Anordnung zur Abdichtung der zwischen zwei relativ zueinander beweglichen
Teilen eines Elektronenmikroskops vorhandenen Offhung Bei EleIetronenmikroskopen
ist vielfach eine Relativbeweglichkeit von Einzelteilen zur Einstiellung erforderliich.
Wenni es siich dabei um Teile des Mikroskops handelt, -die gleichzeitig Wandungen
des Vakuittmraumes bilden, muß die Öffnung zwischen diesen relativ zueinander beweglichen
Teillen abg-edichtet werden. Zu, diesem Zweck hat man Iyisher in der Praxiis Gummimanschetten
verwendet. Diese haben einen verhältnismäßig großen Platzbedlarf und machen auch
Schwierigkeiten bei ihrer Befestiggung.Arrangement for sealing the between two movable relative to one another
Sharing an electron microscope with an existing opening in the case of electron microscopes
A relative mobility of individual parts is often required for adjustment.
If these are parts of the microscope, the walls are at the same time
of the vacuum space, the opening between them must be movable relative to one another
Partly be sealed. For this purpose one has Iyisher in practice rubber sleeves
used. These have a relatively large space requirement and do
Difficulty fixing them.
Bei einem Kathodenstrahloszilloggraphen ist es schon bekannt, die
Kathode relativ zur Anode verdrehbar anzuordnen. Die "1"bdidh-tu-ng z-#vi#sirhen#
den ver.,d-rehba"ren Teilen erfolgt dabei mit I-Eilfe einer Dichtungsscheilbe. Bei
der Dreh-bewegung muß -hier der Durchführuinigsitsolator auf,derDichtungsischeibe
gleiten, weswegen idie Anwendung von, Dichtungsfett erforiderlich ist.In the case of a cathode ray oscilloscope it is already known that the
To arrange the cathode rotatable relative to the anode. The "1" bdidh-tu-ng z- # vi # sirhen #
the ver., rotatable parts are made with I-Eilfe of a sealing washer
The rotary movement must be carried out with the bushing insulator, the sealing washer
slide, which is why it is necessary to use sealing grease.
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Abdichtung ider
zwischen zwei relativ zueinander beweiglichen Teitlen, eines Elektronenmikroskops
vorhandenen Öffnuing dürch eine- ringförmige, aus elastischem Materfal, z. B. Gummis,
-bestehende Dichtungsscheibe. Erfindungsg-emäß preßt je ein Drur-kring d#m
äußeren Bereich der Deiehtungsscheibe gieggen den einen und den inneren Bereich
gegen den zweiten beweglichen Teiil deis Elektronenmikroskops. Hier wird bei Ader
Relativbewegung der ZD Teile die Nachgiehigkeit dier ringförmigen Dichtungsseheibe
ausgenutzt Es kann somit eine absolut sicherie Dichtung ohne Verwendang von Dichtungs-
fett erzielt werd(en. Ein weiterer Vorteil :der neuen
Anordnung bestellt darin, daß keine wesentliche
Vergrößerung ides optisdien Geräts in. axieler Rich#
tung erfoederl-ich iist, was bei dien, bi#sher üblichen
Gumminlanischetten oder ähnlichen Abdichtungs-
einrichtüngen-,der Fall Jet. Die, neue Dichtung zeich-
ntt sich dürch kleinen P#1,-a.>tzbeidar-f und Einfachheit
der Ausführtm"g aus. Z-um Festpressen der Druck-
ringe werden vorzuggsweiise mit Gewindte versehene
Ringe verwendet, die sich beim Festziehen auf die
der Dichbungsscheibe abgeweindiete Fl-äthe ider Druck-
ringe legen. Diese Anordnung kann auich, leicht als
Mittel zur Grobzentrierung (der relativ zueinander
beweglichen Teile,&s Mikro)sikops dienen.
Die Anordnung kann an Ballen: denj"-#niigen. Stellen
eines Elektronenmikroskops angewendet werden, an
denen eine Relativversitellung zweier Teile dies
Elektro#nen,rni#l#,ros#l#:o,ps stattfir-Mdiet. So. kann man
bei-
spielsweiise die Anordnung anw#mden. zur Alyd'Ich-
tung d;er Öffnung zwischen dem die Objekt#ivl.inise
enthaltenden feststehenden Teil und der relativ da-
zu bewegItich angeordneten 0.bjelztscWeuse. Bei
EI"ektronenm,i,kros#lz-open, deren I#Ca#tl-iod#ens,tr-ah,1-
erzeugungs,systern relativ zum Objekt für sIcli allein
oder zusammen mk der Kondensurlinse verstellt
werden kann, kann man die Abdichtung der vor-
liegenden Art ebenfalls- vortellhaft anwenden.
In dbr Abbildung ist alis Ausführungsbeispiel ge-
mäß #dk--r Erfindung ein Querschnie idluech einen TejH-
eines Elektronenmikroskops dargestellt. Mit i ist
der Objektschleusenkörper bezeichnet, welcher ein
durchbohrtes Hahnküken zur Aufnahme dies zu
untersuchenden Objekts hat. 3 iist die Einschleus-
öffnung für das Objekt. Der obere, das Strahl-
erzeugungssystern und gegebenenfalls eine Konden-
sorlInse aufnehmentde Teil Ist in, der Abbiklung
nicht diargestellt. Der Elektronen(strahl füHt durch-
die Öffnung4 au-,f du Objekt. MIt 5 ist eine
Objektivspule bezeichnet, die zur AIybliilfdiunig des
ZU,
b,eoba,cli#,enidien Objekts dient. Diese Objektivspuile
bat einen oberen Deckel 6.
Zum Einstellen eines bestimmten zu untersuchen-
den, Bil-daus.#sc#hn#ittes ist eine Rel.atifvbem#l#ichkeit
zwischen dem die Objektivspule 5 enthaltenden
fesbstehenden)Teil und dem Objektt.rägervorgesehen.
Zur Abdichtung der zwischen den ibeildien rela-tiv
zueinander bewegLichen, Teilen i und 6 frei. bleiben-
den ringförrnigen Öffnung,dient eine Gunimiecheibe
15, dlie gemäß der Erflüdang idurch einen Druckring
16 in ihrem äußeren Bereich geglen, die Plate 6 und
durch einen, DruckrIng 17 in ihrem inneren Bereich
gegen iden ringförmigen, feist mi,t Odem Schleusen-
körper i verbt m-idenen Punsch r8 gedrückt wilild.
Zum Festpresisen der Drud#,riinge 16 und 17, 'die
diu-rch entsprechende Nasen gegen Verdrehung ge-
sichert sind, dienen zwei mit Gewinde ver-qeh-en-e-
Ringe iK), 2Q. Durch,die sich nicht drehendenDruck-
ringe 16 und 17 wird beim Anpresisen eine ictrehende
Zerrung d;es.C-rum#m#i#s verrnieden. Der king ig hat
Innengewinde, das; auf einentsprechendejs Gewinidie
des. Schlensenkörperis ii gesichrau-lyt wirdi. Der Ring
zo hat Außengewinde, dias 4n ein entsprechendes Ge-
winde der Plaitte6 geschraubt wie.d. Durch den
zw-isc#len den beiden Druckringen. ii6 und, 17 frei
bleihenden Teil des D4chtungs-ringes# 15 ifst die für
dieEinsitellung erforderlicherelativeQuerverschtieb-
barkeit des Ob-je#kttr2gers gegenüber &r Objektiv-
spule gegeben. Der Abstand zwiecheni den- Ringen
ig und 26 läßt sich mit, (dem Auge leicht abschältzen
und #dientdaher zur Gröbzentrierung. Der Flanisch
18 hat (den ans der Abbildung ersichtlichen trapez-
f örmigen Querschnlitt"der Jn- eine entsprechend, au-s#
ges,taltete trap#Zförmfig ge Vertiefung, 2ii)!der Platte
6
mi-t genitigendk"m Spiel paß(t.
The invention relates to an arrangement for sealing between two relatively separate parts of an electron microscope opening through a ring-shaped, made of elastic materfal, e.g. B. rubbers, existing sealing washer. According to the invention , a pressure ring each presses the outer area of the expansion disk against the one and the inner area against the second movable part of the electron microscope. With the relative movement of the ZD parts, the flexibility of the ring-shaped sealing washer is used here. bold. Another advantage: the new
Arrangement ordered therein that no essential
Enlargement of the optisdien device in. Axieler Rich #
tion is required, what is with dien, up to the usual
Rubber lanyards or similar sealing
furnishing, the case of Jet. The, new poetry draws
ntt by small P # 1, -a.> tzbeidar-f and simplicity
the execution. Z-in order to press the pressure
Rings are preferably provided with threads
Rings used, which when tightened on the
the sealing washer riveted fl-he id the pressure
put rings. This arrangement can also, easily be called
Means for coarse centering (the relative to each other
moving parts, & s micro) sikops serve.
The arrangement can be on bales: any places
an electron microscope are applied to
which a relative versitization of two parts this
Elektro # nen, rni # l #, ros # l #: o, ps stattfir-Mdiet. So. you can
for example, apply the arrangement. to the Alyd'I-
tion of the opening between which the object # ivl.inise
containing fixed part and the relatively
to movable 0.bjelztscWeuse. at
EI "ektronenm, i, kros # lz-open, whose I # Ca # tl-iod # ens, tr-ah, 1-
generation system relative to the object for sIcli alone
or adjusted together mk the condenser lens
can be, the sealing of the pre-
also use the lying species in an advantageous manner.
In the illustration, alis embodiment is shown
according to # dk - r invention a cross section idluech a TejH-
an electron microscope. With i is
the object lock body denotes which one
pierced cock plug to accommodate this
object to be examined. 3 is the introduction
opening for the object. The upper one, the beam
generation system and, if necessary, a condenser
SorlInse receiving part is in, the illustration
not shown. The electron (beam leads through
the opening4 au-, f you object. With 5 is one
Objective coil referred to, which for the AIybliilfdiunig des ZU,
b, eoba, cli #, enidien object is used. This lens coil
asked a top lid 6.
To set a specific examine-
den, Bil-daus. # sc # hn # ittes is a Rel.atifvbem # l # ility
between the one containing the objective coil 5
fixed) part and the object support.
For sealing the between the ibeeilien relative
Movable to each other, parts i and 6 free. stay-
the ring-shaped opening, a Gunimie disc serves
1 5, dlie according to the Erflüdang i by a pressure ring
16 in its outer area, the plate 6 and
by a pressure ring 17 in its inner area
against iden ring-shaped, feist mi, t Odem sluice
body i verbt m-idenen punch r8 pressed wilild.
To fix the Drud #, rings 16 and 17, 'die
with corresponding noses against twisting
are secured, two are threaded
Rings iK), 2Q. Due to the non-rotating pressure
Rings 16 and 17 become a rotating one when pressed on
Avoid straining d; es.C-rum # m # i # s. The king ig has
Internal thread, the; on a corresponding profit
des. Schlensenkkörperis ii gesichrau-lyt willi. The ring
zo has external threads, dias 4n a corresponding overall
winch of plaitte6 screwed like.d. Through the
between the two pressure rings. ii6 and 17 f rei
the remaining part of the sealing ring # 1 5 ifst the for
the setting required relative lateral displacement
availability of the Ob-je # kttr2ger towards & r lens
coil given. The distance between the rings
ig and 26 can be easily peeled off with the eye
and # is therefore used for coarse centering. The Flanish
18 has (the trapezoidal
f örmigen Querschnlitt "of a correspondingly JN, au-s #
ge, shaped trap # Z-shaped recess, 2ii)! of the plate 6
with lack of play