JP2000068395A - 電子パッケ―ジ - Google Patents
電子パッケ―ジInfo
- Publication number
- JP2000068395A JP2000068395A JP11174160A JP17416099A JP2000068395A JP 2000068395 A JP2000068395 A JP 2000068395A JP 11174160 A JP11174160 A JP 11174160A JP 17416099 A JP17416099 A JP 17416099A JP 2000068395 A JP2000068395 A JP 2000068395A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- package
- aluminum
- adhesive
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H10W76/17—
-
- H10W70/6875—
-
- H10W76/157—
-
- H10W76/60—
-
- H10W70/682—
-
- H10W72/884—
-
- H10W74/00—
-
- H10W90/756—
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49121—Beam lead frame or beam lead device
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Casings For Electric Apparatus (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 アルミ製ベース部品にセットされた電子デバ
イスとボンディングワイヤでアース接続されたリードフ
レームをベース部品とウインドフレームの一方の面との
間に挟んでこれらとそれぞれ接着させ、さらにウインド
フレームに他方の面にアルミ製のカバー部品を接着し、
べース部品とベース部品の露出部分を陽極酸化層で被覆
する構成とすることにより、電子パッケージを軽量かつ
廉価にする。 【解決手段】 電子パッケージ50は、アルミ製のベー
ス部品14のくぼみ18の内部表面36に接着剤31を
介して電子デバイス12をセットし、リードフレーム2
4をベース部品とウインドフレーム50との間に挟んで
接着剤32によりそれぞれに接着する。リードフレーム
24は、電子デバイス12とボンディングワイヤ30で
アース接続されている。ウインドフレーム50は、リー
ドフレーム24と反対側で接着剤56を介してアルミ製
のカバー部品16に接着する。さらにカバー部品16と
ベース部品14の少なくとも露出部分には陽極酸化層3
4が被覆されている。
イスとボンディングワイヤでアース接続されたリードフ
レームをベース部品とウインドフレームの一方の面との
間に挟んでこれらとそれぞれ接着させ、さらにウインド
フレームに他方の面にアルミ製のカバー部品を接着し、
べース部品とベース部品の露出部分を陽極酸化層で被覆
する構成とすることにより、電子パッケージを軽量かつ
廉価にする。 【解決手段】 電子パッケージ50は、アルミ製のベー
ス部品14のくぼみ18の内部表面36に接着剤31を
介して電子デバイス12をセットし、リードフレーム2
4をベース部品とウインドフレーム50との間に挟んで
接着剤32によりそれぞれに接着する。リードフレーム
24は、電子デバイス12とボンディングワイヤ30で
アース接続されている。ウインドフレーム50は、リー
ドフレーム24と反対側で接着剤56を介してアルミ製
のカバー部品16に接着する。さらにカバー部品16と
ベース部品14の少なくとも露出部分には陽極酸化層3
4が被覆されている。
Description
【発明の属する技術分野】
【0001】本発明は、一般的には電子デバイスを包囲
するための電子パッケージに関し、更に詳しくは、耐食
性が改善された軽量非ハーメチックパッケージに関す
る。本発明は、さらに上記パッケージを組立てる方法お
よびそのためのキットにも関する。
するための電子パッケージに関し、更に詳しくは、耐食
性が改善された軽量非ハーメチックパッケージに関す
る。本発明は、さらに上記パッケージを組立てる方法お
よびそのためのキットにも関する。
【0002】
【従来技術】電子産業に於いて、シリコンベースの半導
体デバイスのような集積回路の急速な発展と広範な使用
の結果、電子デバイスを収容するためのパッケージの設
計に増殖を生じている。これらのパッケージは、ハーメ
チックか非ハーメチックに広く分類することができる。
ハーメチックパッケージは、一般的にセラミック又は金
属部品から作られ、且つ通常ガラスでシールされる。ハ
ーメチックパッケージの一例は、セラミックデュアルイ
ンラインパッケージ、CERDIPである。
体デバイスのような集積回路の急速な発展と広範な使用
の結果、電子デバイスを収容するためのパッケージの設
計に増殖を生じている。これらのパッケージは、ハーメ
チックか非ハーメチックに広く分類することができる。
ハーメチックパッケージは、一般的にセラミック又は金
属部品から作られ、且つ通常ガラスでシールされる。ハ
ーメチックパッケージの一例は、セラミックデュアルイ
ンラインパッケージ、CERDIPである。
【0003】非ハーメチックパッケージは、一般的にセ
ラミック、金属又はプラスチック部品から作られ、且つ
通常エポキシでシールされる。非ハーメチックパッケー
ジは又、この電子デバイスの周にプラスチック本体をモ
ールドすることによっても作られる。
ラミック、金属又はプラスチック部品から作られ、且つ
通常エポキシでシールされる。非ハーメチックパッケー
ジは又、この電子デバイスの周にプラスチック本体をモ
ールドすることによっても作られる。
【0004】金属の非ハーメチックパッケージには、金
属ベースとカバー部品があり、ウィンドフレームはあっ
たりなかったりする。リードフレームは、このベース部
品とカバー部品の間かベース部品とウィンドフレームの
間に配置される。これらのパッケージ部品は、エポキシ
のようなポリマー接着剤で互いに接着される。
属ベースとカバー部品があり、ウィンドフレームはあっ
たりなかったりする。リードフレームは、このベース部
品とカバー部品の間かベース部品とウィンドフレームの
間に配置される。これらのパッケージ部品は、エポキシ
のようなポリマー接着剤で互いに接着される。
【0005】エポキシでシールした非ハーメチックパッ
ケージは、ハスコーに発行された米国特許第4,10
5,861号及びブットに発行された米国特許第4,5
94,770号に開示されている。銅又は銅合金が、そ
の高い熱伝導性のために米国特許第4,594,770
号では好まれている。
ケージは、ハスコーに発行された米国特許第4,10
5,861号及びブットに発行された米国特許第4,5
94,770号に開示されている。銅又は銅合金が、そ
の高い熱伝導性のために米国特許第4,594,770
号では好まれている。
【0006】金属に対するこのエポキシの接着強度を最
大にすることが望ましい。金属と接着剤の結合を改善す
る一つの方法は、この金属サブストレートに対してより
強い結合をなす第2の材料でこの金属部品を被覆するこ
とである。この第2の材料は、クラッド、メッキ、スパ
ッタリング、蒸着、その他この技術分野で知られている
技法によって付着させることができる。この結合は、酸
化又はパッシベーションのような付着後の処理によって
更に強化することができる。樹脂接着を改善するために
銅ベースのリードフレームを被覆することが、スズキ外
に発行された米国特許第4,707,724号に開示さ
れている。
大にすることが望ましい。金属と接着剤の結合を改善す
る一つの方法は、この金属サブストレートに対してより
強い結合をなす第2の材料でこの金属部品を被覆するこ
とである。この第2の材料は、クラッド、メッキ、スパ
ッタリング、蒸着、その他この技術分野で知られている
技法によって付着させることができる。この結合は、酸
化又はパッシベーションのような付着後の処理によって
更に強化することができる。樹脂接着を改善するために
銅ベースのリードフレームを被覆することが、スズキ外
に発行された米国特許第4,707,724号に開示さ
れている。
【0007】モールドしたプラスチックパッケージは、
動作中多量の熱を発生する大電力回路に対しては熱伝導
度が不十分である。銅のベース及びカバー部品は、航空
宇宙のような用途には付加する重量が大きすぎるかもし
れない。
動作中多量の熱を発生する大電力回路に対しては熱伝導
度が不十分である。銅のベース及びカバー部品は、航空
宇宙のような用途には付加する重量が大きすぎるかもし
れない。
【0008】アルミベースの金属パッケージは、銅ベー
スの金属パッケージに比べてかなりの利点を有するだろ
う。組立てたパッケージの重量は、比較しうる銅パッケ
ージのそれより約60%まで少い。この重量は、多数の
電子デバイスを使い且つ重量による不利益がかなりある
航空宇宙、軍事及び大気圏外空間の用途では重要であ
る。
スの金属パッケージに比べてかなりの利点を有するだろ
う。組立てたパッケージの重量は、比較しうる銅パッケ
ージのそれより約60%まで少い。この重量は、多数の
電子デバイスを使い且つ重量による不利益がかなりある
航空宇宙、軍事及び大気圏外空間の用途では重要であ
る。
【0009】これまで、アルミ及びアルミ合金は、その
腐食傾向のために、電子パッケージに対しては満足では
なかった。この組立てたパッケージは、米軍規格MIL
−STD−883に規定する塩水腐食試験に不合格であ
る。
腐食傾向のために、電子パッケージに対しては満足では
なかった。この組立てたパッケージは、米軍規格MIL
−STD−883に規定する塩水腐食試験に不合格であ
る。
【0010】この塩水腐食試験は、重量で3%の塩化ナ
トリウムを含む水溶液を使用する。この溶液を35℃に
保持し、パッケージを24時間浸漬する。取り出すと、
アルミベースの合金から作ったパッケージは無数の小さ
な腐食ピットを示す。比較するに、称呼成分でFe
0.5%、Mg 0.035%、P 0.18%残りが銅
の銅合金197を使って作ったパッケージは、同じ24
時間塩水腐食試験の後に何も腐食ピットを示さない。
トリウムを含む水溶液を使用する。この溶液を35℃に
保持し、パッケージを24時間浸漬する。取り出すと、
アルミベースの合金から作ったパッケージは無数の小さ
な腐食ピットを示す。比較するに、称呼成分でFe
0.5%、Mg 0.035%、P 0.18%残りが銅
の銅合金197を使って作ったパッケージは、同じ24
時間塩水腐食試験の後に何も腐食ピットを示さない。
【0011】
【発明が解決しようとしている課題】本発明の目的は、
アルミ又はアルミベースの合金部品から電子パッケージ
を製造することである。
アルミ又はアルミベースの合金部品から電子パッケージ
を製造することである。
【0012】本発明の利点は、アルミ又はアルミベース
の合金部品が改良された耐食性を有することである。
の合金部品が改良された耐食性を有することである。
【0013】本発明の特徴は、この改良された耐食性が
接着前にこのアルミ又はアルミベースの合金部品の少く
とも一部を陽極酸化することによって与えられることで
ある。
接着前にこのアルミ又はアルミベースの合金部品の少く
とも一部を陽極酸化することによって与えられることで
ある。
【0014】本発明の利点は、アルミ又はアルミベース
の合金のパッケージ部品が比較しうる銅又は銅合金部品
より約60%まで少い重量しかないことである。
の合金のパッケージ部品が比較しうる銅又は銅合金部品
より約60%まで少い重量しかないことである。
【0015】本発明の利点は、このアルミ又はアルミベ
ースの合金部品が比較しうる銅又は銅合金ベースの部品
より費用がかからないことである。
ースの合金部品が比較しうる銅又は銅合金ベースの部品
より費用がかからないことである。
【0016】本発明の利点は、この電子デバイスが、高
い熱伝導度を維持しながら、このパッケージ部品から電
気的に絶縁されてもよいことである。
い熱伝導度を維持しながら、このパッケージ部品から電
気的に絶縁されてもよいことである。
【0017】本発明によれば、前記の目的、特徴及び利
点が電子デバイスを包装するパッケージによって得られ
る。このパッケージは、アルミ又はアルミ合金のベース
及びカバー部品を含む。リードフレームは、このベース
及びカバー部品の間に配置され、両者に接着するように
されている。陽極酸化層は、少くともこのベース及びカ
バー部品の大気に暴された部分を覆う。このパッケージ
は樹脂でシールされてもよい。改良されたシールは、こ
のベース及びカバー部品のシール領域を陽極酸化するこ
とによって得られる。
点が電子デバイスを包装するパッケージによって得られ
る。このパッケージは、アルミ又はアルミ合金のベース
及びカバー部品を含む。リードフレームは、このベース
及びカバー部品の間に配置され、両者に接着するように
されている。陽極酸化層は、少くともこのベース及びカ
バー部品の大気に暴された部分を覆う。このパッケージ
は樹脂でシールされてもよい。改良されたシールは、こ
のベース及びカバー部品のシール領域を陽極酸化するこ
とによって得られる。
【0018】従って、アルミ又はアルミベース合金の部
品を軽量非ハーメチックパッケージを請求する。改善さ
れた耐食性は、このパッケージ部品の表面の少くとも一
部に付けられた陽極酸化面によって得られる。
品を軽量非ハーメチックパッケージを請求する。改善さ
れた耐食性は、このパッケージ部品の表面の少くとも一
部に付けられた陽極酸化面によって得られる。
【0019】接着を強化するために、この合金のシール
面に、アルミ酸化物のような耐火性酸化物を形成するこ
とが知られている。例えば、ブットに発行された米国特
許第4,542,259号は、ガラスのシール性を強化
するために銅合金CDA 63800上に耐火性酸化物
被膜を形成することを開示している。銅合金63800
は、約2%乃至約12%のアルミを含む銅ベースの合金
である。
面に、アルミ酸化物のような耐火性酸化物を形成するこ
とが知られている。例えば、ブットに発行された米国特
許第4,542,259号は、ガラスのシール性を強化
するために銅合金CDA 63800上に耐火性酸化物
被膜を形成することを開示している。銅合金63800
は、約2%乃至約12%のアルミを含む銅ベースの合金
である。
【0020】陽極酸化したアルミ表面は、耐火性アルミ
酸化物表面とは成分的に異なる。耐火性酸化物は、無水
又は水無しである。陽極酸化した表面は、水和アルミ酸
化物を含む。この水の濃度は、こん跡からアルミ酸化物
(Al2O3・H2O)とほぼ等しいモル濃度まで変わ
る。この陽極酸化は、通常耐火性酸化物層を作るために
使われるような高温酸化ではなくて、電気化学的方法に
よって付けられる。
酸化物表面とは成分的に異なる。耐火性酸化物は、無水
又は水無しである。陽極酸化した表面は、水和アルミ酸
化物を含む。この水の濃度は、こん跡からアルミ酸化物
(Al2O3・H2O)とほぼ等しいモル濃度まで変わ
る。この陽極酸化は、通常耐火性酸化物層を作るために
使われるような高温酸化ではなくて、電気化学的方法に
よって付けられる。
【0021】メッキ、スパッタリング、又は蒸着のよう
な化学的付着技法とは違って、陽極酸化は化学的変換法
である。化学的変換法は、ベース金属の化合物から成る
表面被膜を形成する。
な化学的付着技法とは違って、陽極酸化は化学的変換法
である。化学的変換法は、ベース金属の化合物から成る
表面被膜を形成する。
【0022】本発明を添付図を参照して実施例の形で以
下に詳細に説明する。
下に詳細に説明する。
【0023】
【発明の実施の態様】図1は、電子デバイス12を収容
するようにされた電子パッケージ10を示す。この電子
デバイス12は、典型的にはツリコンベースの半導体デ
バイスのような集積回路である。このパッケージ10
は、ベース部品14とカバー部品16を含む。くぼみ1
8は、このベース部品14に任意に作られている。第2
くぼみ20は、このカバー部品16に任意に作られてい
る。これらのくぼみは、電子デバイス12を囲むための
空胴22を作る役割をする。これらのくぼみは、通常フ
ライス削り又は化学エッチングによって作られる。その
代りに、これらの空胴を作るために金属変形法を使って
もよい。
するようにされた電子パッケージ10を示す。この電子
デバイス12は、典型的にはツリコンベースの半導体デ
バイスのような集積回路である。このパッケージ10
は、ベース部品14とカバー部品16を含む。くぼみ1
8は、このベース部品14に任意に作られている。第2
くぼみ20は、このカバー部品16に任意に作られてい
る。これらのくぼみは、電子デバイス12を囲むための
空胴22を作る役割をする。これらのくぼみは、通常フ
ライス削り又は化学エッチングによって作られる。その
代りに、これらの空胴を作るために金属変形法を使って
もよい。
【0024】このベース部品14及びカバー部品16
は、アルミ又はアルミ合金から作られるのが好ましい。
ASM(米国金属学会)が3×××シリーズとして呼称
するアルミ合金が好ましい。これらの合金は、約1.5
重量%までのマンガンを他の合金元素と共に含む。これ
らの合金は、熱伝導性が良く、1×××シリーズと呼称
される合金(アルミが99.00%超)より約20%高
い強度を有する。最も好ましいアルミ合金は、称呼成分
が銅約0.12重量%、マンガン約1.2重量%及び残
りアルミであるアルミ合金3003である。
は、アルミ又はアルミ合金から作られるのが好ましい。
ASM(米国金属学会)が3×××シリーズとして呼称
するアルミ合金が好ましい。これらの合金は、約1.5
重量%までのマンガンを他の合金元素と共に含む。これ
らの合金は、熱伝導性が良く、1×××シリーズと呼称
される合金(アルミが99.00%超)より約20%高
い強度を有する。最も好ましいアルミ合金は、称呼成分
が銅約0.12重量%、マンガン約1.2重量%及び残
りアルミであるアルミ合金3003である。
【0025】リードフレーム24は、このベース部品1
4とカバー部品16の間に配置されている。このリード
フレーム24は、内リード端26と外リード端28を含
む。内リード端26は、例えばボンデイグワイヤ30に
よって電子デバイス12と電気的に相互接続するように
されている。外リード端28は、プリント基板のような
外部装置と接続するようにされている。
4とカバー部品16の間に配置されている。このリード
フレーム24は、内リード端26と外リード端28を含
む。内リード端26は、例えばボンデイグワイヤ30に
よって電子デバイス12と電気的に相互接続するように
されている。外リード端28は、プリント基板のような
外部装置と接続するようにされている。
【0026】この電子デバイス12は、ダイ接着剤31
によってこのベース部品14に接着されている。このダ
イ接着剤31は、電子デバイス12の要求に依って導電
性でも電気絶縁性でもよい。アルミ又はアルミ合金のベ
ース部品14の熱膨張係数は約230x10-7/℃乃至
約274x10-7/℃であり、電子デバイスの熱膨張係
数は約49x10-7/℃であるので、柔軟なダイ接着シ
ステムを使用するのが好ましい。柔軟なダイ接着システ
ムは、ダイ接着、パッケージのシール及びデバイスの動
作中に発生する熱膨張係数の不整合によって生ずる応力
を吸収するだろう。銀入りポリイミドダイ接着システム
は、比較的低い熱膨張係数のバッファを備えるのでこの
パッケージに特に適している。
によってこのベース部品14に接着されている。このダ
イ接着剤31は、電子デバイス12の要求に依って導電
性でも電気絶縁性でもよい。アルミ又はアルミ合金のベ
ース部品14の熱膨張係数は約230x10-7/℃乃至
約274x10-7/℃であり、電子デバイスの熱膨張係
数は約49x10-7/℃であるので、柔軟なダイ接着シ
ステムを使用するのが好ましい。柔軟なダイ接着システ
ムは、ダイ接着、パッケージのシール及びデバイスの動
作中に発生する熱膨張係数の不整合によって生ずる応力
を吸収するだろう。銀入りポリイミドダイ接着システム
は、比較的低い熱膨張係数のバッファを備えるのでこの
パッケージに特に適している。
【0027】リードフレーム24をベース部品14及び
カバー部品16にシールするのは接着層32である。こ
れらの接着層は、この技術分野で知られているとの接着
剤でもよく、普通はポリマー接着剤又はツールガラスで
ある。
カバー部品16にシールするのは接着層32である。こ
れらの接着層は、この技術分野で知られているとの接着
剤でもよく、普通はポリマー接着剤又はツールガラスで
ある。
【0028】本発明は、ガラスでシールしたパッケーヅ
及びポリマーでシールしたパッケージの両方に適用可能
であるが、それは特にポリマーでシールしたパッケージ
により強く引かれ、それで以下その関係で説明する。
及びポリマーでシールしたパッケージの両方に適用可能
であるが、それは特にポリマーでシールしたパッケージ
により強く引かれ、それで以下その関係で説明する。
【0029】この接着剤層32は、適当な熱硬化性又は
熱可塑性樹脂のどれを含んでもよい。エポキシのような
樹脂接着剤、例えばカリフォルニア州ガーデナ市のアブ
レスティック研究所製のアブレスティック550Kは、
接着材料の適例の一つである。このシーラントは、約1
45℃乃至約155℃の範囲の温度で接着される。接着
時間は、約1時間乃至約2時間の範囲にある。
熱可塑性樹脂のどれを含んでもよい。エポキシのような
樹脂接着剤、例えばカリフォルニア州ガーデナ市のアブ
レスティック研究所製のアブレスティック550Kは、
接着材料の適例の一つである。このシーラントは、約1
45℃乃至約155℃の範囲の温度で接着される。接着
時間は、約1時間乃至約2時間の範囲にある。
【0030】このベース部品14及びカバー部品16の
少くとも一部の陽極酸化層34がすぐれた結果を生ずる
ことが分かっている。厚さ約2.5ミクロン(100マ
イクロインチ)以下と定義する薄い陽極酸化層も厚い陽
極酸化層も両方とも、24時間塩水腐食試験を受けたと
き腐食を全く示さないアルミベースの電子パッケージを
作る。この陽極酸化層の好ましい厚さは、約0.25ミ
クロン(10マイクロインチ)乃至50ミクロン(20
00マイクロインチ)である。最も好ましい厚さは、約
1.25ミクロン(50マイクロインチ)乃至約5ミク
ロン(200マイクロインチ)の範囲にある。
少くとも一部の陽極酸化層34がすぐれた結果を生ずる
ことが分かっている。厚さ約2.5ミクロン(100マ
イクロインチ)以下と定義する薄い陽極酸化層も厚い陽
極酸化層も両方とも、24時間塩水腐食試験を受けたと
き腐食を全く示さないアルミベースの電子パッケージを
作る。この陽極酸化層の好ましい厚さは、約0.25ミ
クロン(10マイクロインチ)乃至50ミクロン(20
00マイクロインチ)である。最も好ましい厚さは、約
1.25ミクロン(50マイクロインチ)乃至約5ミク
ロン(200マイクロインチ)の範囲にある。
【0031】この陽極酸化層は、この技術分野で知られ
ているとの技法で付けてもよい。例えば、温度約20℃
で約20容量%の硫酸を含む水溶液は、陽極に荷電した
アルミ又はアルミ合金サブストレートの表面上に満足な
陽極酸化層を付ける。この陽極酸化層は、ベース14及
びカバー16部品にくぼみ18,20を作る前又は後の
どららかで付ける。このくぼみの表面36は、陽極酸化
されていても裸のままでもよい。
ているとの技法で付けてもよい。例えば、温度約20℃
で約20容量%の硫酸を含む水溶液は、陽極に荷電した
アルミ又はアルミ合金サブストレートの表面上に満足な
陽極酸化層を付ける。この陽極酸化層は、ベース14及
びカバー16部品にくぼみ18,20を作る前又は後の
どららかで付ける。このくぼみの表面36は、陽極酸化
されていても裸のままでもよい。
【0032】多孔度を減ずるためにシーリング法を使う
のが好ましい。典型的な陽極酸化シーリング法は、水又
は蒸気シーリングである。この方法は、陽極酸化した表
面を約30分乃至約60分間加圧蒸気に暴すことを伴
う。この陽極酸化した表面は水和して結晶べーマイト
(Al2O3・H2O)を形成する。このベーマイトヘの
変換は、その結果として体積増加を生じ、この陽極酸化
した表面の孔を効果的に閉じる。他の満足なシーリング
溶液には、酢酸ニッケル、修酸鉄、二クロム酸塩及びモ
リブデン酸塩がある。
のが好ましい。典型的な陽極酸化シーリング法は、水又
は蒸気シーリングである。この方法は、陽極酸化した表
面を約30分乃至約60分間加圧蒸気に暴すことを伴
う。この陽極酸化した表面は水和して結晶べーマイト
(Al2O3・H2O)を形成する。このベーマイトヘの
変換は、その結果として体積増加を生じ、この陽極酸化
した表面の孔を効果的に閉じる。他の満足なシーリング
溶液には、酢酸ニッケル、修酸鉄、二クロム酸塩及びモ
リブデン酸塩がある。
【0033】わずかではあるが熱伝導度の利益が、陽極
酸化層を付けない裸の金属で得られる。この裸金属は導
電性である。例えばバイポーラデバイスを収容するよう
な、ある種の電子的用途に対しては、導電性サブストレ
ートは望ましくない。これらのデバイスは、このパッケ
ージから電気的に絶縁されているのが好ましく且つ銀入
りエポキシのような熱的及び電気的に伝導性のダイ接着
剤を裸金属に使用すると短絡を生ずる。本発明はこの問
題を、この伝導性ダイ接着剤とベース金属の間に陽極酸
化の誘電体層を配置しこのデバイスをパッケージから電
気的に絶縁することによって解決する。
酸化層を付けない裸の金属で得られる。この裸金属は導
電性である。例えばバイポーラデバイスを収容するよう
な、ある種の電子的用途に対しては、導電性サブストレ
ートは望ましくない。これらのデバイスは、このパッケ
ージから電気的に絶縁されているのが好ましく且つ銀入
りエポキシのような熱的及び電気的に伝導性のダイ接着
剤を裸金属に使用すると短絡を生ずる。本発明はこの問
題を、この伝導性ダイ接着剤とベース金属の間に陽極酸
化の誘電体層を配置しこのデバイスをパッケージから電
気的に絶縁することによって解決する。
【0034】アルミ合金3003の熱伝導度は銅合金1
97のそれの約50%にすぎないが、θJC値はほぼ等し
くθJA値は約10%乃至約15%高い範囲にあるだけで
ある。この理由は、θJA及びθJAへの最大の寄与因子が
ダイ接着剤材料であることであると信じられている。ア
ルミサブストレートの熱抵抗はθ値に対しては小さな寄
与因子である。
97のそれの約50%にすぎないが、θJC値はほぼ等し
くθJA値は約10%乃至約15%高い範囲にあるだけで
ある。この理由は、θJA及びθJAへの最大の寄与因子が
ダイ接着剤材料であることであると信じられている。ア
ルミサブストレートの熱抵抗はθ値に対しては小さな寄
与因子である。
【0035】上に議論したように、セラミックスはプラ
スチックパッケージに対する金属パッケージの利点は、
熱的性能である。この熱的性能は、典型的にはθJC及び
θJAとして記録される。θJCは接合点とケースとの間の
温度差の尺度である。この接合点温度はダイ接着剤31
で測定され、ケース温度はパッケージベース14に沿っ
た点で測定される。同様に、θJAはこの接合点と周囲環
境との間の温度差の尺度である。第1表は、銅合金19
7又はアルミ合金3003の部品をもつ48ピンのデュ
アルインラインでエポキシによってシールされたパッケ
ージの測定値を示す。
スチックパッケージに対する金属パッケージの利点は、
熱的性能である。この熱的性能は、典型的にはθJC及び
θJAとして記録される。θJCは接合点とケースとの間の
温度差の尺度である。この接合点温度はダイ接着剤31
で測定され、ケース温度はパッケージベース14に沿っ
た点で測定される。同様に、θJAはこの接合点と周囲環
境との間の温度差の尺度である。第1表は、銅合金19
7又はアルミ合金3003の部品をもつ48ピンのデュ
アルインラインでエポキシによってシールされたパッケ
ージの測定値を示す。
【表1】
【0036】銅は、アルミの約3倍の密度を有する。従
来の銅金属パッケージより約60%少い重量のパッケー
ジが、本発明によれば熱的性能の最小限の損失だけで得
ることができる。
来の銅金属パッケージより約60%少い重量のパッケー
ジが、本発明によれば熱的性能の最小限の損失だけで得
ることができる。
【0037】本発明は、デュアルインラインバッケージ
に限定されない。リード端がこのデバイス外周の全ての
4辺からこの電子デバイスに接近するQUADパッケー
ジも陽極酸化表面を有するアルミベースの部品を使って
組立ててよい。
に限定されない。リード端がこのデバイス外周の全ての
4辺からこの電子デバイスに接近するQUADパッケー
ジも陽極酸化表面を有するアルミベースの部品を使って
組立ててよい。
【0038】図2に示すようなウインドフレームパッケ
ージも本発明によって作られる。ウインドフレームパッ
ケージ50は、ウインドフレーム52がリードフレーム
24とカバー部品16’との間に配設されていることを
除いて上述のパッケージと類似である。ウインドフレー
ムバッケージは、売り手がデバイスメーカに出荷するた
めにパッケージを製造するときのように、電子デバイス
12をダイ接着することになっていてワイヤはこのパッ
ケージの組立とは別の時に接合される場合に望ましい。
ージも本発明によって作られる。ウインドフレームパッ
ケージ50は、ウインドフレーム52がリードフレーム
24とカバー部品16’との間に配設されていることを
除いて上述のパッケージと類似である。ウインドフレー
ムバッケージは、売り手がデバイスメーカに出荷するた
めにパッケージを製造するときのように、電子デバイス
12をダイ接着することになっていてワイヤはこのパッ
ケージの組立とは別の時に接合される場合に望ましい。
【0039】このウインドフレーム52は、シーラント
32に接着可能な、何かいくらか剛い材料を含む。この
ウインドフレームは、カバー部品16’又はリードフレ
ーム24の熱膨張係数に近い係数をもつのが好ましい。
好ましいウインドフレーム材料は、銅、アルミ及びこれ
らの金属の合金である。パッケージの重量を最少にする
ためにアルミ又はアルミ合金が最も好ましい。強度を改
善するためには、アルミ合金3003のようなマンガン
含有アルミ合金が
32に接着可能な、何かいくらか剛い材料を含む。この
ウインドフレームは、カバー部品16’又はリードフレ
ーム24の熱膨張係数に近い係数をもつのが好ましい。
好ましいウインドフレーム材料は、銅、アルミ及びこれ
らの金属の合金である。パッケージの重量を最少にする
ためにアルミ又はアルミ合金が最も好ましい。強度を改
善するためには、アルミ合金3003のようなマンガン
含有アルミ合金が
【0040】このウインドフレームバッケージに於いて
は、リードフレーム24がウインドフレーム52とベー
ス部品14との間に配置されている。耐食性を改善する
ため、陽極酸化層34をベース部品14とウインドフレ
ーム部品52に付けられている。このリードフレーム2
4は、ウインドフレーム52の第1側に及びベース部品
14に、ガラス又はポリマー接着剤のような適当な接着
剤によって接着される。このリードフレーム24の接着
に続いて、電子デバイス12が、例えばダイ接着剤31
によって、接着され、ボーンディングワイヤ30によっ
てこのリードフレーム24の内側リード26に電気的に
接続される。次にカバー部品16がこのウインドフレー
ム52の第2側にシーラント56で接着され、この電子
デバイス12を包装する。
は、リードフレーム24がウインドフレーム52とベー
ス部品14との間に配置されている。耐食性を改善する
ため、陽極酸化層34をベース部品14とウインドフレ
ーム部品52に付けられている。このリードフレーム2
4は、ウインドフレーム52の第1側に及びベース部品
14に、ガラス又はポリマー接着剤のような適当な接着
剤によって接着される。このリードフレーム24の接着
に続いて、電子デバイス12が、例えばダイ接着剤31
によって、接着され、ボーンディングワイヤ30によっ
てこのリードフレーム24の内側リード26に電気的に
接続される。次にカバー部品16がこのウインドフレー
ム52の第2側にシーラント56で接着され、この電子
デバイス12を包装する。
【0041】このシーラント56は、比較的低い温度で
このウインドフレーム52及びカバー部品16’に接着
するとこの技術分野で知られているどれかの材料に選ば
れる。所望の接着温度は、このシーラント32又は電子
デバイス12を劣化しないように十分に低い。このシー
ラントは、約150℃以下の温度で接着するのが好まし
い。このシーラントは、適合する熱硬化性又は熱可塑性
接着剤のどれでもよい。好ましいシーラントは、エポキ
シのアブレスティック550である。
このウインドフレーム52及びカバー部品16’に接着
するとこの技術分野で知られているどれかの材料に選ば
れる。所望の接着温度は、このシーラント32又は電子
デバイス12を劣化しないように十分に低い。このシー
ラントは、約150℃以下の温度で接着するのが好まし
い。このシーラントは、適合する熱硬化性又は熱可塑性
接着剤のどれでもよい。好ましいシーラントは、エポキ
シのアブレスティック550である。
【0042】耐食性の改善のためにこのカバー部品1
6’を陽極酸化層で被覆するのが好ましい。この陽極酸
化層は、ベース部品14、カバー部品16’及びウイン
ドフレーム52の全部又は一部の上に付けてもよい。こ
のベース部品及びカバー部品の全ての表面を完全に被覆
することは望ましくないか又は必要でないかもしれな
い。
6’を陽極酸化層で被覆するのが好ましい。この陽極酸
化層は、ベース部品14、カバー部品16’及びウイン
ドフレーム52の全部又は一部の上に付けてもよい。こ
のベース部品及びカバー部品の全ての表面を完全に被覆
することは望ましくないか又は必要でないかもしれな
い。
【0043】被覆される表面の範囲は変わる。最少限、
大気に暴される全ての表面は腐食を防ぐため被覆すべき
である。シール領域、即ちシーラント32及び56と接
触する表面は、接着強度改善のために被覆してもよい。
残りの表面領域は、所望の電気的、熱的及び吸湿的性質
に依って被覆するのは任意である。
大気に暴される全ての表面は腐食を防ぐため被覆すべき
である。シール領域、即ちシーラント32及び56と接
触する表面は、接着強度改善のために被覆してもよい。
残りの表面領域は、所望の電気的、熱的及び吸湿的性質
に依って被覆するのは任意である。
【0044】内部表面36及び54は、陽極酸化しない
のが好ましいかもしれない。電子デバイス12を直接ア
ルミ又はアルミ合金の表面36に接着することによって
より良い熱伝導性が得られる。もし、この接着すべき表
面36が陽極酸化されていないなら、この電子デバイス
は、例えば接地のためのように、このベース部品と電気
的に接続されるかもしれない。もし、この表面36が陽
極酸化されていると、この電子デバイスはこのパッケー
ジから電気的に絶縁されるかもしれない。
のが好ましいかもしれない。電子デバイス12を直接ア
ルミ又はアルミ合金の表面36に接着することによって
より良い熱伝導性が得られる。もし、この接着すべき表
面36が陽極酸化されていないなら、この電子デバイス
は、例えば接地のためのように、このベース部品と電気
的に接続されるかもしれない。もし、この表面36が陽
極酸化されていると、この電子デバイスはこのパッケー
ジから電気的に絶縁されるかもしれない。
【0045】ゲッタ合金のような湿分捕捉面をこのカバ
ー部品の内面54に作って残留湿分を捕捉し、副産物と
してシール反応をさせてもよい。
ー部品の内面54に作って残留湿分を捕捉し、副産物と
してシール反応をさせてもよい。
【0046】陽極酸化のない表面は種々の方法によって
用意することができる。陽極酸化がないことを望む表面
部分は、この陽極酸化溶液に浸す前に化学レジストを塗
り又はメッキ屋のテープを貼ってもよい。この全表面を
陽極酸化し、所望の区域を機械的作業によって陽極なし
にしてもよい。例えば、フライス削り工程は、ベースく
ぼみ18を作るのに有用である。
用意することができる。陽極酸化がないことを望む表面
部分は、この陽極酸化溶液に浸す前に化学レジストを塗
り又はメッキ屋のテープを貼ってもよい。この全表面を
陽極酸化し、所望の区域を機械的作業によって陽極なし
にしてもよい。例えば、フライス削り工程は、ベースく
ぼみ18を作るのに有用である。
【0047】この陽極酸化のパラメータに変えることに
よって、荒れた陽極酸化層を作ることができる。粗面仕
上げは接着部品、特にポリマーシーラントの機械的固着
力を増加する。本発明が特性の改善された電子パッケー
ジを提供することは明白である。このパッケージは、銅
ベースのパッケージより軽量で、プラスチックベースの
パッケージより熱伝導性がよい。アルミ表面の少くとも
一部の陽極酸化は耐食性を増し、接着強度を更に増す。
よって、荒れた陽極酸化層を作ることができる。粗面仕
上げは接着部品、特にポリマーシーラントの機械的固着
力を増加する。本発明が特性の改善された電子パッケー
ジを提供することは明白である。このパッケージは、銅
ベースのパッケージより軽量で、プラスチックベースの
パッケージより熱伝導性がよい。アルミ表面の少くとも
一部の陽極酸化は耐食性を増し、接着強度を更に増す。
【0048】陽極酸化アルミ合金ベースのパッケージに
対する接着層の強度を評価するため加圧ポット試験を使
用した。このパッケージはエポキシでシールされ、次に
121℃、984gm/cm2(14psi)で相対湿度1
00%に当てた。漏れ試験の結果、200時間後接着剤
の破損はなかった。
対する接着層の強度を評価するため加圧ポット試験を使
用した。このパッケージはエポキシでシールされ、次に
121℃、984gm/cm2(14psi)で相対湿度1
00%に当てた。漏れ試験の結果、200時間後接着剤
の破損はなかった。
【0049】陽極酸化及びシール溶液の化学成分及び作
業パラメータを調整することによって、異なった色の表
面を得ることができる。これは、黒又は金仕上げがしば
しば望まれる家電向用途には都合がよい。
業パラメータを調整することによって、異なった色の表
面を得ることができる。これは、黒又は金仕上げがしば
しば望まれる家電向用途には都合がよい。
【0050】本発明によれば、耐食性の改善されたアル
ミ又はアルミ合金を含む電子パッケージに特に適した多
数の実施例が用意されていることは明らかである。本発
明をその実施例との関連で説明したが、当業者には上記
の説明を考慮すれば多くの代案、改良及び変形が明白で
あることは明らかである。従って、そのような代案、改
良及び変形の全てを添付の請求の範囲の精神及び広い範
囲内に含めるつもりである。
ミ又はアルミ合金を含む電子パッケージに特に適した多
数の実施例が用意されていることは明らかである。本発
明をその実施例との関連で説明したが、当業者には上記
の説明を考慮すれば多くの代案、改良及び変形が明白で
あることは明らかである。従って、そのような代案、改
良及び変形の全てを添付の請求の範囲の精神及び広い範
囲内に含めるつもりである。
【図1】本発明の一実施例である電子パッケージを示す
断面図。
断面図。
【図2】本発明の他の実施例である電子パッケージを示
す断面図。
す断面図。
10 電子パッケージ 12 電子デバイス 14 ベース部品 16 カバー部品 18 くぼみ 20 第2くぼみ 22 空胴 24 リードフレーム 26 内リード端 28 外リード端 30 ボンディングワイヤ 31 接着剤 32 接着剤 34 陽極酸化層 36 内部表面 50 パッケージ 52 ウィンドフレーム部品 54 内部表面 56 ポリマ接着剤
Claims (34)
- 【請求項1】 電子デバイス(12)を包むためのパッ
ケージ(50)であって、 アルミ又はアルミ合金のベース部品(14)、 第1面及び第2面を有するウィンドフレーム部品(5
2)、 該ベース部品(14)及び該ウィンドフレーム部品(5
2)の第1面の間に配置され且つそれらに接着されたリ
ードフレーム(24)、 該ウィンドフレーム部品(52)の第2面に接着された
カバー部品(16)、並びに該ベース部品(14)及び
該カバー部品(16)の少くとも大気に露出された部分
を被覆する陽極酸化層(34)、を組合せて含む事を特
徴とするパッケージ。 - 【請求項2】 該ウィンドフレーム部品がアルミ又はア
ルミベース合金を含むことを特徴とする、請求項1に記
載のパッケージ(50)。 - 【請求項3】 該ウィンドフレーム部品(52)が少く
ともその大気に露出された面の上に陽極酸化層(34)
を含むことを特徴とする、請求項2に記載のパッケージ
(50)。 - 【請求項4】 陽極酸化層(34)の厚さが約0.25
ミクロン(10マイクロインチ)から約50ミクロン
(2000マイクロインチ)までの範囲内にあることを
特徴とする、請求項3に記載のパッケージ(50)。 - 【請求項5】 陽極酸化層(34)の厚さが約1.25
ミクロン(50マイクロインチ)から約5ミクロン(2
00マイクロインチ)までの範囲内にあることを特徴と
する、請求項4に記載のパッケージ(50)。 - 【請求項6】 該リードフレーム(24)がシールガラ
ス(32)又はポリマー接着剤(32)によって該ベー
ス部品(14)に及び該ウィンドフレーム部品(52)
の該第1面に接着可能であることを特徴とする、請求項
4に記載のパッケージ(50)。 - 【請求項7】 該ベース部品(14)及び該ウィンドフ
レーム部品(52)の該第1面のシール領域が陽極酸化
層(34)によって被覆されていることを特徴とする、
請求項6に記載のパッケージ(50)。 - 【請求項8】 陽極酸化層(34)の表面が接着強度を
改善するため荒されていることを特徴とする、請求項7
に記載のパッケージ(50)。 - 【請求項9】 該リードフレーム(24)が樹脂接着剤
(34)によって該ベース部品(14)に及び該ウィン
ドフレーム部品(52)に接着されていることを特徴と
する、請求項8に記載のパッケージ(50)。 - 【請求項10】 該リードフレーム(24)が該ベース
部品(14)及び該ウィンドフレーム部品(52)の該
第1側の間に配置され且つそれらに接着されていること
を特徴とする、請求項9に記載のパッケージ(50)。 - 【請求項11】 このベース部品(14)の及びこのカ
バー部品(16′)のほぼ全表面が陽極酸化層(34)
によって被覆されていることを特徴とする、請求項4に
記載のパッケージ(50)。 - 【請求項12】 該電子デバイス(12)に接着される
べき該ベース部品(14)の表面(36)が陽極酸化層
(34)のないことを特徴とする、請求項11に記載の
パッケージ(50)。 - 【請求項13】 該空胴内に閉じ込められた該カバー部
品(16)の表面(54)が陽極酸化層(34)のない
ことを特徴とする、請求項11に記載のパッケージ(5
0)。 - 【請求項14】 該ベース部品(14)、ウィンドフレ
ーム部品(52)及びカバー部品(16′)が約1.5
%までのマンガンを含むアルミベースの合金を含むこと
を特徴とする、請求項4に記載のパッケージ(50)。 - 【請求項15】 該ベース部品(14)、ウィンドフレ
ーム部品(52)及びカバー部品(16′)が約0.1
2重量%の銅及び約1.2重量%のマンガンを含むアル
ミベースの合金を含むことを特徴とする、請求項14に
記載のパッケージ(50)。 - 【請求項16】 該ウィンドフレーム(52)の該第2
面が熱硬化性接着剤及び熱可塑性接着剤から成るグルー
プから選ばれた接着剤(56)によって該カバー部品
(16)の該第2面に接着するようにされたことを特徴
とする、請求項10に記載のパッケージ(50)。 - 【請求項17】 該電子デバイス(12)が該ベース部
品(14)に接着され及び該リードフレーム(24)に
電気的に接続され、並びに該カバー部品(16′)が該
ウィンドフレーム部品(52)の該第2面に接着されて
いることを特徴とする、請求項16に記載のパッケージ
(50)。 - 【請求項18】 電子デバイス(12)を包むためのパ
ッケージ(10,50)を組立てる方法であって、 アルミ又はアルミベースの合金を含むベース部品(1
4)及びカバー部品(16)を用意する工程、 該ベース部品(14)及び該カバー部品の表面の少くと
も大気に露出された部分を陽極酸化する工程、 リードフレーム(24)を該ベース部品(14)及び該
カバー部品(16)の間に配置する工程、並びに該リー
ドフレーム(24)を、該ベース部品(14)に並びに
該電子デバイス(12)を該ベース部品(14)に及び
該リードフレーム(24)に結合した後に該カバー部品
(16)に接着する工程を含み、 該接着工程が該リードフレーム(24)と該ベース部品
(14)の陽極酸化された部分及び該リードフレーム
(24)と該カバー部品(16)の陽極酸化された部分
の間に樹脂接着剤(32)を配置する工程、及び約1時
間から約2時間までの範囲内の時間、約145℃から約
155℃までの温度に加熱する工程を含むことを特徴と
する方法。 - 【請求項19】 該陽極酸化層(34)をシールする工
程を含むことを特徴とする、請求項18に記載の方法。 - 【請求項20】 陽極酸化の前に該ベース部品(14)
又は該カバー部品(16)のどちらか又は両方の一部を
マスクすることを特徴とする、請求項19に記載の方
法。 - 【請求項21】 このベース部品(14)及びこのカバ
ー部品(16)の全表面を陽極酸化し且つその後該陽極
酸化層(34)の一部を除去することを特徴とする、請
求項19に記載の方法。 - 【請求項22】 この陽極酸化層(34)の表面粗さを
増す工程を含むことを特徴とする、請求項19に記載の
方法。 - 【請求項23】 ウィンドフレーム部品(52)を該リ
ードフレーム部品(24)と該カバー部品(16)の間
に配置し且つ該ウィンドフレーム(52)を該リードフ
レーム(24)に及び該カバー部品(16)に接着する
ことを特徴とする、請求項22に記載の方法。 - 【請求項24】 該ウィンドフレーム部品(52)を該
リードフレーム(24)に接着してから該カバー部品
(16′)を該ウィンドフレーム(52)に接着するこ
とを特徴とする、請求項23に記載の方法。 - 【請求項25】 該ウィンドフレーム(52)をアルミ
又はアルミ合金であるように選ぶことを特徴とする、請
求項23に記載の方法。 - 【請求項26】 該ウィンドフレーム(52)、該ベー
ス部品(14)及びカバー部品(16′)を約1.5重
量%までのマンガンを含むアルミベースの合金であるよ
うに選ぶことを特徴とする、請求項25に記載の方法。 - 【請求項27】 該ウィンドフレーム(52)、該ベー
ス部品(14)及び該カバー部品(16′)を約0.1
2重量%の銅及び約1.2重量%のマンガンを含むアル
ミベースの合金であるように選ぶことを特徴とする、請
求項26に記載の方法。 - 【請求項28】 電気デバイス(12)を包むために設
計された接着されてシールされるパッケージ(50)の
組立てのためのキットにおいて、 アルミとアルミベースの合金とで成る群から選択された
金属ベース部品(14)を備え、該ベース部品は第1の
表面と、その反対側の第2の表面とを有し、前記第1の
表面は、陽極酸化層(34)を被覆することによってポ
リマー接着剤(32)を受けるようにされた少なくとも
選択された部分を有し、また、 アルミとアルミベースの合金とで成る群から選択された
金属カバー部品(16′)を備え、該金属カバー部品
(16′)はウィンドフレーム部品(52)の第1の表
面に接合するための接合表面とその反対側の表面とを有
し、該接合表面は外側リング部分と該リング部分によっ
てへりを取られた内側部分(54)とを有し、前記リン
グ部分はポリマー接着剤(56)を受けるようにされ且
つ陽極酸化層(34)で被覆されており、 前記ウィンドフレーム部品(52)は、アルミと、アル
ミベースの合金とで成る群から選択されていて、すべて
の表面及び縁部を被覆する陽極酸化層(34)を有して
おり、これらの表面がポリマー接着剤(32,56)を
受けるようにされていることを特徴とするキット。 - 【請求項29】 十分な量のポリマー接着剤(31,3
2)が、ドライシート、ペースト、パウダ、ゲル、又は
液体の形態で、前記キットの一要素として備えられてい
る、請求項28に記載のキット。 - 【請求項30】 前記ポリマー接着剤(31,32)が
ドライシートの形態で備えられている、請求項29に記
載のキット。 - 【請求項31】 前記ポリマー接着剤(31,32)が
第1、第2、及び第3の接着シート(32,31,3
2)の形態で備えられており、前記第1の接着シート
(32)は前記ベース部品(14)をリードフレーム
(24)に接合するためのリングを含み、前記第2の接
着シート(31)は前記金属ベース部品(14)を中央
に位置する、前記リードフレーム(24)のダイ取付け
パッドに接合するためのほぼ短形部分を含み、前記第3
の接着シート(32)は前記金属カバー部品(16)を
前記リードフレーム(24)に接合するためのリングを
含む、請求項30に記載のキット。 - 【請求項32】 前記第1及び第2の接着シート(3
2,31)は、前記金属ベース部品(14)に止めら
れ、前記第3の接着シート(32)は前記金属カバー部
品(16)に止められる、請求項31に記載のキット。 - 【請求項33】 前記ポリマー接着剤は第1、第2、第
3、及び第4の接着シート(32,31,56,32)
の形態で備えられ、前記第1の接着シート(32)は前
記金属ベース部品(14)をリードフレーム(24)に
接合するためのリングを含み、前記第2の接着シート
(31)は前記金属ベース部品(14)を中心に位置す
る、前記リードフレーム(24)のダイ取付けパッドに
接合するためのほぼ短形部分を含み、前記第3の接着シ
ート(56)は前記金属カバー部品(16′)を前記ウ
ィンドフレーム部品(52)に接合するためのリングを
含み、前記第4の接着シート(32)は前記ウィンドフ
レーム部品(52)を前記リードフレーム(24)に接
合するためのリングを含む、請求項28に記載のキッ
ト。 - 【請求項34】 前記第1及び第2の接着シート(3
2,31)は前記金属ベース部品(14)に止められ、
前記第3の接着シート(56)は前記金属カバー部品
(16′)に止められ、前記第4の接着シート(32)
は前記ウィンドフレーム部品(52)に止められる、請
求項33に記載のキット。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US253639 | 1988-10-05 | ||
| US07/253,639 US4939316A (en) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | Aluminum alloy semiconductor packages |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1510382A Division JP3016227B2 (ja) | 1988-10-05 | 1989-09-14 | 電子デバイスを包むためのパッケージ、該パッケージを組立てる方法、並びに該パッケージの組立てのためのキット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000068395A true JP2000068395A (ja) | 2000-03-03 |
| JP3168196B2 JP3168196B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=22961101
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1510382A Expired - Lifetime JP3016227B2 (ja) | 1988-10-05 | 1989-09-14 | 電子デバイスを包むためのパッケージ、該パッケージを組立てる方法、並びに該パッケージの組立てのためのキット |
| JP17416099A Expired - Fee Related JP3168196B2 (ja) | 1988-10-05 | 1999-06-21 | 電子パッケージ |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1510382A Expired - Lifetime JP3016227B2 (ja) | 1988-10-05 | 1989-09-14 | 電子デバイスを包むためのパッケージ、該パッケージを組立てる方法、並びに該パッケージの組立てのためのキット |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4939316A (ja) |
| EP (2) | EP0700083B1 (ja) |
| JP (2) | JP3016227B2 (ja) |
| KR (1) | KR0154111B1 (ja) |
| AU (1) | AU629864B2 (ja) |
| CA (1) | CA1296815C (ja) |
| DE (2) | DE68927296T2 (ja) |
| MX (1) | MX163728B (ja) |
| PH (1) | PH25542A (ja) |
| WO (1) | WO1990004262A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003007880A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Sony Corp | 中空パッケージ及びその製造方法 |
| JP2016099117A (ja) * | 2014-11-18 | 2016-05-30 | 富士電機株式会社 | 赤外線ガス分析計用センサ部および赤外線ガス分析計用検出器 |
Families Citing this family (70)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2642257B1 (fr) * | 1989-01-20 | 1996-05-24 | Dassault Electronique | Procede de scellement verre-aluminium, notamment pour traversee electrique de boitier de circuit hybride, objet composite et composition de verre correspondants |
| US5367125A (en) * | 1989-01-20 | 1994-11-22 | Dassault Electronique | Aluminum based article having an insert with vitreous material hermetically sealed thereto |
| US5250363A (en) * | 1989-10-13 | 1993-10-05 | Olin Corporation | Chromium-zinc anti-tarnish coating for copper foil having a dark color |
| US5073521A (en) * | 1989-11-15 | 1991-12-17 | Olin Corporation | Method for housing a tape-bonded electronic device and the package employed |
| US5098864A (en) * | 1989-11-29 | 1992-03-24 | Olin Corporation | Process for manufacturing a metal pin grid array package |
| US5043534A (en) * | 1990-07-02 | 1991-08-27 | Olin Corporation | Metal electronic package having improved resistance to electromagnetic interference |
| US5066368A (en) * | 1990-08-17 | 1991-11-19 | Olin Corporation | Process for producing black integrally colored anodized aluminum components |
| US5122858A (en) * | 1990-09-10 | 1992-06-16 | Olin Corporation | Lead frame having polymer coated surface portions |
| US7198969B1 (en) | 1990-09-24 | 2007-04-03 | Tessera, Inc. | Semiconductor chip assemblies, methods of making same and components for same |
| US5148265A (en) | 1990-09-24 | 1992-09-15 | Ist Associates, Inc. | Semiconductor chip assemblies with fan-in leads |
| US5261157A (en) * | 1991-01-22 | 1993-11-16 | Olin Corporation | Assembly of electronic packages by vacuum lamination |
| US5132773A (en) * | 1991-02-06 | 1992-07-21 | Olin Corporation | Carrier ring having first and second ring means with bonded surfaces |
| JPH05198575A (ja) * | 1991-05-01 | 1993-08-06 | Kobe Steel Ltd | 耐食性AlまたはAl合金材 |
| US5144709A (en) * | 1991-05-03 | 1992-09-08 | Olin Corporation | Formation of shapes in a metal workpiece |
| US5272800A (en) * | 1991-07-01 | 1993-12-28 | Olin Corporation | Method and apparatus for forming and positioning a preform on a workpiece |
| US5343073A (en) * | 1992-01-17 | 1994-08-30 | Olin Corporation | Lead frames having a chromium and zinc alloy coating |
| US5300158A (en) * | 1992-05-26 | 1994-04-05 | Olin Corporation | Protective coating having adhesion improving characteristics |
| US5239131A (en) * | 1992-07-13 | 1993-08-24 | Olin Corporation | Electronic package having controlled epoxy flow |
| US5367196A (en) * | 1992-09-17 | 1994-11-22 | Olin Corporation | Molded plastic semiconductor package including an aluminum alloy heat spreader |
| TW238419B (ja) | 1992-08-21 | 1995-01-11 | Olin Corp | |
| US5608267A (en) * | 1992-09-17 | 1997-03-04 | Olin Corporation | Molded plastic semiconductor package including heat spreader |
| US5317107A (en) * | 1992-09-24 | 1994-05-31 | Motorola, Inc. | Shielded stripline configuration semiconductor device and method for making the same |
| US5324888A (en) * | 1992-10-13 | 1994-06-28 | Olin Corporation | Metal electronic package with reduced seal width |
| US5477008A (en) * | 1993-03-19 | 1995-12-19 | Olin Corporation | Polymer plug for electronic packages |
| US6262477B1 (en) | 1993-03-19 | 2001-07-17 | Advanced Interconnect Technologies | Ball grid array electronic package |
| US5650592A (en) * | 1993-04-05 | 1997-07-22 | Olin Corporation | Graphite composites for electronic packaging |
| KR960705359A (ko) * | 1993-09-13 | 1996-10-09 | 폴 와인스타인 | 금속 전자 패키지에서의 플립칩(Flip chip in metal electronic packages) |
| US5540378A (en) * | 1993-09-27 | 1996-07-30 | Olin Corporation | Method for the assembly of an electronic package |
| EP0723703A4 (en) * | 1993-10-12 | 1998-04-01 | Olin Corp | EDGE-ASSEMBLY METAL PACK |
| US5360942A (en) * | 1993-11-16 | 1994-11-01 | Olin Corporation | Multi-chip electronic package module utilizing an adhesive sheet |
| US5455386A (en) * | 1994-01-14 | 1995-10-03 | Olin Corporation | Chamfered electronic package component |
| US5644102A (en) * | 1994-03-01 | 1997-07-01 | Lsi Logic Corporation | Integrated circuit packages with distinctive coloration |
| US5578869A (en) * | 1994-03-29 | 1996-11-26 | Olin Corporation | Components for housing an integrated circuit device |
| WO1995028740A1 (en) * | 1994-04-14 | 1995-10-26 | Olin Corporation | Electronic package having improved wire bonding capability |
| WO1995031826A1 (en) * | 1994-05-17 | 1995-11-23 | Olin Corporation | Electronic packages with improved electrical performance |
| US5436407A (en) * | 1994-06-13 | 1995-07-25 | Integrated Packaging Assembly Corporation | Metal semiconductor package with an external plastic seal |
| US5455387A (en) * | 1994-07-18 | 1995-10-03 | Olin Corporation | Semiconductor package with chip redistribution interposer |
| US5629835A (en) * | 1994-07-19 | 1997-05-13 | Olin Corporation | Metal ball grid array package with improved thermal conductivity |
| US5573845A (en) * | 1994-12-09 | 1996-11-12 | Olin Corporation | Superficial coating layer having acicular structures for electrical conductors |
| US5545850A (en) * | 1995-01-13 | 1996-08-13 | Olin Corporation | Guard ring for integrated circuit package |
| KR0122423Y1 (ko) * | 1995-03-23 | 1998-10-01 | 김광호 | 전자동 세탁기 |
| TW309654B (ja) * | 1995-03-29 | 1997-07-01 | Olin Corp | |
| US5534356A (en) * | 1995-04-26 | 1996-07-09 | Olin Corporation | Anodized aluminum substrate having increased breakdown voltage |
| US5650663A (en) * | 1995-07-03 | 1997-07-22 | Olin Corporation | Electronic package with improved thermal properties |
| AU6450096A (en) * | 1995-07-14 | 1997-02-18 | Olin Corporation | Metal ball grid electronic package |
| JP2000500619A (ja) * | 1995-11-20 | 2000-01-18 | オリン コーポレイション | 金属電子パッケージ用の接地リング |
| US5764484A (en) * | 1996-11-15 | 1998-06-09 | Olin Corporation | Ground ring for a metal electronic package |
| JP2000500618A (ja) * | 1995-11-22 | 2000-01-18 | オリン コーポレイション | 接地または電源リングを有する半導体パッケージ |
| US5817544A (en) * | 1996-01-16 | 1998-10-06 | Olin Corporation | Enhanced wire-bondable leadframe |
| US5805427A (en) * | 1996-02-14 | 1998-09-08 | Olin Corporation | Ball grid array electronic package standoff design |
| US5801074A (en) * | 1996-02-20 | 1998-09-01 | Kim; Jong Tae | Method of making an air tight cavity in an assembly package |
| US5892278A (en) * | 1996-05-24 | 1999-04-06 | Dai Nippon Printingco., Ltd. | Aluminum and aluminum alloy radiator for semiconductor device and process for producing the same |
| US5943558A (en) * | 1996-09-23 | 1999-08-24 | Communications Technology, Inc. | Method of making an assembly package having an air tight cavity and a product made by the method |
| US5952083A (en) * | 1997-10-21 | 1999-09-14 | Advanced Technology Interconnect, Inc. | Aluminum alloys for electronic components |
| KR100265563B1 (ko) * | 1998-06-29 | 2000-09-15 | 김영환 | 볼 그리드 어레이 패키지 및 그의 제조 방법 |
| DE10039646A1 (de) * | 1999-08-18 | 2001-03-08 | Murata Manufacturing Co | Leitende Abdeckung, Elektronisches Bauelement und Verfahren zur Bildung einer isolierenden Schicht der leitenden Abdeckung |
| KR100723454B1 (ko) * | 2004-08-21 | 2007-05-30 | 페어차일드코리아반도체 주식회사 | 높은 열 방출 능력을 구비한 전력용 모듈 패키지 및 그제조방법 |
| US20030112710A1 (en) * | 2001-12-18 | 2003-06-19 | Eidson John C. | Reducing thermal drift in electronic components |
| JP2007019107A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
| KR100656300B1 (ko) | 2005-12-29 | 2006-12-11 | (주)웨이브닉스이에스피 | 3차원 알루미늄 패키지 모듈, 그의 제조방법 및 3차원알루미늄 패키지 모듈에 적용되는 수동소자 제작방법 |
| WO2009073670A1 (en) * | 2007-12-04 | 2009-06-11 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Bendable circuit structure for led mounting and interconnection |
| DE102008004642A1 (de) * | 2008-01-16 | 2009-07-23 | Robert Bosch Gmbh | Kondensationsfalle für feuchtigkeitsempfindliche Geräte |
| CN101578018B (zh) * | 2008-05-09 | 2012-07-25 | 富准精密工业(深圳)有限公司 | 金属与塑料的结合件及其制造方法 |
| JP5522172B2 (ja) * | 2009-07-30 | 2014-06-18 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
| KR101064084B1 (ko) | 2010-03-25 | 2011-09-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 패키지 및 그 제조방법 |
| KR101095202B1 (ko) * | 2010-06-15 | 2011-12-16 | 삼성전기주식회사 | 하이브리드형 방열기판 및 그 제조방법 |
| US10636735B2 (en) * | 2011-10-14 | 2020-04-28 | Cyntec Co., Ltd. | Package structure and the method to fabricate thereof |
| FR2984679B1 (fr) * | 2011-12-15 | 2015-03-06 | Valeo Sys Controle Moteur Sas | Liaison thermiquement conductrice et electriquement isolante entre au moins un composant electronique et un radiateur en tout ou partie metallique |
| US9545024B2 (en) | 2012-05-29 | 2017-01-10 | Apple Inc. | Diamond cutting tools |
| CN119381347B (zh) * | 2024-09-18 | 2025-10-14 | 北京遥测技术研究所 | 一种轻质高导热石墨烯-铝梯度封装管壳及其设计方法 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3871018A (en) * | 1971-03-26 | 1975-03-11 | Ferranti Ltd | Construction of packages for semiconductor devices |
| US3943623A (en) * | 1974-08-23 | 1976-03-16 | Nitto Electric Industrial Co., Ltd. | Hollow cavity package electronic unit |
| US4105861A (en) * | 1975-09-29 | 1978-08-08 | Semi-Alloys, Inc. | Hermetically sealed container for semiconductor and other electronic devices |
| US4410927A (en) * | 1982-01-21 | 1983-10-18 | Olin Corporation | Casing for an electrical component having improved strength and heat transfer characteristics |
| US4461924A (en) * | 1982-01-21 | 1984-07-24 | Olin Corporation | Semiconductor casing |
| US4594770A (en) * | 1982-07-15 | 1986-06-17 | Olin Corporation | Method of making semiconductor casing |
| US4480262A (en) * | 1982-07-15 | 1984-10-30 | Olin Corporation | Semiconductor casing |
| CA1201211A (en) * | 1982-08-05 | 1986-02-25 | Olin Corporation | Hermetically sealed semiconductor casing |
| US4656499A (en) * | 1982-08-05 | 1987-04-07 | Olin Corporation | Hermetically sealed semiconductor casing |
| US4521469A (en) * | 1982-11-22 | 1985-06-04 | Olin Corporation | Casing for electronic components |
| US4582556A (en) * | 1982-11-22 | 1986-04-15 | Olin Corporation | Adhesion primers for encapsulating epoxies |
| US4525422A (en) * | 1982-11-22 | 1985-06-25 | Olin Corporation | Adhesion primers for encapsulating epoxies |
| US4524238A (en) * | 1982-12-29 | 1985-06-18 | Olin Corporation | Semiconductor packages |
| US4498121A (en) * | 1983-01-13 | 1985-02-05 | Olin Corporation | Copper alloys for suppressing growth of Cu-Al intermetallic compounds |
| US4572924A (en) * | 1983-05-18 | 1986-02-25 | Spectrum Ceramics, Inc. | Electronic enclosures having metal parts |
| JPH0612796B2 (ja) * | 1984-06-04 | 1994-02-16 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
| US4542259A (en) * | 1984-09-19 | 1985-09-17 | Olin Corporation | High density packages |
| JPS61281541A (ja) * | 1985-06-06 | 1986-12-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置用パツケ−ジ |
| WO1988005254A1 (en) * | 1987-01-12 | 1988-07-14 | Olin Corporation | Process for producing formable and high strength leadframes in semiconductor packages |
| US4769345A (en) * | 1987-03-12 | 1988-09-06 | Olin Corporation | Process for producing a hermetically sealed package for an electrical component containing a low amount of oxygen and water vapor |
| JPH0724290B2 (ja) * | 1987-03-23 | 1995-03-15 | 住友金属工業株式会社 | 集積回路容器の製造方法 |
-
1988
- 1988-10-05 US US07/253,639 patent/US4939316A/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-09-14 AU AU43373/89A patent/AU629864B2/en not_active Ceased
- 1989-09-14 WO PCT/US1989/004135 patent/WO1990004262A1/en not_active Ceased
- 1989-09-14 DE DE68927296T patent/DE68927296T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-14 EP EP95117178A patent/EP0700083B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-14 DE DE68929103T patent/DE68929103T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-14 JP JP1510382A patent/JP3016227B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-14 KR KR1019900701030A patent/KR0154111B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-14 EP EP89911147A patent/EP0438444B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-19 CA CA000611865A patent/CA1296815C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-22 MX MX17647A patent/MX163728B/es unknown
- 1989-09-26 PH PH39285A patent/PH25542A/en unknown
-
1999
- 1999-06-21 JP JP17416099A patent/JP3168196B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003007880A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Sony Corp | 中空パッケージ及びその製造方法 |
| JP2016099117A (ja) * | 2014-11-18 | 2016-05-30 | 富士電機株式会社 | 赤外線ガス分析計用センサ部および赤外線ガス分析計用検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3168196B2 (ja) | 2001-05-21 |
| JPH04505075A (ja) | 1992-09-03 |
| KR0154111B1 (ko) | 1998-10-15 |
| DE68927296T2 (de) | 1997-04-30 |
| CA1296815C (en) | 1992-03-03 |
| DE68927296D1 (de) | 1996-11-07 |
| EP0700083A3 (ja) | 1996-04-10 |
| EP0700083B1 (en) | 1999-11-24 |
| JP3016227B2 (ja) | 2000-03-06 |
| HK1008114A1 (en) | 1999-04-30 |
| EP0700083A2 (en) | 1996-03-06 |
| KR900702565A (ko) | 1990-12-07 |
| WO1990004262A1 (en) | 1990-04-19 |
| AU4337389A (en) | 1990-05-01 |
| PH25542A (en) | 1991-07-24 |
| DE68929103T2 (de) | 2000-06-29 |
| US4939316A (en) | 1990-07-03 |
| HK1014611A1 (en) | 1999-09-30 |
| DE68929103D1 (de) | 1999-12-30 |
| EP0438444A4 (en) | 1992-07-22 |
| MX163728B (es) | 1992-06-17 |
| AU629864B2 (en) | 1992-10-15 |
| EP0438444A1 (en) | 1991-07-31 |
| EP0438444B1 (en) | 1996-10-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3168196B2 (ja) | 電子パッケージ | |
| US5013871A (en) | Kit for the assembly of a metal electronic package | |
| US5023398A (en) | Aluminum alloy semiconductor packages | |
| US5073521A (en) | Method for housing a tape-bonded electronic device and the package employed | |
| US6798645B2 (en) | Protecting resin-encapsulated components | |
| US4525422A (en) | Adhesion primers for encapsulating epoxies | |
| WO1992004729A1 (en) | Leadframe for molded plastic electronic packages | |
| JPS58128753A (ja) | 電気構成部分のためのケ−シング | |
| JP2010512665A (ja) | プラスチック電子素子パッケージ | |
| JPH05508259A (ja) | 改善された電磁障害抵抗を有する金属電子パッケージ | |
| WO2007052652A1 (ja) | 固体電解コンデンサ及びその製造方法 | |
| HK1008114B (en) | Aluminum alloy semiconductor packages | |
| HK1014611B (en) | Aluminium alloy base semiconductor packages | |
| JPH04216608A (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JPS60206054A (ja) | リ−ドフレ−ム | |
| JPH0121628B2 (ja) | ||
| CN118507259A (zh) | 一种以陶瓷铝基板堆叠的固态芯片叠层电容器及制造方法 | |
| JPS5936909Y2 (ja) | 固体電解コンデンサ | |
| JPH0519820B2 (ja) | ||
| JPS59219947A (ja) | プラスチツク封止型半導体装置用リ−ドフレ−ム | |
| JPH07312398A (ja) | 電子素子用パッケージ | |
| JPH01257357A (ja) | 半導体装置用リードフレーム | |
| JPWO1994023448A1 (ja) | 半導体素子用パッケージ | |
| JPS5877238A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2002323385A (ja) | 温度センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |