するの
に必要な穴の深さ方向でのスペースに無駄なスペースが
費やされてしまい、半導体チップトレーの寸法が拡張さ
れて、保管,運搬等に支障が生じてしまうという問題が
ある。
Further, since the support portions 2a and 2b are provided in a plurality of stages in the depth direction of the hole 2, a wasteful space is consumed in the space in the depth direction of the hole necessary for accommodating one semiconductor chip. As a result, there is a problem that the dimensions of the semiconductor chip tray are expanded, and storage, transportation and the like are hindered.

【0009】本発明の目的は、搬送中の半導体チップの
損傷を防止し、かつチップサイズの変更に対して柔軟且
つ容易に対応することができる半導体体チップトレーを
提供することにある。
An object of the present invention is to provide a semiconductor chip tray which can prevent damage to semiconductor chips during transportation and can flexibly and easily cope with a change in chip size.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る半導体チップトレーは、トレー本体と
チップ収納枠とを有する半導体チップトレーであって、
前記トレー本体は、前記チップ収納枠を交換可能に保持
するものであり、前記チップ収納枠は、半導体チップを
収納する穴が設けられ、半導体チップに対面する前記穴
の側面に緩衝作用が付与されたものである。
To achieve the above object, a semiconductor chip tray according to the present invention is a semiconductor chip tray having a tray body and a chip storage frame,
The tray body holds the chip storage frame in a replaceable manner, and the chip storage frame is provided with a hole for storing a semiconductor chip, and a buffering action is provided on a side surface of the hole facing the semiconductor chip. It is a thing.

【0011】また前記トレー本体は凸部を有し、前記凸
部は、前記チップ収納枠の角部を受入れて前記トレー本
体上でのチップ収納枠の位置決めを行うものである。
The tray main body has a convex portion, and the convex portion receives a corner of the chip storage frame and positions the chip storage frame on the tray main body.

【0012】また前記凸部は、前記チップ収納枠の対角
線上の角部を受入れて半導体チップをトレー本体上に固
定するものである。
Further, the convex portion receives a diagonal corner of the chip storage frame and fixes the semiconductor chip on the tray body.

【0013】また前記凸部は、積重ねられるトレー本体
を支えてトレー本体相互間に半導体チップの収納用空間
を確保するものである。
The projections support the stacked tray bodies to secure a space for accommodating semiconductor chips between the tray bodies.

【0014】また上部トレーを有し、前記上部トレー
は、トレー本体にチップ収納枠を固定するものである。
In addition, the apparatus has an upper tray, and the upper tray fixes the chip storage frame to the tray body.

【0015】また前記上部トレーは、トレー本体に脱着
可能に取付けるものである。
The upper tray is detachably attached to the tray body.

【0016】また前記トレー本体と前記チップ収納枠
は、静電防止対策が施されたものである。
Further, the tray main body and the chip storage frame are provided with antistatic measures.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
より説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】(実施形態1)図1は、本発明の実施形態
1に係る半導体チップトレーを示す分解斜視図、図2は
組立状態を示す斜視図、図3は図2のa−a線縦断面図
である。
(Embodiment 1) FIG. 1 is an exploded perspective view showing a semiconductor chip tray according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an assembled state, and FIG. FIG.

【0019】図1に示す本発明に係る半導体チップトレ
ーは、トレー本体1とチップ収納枠3とを有している。
The semiconductor chip tray according to the present invention shown in FIG. 1 has a tray body 1 and a chip storage frame 3.

【0020】前記トレー本体1は、前記チップ収納枠3
を交換可能に保持するものであり、図1に示すトレー本
体1は、硬質樹脂を平板状に成形して加工してある。
The tray body 1 includes the chip storage frame 3.
The tray body 1 shown in FIG. 1 is formed by processing a hard resin into a flat plate shape.

【0021】更に前記トレー本体1は凸部4を有してお
り、前記チップ収納枠3の角部3aを受入れてトレー本
体1上でのチップ収納枠3の位置決めを行うようになっ
ている。
Further, the tray body 1 has a convex portion 4 for receiving the corner 3a of the chip storage frame 3 to position the chip storage frame 3 on the tray body 1.

【0022】図1に示す凸部4は、2辺の側壁4aをチ
ップ収納枠3の角部3a,3bがなす角度に交差させて
立上げた構造になっており、チップ収納枠3の角部3
a,3bを受入れてトレー本体1上でのチップ収納枠3
の位置決めを行うようになっており、さらに図1に示す
凸部4は、矩形状トレー本体1の対角線上に組をなして
設けられ、チップ収納枠3の対角線上の角部3a,3b
を受入れてチップ収納枠3をトレー本体1上に固定する
ようになっている。
The protrusion 4 shown in FIG. 1 has a structure in which two side walls 4a are crossed at an angle formed by the corners 3a and 3b of the chip housing frame 3, and are raised. Part 3
a, 3b to receive the chip storage frame 3 on the tray body 1.
The projections 4 shown in FIG. 1 are provided in pairs on the diagonal line of the rectangular tray main body 1, and the corner portions 3 a and 3 b on the diagonal line of the chip storage frame 3.
And the chip storage frame 3 is fixed on the tray body 1.

【0023】前記チップ収納枠3は図示しない半導体チ
ップを収納する穴3cが設けられ、半導体チップに対面
する前記穴3cの側面3dに緩衝作用が付与されてい
る。
The chip housing frame 3 is provided with a hole 3c for housing a semiconductor chip (not shown), and a side surface 3d of the hole 3c facing the semiconductor chip has a buffering action.

【0024】図1に示すチップ収納枠3は柔軟性をもつ
樹脂のシートから構成され、半導体チップに対面する前
記穴3cの側面3dに緩衝作用が付与されている。
The chip housing frame 3 shown in FIG. 1 is made of a flexible resin sheet, and has a buffering effect on the side surface 3d of the hole 3c facing the semiconductor chip.

【0025】チップ収納枠3の半導体チップに対面する
穴3cの側面3dに緩衝作用を付与することにより、チ
ップ収納枠3に半導体チップが接触したときに半導体チ
ップが損傷するのを防止するようになっている。またチ
ップ収納枠3に柔軟性樹脂を用いることにより、チップ
収納枠3に穴3cを設ける際の加工を容易にするように
なっている。
By providing a buffering effect on the side surface 3d of the hole 3c of the chip housing frame 3 facing the semiconductor chip, the semiconductor chip is prevented from being damaged when the semiconductor chip comes into contact with the chip housing frame 3. Has become. Further, by using a flexible resin for the chip housing frame 3, processing for providing the hole 3 c in the chip housing frame 3 is facilitated.

【0026】前記穴3cは半導体チップに対して大きす
ぎても小さすぎても問題がある。大きすぎると半導体チ
ップの収納個数が減るだけでなく、トレーの振動によっ
て穴3c内で半導体チップの動きが大きくなり半導体チ
ップと穴3cとの衝突の衝撃が大きくなり、チップの欠
損する確率が高くなるためである。一方、小さすぎた場
合、半導体チップのハンドリングが困難になるためであ
る。したがって、収納する半導体チップと穴3cの側壁
3dの間に+1mm〜+2mm程度の隙間を持つように
穴3cを開けた方が望ましい。
There is a problem if the hole 3c is too large or too small for the semiconductor chip. If it is too large, not only does the number of stored semiconductor chips decrease, but also the movement of the semiconductor chip in the hole 3c due to the vibration of the tray increases the impact of collision between the semiconductor chip and the hole 3c, increasing the probability of chip breakage. It is because it becomes. On the other hand, if it is too small, it becomes difficult to handle the semiconductor chip. Therefore, it is desirable to open the hole 3c so as to have a gap of about +1 mm to +2 mm between the semiconductor chip to be stored and the side wall 3d of the hole 3c.

【0027】またシート状のチップ収納枠3は、半導体
チップの厚味(200μm〜300μm)より厚いこと
が望ましい。ただし、厚すぎるとハンドリングが困難に
なることから1mm程度が適当である。この場合、汎用
の静電処理を施したシートは薄いため、一枚だけではチ
ップ収納枠3を構成することは難しい。そこで、静電シ
ートを数枚重ね合わせて半導体チップに対して十分な厚
さをもつチップ収納枠3として構成することが望まし
い。
It is desirable that the sheet-shaped chip housing frame 3 be thicker than the semiconductor chip (200 μm to 300 μm). However, if it is too thick, handling becomes difficult, so about 1 mm is appropriate. In this case, since the sheet subjected to general-purpose electrostatic processing is thin, it is difficult to configure the chip storage frame 3 with only one sheet. Therefore, it is desirable to form a chip storage frame 3 having a sufficient thickness for a semiconductor chip by stacking several electrostatic sheets.

【0028】またチップ収納枠3は、シートに代えて静
電気防止対策を施した発泡材料からなるクッション材を
用いるようにしてもよい。この場合、シートでは柔らか
すぎハンドリングが難しいという点を改善することが可
能である。ただし、ここで用いる発泡材料は長時間使用
しても発泡材料のくずが出ないものが好ましい。半導体
チップに異物がつくことを防ぐためである。
The chip housing frame 3 may be made of a cushion material made of a foamed material for which antistatic measures are taken instead of the sheet. In this case, it is possible to improve the point that the sheet is too soft and difficult to handle. However, it is preferable that the foamed material used here does not generate waste of the foamed material even when used for a long time. This is to prevent foreign matter from attaching to the semiconductor chip.

【0029】また前記凸部4は図3に示すようにトレー
本体1から上方に立上がり、トレー本体1の四隅より内
側に位置し、積重ねられるトレー本体1を支えてトレー
本体1,1相互間に半導体チップの収納用空間Sを確保
するようになっている。
As shown in FIG. 3, the projection 4 rises upward from the tray main body 1 and is located inside the four corners of the tray main body 1, supports the stacked tray main bodies 1, and interposes between the tray main bodies 1, 1. A space S for accommodating semiconductor chips is secured.

【0030】またトレー本体1は、その下面1dが凹型
に形成され、その凹型下面1dの角部に、重ねる別のト
レー本体1の凸部4を受入れて重ねた際に上下のトレー
本体1間にずれが生じないようになっている。
The lower surface 1d of the tray main body 1 is formed in a concave shape, and when the convex portion 4 of another tray main body 1 to be stacked is received at the corner of the concave lower surface 1d, the upper and lower tray main bodies 1 Is not shifted.

【0031】また前記トレー本体1及び前記チップ収納
枠3は、静電防止対策が施されている。トレー本体1及
びチップ収納枠3に静電気防止対策を施すことにより、
半導体チップが静電気により破壊されるのを防止するよ
うになっている。
The tray body 1 and the chip storage frame 3 are provided with anti-static measures. By applying antistatic measures to the tray body 1 and chip storage frame 3,
The semiconductor chip is prevented from being destroyed by static electricity.

【0032】図1において、図示しない半導体チップの
サイズに相当する穴3cをもつチップ収納枠3を選択
し、そのチップ収納枠3をトレー本体1上にセットす
る。
In FIG. 1, a chip storage frame 3 having a hole 3c corresponding to the size of a semiconductor chip (not shown) is selected, and the chip storage frame 3 is set on the tray body 1.

【0033】その場合、チップ収納枠3の角部3a,3
bを凸部4にあてがい、トレー本体1上でのチップ収納
枠3の位置決めを行う。
In this case, the corners 3a, 3
b is applied to the convex portion 4 to position the chip storage frame 3 on the tray body 1.

【0034】さらにチップ収納枠3の対角線上の角部3
a,3bを対角線上に位置する凸部4に受入れて、トレ
ー本体1にチップ収納枠3を固定する。
Further, diagonal corners 3 of the chip housing frame 3
The chips a and 3b are received in the protrusions 4 located on the diagonal lines, and the chip storage frame 3 is fixed to the tray body 1.

【0035】その後、チップ収納枠3に図示しない半導
体チップを投入してトレー本体1に搭載し、この状態で
半導体チップを保管,運搬する。
Thereafter, semiconductor chips (not shown) are put into the chip storage frame 3, mounted on the tray body 1, and the semiconductor chips are stored and transported in this state.

【0036】図5に示す従来例では硬質樹脂のみで構成
されたトレーで半導体チップを収納していたため、搬送
中に半導体チップがトレーと接触し、半導体チップの角
部が欠損することに加え、その欠損によって発生したシ
リコン屑が半導体チップと共にトレー内で振動し、シリ
コン屑が2次的に半導体チップを損傷させることがあ
る。
In the conventional example shown in FIG. 5, the semiconductor chips are housed in a tray made of only a hard resin, so that the semiconductor chips come into contact with the tray during transportation, and the corners of the semiconductor chips are damaged. Silicon chips generated by the defect may vibrate in the tray together with the semiconductor chips, and the silicon chips may secondarily damage the semiconductor chips.

【0037】しかし、図1に示す本発明の半導体チップ
トレーによれば、チップ収納枠3の半導体チップと対面
する穴3cの側壁3dに緩衝作用が付与されているた
め、半導体チップが搬送中など振動によってトレーと接
触したときでも半導体チップの角部の欠損を防止するこ
とができ、さらにシリコン屑による2次的損傷を防止す
ることができる。
However, according to the semiconductor chip tray of the present invention shown in FIG. 1, since the buffering action is given to the side wall 3d of the hole 3c facing the semiconductor chip of the chip housing frame 3, the semiconductor chip is being transported. Even when the semiconductor chip comes into contact with the tray due to vibration, it is possible to prevent corner portions of the semiconductor chip from being lost, and to prevent secondary damage due to silicon chips.

【0038】さらに従来例に係る半導体チップトレー
は、チップサイズに合わせて樹脂製トレー形成時に金型
をチップサイズ毎に用意する必要があるが、図1に示す
本発明によれば、半導体チップのサイズに対応した穴3
cをもつチップ収納枠3に交換して半導体チップのサイ
ズ変更に対処するため、半導体チップサイズが変わって
も、そのサイズに対応する大きさの穴3cをもつチップ
収納枠3をチップサイズ毎に用意するだけで済み、トレ
ー全体を変更することはなく、経済的に廉価にすること
ができる。さらに、半導体チップに対する穴3cの高さ
(従来例で言う凹部の高さ)もチップサイズに対して適
切な高さを維持することができる。
Further, in the conventional semiconductor chip tray, it is necessary to prepare a mold for each chip size when forming the resin tray according to the chip size. However, according to the present invention shown in FIG. Hole 3 corresponding to the size
In order to cope with the change in the size of the semiconductor chip by replacing the chip storage frame 3 having the hole c with the chip storage frame 3 having the hole 3c corresponding to the size, the chip storage frame 3 having the size corresponding to the size is changed for each chip size. Only the preparation is required, and the entire tray is not changed, so that the cost can be reduced economically. Further, the height of the hole 3c with respect to the semiconductor chip (the height of the concave portion in the conventional example) can be maintained at an appropriate height for the chip size.

【0039】さらにトレー本体1とチップ収納枠3を分
離して構成するため、上下にトレーを重ねたときに区切
りが分かりやすくなり、しかもトレー本体1の湾曲によ
って半導体チップが割れることを抑止することができ
る。なお、トレー本体1に穴のない薄いシートを敷き、
そのシート上に穴3cの開いたチップ収納枠3としての
シートを敷くことは可能である。
Further, since the tray main body 1 and the chip storage frame 3 are configured separately, it is easy to recognize the partition when the trays are stacked one on top of the other, and it is also possible to prevent the semiconductor chips from being broken due to the curvature of the tray main body 1. Can be. In addition, spread a thin sheet without holes on the tray body 1,
It is possible to lay a sheet as a chip storage frame 3 having a hole 3c on the sheet.

【0040】(実施形態2)図4は、本発明の実施形態
2に係る半導体チップトレーを示す分解斜視図である。
(Embodiment 2) FIG. 4 is an exploded perspective view showing a semiconductor chip tray according to Embodiment 2 of the present invention.

【0041】図4に示す本発明は、図1に示すトレー本
体1とチップ収納枠3の組合わせに加えて上部トレー5
を有している。
The present invention shown in FIG. 4 is different from the combination of the tray body 1 and the chip storage frame 3 shown in FIG.
have.

【0042】上部トレー5は、トレー本体1にチップ収
納枠3を固定するものであって、上部トレー5は、トレ
ー本体1に脱着可能に取付けられるようになっている。
The upper tray 5 fixes the chip storage frame 3 to the tray body 1, and the upper tray 5 is detachably attached to the tray body 1.

【0043】図4に示す上部トレー5は、上面にチップ
収納枠3の全ての穴3cに半導体チップを投入するため
の開口部5aを設けた枠形状のものであり、その周辺部
が鉤型形状に折り曲げ加工されており、その鉤型額縁部
5bにチップ収納枠3の上縁周辺部3eを受入れ、差込
片5cをトレー本体1の差込穴1eに差込み、鉤型額縁
部5bでチップ収納枠3の上縁周辺部3eをトレー本体
1側に圧下し、チップ収納枠3をトレー本体1に確実に
固定するようになっている。
The upper tray 5 shown in FIG. 4 has a frame shape in which an opening 5a for inserting a semiconductor chip into all the holes 3c of the chip housing frame 3 is provided on the upper surface, and the periphery thereof is hook-shaped. The chip-shaped frame portion 5b receives the upper edge peripheral portion 3e of the chip storage frame 3, and the insertion piece 5c is inserted into the insertion hole 1e of the tray body 1, and the hook-shaped frame portion 5b is bent. The upper edge peripheral portion 3e of the chip storage frame 3 is pressed down to the tray main body 1 side, so that the chip storage frame 3 is securely fixed to the tray main body 1.

【0044】図4に示す差込片5cは舌片状としたが、
これを鍵爪状としてもよいものである。
Although the insertion piece 5c shown in FIG. 4 has a tongue shape,
This may be shaped like a key claw.

【0045】図1に示す実施形態では、チップ収納枠3
をトレー本体1に固定する手段が凸部4のみでありトレ
ー本体1が上下に振動した場合にチップ収納枠3がトレ
ー本体1上でずれてしまう可能性がある。
In the embodiment shown in FIG.
When the tray body 1 vibrates up and down, the chip storage frame 3 may be displaced on the tray body 1 when the means for fixing the chip body to the tray body 1 is only the protrusion 4.

【0046】そこで図4に示す実施形態では、上部トレ
ー5の差込片5cをトレー本体1の差込穴1eに差込ん
で上部トレー5をトレー本体1に固定する。
Therefore, in the embodiment shown in FIG. 4, the insertion piece 5c of the upper tray 5 is inserted into the insertion hole 1e of the tray main body 1, and the upper tray 5 is fixed to the tray main body 1.

【0047】上部トレー5がトレー本体1に固定される
と、上部トレー5の鉤型額縁部5bでチップ収納枠3の
上縁周辺部3eがトレー本体1側に圧下され、チップ収
納枠3がトレー本体1に上下左右の位置決めがされて固
定される。
When the upper tray 5 is fixed to the tray main body 1, the upper edge peripheral portion 3e of the chip storage frame 3 is pressed down by the hook-shaped frame portion 5b of the upper tray 5 toward the tray main body 1, and the chip storage frame 3 is moved. The upper, lower, left and right positions are fixed to the tray body 1.

【0048】図4に示す実施形態によれば、図1でのチ
ップ収納枠3をトレー本体1に固定する構造より確実に
チップ収納枠3をトレー本体1に固定することができ、
半導体チップの欠損をより確実に防止することができ
る。
According to the embodiment shown in FIG. 4, the chip storage frame 3 can be fixed to the tray main body 1 more reliably than the structure in which the chip storage frame 3 is fixed to the tray main body 1 in FIG.
Defects in the semiconductor chip can be more reliably prevented.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、搬
送中の半導体チップの損傷を防止することができ、かつ
チップサイズの変更に対して柔軟且つ容易に対応するこ
とができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to prevent a semiconductor chip from being damaged during transportation, and to flexibly and easily cope with a change in chip size.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態1に係る半導体チップトレー
を示す分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a semiconductor chip tray according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】組立状態を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an assembled state.

【図3】図2のa−a線縦断面図である。FIG. 3 is a vertical sectional view taken along line aa of FIG. 2;

【図4】本発明の実施形態2に係る半導体チップトレー
を示す分解斜視図である。
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a semiconductor chip tray according to Embodiment 2 of the present invention.

【図5】従来例に係る半導体チップトレーを示す分解斜
視図である。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing a semiconductor chip tray according to a conventional example.

【図6】従来例に係る半導体チップトレーを示す図5の
b−b線縦断面図である。
FIG. 6 is a vertical sectional view taken along line bb of FIG. 5 showing a semiconductor chip tray according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 トレー本体 3 チップ収納枠 3a,3b チップ収納枠の角部 3c チップ収納枠の穴 4 凸部 5 上部トレー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Tray main body 3 Chip storage frame 3a, 3b Corner of chip storage frame 3c Hole of chip storage frame 4 Convex part 5 Upper tray

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 トレー本体とチップ収納枠とを有する半
導体チップトレーであって、 前記トレー本体は、前記チップ収納枠を交換可能に保持
搭載するものであり、 前記チップ収納枠は、半導体チップを収納する穴が設け
られ、半導体チップに対面する前記穴の内側壁に緩衝作
用が付与されたものであることを特徴とする半導体チッ
プトレー。
1. A semiconductor chip tray having a tray main body and a chip storage frame, wherein the tray main body holds the chip storage frame in a replaceable manner, and wherein the chip storage frame stores a semiconductor chip. A semiconductor chip tray, wherein a hole for accommodating the semiconductor chip is provided, and an inner wall of the hole facing the semiconductor chip has a buffering action.
【請求項2】 前記トレー本体は凸部を有し、 前記凸部は、前記チップ収納枠の角部を受入れて前記ト
レー本体上でのチップ収納枠の位置決めを行うものであ
ることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップトレ
ー。
2. The method according to claim 1, wherein the tray main body has a convex portion, and the convex portion receives a corner of the chip storage frame and positions the chip storage frame on the tray main body. The semiconductor chip tray according to claim 1.
【請求項3】 前記凸部は、前記チップ収納枠の対角線
上の角部を受入れて半導体チップをトレー本体上に固定
するものであることを特徴とする請求項2に記載の半導
体チップ。
3. The semiconductor chip according to claim 2, wherein the convex portion receives a diagonal corner of the chip storage frame and fixes the semiconductor chip on the tray body.
【請求項4】 前記凸部は、積重ねられるトレー本体を
支えてトレー本体相互間に半導体チップの収納用空間を
確保するものであることを特徴とする請求項2又は3に
記載の半導体チップトレー。
4. The semiconductor chip tray according to claim 2, wherein the projection supports the stacked tray bodies to secure a space for accommodating semiconductor chips between the tray bodies. .
【請求項5】 上部トレーを有し、 前記上部トレーは、トレー本体にチップ収納枠を固定す
るものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体
チップトレー。
5. The semiconductor chip tray according to claim 1, further comprising an upper tray, wherein the upper tray fixes a chip storage frame to the tray body.
【請求項6】 前記上部トレーは、トレー本体に脱着可
能に取付けるものであることを特徴とする請求項5に記
載の半導体チップトレー。
6. The semiconductor chip tray according to claim 5, wherein the upper tray is detachably attached to the tray body.
【請求項7】 前記トレー本体と前記チップ収納枠は、
静電防止対策が施されたものであることを特徴とする請
求項1に記載の半導体チップトレー。
7. The tray main body and the chip storage frame,
2. The semiconductor chip tray according to claim 1, wherein an antistatic measure is taken.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007030940A (en) * 2005-07-27 2007-02-08 Kyocera Kinseki Corp Optical component storage method and storage container
JP2010013189A (en) * 2009-08-25 2010-01-21 Mitsubishi Electric Corp Tray for semiconductor element
US8125297B2 (en) 2008-07-31 2012-02-28 Taiyo Yuden Co., Ltd. Filter, duplexer, and communication apparatus
CN115892676B (en) * 2022-09-27 2024-11-15 江铃汽车股份有限公司 Flexible general engine complete machine frame

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007030940A (en) * 2005-07-27 2007-02-08 Kyocera Kinseki Corp Optical component storage method and storage container
US8125297B2 (en) 2008-07-31 2012-02-28 Taiyo Yuden Co., Ltd. Filter, duplexer, and communication apparatus
JP2010013189A (en) * 2009-08-25 2010-01-21 Mitsubishi Electric Corp Tray for semiconductor element
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