[go: up one dir, main page]

EA001876B1 - Микроструктурный фильтр - Google Patents

Микроструктурный фильтр Download PDF

Info

Publication number
EA001876B1
EA001876B1 EA200000338A EA200000338A EA001876B1 EA 001876 B1 EA001876 B1 EA 001876B1 EA 200000338 A EA200000338 A EA 200000338A EA 200000338 A EA200000338 A EA 200000338A EA 001876 B1 EA001876 B1 EA 001876B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
filter
projections
row
filter according
protrusions
Prior art date
Application number
EA200000338A
Other languages
English (en)
Other versions
EA200000338A1 (ru
Inventor
Клаус Кадель
Йоханнес Гезер
Йоахим Айхер
Бернхард Фройнд
Стивен Тирренс Дунне
Вульф Бахтлер
Original Assignee
Берингер Ингельхайм Интернациональ Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Берингер Ингельхайм Интернациональ Гмбх filed Critical Берингер Ингельхайм Интернациональ Гмбх
Publication of EA200000338A1 publication Critical patent/EA200000338A1/ru
Publication of EA001876B1 publication Critical patent/EA001876B1/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/01—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with flat filtering elements
    • B01D29/03—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with flat filtering elements self-supporting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0053—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes
    • B01D67/006—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by elimination of segments of the precursor, e.g. nucleation-track membranes, lithography or laser methods
    • B01D67/0062—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by elimination of segments of the precursor, e.g. nucleation-track membranes, lithography or laser methods by micromachining techniques, e.g. using masking and etching steps, photolithography
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M15/00—Inhalators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/16—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/20—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
    • B01D39/2003—Glass or glassy material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/20—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
    • B01D39/2027—Metallic material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/20—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
    • B01D39/2068—Other inorganic materials, e.g. ceramics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/10—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
    • B01D46/12—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces in multiple arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/40—Particle separators, e.g. dust precipitators, using edge filters, i.e. using contiguous impervious surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/52—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filters embodying folded corrugated or wound sheet material
    • B01D46/521—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filters embodying folded corrugated or wound sheet material using folded, pleated material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/56—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition
    • B01D46/62—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition connected in series
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0053—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes
    • B01D67/0058—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by selective elimination of components, e.g. by leaching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0069—Inorganic membrane manufacture by deposition from the liquid phase, e.g. electrochemical deposition
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02—Inorganic material
    • B01D71/022—Metals
    • B01D71/0223—Group 8, 9 or 10 metals
    • B01D71/02232—Nickel
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/40—Filters located upstream of the spraying outlets
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M11/00—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2205/00—General characteristics of the apparatus
    • A61M2205/02—General characteristics of the apparatus characterised by a particular materials
    • A61M2205/0233—Conductive materials, e.g. antistatic coatings for spark prevention
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2275/00—Filter media structures for filters specially adapted for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D2275/20—Shape of filtering material
    • B01D2275/206—Special forms, e.g. adapted to a certain housing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
    • B01D2325/04—Characteristic thickness

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Pulmonology (AREA)
  • Anesthesiology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)
  • Filtration Of Liquid (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Containers And Packaging Bodies Having A Special Means To Remove Contents (AREA)
  • Lubrication Details And Ventilation Of Internal Combustion Engines (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Audible-Bandwidth Dynamoelectric Transducers Other Than Pickups (AREA)
  • Catching Or Destruction (AREA)
  • Special Spraying Apparatus (AREA)

Abstract

Микроструктурный фильтр для жидкости, предусматривающий наличие входного отверстия для неотфильтрованной жидкости и выходного отверстия для отфильтрованной жидкости и содержащий множество выступов (7), которые установлены, по меньшей мере, в два ряда (3) рядом друг с другом, и которые выступают из базовой пластины (1), и которые представляет собой интегральный компонент базовой пластины, множество проходов (8) между выступами (7) и покрывающей пластиной, которая соединена с базовой пластиной таким образом, что закрывает выступы (7) и проходы (8), в котором проходы формируют множество сквозных путей от входного отверстия к выходному отверстию, причем указанное входное отверстие представляет собой удлиненную щель (5) входного отверстия для неотфильтрованной жидкости, которая проходит приблизительно по всей ширине фильтра и которая приблизительно имеет высоту выступов (7), выступающих из базовой пластины на стороне входного отверстия фильтра, и указанное выходное отверстие содержит удлиненную щель выходного отверстия для отфильтрованной жидкости, которая проходит приблизительно по всей ширине фильтра и которая приблизительно имеет высоту выступов (7), выступающих из базовой пластины на выходной стороне фильтра. Фильтр в соответствии с настоящим изобретением остается работоспособным, даже если часть площади фильтра будет блокирована. Фильтр используется, например, в распылителе, с помощью которого производится аэрозоль из жидкости, содержащей медикамент.

Description

Настоящее изобретение относится к микроструктурным фильтрам для жидкостей.
Известны различные фильтры, в которых среда фильтра имеет микропоры размером менее микрона, при этом размер пор имеет статистическое распределение в зависимости от материала. Внешние размеры среды фильтра такого рода намного порядков больше, чем средний диаметр пор, и опыт показывает, что такие фильтры не могут быть непосредственно изготовлены достаточно малых размеров.
Известны также металлические полоски толщиной до 100 микрометров с микроотверстиями, которые используются для печати через трафареты, выполненные, например, из никеля, при этом отверстия распределены по полоске неравномерно, а диаметр отверстий составляет несколько микрометров. Эти полоски изготовляются, например, гальваническим способом. Металлические полоски такого типа не могут быть скомпонованы вместе с микроструктурными компонентами.
В описании Европейского патента № 0 231 432 описывается микрофильтр поперечного потока, в который подается жидкость, которая подвергается фильтрации, и из которого выходит поток концентрата и поток фильтрата. Между камерой, в которую поступает жидкость и камерой сбора фильтрата располагается ряд перемычек или перегородок, между которыми имеются проходы. Ряд перемычек и проходов формирует микрофильтр. Направление проходов изогнуто под углом от 90 до 135° по отношению к направлению потока жидкости/концентрата. Подаваемая жидкость, которая преобразуется в концентрат, протекает через ряды перемычек. Фильтрат собирается в множестве камер и выходит из фильтра перпендикулярно к поверхности фильтра или на поверхность фильтра через множество проходов, которые располагаются между проходами для концентрата.
В описании международной патентной заявки \νϋ 93/11862 описан микромеханический фильтр, который изготовлен из трех слоев. Поверх закрытого нижнего слоя в определенных областях располагается промежуточный слой, и поверх него располагается закрывающий слой, который имеет вытянутое отверстие, повторяющий форму области. Промежуточный слой не является параллельным одной или обеим продольным сторонам отверстий. В этих областях закрывающий слой выполнен в виде консольной или навесной конфигурации. Поверх консольной части закрывающего слоя, примыкая к отверстию, выполнена узкая щель, которая имеет такую же толщину, как и промежуточный слой и такую же длину, как удлиненное отверстие. Фильтрат протекает через эту щель в камеру сбора фильтрата, которая является более толстой, чем промежуточная камера. Закрывающий слой содержит большое количество удлиненных отверстий, которые расположены рядами параллельно друг к другу. Ряды щелей могут быть выполнены в закрывающем слое в изогнутой конфигурации. Жидкость протекает через множество отверстий, перпендикулярно поверхности фильтра, в множество входных камер и удаляется из множества камер сбора фильтрата через множество отверстий, перпендикулярно поверхности фильтра. Слои этого фильтра могут быть изготовлены из кремния, пластика или металла, требуемая структура может быть создана травлением, выдавливанием или иным механическим путем или обработкой на станке, может также использоваться способ, предусматривающий использование технологии тонких пленок и осаждение металла из парообразной фазы.
С этими и другими ранее предложенными устройствами связан целый ряд проблем. Например, было отмечено, что, по меньшей мере, некоторые из ранее предложенных устройств чрезмерно подвержены блокированию, после чего устройство может перестать работать. При попытке устранить эту проблему было предложено использовать фильтры большого размера, но эти большие фильтры имеют нежелательно большой неиспользуемый объем. Кроме этого, некоторые из ранее предложенных устройств являются чрезмерно сложными, и, таким образом, дорогостоящими, для их производства требуется длительное время. Кроме того, некоторые из ранее предложенных устройств выполнены таким образом, что их нельзя непосредственно собирать вместе с другими микроструктурными компонентами.
В соответствии с этим в основу настоящего изобретения положена задача создания микроструктурного фильтра для жидкости, в котором устраняются одна или несколько проблем, описанных в настоящем описании.
В соответствии с одним из аспектов настоящего изобретения предлагается микроструктурный фильтр, имеющий входное отверстие для не профильтрованной жидкости и выходное отверстие для профильтрованной жидкости, причем этот фильтр содержит камеру фильтра, образованную между указанным входным отверстием и указанным выходным отверстием, при этом указанная камера частично ограничена, по существу, плоской базовой пластиной, и покрывающей пластиной, которая прикрепляется к ней; и корпус фильтра, имеющий камеру фильтра, при этом указанный корпус фильтра сформирован множеством выступов, каждый из которых содержит интегральный компонент указанной базовой пластины, и каждый из которых выступает из нее, при этом указанные выступы отделены друг от друга проходами, которые формируют путь для жидкости через камеру фильтра от указанного входного отверстия к указанному выходному отверстию, при этом указанная покрывающая пластина, при установке на базовой пластине, накрывает указанные выступы и указанные проходы;
в котором указанное множество выступов установлено, по меньшей мере, в два ряда в зигзагообразной конфигурации рядом друг с другом по всей камере фильтра;
каждое входное отверстие и каждое выходное отверстие содержит удлиненную щель, соответственно, для неотфильтрованной и для отфильтрованной жидкости, при этом каждая из щелей имеет, по существу, такую ширину, как и ширина камеры фильтра и, по существу, такую высоту, как высота выступов на стороне входного отверстия и выходного отверстия корпуса фильтра, соответственно.
Предпочтительный вариант осуществления настоящего изобретения направлен на создание микроструктурного фильтра для жидкости, имеющего входное отверстие для неотфильтрованной жидкости и выходное отверстие для отфильтрованной жидкости, в котором направление потока жидкости через весь фильтр проходит по поверхности, и имеющего следующие отличительные особенности:
множество выступов, которые размещаются рядами рядом друг с другом, и которые выступают из, по существу, плоской базовой пластины, и которые выполнены с этой базовой пластиной как единое целое, множество проходов между выступами, покрывающую пластину, предпочтительно плоскую, которая располагается поверх выступов и, которая закрывает проходы, в котором проходы формируют сквозной путь от входной стороны к выходной стороне фильтра, и расстояние между базовой пластиной в области вокруг выступов и покрывающей пластиной в ряду выступов равно, по существу, ширине проходов на стороне выступов, на которой жидкость поступает в ряд проходов, и удлиненная входная щель для неотфильтрованной жидкости, которая проходит приблизительно по всей ширине фильтра, и которая имеет, по существу, такую же высоту, как и высота выступов, которые выступают из базовой пластины на входной стороне фильтра, и удлиненная выходная щель для отфильтрованной жидкости, которая проходит, по существу, по всей ширине фильтра, и которая, по существу, имеет такую же высоту, как и высота выступов, выступающих из базовой пластины на выходной стороне фильтра. Было бы предпочтительно, чтобы отношение высоты к ширине входной щели и выходной щели составляло бы от 1:5 до 1:1000. Было бы также предпочтительно, если бы входная щель задерживала бы крупные частицы.
Множество рядов выступов может быть установлено в каскадной конфигурации. Было бы предпочтительно, если бы выступы, уста новленные ближе ко входной стороне фильтра, имели бы больший размер, чем выступы, которые установлены ближе к выходной стороне фильтра.
Промежуток между плоской базовой пластиной и плоской покрывающей пластиной в области вокруг каждого ряда выступов, в которых ряд установлен в каскадной конфигурации, предпочтительно, имеет приблизительно такой же размер, как и ширина проходов на стороне выступов, со стороны которой жидкость поступает в ряд проходов. Расстояние, предпочтительно, выбирается между половиной и двойным размером ширины проходов. Это расстояние, предпочтительно, уменьшается от одного ряда к другому, если смотреть в направлении потока. Проходы могут поэтому иметь, по существу, квадратное поперечное сечение на их входной стороне для жидкости.
Расстояние между плоской базовой пластиной в области вокруг выступов и плоской покрывающей пластиной может быть постоянной величиной в пределах ряда выступов. В случае ряда выступов, который установлен в конфигурации изгиба или зигзагообразной конфигурации, расстояние может быть больше в области конца ряда, который находится поблизости к стороне выходного отверстия фильтра, чем в области конца ряда, который находится поблизости ко входной стороне фильтра. Было бы предпочтительно, если бы это расстояние увеличивалось бы, по существу линейно, от одного конца ряда выступов к другому.
Обращенные одна к другой стороны двух расположенных рядом друг с другом рядов выступов могут ограничивать взаимосоединенную камеру, в которую втекает жидкость из всех проходов между выступами первого ряда, и, из которой жидкость вытекает во все проходы между выступами соседнего ряда. Собирающая камера с удлиненным поперечным сечением расположена перед первым рядом выступов, в которую подается неотфильтрованная жидкость, и из которой жидкость протекает во все проходы между выступами в первом ряду. Вниз после последнего ряда выступов расположена собирающаяся камера удлиненного поперечного сечения, в которую жидкость поступает из всех проходов последнего ряда, и из которой выходит отфильтрованная жидкость.
Выступы могут быть выполнены в форме перемычек или перегородок, которые, если рассматривать в направления движения потока, могут быть прямыми или изогнутыми. Выступы также могут быть выполнены, по существу, в форме прямых колонок любого поперечного сечения, предпочтительно круглого или многоугольного поперечного сечения.
Длина проходов между перемычками или перегородками, предпочтительно, по меньшей мере, в два раза больше, чем их высота на стороне входа жидкости. Было бы предпочтительно поперечное сечение проходов выполнить, по существу, квадратным или в форме бочки, или трапецеидальным; в последнем случае более длинная сторона трапеции может быть сформирована базовой пластиной. Проходы, например, имеют длину от 5 до 50 мкм, от 2,5 до 25 мкм в высоту и от 2,5 до 25 мкм в ширину. Ширина проходов может становиться большей ближе к стороне выхода.
Было бы предпочтительным, если бы расстояние между рядами выступов было бы в два раза больше, чем ширина прохода на стороне входа. Ряды выступов могут быть параллельными друг к другу, или иметь конфигурацию в виде меандра, или зигзагообразную конфигурацию. Ряды, установленные в зигзагообразной конфигурации, могут быть наклонены по отношению друг к другу под углом от 2 до 25°.
Когда фильтр имеет ряды выступов, которые установлены в форме меандра или в зигзагообразной конфигурации, частицы, которые должны быть отфильтрованы, вначале осаждаются в областях на стороне входа жидкости, которые находятся ближе к стороне выхода фильтра, причем пространство между рядами выступов на стороне входа прогрессивно увеличивается, начиная от области стороны выхода фильтра. Фильтр становится, по существу, полностью забит, и емкость фильтра будет исчерпана, когда входная камера между двумя рядами выступов будет почти полностью заполнена отфильтрованными частицами.
Уровень фильтрации настоящего фильтра, предпочтительно, определен относительно резко из-за незначительных флуктуаций в размерах проходов. Фильтр может не требовать наличия распределительного устройства для подаваемого потока жидкости, подлежащей фильтрации, и собирающего фильтрат устройства для отфильтрованной жидкости.
Фильтр может быть изготовлен с использованием известных способов изготовления деталей из металла, кремния, стекла, керамики или, например, пластика. Базовая пластина может быть изготовлена из того же материала, что и покрывающая пластина, так и из материала, отличающегося от материала покрывающей пластины. Фильтр, предпочтительно, может быть пригоден для работы под высоким давлением, например, до 30 МПа (300 бар).
В микроструктурном фильтре, выполненном в соответствии с другим вариантом воплощения настоящего изобретения, микроструктурные жидкостные элементы устанавливаются на той же базовой пластине, например, что и сопло для распыления жидкости или для получения аэрозоля, также и для работы в диапазоне высокого давления.
Микроструктурный фильтр, выполненный в соответствии с другими вариантами воплощения настоящего изобретения, может проявлять некоторые или все из нижеследующих преимуществ:
поскольку фильтр имеет большое количество проходов на малой площади, он может оставаться работоспособным, даже тогда, когда некоторые проходы будут блокированы загрязняющими примесями, содержащимися в жидкости. Это позволяет улучшить использование фильтра, когда он собирается вместе с соплом для использования в качестве распылителя, т. е. в случаях, когда он используется в качестве распылителя для приема медикаментов, когда ошибка в работе распылителя в течение определенного периода использования может иметь фатальные последствия для пользователя;
проходы могут быть определены в пределах жестких ограничений в отношении формы, площади поперечного сечения и длины (в большинстве предпочтительных вариантов воплощения размеры всех проходов в пределах фильтра являются одинаковыми);
поперечное сечение проходов может быть приспособлено к дополнительным условиям, например, к поперечному сечению сопла, которое присоединено дальше после фильтра;
большая площадь поверхности фильтра может быть расположена в малом объеме фильтра;
перед тем, как жидкость может быть пропущена через проходы, поток жидкости может быть направлен между рядами, установленными в форме меандра или в зигзагообразной конфигурации, по существу, перпендикулярно потоку жидкости в проходах;
открытая поверхность фильтра (сумма площади поперечного сечения всех проходов) может составлять, по меньшей мере, 50% общей площади фильтра;
фильтр может иметь малый неиспользуемый объем; и фильтр может быть собран с использованием простой формы совместно с другими микроструктурными компонентами.
Микроструктурный фильтр, описанный в настоящем описании, в особенности применим при использовании для фильтрования медикамента, растворенного в растворителе для получения аэрозоля для ингаляционного приема. Подходящим растворителем является, например, вода или этанол, или их смеси. Подходящими медикаментами являются, например, Беротек, Атровент, Беродуал, Салбутамол, Комбивент, Оксивент Ва 679, ВЕА 2108 и другие (Вето1ес, Αίτονθηΐ, Вегобиа1, 8а1Ьи1ашо1, СошЫуеп1, ОхБ'егИ. Ва 679, ВЕА 2108 апб о1йега).
Фильтр, выполненный в соответствии с настоящим изобретением, может использоваться в распылителе, таком, как описан в описании международной патентной заявки \УО 91/14468 или в международной заявке РСТ/ЕР96/04351.
Микроструктурный фильтр, описанный в настоящем описании, может быть получен сле7 дующим способом: на множестве взаимосвязанных базовых пластин, например их количество может быть несколько тысяч, одновременно формируется микроструктура с большой площадью поверхности, и ее соединяют в один этап с большой плоской покрывающей пластиной (пакетный процесс). Этот комбинированный пакет (узел) затем может быть разделен на некоторое количество отдельных частей.
Такой способ производства имеет некоторые конкретные преимущества. С одной стороны, пакетное производство предоставляет возможность производить особенно недорогие отдельные части с высокой степенью точности, со структурной точностью порядка от нескольких микрометров до уровня менее микрометра, которые могут быть произведены только при существенно больших затратах при процедуре последовательной обработки, в то время как, с другой стороны, пакетное производство позволяет достичь одинакового определенного качества в отношении всех частей, в результате чего может быть достигнута возможность воспроизводства при таких же условиях обработки, и в меньшей степени подвержена медленным изменениям, как можно было бы ожидать, в случае, например, процедур последовательной обработки из-за износа инструмента.
Кроме этого, положение и размещение частей в процессе также заранее предопределено конструкцией и нет необходимости регулировать и устанавливать их с помощью дорогостоящих механизмов сортировки и обработки, как в случае некоторых ранее предложенных схем размещения.
Базовая пластина может быть изготовлена, например, с помощью реактивного ионного травления, гальванопластической технологии или, в случае использования пластического материала, в соответствии со способом ЬЮМ, то есть литографии (Ы), гальванопластики (С) и формования (М), (1ййодгарйу, дакапо-зйартд апб шои1бтд). Дополнительно может применяться способ структурирования, необходимый для получения конкретной формы проходов. Проходы трапецеидальной формы или формы в виде бочонка в поперечном сечении могут быть получены с помощью конкретной технологии дополнительного травления или неполного травления. Такие формы могут быть получены как с помощью сухого травления, так и с помощью процесса влажного травления. Треугольное поперечное сечения проходов может быть получено с помощью анизотропно работающего процесса травления в монокристаллических базовых пластинах, выполненных из кремния. Было бы целесообразно, если бы базовая пластина была бы структурирована с помощью изотропного или анизотропного, влажного или сухого, травления, или с помощью комбинации этих процессов, в частности предпочтительно, способом анизотропного сухого травления.
Микроструктурированная базовая пластина и выступы на ней могут быть соединены с плоской покрывающей пластиной, например, с помощью анодных связей кремния и стекла, например, щелочного боросиликатного стекла. В одном примере листовое стекло устанавливается поверх микроструктурированной кремниевой пластины и вводится в контакт с электродом. Вся сборка нагревается до температуры от 200 до 500°С, и между кремниевой пластиной и листовым стеклом прикладывается отрицательное напряжение в приблизительно 1000 В. Благодаря этому напряжению положительно заряженные щелочные ионы проходят через стекло на катод, где они нейтрализуются. В стекле и на переходе между стеклом и кремнием формируется отрицательный пространственный заряд, который создает электростатическое притяжение двух поверхностей, и который, в дополнение к кислородным связям, создает долговременные химические связи между поверхностью стекла и поверхностью кремния.
В вышеописанном иллюстративном процессе покрывающая пластина из стекла является особенно предпочтительной благодаря гарантии качества, обусловленной, с одной стороны, высоким качеством соединения и, с другой стороны благодаря тому, что дефекты или частицы включения, которые приводят к неправильной работе фильтра, могут быть легко обнаружены с помощью оптической проверки.
После выполнения операций сборки пакет может быть разделен на отдельные фильтры, предпочтительно, с помощью высокоскоростной дисковой алмазной циркулярной пилы, при этом входная сторона и выходная стороны каждого из фильтров могут быть открыты, если они еще не были открыты ранее. Разрез может быть установлен с высокой степенью точности, в пределах нескольких микрометров.
Помимо использования анодного соединения микроструктурная базовая пластина может быть соединена с плоской покрывающей пластиной с помощью ультразвуковой сварки, лазерной сварки, склеивания или пайки или любых других способов, очевидных для специалистов в данной области техники.
Варианты воплощения настоящего изобретения будут в дальнейшем описаны на нижеследующем примере, со ссылкой на прилагаемыечертежи, на которых
Фиг. 1 схематически иллюстрирует один из вариантов выполнения фильтра;
Фиг. 2 представляет собой вид, дающий представление о конструкции выступов в рядах фильтра, изображенного на фиг. 1, в увеличенном масштабе;
Фиг. 3 представляет собой поперечное сечение, выполненное вдоль линии А-А на фиг. 2;
Фиг. 4 представляет собой набор различных выступов, схематические изображения;
Фиг. 5 представляет выступы другого типа;
Фиг. 6 схематически изображает ряд иллюстративных схем, в соответствии с которыми могут размещаться выступы;
Фиг. 7 изображает один из вариантов ориентации выступов; и
Фиг. 8 представляет собой изображение фильтра в конце ресурса его работы, полученное в растровом электронном микроскопе.
Как было указано выше, фиг. 1 изображает иллюстративный вариант воплощения фильтра при рассмотрении его с изначально открытой стороны, который затем закрывается закрывающей пластиной (не показана). Базовая пластина 1 фильтра микроструктурирована между краевыми областями 2а и 2Ь. Микроструктурное образование представляет собой в этом примере ряды 3 выступов, которые размещаются в зигзагообразной конфигурации. Можно также видеть, что ряды 3 расположены относительно друг друга под углом α.
В этом примере на базовой пластине, в дополнение к фильтру и перед ним по ходу жидкости имеется дополнительный ряд выступов 4, которые образуют фильтр грубой очистки и которые служат для перемешивания жидкости, протекающей через него. Перед, по ходу перемещения жидкости, выступами 4 расположена входная щель 5, через которую не профильтрованная жидкость поступает в фильтр. В данном варианте воплощения, рядом с фильтром размещено сопло 6, из которого может выходить отфильтрованная жидкость. Согласно этому пояснительному примеру сопло 6 было сформировано как составляющий компонент базовой пластины 1. Очевидно, что фильтр может быть сформирован и без сопла 6 и фильтра 4 грубой очистки.
Фиг. 2 представляет собой увеличенное изображение части фигуры, характеризующей размещение выступов в рядах 3. В этом варианте выполнения выступы 7 представляют собой прямоугольные перемычки или перегородки, но, как это будет указано ниже, они могут иметь альтернативную конфигурацию. Можно видеть, что ряды 3 содержат множество выступов 7, которые выступают из базовой пластины 1, и которые располагаются на некотором расстоянии друга от друга, формируя в результате этого жидкостный фильтр тонкой очистки.
Фиг. 3 представляет собой поперечное сечение, проходящее по линии А-А на фиг. 2. В этом варианте воплощения выступы 7 имеют вогнутые продольные стороны, между которыми имеются проходы 8 бочкообразного поперечного сечения.
На фиг. 4 изображено множество вариантов воплощения выступов, каждый из которых рассматривается с первоначально открытой стороны фильтра (то есть, сверху). Любой из изображенных выступов, или их комбинация, (или любые другие выступы) может использоваться в фильтре, описанном здесь. Фиг. 4 изображает прямоугольную перегородку 11, удлиненную перегородку 12 постоянной ширины с закругленными узкими краями, перегородку 13 в форме крыла, перегородку 14 постоянной ширины и с проходящей под наклоном узкой стороной, и перегородку 12, которая изогнута в форме сегмента круга. Изображена также квадратная колонка 16, треугольная колонка 17, круглая колонка 18 и восьмиугольная колонка 19. Как это указывалось выше, любая из перегородок, или их любые комбинации, пригодна для использования в фильтре.
На фиг. 5 изображены поперечные сечения различных выступов, а именно выступ 21 имеет поперечное сечение прямоугольной формы, выступ 22 имеет поперечное сечение с вогнутыми продольными сторонами, выступ 23 имеет поперечное сечение трапецеидальной формы, в котором длинная сторона трапеции соединена с базовой пластиной 1, выступ 24 имеет поперечное сечение трапецеидальной формы, в котором короткая сторона трапеции соединена с базовой пластиной 1, а выступ 25 имеет поперечное сечение с двумя закругленными продольными краями.
На фиг. 6 изображены различные схемы установки выступов, согласно которым выступы, независимо от их формы, обозначены точками различных размеров. Выступы могут быть установлены по матрице 31, или линейно в ряд 32, или в виде конфигурации 33 в виде меандра, или в зигзагообразной конфигурации 34. Множество выступов, установленных в конфигурации 35 в виде ряда, или в конфигурации 36 в виде меандра, или в зигзагообразной конфигурации, могут быть установлены последовательно в каскадной взаимосвязи.
На фиг. 7 изображена ориентация перегородок относительно входного направления 41 потока жидкости. Как показано, некоторые из перегородок (отмеченные ссылкой 42) установлены параллельно направлению входящего потока, другие перегородки (отмеченные ссылкой 43) установлены перпендикулярно направлению входящего потока, а остальные перегородки (отмеченные ссылкой 44) установлены под различными углами к входному направлению потока. Из фиг. 7 следует, что перегородки не обязательно должны иметь одинаковую ориентацию по отношению к входящему направлению потока. Фактически, установка различно ориентированных перегородок образует определенное преимущество, поскольку различная ориентация улучшает степень перемешивания жидкости по мере прохода жидкости через фильтр.
На фиг. 8 показано изображение, полученное с помощью сканирующего электронного микроскопа, микроструктурного фильтра, такого как показан на фиг. 1, в конце его срока службы. Это изображение было записано через закрывающую пластину (не видна), выполненную из стекла. Показанное изображение иллюстрирует фильтр, имеющий ряды выступов, установленных в зигзагообразной конфигурации, однако сами выступы не видны при данном уровне увеличения.
Во время использования фильтра жидкость протекала через фильтр в направлении, обозначенном стрелками, и частицы, взвешенные в жидкости, были захвачены расположенными рядом друг с другом выступами. Как показано на чертеже, ряды выступов покрыты отфильтрованными частицами, при этом видно, что степень покрытия в зонах, находящихся поблизости от краевых областей 2а и 2Ь, выше, чем степень покрытия в центральной области фильтра. В пространстве между рядами выступов, которые находятся на стороне входного потока фильтра, практически нет частиц, и, таким образом, фильтр является полностью работоспособным в этой области (то есть, жидкость все еще может проходить через него). Как видно на фиг. 8, условная пограничная линия между областью свободного фильтра и областью забитого фильтра проходит, повторяя приблизительно форму параболы. Как это видно на фиг. 8, жидкость может все еще проходить через фильтр, даже если значительная часть площади поверхности фильтра заблокирована.
Таким образом, можно видеть, что вышеописанный фильтр в меньшей степени подвержен закупорке по сравнению с предложенными ранее фильтрами такого типа, он все еще может адекватно работать, даже тогда, когда относительно большая часть поверхности фильтра была заблокирована. В результате этих улучшений полезный срок службы фильтра (и, таким образом, любого устройства, включающего этот фильтр) значительно увеличен. Это полностью отличает его от ранее предлагавшихся устройств, в которых относительно небольшая степень закупорки фильтра вызывала невозможность правильной работы устройства в целом.
Пример. Микроструктурный фильтр для распылителя.
Как было указано выше, фильтр, описанный в настоящем описании, может найти широкое применение в распылителях и, в частности, в распылителях для получения аэрозоля из жидкости, несущей медикамент.
Опишем теперь пример одного из таких распылителей. В этом иллюстративном примере фильтр сформирован на базовой пластине вместе с множеством других микроструктурных компонентов. Базовая пластина имеет ширину 2,6 мм и длину приблизительно 5 мм. По ширине приблизительно 2 мм она содержит 40 рядов выступов, причем эти ряды установлены в зигзагообразной конфигурации. Каждый ряд имеет длину 1,3 мм. Выступы представляют собой прямоугольные перегородки длиной 10 мкм и шириной 2,5 мкм; и они выступают из базовой пластины на 5 мкм. Между перегородками оставлены проходы высотой 5 мкм и шириной 3 мкм.
На стороне входа жидкости в фильтр располагается ряд из 10 прямоугольных перегородок длиной 200 мкм и шириной 50 мкм; и они выступают из базовой пластины на высоту 100 мкм. Между этими перегородками имеются проходы высотой 100 мкм и шириной 150 мкм. Десять прямоугольных перегородок формируют фильтр грубой очистки и средство для перемешивания жидкости, протекающей через него. На расстоянии приблизительно 300 мкм перед и напротив ряда перегородок сформирован зазор для ввода жидкости, который имеет ширину, приблизительно, 2 мм и высоту 100 мкм.
Камера сбора фильтрата сформирована позади, по ходу движения жидкости, рядов перегородок, установленных в зигзагообразной конфигурации. Камера сбора фильтрата имеет размеры 5 мкм в высоту и постепенно сужается от 2 мм ширину и связана с соплом прямоугольного поперечного сечения, которое имеет 5 мкм в высоту и 8 мкм в ширину. В этом примере отверстие сопла было изготовлено одновременно с созданием микроструктуры на базовой пластине.
Базовая пластина, которая имеет толщину 1,5 мм, выполнена из никеля и была изготовлена способом гальванопластики из пластмассовой формующей вставки, которая содержит взаимодополняющую структуру для 1083 фильтров. Она закрывается плоской никелевой пластиной толщиной 0,8 мм, которая затем припаивается к базовой пластине.

Claims (24)

  1. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
    1. Микроструктурный фильтр, содержащий входное отверстие для неотфильтрованной жидкости и выходное отверстие для отфильтрованной жидкости, камеру фильтра, ограниченную скрепленными между собой плоской базовой пластиной и покрывающей пластиной, при этом на поверхности плоской базовой пластины выполнены выступы, образующие проходы для жидкости через камеру фильтра от указанного входного отверстия к указанному выходному отверстию, организованные, по меньшей мере, в два ряда и в зигзагообразной конфигурации рядом друг с другом по всей камере фильтра, и каждое входное отверстие и каждое выходное отверстие содержит удлиненную щель, соответственно, для неотфильтрованной и отфильтрованной жидкости, при этом каждая из щелей имеет, по существу, такую ширину, как и ширина камеры фильтра, и, по существу, такую высоту, как высота выступов на стороне входного отверстия и выходного отверстия корпуса фильтра соответственно.
  2. 2. Фильтр по п.1, отличающийся тем, что расстояние между базовой пластиной и покры вающей пластиной равно, по существу, ширине проходов между смежными выступами.
  3. 3. Фильтр по п. 1, отличающийся тем, что множество рядов выступов установлено в форме каскада, поперечное сечение проходов перпендикулярно направлению потока жидкости, если смотреть по направлению потока, уменьшается от ряда к ряду; выступы, которые выполнены ближе к стороне входного отверстия фильтра, больше, чем выступы, которые установлены дальше на стороне выходного отверстия фильтра, и расстояние между базовой пластиной и покрывающей пластиной в области вокруг каждого ряда выступов по существу такое же, как ширина проходов на стороне выступов, в которые жидкость проходит в ряд проходов, при этом эти ряды установлены в форме каскада.
  4. 4. Фильтр по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что указанная покрывающая пластина является по существу плоской.
  5. 5. Фильтр по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что указанная щель входного отверстия имеет отношение высоты к ширине от 1:5 до 1:1000.
  6. 6. Фильтр по любому из пп. 1-5, отличающийся тем, что расстояние между базовой пластиной в области вокруг выступов и покрывающей пластиной в ряду выступов равно от половины до двойной ширины прохода на стороне выступов.
  7. 7. Фильтр по любому из пп. 1-6, отличающийся тем, что содержит камеру сбора, имеющую удлиненное поперечное сечение и расположенную между щелью входного отверстия и первым рядом выступов, в которую поступает неотфильтрованная жидкость и из которой жидкость протекает во все проходы между выступами в первом ряду, и камеру сбора, имеющую удлиненное поперечное сечение и расположенную между последним рядом выступов и щелью выходного отверстия, в которую жидкость втекает из всех проходов последнего ряда, и из которой выходит отфильтрованная жидкость.
  8. 8. Фильтр по любому из пп. 1-7, отличающийся тем, что указанные выступы выполнены либо в форме кромок, которые, если смотреть по направлению потока, выполнены прямыми или изогнутыми, или в форме колонок.
  9. 9. Фильтр по любому из пп. 1-8, отличающийся тем, что указанные проходы имеют, по существу, постоянное поперечное сечение, и имеют длину, которая, по меньшей мере, в два раза больше, чем их высота на стороне входа жидкости.
  10. 10. Фильтр по любому из пп.1-9, отличающийся тем, что указанные проходы имеют, по существу, постоянное поперечное сечение по всей длине прохода, и имеет длину от 5 до 50 мкм, высоту от 2,5 до 25 мкм и ширину от 2,5 до 25 мкм.
  11. 11. Фильтр по п.10, отличающийся тем, что указанные проходы имеют, по существу, квадратное поперечное сечение.
  12. 12. Фильтр по любому из пп.1-10, отличающийся тем, что указанные проходы имеют бочкообразное или трапецеидальное поперечное сечение.
  13. 13. Фильтр по п.12, в котором более длинная сторона трапецеидальных проходов сформирована покрывающей пластиной.
  14. 14. Фильтр по любому из пп. 1-10, в котором проходы имеют, по существу, квадратное поперечное сечение со стороны входа фильтра, которое становится более широким в направлении к стороне выхода фильтра.
  15. 15. Фильтр по любому из пп. 1-14, в котором расстояние между рядами выступов, по существу, в два раза больше, чем ширина прохода на стороне входа.
  16. 16. Фильтр по любому из пп. 1-15, в котором указанные выступы установлены в ряды, проходящие параллельно друг другу.
  17. 17. Фильтр по любому из предыдущих пунктов, в котором указанная зигзагообразная конфигурация содержит ряды выступов, которые наклонены по отношению друг к другу под углом α от 2 до 25°.
  18. 18. Фильтр по любому из пп. 1-17, в котором расстояние между базовой пластиной в области вокруг выступов и покрывающей пластиной в пределах ряда выступов является, по существу, постоянным.
  19. 19. Фильтр по любому из пп. 1-17, в котором расстояние между базовой пластиной в области вокруг выступов и покрывающей пластиной в ряду выступов является большим в области конца ряда, который находится вблизи к выходному отверстию фильтра, чем в области конца ряда, который находится вблизи ко входу фильтра.
  20. 20. Фильтр по любому из пп. 1-17, в котором расстояние между плоской базовой пластиной в области вокруг выступов и плоской покрывающей пластиной в ряду выступов линейно увеличивается от области конца ряда, который находится вблизи к стороне входного отверстия фильтра, в направлении к области конца ряда, который располагается вблизи к стороне выходного отверстия фильтра.
  21. 21. Фильтр по любому из пп. 1-20, в котором указанная базовая пластина структурирована изотропным, или анизотропным, влажным или сухим, травлением или с помощью комбинации этих процессов, предпочтительно с помощью анизотропного сухого травления.
  22. 22. Фильтр по любому из пп. 1-21, в котором указанная базовая пластина выполнена из кремния и указанная покрывающая пластина выполнена из стекла, при этом указанная базовая пластина соединена с указанной покрывающей пластиной посредством анодной пайки.
  23. 23. Распылитель для ингаляционной терапии, предусматривающий наличие микроструктурного фильтра для жидкости, имеющего входное отверстие для неотфильтрованной жидкости и выходное отверстие для отфильтрованной жидкости, при этом указанный фильтр содержит базовую пластину и множество выступов, установленных, по меньшей мере, в два ряда рядом друг с другом, и образующих множество проходов между выступами, формирующих множество сквозных путей для жидкости от входного отверстия к выходному отверстию, и покрывающую пластину, которая закре плена на базовой пластине таким образом, что накрывает выступы и проходы, при этом указанное входное и выходное отверстия представляют собой удлиненные щели для прохода не профильтрованной и профильтрованной жидкостей, высота которых приблизительно равна высоте выступов, выполненных на стороне, соответственно, входного и выходного отверстий фильтра.
  24. 24. Распылитель по п.23, отличающийся тем, что содержит сопло, соединенное с указанным выходным отверстием.
EA200000338A 1997-09-26 1998-08-28 Микроструктурный фильтр EA001876B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19742439A DE19742439C1 (de) 1997-09-26 1997-09-26 Mikrostrukturiertes Filter
PCT/GB1998/002604 WO1999016530A1 (en) 1997-09-26 1998-08-28 Microstructured filter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA200000338A1 EA200000338A1 (ru) 2000-10-30
EA001876B1 true EA001876B1 (ru) 2001-10-22

Family

ID=7843652

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA200000338A EA001876B1 (ru) 1997-09-26 1998-08-28 Микроструктурный фильтр

Country Status (41)

Country Link
US (3) US6846413B1 (ru)
EP (3) EP1772175A3 (ru)
JP (1) JP3706025B2 (ru)
KR (1) KR100575018B1 (ru)
CN (1) CN1142811C (ru)
AR (1) AR010946A1 (ru)
AT (2) ATE357956T1 (ru)
AU (1) AU748729B2 (ru)
BG (1) BG63966B1 (ru)
BR (1) BR9812526A (ru)
CA (1) CA2300908C (ru)
CO (1) CO4770988A1 (ru)
CY (1) CY1106585T1 (ru)
CZ (1) CZ298849B6 (ru)
DE (3) DE19742439C1 (ru)
DK (2) DK1017469T3 (ru)
EA (1) EA001876B1 (ru)
EE (1) EE04773B1 (ru)
EG (1) EG21958A (ru)
ES (2) ES2187998T3 (ru)
HR (1) HRP980526B1 (ru)
HU (1) HU222927B1 (ru)
ID (1) ID24484A (ru)
IL (1) IL134186A (ru)
ME (1) ME00760B (ru)
MY (1) MY138322A (ru)
NO (2) NO317969B1 (ru)
NZ (1) NZ502673A (ru)
PE (1) PE91599A1 (ru)
PL (1) PL189969B1 (ru)
PT (2) PT1243299E (ru)
SA (1) SA98190631B1 (ru)
SI (2) SI1243299T1 (ru)
SK (1) SK284288B6 (ru)
TR (1) TR200000853T2 (ru)
TW (1) TW446574B (ru)
UA (1) UA54561C2 (ru)
UY (1) UY25194A1 (ru)
WO (1) WO1999016530A1 (ru)
YU (1) YU49347B (ru)
ZA (1) ZA988730B (ru)

Families Citing this family (85)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19742439C1 (de) * 1997-09-26 1998-10-22 Boehringer Ingelheim Int Mikrostrukturiertes Filter
US7963955B2 (en) 1998-02-27 2011-06-21 Boehringer Ingelheim International Gmbh Container for a medicinal liquid
DE10131178A1 (de) 2001-06-29 2003-01-16 Boehringer Ingelheim Pharma Vernebler zur Applikation von Flüssigkeiten in die Augen
DE10216036A1 (de) 2002-04-11 2003-10-23 Boehringer Ingelheim Pharma Aerosolformulierung für die Inhalation enthaltend ein Tiotropiumsalz
DE10225470A1 (de) 2002-06-08 2003-12-18 Boehringer Ingelheim Int Vernebler mit Merkhilfe für das Therapieregiment
US20040166065A1 (en) 2002-08-14 2004-08-26 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Aerosol formulation for inhalation comprising an anticholinergic
US7699052B2 (en) 2002-09-05 2010-04-20 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Apparatus for the dispensing of liquids, container cartridge suitable for this, and system comprising the apparatus for the dispensing of liquids, and the container cartridge
US7056916B2 (en) 2002-11-15 2006-06-06 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Medicaments for the treatment of chronic obstructive pulmonary disease
US7621266B2 (en) 2003-01-14 2009-11-24 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nozzle-system for a dispenser for fluids consisting of a nozzle and a nozzle-holder and/or screw cap
DE10300983A1 (de) 2003-01-14 2004-07-22 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Düsensystem für eine Ausbringungsvorrichtung für Flüssigkeiten bestehend aus Düse und Düsenhalter und/oder Überwurfmutter
US7896264B2 (en) * 2003-06-30 2011-03-01 Boehringer Ingelheim International Gmbh Microstructured high pressure nozzle with built-in filter function
DE10330370A1 (de) * 2003-06-30 2005-01-20 Boehringer Ingelheim International Gmbh Mikrostrukturiertes Filter mit Anti-Verdunstungseinrichtung
MXPA05013878A (es) * 2003-06-30 2006-03-13 Boehringer Ingelheim Int Boquilla microestructurada de alta presion con funcion de filtro incorporada.
HRP20060435T3 (en) 2003-07-16 2007-05-31 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg. A process for producing microfluidic arrangements from a plate-shaped composite structure
DE102004001451A1 (de) * 2004-01-08 2005-08-11 Boehringer Ingelheim International Gmbh Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteiles
JP4520166B2 (ja) * 2004-02-02 2010-08-04 独立行政法人農業・食品産業技術総合研究機構 樹脂製マイクロチャネル基板及びその製造方法
SE0400662D0 (sv) * 2004-03-24 2004-03-24 Aamic Ab Assay device and method
US7575015B2 (en) * 2004-04-22 2009-08-18 Gilbarco, Inc. Secondarily contained in-dispenser sump/pan system and method for capturing and monitoring leaks
US7946309B2 (en) * 2005-04-26 2011-05-24 Veeder-Root Company Vacuum-actuated shear valve device, system, and method, particularly for use in service station environments
US20050272726A1 (en) * 2004-04-22 2005-12-08 Boehringer Ingelheim International Gmbh Novel medicaments for the treatment of respiratory diseases
DE102004021789A1 (de) * 2004-05-03 2006-04-27 Boehringer Ingelheim International Gmbh Zerstäuber zum Ausbringen von Flüssigkeiten für medizinische Zwecke
US20050255050A1 (en) * 2004-05-14 2005-11-17 Boehringer Ingelheim International Gmbh Powder formulations for inhalation, comprising enantiomerically pure beta agonists
US20050256115A1 (en) * 2004-05-14 2005-11-17 Boehringer Ingelheim International Gmbh Aerosol formulation for the inhalation of beta-agonists
US7220742B2 (en) 2004-05-14 2007-05-22 Boehringer Ingelheim International Gmbh Enantiomerically pure beta agonists, process for the manufacture thereof and use thereof as medicaments
DK1917253T3 (da) * 2005-08-15 2015-03-30 Boehringer Ingelheim Int Fremgangsmåde til fremstilling af betamimetika
US7423146B2 (en) 2005-11-09 2008-09-09 Boehringer Ingelheim International Gmbh Process for the manufacturing of pharmaceutically active 3,1-benzoxazine-2-ones
US20100056559A1 (en) 2006-05-19 2010-03-04 Boehringer Ingelheim International Gmbh Propellant-free aerosol formulation for inhalation
UY30550A1 (es) 2006-08-22 2008-03-31 Boehringer Ingelheim Int Nuevos beta-agonistas enantioméricamente puros, procedimientos para su preparacion y su uso como medicamentos
US20100288689A1 (en) * 2006-08-22 2010-11-18 Agency For Science, Technology And Research Microfluidic filtration unit, device and methods thereof
WO2008099323A2 (en) * 2007-02-12 2008-08-21 Chang, Ken Dust/mist/gas/liquid/solid/heat purifying device and mist cotton ingredient thereof
EP2044967A1 (de) * 2007-10-01 2009-04-08 Boehringer Ingelheim Pharma GmbH & Co. KG Zerstäuber
EP2077132A1 (en) 2008-01-02 2009-07-08 Boehringer Ingelheim Pharma GmbH & Co. KG Dispensing device, storage device and method for dispensing a formulation
EP2093219A1 (de) 2008-02-22 2009-08-26 Boehringer Ingelheim International Gmbh Kristalline, enantiomerenreine Salzform eines Betamimetikums und dessen Verwendung als Arzneimittel
DK2110132T3 (da) 2008-04-20 2014-04-28 D2 Bioscience Group Ltd Anvendelse af deuteriumoxid som elastasehæmmer
JP5466853B2 (ja) * 2008-12-25 2014-04-09 日本無機株式会社 プリーツ型エアフィルタパック及びそれを用いたエアフィルタ
JP5670421B2 (ja) 2009-03-31 2015-02-18 ベーリンガー インゲルハイム インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング コンポーネント表面のコーティング方法
EP2432531B1 (de) 2009-05-18 2019-03-06 Boehringer Ingelheim International GmbH Adapter, inhalationseinrichtung und zerstäuber
GB0913523D0 (en) * 2009-08-03 2009-09-16 Vestfold University College Improved cross flow and counter flow fluid processing devices
US10016568B2 (en) 2009-11-25 2018-07-10 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nebulizer
JP5658268B2 (ja) 2009-11-25 2015-01-21 ベーリンガー インゲルハイム インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ネブライザ
WO2011064164A1 (en) 2009-11-25 2011-06-03 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nebulizer
WO2011154295A2 (de) 2010-06-08 2011-12-15 Boehringer Ingelheim International Gmbh Medizinisches gerät mit zählwerk mit voreingestelltem zählbereich gerät mit zählwerksvariation
WO2011160932A1 (en) 2010-06-24 2011-12-29 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nebulizer
US9283333B2 (en) 2010-07-16 2016-03-15 Boehringer Ingelheim International Gmbh Filter system for use in medical devices
EP2694220B1 (de) 2011-04-01 2020-05-06 Boehringer Ingelheim International GmbH Medizinisches gerät mit behälter
US9827384B2 (en) 2011-05-23 2017-11-28 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nebulizer
WO2013029691A2 (en) 2011-09-04 2013-03-07 Agilent Technologies, Inc. Debris filter for fluidic measurement with recess size decreasing in fluid flow direction
EP2650254A1 (de) * 2012-04-10 2013-10-16 Boehringer Ingelheim microParts GmbH Verfahren zur Herstellung einer Mikrodüse
WO2013152894A1 (de) 2012-04-13 2013-10-17 Boehringer Ingelheim International Gmbh Zerstäuber mit kodiermitteln
PL398979A1 (pl) * 2012-04-25 2013-10-28 Scope Fluidics Spólka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia Urzadzenie mikroprzeplywowe i uklad mikroprzeplywowy obejmujacy jedno lub wiecej urzadzen mikroprzeplywowych
US10040018B2 (en) 2013-01-09 2018-08-07 Imagine Tf, Llc Fluid filters and methods of use
EP3030298B1 (en) 2013-08-09 2017-10-11 Boehringer Ingelheim International GmbH Nebulizer
PL2835146T3 (pl) 2013-08-09 2021-04-06 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nebulizator
US9726653B2 (en) * 2014-03-26 2017-08-08 Hamilton Sundstrand Corporation Chemical detector
US9861920B1 (en) * 2015-05-01 2018-01-09 Imagine Tf, Llc Three dimensional nanometer filters and methods of use
LT4242916T (lt) 2014-05-07 2025-12-29 Boehringer Ingelheim International Gmbh Purkštuvas
ES2874029T3 (es) 2014-05-07 2021-11-04 Boehringer Ingelheim Int Nebulizador
EA032850B1 (ru) 2014-05-07 2019-07-31 Бёрингер Ингельхайм Интернациональ Гмбх Контейнер, небулайзер и способ изготовления контейнера
EP3160623A4 (en) * 2014-06-24 2018-01-24 Imagine TF, LLC Micro-channel fluid filters and methods of use
US10730047B2 (en) 2014-06-24 2020-08-04 Imagine Tf, Llc Micro-channel fluid filters and methods of use
US10124275B2 (en) 2014-09-05 2018-11-13 Imagine Tf, Llc Microstructure separation filters
WO2016037150A1 (en) * 2014-09-05 2016-03-10 Imagine Tf, Llc Microstructure separation filters
WO2016133929A1 (en) 2015-02-18 2016-08-25 Imagine Tf, Llc Three dimensional filter devices and apparatuses
US10118842B2 (en) 2015-07-09 2018-11-06 Imagine Tf, Llc Deionizing fluid filter devices and methods of use
US10479046B2 (en) 2015-08-19 2019-11-19 Imagine Tf, Llc Absorbent microstructure arrays and methods of use
EP3202709B1 (de) 2016-02-04 2019-04-10 Boehringer Ingelheim microParts GmbH Abformwerkzeug mit magnethalterung
WO2018016059A1 (ja) * 2016-07-21 2018-01-25 三菱電機株式会社 空気清浄機および空気調和機
ES2911473T3 (es) * 2016-09-15 2022-05-19 Softhale Nv Dispositivo para administrar un medicamento líquido
JP6871370B2 (ja) * 2016-11-06 2021-05-12 微邦科技股▲ふん▼有限公司Ｍｉｃｒｏｂａｓｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏｒｐ． 微細構造化通路ノズル
US20210077750A1 (en) * 2018-05-04 2021-03-18 Microbase Technology Corp. Microstructured nozzle
EP3563894B1 (en) 2018-05-04 2021-12-22 Boehringer Ingelheim International GmbH Nebulizer and container
CN110433361B (zh) * 2018-05-04 2023-01-17 微邦科技股份有限公司 微结构喷嘴
US11390778B2 (en) 2018-07-29 2022-07-19 Bvw Holding Ag Patterned surfaces with suction
CN113165001B (zh) * 2018-09-28 2024-10-11 技术合伙公司 具有集成过滤器的微型喷嘴
JP7370695B2 (ja) * 2018-10-17 2023-10-30 日本無機株式会社 フィルタパック、及びエアフィルタ
JP6804579B2 (ja) * 2019-02-27 2020-12-23 イマジン ティーエフ，エルエルシー マイクロチャネル流体フィルタ及びその使用方法
CN112090603B (zh) * 2019-06-17 2022-11-08 苏州天健云康信息科技有限公司 微流体器件及其制造方法
US11786621B2 (en) 2019-10-10 2023-10-17 Carefusion 2200, Inc. Reusable tortuous path filters for sterilization containers
RU2732749C1 (ru) * 2020-03-11 2020-09-22 Евгений Иванович ВЕРХОЛОМОВ Щелевой фильтр
US20230310363A1 (en) 2020-08-28 2023-10-05 Universität Linz Use of leoligin in the prevention of tissue damage
KR102434663B1 (ko) * 2020-12-07 2022-08-19 재단법인 포항산업과학연구원 가스측정장치
CN217162788U (zh) * 2021-05-26 2022-08-12 杭州堃博生物科技有限公司 适用于多相流体的雾化导管及给药设备
CN113398387B (zh) * 2021-07-05 2023-07-07 山西瑞博隆生物科技有限公司 一种医用喷雾式快速上药器
CN118022111A (zh) * 2022-11-02 2024-05-14 长风药业股份有限公司 雾化装置
GB2641289A (en) * 2024-05-24 2025-11-26 Merxin Ltd A filter for a liquid delivery device

Family Cites Families (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE916879C (de) 1943-05-13 1954-08-19 Gustav Schlick Zerstaeubungsvorrichtung fuer unter Druck zugefuehrte Fluessigkeiten
GB1138401A (en) 1965-05-06 1969-01-01 Mallory & Co Inc P R Bonding
US3347473A (en) 1965-06-07 1967-10-17 Gen Motors Corp Fluid manifold
US3615054A (en) 1965-09-24 1971-10-26 Aerojet General Co Injectors
US3771724A (en) 1972-07-19 1973-11-13 Richards Of Rockford Inc Apparatus and process for spraying liquids
JPS5029166A (ru) 1973-07-17 1975-03-25
JPS5029165A (ru) 1973-07-17 1975-03-25
JPS5634322B2 (ru) * 1973-12-11 1981-08-10
JPS5412907B2 (ru) * 1974-03-06 1979-05-26
DE2505695A1 (de) 1974-09-30 1976-04-22 Bowles Fluidics Corp Vorrichtung zum verspruehen eines fluids, insbesondere fluidischer oszillator
US3921916A (en) 1974-12-31 1975-11-25 Ibm Nozzles formed in monocrystalline silicon
JPS537819A (en) 1976-07-12 1978-01-24 Hitachi Ltd Spraying nozzle
US4151955A (en) 1977-10-25 1979-05-01 Bowles Fluidics Corporation Oscillating spray device
US5035361A (en) 1977-10-25 1991-07-30 Bowles Fluidics Corporation Fluid dispersal device and method
US4184636A (en) 1977-12-09 1980-01-22 Peter Bauer Fluidic oscillator and spray-forming output chamber
DE2907319A1 (de) * 1979-02-24 1980-09-18 Bayer Ag Modulblock fuer osmotische trennverfahren
JPS56113367A (en) 1980-02-15 1981-09-07 Hitachi Ltd Liquid drop sprayer
EP0041729B1 (de) 1980-06-10 1984-11-28 Erich Pagendarm Schlitzdüse zur Bildung von zusammenhängenden Gas- oder Flüssigkeitsschleiern, beispielsweise für Brenner
JPS57182452A (en) 1981-05-08 1982-11-10 Seiko Epson Corp Multinozzle head
GB8311167D0 (en) 1983-04-25 1983-06-02 Jenkins W N Directed spray
DE3441190A1 (de) * 1984-11-10 1986-05-15 Metallgesellschaft Ag, 6000 Frankfurt Einrichtung zur trennung von fluessigkeitsgemischen durch pervaporation
US4601921A (en) 1984-12-24 1986-07-22 General Motors Corporation Method and apparatus for spraying coating material
US4688056A (en) 1985-07-13 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
DE3546091A1 (de) * 1985-12-24 1987-07-02 Kernforschungsz Karlsruhe Querstrom-mikrofilter
US4738398A (en) 1986-07-29 1988-04-19 Corsette Douglas Frank Sprayer having induced air assist
US4899937A (en) 1986-12-11 1990-02-13 Spraying Systems Co. Convertible spray nozzle
US4829324A (en) 1987-12-23 1989-05-09 Xerox Corporation Large array thermal ink jet printhead
US5084178A (en) * 1988-06-15 1992-01-28 Pall Corporation Corrugated filter arrangement with support layer and flow channels
US4828184A (en) 1988-08-12 1989-05-09 Ford Motor Company Silicon micromachined compound nozzle
US4915718A (en) 1988-09-28 1990-04-10 On Target Technology, Inc. Fabrication of ink jet nozzles and resulting product
US4875968A (en) 1989-02-02 1989-10-24 Xerox Corporation Method of fabricating ink jet printheads
GB8910961D0 (en) 1989-05-12 1989-06-28 Am Int Method of forming a pattern on a surface
JPH03267173A (ja) 1990-03-15 1991-11-28 Mitsubishi Motors Corp 光輝工法
SG45171A1 (en) 1990-03-21 1998-01-16 Boehringer Ingelheim Int Atomising devices and methods
GB2248891A (en) 1990-10-18 1992-04-22 Westonbridge Int Ltd Membrane micropump
EP0488675A1 (en) 1990-11-28 1992-06-03 Canon Kabushiki Kaisha Manufacturing method for liquid jet recording head and liquid jet recording head
IL100224A (en) 1990-12-04 1994-10-21 Dmw Tech Ltd Spray nozzle
UA29399C2 (ru) 1990-12-04 2000-11-15 Берінгер Інгельгайм Інтернаціональ Гмбх Сопло для выдачи распыленой струи жидкости, устройство для распыления жидкости и устройство для регулирования потока жидкости
US5487378A (en) 1990-12-17 1996-01-30 Minnesota Mining And Manufacturing Company Inhaler
GB9109065D0 (en) 1991-04-26 1991-06-12 Dunne Miller Weston Ltd Atomising devices
EP0520737A1 (en) * 1991-06-28 1992-12-30 Pall Corporation Filter assembly with a spin welded end cap
US5334247A (en) 1991-07-25 1994-08-02 Eastman Kodak Company Coater design for low flowrate coating applications
US5160403A (en) 1991-08-09 1992-11-03 Xerox Corporation Precision diced aligning surfaces for devices such as ink jet printheads
US5215655A (en) * 1991-10-28 1993-06-01 Tokheim Corporation Dispenser interlock fuel filter system disabled in response to filter removal
DE4140922C1 (ru) * 1991-12-12 1993-07-29 Danfoss A/S, Nordborg, Dk
SE469925B (sv) * 1992-02-21 1993-10-11 Gibeck Respiration Ab Filteranordning för anslutning till en persons andningsorgan innefattande ett hölje som innesluter ett fukt-värmeväxlande material och ett bakterieupptagande filter, som består av ett veckat, luftgenomträngligt material
WO1993020351A1 (fr) 1992-04-02 1993-10-14 Seiko Epson Corporation Microdispositif de regulation de debit de fluide, et procede de fabrication dudit dispositif
US5587128A (en) 1992-05-01 1996-12-24 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Mesoscale polynucleotide amplification devices
SE470479B (sv) * 1992-09-28 1994-05-24 Electrolux Ab Membranmodul och förfarande för dess framställning
IL107120A (en) * 1992-09-29 1997-09-30 Boehringer Ingelheim Int Atomising nozzle and filter and spray generating device
US5543047A (en) * 1992-11-06 1996-08-06 Pall Corporation Filter with over-laid pleats in intimate contact
US5783067A (en) * 1993-04-13 1998-07-21 Facet International, Inc. Elongated filter system, filter element therefor and methods of making same
US5460720A (en) * 1993-08-12 1995-10-24 Schneider; Burnett M. Pleated membrane crossflow fluid separation device
EP0648524A1 (en) * 1993-10-19 1995-04-19 Millipore Corporation Filter cartridge construction
CH689836A5 (fr) * 1994-01-14 1999-12-15 Westonbridge Int Ltd Micropompe.
US5770076A (en) * 1994-03-07 1998-06-23 The Regents Of The University Of California Micromachined capsules having porous membranes and bulk supports
US5591139A (en) 1994-06-06 1997-01-07 The Regents Of The University Of California IC-processed microneedles
EP1316346A1 (en) * 1994-10-21 2003-06-04 Pall Corporation Fluid processing apparatus
EP0821613A1 (en) * 1995-04-21 1998-02-04 Donaldson Company, Inc. Pleated filter and a method for making the same
US5651765A (en) * 1995-04-27 1997-07-29 Avecor Cardiovascular Inc. Blood filter with concentric pleats and method of use
US5632792A (en) * 1995-08-16 1997-05-27 Purolator Products Company Air induction filter hose assembly
DE19536902A1 (de) 1995-10-04 1997-04-10 Boehringer Ingelheim Int Vorrichtung zur Hochdruckerzeugung in einem Fluid in Miniaturausführung
RU2119817C1 (ru) * 1995-10-23 1998-10-10 Акционерное общество открытого типа "Полимерсинтез" Пористая фторуглеродная мембрана, способ ее получения и патронный фильтр на ее основе
CA2187963C (en) * 1995-11-03 2001-04-10 Stephen Proulx Filter cartridge construction and process for filtering particle-containing paint compositions
US5904846A (en) * 1996-01-16 1999-05-18 Corning Costar Corporation Filter cartridge having track etched membranes and methods of making same
GB9602625D0 (en) 1996-02-09 1996-04-10 Clegg Water Conditioning Inc Modular apparatus for the demineralisation of liquids
EP0879357B1 (fr) * 1996-02-09 2002-11-13 Westonbridge International Limited Micropompe comprenant un filtre micro-usine
ZA973639B (en) * 1996-04-26 1998-10-26 Donaldson Co Inc Fluted filter media
US5762789A (en) * 1996-06-28 1998-06-09 Millipore Corporation Disposable membrane module with low-dead volume
US5820767A (en) * 1996-07-29 1998-10-13 Pall Corporation Method for quantitation of microorganism contamination of liquids
JP3267173B2 (ja) 1996-10-08 2002-03-18 旭化成株式会社 耐金属劣化性に優れた樹脂組成物
US6010458A (en) * 1997-05-02 2000-01-04 Porous Media Corporation Spirometer filter media and device
DE19742439C1 (de) * 1997-09-26 1998-10-22 Boehringer Ingelheim Int Mikrostrukturiertes Filter
JP4670166B2 (ja) * 2001-03-21 2011-04-13 トヨタ紡織株式会社 フィルタの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EE200000085A (et) 2000-10-16
AU748729B2 (en) 2002-06-13
TR200000853T2 (tr) 2001-07-23
ATE357956T1 (de) 2007-04-15
AU8875698A (en) 1999-04-23
EP1243299A2 (en) 2002-09-25
SA98190631B1 (ar) 2006-06-21
PL339492A1 (en) 2000-12-18
CZ298849B6 (cs) 2008-02-27
DE19742439C1 (de) 1998-10-22
DK1017469T3 (da) 2003-03-17
BR9812526A (pt) 2000-07-25
UY25194A1 (es) 1999-03-24
NO317969B1 (no) 2005-01-17
MY138322A (en) 2009-05-29
NO20041327L (no) 2004-03-26
CA2300908A1 (en) 1999-04-08
EP1243299A3 (en) 2002-12-11
NO20001547L (no) 2000-03-24
PT1017469E (pt) 2003-04-30
EG21958A (en) 2002-04-30
SI1017469T1 (en) 2003-06-30
EP1772175A2 (en) 2007-04-11
YU49347B (sh) 2005-07-19
KR100575018B1 (ko) 2006-05-02
SK284288B6 (sk) 2005-01-03
UA54561C2 (ru) 2003-03-17
HK1030182A1 (en) 2001-04-27
BG104134A (en) 2000-08-31
YU16800A (sh) 2002-09-19
US20060032494A1 (en) 2006-02-16
HUP0102893A3 (en) 2002-04-29
CN1142811C (zh) 2004-03-24
KR20010030720A (ko) 2001-04-16
HRP980526A2 (en) 1999-12-31
ZA988730B (en) 1999-03-26
EA200000338A1 (ru) 2000-10-30
JP3706025B2 (ja) 2005-10-12
DE69809779T2 (de) 2003-07-17
US6846413B1 (en) 2005-01-25
EP1017469A1 (en) 2000-07-12
EP1243299B1 (en) 2007-03-28
NO20001547D0 (no) 2000-03-24
BG63966B1 (bg) 2003-08-29
DE69809779D1 (de) 2003-01-09
ID24484A (id) 2000-07-20
CA2300908C (en) 2010-11-02
CO4770988A1 (es) 1999-04-30
IL134186A (en) 2002-12-01
HUP0102893A2 (hu) 2001-12-28
TW446574B (en) 2001-07-21
IL134186A0 (en) 2001-04-30
PE91599A1 (es) 1999-09-30
ES2187998T3 (es) 2003-06-16
EP1017469B1 (en) 2002-11-27
WO1999016530A1 (en) 1999-04-08
CZ20001085A3 (cs) 2001-04-11
US6977042B2 (en) 2005-12-20
CY1106585T1 (el) 2012-01-25
DE69837451T2 (de) 2007-12-13
EE04773B1 (et) 2007-02-15
PL189969B1 (pl) 2005-10-31
NZ502673A (en) 2001-08-31
SK4232000A3 (en) 2000-08-14
AR010946A1 (es) 2000-07-12
SI1243299T1 (sl) 2007-08-31
CN1271296A (zh) 2000-10-25
US20040159319A1 (en) 2004-08-19
NO331008B1 (no) 2011-09-05
ATE228386T1 (de) 2002-12-15
DE69837451D1 (de) 2007-05-10
ES2280451T3 (es) 2007-09-16
DK1243299T3 (da) 2007-06-18
PT1243299E (pt) 2007-05-31
US7645383B2 (en) 2010-01-12
ME00760B (me) 2005-07-19
EP1772175A3 (en) 2007-08-01
HRP980526B1 (en) 2000-10-31
JP2001518377A (ja) 2001-10-16
HU222927B1 (hu) 2003-12-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA001876B1 (ru) Микроструктурный фильтр
US4797211A (en) Cross flow microfilter
US11014035B2 (en) Tunable nanofiber filter media and filter devices
US20030080060A1 (en) Integrated micromachined filter systems and methods
EA008027B1 (ru) Микроструктурированная сопловая головка высокого давления с интегрированной фильтрующей функцией
MXPA00002458A (en) Microstructured filter
CN111085022B (zh) 支撑和排泄物料、过滤器和使用方法
HK1030182B (en) Microstructured filter
JP4044139B2 (ja) ミクロ加フィルターを有するマイクロポンプ

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ KG MD TJ TM

MK4A Patent expired

Designated state(s): BY KZ RU