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JP2001284768A - 回路パターン形成方法及びそれによって形成された配線基板 - Google Patents

回路パターン形成方法及びそれによって形成された配線基板

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JP2001284768A
JP2001284768A JP2000091727A JP2000091727A JP2001284768A JP 2001284768 A JP2001284768 A JP 2001284768A JP 2000091727 A JP2000091727 A JP 2000091727A JP 2000091727 A JP2000091727 A JP 2000091727A JP 2001284768 A JP2001284768 A JP 2001284768A
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circuit pattern
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Akihiko Kamata
明彦 鎌田
Takayuki Hamanaka
孝之 浜中
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子写真法によって形成された回路パターン
が高解像度で、かつ良好な電気特性を示す回路パターン
形成方法及びそれによって形成された配線基板を提供す
る。 【解決手段】 回路パターン形成方法は、コロナ帯電器
11により感光体12の表面を帯電する帯電工程、感光
体12の表面にレーザ光13を照射して潜像パターンを
形成する露光工程、供給手段14により回路形成用荷電
性粉末15を感光体12の表面の潜像パターンに静電吸
着させる現像工程、潜像パターン上に現像された回路形
成用荷電性粉末15をセラミックグリーンシート16上
へ転写する転写工程、セラミックグリーンシート16上
に転写された回路形成用荷電性粉末15を定着させ、セ
ラミックグリーンシート16上に回路パターンを形成す
る定着工程で構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路パターン形成
方法及びそれによって形成された配線基板に関し、特に
セラミックグリーンシート上に回路パターンを形成する
にあたって電子写真法により印刷を行なう回路パターン
形成方法及びそれによって形成された配線基板に関す
る。
【0002】
【従来の技術】静電力を利用して回路形成用荷電性粉末
を誘電体層上に所望の回路パターンとして形成する回路
パターン形成方法と、この回路パターン形成方法に使用
される回路形成用荷電性粉末とが、例えば、特開平4−
236484号公報に開示されている。このような回路
形成用荷電性粉末(帯電性粒子)は、導電性金属粒子
(金属粉末)と荷電制御剤とを熱可塑性樹脂(熱溶融性
樹脂)中に均一分散させた構造をなし、その平均粒径は
10〜15μmである。そして、具体的な回路形成用荷
電性粉末の製造方法としては、まず、導電性金属粒子で
ある平均粒径が0.4μmのフレーク形状の銀粒子、荷
電制御剤であるアゾ系金属染料、及び熱可塑性樹脂であ
るスチレンアクリル共重合体をそれぞれ80:1:19
の重量比で混合し、これをニーダにより熱溶融混練す
る。その後、カッターミルによる粗粉砕、ジェットミル
による微粉砕、及び気流式分級を行うものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
回路形成用荷電性粉末は、導電性金属粒子と熱可塑性樹
脂との含有率が80:20〜90:10(wt%)であ
るため、回路形成用荷電性粉末の比重が3〜5g/cm
3にもなり、通常のOA用荷電性粉末と比較して3倍以
上の値となっている。しかも、熱可塑性樹脂の含有量が
少ないため、帯電量の制御が極めて困難である。したが
って、電子写真法によってセラミックグリーンシート上
に回路パターンを印刷する場合に従来の回路形成用荷電
性粉末を使用すると、回路形成用荷電性粉末とキャリア
との間の静電引力のみでは現像スリーブ回転時にキャリ
ア表面に回路形成用荷電性粉末を保持しきれず、回路形
成用荷電性粉末が飛散してしまい回路パターンの乱れを
引き起こすといった問題があった。
【0004】また、従来の回路形成用荷電性粉末では、
粉砕法を用いて作製された場合、導電性金属粒子の表面
が露出して帯電制御が困難となるのを防ぐため、球形化
処理が必須である。この球形化処理は、例えば、特開平
4−101156号公報に開示されているように、奈良
機械製作所社製のハイブリダイゼーションシステムを用
いて行われる。しかし、このような球形化処理された回
路形成用荷電性粉末では、キャリアまたは現像スリーブ
への回路形成用荷電性粉末の接触面積が小さいため、現
像スリーブ回転時におけるキャリア表面での回路形成用
荷電性粉末の保持能力がさらに低下して、回路形成用荷
電性粉末の飛散による回路パターンの乱れの一因になっ
ているといった問題もあった。
【0005】この対策としては、回路形成用荷電性粉末
の質量を低減させることが挙げられる。その1つの方法
として、回路形成用荷電性粉末を小粒径化して回路形成
用荷電性粉末の質量を低減する方法がある。しかし、通
常用いられる回路形成用荷電性粉末は、粒径が5〜10
μm程度であり、これ以上粒径を小さくすると、ファン
デルワールス力の寄与率が高くなり、静電気力でのコン
トロールが困難となる。その結果、これ以上の小粒径化
した回路形成用荷電性粉末では、カブリのない高解像度
の回路パターンを形成することが困難である。
【0006】また、他の方法として、導電性金属粒子の
含有率を下げ、または熱可塑性樹脂の含有率を上げて回
路形成用荷電性粉末の質量を低減する方法がある。同一
粒径のまま熱可塑性樹脂の含有率を上げると、回路形成
用荷電性粉末の質量を低減できる上に回路形成用荷電性
粉末の帯電量も向上できるため、回路形成用荷電性粉末
の飛散は防止できる。しかし、その回路形成用荷電性粉
末では導電性金属粒子の粒径が小さくなり、熱可塑性樹
脂からなる被膜の膜厚が厚くなってしまう。つまり、セ
ラミックグリーンシートを焼成する際に熱可塑性樹脂が
分解すると導電性金属粒子間の距離が長くなってしまい
良好な電気抵抗を有する回路パターンを形成することが
困難である。
【0007】本発明は、このような問題点を解消するた
めになされたものであり、電子写真法によって形成され
た回路パターンが高解像度で、かつ良好な電気特性を示
す回路パターン形成方法及びそれによって形成された配
線基板を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述する問題点を解決す
るため、本発明の回路パターン形成方法は、感光体の表
面を帯電する帯電工程と、前記感光体に静電的な潜像パ
ターンを形成する露光工程と、前記潜像パターン上へ回
路形成用荷電性粉末を静電力により付着させる現像工程
と、前記潜像パターン上の前記回路形成用荷電性粉末を
前記セラミックグリーンシート上へ転写する転写工程
と、前記セラミックグリーンシート上へ転写された前記
回路形成用荷電性粉末を定着させる定着工程とを含む回
路パターン形成方法であって、前記回路形成用荷電性粉
末が、導電性金属あるいは導電性金属酸化物の1次粒子
あるいは2次粒子の外周に熱可塑性樹脂を被覆したもの
であって、その形状が(長径−短径)/長径で定義され
る偏平率で0.5以上、1未満の範囲にあることを特徴
とする。
【0009】本発明の配線基板は、上述の回路パターン
形成方法によって、回路パターンが形成された前記セラ
ミックグリーンシートを焼成してなることを特徴とす
る。
【0010】また、本発明の配線基板は、上述の回路パ
ターン形成方法によって、回路パターンが形成された前
記セラミックグリーンシートを積層し、焼成してなるこ
とを特徴とする。
【0011】本発明の回路パターン形成方法によれば、
導電性金属あるいは導電性金属酸化物の1次粒子あるい
は2次粒子の外周に熱可塑性樹脂を被覆したものであっ
て、その形状が(長径−短径)/長径で定義される偏平
率で0.5以上、1未満の範囲にある回路形成用荷電性
粉末を用いているため、キャリアまたは現像スリーブへ
の回路形成用荷電性粉末の接触面積が増加させることが
でき、その結果、回路形成用荷電性粉末の飛散を抑えた
カブリのない高解像度で、かつ良好な電気抵抗を示す回
路パターンを形成することができる。
【0012】本発明の配線基板によれば、導電性金属あ
るいは導電性金属酸化物の1次粒子あるいは2次粒子の
外周に熱可塑性樹脂を被覆したものであって、その形状
が(長径−短径)/長径で定義される偏平率で0.5以
上、1未満の範囲にある回路形成用荷電性粉末を用い
て、電子写真法によって回路パターンをセラミックグリ
ーンシートに印刷し、その後、それらのセラミックグリ
ーンシートを焼成して配線基板を形成するため、高解像
度で、かつ良好な電気抵抗の回路パターンを備えた配線
基板を得ることが可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。図1は、本発明の回路パターン形成方
法に係る一実施例に用いる電子写真システムの構成図で
ある。セラミックグリーンシート上の回路パターン形成
方法は、コロナ帯電器11により感光体12の表面を帯
電する帯電工程、感光体12の表面にレーザ光13を照
射して所望の潜像パターン(図示せず)を形成する露光
工程、供給手段14により回路形成用荷電性粉末15を
感光体12の表面の潜像パターンに静電吸着させる現像
工程、セラミックグリーンシート16の背面から転写器
17により、セラミックグリーンシート16に回路形成
用荷電性粉末15と逆極性の電荷を与え、潜像パターン
上に現像された回路形成用荷電性粉末15をセラミック
グリーンシート16上へ転写する転写工程、フラッシュ
ランプ18の照射によりセラミックグリーンシート16
上に転写された回路形成用荷電性粉末15を定着させ、
セラミックグリーンシート16上に回路パターン(図示
せず)を形成する定着工程で構成される。 [実施例1]図2は、図1の回路パターン形成方法に用
いられる回路形成用荷電性粉末の断面図である。回路形
成用荷電性粉末15は、導電性金属粒子の1次粒子であ
る長径(Lm)6.2μm、短径(Sm)3.0μmの
偏平形状をなす銅粒子21を熱可塑性樹脂であるスチレ
ンアクリル系樹脂22で被覆し、その外周に、荷電制御
剤であるアゾ系金属染料23を固着させた構造をなして
おり、その形状は長径(L)7.6μm、短径(S)
3.7μmであった。
【0014】そして、その製造方法は、銅粒子21の表
面にスチレンアクリル系樹脂22のモノマーを重合して
被覆した後、その表面にアゾ系金属染料23を固着す
る。 [実施例2]図3は、図1の回路パターン形成方法に用
いられる別の回路形成用荷電性粉末の断面図である。回
路形成用荷電性粉末15aは、導電性金属粒子の1次粒
子である長径(Lm)6.2μm、短径(Sm)3.0
μmの偏平形状をなす銅粒子21の外周に、荷電制御剤
であるアゾ系金属染料23を固着させた後、熱可塑性樹
脂であるスチレンアクリル系樹脂22を被覆した構造を
なしており、その形状は長径(L)8.5μm、短径
(S)3.4μmであった。
【0015】そして、その製造方法は、銅粒子21、ス
チレンアクリル系樹脂22及びアゾ系金属染料23をそ
れぞれ80:20:0.1の重量比で混合し、ハイブリ
ダイゼーションに投入し4000rpmで1分間処理し
た後、その表面に外添剤となるシリカを付着させる。 [比較例1]平均粒径が4.3μmの球状銅粒子、スチ
レンアクリル系樹脂及びアゾ系金属染料をそれぞれ8
0:20:0.1の重量比で混合し、ハイブリダイゼー
ションに投入し4000rpmで1分間処理した後、そ
の表面に外添剤となるシリカを付着させ、比較例1の回
路形成用荷電性粉末を得た。 [比較例2]平均粒径が4.3μmの球状銅粒子を二枚
の平行平板で挟んで圧力を加え、球状銅粒子を偏平形状
にした後、この偏平形状をなす銅粒子、スチレンアクリ
ル系樹脂及びアゾ系金属染料をそれぞれ80:20:
0.1の重量比で混合し、ハイブリダイゼーションに投
入し4000rpmで1分間処理した後、その表面に外
添剤となるシリカを付着させ、比較例2の回路形成用荷
電性粉末(長径8.9μm、短径5.2μm)を得た。
【0016】次いで、実施例1,2、比較例1,2の回
路形成用荷電性粉末を用いて、図1に示した電子写真法
により回路パターンを印刷したセラミックグリーンシー
トを還元雰囲気中で1000℃の加熱をし、セラミック
グリーンシートおよび回路パターンを焼結してセラミッ
ク基板上に回路パターンを形成した。
【0017】そして、上述の実施例1,2、比較例1,
2の回路形成用荷電性粉末を用いた各回路パターンにつ
いて、印刷工程の後、セラミックグリーンシート上にお
ける回路形成用荷電性粉末の飛散の有無を観察し、ま
た、焼結後のセラミック基板上の回路パターンについて
シート抵抗を測定した。その結果を表1示す。
【0018】
【表1】
【0019】表1から明らかなように、比較例1,2の
回路形成用荷電性粉末では、現像スリーブ/感光体周速
比が3以下で回路形成用荷電性粉末の飛散が生じてしま
うのに対して、実施例1の回路形成用荷電性粉末ではこ
の周速比が6.3まで、実施例2の回路形成用荷電性粉
末ではこの周速比が4.5まで回路形成用荷電性粉末の
飛散の発生を抑えることができた。
【0020】また、実施例1,2の回路形成用荷電性粉
末を用いた回路パターンのシート抵抗は、実施例1では
2.8mΩ/□、実施例2では2.6mΩ/□と良好な
ものであった。
【0021】上述の実施例の回路パターン形成方法によ
れば、導電性金属の1次粒子である銅粒子の外周に熱可
塑性樹脂を被覆したものであって、その形状が(長径−
短径)/長径で定義される偏平率で0.5以上、1未満
の範囲にある回路形成用荷電性粉末を用いているため、
キャリアまたは現像スリーブへの回路形成用荷電性粉末
の接触面積が増加させることができ、その結果、回路形
成用荷電性粉末の飛散を抑えたカブリのない高解像度
で、かつ良好な電気抵抗を示す回路パターンを形成する
ことができる。
【0022】図4は、本発明の配線基板に係る第1の実
施例の断面図である。配線基板30は、セラミックグリ
ーンシート31を備える。そして、セラミックグリーン
シート31上に、上述の実施例1,2の回路形成用荷電
性粉末を使用して、電子写真法によって回路パターン3
2を印刷した後、還元雰囲気中において約1000℃で
焼成する。
【0023】図5は、本発明の配線基板に係る第2の実
施例の断面図である。配線基板40は、第1〜第3のセ
ラミックグリーンシート41a〜41cを備える。そし
て、第2及び第3のセラミックグリーンシート41b,
41c上に、上述の実施例1,2の回路形成用荷電性粉
末を使用して、電子写真法によって回路パターン42
a,42bを印刷する。次いで、第1〜第3のセラミッ
クグリーンシート41a〜41cを積層して圧力をか
け、一体成形した後、還元雰囲気中において約1000
℃で焼成する。
【0024】なお、第2及び第3のセラミックグリーン
シート41b,41c上の回路パターン42a,42b
は、ビアホール43により接続されるが、このビアホー
ル43は既存の技術で形成される。例えば、導体描画装
置を用いてビアホールごとに導体を圧入していく方法な
どがある。この場合には、回路パターンを42a,42
bを電子写真法で形成した後、ビアホール43を形成す
ると粉体が描画機のノズルを傷める可能性があるため、
回路パターン42a,42bを形成する前にビアホール
43を形成しておくことが好ましい。
【0025】上述の実施例の配線基板によれば、導電性
金属の1次粒子である銅粒子の外周に熱可塑性樹脂を被
覆したものであって、その形状が(長径−短径)/長径
で定義される偏平率で0.5以上、1未満の範囲にある
回路形成用荷電性粉末を用いて、電子写真法によって回
路パターンをセラミックグリーンシートに印刷し、その
後、それらのセラミックグリーンシートを焼成して配線
基板を形成するため、高解像度で、かつ良好な電気抵抗
の回路パターンを備えた配線基板を得ることが可能とな
る。
【0026】なお、上述の実施例では、導電性金属の1
次粒子である銅粒子を用いる場合について説明したが、
導電性金属酸化物の1次粒子、導電性金属あるいは導電
性金属酸化物を凝集した2次粒子を用いた場合にも同様
の効果が得られる。
【0027】
【発明の効果】本発明の回路パターン形成方法によれ
ば、導電性金属あるいは導電性金属酸化物の1次粒子あ
るいは2次粒子の外周に熱可塑性樹脂を被覆したもので
あって、その形状が(長径−短径)/長径で定義される
偏平率で0.5以上、1未満の範囲にある回路形成用荷
電性粉末を用いているため、キャリアまたは現像スリー
ブへの回路形成用荷電性粉末の接触面積が増加させるこ
とができ、その結果、回路形成用荷電性粉末の飛散を抑
えたカブリのない高解像度で、かつ良好な電気抵抗を示
す回路パターンを形成することができる。
【0028】本発明の配線基板によれば、導電性金属あ
るいは導電性金属酸化物の1次粒子あるいは2次粒子の
外周に熱可塑性樹脂を被覆したものであって、その形状
が(長径−短径)/長径で定義される偏平率で0.5以
上、1未満の範囲にある回路形成用荷電性粉末を用い
て、電子写真法によって回路パターンをセラミックグリ
ーンシートに印刷し、その後、それらのセラミックグリ
ーンシートを焼成して配線基板を形成するため、高解像
度で、かつ良好な電気抵抗の回路パターンを備えた配線
基板を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の回路パターン形成方法に係る一実施例
に用いる電子写真システムの構成図である。
【図2】図1の回路パターン形成方法に用いられる回路
形成用荷電性粉末の断面図である。
【図3】図1の回路パターン形成方法に用いられる別の
回路形成用荷電性粉末の断面図である。
【図4】本発明の配線基板に係る第1の実施例の断面図
である。
【図5】本発明の配線基板に係る第2の実施例の断面図
である。
【符号の説明】
12 感光体 15,15a 回路形成用荷電性粉末 16,31,41a〜41c セラミックグリーン
シート 21 導電性金属の1次粒子(銅粒子) 22 熱可塑性樹脂 30,40 配線基板 32,42a,42b 回路パターン
フロントページの続き Fターム(参考) 2H005 AA15 AA29 CA04 CB06 4E351 AA07 BB01 BB29 CC16 CC27 DD04 DD31 DD52 DD56 GG01 GG09 5E343 AA02 AA23 BB15 BB21 BB24 BB59 BB78 DD72 ER35 GG08 GG13 5E346 AA12 AA15 AA38 BB01 CC17 CC31 CC32 DD02 DD11 DD33 EE24 EE29 GG03 GG06 HH01 HH26

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 感光体の表面を帯電する帯電工程と、前
    記感光体に静電的な潜像パターンを形成する露光工程
    と、前記潜像パターン上へ回路形成用荷電性粉末を静電
    力により付着させる現像工程と、前記潜像パターン上の
    前記回路形成用荷電性粉末を前記セラミックグリーンシ
    ート上へ転写する転写工程と、前記セラミックグリーン
    シート上へ転写された前記回路形成用荷電性粉末を定着
    させる定着工程とを含む回路パターン形成方法であっ
    て、 前記回路形成用荷電性粉末が、導電性金属あるいは導電
    性金属酸化物の1次粒子あるいは2次粒子の外周に熱可
    塑性樹脂を被覆したものであって、その形状が(長径−
    短径)/長径で定義される偏平率で0.5以上、1未満
    の範囲にあることを特徴とする回路パターン形成方法。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の回路パターン形成方法
    によって、回路パターンが形成された前記セラミックグ
    リーンシートを焼成してなることを特徴とする配線基
    板。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の回路パターン形成方法
    によって、回路パターンが形成された前記セラミックグ
    リーンシートを積層し、焼成してなることを特徴とする
    配線基板。
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