[go: up one dir, main page]

DE69209493T2 - Kapazitiver Druckwandler - Google Patents

Kapazitiver Druckwandler

Info

Publication number
DE69209493T2
DE69209493T2 DE69209493T DE69209493T DE69209493T2 DE 69209493 T2 DE69209493 T2 DE 69209493T2 DE 69209493 T DE69209493 T DE 69209493T DE 69209493 T DE69209493 T DE 69209493T DE 69209493 T2 DE69209493 T2 DE 69209493T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure sensor
circuit board
capacitive pressure
opening
terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69209493T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69209493D1 (de
Inventor
Kikuo Tate
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikoki Corp
Original Assignee
Fujikoki Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP3365292U external-priority patent/JPH0592678U/ja
Priority claimed from JP3365192U external-priority patent/JPH0592677U/ja
Application filed by Fujikoki Corp filed Critical Fujikoki Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE69209493D1 publication Critical patent/DE69209493D1/de
Publication of DE69209493T2 publication Critical patent/DE69209493T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf einen Drucksensor, der einen kapazitiven Druckgeber aufweist.
  • Die Fig. 1 zeigt einen Längsschnitt eines herkömmlichen Drucksensors des oben angesprochenen Typs.
  • Ein Gehäuse 10 des herkömmlichen Drucksensors hat eine metallische erste kappenartige Gehäusehälfte 10a. Ein Flüssigkeitseinlaßkanal 10b ist an einem oberen Abschnitt der ersten Gehäusehälfte 10a ausgebildet, um dafür angepaßt zu sein, mit einem Flüssigkeitsdurchlaß (nicht dargestellt) zu kommunizieren.
  • Eine vergrößerte Öffnung der ersten Gehäusehälfte 10a ist durch einen im wesentlichen scheibenförmigen kapazitiven Druckgeber 14 unter Zwischenfügung eines O-Rings 12 luftdicht verschlossen. Der kapazitive Druckgeber 14 hat zwei stabförmige elektrische Klemmen 14a, die sich in einer Richtung weg von dem Flüssigkeitseinlaßkanal 10b der ersten Gehäusehälfte 10a erstrecken.
  • Ein ringförmiger Abstandsring 16, der aus einem nicht-leitenden Plastikmaterial hergestellt ist, ist an einem Umfangskantenabschnitt der Seitenfläche des kapazitiven Druckgebers 14 angeordnet, die nicht dern Flüssigkeitseinlaßkanal 10b der ersten Gehäusehälfte 10a zugewandt ist. Eine Schaltplatte 18 ist an einer Seitenfläche des Abstandsrings 16 aufgelagert, die nicht dem kapazitiven Druckgeber 14 zugewandt ist. Zwei elektrische Klemmen 14a des kapazitiven Druckgebers 14 sind in zwei Elektroanschlußlöcher eingesetzt, die an vorbestimmten Positionen der Schaltplatte 18 ausgebildet sind, und an einen auf der Schaltplatte 18 ausgebildeten elektrischen Schaltkreis elektrisch angeschlossen.
  • Der Abstandsring 16 schafft zwischen der Schaltplatte 18 und dem kapazitiven Druckgeber 14 einen vorbestimmten Abstand. Auf der dem kapazitiven Druckgeber 14 zugewandten Fläche der Schaltplatte 18 und auf deren anderer Fläche, die nicht dem Geber 14 zugewandt ist, sind mehrere elektrische oder elektronische Teile 18a angeordnet, um eine vorbestimmte elektronische Signalverarbeitung auf der Grundlage eines zum Druck korrespondierenden elektrischen Signals, welches von dem kapazitiven Druckgeber 14 ausgesandt ist, auszuführen.
  • An einer Mehrzahl von vorbestimmten Positionen der Fläche der Schaltplatte 18, die nicht dem kapazitiven Druckgeber 14 zugewandt ist, ist eine Mehrzahl von Steckfassungen 18b vorgesehen, um das elektrische Signal von der Schaltplatte 18 weiterzugeben.
  • Ein Umfangskantenabschnitt einer vergrößerten Öffnung einer zweiten kappenartigen Gehäusehälfte 10c, die aus einem nicht-leitenden Plastikmaterial hergestellt ist, ist auf einem Umfangskantenabschnitt der Fläche der Schaltplatte 18 angeordnet, die nicht dem kapazitiven Druckgeber 14 zugewandt ist.
  • Mehrere elektrische oder elektronische Teile 18a und die Mehrzahl von Steckfassungen 18b auf der Fläche der Schaltplatte, die nicht dern kapazitiven Druckgeber 14 zugewandt ist, sind in einem inneren Raum der zweiten Gehäusehälfte 10c enthalten. Eine Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 20 sind an vorbestimmten Positionen des oberen Abschnitts der zweiten Gehäusehälfte 10c gehalten, um der Mehrzahl von Steckfassungen 18b gegenüberzustehen, und lange und dünne Basisendabschnitte 20a der Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 20 sind in die Mehrzahl von Steckfassungen 18b eingesetzt.
  • Der Abstandsring 16 und die zweite Gehäusehälfte 10c sind von einem Randabschnitt umgeben, der sich vom Rand der vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte 10a in einer Richtung weg von dem Flüssigkeitseinlaßkanal 10b erstreckt. Die zweite Gehäusehälfte 10c ist an die erste Gehäusehälfte 10a durch Eingriff des sich erstreckenden Endes des Randabschnitts der ersten Gehäusehälfte 10a mit einer Schulter, die an einer Randfläche der zweiten Gehäusehälfte 10c ausgebildet ist, angeschlossen. Dadurch klemmen die zweite Gehäusehälfte 10c und die erste Gehäusehälfte 10a den Abstandsring 16 ein. Ferner klemmen der Abstandsring 16 und der Umfangskantenabschnitt der vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte 10a den O-Ring 12 und die Randkantenabschnitte der beiden Seitenflächen des kapazitiven Druckgebers 14 ein. Desweiteren klemmen der Abstandsring 16 und der Umfangskantenabschnitt der vergrößerten Öffnung der zweiten Gehäusehälfte 10c die Randkantenabschnitte der beiden Seitenflächen der Schaltplatte 18 ein.
  • Die Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 20 des oberen Abschnitts der zweiten Gehäusehälfte 10c erstreckt sich in einer Richtung weg von dern oberen Abschnitt entlang der Längsachse der zweiten Gehäusehälfte 10c und ist von einem an dem oberen Abschnitt ausgebildeten zylindrischen Fassungsführungsabschnitt 22 umgeben.
  • Im Bereich des oberen Abschnitts sind, umgeben von dem zylindrischen Fassungsführungsabschnitt 22, Öffnungen 24 ausgebildet, um den vorbestimmten elektrischen oder elektronischen Teilen 18a der Schaltplatte 18, die in dem inneren Raum der zweiten Gehäusehälfte 10c enthalten sind, gegenüberzustehen. Die Öffnungen 24 sind mit einer staub- und wasserdichten Kappe 26 abgedeckt und die vorbestimmten elektrischen oder elektronischen Teile 18 können von außen durch Öffnungen 24 eingestellt werden, nachdem die staub- und wasserdichte Kappe 26 abgenommen wurde.
  • Der wie oben beschrieben aufgebaute herkömmliche Drucksensor wird wie folgt gebildet. Zunächst wird der Abstandsring 16 durch den kapazitiven Druckgeber 14 und die Schaltplatte 18 eingeklemmt, dann werden der Geber 14 und die Schaltplatte 18 elektrisch miteinander verbunden und schließlich wird eine Abstandsringeinheit ausgebildet. Die erste Gehäusehälfte 10a und die zweite Gehäusehälfte 10c sind gegenseitig in einem Zustand miteinander verbunden, in dern die Abstandsringeinheit dazwischen geschichtet ist. Dadurch ist die Montage des Drucksensors beendet.
  • Jedoch werden in einem solchen herkömmlichen Drucksensor zwei elektrische Klemmen 14a des kapazitiven Druckgebers 14 leicht verbogen. Ebenso ist es schwer eine hohe Lagegenauigkeit der Klemmen 14a zu erhalten. Daher wird die elektrische Verbindung zwischen dem kapazitiven Druckgeber 14 und der Schaltplatte 18 über die Klemmen 14a in dem Zustand, in dem der Abstandsring 16 dazwischen geschichtet ist, manuell ausgeführt. Die vorliegende Erfindung wurde geschaffen, um das obige Problem zu lösen, und es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Drucksensor zu schaffen, der leicht montiert werden kann und dazu geeignet ist, maschinell montiert zu werden.
  • Um die obige Aufgabe zu lösen sieht die vorliegende Erfindung einen Drucksensor vor mit: einer ersten kappenartigen Gehäusehälfte, die an ihrem oberen Abschnitt einen Flüssigkeits einlaßkanal hat; einen kapazitiven Druckgeber, der an einer vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte angebracht ist, die vergrößerte Öffnung luftdicht abteilt und ein Klemmenteil hat, das sich in Richtung weg von dem Flüssigkeitseinlaßkanal der ersten Gehäusehälfte erstreckt; einem ringförmigen Abstandsring, der an einem Umfangskantenabschnitt einer Seitenfläche des kapazitiven Druckgebers angeordnet ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dem Flüssigkeitseinlaßkanal zugewandten Seitenfläche; einer Schaltplatte, die an einer Seitenfläche des Abstandsrings angeordnet ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dem kapazitiven Druckgeber zugewandten Seitenfläche, und ein erstes Elektroanschlußklemmen Aufnahmeloch und ein zweites Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch hat, das unabhängig von dem ersten Elektroanschlußklemmen- Aufnahmeloch ist und einen langgestreckten Abschnitt des Klemmenteils des kapazitiven Druckgebers aufnimmt; und einer zweiten kappenartigen Gehäusehälfte, die eine äußere Anschlußklemme trägt, an einem Umfangskantenabschnitt einer Seitenfläche der Schaltplatte angeordnet ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dem Abstandsring zugewandten Seitenfläche, und sich mit der ersten Gehäusehälfte in einem Zustand in Eingriff befindet, in dem ein Endabschnitt der äußeren Anschlußklemme in das erste Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch der Schaltplatte eingesetzt ist, und der kapazitive Druckgeber, der Abstandsring und die Schaltplatte zwischen der ersten und zweiten Gehäusehälfte geschichtet sind, wobei das Klemmenteil des kapazitiven Druckgebers wie eine Kurbel gebogen ist und ein Klemmenteil- Führungsabschnitt in einer Umfangswand des Abstandsrings ausgebildet ist, um das Klemmenteil des kapazitiven Druckgebers aufzunehmen und um das Klemmenteil zu dem zweiten Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch der Schaltplatte zu führen.
  • In dem wie oben beschrieben aufgebauten Drucksensor der vorliegenden Erfindung kann das kurbelartig gebogene Klemmenteil des kapazitiven Druckgebers die Lage seines sich erstrekkenden Endes relativ zu dem kapazitiven Druckgeber leicht einstellen. Ebenso erlaubt der in der Umfangswand des Abstandsrings ausgebildete Klemmenteil-Führungsabschnitt die Aufnahme des sich erstreckenden Endes des Klemmenteils des kapazitiven Druckgebers in dem Elektroanschlußloch der Schaltplatte und sichert sie.
  • Daher kann der wie oben beschrieben aufgebaute Drucksensor der vorliegenden Erfindung leicht montiert werden und ist geeignet, maschinell montiert zu werden.
  • Bei dem wie oben beschrieben aufgebauten Drucksensor der vorliegenden Erfindung ist es von Vorteil, daß eine Öffnung in einem Teil des Klemmenteil-Führungsabschnitts der Umfangswand des Abstandsrings ausgebildet ist, um von außen einen Zugriff auf den sich erstreckenden Endabschnitt des Klemmenteils und das Elektroanschlußloch der Schaltplatte zu ermöglichen.
  • Durch die Öffnung kann die elektrische Verbindung zwischen dem Klemmenteil des kapazitiven Druckgebers und dern Elektroanschlußloch leicht hergestellt werden.
  • Um die Aufgabe der vorliegenden Erfindung zu lösen, hat ein anderer Drucksensor gemäß der vorliegenden Erfindung: eine erste kappenartige Gehäusehälfte, die an ihrem oberen Abschnitt einen Flüssigkeitseinlaßkanal aufweist; einen kapazitiven Druckgeber, der an einer vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte angebracht ist und die vergrößerte Öffnung luftdicht abteilt; einen ringförmigen Abstandsring, der an einem Umfangskantenabschnitt einer Seitenfläche des kapazitiven Druckgebers angeordnet ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dern Flüssigkeitseinlaßkanal zugewandten Seitenfläche; eine Schaltplatte, die an einer Seitenfläche des Abstandsrings angeordnet ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dem kapazitiven Druckgeber zugewandten Seitenfläche, und ein Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch aufweist; ein Elektroanschlußmittel zum elektrischen Anschließen des kapazitiven Druckgebers an die Schaltplatte; und eine zweite kappenartige Gehäusehälfte, die eine äußere Anschlußklemme trägt, an einem Umfangskantenabschnitt einer Seitenfläche der Schaltplatte angeordnet ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dem Abstandsring zugewandten Seitenfläche, und sich mit der ersten Gehäusehälfte in einem Zustand in Eingriff befindet, in dem ein Endabschnitt der äußeren Anschlußklemme in das Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch der Schaltplatte eingesetzt ist, und der kapazitive Druckgeber, der Abstandsring und die Schaltplatte zwischen der ersten und zweiten Gehäusehälfte geschichtet sind, wobei das Elektroanschlußmittel durch ein stabartiges Klemmen teil ausgebildet ist, das sich von der Schaltplatte in Richtung auf den kapazitiven Druckgeber erstreckt, und der kapazitive Druckgeber eine Öffnung, in die das sich erstreckende Ende des Klemmenteils der Schaltplatte mit Spiel eingesetzt ist, und eine elektrische Anschlußklemme hat, die in der Öffnung positioniert und an das sich erstreckende Ende des Klemmenteils elektrisch angeschlossen ist.
  • Bei dem wie oben beschrieben aufgebauten anderen Drucksensor der vorliegenden Erfindung beseitigt die Öffnung des kapazitiven Druckgebers, in welche das sich erstreckende Ende des Klemmenteils der Schaltplatte eingesetzt ist, ein genaues und relatives Positionieren des sich erstreckenden Endes des Klemmenteils der Schaltplatte relativ zu dem kapazitiven Druckgeber und das sich erstreckende Ende des Klemmenteils kann leicht in die Öffnung eingesetzt werden.
  • Daher kann der wie oben beschrieben aufgebaute andere Drucksensor der vorliegenden Erfindung leicht montiert werden und ist geeignet, maschinell montiert zu werden.
  • Bei dem wie oben beschrieben aufgebauten anderen Drucksensor der vorliegenden Erfindung ist es von Vorteil, daß die Öffnung Öffnungsabschnitte in der Seitenfläche und der Umfangsfläche des kapazitiven Druckgebers hat, wobei die Seitenfläche der Schaltplatte zugewandt ist und die elektrische Anschlußklemme an der inneren Umfangsfläche der Öffnung angeordnet ist. Gemäß dem obigen Aufbau kann in einem Fall, in dem die Schaltplatte und der kapazitive Druckgeber angeordnet sind, um den Abstandsring einzuklemmen, und das sich erstreckende Ende des Klemmenteils der Schaltplatte in den Öffnungsabschnitt in der Seitenfläche des kapazitiven Druckgebers eingesetzt ist, das sich erstreckende Ende des Klemmenteils leicht an die elektrische Anschlußklemme in der Öffnung durch den Öffnungsabschnitt in der Umfangsfläche des kapazitiven Druckgebers angeschlossen werden und die Klemmenanschlußarbeit kann sicher durchgeführt werden.
  • Es ist von Vorteil, daß ein Abschnitt des kapazitiven Druckgebers zwischen dem Seitenflächen-Öffnungsabschnitt und dem Umfangsflächen-Öffnungsabschnitt ausgeschnitten ist.
  • Eine derartige Öffnung kann leicht ausgebildet werden und vergrößert den Seitenflächen-Öffnungsabschnitt, so daß das Einsetzen des sich erstreckenden Endes des Klemmenteils in den Seitenflächen-Öffnungsabschnitt leicht durchgeführt werden kann. Ferner kann die Klemmenanschlußarbeit leicht durchgeführt werden, da die Fläche des Umfangsflächen-Öffnungsabschnitts ebenfalls vergrößert ist.
  • Wenn die Schaltplatte mindestens ein weiteres Klemmenteil für den kapazitiven Druckgeber bei dem wie oben beschrieben aufgebauten anderen Drucksensor der vorliegenden Erfindung hat, ist es von Vorteil, daß die Öffnung des kapazitiven Druckgebers derart ausgebildet ist, daß die jeweiligen sich erstreckenden Enden des oben beschriebenen ersten Klemmenteils und des mindestens einen weiteren Klemmenteils darin mit Spiel eingesetzt sind, und eine Mehrzahl von elektrischen Anschlußklemmen entsprechend den jeweiligen sich erstreckenden Enden des oben beschriebenen ersten Klemmenteils und des mindestens einen weiteren Klemmenteils an der inneren Umfangsfläche der Öffnung angeordnet sind.
  • Gemäß dem obigen Aufbau können, im Vergleich zu dem Fall, in dem die Mehrzahl von Öffnungen, die unabhängig ausgebildet sind, um mit dem oben beschriebenen ersten Klemmenteil und dem mindestens einen weiteren Klemmenteil zu korrespondieren, in dem kapazitiven Druckgeber ausgebildet ist, die Arbeiten zum Ausbilden der Öffnung und zum Anordnen jeder elektrischen Anschlußklemme an der korrespondierenden inneren Umfangsfläche leicht durchgeführt werden.
  • Mit der obigen Öffnung kann mindestens ein elektrisches oder elektronisches Teil, das an die Mehrzahl von elektrischen Anschlußklemmen elektrisch angeschlossen ist, zwischen der Mehrzahl der elektrischen Anschlußklemmen angeordnet sein. Da durch kann der Grad an Freiheit in der Anordnung von den elektrischen oder elektronischen Teilen auf der Schaltplatte verbessert werden. Auch können die Höhen der Vorsprünge der elektrischen oder elektronischen Teile auf der Fläche der Schaltplatte verringert werden.
  • Das oben beschriebene mindestens eine elektrische oder elektronische Teil kann ein fester Kondensator oder ein Drehkondensator sein. Da der Kondensator ein relativ großes Teil unter den verschiedenen elektrischen oder elektronischen Teilen, die an die Schaltplatte elektrisch anzuschließen sind, ist, wird der oben beschriebene technische Vorteil gesteigert.
  • Diese Erfindung kann aus der folgenden ausführlichen Beschreibung deutlicher verstanden werden, wenn diese im Zusammenhang mit den anliegenden Zeichnungen betrachtet wird, in welchen:
  • Die Fig. 1 ein Längsschnitt eines herkömmlichen Drucksensors ist;
  • die Fig. 2 eine Draufsicht eines Drucksensors gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist;
  • die Fig. 3 eine Seitenansicht des Drucksensors der Fig. 2 ist;
  • die Fig. 4 ein Längsschnitt entlang der Linie IV-IV in Fig. 2 ist;
  • die Fig. 5 eine perspektivische Ansicht eines kapazitiven Druckgebers des Drucksensors der Fig. 2 ist;
  • die Fig. 6 eine Explosionsdarstellung ist, die einen Zustand zeigt, in dern der kapazitive Druckgeber von einem Abstandsring getrennt ist, der zusammen mit einer Schaltplatte an einer vorbestimmten Position in einer vergrößerten Öffnung einer zweiten Gehäusehälfte gehalten wird, nachdem eine erste Gehäusehälfte von dern Drucksensor der Fig. 2 getrennt wurde;
  • die Fig. 7 eine perspektivische Ansicht ist, die eine Modifikation des kapazitiven Druckgebers zeigt;
  • die Fig. 8 ein Längsschnitt eines Drucksensors gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist;
  • die Fig. 9 eine perspektivische Ansicht des kapazitiven Druckgebers des Drucksensors der Fig. 8 ist;
  • die Fig. 10A eine perspektivische Ansicht einer ersten Modifikation des kapazitiven Druckgebers des Drucksensors der Fig. 8;
  • die Fig. 10B eine perspektivische Ansicht einer zweiten Modifikation des kapazitiven Druckgebers des Drucksensors der Fig. 8;
  • die Fig. 10C eine perspektivische Ansicht einer dritten Modifikation des kapazitiven Druckgebers des Drucksensors der Fig. 8;
  • die Fig. 11A eine perspektivische Ansicht einer vierten Modifikation des kapazitiven Druckgebers des Drucksensors der Fig. 8; und
  • die Fig. 11b eine perspektivische Ansicht einer fünften Modifikation des kapazitiven Druckgebers des Drucksensors der Fig. 8.
  • [Erstes Ausführungsbeispiel]
  • Im folgenden wird ein Drucksensor eines ersten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung und eine Modifikation eines kapazitiven Druckgebers, der in dem Drucksensor verwendet wird, unter Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 7 erläutert.
  • Die Fig. 2 und 3 sind eine Draufsicht und eine Seitenansicht, die das Außere eines Drucksensors gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigen. Das Außere des Ausführungsbeispiels ist dasselbe wie das eines anderen Ausführungsbeispiels eines Drucksensors der vorliegenden Erfindung, welches später erklärt wird.
  • Bei diesem Ausführungsbeispiel wird ein Hüllengehäuse des Drucksensors durch eine metallische erste kappenartige Gehäusehälfte 30 und eine zweite kappenartige Gehäusehälfte 32 gebildet, die aus einem nicht-leitenden Plastikmaterial hergestellt ist und an die erste Gehäusehälfte 30 in einem Zustand angeschlossen ist, in dern eine vergrößerte Öffnung der ersten Gehäusehälfte 30 einer vergrößerten Öffnung der zweiten Gehäusehälfte 32 gegenüberliegt
  • Ein Flüssigkeitskanal-Anschlußvorsprung 30a, in dem ein Flüssigkeitseinlaßkanal ausgebildet ist, der dafür angepaßt ist, mit einem Flüssigkeitsdurchlaß (nicht dargestellt) zu kommunizieren, ist an einem oberen Abschnitt der ersten Gehäusehälfte 30 ausgebildet. Der Flüssigkeitskanal-Anschlußvorsprung 30a erstreckt sich in einer Richtung weg von der zweiten Gehäusehälfte 32.
  • Eine Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 34, die sich von einem inneren Raum der zweiten Gehäusehälfte 32 in Richtung nach außen erstrecken, sind an einem oberen Abschnitt der zweiten Gehäusehälfte 32 gehalten. Die äußeren Anschlußklemmen 34 erstrecken sich in einer Richtung weg von der ersten Gehäusehälfte 30.
  • Ein zylindrischer Fassungsführungsabschnitt 36 ist an einer äußeren Fläche des oberen Abschnitts der zweiten Gehäusehälfte 32 ausgebildet, um die Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 34 zu umgeben. Der zylindrische Fassungsführungsabschnitt 36 erstreckt sich ebenfalls in einer Richtung weg von der ersten Gehäusehälfte 30, um parallel zu der Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 34 zu verlaufen.
  • Wie aus der Fig. 2 hervorgeht, ist ein horizontaler Querschnitt des zylindrischen Fassungsführungsabschnitts 36 ein im wesentlichen langes und dünnes Quadrat und hindert eine Steckfassung (nicht dargestellt), die an der äußeren Umfangsfläche des zylindrischen Fassungsführungsabschnitts 36 anliegt und mit der Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 34 des zylindrischen Fassungsführungsabschnitts 36 elektrisch verbunden ist, daran, in Umfangsrichtung zu drehen. Ein Eingriffsvorsprung 38 ist an einem Teil der äußeren Umfangsfläche ausgebildet, um ein Lösen der Steckfassung (nicht dargestellt) zu verhindern.
  • In einem von dem zylindrischen Fassungsführungsabschnitt 36 umgebenen Bereich an dem oberen Abschnitt der zweiten Gehäusehälfte 32 sind zwei Öffnungen 40 ausgebildet, um Zugang zu dem inneren Raum der zweiten Gehäusehälfte 32 zu gestatten. Die zwei Öffnungen 40 sind durch eine gemeinsame Gummikappe 42 abgedichtet.
  • Die Fig. 4 ist ein Längsschnitt, der den inneren Aufbau des Drucksensors des obigen Ausführungsbeispiels zeigt, dessen Draufsicht und Seitenansicht des Äußeren in den Fig. 2 und 3 dargestellt sind.
  • An einer inneren Umfangsfläche der vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte 30 sind zwei Stufen über den gesamten Umfang ausgebildet. Ein Unfangskantenabschnitt der einen Seitenfläche eines im wesentlichen scheibenförmigen kapazitiven Druckgebers 46 ist auf einem inneren Stufenabschnitt kleinen Durchmessers unter Zwischenfügung eines O-Rings 44 angeordnet. Mit anderen Worten gesagt teilt der kapazitive Druckgeber 46 den inneren Raum der ersten Gehäusehälfte 30 an dem inneren Stufenabschnitt kleinen Durchmessers der vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte 30 ab.
  • Der kapazitive Druckgeber 46 wird durch eine Membran 46a, die eine dem Flüssigkeitseinlaßkanal 30b des Flüssigkeitskanal- Anschlußvorsprungs 30a an dem oberen Abschnitt der ersten Gehäusehälfte 30 zugewandte Seitenfläche ausbildet, und einen Grundkörper 46b gebildet, der den Umfangskantenabschnitt der Membran 46a auflagert. Die Membran 46a ist aus einem keramischen Material wie Aluminiumoxid gebildet und der Grundkörper 46b besteht aus einem nicht-leitenden Material wie einem Glasschmelzmaterial.
  • Der zentrale Abschnitt der einen der Membran 46a zugewandten Seitenfläche des Grundkörpers 46b ist vertieft, um von der Membran 46a um eine vorbestimmte Strecke beabstandet zu sein. Metallische Schichten sind auf der Bodenfläche der vertieften Fläche und der vertieften zugewandten Fläche des zentralen Abschnitts der Membran 46a ausgebildet, um einen Kondensator zu bilden, der in Abhängigkeit vom Grad der Auslenkung des zentralen Abschnitts der Membran 46a seine elektrostatische Kapazität ändert. Mit anderen Worten gesagt, da der Grad der Auslenkung des zentralen Abschnitts der Membran 46a zum Betrag des Drucks der Flüssigkeit korrespondiert, die in den Flüssigkeitseinlaßkanal 30b der ersten Gehäusehälfte 30 geflossen ist, erzeugt der Kondensator das druckkorrespondierende elektrische Signal korrespondierend zum Betrag des Flüssigkeitsdrucks.
  • Im Umfangskantenabschnitt der anderen Seitenfläche des Grundkörpers 46b, die auf der Rückseite der einen der Membran 46a zugewandten Seitenfläche positioniert ist oder die nicht der Membran 46a zugewandt ist, erstreckt sich, wie in Fig. 5 dargestellt, ein Paar elektrischer Anschlußklemmen 46c vom Kondensator. Die elektrischen Anschlußklemmen 46c erstrecken sich entlang der anderen Seitenfläche über eine kurze Strecke und erstrecken sich dann in einer Richtung weg von der anderen Seitenfläche. Mit anderen Worten gesagt, das Paar elektrischer Anschlußklemmen 46c erstreckt sich vom Umfangskantenabschnitt der anderen Seitenfläche des Grundkörpers 46b in einem Zustand, in dem jede elektrische Anschlußklemme 46c in Kurbelform gebogen ist.
  • Auf dem Umfangskantenabschnitt der anderen Seitenfläche des Grundkörpers 46b des kapazitiven Druckgebers 46 ist ein ringförmiger Abstandsring 48 wie in Fig. 4 dargestellt angeordnet. Der Abstandsring 48 ist aus einem nicht-leitenden Material wie Polybutylenterephthalat ausgebildet.
  • Eine Klemmenführungsöffnung 48a ist in der Umfangswand des Abstandsrings 48 an einer Position ausgespart, die zu dem Paar elektrischer Anschlußklemmen 46c des kapazitiven Druckgebers 46 korrespondiert. Äußere sich erstreckende Abschnitte des Paars elektrischer Anschlußklemmen 46c des kapazitiven Druckgebers 46 sind in der Klemmenführungsöffnung 48a enthalten.
  • Eine Schaltplatte 50 ist auf einer Endfläche des Abstandsrings 48 angeordnet, positioniert auf der Rückseite der dem kapazitiven Druckgeber 46 zugewandten Endfläche Die Schaltplatte 50 ist aus einem solchen Material ausgebildet, beispielsweise keramischen Material, das eine ausgezeichnet hohe Hitzebeständigkeit und eine hohe Feuchtigkeitsbeständigkeit hat.
  • Elektroanschlußklemmen-Aufnahmelöcher 50a sind in dern Umfangskantenabschnitt der Schaltplatte 50 an Positionen ausgebildet, die zu der Klemmenführungsöffnung 48 der Umfangswand des Abstandsrings 48 korrespondieren. Die äußeren sich erstrekkenden Enden des Paars elektrischer Anschlußklemmen 46c, die in der Klemmenführungsöffnung 48a enthalten sind, sind in die Elektroanschlußklemmen-Aufnahmelöcher 50a eingesetzt und damit elektrisch verbunden.
  • Verschiedene Arten elektrischer oder elektronischer Teile 50, die verwendet werden, um das vom Kondensator des kapazitiven Druckgebers 46 ausgesandte druckkorrespondierende elektrische Signal zu verarbeiten, sind elektrisch verbunden mit und befestigt auf beiden Seitenflächen der Schaltplatte 50.
  • Eine Endfläche der vergrößerten Öffnung der zweiten kappenartigen Gehäusehälfte 32 ist auf dem Umfangskantenabschnitt der Seitenfläche der Schaltplatte 50 angeordnet, positioniert auf der Rückseite der dem Abstandsring 48 zugewandten Seitenfläche.
  • In diesem Ausführungsbeispiel ist auf der Endfläche der vergrößerten Öffnung der zweiten Gehäusehälfte 32 ein Randabschnitt 32a ausgebildet, um sich entlang der Umfangsfläche der Schaltplatte 50 und der Umfangsfläche des Abstandsrings 48 zu der Endfläche des Abstandsrings 48 auf der Seite des kapazitiven Druckgebers zu erstrecken. Die sich erstreckende Endfläche des Randabschnitts 32a ist auf dem äußeren Stufenabschnitt großen Durchmessers in der inneren Umfangsfläche der vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte 30 angeordnet. Zwei Öffnungen 32b sind in dem Randabschnitt 32a an Positionen ausgebildet, die zu der Klemmenteil-Führungsöffnung 48a der Umfangsfläche des Abstandsrings 48 korrespondieren, um Zugriff zu den äußeren sich erstreckenden Enden der gepaarten elektrischen Anschlußklemmen 46c zu gestatten, die in die Elektroanschlußklemmen- Aufnahmelöcher 50a des Randkantenabschnitts der Schaltplatte 50 eingesetzt sind.
  • Ferner ist in der Schaltplatte 50 eine Mehrzahl von Elektroanschlußklemmen-Aufnahmelöchern 50C korrespondierend zu den Endabschnitten 34a der Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 34 der zweiten Gehäusehälfte 32 an einer Mehrzahl von vorbestimmten Positionen unabhängig von den Elektroanschlußklemmen-Aufnahmelöchern 50a für das Paar elektrischer Anschlußklemmen 46c des kapazitiven Druckgebers 46 ausgebildet. Die Endabschnitte 34a der Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 34 sind in die Elektroanschlußklemmen-Aufnahmelöcher 50c eingesetzt, sind elektrisch angeschlossen und an diesen befestigt.
  • Ein O-Ring 52 ist auf der äußeren Umfangsfläche der Umfangswand der zweiten Gehäusehälfte 32 angebracht. Der O-Ring 52 dichtet einen Spalt zwischen der oben beschriebenen äußeren Umfangsfläche der zweiten Gehäusehälfte 32 und der inneren Umfangsfläche der vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte ab, die die oben beschriebene äußere Umfangsfläche abdeckt.
  • Die zweite Gehäusehälfte 32 und die erste Gehäusehälfte 30 sind wie in Fig. 4 gezeigt durch Eingriff eines ringförmigen sich erstreckenden Abschnitts 30c, der sich von der Endfläche der ersten Gehäusehälfte 30 auf der Seite der vergrößerten Öffnung erstreckt, mit einem Schulterabschnitt an der Trennungslinie zwischen dem oberen Abschnitt und der Umfangswand in der zweiten Gehäusehälfte 32 miteinander verbunden.
  • Auf der dern oberen Abschnitt der zweiten Gehäusehälfte 32 zugewandten Seitenfläche der Schaltplatte 50 sind elektrische oder elektronische Teile 50B wie ein Trimmerkondensator, der eingestellt werden muß nachdem die zweite Gehäusehälfte 32 und die erste Gehäusehälfte 30 miteinander wie in Fig. 4 gezeigt verbunden sind, an Positionen angeordnet, die den zwei Öffnungen 40 in dem oberen Abschnitt der zweiten Gehäusehälfte 32 gegenüberliegen.
  • Der Trimmerkondensator muß eingestellt werden nachdem der Drucksensor montiert ist, um zu verhindern, daß der Trimmerkondensator durch ein äußeres elektrisches Feld und eine Streukapazität beeinflußt wird. Die elektrischen oder elektronischen Teile 50B wie ein Trimmerkondensator, der eingestellt werden muß, können durch die zwei Öffnungen 40 eingestellt werden bevor die Gummikappe 42 im letzten Schritt der Montage an den zwei Öffnungen 40 des oberen Abschnitts der zweiten Gehäusehälfte 32 angebracht wird. Nachdem die Gummikappe 42 angebracht wurde kann die oben beschriebene Einstellung erfolgen sobald die Gummikappe 42 abgenommen ist.
  • In den obigen Ausführungsbeispiel kann bei dem Paar elektrischer Anschlußklemmen 46c des kapazitiven Druckgebers 45, die in Kurbelform gebogen sind, die Lagegenauigkeit deren äußerer sich erstreckender Enden leicht eingestellt werden. Ferner macht die Klemmenteil-Führungsöffnung 48a der Umfangswand des Abstandsrings 48 die Einsetzarbeit der äußeren sich erstreckenden Enden der elektrischen Anschlußklemmen 46c des Gebers 45 in die Elektroanschlußklemmen-Aufnahmelöcher 50a der Schaltplatte 50 einfach.
  • In dem tatsächlichen Zusammenbau des Drucksensors gemäß dem obigen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird die Montage in einer Reihenfolge durchgeführt, die umgekehrt zu der oben beschriebenen Reihenfolge ist.
  • Genauer gesagt wird die zweite Gehäusehälfte 32 so gesetzt, daß ihre vergrößerte Öffnung nach oben orientiert ist, und die verschiedene Typen von elektrischen oder elektronischen Teilen 50b aufweisende Schaltplatte 50 wird auf der vergrößerten Öffnung der zweiten Gehäusehälfte 32 angeordnet. Dann wird die elektrische Verbindung zwischen den Endabschnitten 34a der Mehrzahl von äußeren Anschlußklemmen 34 und der Mehrzahl von Elektroanschlußklemmen-Aufnahmelöchern 50c der zweiten Gehäusehälfte 32 durchgeführt. Als nächstes werden der Abstandsring 48 und der kapazitive Druckgeber 46 nacheinander auf der Schaltplatte 50 aufgestapelt. Die äußeren sich erstreckenden Enden des Paars elektrischer Anschlußklemmen 46c des kapazitiven Druckgebers 46 werden in die Elektroanschlußklemmen-Aufnahmelöcher 50a des Umfangskantenabschnitts der Schaltplatte 50 eingesetzt und die elektrische Verbindung zwischen den äußeren sich erstreckenden Enden der gepaarten elektrischen Anschlußklemmen 46c und den Elektroanschlußklemmen-Aufnahmelöchern 50a wird durch eine Löteinrichtung sicher durchgeführt, die beispielsweise einen Lichtstrahl oder eine elektrische Heizung durch die Öffnungen 32b des Randabschnitts 32a der Endfläche der zweiten Gehäusehälfte 32 auf der Seite der vergrößerten Öffnung und die Klemmenteil-Führungsöffnung 48a der Umfangswand des Abstandsrings 48 verwendet. Schließlich wird die vergrößerte Öffnung der ersten Gehäusehälfte 30 auf die vergrößerte Öffnung der zweiten Gehäusehälfte 32 aufgelegt und die Verbindung dazwischen kann erfolgen.
  • Die Fig. 7 ist eine Modifikation des kapazitiven Druckgebers 46, der in dern Drucksensor des oben beschriebenen Ausführungsbeispiels verwendet wird.
  • Bei dieser Modifikation wird das Paar elektrischer Anschlußklemmen 46c von der Grenzlinie zwischen der Membran 46a und dem Grundkörper 46b zu der Umfangsfläche des Grundkörpers 46b gezogen. Dann sind die elektrischen Anschlußklemmen 46c in einer Nut 54 enthalten, die in einer Umfangsfläche des Grundkörpers 46b ausgebildet ist, um sich von dessen membranseitiger Seitenfläche zu dessen Seitenfläche auf der Seite der Schaltplatte zu erstrecken. Ferner sind die elektrischen Anschlußklemmen 46c radial nach innen entlang der Seitenfläche auf der Seite der Schaltplatte gebogen. Schließlich sind die elektrischen Anschlußklemmen 46c angehoben, um sich in einer Richtung weg von der Seitenfläche auf der Seite der Schaltplatte zu erstrecken.
  • In dieser Modifikation sind die gepaarten elektrischen Anschlußklemmen 46c an der Seitenfläche des Grundkörpers 46b in einer Kurbelform gebogen. Daher kann der kapazitive Druckgeber 46 der Modifikation dieselben technischen Vorteile erzielen, wie die des kapazitiven Druckgebers 46, der in dem Drucksensor des vorher beschriebenen Ausführungsbeispiels verwendet wird.
  • [Anderes Ausführungsbeispiel]
  • Im folgenden werden ein Drucksensor eines anderen Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung und verschiedene Modifikationen eines kapazitiven Druckgebers, der in dem Drucksensor verwendet wird, unter Bezugnahme auf die Fig. 8 bis 10B beschrieben.
  • Der Unterschied zwischen dem Drucksensor des ersten unter Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 7 beschriebenen Ausführungsbeispiels und dem des anderen, zu beschreibenden Ausführungsbeispiels liegt lediglich im Aufbau für die elektrische Verbindung zwischen dem kapazitiven Druckgeber 46, der in den inneren Räumen der ersten und zweiten Gehäusehälfte 30 und 32 aufgenommen ist, und der Schaltplatte 50. Daher wird nur der sich unterscheidende Aufbau beschrieben und dieselben Bezugszeichen werden zu den Abschnitten des anderen Ausführungsbeispiels hinzugefügt, die denen des ersten Ausführungsbeispiels entsprechen, und eine detaillierte diesbezügliche Beschreibung unterbleibt.
  • In dem Drucksensor des anderen Ausführungsbeispiels ist, wie in den Fig. 8 und 9 dargestellt, ein Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 des kapazitiven Druckgebers 46 auf der inneren Umfangsfläche von Öffnungen 62 angeordnet, die an dem Umfangskantenabschnitt der schaltplattenseitigen Seitenfläche des Grundkörpers 46b ausgebildet sind. Auf der Schaltplatte 50 erstreckt sich ein Paar stabartiger elektrischer Anschlußklemmen 64 von Positionen, die zu den elektrischen Anschlußklemmen 60 korrespondieren, zu den elektrischen Anschlußklemmen 60. Sich erstreckende Endabschnitte des Paars stabartiger elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50 sind in Öffnungen 62 des kapazitiven Druckgebers 46 eingesetzt und an das Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 elektrisch angeschlossen.
  • Genauer gesagt sind die Öffnungen 62 durch ein Paar Aussparungen ausgebildet, die unabhängig voneinander von dem Randkantenabschnitt der Seitenfläche des Grundkörpers 46b zu dessen Umfangsfläche ausgebildet sind. Das Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 ist auf den inneren Flächen der Aussparungen angeordnet.
  • Eine Fläche des Seitenflächen-Öffnungsabschnitts jeder des Paars Aussparungen ist viel größer als jede horizontale Querschnittsfläche des Paars elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50. Daher können die sich erstreckenden Endabschnitte des Paars elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50 leicht in den Seitenflächen-Öffnungsabschnitt des Paars Aussparungen eingesetzt werden.
  • Ferner machen die umfangsseitigen Öffnungsabschnitte des Paars Aussparungen, von denen jeder stark ausgeschnitten ist, Lötarbeit einfach, die die elektrische Verbindung zwischen den sich erstreckenden Endabschnitten des Paars elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50 und dem Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 der inneren Umfangsflächen des Paars Öffnungen 62 sicherstellt.
  • Mit anderen Worten gesagt kann die Lötarbeit leicht durch die umfangsflächenseitigen Öffnungsabschnitte durchgeführt werden, kurz bevor die erste Gehäusehälfte 30 endgültig auf die zweite Gehäusehälfte 32 aufgesetzt wird, um diese im letzten Schritt der Montage des Drucksensors des anderen Ausführungsbeispiels miteinander zu verbinden.
  • Die Fig. 10A zeigt eine erste Modifikation des kapazitiven Druckgebers 46, der in dem Drucksensor des oben beschriebenen anderen Ausführungsbeispiels verwendet wird.
  • In dieser Modifikation ist eine Öffnung 62a für das Paar elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50 in dem Grundkörper 46b des kapazitiven Druckgebers 46 ausgebildet. Die Öffnung 62a ist durch eine große Aussparung ausgebildet, die von dem Urnfangskantenabschnitt der Seitenfläche des Grundkörpers 46 bis zu dessen Umfangsfläche ausgespart ist. Das Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 des kapazitiven Druckgebers 46 ist an zwei gegenseitig beabstandeten Positionen auf der inneren Umfangsfläche der oben beschriebenen einen großen Aussparung angeordnet.
  • Gemäß dieser Modifikation werden dieselben technischen Vorteile erzielt, wie die des in der Fig. 9 dargestellten kapazitiven Druckgebers 46. Zudem kann eine groß dimensionierte Öffnung für die sich erstreckenden Endabschnitte des Paars elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50 leicht ausgebildet werden. Ferner kann die Einsetzarbeit der sich erstreckenden Endabschnitte des Paars elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50 in den ausgesparten Seitenflächen- Öffnungsabschnitt der oben beschriebenen einen groß dimensionierten Öffnung leicht durchgeführt werden.
  • Desweiteren ist bei der ersten Modifikation eine weitere Aussparung 62a', die dieselbe Größe und Form hat wie die der Öffnung 62a, in dem Grundkörper 46b des kapazitiven Druckgebers 46 an einer zu der oben beschriebenen einen groß dimensionierten Öffnung 62a radial symmetrischen Position ausgebildet. Wenn lediglich eine groß dimensionierte Öffnung 62a in dern Grundkörper 46b ausgebildet wird und der Grundkörper 46b eine nichtsymmetrische Form hat, wird ein Fehler in der Größe des Grundkörpers 46b erzeugt, wenn der Grundkörper 46b durch Brennen eines keramischen Materials hergestellt wird. Der Grund, warum eine weitere groß dimensionierte Aussparung 62a' ausgebildet wird, ist, daß der Grundkörper 46b eine symmetrische Form hat, so daß verhindert wird, daß ein Fehler in der Größe des Grundkörpers 46b erzeugt wird.
  • Die Fig. 10B zeigt eine zweite Modifikation des kapazitiven Druckgebers 46, der in dem Drucksensor des oben beschriebenen anderen Ausführungsbeispiels verwendet wird.
  • Bei der zweiten Modifikation sind zwei Blindöffnungen 62b unabhängig voneinander in der schaltplattenseitigen Seitenfläche des Grundkörpers 46b des kapazitiven Druckgebers 46 ausgebildet, um das Paar elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50 aufzunehmen. Das Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 des kapazitiven Druckgebers 46 ist in den inneren Umfangsflächen der zwei Blindöffnungen 62b angeordnet.
  • Die Fig. 10C zeigt eine dritte Modifikation des kapazitiven Druckgebers 46, der in dem Drucksensor des oben beschriebenen anderen Ausführungsbeispiels verwendet wird.
  • Bei der dritten Modifikation sind zwei gebogene Öffnungen 62c unabhängig voneinander in dem Grundkörper 46b des kapazitiven Druckgebers 46 ausgebildet, um das Paar elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50 aufzunehmen. Beide Enden jeder der zwei gebogenen Öffnungen 62c sind in der schaltplattenseitigen Seitenfläche und der Umfangsfläche des Grundkörpers 46b geöffnet. Das Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 des kapazitiven Druckgebers 46 ist in den inneren Umfangsflächen der umfangsflächenseitigen Öffnungsabschnitte der gebogenen Öffnungen 62c angeordnet.
  • Bei dieser Modifikation kann die elektrische Anschlußar beit zwischen dern Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 des kapazitiven Druckgebers 46 in den Umfangsflächen-Öffnungsabschnitten der zwei gebogenen Öffnungen 62c und den sich erstreckenden Endabschnitten des Paars elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50, die in die Seitenflächen-Öffnungs abschnitte der zwei gebogenen Öffnungen 62c eingesetzt sind, mittels Löten durch die umfangsflächenseitigen Öffnungsabschnitte leicht durchgeführt werden kurz bevor in dem letzten Schritt der Montage des Drucksensors des oben beschriebenen anderen Ausführungsbeispiels die vergrößerte Öffnung der ersten Gehäusehälfte 30 auf die vergrößerte Öffnung der zweiten Gehäusehälfte 32 zum gegenseitigen Verbinden aufgesetzt wird.
  • Die Fig. 11A zeigt eine vierte Modifikation des kapazitiven Druckgebers 46, der in dern Drucksensor des oben beschriebenen anderen Ausführungsbeispiels verwendet wird.
  • Bei dieser Modifikation ist, gleich der in der Fig. 10A dargestellten ersten Modifikation, die Öffnung 62a für das Paar elektrischer Anschlußklemmen 64 der Schaltplatte 50 durch eine groß dimensionierte Aussparung ausgebildet, die von dem Umfangskantenabschnitt der schaltplattenseitigen Seitenfläche bis zu der Umfangsfläche des Grundkörpers 46 ausgespart ist. Das Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 des kapazitiven Druckgebers 46 ist an den gegenseitig beabstandeten Positionen auf der inneren Umfangsfläche der oben beschriebenen einen groß dimensionierten Aussparung angeordnet.
  • Ferner ist bei dieser Modifikation ein elektrisches oder elektronisches Teil wie ein fester Kondensator, der auf einer Fläche angebracht werden kann, auf einer inneren Bodenfläche 64 der Öffnung 62a angeordnet, die durch die oben beschriebene groß dimensionierte Aussparung ausgebildet ist. Das elektrische oder elektronische Teil ist durch beispielsweise eine Lötung an Leiterbahnen 68 elektrisch angeschlossen, die auf die innere Bodenfläche 64 aufgedruckt wurden. Ebenso ist das elektrische oder elektronische Teil an das Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 auf der inneren Umfangsfläche der Öffnung 62 über die Leiterbahnen 68 elektrisch angeschlossen.
  • Die Fig. 11B zeigt eine fünfte Modifikation des kapazitiven Druckgebers 46, der in dem Drucksensor des oben beschriebenen anderen Ausführungsbeispiels verwendet wird.
  • Bei dieser Modifikation ist anstelle des festen Kondensators 66 der vierten Modifikation gemäß Fig. 11a, der auf einer Fläche angebracht werden kann, ein Drehkondensator 70, der auf einer Fläche angebracht werden kann, durch beispielsweise eine Lötung elektrisch an Leiterbahnen 68 angeschlossen, die auf der inneren Bodenfläche 64 der Öffnung 62a ausgebildet wurden, welche durch die oben beschriebene groß dirnensionierte Aussparung ausgebildet ist. Ebenso ist der Drehkondensator 70 an das Paar elektrischer Anschlußklemmen 60 auf der inneren Umfangsfläche der Öffnung 62 über die Leiterbahnen 68 elektrisch angeschlossen.
  • Bei dieser Modifikation ist eine Öffnung in dem Umfangskantenabschnitt der Schaltplatte 50 an einer Position ausgebildet, die dem Drehkondensator 70 gegenüberliegt, und die Öffnung ist positioniert, um einer der zwei Öffnungen 40 des oberen Abschnitts der zweiten Gehäusehälfte 32 gegenüberzuliegen, oder eine weitere, von den zwei Öffnungen 40 unabhängige Öffnung ist in dem oberen Abschnitt der zweiten Gehäusehälfte 32 ausgebildet, um der Öffnung des Umfangskantenabschnitts der Schaltplatte 50 gegenüberzuliegen. Dadurch kann der Drehkondensator 70 von außerhalb des Drucksensors eingestellt werden, nachdem der Drucksensor des oben beschriebenen anderen Ausführungsbeispiels montiert wurde. In diesem Fall ist es von Vorteil, wenn die unabhängige weitere Öffnung normalerweise durch eine abnehmbare Kappe abgedichtet wird, gleich den zwei Öffnungen 40.
  • Wie in der vierten und fünften Modifikation gemäß den Fig. 11A und B gezeigt, erhöht die Anordnung des elektrischen oder elektronischen Teils auf der inneren Bodenfläche 64 der Öffnung 62a in dern Grundkörper 46b des kapazitiven Druckgebers 46 den Grad an Freiheit in der Anordnung der elektrischen oder elektronischen Teile auf den beiden Seitenflächen der Schaltplatte 50. Ferner kann durch Anordnen des höchsten elektrischen oder elektronischen Teils auf der inneren Bodenfläche 64 die Höhe der Vorsprünge der elektrischen oder elektronischen Teile von der Seitenfläche der Schaltplatte 50 auf der Seite des kapazitiven Druckgebers reduziert werden.

Claims (7)

1 Drucksensor mit: einer ersten kappenartigen Gehäusehalfte (30), die an ihrem oberen Abschnitt einen Flüssigkeitseinlaßkanal (30b) hat; einem kapazitiven Druckgeber (46), der an einer vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte (30) angebracht ist, die vergrößerte Öffnung luftdicht abteilt und ein Klemmenteil (46c) hat, das sich in Richtung weg von dem Flussigkeitseinlaßkanal der ersten Gehäusehälfte (30) erstreckt; einem ringförmigen Abstandsring (48), der an einem Umfangskantenabschnitt einer Seitenfläche des kapazitiven Druckgebers (46) angeordnet ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dem Flüssigkeitseinlaßkanal zugewandten Seitenfläche; einer Schaltplatte (50), die an einer Seitenfläche des Abstandsrings (48) angeordnet ist, positioniert auf, der Rückseite einer anderen, dem kapazitiven Druckgeber (46) zugewandten Seitenfläche, und ein erstes Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch (50c) und ein zweites Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch (50a) hat, das unabhängig von den ersten Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch (50c) ist und einen langgestreckten Abschnitt des Klemmenteils (46c) des kapazitiven Druckgebers (46) aufnimmt; und einer zweiten kappenartigen Gehäusehälfte (32), die eine äußere Anschlußklemme trägt, an einem Unfangskantenabschnitt einer Seitenfläche der Schaltplatte (50) angeordnet ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dem Abstandsring (38) zugewandten Seitenfläche, und sich mit der ersten Gehäusehälfte (30) in einem Zustand in Eingriff befindet, in dem ein Endabschnltt (34a) der äußeren Anschlußklemme in das erste Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch (50c) der Schaltplatte (50) eingesetzt ist, und der kapazitive Druckgeber (46), der Abstandsring (38) und die Schaltplatte (50) zwischen der ersten und zweiten Gehäusehälfte (30, 32) geschichtet sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Klemmenteil (46c) des kapazitiven Druckgebers (46) wie eine Kurbel gebogen ist und ein Klemmenteil-Führungsabschnitt (48a) in einer Umfangswand des Abstandsrings (48) ausgebildet ist, um das Klemmenteil des kapazitiven Druckgebers aufzunehmen und um das Klemmenteil zu dem zweiten Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch (50a) der Schaltplatte (50) zu führen.
2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Öffnung (32b) in einem Teil des Klemmenteil-Führungsabschnitts (48a) der Umfangswand des Abstandsrings (48) ausgebildet ist, um von außen einen Zugriff auf den sich erstrekkenden Endabschnitt des Klemmenteils (46c) und das Elektroanschlußloch der Schaltplatte (50) zu ermöglichen.
3. Drucksensor mit: einer ersten kappenartigen Gehäusehälfte (30), die an ihrem oberen Abschnitt einen Flüssigkeitseinlaßkanal (30b) hat; einem kapazitiven Druckgeber (46), der an einer vergrößerten Öffnung der ersten Gehäusehälfte (30) angebracht ist und die vergrößerte Öffnung luftdicht abteilt; einem ringförmigen Abstandsring (48), der an einem Umfangskantenabschnitt einer Seitenfläche des kapazitiven Druckgebers (46) angeordnet ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dem Flüssigkeitseinlaßkanal zugewandten Seitenfläche; einer Schaltplatte (50), die an einer Seitenfläche des Abstandsrings (48) angeordent ist, positioniert auf der Rückseite einer anderen, dem kapazitiven Druckgeber (46) zugewandten Seitenfläche, und ein Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch (50c) hat; einem Elektroanschlußmittel (64) zum elektrischen Anschließen des kapazitiven Druckgebers (46) an die Schaltplatte (50); und einer zweiten kappenartigen Gehäusehälfte (32), die eine äußere Anschlußklemme trägt, an einem Umfangskantenabschnitt einer Seitenfläche der Schaltplatte (50) angeordnet ist, positioniert auf der Rücksiete einer anderen, dem Abstandsring (48) zugewandten Seitenfläche, wobei ein Endabschnitt der äußeren Anschlußklemme (34) in die erste Gehäusehälfte (30) eingesetzt ist und sich mit dieser in einem Zustand in Eingriff befindet, in dem das Elektroanschlußklemmen-Aufnahmeloch (50c) der Schaltplatte (50) und der kapazitive Druckgeber (46), der Abstandsring (48) und die Schaltplatte (50) zwischend der ersten und zweiten Gehäusehälfte (30, 32) geschichtet sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Elektroanschlußmittel (64) durch ein stabartiges Klemmenteil ausgebildet ist, das sich von der Schaltplatte (50) in Ricbtung auf den kapazitiven Druckgeber (46) erstreckt, und der kapazitive Druckgeber (46) eine Öffnung (62, 62a, 62b, 62c), in die das sich erstreckende Ende des Klemmenteils (64) der Schaltplatte (5) mit Spiel eingesetzt ist, und eine elektrische Anschlußklemme (60) hat, die in der Öffnung positioniert und an das sich erstreckende Ende edes Klemmenteils elektrisch angeschlossen ist.
4. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (62, 62a, 62b, 62c) Öffnungsabschnitte in der Seitenfläche und der Umangsfläche des kapazitiven Druckgebers (46) hat, wobei die Seitenfläche der Schaltplatte (50) zugewandt ist und die elektrische Anschlußkleme (60 an der inneren Umfansfläche der Öffnung angeordnet ist.
5. Drucksensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Abschnitt des kapazitiven Druckgebers (46) zwischen dem Sietenflächen-Öffnungsabschnitt der Öffnung (62, 62a) und deren Umfansglächen-Öffnungsabschnitt ausgeschnitten ist.
6. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltplatte (50) mindestens ien weiteres Klemmenteil (64) für den kapazitiven Druckgeber (46) hat, wobei die Öffnung (62, 62a, 62b, 62c) des kapazitiven Druckgebers (46) derart ausgebildet ist, daß die jeweiligen sich erstreckenden Enden des oben beschriebenen ersten Klemmenteils (64) und des mindestens einen weiteren Klemmenteils (64) darin mit Spiel eingesetzt sind, und eine Mehrzahl von elektrischen Anschlußklemmen (60) entsprechend den jeweiligen sich erstreckenden Enden des oben beschriebenen ersten Klemmenteils (64) und des mindestens einen weiteren Klemmenteils (64) an der inneren Umfangsfläche der Öffnung (62, 62a, 62b, 62c) angeordnet sind.
7. Drucksensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein elektrisches oder elektronisches Teil (66, 68), das an die Mehrzahl von elektrischen Anschlußklemmen angeschlossen ist, zwischen der Mehrzahl der Anschlußklemmen (60) angeordnet ist.
DE69209493T 1992-05-21 1992-11-13 Kapazitiver Druckwandler Expired - Fee Related DE69209493T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3365292U JPH0592678U (ja) 1992-05-21 1992-05-21 圧力センサ
JP3365192U JPH0592677U (ja) 1992-05-21 1992-05-21 圧力センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69209493D1 DE69209493D1 (de) 1996-05-02
DE69209493T2 true DE69209493T2 (de) 1996-09-12

Family

ID=26372376

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69209493T Expired - Fee Related DE69209493T2 (de) 1992-05-21 1992-11-13 Kapazitiver Druckwandler

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5343757A (de)
EP (1) EP0570624B1 (de)
DE (1) DE69209493T2 (de)

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5581226A (en) * 1994-11-02 1996-12-03 Motorola, Inc. High pressure sensor structure and method
MX9707734A (es) * 1995-04-28 1997-12-31 Rosemount Inc Unidad de montaje para un transmisor de presion.
MX9707606A (es) * 1995-04-28 1997-12-31 Rosemount Inc Transmisor de presion con grupo de montaje aislador de alta presion.
US5802912A (en) * 1996-01-25 1998-09-08 Delco Electronics Corporation Electrical terminal apparatus
KR19990008150A (ko) * 1996-03-07 1999-01-25 노무라마사나리 압력센서모듈
DE19637763A1 (de) 1996-09-16 1998-03-19 Trw Fahrzeugelektrik Drucksensoreinheit, insbesondere für die Kraftfahrzeugtechnik
US5880372A (en) * 1997-01-10 1999-03-09 Integrated Sensor Solutions Media compatible pressure sensor device utilizing self-aligned components which fit together without the need for adhesives
DE19723615A1 (de) * 1997-06-05 1998-12-10 Trw Automotive Electron & Comp Drucksensoreinheit, insbesondere für die Kraftfahrzeugtechnik
JPH1130559A (ja) * 1997-07-10 1999-02-02 Fuji Koki Corp 圧力センサ
US5939639A (en) * 1997-12-04 1999-08-17 Setra Systems, Inc. Pressure transducer housing with barometric pressure isolation
US6311561B1 (en) 1997-12-22 2001-11-06 Rosemount Aerospace Inc. Media compatible pressure sensor
US6076409A (en) * 1997-12-22 2000-06-20 Rosemount Aerospace, Inc. Media compatible packages for pressure sensing devices
US6055864A (en) * 1998-04-14 2000-05-02 Mannesmann Vdo Ag Pressure sensor and method for its production
JP3309808B2 (ja) * 1998-08-04 2002-07-29 株式会社デンソー 圧力検出装置
US6506069B2 (en) 2001-01-25 2003-01-14 Kelsey-Hayes Company Floating electrical connector for a pressure sensor
EP1016573B1 (de) * 1998-12-28 2006-11-02 Kelsey-Hayes Company Pressure sensor for a hydraulic control system and method for installing the sensor
DE19916087A1 (de) 1999-04-09 2000-10-26 Lucas Ind Plc Anordnung zur Messung eines Fluiddrucks
US6591684B2 (en) 1998-12-28 2003-07-15 Kelsey-Hayes Company Pressure sensor intergrated into an electro-hydraulic control unit
US6447342B1 (en) * 2001-05-10 2002-09-10 Delphi Technologies, Inc. Pressure sensor connector
DE10135568A1 (de) 2001-07-20 2003-02-06 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Drucksensor
EP1518099B1 (de) * 2002-06-22 2006-05-10 Robert Bosch Gmbh Hochdruck-sensor-gehaeuse mit verbindungsteil (emv-abschirmung)
US6837112B2 (en) * 2003-03-22 2005-01-04 Stec Inc. Capacitance manometer having a relatively thick flush diaphragm under tension to provide low hysteresis
CN100344883C (zh) * 2003-04-03 2007-10-24 帕克-汉尼芬有限公司 探测和输送来自填充有高压流体的压力室的测量数据的装置
JP2006300774A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Denso Corp ダイヤフラム型圧力検出装置
JP4710419B2 (ja) * 2005-05-30 2011-06-29 株式会社明電舎 真空コンデンサ及び真空コンデンサの製造方法
JP2007017346A (ja) * 2005-07-08 2007-01-25 Denso Corp センサ装置
DE202006003446U1 (de) * 2006-03-02 2006-05-18 Eto Sensoric Kg Drucksensorvorrichtung
EP2018702A1 (de) * 2006-05-12 2009-01-28 Baumer Electric AG Näherungsschalter und verfahren zum kontaktieren eines sensorprints
DE102006038373A1 (de) * 2006-08-12 2008-02-14 Robert Bosch Gmbh Elektrische Vorrichtung
US7586749B2 (en) * 2007-12-14 2009-09-08 Finetek Co., Ltd. Protecting casing for transducer
DE102008062291B3 (de) * 2008-12-15 2010-07-22 Abb Technology Ag Messeinrichtung und Verfahren zur Diagnose von Geräuschen in fluidischen Systemen
US20130056100A1 (en) * 2010-07-13 2013-03-07 Mitsubishi Electric Corporation Pressure sensor unit and brake device
US8776608B2 (en) * 2011-10-31 2014-07-15 Rosemount Inc. Coplanar process fluid pressure sensor module
JP2015184100A (ja) * 2014-03-24 2015-10-22 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体
JP6809284B2 (ja) * 2017-02-23 2021-01-06 富士電機株式会社 物理量センサ装置の製造方法および物理量センサ装置
US12095192B2 (en) * 2019-12-12 2024-09-17 Vitesco Technologies USA, LLC Compressible conductive elastomer for electrical connection of orthogonal substrates

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4414851A (en) * 1981-08-28 1983-11-15 Motorola, Inc. Gauge pressure sensor
US4718278A (en) * 1986-04-30 1988-01-12 Hi-Stat Manufacturing Co., Inc. Pressure transducer with improved calibration
US4716492A (en) * 1986-05-05 1987-12-29 Texas Instruments Incorporated Pressure sensor with improved capacitive pressure transducer
US5051937A (en) * 1986-05-05 1991-09-24 Texas Instruments Incorporated Low cost high precision sensor
US4823603A (en) * 1988-05-03 1989-04-25 Vacuum General, Inc. Capacitance manometer having stress relief for fixed electrode
US4875135A (en) * 1988-12-02 1989-10-17 Texas Instruments Incorporated Pressure sensor
US4888662A (en) * 1988-12-08 1989-12-19 Texas Instruments Incorporated High pressure package for pressure transducers

Also Published As

Publication number Publication date
EP0570624A2 (de) 1993-11-24
EP0570624B1 (de) 1996-03-27
EP0570624A3 (de) 1994-02-16
DE69209493D1 (de) 1996-05-02
US5343757A (en) 1994-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69209493T2 (de) Kapazitiver Druckwandler
DE2948165C2 (de) Kapazitiver Druckmeßfühler
DE3885805T2 (de) Filtereinheit für Verbinder.
EP0406919A2 (de) Vorrichtung zum elektronischen Prüfen von Leiterplatten mit Kontaktpunkten in extrem feinem Raster (1/20 bis 1/10 Zoll)
DE60036250T2 (de) Modularer Jack-Verbinder mit Filtereinsatz und Kontakt dafür
DE29519701U1 (de) Elektrischer Verbinder mit programmierbarem Schaltungsplatten-Filter
DE8613511U1 (de) Kombibaustein mit einem zweiteiligen HF-Anschluß
DE2600320A1 (de) Elektrischer verbinder
EP0495778B1 (de) Filter-steckverbinder
DE2123053C3 (de) Anordnung zum Zuführen eines geschirmten mehradrigen Kabels
DE2229315C3 (de) Trimmerkondensator
DE3511704A1 (de) Fuehlereinrichtung mit modularer verbindung und programmierung
DE2851836C2 (de)
EP0154703A2 (de) Resonator
DE102015202127A1 (de) Verbindungselement zum elektrischen und mechanischen Verbinden von Elektronikmodulen, Elektronikmodulanordnung zum Einbau in einen zylindrischen Bauraum sowie Wälzlageranordnung
DE19501660A1 (de) Gehäuse für elektrische und elektronische Baugruppen
EP0878870A1 (de) HF-Koaxial-Steckverbinderteil
DE3149387C2 (de)
EP0158586B1 (de) Druck- oder Druckdifferenzmessgerät
DE2912202B1 (de) Anordnung einer integrierten Schaltung auf einer Leiterplatte
DE3913026C2 (de)
DE3144535A1 (de) Anzeigeeinrichtung mit fluessigkristallanzeige
DE19712560C1 (de) Filter-Steckverbinder mit Abschirmung
DE29610329U1 (de) Anschlußmodul
DE3413533A1 (de) Elektrotechnisches geraet, insbesondere fuer die nachrichtentechnik

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee