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DE60223583T2 - Magnetspeicher mit schreibsperrauswahl und schreibverfahren dafür - Google Patents

Magnetspeicher mit schreibsperrauswahl und schreibverfahren dafür Download PDF

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DE60223583T2
DE60223583T2 DE60223583T DE60223583T DE60223583T2 DE 60223583 T2 DE60223583 T2 DE 60223583T2 DE 60223583 T DE60223583 T DE 60223583T DE 60223583 T DE60223583 T DE 60223583T DE 60223583 T2 DE60223583 T2 DE 60223583T2
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DE
Germany
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memory
magnetic
layer
points
writing
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DE60223583T
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Jean-Pierre Nozieres
Laurent Ranno
Yann Conraux
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Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
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Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft das Gebiet der Magnetspeicher und insbesondere nicht-flüchtige Magnetspeicher mit Direktzugriff, die das Speichern und Lesen von Daten in den elektronischen Systemen ermöglichen. Genauer gesagt betrifft sie mit M-RAM bezeichnete Magnetspeicher mit Direktzugriff, die aus einem magnetischen Tunnelübergang gebildet werden.
  • STAND DER TECHNIK
  • Die Speicher, die auf einem Ladezustand einer Kapazität basieren, (DRAM, SRAM, FLASH), werden gegenüber ionisierenden Strahlungen, (wie zum Beispiel kosmischen Strahlen), in dem Maße empfindlicher, in dem sich die Größe der elementaren Transistoren reduziert. Außerdem weisen die Speicher auf ferroelektrischer Basis (FRAM) ernstzunehmende Alterungsprobleme auf. Die kürzlichen Entwicklungen auf dem Gebiet der Magnetelektronik ermöglichten es, einen neuen Speichertyp basierend auf der magnetischen Widerstandsänderung von magnetischen Verbindungen zu konzipieren. Anders ausgedrückt, ihr Funktionsprinzip beruht nicht mehr auf der Speicherung einer elektrischen Ladung, sondern auf der relativen Ausrichtung der Magnetisierung der Elemente, die sie bilden. Diese Magnetspeicher mit Direktzugriff (Magnetic Random Access Memories – MRAM) weisen zahlreiche Vorteile auf: Schnelligkeit (Schreib- und Lesedauer von einigen Nanosekunden), Nichtflüchtigkeit, Abwesenheit von Ermüdung beim Lesen und beim Schreiben, Unempfindlichkeit gegenüber ionisierenden Strahlungen. Sie sind geeignet, vorerst die Flash-Speicher und langfristig die DRAM und SRAM zu ersetzen, um zu einem Universalspeicher zu werden.
  • In den ersten Magnetspeichern wurde der Speicherpunkt aus einem Element mit riesiger magnetischer Widerstandsänderung gebildet, das aus einem Stapel von mehreren metallischen, abwechselnd magnetischen und nicht-magnetischen Schichten ausgebildet wurde. Eine ausführliche Beschreibung dieses Strukturentyps lässt sich in den Dokumenten US-A-4 949 039 und US-A-5 159 513 für die Grundstrukturen und in dem Dokument US-A-5 343 422 für die Ausführung eines RAM-Speichers ausgehend von diesen Grundstrukturen finden. Dieser Speichertyp ermöglicht seitens seiner Architektur die Ausführung von nicht-flüchtigen Speichern mit einer einfachen Technologie, aber begrenzter Kapazität. Tatsächlich begrenzt die Tatsache, dass die Speicherelemente entlang jeder Leitung in Reihe geschaltet sind, die Integrationsmöglichkeit, da das Signal immer schwächer wird, wenn sich die Anzahl der Elemente erhöht.
  • Die vielversprechendsten Strukturen verwenden für jeden Speicherpunkt einen magnetischen Tunnelübergang, der im folgenden als Magnetic Tunnel Junction – MTJ bezeichnet wird, und setzen sich in ihrer einfachsten Form aus zwei magnetischen Schichten mit unterschiedlicher Koerzitivkraft zusammen, die durch eine dünne Isolierschicht getrennt sind. Eine Beschreibung dieser Strukturen ist in der Veröffentlichung Physics Letters angegeben, Band 54A (1975), Seite 225, oder in neuerer Zeit in den Veröffentlichungen Journal of Magnetism and Magnetic Materials, Band 139 (1995), Seite L139, und Physical Review Letters, Band 74 (1995), Seite 3273. Die Verwendung dieser Strukturen für die Herstellung von MRAM ist erstmals in dem Dokument US-A-5 640 343 beschrieben worden.
  • Die vorerst vielversprechendste Architektur scheint diejenige zu sein, die im Dokument US-A-6 021 065 und in der Veröffentlichung Journal of Applied Physics, Band 81 (1997), Seite 3758 beschrieben ist, und deren Prinzip schematisch in 1 dargestellt ist. Wie in Figur zu sehen ist, wird jedes Speicherelement bzw. jeder Speicherpunkt (10) aus der Verbindung eines CMOS-Transistors (12) und einem MTJ-Übergang (11) gebildet. Der Übergang (11) umfasst wenigstens eine magnetische Schicht (20), die als freie Schicht bezeichnet wird, eine dünne Isolierschicht (21) und eine magnetische Schicht (22), die als verriegelte Schicht bezeichnet wird. Vorzugsweise, jedoch nicht einschränkend, werden die zwei magnetischen Schichten auf Basis von 3d-Metallen (Fe, Co, Ni) und ihren Legierungen ausgeführt, und die Isolierschicht besteht aus Aluminiumoxid (Al2O3). Vorzugsweise ist die magnetische Schicht (22) an eine antiferromagnetische Schicht (23) gekoppelt, deren Funktion darin besteht, die Schicht (22) zu verriegeln, damit ihre Magnetisierung während des Schreibens nicht kippt. Vorzugsweise kann auch die Schicht (22) selbst aus mehreren Schichten ausgebildet sein, wie dies zum Beispiel das Dokument US-A-5 583 725 beschreibt, um eine Schicht zu bilden, die als antiferromagnetisch synthetisch bezeichnet wird. Alle diese sowie weitere Varianten sind dem Fachmann bekannt.
  • Die Architektur umfasst des Weiteren drei Leitungsebenen. Die zwei Leitungsebenen (14) (Wortleitung) und (15) (Bitleitung), die im allgemeinen im Verhältnis von 90° zueinander angeordnet sind, sind dazu bestimmt, die elektrischen Impulse weiterzuleiten, die geeignet sind, ein Magnetfeld zu erzeugen, das die Umschaltung der Magnetisierung der Schicht (20) während des Schreibprozesses ermöglicht. Diese Feldimpulse werden erzeugt, indem kurze Stromimpulse (typischerweise 2 bis 5 Nanosekunden) mit einer Stärke in der Größenordnung von 10 mA die Leitungen (14) und (15) entlang geschickt werden. Die Stärke dieser Impulse und ihre Synchronisation werden so eingestellt, dass sich nur die Magnetisierung des Speicherpunkts, der sich an der Kreuzung dieser zwei Leitungen befindet, umkehrt. Eine Ebene einer zusätzlichen Leitung (16) (Steuerleitung) ist dazu bestimmt, das Öffnen oder das Schließen des Kanals der Transistoren (12) zu steuern, um jedes Speicherelement einzeln ansprechen zu können. Die Transistoren (12) werden als Schalter verwendet.
  • Im Schreibmodus befindet sich der gewählte Transistor (12) im blockierten oder OFF-Modus, es fließt kein Strom hindurch. In die zwei Leitungen (14) und (15), die dem gewählten Speicherpunkt (10) entsprechen, wird ein Stromimpuls I geschickt. Die Amplitude des Stromimpulses I ist derart, dass das erzeugte Magnetfeld nicht ausreichend ist, um die Speicherstellen auf den Leitungen kippen zu lassen, ausgenommen an der Schnittstelle der Leitungen (14) und (15), wo der gemeinsame Anteil der zwei Leitungen ausreichend ist, um die Magnetisierung der Schicht (20) des Speicherpunkts kippen zu lassen.
  • Im Lesemodus befindet sich der Transistor (12) im gesättigten oder ON-Modus, wenn ein positiver Stromimpuls in seine Basis durch die Steuerleitung (16) geschickt wird, wobei der Strom, der ihn durchfließt, maximal ist. Anschließend wird ein Messstrom in die Leitung (14) geschickt, der nur den Speicherpunkt durchqueren kann, für den sich der Transistor (12) in der ON-Position befindet. Über diesen Strom wird eine Messung des Widerstands des Übergangs (11) des gewählten Speicherpunkts (10) vorgenommen. Durch Vergleich mit einem Referenz-Speicherpunkt, der hier nicht beschrieben wird, wird somit der entsprechende Zustand (1 oder 0) des Speicherpunkts (10) ermittelt.
  • Aus der Beschreibung des Schreibmechanismus dieser Speicherpunkte werden die Grenzen dieser Architektur deutlich:
    • – Das Schreiben, das durch ein externes Magnetfeld sichergestellt wird, wird dem Wert des einzelnen Umkehrfelds jedes Speicherpunkts unterworfen. Wenn die Verteilfunktion der Umkehrfelder für die Gesamtheit der Speicherpunkte groß ist, (tatsächlich ist sie nicht gleichförmig aufgrund der Konstruktionsspannungen), ist es notwendig, dass das Magnetfeld auf dem gewählten Speicherpunkt größer als das höchste Umkehrfeld der Verteilung ist, auf die Gefahr hin, dass gewisse Speicherpunkte, die sich auf der Leitung und/oder dem entsprechenden Feld befinden, unbeabsichtigt gekippt werden, deren Umkehrfeld, das in dem unteren Teil der Verteilung liegt, schwächer als das Magnetfeld ist, das allein von der Leitung oder dem Feld generiert wird. Umgekehrt, wenn sichergestellt werden soll, dass kein Speicherpunkt allein durch eine Leitung oder ein Feld beschrieben wird, muss der Schreibstrom so begrenzt werden, dass er für diese Speicherpunkte das Magnetfeld nie überschreitet, das dem unteren Teil der Verteilung entspricht, auf die Gefahr hin, den gewählten Speicherpunkt an der Schnittstelle der Leitungen und Felder zu beschreiben, wenn sich sein Umkehrfeld in dem oberen Teil der Verteilung befindet. Mit anderen Worten, diese Architektur des Auswählens durch das Magnetfeld mittels der Leitungen und Felder der Leiter kann leicht zu Adressierungsfehlern beim Schreiben führen. In Anbetracht dessen, dass erwartet wird, dass die Verteilfunktion der Umkehrfelder der Speicherpunkte um so größer ist, je kleiner ihre Dimension ist, weil dies die Geometrie der Speicherpunkte ist, (Form, Unregelmäßigkeiten, Defekte), welche die Umkehr der Magnetisierung dominiert, kann sich dieser Effekt in der Entwicklung künftiger Produkte nur verschlechtern.
    • – Außerdem ermöglicht dieser Schreibmodus nur das Beschreiben von jeweils einem einzigen Speicherpunkt, um die Gefahr eines Adressierungsfehlers zu minimieren.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht genau darin, diesen Einschränkungen abzuhelfen.
  • KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung betrifft einen Magnetspeicher des Typs MTJ, der die Adressierungsfehler minimiert, indem beim Schreiben die Speicherpunkte gesperrt werden, die nicht beschrieben werden sollen. Dazu schlägt sie vor, die üblichen ferromagnetischen Schichten (20, 22) des Typs, der unter Bezugnahme auf 1 als auf Basis von 3d-Metallen (Fe, Co, Ni) und ihren Legierungen beschrieben wurden, durch amorphe ferrimagnetische Legierungen (AAF) zu ersetzen.
  • Sie schlägt daher einen Magnetspeicher vor, bei dem jeder Speicherpunkt aus einem magnetischen Tunnelübergang gebildet wird, der folgendes umfasst:
    • – eine magnetische Schicht, die als verriegelte Schicht bezeichnet wird, deren Magnetisierung starr ist,
    • – eine magnetische Schicht, die als freie Schicht bezeichnet wird, deren Magnetisierung invertiert werden kann,
    • – eine Isolierschicht, die zwischen der freien Schicht und der verriegelten Schicht angeordnet ist und sich jeweils mit diesen zwei Schichten in Kontakt befindet.
  • Erfindungsgemäß wird die freie Schicht aus einer amorphen oder nanokristallisierten Legierung auf Basis von seltener Erde und einem Übergangsmetall ausgeführt, wobei die magnetische Ordnung der Legierung von ferrimagnetischem Typ ist, und die Betriebstemperatur des Speichers so gewählt wird, dass sie nahe an der Ausgleichstemperatur der Legierung liegt.
  • Die Ausgleichstemperatur wird als diejenige Temperatur definiert, bei der die jeweiligen Magnetisierungen des Unternetzes der Atome der seltenen Erden und des Unternetzes der Übergangsmetalle, die in die Verbindung der AAF einfließen, vollkommen kompensiert werden, das heißt, dass sie in der Amplitude gleich und im Vorzeichen entgegengesetzt sind, weshalb die sich daraus ergebende makroskopische Magnetisierung Null ist.
  • Jeder der Speicherpunkte ist auf der Schnittstelle eines Gitters von elektrischen Leitern, vorzugsweise von gekreuzten Leitern, positioniert und an seiner Basis mit einem Auswähl-Transistor und an dem oberen Teil mit einem der gekreuzten Leiter verbunden.
  • In einer ersten Ausführungsform der Erfindung wird das Schreiben auf der Ebene eines betrachteten Speicherpunkts ausgeführt, indem gleichzeitig elektrische Stromimpulse in die gekreuzten Leiter geschickt werden, um ein Schreib-Magnetfeld auf dem zu beschreibenden Speicherpunkt und einen Heizstrom über den Transistor zu generieren.
  • Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung wird das Schreiben ausgeführt, indem Stromimpulse in die gekreuzten Leiter geschickt werden, die dem zu beschreibenden Speicherpunkt entsprechen, und indem die Speicherpunkte (zu sperrende Speicherpunkte), deren Beschreiben man über die entsprechenden Transistoren zu vermeiden wünscht, erwärmt werden, wobei der Erwärmungsstrom so ausgewählt wird, dass die Temperatur der zu sperrenden Speicherpunkte höher als die Ausgleichstemperatur der ferrimagnetischen Legierung wird, welche die freie Schicht der Speicherpunkte bildet, wobei die zu sperrenden Speicherpunkte somit eine Magnetisierung ihrer freien Schicht aufweisen, die in der gleichen Richtung ausgerichtet ist wie diejenige der freien Schicht des zu beschreibenden Speicherpunkts.
  • Die Weise, in der die Erfindung ausgeführt werden kann, und die Vorteile, die sich daraus ergeben, gehen besser aus den folgenden Ausführungsbeispielen hervor, die beispielhaft und nicht einschränkend mit Hilfe der Figuren im Anhang angegeben sind.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • 1 wurde bereits beschrieben und ist eine schematische Darstellung der Architektur eines Magnetspeichers des bisherigen Stands der Technik, dessen Speicherpunkte von einem MTJ gebildet werden.
  • 2a ist eine schematische Darstellung der Magnetisierung einer AAF.
  • 2b ist eine Kurve, welche die Veränderung der Magnetisierung einer AAF in Abhängigkeit von der Temperatur darstellt.
  • 3 ist eine schematische Darstellung eines Magnetspeichers in Übereinstimmung mit einer ersten Ausführungsform der Erfindung.
  • 4 ist eine repräsentative Kurve der Veränderung des Magnetumkehrfelds der freien AAF-Schicht eines MTJ des erfindungsgemäßen Speichers in Abhängigkeit von der Temperatur.
  • 5a bis 5d veranschaulichen die Funktionsweise des Magnetspeichers gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung.
  • 6a bis 6c veranschaulichen die Funktionsweise der Sperrung eines Speicherpunkts, welcher der Konfiguration der 5d entspricht.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Wie oben kurz nochmals erwähnt, beruht der Betrieb des Speichers in Übereinstimmung mit der Erfindung auf der Ausführung einer Erwärmungsphase der freien AAF-Schicht des MTJ der Speicherpunkte, die ihn ausbilden. Die Referenz zu dieser Temperaturerhöhung wird durch die Temperatur gebildet, die als Ausgleichstemperatur bezeichnet wird. Zunächst wird also schnell dieses Phänomen ausführlich beschrieben.
  • Wie daher in 2a zu beobachten ist, kann die makroskopische Magnetisierung (50) einer Schicht (55) einer AAF in zwei Anteile zerlegt werden, einen Anteil, der auf das Unternetz der Atome von seltener Erde (51) zurückzuführen ist, und einen Anteil, der auf das Unternetz der Atome von Übergangsmetall (52) zurückzuführen ist. Schematisch ergibt sich die makroskopische Magnetisierung (50) aus der vektoriellen Summe der Magnetisierung der zwei Unternetze (51) und (52).
  • Außerdem sind die Magnetisierungen des Unternetzes von seltener Erde (51) und des Unternetzes des Übergangsmetalls (52) untereinander stark gekoppelt, was zu einem gemeinsamen Verhalten während der Umkehrung der makroskopischen Magnetisierung (50) oder der Neuausrichtung durch eine selektive Erregung von einem der Unternetze (51) und (52) führt.
  • Des Weiteren, wenn die chemische Natur und relative Zusammensetzung der seltenen Erde und des Übergangsmetalls sinnvoll ausgewählt werden, ist die magnetische Ordnung von ferrimagnetischem Typ, das heißt, dass sich die Magnetisierung des Unternetzes der Atome von seltener Erde (51) in eine Richtung richtet, während sich die Magnetisierung des Unternetzes der Atome von Übergangsmetall (52) in die entgegengesetzte Richtung richtet. Wie in 2a zu sehen ist, wenn der absolute Wert der Magnetisierungen (51) und (52) der zwei Unternetze nicht gleich ist, ist das makroskopische Magnetmoment (50) der Gesamtheit der AAF nicht Null.
  • Außerdem, wie in 2b zu sehen ist, sind die Temperaturänderungen der Magnetisierungen (51) des Unternetzes der seltenen Erde und (52) des Übergangsmetalls sehr unterschiedlich, was zu einer temperaturabhängigen Änderung der relativen Bedeutung des Beitrags der zwei Unternetze zu der sich daraus ergebenden makroskopischen Magnetisierung führt. In der Regel nimmt die Magnetisierung des Unternetzes von seltener Erde (51) schneller ab als die Magnetisierung des Unternetzes von Übergangsmetall (52). Wenn die chemische Natur und die relative Zusammensetzung der seltenen Erde und des Übergangsmetalls sinnvoll ausgewählt werden, damit die Magnetisierungen (51) und (52) der zwei Unternetze antiparallel sind, ist eine Temperatur vorhanden, die als Ausgleichstemperatur (53) bezeichnet wird, bei der diese zwei Magnetisierungen vollkommen ausgeglichen sind, das heißt, dass sie in der Amplitude gleich und im Vorzeichen entgegengesetzt sind, weshalb die sich daraus ergebende makroskopische Magnetisierung (50) Null ist. Unterhalb der Ausgleichstemperatur dominiert das Unternetz von seltener Erde (51) und definiert die Richtung der makroskopischen Magnetisierung (50). Oberhalb der Ausgleichstemperatur dominiert das Unternetz von Übergangsmetall (52) und bestimmt die Richtung der makroskopischen Magnetisierung (50).
  • Außerdem divergiert das Koerzitivfeld bei der Ausgleichstemperatur (53) und strebt gegen unendlich (siehe 4). Zu beiden Seiten der Ausgleichstemperatur nimmt das Koerzitivfeld umso schneller ab, je näher sich die Temperatur an der Ausgleichstemperatur (53) befindet.
  • Außerdem sind die Elektronen, die zu der Magnetisierung des Unternetzes von Übergangsmetall (52) beitragen, hauptsächlich die Leitungselektronen (Elektronen 3d), das heißt, die Elektronen, die an der Weiterleitung des elektrischen Stroms beteiligt sind. Dagegen sind die Elektronen, die für die Magnetisierung des Unternetzes von seltener Erde (51) zuständig sind, die Elektronen auf Kernebene (Elektronen 4f), die von den anderen Elektronen des Systems eingegrenzt und abgeschirmt werden.
  • Schließlich können die intrinsischen Eigenschaften dieser AAF (makroskopische Magnetisierung, magnetische Anisotropie, Koerzitivfeld) sehr leicht über die chemische Natur der eingesetzten Elemente und ihre jeweiligen Konzentrationen gesteuert werden. Zu diesem Zweck können ebenfalls geringe Mengen von Substitutionselementen, im allgemeinen Übergangsme talle, hitzebeständige Metalle oder seltene Erden hinzugefügt werden, zum Beispiel, aber nicht einschränkend Ta, Mo, Nb, Zr, Pt, Dy und Sm.
  • Unter den in der vorliegenden Erfindung in Betracht gezogenen AAF findet sich vorzugsweise, aber nicht einschränkend, die amorphe Legierung von Gadolinium (Gd) und Kobalt (Co), die eine ferrimagnetische Ordnung, eine schwache magnetokristalline Anisotropie und, wenn die Zusammensetzung sinnvoll ausgewählt worden ist, eine Ausgleichstemperatur vereinigt, die der Betriebstemperatur des Speichers nahe ist, beispielsweise Gd25Co75.
  • Wie in 3 zu sehen ist, wird der Speicherpunkt eines Magnetspeichers in Übereinstimmung mit der Erfindung aus einem MTJ (70) des AAF-Typs ausgebildet, der eine magnetische Schicht (71), deren Magnetisierung verriegelt ist, eine Isolierschicht (72), die aus Aluminiumoxid ausgeführt ist, und eine AAF-Legierungsschicht (73) umfasst, deren Magnetisierung umgekehrt werden soll, um den Speicherpunkt (70) zu beschreiben. Zwei Stromzuleitungen (74) und (75) kreuzen sich lotrecht über dem Speicherpunkt. Die Leitung des oberen Leiters (74) befindet sich mit dem MTJ (70) in Kontakt. Die Leitung des unteren Leiters (75) ist elektrisch von dem MTJ isoliert. Ein Steuertransistor (76) und seine Steuerleitung (77) sind unter und in Kontakt mit dem Speicherpunkt (70) positioniert. Dies alles gleicht dem bisherigen Stand der Technik, mit Ausnahme der chemischen Natur der Schichten (71) und (73).
  • Vorteilhafterweise kann eine Schicht mit starker Koerzitivität, zum Beispiel eine Legierung auf Co-Basis oder eine antiferromagnetische Schicht, beispielsweise eine (nicht dargestellte) geordnete PtMn-Legierung, auf der Schicht (71) aufgebracht werden, um ihre Magnetisierung zu blockieren.
  • Vorteilhafterweise kann die magnetische Schicht (71) aus einer AAF-Legierung ausgebildet werden, die mit der Schicht (73) identisch oder von dieser verschieden ist, deren Umkehrfeld groß ist, zum Beispiel einer Legierung auf Basis von Samarium und Kobalt, oder auch einer amorphen Legierung auf Basis von Terbium und Kobalt.
  • Ein Speicherpunkt in Übereinstimmung mit der Erfindung funktioniert auf folgende Weise, was in Bezug auf 4 dargestellt ist:
    Die Betriebstemperatur (56) des Speichers wird in der Nähe der Ausgleichstemperatur (53) der Schicht (73) gewählt, um große Umkehrfelder der Speicherpunkte zu garantieren, da dieses bei der Ausgleichstemperatur (53) divergiert. Vorteilhafterweise ist die Ausgleichstemperatur der Schicht (73) geringfügig niedriger als die Betriebstemperatur des Speichers.
  • Beim Schreiben durch einen Impuls in der Leitung (77) öffnet man den Steuertransistor (76), der dem ausgewählten Speicherpunkt (70) entspricht. Der Strom, der in den Speicherpunkt gelangt, wird ausreichend gewählt, um diesen letzteren auf eine weit über der Ausgleichstemperatur (53) liegende Temperatur (57) zu erwärmen, wobei die Erwärmung durch den bedeutenden spezifischen Widerstand der AAF-Legierungen erleichtert wird, die in der Schicht (73) verwendet werden. Mit dieser Erwärmung des Speicherpunkts (70) ist ein sprunghafter Abfall des Umkehrfelds der Schicht (73) verbunden, weil sich dieses sehr schnell in der Nähe der Ausgleichstemperatur ändert. Man schickt dann in die Erregerleitungen (74) und (75) einen Stromimpuls mit einem derartigen Vorzeichen, daß er die Umkehrung der Magnetisierung der Schicht (73) ermöglicht. Sobald die Magnetisierung der Schicht (73) durch den Stromimpuls in den Leitungen (74) und (75) umgekehrt worden ist, wird der Heizstrom in der Leitung (77) abgeschaltet, wodurch die Temperatur des Speicherpunkts (70) unter die Ausgleichstemperatur (53) zurückgeführt wird und die Stromimpulse in den Leitern (74) und (75) unterdrückt werden. Der Speicherpunkt wird beschrieben.
  • Beim Lesen ist das Verfahren identisch mit demjenigen, das in dem bisherigen Stand der Technik beschrieben worden ist, das heißt, ein Lesen des Widerstands des Speicherpunkts durch einen Strom mit niedriger Amplitude in der Leitung (77), wobei dieser Widerstand mit demjenigen einer Referenz-Zelle verglichen wird, die in 3 nicht beschrieben ist.
  • Man versteht das Interessante an dieser Architektur, wenn in Betracht gezogen wird, daß das Umkehrfeld sich mit der Temperatur in der Nähe der Ausgleichstemperatur (53) enorm verändert. Infolgedessen ist es möglich, das Umkehrfeld des ausgewählten Speicherpunkts auf Werte zu senken, die weit unter denjenigen der anderen Speicherpunkte des Gitters liegen. Insbesondere kann das Umkehrfeld des gewählten Speicherpunkts unter der unteren Grenze der Umkehrfeldverteilung der Gesamtheit des Speichers erhalten werden. Die Amplitude des Stromimpulses ist daher ausreichend, um die Magnetisierung des Speicherpunkts umzukehren, aber nicht, um die Magnetisierung der nicht ausgewählten Speicherpunkte umzukehren, deren Temperatur nahe an der Betriebstemperatur bleibt, und dies ohne Rücksicht auf den Wert des Umkehrfelds in der Verteilung des Umkehrfelds der Gesamtheit der Speicherpunkte des Gitters. Somit wird die Selektivität beim Schreiben stark erhöht, was die Beseitigung der Adressierungsfehler zur Folge hat, die im bisherigen Stand der Technik beobachtet worden sind.
  • Die Ausnutzung einer Erwärmung zum Begünstigen der Auswahl eines Speicherpunkts ist bei den MTJ auf Basis von 3d-Metallen wie beim Stand der Technik ebenfalls möglich, aber die viel langsamere Veränderung des Umkehrfelds mit der Temperatur in diesen Legierungen zwingt zum Erwärmen auf viel höhere Temperaturen, was zu einem höheren Leistungsverbrauch und einer längeren Lesedauer führt.
  • Vorteilhafterweise kann der Heizstrom über ein externes Heizelement erhalten werden, das in 3 nicht dargestellt ist.
  • Vorteilhafterweise ermöglicht diese Adressierungstechnik das gleichzeitige Beschreiben von mehreren Speicherpunkten, indem die gleichzeitige Erwärmung mehrerer Speicherpunkte gewählt wird. Dieser Ansatz ermöglicht es, die globale Schreibgeschwindigkeit des Speichers zu erhöhen.
  • In einer verbesserten Variante der Erfindung wird die Auswahl bei der Adressierung erhalten, indem die Speicherpunkte, die man nicht beschreiben möchte, durch eine Erwärmung gesperrt werden, die identisch mit derjenigen ist, die für den ausgewählten Punkt in der vorher beschriebenen Ausführungsform verwendet wird. In diesem Fall, wie in 5 zu sehen, wählt man die chemische Natur und die Zusammensetzung der Schicht (73) so, daß bei der Betriebstemperatur im Ruhezustand des Speichers das Magnetmoment des Unternetzes der Atome von seltener Erde (81) größer als das Magnetmoment des Unternetzes der Atome von Übergangsmetall (82) ist. Infolgedessen richtet sich die makroskopische Magnetisierung (80) der Schicht (73) in die gleiche Richtung wie die Magnetisierung des Unternetzes (81). Außerdem wird die Betriebstemperatur im Ruhezustand des Speichers unter der Ausgleichstemperatur (53) der Schicht (73) ausgewählt. Der Schreibprozeß ist dann wie folgt:
    Man schickt über die Leiter (74) und (75) einen Strom mit einer derartigen Amplitude, daß das Magnetfeld (88), das an der Schnittstelle der Leiter erzeugt wird, die dem zu beschreibenden Speicherpunkt entspricht, ein Vorzeichen besitzt, das der Magnetisierung im Ruhezustand des zu beschreibenden Speicherpunkts (90) entgegengesetzt ist, von dem nur die umzukehrenden Schicht (73) in 5b dargestellt ist. Die Amplitude des so erzeugten Schreib-Magnetfelds (88) liegt weit über dem Umkehrfeld des ausgewählten Speicherpunkts (90), um sein Beschreiben ohne Fehler ohne Rücksicht auf die Verteilung des Umkehrfelds des Speicherpunktgitters sicherzustellen.
  • Gleichzeitig werden die anderen Speicherpunkte, die man nicht beschreiben möchte, gemäß dem folgenden Verfahren gesperrt: Wenn der Speicherpunkt (91), der einen der zu sperrenden Speicherpunkte bildet, von dem nur die Schicht (73) in 5c dargestellt ist, eine makroskopische Magnetisierung (80) in der Richtung besitzt, die der Magnetisierung des zu beschreibenden Speicherpunkts (90) entgegengesetzt ist, verläuft das Magnetfeld (88) notwendigerweise in der gleichen Richtung wie die Magnetisierung (80) des Speicherpunkts (91), ist also ein stabilisierendes Feld. Infolgedessen wird der Zustand des Speicherpunkts (91) nicht beeinträchtigt, ungeachtet der Amplitude des angelegten Magnetfelds (88).
  • Wenn der Speicherpunkt (92), der ebenfalls einen der zu sperrenden Speicherpunkte bildet, von dem nur die Schicht (73) in 5d dargestellt ist, eine makroskopische Magnetisierung (80) in der gleichen Richtung wie der zu beschreibende Speicherpunkt (90) besitzt, verläuft das Magnetfeld (88) entgegengesetzt zu der Magnetisierung (80) im Ruhezustand, es besteht also die Gefahr eines fehlerhaften Schreibens. Man sperrt dann das Beschreiben des Speicherpunkts (92) durch das folgende Verfahren: Wie in 6a zu sehen ist, wo nur die Schicht (73) des Speicherpunkts (92) dargestellt ist, erwärmt man ausgehend von der Temperatur im Ruhezustand (100) des Speicherpunkts unterhalb der Ausgleichstemperatur (83), wobei vor dem Schicken von Stromimpulsen in die Leitungen (74) und (75) das Öffnen des Transistors (76), der dem Speicherpunkt (92) entspricht, durch Schicken eines Stromimpulses in die entsprechende Leitung (77) gesteuert wird, den Speicherpunkt (92) auf eine Temperatur (101) über der Ausgleichstemperatur (83) der entsprechenden Schicht (73). Aufgrund der spezifischen Eigenschaften der AAF-Legierungen hat das Überschreiten der Ausgleichstemperatur (83) zur Folge, daß die makroskopische Magnetisierung (80) des Speicherpunkts (92) umgekehrt wird, da die relativen Anteile der Magnetisierung des Unternetzes der Atome von seltener Erde (81) und der Magnetisierung des Unternetzes der Atome von Übergangsmetall (82) sich invertieren. Durch diese Erwärmungsprozedur verläuft die makroskopische Magnetisierung (80) des zu sperrenden Speicherpunkts (92) jetzt in der entgegengesetzten Richtung zu derjenigen, die sie vor der Erwärmung hatte, und das Schreib-Magnetfeld (88), das durch die Leiter (74) und (75) generiert wird, ist jetzt ein stabilisierendes Feld: die Magnetisierung des Speicherpunkts wird nicht umgekehrt. Wenn das Beschreiben des ausgewählten Speicherpunkts (90) beendet ist, stoppt man zunächst das Schreibfeld (88), indem der Strom in den Leitern (74) und (75) abgeschaltet wird, dann wird die Erwärmung des zu sperrenden Speicherpunkts (92) abgestellt. Die entsprechende Schicht (73) kühlt sich auf unterhalb ihrer Ausgleichstemperatur ab und kehrt in ihren anfänglichen Magnetisierungszustand auf die Temperatur (102) unterhalb der Ausgleichstemperatur (83) zurück, wie in 6c zu sehen ist, in der nur die Schicht (73) dargestellt ist. Somit wird durch diese Prozedur das Beschreiben des Speicherpunkts (92) gesperrt, obwohl die Richtung und die Amplitude des Schreibfelds (88) einem Schreibfeld entsprochen haben.
  • Das Interessante an dieser Sperrtechnik besteht darin, alle potentiellen Adressierungsfehler zu eliminieren, da das Schreibfeld ein Feld ist, das über alle Speicherpunkte ohne Rücksicht auf ihren Magnetisierungszustand im Ruhezustand stabilisierend ist, ausgenommen über dem ausgewählten Speicherpunkt, für den es weit über dem durchschnittlichen Umkehrfeld liegen kann. Die Adressierungsfehler sind daher unmöglich.
  • Vorteilhafterweise ermöglicht diese Adressierungstechnik durch Sperren ebenfalls das gleichzeitige Beschreiben von mehreren Speicherpunkten, weil die Auswahl durch die Sperrung der anderen Speicherpunkte ausgeführt wird. Der Schreibprozess kann vorteilhafterweise auf zwei Stufen reduziert werden: das gleichzeitige Beschreiben der Gesamtheit der Speicherpunkte in einer vorgegebenen Richtung, indem alle entsprechenden Leiter gesättigt und die Speicherpunkte in der entgegengesetzten Richtung gesperrt werden, und das gleichzeitige Beschreiben der Gesamtheit der Speicherpunkte in der anderen Richtung, indem die Auswahlen für das Schreiben, (ebenso wie für das Vorzeichen des Schreibstroms), und für das Erwärmen invertiert werden. Über diesen Ansatz maximiert man die globale Schreibgeschwindigkeit des Speichers.
  • Vorteilhafterweise kann der Heizstrom über ein externes Heizelement erhalten werden, das in 3 nicht dargestellt ist.
  • Vorteilhafterweise verwendet die Struktur des Speichers nur einen einzigen Erregerleiter, und da die Amplitude des Schreibfelds (88) nicht mehr das Auswahlkriterium des zu beschreibenden Speicherpunkts ist, ist es nicht mehr notwendig, zwei gekreuzte Leiter zu verwenden, nur um den zu beschreibenden Speicherpunkt an ihrer Schnittstelle auszuwählen. In diesem Fall wird der Speicher aus einem einzigen (oberen) Felderregerleiter (74) und einem (unteren) Steuerleiter (77) der Heiztransistoren gebildet. Diese Architektur ermöglicht es, den unteren Erregerleiter (75) wegzulassen, wodurch es ermöglicht wird, die Dimension der elementaren Zelle zu minimieren, da die Transistor-Steuerleitung (77) in Bezug auf den Speicherpunkt (70) nicht mehr verschoben werden muß, um das Hindurchführen der unteren Stromleitung (75) zu ermöglichen. Die Integrationsmöglichkeiten werden dadurch tatsächlich erweitert und die Herstellungsverfahren vereinfacht.

Claims (18)

  1. Magnetspeicher, bei dem jeder Speicherpunkt aus einem magnetischen Tunnelübergang (70) gebildet ist, mit folgenden Merkmalen: • eine sogenannte verriegelte Magnetschicht (71) mit einer starren Magnetisierung, • eine sogenannte freie Magnetschicht (73) mit einer Magnetisierung, die invertiert werden kann, • eine Isolationsschicht (72), die zwischen der freien Schicht (73) und der verriegelten Schicht (71) liegt und jeweils mit diesen beiden Schichten in Kontakt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die freie Schicht (73) aus einer amorphen oder nanokristallinen Legierung auf der Basis einer Seltenerde und eines Übergangsmetalls hergestellt ist, wobei die magnetische Ordnung dieser Legierung ferrimagnetisch ist, und daß der Magnetspeicher Mittel (76) aufweist, die zum Auswählen der Betriebstemperatur des Speichers nahe der Ausgleichstemperatur der Legierung geeignet sind.
  2. Magnetspeicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die freie Schicht (73) aus einer Gadolinium- und Kobaltlegierung hergestellt ist.
  3. Magnetspeicher nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die freie Schicht (73) ferner eine geringe Menge eines oder mehrerer Ersatzelemente aufweist.
  4. Magnetspeicher nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ersatzelemente aus einer Gruppe ausgewählt sind, die zum Beispiel Zr, Ta, Mo, Nb, Dy, Sm, Pt umfaßt.
  5. Magnetspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die verriegelte Schicht (71) aus einer amorphen Legierung auf der Basis einer Seltenerde und eines Übergangsmaterials hergestellt ist, welche zu der die freie Schicht (73) bildenden identisch ist oder sich von dieser unterscheidet, wobei die magnetische Ordnung der Legierung ferrimagnetisch ist.
  6. Magnetspeicher nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die verriegelte Schicht (71) aus einer amorphen Legierung auf der Basis von Terbium und Kobalt hergestellt ist.
  7. Magnetspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die verriegelte Schicht (71) aus einer amorphen Legierung auf der Grundlage einer Seltenerde und eines Übergangsmaterials hergestellt ist, wobei die magnetische Ordnung der Legierung ferromagnetisch ist.
  8. Magnetspeicher nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die verriegelte Schicht (71) aus einer Samarium- und Kobaltlegierung hergestellt ist.
  9. Magnetspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Speicherpunkte an der Schnittstelle eines Gitters aus elektrischen Leitern (74, 75) liegt, wobei der untere Leiter (75) gegenüber den Speicherpunkten elektrisch isoliert ist und jeder der Speicherpunkte mit seiner Basis mit einem Auswahltransistor (76) verbunden ist, wobei das Schreiben bei einem betrachteten Speicherpunkt durch das gleichzeitige Senden von elektrischen Stromimpulsen in die Leiter (74, 75) und eines Heizstroms über den Transistor (76) erfolgt.
  10. Magnetspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des Speicherpunkts beim Schreiben auf einen Wert gebracht wird, der größer ist als die Ausgleichstemperatur (53) der freien Schicht (73), welche ihn bildet.
  11. Magnetspeicher mit wahlfreiem Zugriff nach einem der Ansprüche 1 bis 10.
  12. Verfahren zum Schreiben in einen Magnetspeicher nach Anspruch 1, wobei jeder Speicherpunkt an der Schnittstelle eines Gitters aus elektrischen Leitern (74, 75) liegt, wobei der untere Leiter (75) gegenüber den Speicherpunkten elektrisch isoliert ist und jeder Speicherpunkt mit seiner Basis mit einem Auswahltransistor (76) verbunden ist, gekennzeichnet durch die folgenden Verfahrensschritte • Auswählen der Betriebstemperatur des Speichers nahe bei der Ausgleichstemperatur der Legierung; und • gleichzeitiges Senden, auf Höhe des zu beschreibenden Speicherpunktes, elektrischer Stromimpulse in die entsprechenden Leiter (74, 75) und eines Heizstroms über den betrachteten Transistor (76).
  13. Verfahren zum Schreiben in einen Magnetspeicher nach Anspruch 1, wobei jeder der Speicherpunkte an der Schnittstelle eines Gitters aus elektrischen Leitern (74, 75) liegt, wobei der untere Leiter (75) gegenüber den Speicherpunkten elektrisch isoliert ist und jeder der Speicherpunkte mit seiner Basis mit einem Auswahltransistor (76) verbunden ist, gekennzeichnet durch die folgenden Verfahrensschritte: • Auswählen der Betriebstemperatur des Speichers nahe bei der Ausgleichstemperatur der Legierung; und • gleichzeitiges Senden, auf Höhe der zu beschreibenden Speicherpunkte, elektrischer Stromimpulse in die entsprechenden Leiter (74, 75) und, auf Höhe der zu sperrenden Speicherpunkte, wobei die zu sperrenden (92) Speicherpunkte eine Magnetisierung (80) ihrer freien Schicht (73) aufweisen, die entlang derselben Richtung orientiert ist wie die der freien Schicht der zu beschreibenden Speicherpunkte (90), eines Heizstroms durch Öffnen der entsprechenden Transistoren (76), welche mit den zu sperrenden Speicherpunkten verbunden sind, wobei der Heizstrom so gewählt wird, daß die Temperatur der zu sperrenden Speicherpunkte höher wird als die Ausgleichstemperatur der ferrimagnetischen Legierung, welche die freie Schicht (73) der Speicherpunkte bildet.
  14. Verfahren zum Schreiben in einen Magnetspeicher nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß ein an den Speicherpunkt, welcher durch die durch die elektrischen Leiter (74, 75) gehenden elektrischen Stromimpulse beschrieben wird, angelegtes Magnetfeld eine wesentlich größere Amplitude hat als das individuelle magnetische Umkehrfeld der Magnetisierung der freien Schicht (73) des zu beschreibenden Speicherpunktes.
  15. Verfahren zum Schreiben in einen Magnetspeicher nach einem der Ansprüche 13 und 14, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Speicherpunkte gleichzeitig beschrieben werden.
  16. Verfahren zum Schreiben in einen Magnetspeicher, der in der Form einer Matrix ausgebildet ist, gemäß einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß einer der beiden Speicherzustände (Richtungen) des Speichers gleichzeitig in die Gesamtheit der Speicherpunkte geschrieben wird.
  17. Verfahren zum Schreiben in einen Magnetspeicher nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der gesamte Speicher in zwei Operationen beschrieben wird: • eine erste Operation, in der die Speicherpunkte in eine gegebene Richtung beschrieben werden, • eine zweite Operation, in der die Speicherpunkte in die andere Richtung beschrieben werden.
  18. Verfahren zum Schreiben in einen Magnetspeicher nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschreiben jedes der Speicherpunkte durch einen elektrischen Stromimpuls, welcher durch einen einzelnen Leiter geführt wird, erzielt wird.
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