DE898210C - Anordnung zur Abdichtung der zwischen zwei relativ zueinander beweglichen Teilen eines Elektronenmikroskops vorhandenen OEffnung - Google Patents

Description

• Anordnung zur Abdichtung der zwischen zwei relativ zueinander beweglichen Teilen eines Elektronenmikroskops vorhandenen Offhung Bei EleIetronenmikroskopen ist vielfach eine Relativbeweglichkeit von Einzelteilen zur Einstiellung erforderliich. Wenni es siich dabei um Teile des Mikroskops handelt, -die gleichzeitig Wandungen des Vakuittmraumes bilden, muß die Öffnung zwischen diesen relativ zueinander beweglichen Teillen abg-edichtet werden. Zu, diesem Zweck hat man Iyisher in der Praxiis Gummimanschetten verwendet. Diese haben einen verhältnismäßig großen Platzbedlarf und machen auch Schwierigkeiten bei ihrer Befestiggung.
• Bei einem Kathodenstrahloszilloggraphen ist es schon bekannt, die Kathode relativ zur Anode verdrehbar anzuordnen. Die "1"bdidh-tu-ng z-#vi#sirhen# den ver.,d-rehba"ren Teilen erfolgt dabei mit I-Eilfe einer Dichtungsscheilbe. Bei der Dreh-bewegung muß -hier der Durchführuinigsitsolator auf,derDichtungsischeibe gleiten, weswegen idie Anwendung von, Dichtungsfett erforiderlich ist.
• Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Abdichtung ider zwischen zwei relativ zueinander beweiglichen Teitlen, eines Elektronenmikroskops vorhandenen Öffnuing dürch eine- ringförmige, aus elastischem Materfal, z. B. Gummis, -bestehende Dichtungsscheibe. Erfindungsg-emäß preßt je ein Drur-kring d#m äußeren Bereich der Deiehtungsscheibe gieggen den einen und den inneren Bereich gegen den zweiten beweglichen Teiil deis Elektronenmikroskops. Hier wird bei Ader Relativbewegung der ZD Teile die Nachgiehigkeit dier ringförmigen Dichtungsseheibe ausgenutzt Es kann somit eine absolut sicherie Dichtung ohne Verwendang von Dichtungs-

  fett erzielt werd(en. Ein weiterer Vorteil :der neuen

  Anordnung bestellt darin, daß keine wesentliche

  Vergrößerung ides optisdien Geräts in. axieler Rich#

  tung erfoederl-ich iist, was bei dien, bi#sher üblichen

  Gumminlanischetten oder ähnlichen Abdichtungs-

  einrichtüngen-,der Fall Jet. Die, neue Dichtung zeich-

  ntt sich dürch kleinen P#1,-a.>tzbeidar-f und Einfachheit

  der Ausführtm"g aus. Z-um Festpressen der Druck-

  ringe werden vorzuggsweiise mit Gewindte versehene

  Ringe verwendet, die sich beim Festziehen auf die

  der Dichbungsscheibe abgeweindiete Fl-äthe ider Druck-

  ringe legen. Diese Anordnung kann auich, leicht als

  Mittel zur Grobzentrierung (der relativ zueinander

  beweglichen Teile,&s Mikro)sikops dienen.

  Die Anordnung kann an Ballen: denj"-#niigen. Stellen

  eines Elektronenmikroskops angewendet werden, an

  denen eine Relativversitellung zweier Teile dies

  Elektro#nen,rni#l#,ros#l#:o,ps stattfir-Mdiet. So. kann man bei-

  spielsweiise die Anordnung anw#mden. zur Alyd'Ich-

  tung d;er Öffnung zwischen dem die Objekt#ivl.inise

  enthaltenden feststehenden Teil und der relativ da-

  zu bewegItich angeordneten 0.bjelztscWeuse. Bei

  EI"ektronenm,i,kros#lz-open, deren I#Ca#tl-iod#ens,tr-ah,1-

  erzeugungs,systern relativ zum Objekt für sIcli allein

  oder zusammen mk der Kondensurlinse verstellt

  werden kann, kann man die Abdichtung der vor-

  liegenden Art ebenfalls- vortellhaft anwenden.

  In dbr Abbildung ist alis Ausführungsbeispiel ge-

  mäß #dk--r Erfindung ein Querschnie idluech einen TejH-

  eines Elektronenmikroskops dargestellt. Mit i ist

  der Objektschleusenkörper bezeichnet, welcher ein

  durchbohrtes Hahnküken zur Aufnahme dies zu

  untersuchenden Objekts hat. 3 iist die Einschleus-

  öffnung für das Objekt. Der obere, das Strahl-

  erzeugungssystern und gegebenenfalls eine Konden-

  sorlInse aufnehmentde Teil Ist in, der Abbiklung

  nicht diargestellt. Der Elektronen(strahl füHt durch-

  die Öffnung4 au-,f du Objekt. MIt 5 ist eine

  Objektivspule bezeichnet, die zur AIybliilfdiunig des ZU,

  b,eoba,cli#,enidien Objekts dient. Diese Objektivspuile

  bat einen oberen Deckel 6.

  Zum Einstellen eines bestimmten zu untersuchen-

  den, Bil-daus.#sc#hn#ittes ist eine Rel.atifvbem#l#ichkeit

  zwischen dem die Objektivspule 5 enthaltenden

  fesbstehenden)Teil und dem Objektt.rägervorgesehen.

  Zur Abdichtung der zwischen den ibeildien rela-tiv

  zueinander bewegLichen, Teilen i und 6 frei. bleiben-

  den ringförrnigen Öffnung,dient eine Gunimiecheibe

  15, dlie gemäß der Erflüdang idurch einen Druckring

  16 in ihrem äußeren Bereich geglen, die Plate 6 und

  durch einen, DruckrIng 17 in ihrem inneren Bereich

  gegen iden ringförmigen, feist mi,t Odem Schleusen-

  körper i verbt m-idenen Punsch r8 gedrückt wilild.

  Zum Festpresisen der Drud#,riinge 16 und 17, 'die

  diu-rch entsprechende Nasen gegen Verdrehung ge-

  sichert sind, dienen zwei mit Gewinde ver-qeh-en-e-

  Ringe iK), 2Q. Durch,die sich nicht drehendenDruck-

  ringe 16 und 17 wird beim Anpresisen eine ictrehende

  Zerrung d;es.C-rum#m#i#s verrnieden. Der king ig hat

  Innengewinde, das; auf einentsprechendejs Gewinidie

  des. Schlensenkörperis ii gesichrau-lyt wirdi. Der Ring

  zo hat Außengewinde, dias 4n ein entsprechendes Ge-

  winde der Plaitte6 geschraubt wie.d. Durch den

  zw-isc#len den beiden Druckringen. ii6 und, 17 frei

  bleihenden Teil des D4chtungs-ringes# 15 ifst die für

  dieEinsitellung erforderlicherelativeQuerverschtieb-

  barkeit des Ob-je#kttr2gers gegenüber &r Objektiv-

  spule gegeben. Der Abstand zwiecheni den- Ringen

  ig und 26 läßt sich mit, (dem Auge leicht abschältzen

  und #dientdaher zur Gröbzentrierung. Der Flanisch

  18 hat (den ans der Abbildung ersichtlichen trapez-

  f örmigen Querschnlitt"der Jn- eine entsprechend, au-s#

  ges,taltete trap#Zförmfig ge Vertiefung, 2ii)!der Platte 6

  mi-t genitigendk"m Spiel paß(t.

Claims (2)

1. - PATENTANSPRÜCHF-i. Anordnung zur Ailydichtung ., der zwischen zwei relativ zueinander ##be,#vegldchen Teileneines Elektronenmikroskops vorhandenen öffnung #durch eIne ringförmiggie, aus eIastitschem Materlal, z. B. Gummi, bestehende Dichtungsscheibe, dadurch gekennzeichnet, 'daß je ein. D-ruc,1z-vinig;dtn äußeren Bereich ider Ditchrtungsscheibe gegen dien einen und, den dnneren Bereizh gegen, Aden, zweiten beweglichen Teil des Elektronenmikroskops preßt.
2. 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß zum Festpressen, der Druckringe mIt Gewinde versehene Ringe dienen, dlie sich beim Fes#tzi;ehm- auf #die der Dich.tungs-Scheibe abgewendete Fläche der Druckringe legen. 3. Anordnung nach Anspruch, #2# gekennzeichnet diarch Anbringen von N«s-,n an die Druckringie zür Verhinderung dies Verdrehens ,der Ringe, 4. Anwendung der Anordnung nach An-Spruch i oder 2 zu-r Abdi#chtung Ader Öffnung zwischen dem die Objektivlinse enthaltenden feststehenden Teil und, (der relativ idazu beweglich angeordneten Objektivschlease.