JP2000060163A - 振動アクチュエ―タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 超音波モータの駆動時に、振動子にピッチン
グ振動が発生して、静粛性や駆動効率が低下するのを防
止すること。 【解決手段】 相対運動方向へ振動する縦振動Ｌ１とこ
れに直交する方向へ振動する曲げ振動Ｂ４との合成振動
を発生する振動子１１との間で相対運動を行う相対運動
部材２２、縦振動Ｌ１の節位置ｎ₃ で当振動子に隙間を
有して嵌合する第１拘束部材３４ａ、３４ｂに係合する
とともに曲げ振動Ｂ４の節位置ｎ₂ 、ｎ₄ で振動子に当
接する第２拘束部材３６ａ、３６ｂを相対運動方向の両
端側に有する加圧支持体３５により構成される加圧支持
部材３２と、加圧支持体３５を振動子１１へ向けて付勢
する加圧力発生部材３３とにより構成される加圧支持機
構３１、およびこれを収容するケーシング４１を備え、
さらに、第２拘束部材３６ａ、３６ｂおよび加圧支持体
３５は、メタクリル樹脂により一体に構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動を発生する振
動子を有し、この振動子に加圧接触した相対運動部材と
振動子との間に相対運動を発生させる振動アクチュエー
タに関する。このような振動アクチュエータとしては、
超音波領域の振動を用いる超音波モータが知られてい
る。

【０００２】

【従来の技術】二つの異なった振動を同時に発生させ
る、いわゆる異形モード縮退型の振動子を用いた振動ア
クチュエータが、例えば「第５回電磁力関連のダイナミ
ックスシンポジウム講演論文集」の第３９３頁に、富川
氏によって開示されている。

【０００３】図２２は、この講演論文集により開示され
た振動子２を有する振動アクチュエータ１を示す斜視図
である。また、図２３は振動子２に発生した二つの振動
Ｌ１、Ｂ４の波形例を示す説明図である。

【０００４】図２２に示すように、振動子２は、弾性体
３と、電気エネルギを機械エネルギに変換する電気機械
変換素子４（以下、「圧電体」を例にとって説明す
る。）とを有する。

【０００５】弾性体３は、共振先鋭度が大きな金属材料
により矩形平板状に形成される。弾性体３の一方の平面
には圧電体４が接着されて装着される。また、弾性体３
の他方の平面には、突起状に二つの駆動力取出部３ａ、
３ｂが形成される。

【０００６】圧電体４は、図２２に示すように、Ａ相、
Ｂ相の２相の駆動電圧Ｖ_A 、Ｖ_B がそれぞれ印加される
入力領域４ａ、４ｂと、振動子２の振動状態をモニタす
る検出領域４ｐと、グランド領域４ｇとの４つの領域が
連続して形成されて、構成される。４つの領域４ａ、４
ｂ、４ｐおよび４ｇそれぞれの表面には、例えば銀電極
５ａ、５ｂ、５ｐおよび５ｇが互いに離れて装着され
る。

【０００７】駆動力取出部３ａ、３ｂの底面には、高分
子材等を主成分とした摺動部材（図示しない。）が貼付
される。この摺動部材を介して、適宜加圧力で相対運動
部材６を加圧接触させる。

【０００８】また、この弾性体３では、発生する１次の
縦振動Ｌ１および４次の曲げ振動Ｂ４それぞれの固有振
動数がほぼ一致するように、各部寸法が設定される。さ
らに、駆動力取出部３ａ、３ｂは、振動子２の長手方向
に関して、発生する曲げ振動Ｂ４の４つの腹位置ｌ₁ 、
ｌ₂ 、ｌ₃ およびｌ₄ のうちの外側の腹位置ｌ₁ 、ｌ₄
に一致する位置に配置される。

【０００９】この状態で、圧電体４ａ、４ｂに、位相が
（π／２）ずれた高周波の駆動電圧Ｖ_A 、Ｖ_B をそれぞ
れ印加すると、図２３に示すように、弾性体３には、振
動子２の長手方向へ振動する１次の縦振動Ｌ１と、振動
子２の厚さ方向へ振動する４次の曲げ振動Ｂ４とが同時
に発生する。弾性体３に発生した縦振動Ｌ１と曲げ振動
Ｂ４とは合成されて、駆動力取出部３ａ、３ｂそれぞれ
の底面に、楕円状に周期的に変位する楕円運動を発生す
る。これにより、振動子２は、駆動力取出部３ａ、３ｂ
に加圧接触された相対運動部材６との間で相対運動を発
生する。

【００１０】このように、この異形モード縮退型の振動
子２を有する振動アクチュエータ１では、弾性体３に発
生させる縦振動Ｌ１と曲げ振動Ｂ４とを組み合わせて駆
動力取出部３ａ、３ｂに楕円運動を発生させ、駆動力取
出部３ａ、３ｂに加圧接触する相対運動部材６との間で
相対運動を発生する。したがって、この振動アクチュエ
ータ１では、振動子２および相対運動部材６を適宜加圧
力で加圧接触させておく必要がある。

【００１１】そこで、本出願人は、先に例えば特開平８
−１４０３７４号公報により、振動子２の長手方向の中
央部の１カ所（図２２および図２３における加圧位置
Ｃ）で、振動子２を相対運動部材６に向けて加圧する加
圧部材を提案した。

【００１２】この加圧部材によれば、極めて簡単な構造
で振動子２を相対運動部材６へ適宜加圧力で確実に加圧
することができる。そのため、振動子２に発生した楕円
運動を相対運動部材６へ効率的に伝播させることができ
る。

【００１３】また、図２３に示すように、この加圧位置
Ｃは、弾性体３に発生する縦振動Ｌ１および曲げ振動Ｂ
４それぞれの節位置に相当するため、加圧に伴う振動子
２の振動減衰をできるだけ抑制することもできる。その
ため、図２２および図２３に示す加圧位置Ｃは、確実な
加圧と加圧に伴う振動減衰の抑制とをともに図るため
に、最も望ましい位置であると考えられていた。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】従来、この加圧位置Ｃ
で振動子２を相対運動部材６へ向けて加圧することによ
り、何の問題もなく、振動アクチュエータ１を確実に駆
動することができると考えられていた。

【００１５】しかし、本発明者らの検討により、加圧位
置Ｃによる加圧では、意外にも、振動子２の駆動に伴っ
て、加圧位置Ｃを中心として振動子２の長手方向の両端
部を互いに反対方向へ昇降させる振動、すなわちピッチ
ング振動が発生してしまうことが、判明した。図２３に
はピッチング振動の一例の方向を、矢印で示す。

【００１６】振動子２にこのピッチング振動が発生する
と、ピッチング振動が有する振動数の騒音が発生して振
動アクチュエータ１の特徴の一つである静粛性を損な
う。また、振動子２に発生した縦振動Ｌ１を曲げ振動Ｂ
４により相対運動部材６へ断続的に伝播する機能（以
下、本明細書では「クラッチ機能」という。）が不充分
となって駆動効率が低下してしまう。

【００１７】また、このピッチング振動が一旦発生する
と、それを抑制する手段がないため、ピッチング振動が
継続して発生し続けてしまう。

【００１８】本発明の目的は、本発明者らにより発見さ
れた新たな課題であるピッチング振動の発生を抑制ない
しは解消して、騒音の発生や駆動効率の低下をいずれも
防止し、これにより性能向上が図られた振動アクチュエ
ータを提供することである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明者らの鋭意研究の
結果、以下のことがわかった。つまり、加圧位置Ｃの１
箇所で加圧される振動子２が相対運動部材６に駆動力を
伝える際、曲げ振動Ｂ４によって相対運動部材６の厚さ
方向に押圧力が発生する。そして、この押圧力の反力に
よって、加圧位置Ｃの周りに偶力が発生し、この偶力に
よって振動子２が加圧位置Ｃを中心にピッチング振動し
てしまうのである。

【００２０】そこで、本発明者らはさらに検討を重ね、
縦振動と曲げ振動とを発生する振動子を用いた振動アク
チュエータにおいては、（１）振動子を縦振動の振動方
向について拘束する第１拘束部材と、縦振動の振動方向
に関する少なくとも２箇所で、振動子を曲げ振動の振動
方向について拘束する第２拘束部材とを用いて、振動子
を加圧しながら支持することにより、振動子に作用する
偶力を確実に抑制でき、騒音の発生とクラッチ機能の減
少とをともに防止できること、（２）第１拘束部材およ
び第２拘束部材を、互いに独立した別部材に配置し、そ
れぞれの部材の形状を工夫することにより、振動子をが
た無しで確実に支持することができ、騒音の発生を抑制
できること、（３）相対運動の方向に沿って振動子に複
数設けられた駆動力取出部よりも振動子端部側で、第２
拘束部材を振動子に係合させることにより、前記の偶力
をより確実に抑制できることの３点を新規に知見して、
本発明を完成した。

【００２１】請求項１の発明では、電気機械変換素子
と、電気機械変換素子の励振により得られる駆動力を取
り出すための駆動力取出部とを有し、前記の駆動力によ
り駆動力取出部に接触した相対運動部材との間に相対運
動を発生させる振動子と、ベース部材と、振動子をベー
ス部材に固定するための固定部材とを備え、振動子が、
電気機械変換素子の励振により、相対運動の方向に振動
する第１振動と、第１振動の振動方向と交差する方向に
振動する第２振動とを発生し、固定部材が、第１振動の
振動方向に関して振動子を拘束する第１拘束部材と、第
１振動の振動方向に沿った少なくとも２箇所に配置さ
れ、第２振動の振動方向に関して振動子を拘束する第２
拘束部材とを有することを特徴とする振動アクチュエー
タを提供する。

【００２２】請求項２の発明は、請求項１に記載された
振動アクチュエータにおいて、第１拘束部材が、第１振
動の節となる位置またはその近傍で振動子に係合し、第
２拘束部材が、第２振動の節となる位置またはその近傍
で振動子に係合することを特徴とする。

【００２３】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２に記載された振動アクチュエータにおいて、第１拘束
部材が、振動子に固定されることを特徴とする。

【００２４】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、固定部材が、振動子を相対運動部材に向けて加
圧する加圧部材と、振動子を相対運動部材に向けて加圧
する加圧力が作用する方向に対して変位可能に支持され
た支持部材とを有し、加圧部材と支持部材とが、互いに
干渉することなくいずれも前記の加圧力が作用する方向
に対して変位可能であり、第１拘束部材が支持部材に設
置され、かつ第２拘束部材が加圧部材に設置されること
を特徴とする。

【００２５】請求項５の発明は、請求項４に記載された
振動アクチュエータにおいて、加圧部材および支持部材
の一方または双方が、第１振動の振動方向への加圧部材
の移動を制限する移動制限機構を有することを特徴とす
る。

【００２６】請求項６の発明は、請求項４または請求項
５に記載された振動アクチュエータにおいて、第２拘束
部材の振動子との当接部が、第２振動の振動方向と、第
１振動の振動方向および第２振動の振動方向にともに交
差する方向との２方向について、振動子を拘束する形状
であることを特徴とする。

【００２７】請求項７の発明は、請求項１または請求項
２に記載された振動アクチュエータにおいて、第１拘束
部材が、第２振動の振動方向に関して、振動子との間で
相対運動可能であり、第２拘束部材が、第１振動の振動
方向に関して、振動子との間で相対運動可能であること
を特徴とする。

【００２８】請求項８の発明は、請求項１、請求項２お
よび請求項７のいずれか１項に記載された振動アクチュ
エータにおいて、固定部材が、振動子を相対運動部材に
向けて加圧する加圧力が作用する方向に対して変位可能
に支持された加圧支持部材を有し、第１拘束部材および
第２拘束部材が、ともに、加圧支持部材に設置されるこ
とを特徴とする。

【００２９】請求項９の発明は、請求項１から請求項８
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、固定部材が、第２拘束部材を振動子に押し付け
て、振動子と相対運動部材とを所定の加圧力で接触させ
る第１加圧力発生部材を有することを特徴とする。

【００３０】請求項１０の発明は、請求項１から請求項
９までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータ
において、第２拘束部材が、少なくとも振動子との接触
部が、メタクリル樹脂、フェノール樹脂、ポリアミド樹
脂、フッ素樹脂、ポリアセタール樹脂、アクリロニトリ
ル−ブタジエン−スチレン共重合樹脂、ポリイミド樹
脂、ポリエチレン樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネ
ート樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂およ
びエポキシ樹脂の少なくとも一つの材料により形成され
ることを特徴とする。

【００３１】請求項１１の発明は、請求項９または請求
項１０に記載された振動アクチュエータにおいて、さら
に、振動子に関して第１加圧力発生部材が配置された側
とは反対側に配置され、振動子を第２拘束部材に押し付
ける第２加圧力発生部材を備えることを特徴とする。

【００３２】請求項１２の発明は、請求項１から請求項
１１までのいずれか１項に記載された振動アクチュエー
タにおいて、さらに、振動子に関して第２拘束部材が配
置された側とは反対側に配置され、第２振動の振動方向
に関して振動子を拘束する第３拘束部材を備えることを
特徴とする。

【００３３】請求項１３の発明は、請求項２から請求項
１２までのいずれか１項に記載された振動アクチュエー
タにおいて、駆動力取出部が、相対運動の方向に沿って
振動子に複数設けられ、第２拘束部材が振動子に係合す
る係合位置が、相対運動の方向に関して、駆動力取出部
よりも振動子端部側であることを特徴とする。

【００３４】請求項１４の発明は、請求項１３に記載さ
れた振動アクチュエータにおいて、駆動力取出部が、相
対運動の方向に関して、第２振動の腹位置またはその近
傍に設けられることを特徴とする。

【００３５】さらに、請求項１５の発明は、請求項１３
または請求項１４に記載された振動アクチュエータにお
いて、係合位置が、第２振動の節位置またはその近傍で
あることを特徴とする。

【００３６】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明に
かかる振動アクチュエータの実施形態を、添付図面を参
照しながら詳細に説明する。なお、以降の実施形態は、
振動アクチュエータが超音波の振動域を利用した超音波
モータである場合を例にとって、説明する。

【００３７】図１は、本実施形態の超音波モータ１０の
説明図である。図１（Ａ）は超音波モータ１０を、発生
する振動波形例とともに示す説明図であり、図１（Ｂ）
は超音波モータ１０を構成する振動子１１を示す上面図
である。また、図２は、この超音波モータ１０の主要部
を抽出して示す斜視図である。

【００３８】図１および図２に示すように、本実施形態
の超音波モータ１０は、第１振動である１次の縦振動Ｌ
１と、第２振動である４次の曲げ振動Ｂ４とを発生する
振動子１１と、相対運動部材２２と、加圧支持機構３１
と、振動子１１および加圧支持機構３１を収容するとと
もに相対運動部材２２を通過させるケーシング４１とを
備える。以下、これらについて、順次説明する。

【００３９】〔振動子１１〕振動子１１は、弾性体１２
と、弾性体１２の一方の平面に装着された圧電体１３と
を備える。

【００４０】弾性体１２は、鉄鋼、ステンレス鋼、リン
青銅またはエリンバー材等といった共振先鋭度が大きな
金属材料により構成されることが望ましく、矩形平板状
に形成される。また、弾性体１２の各部の寸法は、発生
する１次の縦振動Ｌ１および４次の曲げ振動Ｂ４それぞ
れの固有振動数がほぼ一致するように、設定される。

【００４１】弾性体１２の一方の平面には、後述する圧
電体１３が例えば接着される。また、弾性体１２の他方
の平面には、弾性体１２の幅方向に２本の溝部が相対運
動方向（図１（Ａ）における左右方向）に関して所定距
離だけ離れて設けられる。これらの溝部に、横断面形状
が矩形である角棒型の、高分子材等を主成分とした摺動
部材が嵌め込まれて接着され、突起状に突出して装着さ
れる。高分子材としては、ＰＴＦＥ、ポリイミド樹脂、
ＰＥＮ、ＰＰＳ、ＰＥＥＫ等が例示される。

【００４２】そして、この摺動部材が駆動力取出部１２
ａ、１２ｂとして機能する。したがって、弾性体１２
は、これら摺動部材からなる駆動力取出部１２ａ、１２
ｂを介して相対運動部材２２に接触する。

【００４３】なお、図示していないが、各摺動部材は、
振動子１１の幅方向に２つに分割されて、それぞれが振
動子１１の幅方向の端部に配置されている。したがっ
て、本実施形態においては、駆動力取出部１２ａ、１２
ｂは、それぞれが２個の摺動材（振動子１１全体で４
個）から構成されている。

【００４４】この駆動力取出部１２ａ、１２ｂは、図１
（Ａ）に示すように、弾性体１２に発生する４次の曲げ
振動Ｂ４の４つの腹位置ｌ₁ 〜ｌ₄ のうちの外側に位置
する腹位置ｌ₁ 、ｌ₄ に一致する位置に設けられる。な
お、駆動力取出部１２ａ、１２ｂは、曲げ振動Ｂ４の腹
位置ｌ₁ 、ｌ₄ に正確に一致する位置に設けられる必要
はなく、この腹位置の近傍に設けられていてもよい。

【００４５】圧電体１３は、本実施形態ではＰＺＴ（チ
タンジルコン酸鉛）からなる１枚の薄板状の圧電素子に
より構成される。この圧電体１３には、Ａ相の駆動信号
が入力される入力領域１３ａ、１３ｃと、Ａ相とは位相
が約（π／２）ずれたＢ相が入力される入力領域１３
ｂ、１３ｄとが形成される。各入力領域１３ａ〜１３ｄ
は、図１（Ｂ）に示すように、弾性体１２に発生する曲
げ振動Ｂ４の５つの節位置ｎ₁ 〜ｎ₅ により区画された
４つの領域に連続して形成される。すなわち、駆動信号
の入力により変形する各入力領域１３ａ〜１３ｄが、い
ずれも、不動点である節位置ｎ₁ 〜ｎ₅ を跨がない。そ
のため、入力領域１３ａ〜１３ｄの変形が節位置ｎ₁ 〜
ｎ₅ によって抑制されることがない。これにより、各入
力領域１３ａ〜１３ｄに入力された電気エネルギを最大
の効率で弾性体１２の変形、すなわち機械エネルギに変
換することができる。

【００４６】また、曲げ振動Ｂ４の節位置ｎ₂ 、ｎ₄ に
は、振動子１１が発生する縦振動Ｌ１により電気エネル
ギを出力する検出領域１３ｐ、１３ｐ’が設けられる。
これにより、振動子１１が発生する縦振動Ｌ１の振動状
態がモニタされる。

【００４７】各入力領域１３ａ〜１３ｄと各検出領域１
３ｐ、１３ｐ’とは、それぞれの表面を、銀電極１５ａ
〜１５ｄ、１５ｐ、１５ｐ’により覆われる。これによ
り、各入力領域１３ａ〜１３ｄに独立して駆動信号を入
力したり、各検出領域１３ｐ、１３ｐ’から独立して検
出信号を出力することができる。

【００４８】各銀電極１５ａ〜１５ｄ、１５ｐ、１５
ｐ’には、図２に示すように、電気エネルギの授受を行
うためのリード線１６ａ〜１６ｄ、１６ｐ、１６ｐ’
が、半田付け部である膨出部１７ａ〜１７ｄ、１７ｐ、
１７ｐ’により、それぞれ接続される。

【００４９】なお、本実施形態では、図１（Ｂ）に示す
ように、振動子１１は、その平面の中央部を中心として
点対称となるように、形成される。これにより、駆動力
取出部１２ａ、１２ｂに発生する楕円運動をほぼ同じ形
状とすることができ、相対運動方向の反転に伴う駆動差
が殆ど解消される。

【００５０】図３は、振動子１１の駆動回路を示すブロ
ック図である。発振器１８は、振動子１１の縦振動Ｌ１
および曲げ振動Ｂ４それぞれに相当する周波数の信号を
発振する。発振器１８の出力は分岐して、一方の出力
は、増幅器１９ａ、１９ｃによって増幅された後に、Ａ
相の駆動信号として入力領域１３ａ、１３ｃの銀電極１
５ａ、１５ｃへ入力される。また、分岐した他方の出力
は、移相器２０によってＡ相電圧とは（π／２）位相を
ずらしてＢ相の駆動信号とした後に、増幅器１９ｂ、１
９ｄを介して入力領域１３ｂ、１３ｄの銀電極１５ｂ、
１５ｄへ入力される。

【００５１】制御回路２１には、検出領域１３ｐ、１３
ｐ’からの出力電圧が入力される。制御回路２１は、予
め設定されていた基準電圧と出力電圧とを比較して、検
出領域１３ｐ、１３ｐ’からの出力のほうが小さいとき
には周波数を低くするように、発振器１８を制御する。
一方、制御回路２１は、検出領域１３ｐ、１３ｐ’から
の出力のほうが大きいときには周波数を高くするよう
に、発振器１８を制御する。これにより、振動子１１の
振動振幅が所定の大きさに維持される。

【００５２】このようにして、圧電体１３の入力領域１
３ａ、１３ｃに、縦振動Ｌ１および曲げ振動Ｂ４それぞ
れの固有振動数に一致した周波数を有するＡ相の駆動信
号を入力する。また、入力領域１３ｂ、１３ｄにはＡ相
とは（π／２）の位相差を有するＢ相の駆動信号を入力
する。すると、図１（Ａ）に示すように、弾性体１２に
は、相対運動方向（図１（Ａ）における左右方向）へ振
動する第１振動である１次の縦振動Ｌ１と、この相対運
動方向に交叉する方向へ振動する第２振動である４次の
曲げ振動Ｂ４とが同時に発生する。これらの振動は合成
されて、駆動力取出部１２ａ、１２ｂには楕円運動が発
生する。

【００５３】図４は、１次の縦振動Ｌ１と４次の曲げ振
動Ｂ４とが合成されて、駆動力取出部１２ａ、１２ｂに
楕円運動が発生する状況を経時的に示す説明図である。
なお、図４においては、便宜上、各入力領域１３ａ〜１
３ｄを互いに離れた状態で示す。

【００５４】図４（Ａ）は、振動子１１に入力される２
相の駆動信号（駆動電圧）Ａ、Ｂの時間的変化を時刻ｔ
₁ 〜時刻ｔ₉ について示す。図４（Ａ）の横軸は、高周
波電圧の実効値を示す。図４（Ｂ）は、弾性体１２の断
面の変形の様子を示し、振動子１１に発生する曲げ振動
Ｂ４（第２振動）の時間的変化を時刻ｔ₁ 〜時刻ｔ₉に
ついて示す。図４（Ｃ）は、弾性体１２の断面の変化の
様子を示し、振動子１１に発生する縦振動Ｌ１（第１振
動）の時間的変化を時刻ｔ₁ 〜時刻ｔ₉ について示す。
さらに、図４（Ｄ）は、振動子１１の駆動力取出部１２
ａ、１２ｂに発生する楕円運動の時間的変化を時刻ｔ₁
〜時刻ｔ₉ について示す。

【００５５】時刻ｔ₁ において、図４（Ａ）に示すよう
に、Ａ相の駆動信号は正の電圧を発生し、Ｂ相の駆動信
号は同一の正電圧を発生する。図４（Ｂ）に示すよう
に、Ａ相の駆動信号およびＢ相の駆動信号による曲げ振
動は互いに打ち消し合い、質点Ｙ１、Ｚ１はともに振幅
零となる。また、図４（Ｃ）に示すように、Ａ相の駆動
信号およびＢ相の駆動信号による縦振動は伸張する方向
へ発生する。質点Ｙ２、Ｚ２はともに矢印で示すよう
に、節位置Ｘ（図１（Ａ）における節位置ｎ₃ ）を中心
として最大の伸張を示す。その結果、図４（Ｄ）に示す
ように縦振動と曲げ振動とが合成され、質点Ｙ１、Ｙ２
の運動の合成が質点Ｙの運動となり、また、質点Ｚ１、
Ｚ２の運動の合成が質点Ｚの運動となる。

【００５６】時刻ｔ₂ において、図４（Ａ）に示すよう
に、Ａ相の駆動信号は正の電圧を発生し、Ｂ相の駆動信
号は零になる。図４（Ｂ）に示すように、Ａ相の駆動信
号による曲げ振動が発生し、質点Ｙ１は負方向へ変位
し、質点Ｚ１は正方向へ変位する。また、図４（Ｃ）に
示すように、Ａ相の駆動信号による縦振動が発生し、質
点Ｙ２と質点Ｚ２とが時刻ｔ₁ の時よりも縮む。その結
果、図４（Ｄ）に示すように縦振動と曲げ振動とが合成
され、質点Ｙ、Ｚは、ともに、時刻ｔ₁ の時よりも左回
りへ回転移動する。

【００５７】時刻ｔ₃ において、図４（Ａ）に示すよう
に、Ａ相の駆動信号は正の電圧を発生し、Ｂ相の駆動信
号は同一の負電圧を発生する。図４（Ｂ）に示すよう
に、Ａ相の駆動信号およびＢ相の駆動信号による曲げ振
動が合成されて増幅され、質点Ｙ１は時刻ｔ₂ の時より
負方向へ増幅されて最大の負の振幅値を示す。また、質
点Ｚ１は時刻ｔ₂ の時よりも正方向へ増幅されて最大の
正の振幅値を示す。また、図４（Ｃ）に示すように、Ａ
相の駆動信号およびＢ相の駆動信号による縦振動は互い
に打ち消し合い、質点Ｙ２と質点Ｚ２とは元の位置へ戻
る。その結果、図４（Ｄ）に示すように縦振動と曲げ振
動とが合成され、質点Ｙ、Ｚは、ともに、時刻ｔ₂ の時
よりも左回りへ回転移動する。

【００５８】時刻ｔ₄ において、図４（Ａ）に示すよう
に、Ａ相の駆動信号は零になり、Ｂ相の駆動信号は負電
圧を発生する。図４（Ｂ）に示すように、Ｂ相の駆動信
号による曲げ運動が発生し、質点Ｙ１が時刻ｔ₃ の時よ
りも振幅が低下し、質点Ｚ１も時刻ｔ₃ の時よりも振幅
が低下する。また、図４（Ｃ）に示すように、Ｂ相の駆
動信号による縦振動が発生し、質点Ｙ２と質点Ｚ２とは
ともに収縮する。その結果、図４（Ｄ）に示すように縦
振動と曲げ振動とが合成され、質点Ｙ、Ｚは、ともに、
時刻ｔ₃ の時よりも左回りへ回転移動する。

【００５９】時刻ｔ₅ において、図４（Ａ）に示すよう
に、Ａ相の駆動信号は負の電圧を発生し、Ｂ相の駆動信
号は同一の負電圧を発生する。図４（Ｂ）に示すよう
に、Ａ相の駆動信号およびＢ相の駆動信号による曲げ運
動は互いに打ち消し合い、質点Ｙ１、Ｚ１はともに振幅
零になる。また、図４（Ｃ）に示すように、Ａ相の駆動
信号およびＢ相の駆動信号による縦振動は収縮する方向
へ発生する。質点Ｙ２、Ｚ２はともに矢印で示すよう
に、節位置Ｘを中心として最大の収縮を示す。その結
果、図４（Ｄ）に示すように縦振動と曲げ振動とが合成
され、質点Ｙ、Ｚは、ともに、時刻ｔ₄ の時よりも左回
りへ回転移動する。

【００６０】時刻ｔ₆ 〜時刻ｔ₉ についても、上述した
時刻ｔ₁ 〜時刻ｔ₅ と同様に縦振動と曲げ振動とが発生
し、その結果、図４（Ｄ）に示すように、質点Ｙおよび
質点Ｚが左回りへ回転移動する。このようにして、振動
子１１の駆動力取出部１２ａ、１２ｂには、左回りであ
って半周期ずれた楕円運動がそれぞれ発生する。発生し
た楕円運動により、加圧接触する相対運動部材２２が一
方向へ駆動される。

【００６１】また、相対運動方向を逆向きにするには、
Ｂ相の駆動信号が、Ａ相の駆動信号に対して（−π／
２）の位相差を有するように設定すればよい。本実施形
態では、振動子１１は以上のように構成される。

【００６２】〔相対運動部材２２〕図１（Ａ）に示すよ
うに、振動子１１の駆動力取出部１２ａ、１２ｂに接触
して、移動子である相対運動部材２２が配置される。

【００６３】相対運動部材２２は、本実施形態ではステ
ンレス鋼により帯板状に構成される。相対運動部材２２
は、駆動力取出部１２ａ、１２ｂに発生する楕円運動に
より、縦振動Ｌ１の振動方向と同方向（図１（Ａ）にお
ける左右方向）へ駆動される。なお、相対運動部材２２
は、銅合金やアルミニウム合金さらには高分子材等によ
り構成されていてもよい。

【００６４】相対運動部材２２は、相対運動部材２２の
一方の平面に接触する搬送ローラ２３ａ、２３ｂと、相
対運動部材２２の幅方向の両端面に接触する４基の搬送
ローラ（いずれも図示しない。）とにより、案内されて
搬送される。これにより、相対運動部材２２は、相対運
動方向の両方向への往復移動が可能となる。

【００６５】なお、搬送ローラ２３ａ、２３ｂを含むこ
れら６基の搬送ローラは、後述するケーシング４１によ
り回転自在に支持される。本実施形態では、相対運動部
材２２は以上のように構成される。

【００６６】〔加圧支持機構３１〕図１（Ａ）および図
２に示すように、加圧支持機構３１は、振動子１１の拘
束を行う加圧支持部材３２と、振動子１１を相対運動部
材２２へ向けて付勢する第１加圧力発生部材３３とを有
する。なお、説明の便宜上、図２においては加圧支持機
構３１を一部省略してある。以下、加圧支持部材３２、
第１加圧力発生部材３３について順次説明する。

【００６７】本実施形態の加圧支持部材３２は、第１拘
束部材である２本の拘束ピン３４ａ、３４ｂと、第２拘
束部材である二つの突起部３６ａ、３６ｂを有する板状
の加圧支持体３５とにより構成される。

【００６８】拘束ピン３４ａ、３４ｂは、その一端を後
述するケーシング４１の天井面に垂直に固定される。拘
束ピン３４ａ、３４ｂは、加圧支持体３５との間に隙間
を有した状態で、加圧支持体３５に設けられた貫通孔３
７ａ、３７ｂを貫通する。そして、振動子１１の長手方
向の中央（振動子１１に発生する第１振動である１次の
縦振動Ｌ１の節位置ｎ₃ ）における両側面に設けられた
遊嵌部である半円状の切欠き部１１ａ、１１ｂに、隙間
を有して嵌合する。このようにして、振動子１１は、拘
束ピン３４ａ、３４ｂにより縦振動Ｌ１の振動方向につ
いて確実に拘束される。なお、拘束ピン３４ａ、３４ｂ
が振動子１１に嵌合する位置は、第１振動である縦振動
Ｌ１の節位置ｎ₃ に正確に一致する位置である必要はな
く、節位置ｎ₃ の近傍であってもよい。

【００６９】また、図１（Ａ）および図２に示すよう
に、加圧支持体３５は、振動子１１に関して相対運動部
材２２が設置された側とは反対側に配置される。この加
圧支持体３５には、拘束ピン３４ａ、３４ｂが隙間を有
して貫通することができる貫通孔３７ａ、３７ｂが設け
られる。これにより、加圧支持体３５は、拘束ピン３４
ａ、３４ｂが貫通する方向、すなわち振動子１１を相対
運動部材２２へ向けて加圧する加圧力が作用する方向に
対して変位可能に支持される。

【００７０】また、加圧支持体３５の振動子１１側の平
面であって相対運動方向の両端部側には、直方体型の突
起部３６ａ、３６ｂが設けられる。突起部３６ａ、３６
ｂは、振動子１１に発生する４次の曲げ振動Ｂ４の二つ
の節位置ｎ₂ 、ｎ₄ を跨ぐ位置に当接するように、配置
される。このようにして、振動子１１は、突起部３６
ａ、３６ｂにより曲げ振動Ｂ４の振動方向について確実
に拘束される。なお、突起部３６ａ、３６ｂの当接位置
は、節位置ｎ₂ 、ｎ₄ に正確に一致する位置とする必要
はなく、節位置ｎ₂ 、ｎ₄ の近傍であってもよい。

【００７１】この突起部３６ａ、３６ｂは、図２に示す
ように、半田付けの膨出部１７ａ〜１７ｄ、１７ｐ、１
７ｐ’との干渉を避けるため、振動子１１の幅方向に関
して、２つに分割されて設けられる。

【００７２】本実施形態では、拘束ピン３４ａ、３４ｂ
と、加圧支持体３５と、突起部３６ａ、３６ｂとは、い
ずれもアルミニウム合金により構成した。突起部３６
ａ、３６ｂには、圧電体１３からの電気的なショートを
防止するため、樹脂コーティングを圧電体１３との接触
部に施した。

【００７３】また、本実施形態では、拘束ピン３４ａ、
３４ｂと加圧支持体３５とは隙間を有するように構成し
た。しかし、拘束ピン３４ａ、３４ｂと加圧支持体３５
とを隙間を有さずに嵌め合わせてもよい。また、拘束ピ
ン３４ａ、３４ｂと、加圧支持体３５とを一体的に構成
したり、拘束ピン３４ａ、３４ｂと、加圧支持体３５
と、突起部３６ａ、３６ｂとを一体的に構成してもよ
い。これにより、加圧支持部材３２の構造を簡素化で
き、加圧支持部材３２の製造コストを低減することがで
きる。

【００７４】さらに、加圧支持体３５における振動子１
１と反対側の平面の中央部には、非貫通の第１加圧力発
生部材取付け穴３８が設けられる。この第１加圧力発生
部材取付け穴３８とケーシング４１の天井面との間に、
第１加圧力発生部材であるコイルばね３３が装着され
る。このコイルばね３３が発生するばね力により、加圧
支持体３５は振動子１１へ向けて付勢される。これによ
り、加圧支持体３５の振動子１１側の平面に設けられた
突起部３６ａ、３６ｂの先端が、振動子１１に当接す
る。

【００７５】このように、本実施形態の加圧支持機構３
１は、振動子１１をケーシング４１に固定するための固
定部材としても機能する。

【００７６】また、本実施形態の加圧支持機構３１で
は、加圧支持体３５とケーシング４１の天井面との間に
装着したコイルばね３３により第１加圧力発生部材を構
成する。このため、本実施形態の超音波モータ１０の附
属物である加圧力発生部材の大型化をできるだけ抑制す
ることができる。

【００７７】また、本実施形態の加圧支持機構３１で
は、拘束ピン３４ａ、３４ｂを貫通させるとともに、相
対運動方向に関する両端側に突起部３６ａ、３６ｂを有
する加圧支持体３５を、振動子１１に関して相対運動部
材２２が配置される側と反対側に備える。このため、拘
束ピン３４ａ、３４ｂおよび突起部３６ａ、３６ｂを簡
単な構造にまとめて配置することができ、加圧支持機構
３１の簡素化および小型化をともに図ることができる。
また、振動子１１の支持と、振動子１１の相対運動部材
２２への加圧とを、ともに行うことができる。

【００７８】さらに、本実施形態の加圧支持機構３１
は、以上説明したように、加圧支持部材３２と加圧力発
生部材３３とをコンパクトにまとめた極めて簡単な構造
である。そのため、超音波モータ１０の小型化を図るこ
とができ、また製造コストの上昇をできるだけ抑制する
ことができる。

【００７９】このようにして、振動子１１は、加圧支持
体３５に設けられた突起部３６ａ、３６ｂにより、第２
振動である４次の曲げ振動Ｂ４の振動方向（図１（Ａ）
における上下方向）について拘束される。また、振動子
１１は、相対運動部材２２に適宜加圧力で加圧接触す
る。

【００８０】〔ケーシング４１〕ベース部材となるケー
シング４１は、上ケーシング４１ａおよび下ケーシング
４１ｂを組み合わせた箱型の収容体である。このケーシ
ング４１には、相対運動部材２２を貫通させるための開
口部４３ａ、４３ｂが設けられる。

【００８１】上ケーシング４１ａの天井面には、下ケー
シング４１ｂへ向けて、拘束ピン３４ａ、３４ｂが垂直
に固定される。また、前述したように、下ケーシング４
１ｂの内部の所定位置には、搬送ローラ２３ａ、２３ｂ
を含む合計６基の搬送ローラが回転自在に設置される。
さらに、開口部４３ａ、４３ｂに臨む上ケーシング４１
ａおよび下ケーシング４１ｂそれぞれの端面には、ゴム
等からなる軟質の干渉緩和材４４が装着される。

【００８２】さらに、上ケーシング４１ａの天井板のう
ちでコイルばね３３が当接する部分には、ネジ機構４５
がねじ止めされる。コイルばね３３がネジ機構４５に当
接している状態で、ネジ機構４５の上ケーシング４１ａ
に対するねじ止め位置を変更することにより、コイルば
ね３３の長さが変更される。これにより、コイルばね３
３が発生するばね力が調整され、振動子１１と相対運動
部材２２との間の加圧力が自在に調整される。

【００８３】本実施形態のケーシング４１を用いること
により、振動子１１および加圧支持機構３１の保持およ
び収容と、振動子１１の相対運動部材２２への加圧と、
相対運動部材２２の移動保持とを、極めて簡単かつ小型
に、行うことができる。本実施形態では、ケーシング４
１は以上のように構成される。

【００８４】本実施形態の超音波モータ１０は、以下の
手順（１）〜（４）により組立てられる。 （１）下ケーシング４１ｂに回転自在に支持された、搬
送ローラ２３ａ、２３ｂを含む６基の搬送ローラに、相
対運動部材２２を搭載する。

【００８５】（２）加圧支持体３５に設けられた第１加
圧力発生部材取付け穴３８にコイルばね３３を装着す
る。そして、上ケーシング４１ａの天井面に垂直に固定
された拘束ピン３４ａ、３４ｂが、加圧支持体３５に設
けられた貫通孔３７ａ、３７ｂをそれぞれ貫通するよう
に、加圧支持体３５を上ケーシング４１ａに装着する。

【００８６】（３）貫通孔３７ａ、３７ｂを貫通した拘
束ピン３４ａ、３４ｂが、振動子１１に設けられた切欠
き部１１ａ、１１ｂに隙間を有して嵌まり合うように、
振動子１１を上ケーシング４１ａに装着する。

【００８７】（４）加圧支持体３５および振動子１１
を、上記（２）項および（３）項に示すようにして、上
ケーシング４１ａに装着した状態で、この上ケーシング
４１ａを下ケーシング４１ｂに載せ、上ケーシング４１
ａおよび下ケーシング４１ｂを適宜手段で固定する。

【００８８】次に、このようにして組立てられた超音波
モータ１０について、駆動時の状況を説明する。振動子
１１へ、リード線１６ａ、１６ｃを介してＡ相の駆動信
号を入力するとともに、リード線１６ｂ、１６ｄを介し
てＢ相の駆動信号を入力する。すると、振動子１１に
は、相対運動方向へ振動する１次の縦振動Ｌ１と、加圧
方向へ振動する４次の曲げ振動Ｂ４とが同時に発生す
る。

【００８９】この時、曲げ振動Ｂ４により、相対運動部
材２２は振動子１１からその厚さ方向への圧力を受け
る。この圧力の反力により、振動子１１は、相対運動部
材２２からこの厚さ方向、すなわち加圧方向への圧力を
受ける。このため、振動子１１には、拘束ピン３４ａ、
３４ｂが嵌まり合う切欠き部１１ａ、１１ｂを中心とし
て、長手方向の両端部を互いに反対方向へ昇降させよう
とする偶力が生じる。

【００９０】しかし、本実施形態では、振動子１１の長
手方向に離間して当接する二つの突起部３６ａ、３６ｂ
が振動子１１に当接しているために、振動子１１を曲げ
振動Ｂ４の振動方向について拘束する。また、拘束ピン
３４ａ、３４ｂは、切欠き部１１ａ、１１ｂを介して振
動子１１に係合するために、振動子１１を縦振動Ｌ１の
振動方向について拘束する。このため、振動子１１にお
けるピッチング振動の発生が、ほぼ確実に抑制または解
消される。

【００９１】特に、本実施形態では、突起部３６ａ、３
６ｂは４次の曲げ振動の節部ｎ₂ 、ｎ₄ の２箇所で振動
子１１に当接するため、振動子１１に発生する曲げ振動
Ｂ４をできるだけ減衰させずに、曲げ振動Ｂ４が有する
クラッチ機能を効果的に働かせることができる。そのた
め、振動子１１が発生する駆動力を相対運動部材２２へ
効率よく伝達することができ、超音波モータ１０の駆動
力や駆動効率を向上することもできる。

【００９２】また、本実施形態によれば、突起部３６
ａ、３６ｂにより、振動子１１の相対運動部材２２への
加圧も同時に行うため、加圧のための専用部材を設ける
必要がない。これにより、加圧部材の複雑化や大型化が
防止される。

【００９３】なお、本実施形態を、図２２および図２３
に示す従来例と比較すると、縦振動Ｌ１に関しては、本
実施形態のほうが加圧に伴う振動減衰が大きい。しか
し、本実施形態によれば、ピッチング振動の抑制または
解消と、駆動効率の低下の抑制と、加圧に伴う縦振動Ｌ
１および曲げ振動Ｂ４それぞれの振動減衰の抑制とを、
高度なレベルでバランスさせることができる。そのた
め、本実施形態によれば、超音波モータ１０の性能を全
体として顕著に向上させることができる。

【００９４】例えば、加圧に伴う振動減衰を考慮しなけ
れば、ピッチング振動の抑制には、突起部３６ａ、３６
ｂにより振動子長手方向の最端部を加圧することが最も
有利である。しかし、この最端部は縦振動Ｌ１の振幅が
大きい位置であるため、縦振動Ｌ１の振動減衰が懸念さ
れる。本実施形態の加圧位置は、このような振動減衰を
も総合的に考慮して、決定される。

【００９５】（第２実施形態）次に、本発明にかかる振
動アクチュエータの第２実施形態を、添付図面を参照し
ながら説明する。なお、以降の各実施形態の説明は、第
１実施形態と相違する部分についてだけ行うこととし、
共通する部分については同一の図中符号を付すことによ
り、重複する説明を適宜省略する。

【００９６】図５は、第２実施形態の超音波モータ１０
−１を、一部省略して、発生する振動Ｌ１、Ｂ４の波形
例とともに示す説明図である。本実施形態が第１実施形
態と相違するのは、加圧支持体３５−１の近傍の構成
と、加圧支持体３５−１の形状とである。

【００９７】本実施形態では、加圧支持体３５−１の上
面には、薄板状の弾性部材からなる結合部材５０の一端
側が固定される。結合部材５０は、相対運動方向に延設
されており、ねじ５１ａ、５１ｂを介して加圧支持体３
５−１の上面に固定される。この結合部材５０の他端側
は、上ケーシング４１ａの天井板の角部にねじ５２ａ、
５２ｂにより締結されて固定されたブラケット５３の下
面に、ねじ５４により締結されて固定される。また、コ
イルばね３３は、この結合部材５０の上面と上ケーシン
グ４１ａの天井面との間に挟まれた状態で装着される。

【００９８】さらに、本実施形態では、拘束ピン３４
ａ、３４ｂは加圧支持体３５−１の下面に垂直に固定さ
れており、振動子１１の切欠き部１１ａ、１１ｂに隙間
を有して嵌め合わされている。本実施形態の超音波モー
タ１０−１のこれら以外の構成は、第１実施形態の超音
波モータ１０と同一である。

【００９９】この本実施形態の超音波モータ１０−１に
よれば、加圧支持体３５−１は結合部材５０を介して上
ケーシング４１ａに固定されるため、加圧支持体３５−
１による振動子１１の相対運動方向に関する拘束精度
が、第１実施形態より向上する。また、拘束ピン３４
ａ、３４ｂは加圧支持体３５−１に固定されるため、第
１実施形態では存在した、拘束ピン３４ａ、３４ｂと加
圧支持体３５との間のがたが、存在しない。そのため、
加圧支持体３５−１による振動子１１の相対運動方向へ
の拘束精度が向上する。これらにより、第１実施形態よ
りも、超音波モータ１０−１の駆動効率や駆動力が向上
する。

【０１００】また、結合部材５０は、薄板状の弾性部材
からなるため、ブラケット５３による固定位置を中心と
して撓んで変形する。そのため、加圧支持体３５−１は
加圧方向へほぼ直線状に微少に変位することができる。
そのため、本実施形態も、第１実施形態と同様に、振動
子１１におけるピッチング振動の発生を、確実に抑制ま
たは解消することができる。

【０１０１】（第３実施形態）第１実施形態および第２
実施形態では、拘束ピン３４ａ、３４ｂと、加圧支持体
３５または３５−１と、突起部３６ａ、３６ｂとは、い
ずれも、アルミニウム合金により構成した。これに対
し、本実施形態では、メタクリル酸エステルを重合して
得られるメタクリル樹脂により構成する。

【０１０２】すなわち、図１または図５に示すように、
突起部３６ａ、３６ｂが振動子１１に当接する位置は、
曲げ振動Ｂ４の節位置であるため、突起部３６ａ、３６
ｂにより曲げ振動Ｂ４を減衰させるおそれはない。しか
し、この当接位置は、縦振動の節位置ｎ₃ から大きくず
れており、突起部３６ａ、３６ｂが当接することにより
縦振動Ｌ１を減衰させる。したがって、縦振動Ｌ１をで
きるだけ減衰させないためには、当接する振動子１１と
の間の摩擦力をできるだけ小さくできる材料により、突
起部３６ａ、３６ｂを構成することが望ましい。また、
振動子１１に発生したピッチング振動を減衰させるため
には、振動減衰能が大きい材料により、突起部３６ａ、
３６ｂを構成することが、望ましい。

【０１０３】このように、振動子１１との間の摩擦力を
小さくでき、かつ振動減衰能が大きい材料として、本実
施形態ではメタクリル樹脂を選択した。メタクリル樹脂
は、弾性係数が大きい樹脂材料である。そのため、メタ
クリル樹脂からなる加圧支持体３５、３５−１をコイル
ばね３３で加圧しても、加圧支持体３５、３５−１に生
じる変形が小さい。そのため、突起部３６ａ、３６ｂを
介して振動子１１へ確実に加圧力を伝達し、振動子１１
を曲げ振動Ｂ４の振動方向について確実に拘束すること
ができる。

【０１０４】また、メタクリル樹脂からなる突起部３６
ａ、３６ｂは、振動子１１との間における接触滑りも良
好であり、縦振動Ｌ１の振動減衰をできるだけ小さくす
ることもできる。

【０１０５】さらに、メタクリル樹脂のような樹脂材料
は、金属材料に比較すると、振動減衰能が大きいため、
ピッチング振動が根本的に発生し難くなる。したがっ
て、曲げ振動Ｂ４のクラッチ機能を効果的に働かせるこ
とができ、振動子１１が発生する駆動力を相対運動部材
２２へ効率的に伝達することができる。このため、超音
波モータ１０の駆動力や駆動効率を向上することができ
る。

【０１０６】なお、メタクリル樹脂以外には、（１）フ
ェノール類とアルデヒドの縮合反応で得られる熱硬化性
樹脂であるフェノール樹脂、（２）ε−カプロラクタム
の重合によるナイロン６、アジピン酸とヘキサメチレン
ジアミンの縮合生成物であるナイロン６６等のポリアミ
ド樹脂、（３）ポリテトラフルオロエチエン（ＰＴＦ
Ｅ）、フッ素化エチレンプロピレン（ＦＥＰ）等のフッ
素樹脂、（４）ポリアセタール樹脂、（５）アクリロニ
トリル−ブタジエン−スチレン共重合樹脂（ＡＢＳ樹
脂）、（６）ピロメリット酸二無水物と芳香族ジアミン
から誘導される重縮合体であるポリイミド樹脂、（７）
エチレンの重合によって得られる熱可塑性重合体である
ポリエチレン樹脂、（８）ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、
（９）芳香族および脂肪族ジヒドロキシ化合物とホスゲ
ンとの直接反応かまたはホスゲンから誘導される先駆物
質とのエステル交換反応によって誘導される重合体であ
るポリカーボネート樹脂、（１０）適当な触媒を用いて
ポリプロピレンを重合して得られる熱可塑性樹脂である
ポリプロピレン樹脂、（１１）スチレンを重合させて得
られる熱可塑性樹脂であるポリスチレン樹脂、（１２）
エポキシ化合物と反応性水素原子を持った化合物とを縮
合させて得られる熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂、の
１種、または２種以上を組み合わせて用いることを例示
できる。これらの材料によれば、いずれも、メタクリル
樹脂と同様の効果が得られる。

【０１０７】なお、拘束ピン３４ａ、３４ｂ、加圧支持
体３５、３５−１および突起部３６ａ、３６ｂそれぞれ
の全てをこれらの材料により構成する必要はなく、振動
子１１と接触する部分に部分的に用いるようにしてもよ
い。

【０１０８】（第４実施形態）図６は、本実施形態の超
音波モータ１０−２の正面図である。図７は、図６のＡ
−Ａ断面における加圧支持機構３１−１の断面図であ
る。

【０１０９】図６に示すように、本実施形態の超音波モ
ータ１０−２は、第１振動である１次の縦振動Ｌ１と、
第２振動である４次の曲げ振動Ｂ４とを発生する振動子
１１と、回転体である相対運動部材２２−１と、加圧支
持機構３１−１と、振動子１１および加圧支持機構３１
−１を収容するとともに相対運動部材２２−１を回転自
在に支持するケーシング４１−１とを備える。以下、こ
れらについて、順次説明する。

【０１１０】〔振動子１１〕本実施形態の振動子１１
は、第１実施形態〜第３実施形態の振動子１１と同一で
あるため、簡単に説明する。

【０１１１】すなわち、本実施形態の振動子１１は、矩
形平板状の弾性体１２と、弾性体１２の一方の平面に装
着される圧電体１３と、弾性体１２の他方の平面に設け
られた溝部に嵌め込まれて接着された、それぞれが２個
の摺動部材からなる駆動力取出部１２ａ、１２ｂとを備
える。駆動信号を入力することにより、振動子１１に
は、１次の縦振動Ｌ１と４次の曲げ振動Ｂ４とが同時に
発生する。これにより、駆動力取出部１２ａ、１２ｂの
先端面には、縦振動Ｌ１と曲げ振動Ｂ４との合成振動で
ある楕円運動が発生する。

【０１１２】本実施形態では、振動子１１の一方の側
は、ケーシング４１−１の底部４１−１ａに設けられ
た、第３拘束部材である固定部材６０により加圧接触さ
れて支持される。また、駆動力取出部１２ａ、１２ｂの
うちの一方の駆動力取出部１２ａの先端面に、後述する
相対運動部材２２−１の外周面が加圧接触される。な
お、他方の駆動力取出部１２ｂには、他の部材は接触し
ておらず、ここでは駆動力の伝達は行われない。

【０１１３】固定部材６０は、振動子１１に発生する曲
げ振動Ｂ４の外側の節位置ｎ₅ であるため、曲げ振動Ｂ
４の振動減衰は抑えることができる。ただし、振動子１
１に発生する縦振動Ｌ１の節位置ｎ₃ とは離れているの
で、縦振動Ｌ１を減衰させる要因にはなる。したがっ
て、第３実施形態における拘束ピン３４ａ、３４ｂ、加
圧支持体３５または３５−１、および突起部３６ａ、３
６ｂと同様に、縦振動Ｌ１をできるだけ減衰させないた
めには、振動子１１との間の摩擦力ができるだけ小さく
なる材料で形成することが望ましい。また、振動減衰能
が大きい材料を用いると、振動子１１に発生するピッチ
ング振動を減衰させることができる。そこで、本実施形
態においては、固定部材６０をポリアセタール樹脂によ
り形成した。これにより、振動子１１と固定部材６０と
の間における接触滑りが良好となり、縦振動Ｌ１の振動
減衰を最小限にすることができる。

【０１１４】なお、固定部材６０は、ポリアセタール樹
脂以外にも、第３実施形態で開示した各材料を用いるこ
とができ、これらの材料によっても、ポリアセタール樹
脂と同様の効果を得ることができる。例えば、メタクリ
ル樹脂、フェノール樹脂、ナイロン６やナイロン６６等
のポリアミド樹脂、ＰＴＦＥやＦＥＰ等のフッ素樹脂、
ＡＢＳ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエチレン樹脂、ＰＶ
Ｃ、ポリカーボネート樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ
スチレン樹脂、エポキシ樹脂等である。なお、図６およ
び図７においては、振動子１１に設けられる電極板やリ
ード線等は、説明を簡略化して理解を容易にするため、
省略してある。

【０１１５】〔相対運動部材２２−１〕本実施形態の相
対運動部材２２−１は、ローラであり、ケーシング４１
−１の底部４１−１ａに設けられた軸支部６１を中心と
して、回動自在に支持される。相対運動部材２２−１の
外周面は、前述したように、振動子１１に設けられた駆
動力取出部１２ａの先端面に加圧接触する。これによ
り、相対運動部材２２−１は、振動子１１に駆動信号が
入力されると、軸支部６１を中心として一方向へ回転駆
動される。

【０１１６】〔加圧支持機構３１−１〕図６および図７
に示すように、本実施形態の加圧支持機構３１−１は、
振動子１１の拘束を行う加圧支持部材３２−１と、振動
子１１を相対運動部材２２−１へ向けて付勢する加圧力
発生部材３３−１と、加圧支持部材３２−１および加圧
力発生部材３３−１を収容する加圧支持機構枠体６２と
により構成される。以下、これらについて、順次説明す
る。

【０１１７】〔加圧支持部材３２−１〕図８は、本実施
形態の加圧支持部材３２−１の説明図であって、図８
（Ａ）は正面図、図８（Ｂ）は下面図である。

【０１１８】加圧支持部材３２−１は、加圧支持部３２
−１ａと、加圧支持部３２−１ａの長手方向の一方の端
面に設けられた二つの結合部３２−１ｂと、二つの結合
部３２−１ｂに設けられた固定部３２−１ｃとが一体に
形成されて、構成される。

【０１１９】加圧支持部３２−１ａは、矩形平板状に形
成される。その一方の平面であって長手方向の両端面近
傍には、突起部３６ａ、３６ｂが垂直に設けられる。ま
た、同じ平面であって長手方向の中央部には、振動子１
１に設けられた切欠き部１１ａ、１１ｂに隙間を有して
嵌まり合う拘束ピン３４ａ、３４ｂが、設けられる。突
起部３６ａ、３６ｂ、および拘束ピン３４ａ、３４ｂの
配置位置、寸法、機能等は、第２実施形態と同じであ
る。

【０１２０】結合部３２−１ｂは、板状に形成されてお
り、第２実施形態における結合部材５０と同様、固定部
３２−１ｃを中心に撓んで変形することができる。その
ため、加圧支持部３２−１ａは、加圧方向へほぼ直線状
に微少に変位することが可能である。また、固定部３２
−１ｃは、加圧支持部材３２−１をケーシング４１−１
に固定する際の固定部である。

【０１２１】〔加圧力発生部材３３−１〕本実施形態に
おける加圧力発生部材３３−１は、第１加圧力発生部材
であるコイルばね３３−１ａと、第２加圧力発生部材で
あるコイルばね３３−１ｂおよび３３−１ｃとにより構
成される。

【０１２２】コイルばね３３−１ａは、その一端側を加
圧支持機構枠体６２の天井面に取付けられる。コイルば
ね３３−１ａの他端側には加圧力伝達部材６３が設けら
れる。コイルばね３３−１ａの取付け部である天井面に
は、ねじ機構（図示しない。）がねじ止めされる。この
ねじ機構のねじ止め位置を変更することにより、コイル
ばね３３−１ａが発生するばね力が変更される。コイル
ばね３３−１ａが発生するばね力により、この加圧力伝
達部材６３に設けられた球状の加圧部６４を、振動子１
１に向けて付勢する。

【０１２３】一方、コイルばね３３−１ｂおよび３３−
１ｃは、いずれも、その一端側を加圧支持機構枠体６２
の底面に固定される。コイルばね３３−１ｂおよび３３
−１ｃそれぞれの他端側は、振動子１１に当接する。そ
して、コイルばね３３−１ｂおよび３３−１ｃが発生す
るばね力により、振動子１１を、加圧支持部材３２−１
に向けて付勢する。

【０１２４】本実施形態では、このようにして、拘束ピ
ン３４ａ、３４ｂにより振動子１１を縦振動Ｌ１の振動
方向について拘束するとともに、突起部３６ａ、３６ｂ
により振動子１１を曲げ振動Ｂ４の振動方向について拘
束する。なお、コイルばね３３−１ｂおよび３３−１ｃ
を介して、振動子１１に設けられた圧電体１３の加圧支
持機構枠体６２への接地が行われる。

【０１２５】〔加圧支持機構枠体６２〕本実施形態で
は、図６および図７に示すように、溝型の断面形状を呈
する加圧支持機構枠体６２により、加圧支持部材３２−
１および加圧力発生部材３３−１がともに収容される。

【０１２６】この加圧支持機構枠体６２の内部には、凹
部６５ａ、６５ｂおよび６５ｃを有する型体６６が装着
される。これら凹部６５ａ、６５ｂおよび６５ｃに、コ
イルばね３３−１ａ、３３−１ｂおよび３３−１ｃが所
定の位置に収容される。コイルばね３３−１ａと、３３
−１ｂおよび３３−１ｃとの間に、加圧支持部材３２−
１および振動子１１が配置される。

【０１２７】本実施形態では、加圧支持機構枠体６２を
用いて、振動子１１、加圧支持部材３２−１および加圧
力発生部材３３−１をユニットとして組み立てるため、
振動子１１、加圧支持部材３２−１および加圧力発生部
材３３−１を個別にケーシング４１−１へ装着する必要
がなくなる。このため、振動子１１、加圧支持部材３２
−１および加圧力発生部材３３−１を収容した加圧支持
機構枠体６２を、ケーシング４１−１へ装着するだけで
よい。これにより、超音波モータ１０−２の組立て性
が、顕著に改善される。

【０１２８】〔ケーシング４１−１〕本実施形態のケー
シング４１−１は、底板４１−１ａと天井板４１−１ｂ
とにより、構成される。すなわち、底板４１−１ａに
は、相対運動方向の両端側に、天井板固定部６７と固定
部材固定部６８とが設けられる。

【０１２９】また、天井板固定部６７には、天井板４１
−１ｂが適宜手段で固定される。この天井板４１−１ｂ
の所定位置には、加圧支持機構枠体６２に取り付けられ
た加圧支持部材３２−１の固定部３２−１ｃが固定され
る。

【０１３０】天井板４１−１ｂの先端側は、図７に示す
ように、加圧支持機構枠体６２に搭載されたコイルばね
３３−１ａおよび型体６６との干渉を防止するために、
二つの分割部４１−１ｃに分割されている。これらの分
割部４１−１ｃにより、加圧支持機構枠体６２は支持さ
れる。

【０１３１】本実施形態の超音波モータ１０−２は、以
下の手順（１）〜（３）により組立てられる。 （１）加圧支持部材３２−１の拘束ピン３４ａ、３４ｂ
を振動子１１の切欠き部１１ａ、１１ｂに嵌め込んだ状
態で、この加圧支持部材３２−１と加圧力発生部材３３
−１とを加圧支持機構枠体６２に収容してユニットと
し、加圧支持機構３１−１を構成する。

【０１３２】（２）天井板４１−１ｂの二つの分割部４
１−１ｃが加圧支持機構枠体６２の所定部に嵌まり合う
ようにして、加圧支持機構３１−１を、加圧支持部材３
２−１の固定部３２−１ｃを介して、天井板４１−１ｂ
に固定する。 （３）相対運動部材２２−１を軸支する底板４１−１ａ
に、加圧支持機構３１−１を固定された天井板４１−１
ｂを固定する。

【０１３３】このように、本実施形態では、加圧支持機
構枠体６２により、加圧支持部材３２−１、加圧力発生
部材３３−１および振動子１１をユニットとして構成す
るため、超音波モータ１０−２の組立て性が、顕著に改
善される。

【０１３４】また、本実施形態によれば、第１実施形態
〜第３実施形態よりも、加圧支持部材３２−１の形状を
簡素化することができる。これにより、超音波モータ１
０−２の駆動効率や駆動力を向上でき、また超音波モー
タ１０−２を安価に製造できる。

【０１３５】（第５実施形態）図９は、本実施形態の超
音波モータ１０−３の説明図であって、図９（Ａ）は超
音波モータ１０−３を、発生する振動波形例とともに示
す説明図であり、図９（Ｂ）は超音波モータ１０−３を
構成する振動子１１を示す上面図である。また、図１０
は、超音波モータ１０−３の主要部を抽出して示す斜視
図である。

【０１３６】本実施形態の超音波モータ１０−３は、図
９および図１０に示すように、振動子１１と、相対運動
部材２２と、加圧支持機構３１−２と、振動子１１およ
び加圧支持機構３１−２を保持するとともに相対運動部
材２２を通過させるケーシング４１とを備える。これら
のうち、振動子１１、相対運動部材２２およびケーシン
グ４１は、前述した第１実施形態と同一であるため、同
一の図中符号を付して、重複する説明を省略する。

【０１３７】〔加圧支持機構３１−２〕図９および図１
０に示すように、本実施形態の加圧支持機構３１−２
は、溝型の縦断面形状を呈する加圧支持部材３２−２
と、加圧支持部材３２−２の上面のほぼ中央部に装着さ
れた第１加圧力発生部材であるコイルバネ３３とを有す
る。

【０１３８】加圧支持部材３２−２の長手方向両端部側
は、振動子１１側へ向けて突起状に形成されており、第
２拘束部材である突起部３６ａ、３６ｂが構成される。
この突起部３６ａ、３６ｂにより、振動子１１を相対運
動部材２２へ向けて加圧する。

【０１３９】図９（Ａ）に示すように、この突起部３６
ａ、３６ｂは、相対運動方向に関して、振動子１１の駆
動力取出部１２ａ、１２ｂよりも振動子端部側に位置す
るように形成される。特に本実施形態では、突起部３６
ａ、３６ｂは、４次の曲げ振動Ｂ４の節位置ｎ₁ 、ｎ₅
に一致する位置とされる。これにより、突起部３６ａ、
３６ｂによる振動子１１の加圧に伴って、曲げ振動Ｂ４
の振動を減衰させることがない。なお、この振動減衰効
果は多少弱まるものの、突起部３６ａ、３６ｂを曲げ振
動Ｂ４の節位置ｎ₁ 、ｎ₅ の近傍に設けてもよい。

【０１４０】また、突起部３６ａ、３６ｂの振動子１１
との接触面には、例えばフェルト等の振動を吸収し易い
振動吸収材３９ａ、３９ｂが貼付される。これにより、
突起部３６ａ、３６ｂが振動子１１に接触することによ
る異音の発生が防止される。なお、振動吸収材３９ａ、
３９ｂを設けなくても、この振動吸収材により加圧支持
部材３２−２全体を形成してもよい。

【０１４１】なお、第３実施形態と同様に、突起部３６
ａ、３６ｂを含む加圧支持部材３２−２の全体を、例え
ば、ポリアセタール樹脂、メタクリル樹脂、フェノール
樹脂、ポリアミド樹脂、フッ素樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリ
イミド樹脂、ポリエチレン樹脂、ＰＶＣ、ポリカーボネ
ート樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂およ
びエポキシ樹脂の１種または２種以上の組合せにより構
成してもよい。

【０１４２】加圧支持部材３２−２の振動子１１と反対
側の平面の中央部には、非貫通のコイルばね取付け穴３
８が設けられる。このコイルばね取付け穴３８に、コイ
ルばね３３が装着される。コイルばね３３により振動子
１１を相対運動部材２２へ向けて加圧する加圧力が発生
する。発生した加圧力は、加圧支持部材３２−２を介し
て振動子１１へ伝達される。

【０１４３】さらに、加圧支持部材３２−２の長手方向
中央の両端部には、ケーシング４１に固定された拘束ピ
ン３４ａ、３４ｂが貫通する貫通孔３７ａ、３７ｂが設
けられる。貫通孔３７ａ、３７ｂを貫通した拘束ピン３
４ａ、３４ｂは、振動子１２の長手方向中央の両端部に
切欠き状に形成された半円状の凹部１１ａ、１１ｂに、
隙間を有した状態で嵌まり合う。これにより、振動子１
１は、加圧方向へは移動自在とされ、相対運動方向に関
しては隙間を有して拘束される。本実施形態では、加圧
支持機構３１−２は以上のように構成される。

【０１４４】次に、本実施形態の超音波モータ１０−３
について、駆動時の状況を説明する。振動子１１を起動
して相対運動部材２２との間で相対運動を発生すると、
駆動力取出部１２ａ、１２ｂに発生する曲げ振動Ｂ４に
より、振動子１１から相対運動部材２２へ押圧力が発生
する。発生した押圧力の反力により、振動子１１には、
図９（Ａ）において、拘束ピン３４ａ、３４ｂを中心と
して、振動子１１の長手方向両端部を互いに反対方向へ
昇降させる偶力が発生する。

【０１４５】ここで、本実施形態では、駆動力取出部１
２ａ、１２ｂよりも振動子長手方向の端部を加圧支持部
材３２−２の突起部３６ａ、３６ｂにより押圧するた
め、この偶力を、第１実施形態〜第４実施形態よりもよ
り効果的に抑制することができる。そのため、振動子１
１の長手方向両端部を互いに反対方向へ昇降させるピッ
チング振動を確実に抑制または解消することができる。

【０１４６】したがって、本実施形態によれば、ピッチ
ング振動による騒音発生を低減することができる。ま
た、曲げ振動の役目であるクラッチ機能を効果的に働か
すことができ、これにより、振動子１１の駆動力を相対
運動部材２２へ効率よく伝達することができる。したが
って、本実施形態によれば、超音波モータ１０−３の駆
動力や駆動効率を向上することができる。

【０１４７】また、本実施形態によれば、突起部３６
ａ、３６ｂにより、振動子１１の相対運動部材２２への
加圧も行うため、加圧のための専用部材を設ける必要が
ない。これにより、加圧部材の複雑化や大型化も防止さ
れる。

【０１４８】なお、本実施形態を、図２２および図２３
に示す従来例と比較すると、縦振動Ｌ１に関しては、本
実施形態のほうが振動減衰が大きい。しかし、本実施形
態によれば、ピッチング振動の抑制または解消と、駆動
効率の低下の抑制と、加圧に伴う縦振動および曲げ振動
それぞれの振動減衰の抑制とを、高度なレベルでバラン
スさせることができる。そのため、超音波モータ１０−
３の性能を全体として向上させることができる。

【０１４９】（第６実施形態）図１１は、第６実施形態
の超音波モータ１０−４を、一部省略して、発生する振
動波形例とともに示す説明図である。なお、省略した部
分は、図９（Ａ）と同一である。

【０１５０】本実施形態が、第５実施形態と相違するの
は、コイルばね３３−１、３３−２を用い、それぞれに
より、加圧支持部材３２−３を加圧する点である。加圧
支持部材３２−３には、振動子長手方向に関して振動子
１１の駆動力取出部１２ａ、１２ｂよりも振動子端部側
であって、曲げ振動Ｂ４の節位置ｎ₁ 、ｎ₅ に一致する
位置を加圧する突起部３６ａ、３６ｂと同じ位置に、コ
イルばね取付け穴３８−１、３８−２が設けられる。こ
のコイルばね取付け穴３８−１、３８−２に、コイルば
ね３３−１、３３−２が装着される。また、コイルばね
３３−１、３３−２が上ケーシング４１ａに当接する位
置に、ネジ機構４５−１、４５−２が設けられる。

【０１５１】本実施形態により、第５実施形態と同様の
効果を生じることができる。さらに、コイルばね３３−
１、３３−２を二つ用いるために駆動に伴って発生しよ
うとするピッチング振動をより確実に抑制することがで
きる。また、コイルばね３３−１、３３−２が発生する
加圧力を独立して調整することにより、駆動方向の反転
に伴う駆動力の左右差をも調整することができる。

【０１５２】（第７実施形態）図１２は、第７実施形態
の超音波モータ１０−５を、一部省略して、発生する振
動波形例とともに示す説明図である。

【０１５３】本実施形態は、第６実施形態の変形であ
り、駆動力取出部１２ａ、１２ｂの形成位置が異なる場
合である。本実施形態では、駆動力取出部１２ａ、１２
ｂを、曲げ振動Ｂ４の内側の腹位置ｌ₂ 、ｌ₃ にそれぞ
れ配置させるとともに、突起部３６ａ、３６ｂによる加
圧位置を、駆動力取出部１２ａ、１２ｂよりも振動子端
部側であって曲げ振動Ｂ４の節位置ｎ₂ 、ｎ₄ に一致す
る位置とした。

【０１５４】本実施形態によれば、駆動力取出部１２
ａ、１２ｂが振動子長手方向の中央部側になっているた
め、縦振動Ｌ１の振幅成分が若干小さくなる。しかし、
駆動力取出部１２ａ、１２ｂの間の距離が小さくなった
ために、駆動力取出部１２ａ、１２ｂの平面度を向上す
ることができる。

【０１５５】このため、駆動効率の向上や、駆動力取出
部１２ａ、１２ｂの平面度不良に起因した異音の発生防
止を図ることができる。さらに、駆動力取出部１２ａ、
１２ｂが近づいたために、平面度を確保するための作業
（平面度出し）を簡素化することができ、これにより、
製造コストの低下を図ることもできる。

【０１５６】なお、図１２において、突起部３６ａ、３
６ｂによる加圧位置は、曲げ振動Ｂ４の節位置ｎ₁ 、ｎ
₅ に一致する位置としてもよく、これにより、ピッチン
グ振動の抑制効果をさらに増加することもできる。

【０１５７】（第８実施形態）図１３は、本実施形態の
超音波モータ１０−６を、分解状態で一部透視して示す
斜視図である。また、図１４は、この超音波モータ１０
−６の正面図である。また、図１５は、この超音波モー
タ１０−６の一部を透視して示す正面図である。さら
に、図１６は、図１４の超音波モータ１０−６の中心に
おける縦断面図である。なお、説明の便宜上、図１３に
おいては圧電体１３および銀電極１５を、また、図１４
〜図１６においては銀電極１５を、それぞれ省略してあ
る。

【０１５８】図１３〜図１６の各図に示すように、本実
施形態の超音波モータ１０−６は、振動子１１と、相対
運動部材２２と、振動子１１を支持する支持部材７１、
および振動子１１を相対運動部材２２へ向けて加圧する
加圧部材７２により構成される固定部材７０と、固定部
材７０を支持するベース部材７３とを有する。

【０１５９】本実施形態が、前述した各実施形態と相違
するのは、支持部材７１、加圧部材７２およびベース部
材７３である。以下、これらの相違部分について詳細に
説明する。

【０１６０】〔支持部材７１〕図１７は、この支持部材
７１の上面図である。図１３〜図１７に示すように、支
持部材７１は、弾性板７４と支持板７５とを有する。

【０１６１】弾性板７４は、例えば金属材料等の弾性材
料からなり、図１７に示すようなほぼ矩形の平面形状を
有する薄板である。この弾性板７４には、４つの支持板
取付孔７６ａ〜７６ｄと、２つの拘束ピン取付孔７７
ａ、７７ｂと、加圧部材移動制限孔７８と、２つのベー
ス部材への取付孔７９ａ、７９ｂが、それぞれ設けられ
ている。また、弾性板７４の両側面のほぼ中央部には、
Ｕ字型の切欠部８１ａ、８１ｂが設けられている。

【０１６２】一方、支持板７５は、例えば金属材料から
なり、適度な剛性を有する板材である。支持板７５に
は、弾性板７４に設けられた支持板取付孔７６ａ〜７６
ｄと一致する位置に４つのねじ孔が設けられる。また、
支持板７５には、弾性板７４に設けられた加圧部材移動
制限孔７８と一致する位置に、同一径の貫通孔が設けら
れる。さらに、支持板７５には、弾性板７４に設けられ
た拘束ピン取付孔７７ａ、７７ｂと一致する位置に、同
一径の貫通孔が設けられる。

【０１６３】支持板７５は、弾性板７４の振動子１１側
の平面に、上述した各孔が一致するように重ね合わさ
れ、ねじ８２ａ〜８２ｄを支持板取付孔７６ａ〜７６ｄ
に挿入して前述したねじ孔にねじ止めすることにより、
弾性板７４に固定される。

【０１６４】また、図示するように、第１拘束部材であ
る拘束ピン３４ａ、３４ｂが、弾性板７４および支持板
７５に設けられた貫通孔を貫通して、例えば溶接や接着
等の適宜手段により、垂直に固定される。拘束ピン３４
ａ、３４ｂは、振動子１１側に向けて延設される。拘束
ピン３４ａ、３４ｂは、振動子１１に設けられた切欠部
１１ａ、１１ｂのピッチにほぼ一致するピッチで、支持
部材７１に取付けられる。

【０１６５】このように構成された支持部材７１は、後
述するベース部材７３に設けられたＬ字型ブロック８７
の底面に、取付孔７９ａ、７９ｂを貫通して取り付けら
れるねじ８３ａ、８３ｂにより、固定される。これによ
り、弾性板７４は板ばねとして作用する。

【０１６６】したがって、支持部材７１に固定された拘
束ピン３４ａ、３４ｂは、弾性板７４が、振動子１１を
相対運動部材２２に向けて加圧する加圧力が作用する方
向（図１４〜図１６における上下方向）に撓むことによ
り、ほぼ直線状に微少に変位することができる。

【０１６７】〔加圧部材７２〕図１８は、加圧部材７２
の４面図であって、図１８（Ａ）は左側面図、図１８
（Ｂ）は正面図、図１８（Ｃ）は右側面図、図１８
（Ｄ）は下面図である。同図に示すように、加圧部材７
２は、適宜材料からなる直方体状の箱体である。

【０１６８】なお、前述した第３実施形態と同様に、本
実施形態においても、拘束ピン３４ａ、３４ｂや加圧部
材７２等の振動子１１に接触する部材は、少なくとも振
動子１１との接触部を、メタクリル樹脂、フェノール樹
脂、ポリアミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアセタール樹
脂、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合樹
脂、ポリイミド樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリ塩化ビニ
ル、ポリカーボネート樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ
スチレン樹脂およびエポキシ樹脂の少なくとも一つの材
料により形成することが、振動子１１の振動減衰をでき
るだけ抑制するために望ましい。

【０１６９】加圧部材７２の四隅部には、第２拘束部材
である突起部８４ａ〜８４ｄが半円柱状に設けられてい
る。突起部８４ａ、８４ｃは、振動子１１に発生する４
次の曲げ振動Ｂ４の節位置ｎ₂ を跨ぐ位置に当接するよ
うに配置される。また、突起部８４ｂ、８４ｄは、曲げ
振動Ｂ４の節位置ｎ₄ を跨ぐ位置に当接するように配置
される。このようにして、振動子１１は、突起部８４ａ
〜８４ｄにより曲げ振動Ｂ４の振動方向について確実に
拘束される。なお、突起部８４ａ〜８４ｄの当接位置
は、節位置ｎ₂ 、ｎ₄ に正確に一致する位置とする必要
はなく、節位置ｎ₂ 、ｎ₄ の近傍であってもよい。

【０１７０】突起部８４ａ〜８４ｄの外側には、爪部８
５ａ〜８５ｄが振動子１１側へ突出して設けられる。こ
の爪部８５ａ〜８５ｄの内面は、振動子１１の側面に当
接する。これにより、この爪部８５ａ〜８５ｄは、振動
子１１をその幅方向に拘束する。

【０１７１】このように、本実施形態では、加圧部材７
２に設けられた突起部８４ａ〜８４ｄにより、曲げ振動
Ｂ４の振動方向について振動子１１を拘束するととも
に、加圧部材７２に設けられた爪部８５ａ〜８５ｄによ
り、曲げ振動Ｂ４の振動方向と、縦振動Ｌ１の振動方向
および曲げ振動Ｂ４の振動方向がともに直交する方向と
の２方向について、振動子１１を拘束する。

【０１７２】加圧部材７２のほぼ中央部には、支持部材
７１へ向けて、円柱型の突出部８６が設けられる。突出
部８６は、弾性板７１に設けられた加圧部材移動制限孔
７８の内径よりも小さな外径を有し、加圧部材移動制限
孔７８に隙間を有して挿入される。本実施形態では、加
圧部材７２に設けられた突出部８６と、支持部材７１に
設けられた加圧部材移動制限孔７８とにより移動制限機
構が形成される。この移動制限機構により、縦振動Ｌ１
の振動方向への加圧部材７２の移動が制限される。

【０１７３】図１４および図１５に示すように、本実施
形態では、拘束ピン３４ａ、３４ｂを切欠部１１ａ、１
１ｂに、例えば溶接や接着等の適宜手段により接合す
る。こうして、支持部材７１を振動子１１に接合した状
態で、加圧部材７２を振動子１１の所定の位置に当接さ
せる。すると、図１６に示すように、突出部８６は、加
圧部材移動制限孔７９に隙間を有した状態で貫通する。
これにより、縦振動の振動方向への加圧部材７２の移動
が、支持部材７１により制限される。

【０１７４】この際、突起部８４ｂおよび爪部８５ｂは
Ｕ字型の切欠部８１ａを貫通し、また、突起部８４ｄお
よび爪部８５ｄはＵ字型の切欠部８１ｂを貫通してい
る。突出部８６と加圧部材移動制限孔７８との間には隙
間が存在するため、加圧部材７２は、縦振動の振動方向
へ微少に変位する。

【０１７５】しかし、この変位によっても、突起部８４
ｂおよび爪部８５ｂはいずれも切欠部８１ａには接触せ
ず、また突起部８４ｄおよび爪部８５ｄはいずれもＵ字
型の切欠部８１ｂには接触しないように設定されてい
る。このように、支持部材７１と加圧部材７２とは、図
１４〜図１６に示すように、互いに干渉することなく、
いずれも、振動子１１を相対運動部材２２に向けて加圧
する加圧力が作用する方向に対して変位可能に、配置さ
れる。

【０１７６】このようにして、本実施形態では、振動子
１１は、拘束ピン３４ａ、３４ｂを介して支持部材７１
によりがたなく支持され、また加圧部材７２により相対
運動部材２２へ向けて付勢される。

【０１７７】〔ベース部材７３〕ベース部材７３は、直
方体型の収容体である。ベース部材７３の外面にはＬ字
型ブロック８７が、ボルト８８により固定される。前述
したように、このＬ字型ブロック８６の底面に支持部材
７１が固定される。

【０１７８】また、ベース部材７３の内部には、先端に
大径部を有するほぼ円柱状の加圧用端子８９が、先端の
大径部を外部に露出させて、収容される。加圧用端子８
９の小径部の周囲には、第１加圧力発生部材であるコイ
ルばね９０が装着される。コイルばね９０の後端には、
円板状のばね長さ調整部材９１を介して、ベース部材７
３にねじ止めされた加圧力調整ねじ９２が当接される。

【０１７９】本実施形態の超音波アクチュエータ１０−
６は、図１３に示すように、相対運動部材２２、振動子
１１、支持部材７１、加圧部材７２およびベース部材７
３を配置しておき、これらを図１４〜図１６に示すよう
にして、組立てられる。この際、加圧用端子８９の先端
は、加圧部材７２の上面のほぼ中央部に当接する。ここ
で、加圧力調整ねじ９２のねじ込み位置を調整すること
により、コイルばね９０が発生するばね力が調整され、
加圧用端子８９を介して加圧部材７２に伝達される加圧
力が調整される。

【０１８０】これにより、本実施形態の固定部材７０に
よれば、支持部材７１と加圧部材７２とが互いに干渉す
ることなく、支持部材７１による振動子１１の支持と、
加圧部材７２による振動子１１の加圧とをともに行うこ
とができる。

【０１８１】また、本実施形態の固定部材７０では、支
持部材７１により振動子１１の加圧を行う必要がないた
め、支持部材７１と振動子１１とを接合することができ
る。これにより、支持部材７１により振動子１１をがた
無く支持することができる。このように、本実施形態の
固定部材７０によれば、振動子１１を、がた無く支持す
るとともに相対運動部材２２へ所望の加圧力で加圧する
ことができる。

【０１８２】（第９実施形態）本実施形態は、第８実施
形態における支持部材７１および加圧部材７２それぞれ
の形状を変更したものである。

【０１８３】図１９は、本実施形態の支持部材７１−１
の上面図である。また、図２０は、本実施形態の加圧部
材７２−１の４面図であって、図２０（Ａ）は左側面
図、図２０（Ｂ）は正面図、図２０（Ｃ）は右側面図、
図２０（Ｄ）は下面図である。なお、図１９および図２
０の説明では、図１７および図１８に示す第８実施形態
と同一の部分には同一の図中符号を付し、重複する説明
は省略する。

【０１８４】本実施形態における支持部材７１−１を構
成する弾性板７４−１は、第８実施形態におけるＵ字型
の切欠部８１ａ、８１ｂに替えて、貫通孔８１ａ’、８
１ｂ’を有する。貫通孔８１ａ’、８１ｂ’は、図１９
に示すように、弾性板７４−１の縁部よりも少し内側の
位置に形成される。

【０１８５】また、本実施形態における支持部材７２−
１では、突起部８４ａ〜８４ｄの形成位置が、第８実施
形態よりも少し内側の位置に形成される。突起部８４ａ
および８４ｃのピッチ、および突起部８４ｂおよび８４
ｄのピッチは、ともに、貫通孔８１ａ’および８１ｂ’
のピッチと同じである。本実施形態では、突起部８４ｂ
が貫通孔８１ａ’を隙間を有して貫通し、突起部８４ｄ
が貫通孔８１ｂ’を隙間を有して貫通する。

【０１８６】さらに、本実施形態における支持部材７２
−１では、爪部８５ｂ、８５ｄが形成されておらず、振
動子１１の幅方向への拘束は、爪部８５ａ、８５ｃによ
り行われる。この本実施形態によれば、第８実施形態よ
りも簡単な構成で、第８実施形態とほぼ同様の効果を得
ることができる。

【０１８７】（第１０実施形態）図２１は、本実施形態
の超音波モータ１０−７の一部を透視して示す正面図で
ある。本実施形態の超音波モータ１０−７は、図１３〜
図１６に示す第８実施形態の超音波モータ１０−６にお
いて、加圧部材７２に設けられた突起部８４ａ〜８４ｄ
が振動子１１の上面に当接する位置を、変更したもので
ある。

【０１８８】図２１に示すように、本実施形態では、突
起部８４ａ〜８４ｄは、図９および図１０に示す第５実
施形態の超音波モータ１０−３や、図１１に示す第６実
施形態の超音波モータ１０−４と同様に、相対運動の方
向に関して駆動力取出部１２ａ、１２ｂよりも振動子端
部側で、振動子１１の上面に当接する。

【０１８９】突起部８５ａ、８５ｃが振動子１１に当接
する位置は、曲げ振動Ｂ４の外側の節位置ｎ₁ であり、
突起部８５ｂ、８５ｄが振動子１１に当接する位置は、
曲げ振動Ｂ４のもう一つの外側の節位置ｎ₅ である。な
お、駆動力取出部１２ａ、１２ｂは、第８実施形態の超
音波モータ１０−６と同様に、曲げ振動Ｂ４の外側の腹
位置ｌ₁ 、ｌ₄ に設けてある。

【０１９０】このため、振動子１１の長手方向両端部を
互いに反対方向へ昇降させるピッチング振動を確実に抑
制または解消することができる。また、本実施形態によ
れば、ピッチング振動による騒音発生を低減することが
できる。また、曲げ振動Ｂ４の役目であるクラッチ機能
を効果的に働かすことができ、これにより、振動子１１
の駆動力を相対運動部材２２へ効率よく伝達することが
できる。したがって、本実施形態の超音波モータ１０−
７は、第８実施形態の超音波モータ１０−６よりも、駆
動力や駆動効率が向上する。

【０１９１】[変形形態]各実施形態の説明では、振動ア
クチュエータとして超音波モータを例にとった。しか
し、本発明にかかる振動アクチュエータはこのような態
様に限定されるものではなく、超音波以外の他の振動域
を利用した振動アクチュエータについても等しく適用さ
れる。

【０１９２】また、各実施形態の説明では、第１振動：
１次の縦振動と、第２振動：４次の曲げ振動とを発生さ
せる異形モード縮退型の振動子を例にとった。しかし、
本発明にかかる振動アクチュエータはこのような形態に
は限定されず、他の振動を発生させる振動アクチュエー
タについても等しく適用される。例えば、第１振動：１
次の縦振動と、第２振動：２次、６次または８次の曲げ
振動とを発生させる異形モード縮退型の振動子を備える
振動アクチュエータについても、本発明は等しく適用さ
れる。

【０１９３】また、本発明は、縦振動および曲げ振動以
外の組合せを用いる振動子を有する振動アクチュエータ
であっても、相対運動方向へ振動する第１振動と、相対
運動方向と交叉する方向へ振動が生じる第２振動とを発
生し、相対運動方向に複数形成された駆動力取出部から
駆動力を取り出す振動子を有する振動アクチュエータで
あれば、等しく適用される。例えば、弾性体に長手方向
への振動を発生させる電気機械変換素子と、弾性体端部
側に積層状態で装着されて弾性体厚さ方向への変位を生
じる電気機械変換素子とをともに有する振動子を備える
振動アクチュエータが例示される。

【０１９４】特に、本発明は、相対運動方向へ振動する
第１振動と、相対運動方向と交叉する方向へ振動する第
２振動とを発生し、相対運動方向へ配置された複数の駆
動力取出部に楕円運動を生じる振動子を有する振動アク
チュエータに適用することにより、振動アクチュエータ
の駆動時におけるピッチング振動の抑制または解消と、
駆動効率の低下の抑制と、加圧に伴う第１振動および第
２振動それぞれの振動減衰の抑制とを、高度なレベルで
バランスさせることができ、望ましい。

【０１９５】また、本発明は、第１振動の振動方向につ
いて振動子を拘束する第１拘束部材と、第１振動の振動
方向に関する少なくとも２箇所で、第２振動の振動方向
について振動子を拘束する第２拘束部材とを有する振動
アクチュエータであれば、第１拘束部材および第２拘束
部材それぞれの設置形態には影響されず、等しく適用さ
れる。例えば、第１拘束部材を、加圧支持体に設けるの
ではなく、ケーシングの天井面に直接的に、または、ば
ねを介して間接的に、取り付けることを例示できる。

【０１９６】また、各実施形態では、第２拘束部材は、
第２振動の振動方向に関する２箇所に設けた。しかし、
本発明にかかる振動アクチュエータはこのような態様に
限定されるものではなく、３箇所以上であってもよい。
例えば、図１（Ａ）において、節位置ｎ₂ 、ｎ₃ および
ｎ₄ の３箇所に、第２拘束部材を設ける態様が例示され
る。

【０１９７】また、各実施形態の説明では、第１拘束部
材が、振動子の長手方向の両側面の中央部に設けられた
切欠き部に、隙間をもって嵌め込まれる場合を例にとっ
た。しかし、本発明にかかる振動アクチュエータはこの
ような態様に限定されるものではなく、この位置以外の
位置で、第１拘束部材が振動子に係合する場合にも等し
く適用される。

【０１９８】また、各実施形態の説明では、第１拘束部
材が、振動子に設けられた半円状の切欠き部に嵌まり合
う場合を例にとった。しかし、本発明にかかる振動アク
チュエータはこのような形態には限定されず、振動子に
設けられて第１拘束部材に隙間を有して嵌まり合う構成
であれば、等しく適用される。

【０１９９】また、第１実施形態〜第７実施形態では、
第１拘束部材である拘束ピンと、第２拘束部材である突
起部とを、加圧支持体（加圧支持部材）によりまとめて
支持するように構成した。しかし、本発明にかかる振動
アクチュエータはかかる態様に限定されるものではな
い。第８実施形態〜第１０実施形態に例示するように、
加圧支持体を用いずに拘束ピンと突起部とを支持するよ
うにしてもよい。

【０２００】また、各実施形態により、第１拘束部材と
加圧支持体との係合状況として、第１拘束部材が、加
圧支持体に隙間を有して嵌まり合うこと、加圧支持体
に隙間を有さずに嵌まり合うこと、加圧支持体の振動
子側の平面に固定されることの３態様を示した。しか
し、本発明にかかる振動アクチュエータはかかる態様に
限定されるものではなく、他の形態で第１拘束部材が加
圧支持体に係合する場合にも、等しく適用される。

【０２０１】また、第５実施形態〜第７実施形態では、
突起部が振動子幅方向の全長で振動子を加圧する場合を
例にとったが、本発明にかかる振動アクチュエータはこ
のような形態には限定されず、振動子の幅方向の一部で
加圧する場合であっても等しく適用される。

【０２０２】また、第８実施形態では、第１加圧力発生
部材であるコイルばね９０を用いて振動子１１を加圧す
ることとした。しかし、このような形態には限定され
ず、図６〜図８に示す第４実施形態のように、コイルば
ね９０とともに第２加圧力発生部材を備えてもよい。

【０２０３】また、第８実施形態では、第１拘束部材で
ある拘束ピン３４ａ、３４ｂと、第２拘束部材である突
起部８４ａ〜８４ｄとを用いて、振動子１１を拘束する
こととした。しかし、このような形態には限定されず、
図６〜図８に示す第４実施形態のように、拘束ピン３４
ａ、３４ｂおよび突起部８４ａ〜８４ｄとともに第３拘
束部材を備えてもよい。

【０２０４】また、第８実施形態では、加圧部材７２に
突出部８６を設けるとともに支持部材７１に加圧部材移
動制限孔７８を設けることにより、縦振動の振動方向へ
の加圧部材７２の移動を制限する移動制限機構を形成し
た。しかし、このような形態には限定されず、支持部材
７１および加圧部材７２の一方に適当な移動制限機構を
設けることとしてもよい。

【０２０５】さらに、各実施形態では、電気機械変換素
子として圧電体を用いたが、本発明にかかる振動アクチ
ュエータはこのような態様には限定されず、電気エネル
ギと機械エネルギとの相互変換を行うことができる素子
であれば、等しく適用される。例えば、圧電体以外に電
歪素子を例示することができる。

【０２０６】

【発明の効果】請求項１の発明により、ピッチング振動
の発生を著しく抑制するか、または解消することができ
る。請求項２の発明により、振動子に発生する駆動力と
なる振動を、できるだけ減衰させることなく、請求項１
の発明の効果を奏することができる。

【０２０７】請求項３の発明により、第１拘束部材と振
動子との間のがたを無くして、請求項１または請求項２
の発明の効果を奏することができる。請求項４の発明に
より、第１拘束部材および第２拘束部材を、互いに影響
されることなく、いずれも、振動子〜相対運動部材間の
加圧力の作用方向に対して変位可能に配置して、請求項
１〜請求項３の発明の効果を奏することができる。

【０２０８】請求項５の発明により、加圧部材が第１振
動の振動方向へ移動することを制限しながら、請求項４
の発明の効果を奏することができる。請求項６の発明に
より、第２拘束部材により、第２振動の振動方向と、第
１振動の振動方向および第２振動の振動方向にともに交
差する方向との２方向について、振動子を拘束しなが
ら、請求項４または請求項５の発明の効果を奏すること
ができる。

【０２０９】請求項７の発明により、振動子を加圧方向
に変位自在に支持しながら、請求項１または請求項２の
発明の効果を奏することができる。請求項８の発明によ
り、加圧支持機構の簡素化および小型化を図りながら、
請求項１、請求項２または請求項７の発明の効果を奏す
ることができる。

【０２１０】請求項９の発明により、振動子を相対運動
部材に向けて付勢しながら、請求項１〜請求項８の発明
の効果を奏することができる。請求項１０の発明によ
り、振動子に発生する振動をできるだけ減衰させずに、
請求項１〜請求項９の発明の効果を奏することができ
る。

【０２１１】請求項１１の発明により、第１加圧力発生
部材および第２加圧力発生部材の加圧力の微調整を容易
かつ正確に行いながら、請求項９または請求項１０の発
明の効果を奏することができる。

【０２１２】請求項１２の発明により、ピッチング振動
の発生をさらに著しく抑制しながら、請求項１〜請求項
１１の発明の効果を奏することができる。請求項１３の
発明により、ピッチング振動の発生をさらに著しく抑制
しながら、請求項２〜請求項１２の発明の効果を奏する
ことができる。

【０２１３】請求項１４の発明により、最大の駆動効率
で、請求項１３の発明の効果を奏することができる。さ
らに、請求項１５の発明により、振動子に発生する振動
の減衰をできるだけ抑制しながら、請求項１３または請
求項１４の発明の効果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の超音波モータの説明図であっ
て、図１（Ａ）は超音波モータを、発生する振動波形例
とともに示す説明図であり、図１（Ｂ）は超音波モータ
を構成する振動子を示す上面図である。

【図２】第１実施形態の超音波モータの主要部を抽出し
て示す斜視図である。

【図３】第１実施形態の超音波モータにおける振動子の
駆動回路を示すブロック図である。

【図４】第１実施形態の超音波モータにおける振動子に
おいて、１次の縦振動と４次の曲げ振動とが合成され
て、駆動力取出部に楕円運動が発生する状況を経時的に
示す説明図である。

【図５】第２実施形態の超音波モータを、一部省略し
て、発生する振動波形例とともに示す説明図である。

【図６】第４実施形態の超音波モータの正面図である。

【図７】図６のＡ−Ａ断面における加圧支持機構の断面
図である。

【図８】第４実施形態の加圧支持部材の説明図であっ
て、図８（Ａ）は正面図、図８（Ｂ）は下面図である。

【図９】第５実施形態の超音波モータの説明図であっ
て、図９（Ａ）は超音波モータを、発生する振動波形例
とともに示す説明図であり、図９（Ｂ）は超音波モータ
を構成する振動子を示す上面図である。

【図１０】第５実施形態の超音波モータの主要部を抽出
して示す斜視図である。

【図１１】第６実施形態の超音波モータを、一部省略し
て、発生する振動波形例とともに示す説明図である。

【図１２】第７実施形態の超音波モータを、一部省略し
て、発生する振動波形例とともに示す説明図である。

【図１３】第８実施形態の超音波モータを、分解状態で
一部透視して示す斜視図である。

【図１４】第８実施形態の超音波モータの正面図であ
る。

【図１５】第８実施形態の超音波モータの一部を透視し
て示す正面図である。

【図１６】第８実施形態の超音波モータの中心における
縦断面図である。

【図１７】第８実施形態における支持部材の上面図であ
る。

【図１８】第８実施形態における加圧部材の４面図であ
って、図１８（Ａ）は左側面図、図１８（Ｂ）は正面
図、図１８（Ｃ）は右側面図、図１８（Ｄ）は下面図で
ある。

【図１９】第９実施形態の支持部材の上面図である。

【図２０】第９実施形態の加圧部材の４面図であって、
図２０（Ａ）は左側面図、図２０（Ｂ）は正面図、図２
０（Ｃ）は右側面図、図２０（Ｄ）は下面図である。

【図２１】第１０実施形態の超音波モータの一部を透視
して示す正面図である。

【図２２】公知の異形モード縮退型の振動子を用いた振
動アクチュエータを示す斜視図である。

【図２３】図２２に示す振動子に発生した二つの振動の
波形例を示す説明図である。

【符号の説明】

１０、１０−１〜１０−５ 超音波モータ（振動アクチ
ュエータ） １１ 振動子 ２２ 相対運動部材（移動子） ３１、３１−１〜３１−４ 加圧支持機構 ３２、３２−１〜３２−４ 加圧支持部材 ３３、３３−１ａ、３３−１、３３−２ 第１加圧力発
生部材 ３４ａ、３４ｂ 拘束ピン（第１拘束部材） ３５、３５−１ 加圧支持体 ３６ａ、３６ｂ 突起部（第２拘束部材） ４１ ケーシング（ベース部材） ６０ 固定部材（第３拘束部材） Ｌ１ 縦振動（第１振動） Ｂ４ 曲げ振動（第２振動） ｎ₂ 、ｎ₃ 、ｎ₄ 節位置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡崎 光宏 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 (72)発明者 大根 一泰 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気機械変換素子と、該電気機械変換素
   子の励振により得られる駆動力を取り出すための駆動力
   取出部とを有し、前記駆動力により前記駆動力取出部に
   接触した相対運動部材との間に相対運動を発生させる振
   動子と、 ベース部材と、 前記振動子を前記ベース部材に固定するための固定部材
   とを備え、 前記振動子は、前記電気機械変換素子の励振により、前
   記相対運動の方向に振動する第１振動と、該第１振動の
   振動方向と交差する方向に振動する第２振動とを発生
   し、 前記固定部材は、前記第１振動の振動方向に関して前記
   振動子を拘束する第１拘束部材と、前記第１振動の振動
   方向に沿った少なくとも２箇所に配置され、前記第２振
   動の振動方向に関して前記振動子を拘束する第２拘束部
   材とを有することを特徴とする振動アクチュエータ。
2. 【請求項２】 前記第１拘束部材は、前記第１振動の節
   となる位置またはその近傍で前記振動子に係合し、 前記第２拘束部材は、前記第２振動の節となる位置また
   はその近傍で前記振動子に係合することを特徴とする請
   求項１に記載された振動アクチュエータ。
3. 【請求項３】 前記第１拘束部材は、前記振動子に固定
   されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載
   された振動アクチュエータ。
4. 【請求項４】 前記固定部材は、前記振動子を前記相対
   運動部材に向けて加圧する加圧部材と、前記振動子を前
   記相対運動部材に向けて加圧する加圧力が作用する方向
   に対して変位可能に支持された支持部材とを有し、 前記加圧部材と前記支持部材とは、互いに干渉すること
   なくいずれも前記加圧力が作用する方向に対して変位可
   能であり、 前記第１拘束部材は前記支持部材に設置され、かつ前記
   第２拘束部材は前記加圧部材に設置されることを特徴と
   する請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載さ
   れた振動アクチュエータ。
5. 【請求項５】 前記加圧部材および前記支持部材の少な
   くとも一方は、前記第１振動の振動方向への前記加圧部
   材の移動を制限する移動制限機構を有することを特徴と
   する請求項４に記載された振動アクチュエータ。
6. 【請求項６】 前記第２拘束部材の前記振動子との当接
   部は、前記第２振動の振動方向と、前記第１振動の振動
   方向および前記第２振動の振動方向にともに交差する方
   向との２方向について、前記振動子を拘束する形状であ
   ることを特徴とする請求項４または請求項５に記載され
   た振動アクチュエータ。
7. 【請求項７】 前記第１拘束部材は、前記第２振動の振
   動方向に関して、前記振動子との間で相対運動可能であ
   り、 前記第２拘束部材は、前記第１振動の振動方向に関し
   て、前記振動子との間で相対運動可能であることを特徴
   とする請求項１または請求項２に記載された振動アクチ
   ュエータ。
8. 【請求項８】 前記固定部材は、前記振動子を前記相対
   運動部材に向けて加圧する加圧力が作用する方向に対し
   て変位可能に支持された加圧支持部材を有し、 前記第１拘束部材および前記第２拘束部材は、ともに、
   前記加圧支持部材に設置されることを特徴とする請求項
   １、請求項２および請求項７のいずれか１項に記載され
   た振動アクチュエータ。
9. 【請求項９】 前記固定部材は、前記第２拘束部材を前
   記振動子に押し付けて、該振動子と前記相対運動部材と
   を所定の加圧力で接触させる第１加圧力発生部材を有す
   ることを特徴とする請求項１から請求項８までのいずれ
   か１項に記載された振動アクチュエータ。
10. 【請求項１０】 前記第２拘束部材は、少なくとも前記
    振動子との接触部が、メタクリル樹脂、フェノール樹
    脂、ポリアミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアセタール樹
    脂、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合樹
    脂、ポリイミド樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリ塩化ビニ
    ル、ポリカーボネート樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ
    スチレン樹脂およびエポキシ樹脂の少なくとも一つの材
    料により形成されることを特徴とする請求項１から請求
    項９までのいずれか１項に記載された振動アクチュエー
    タ。
11. 【請求項１１】 さらに、前記振動子に関して前記第１
    加圧力発生部材が配置された側とは反対側に配置され、
    前記振動子を前記第２拘束部材に押し付ける第２加圧力
    発生部材を備えることを特徴とする請求項９または請求
    項１０に記載された振動アクチュエータ。
12. 【請求項１２】 さらに、前記振動子に関して前記第２
    拘束部材が配置された側とは反対側に配置され、前記第
    ２振動の振動方向に関して前記振動子を拘束する第３拘
    束部材を備えることを特徴とする請求項１から請求項１
    １までのいずれか１項に記載された振動アクチュエー
    タ。
13. 【請求項１３】 前記駆動力取出部は、前記相対運動の
    方向に沿って前記振動子に複数設けられ、 前記第２拘束部材が前記振動子に係合する係合位置は、
    前記相対運動の方向に関して、前記駆動力取出部よりも
    振動子端部側であることを特徴とする請求項２から請求
    項１２までのいずれか１項に記載された振動アクチュエ
    ータ。
14. 【請求項１４】 前記駆動力取出部は、前記相対運動の
    方向に関して、前記第２振動の腹位置またはその近傍に
    設けられることを特徴とする請求項１３に記載された振
    動アクチュエータ。
15. 【請求項１５】 前記係合位置は、前記第２振動の節位
    置またはその近傍であることを特徴とする請求項１３ま
    たは請求項１４に記載された振動アクチュエータ。