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JP1733778S - セラミックス製ヒーター - Google Patents

セラミックス製ヒーター

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JP1733778S
JP1733778S JP2021026490F JP2021026490F JP1733778S JP 1733778 S JP1733778 S JP 1733778S JP 2021026490 F JP2021026490 F JP 2021026490F JP 2021026490 F JP2021026490 F JP 2021026490F JP 1733778 S JP1733778 S JP 1733778S
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Abstract

本物品は、半導体ウエハ等を支持して加熱するのに用いられるセラミックス製ヒーターである。本物品は、「使用状態を説明する参考断面図」に示すように、半導体ウエハ等が載置されるプレートとプレートを支持するシャフトとが、補助部材を介して接合されたものである。プレートは、載置プレートと裏面プレートとが接合されたものである。なお、「使用状態を説明する参考断面図」に表れるセラミックス製ヒーターの断面図は、内部機構を省略した正面図中央縦断面図に相当する。
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