DE60200343T2

DE60200343T2 - Fluidkontrollvorrichtung

Info

Publication number: DE60200343T2
Application number: DE60200343T
Authority: DE
Inventors: Michio Osaka-shi Yamaji; Tsutomu Osaka-shi Shinohara; Ichiro Osaka-shi Mine; Izuro Osaka-shi Shikata; Kenji Osaka-shi Tsubota
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2001-07-05
Filing date: 2002-07-01
Publication date: 2005-05-12
Anticipated expiration: 2022-07-02
Also published as: US6554020B2; JP2003021262A; KR20030005011A; EP1273839A1; EP1273839B1; US20030005959A1; DE60200343D1; TW591184B; KR100825845B1; JP4655423B2

Description

Hintergrund der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Fluidsteuervorrichtungen, die bei der Ausrüstung für die Halbleiterherstellung oder desgleichen, und im Besonderen Fluidsteuervorrichtungen, die erhitzt werden können.
Fluidsteuervorrichtungen für die Verwendung bei der Ausrüstung für die Halbleiterherstellung umfassen eine Mehrzahl von Reihen von verschiedenen Fluidsteuergeräten-, wobei die Fluidsteuergeräte von benachbarten Reihen durch Verbindungsmittel an bestimmten Positionen miteinander verbunden sind. Bei solchen Fluidsteuervorrichtungen wurden in den letzten Jahren Massendurchflußsteuerungen, Schaltventile usw. in eine Anordnung integriert, ohne Schläuche zu benutzen (siehe z.B., JP-A No. 9-29996/1997). Die 4 ist eine Draufsicht, die solch ein Beispiel zeigt. Die abgebildete Fluidsteuervorrichtung hat fünf Leitungen P1, P2, P3, P4 und P5, die keine Bypasskanäle haben, und drei Leitungen Q1, Q2, Q3, die Bypasskanäle haben, also im Ganzen acht Leitungen. Die Leitungen P1, P2, P3, P4 und P5, die keine Bypasskanäle haben, umfassen jeweils eine Massendurchflußsteuerung 91, ein Schaltventil 92, das an der Einlaßseite der Steuerung mit einem dazwischen eingeschobenen Filter 93 angebracht ist, und ein Schaltventil 94 an der Auslaßseite der Steuerung. Jede der Leitungen Q1, Q2, Q3, die einen Bypasskanal hat, umfaßt eine Massendurchflußsteuerung 91, zwei Schaltventile 95, 96, die an der Einlaßseite der Steuerung mit einem dazwischen angeordneten Filter 93 an gebracht sind, zwei Schaltventile 97, 98, die an der Auslaßseite der Steuerung angebracht sind, und ein Bypassrohr 99, welches ein Schaltventil 99a hat, um die Einlaßseitenkopplung der Steuerung 91 und deren Auslaßseitenkopplung miteinander zu verbinden. Die Fluidsteuervorrichtung wird durch Anbringung von Verbindungselementen (nicht gezeigt) wie Blockverbindungen mit Schrauben auf einer Grundplatte 100 und durch Montieren von Fluidsteuergeräten 91, 92, 93, 94, 95, 96, 97, 98, wie Massendurchflußsteuerungen, Filter, Schaltventile usw., an jeweils ein oder zwei von diesen Verbindungselementen montiert.
Andererseits offenbart die JP-A No. 10-246356/1998 eine Heizvorrichtung zur Verwendung mit einer solchen Fluidsteuervorrichtung, um die Kondensation und die Rückverflüssigung eines Gases, welches von einem Fluid umgewandelt wurde, das flüssig bei Raumtemperatur ist, zu verhindern. Die offenbarte Vorrichtung umfaßt ein Heizband, welches an mindestens einer der gegenüberliegenden Seiten der Leitung vorgesehen ist, und eine Mehrzahl von Klammern, wobei jede eine untere Wand hat, um an der Grundplatte mit Schrauben befestigt zu werden, und eine Seitenwand hat, um die Heizbänder in Kontakt mit jedem Fluidsteuergerät zu halten. Die untere Wand von jeder Klammer hat Schraubenlöcher, um die Klammern auf der Basisplatte an einer einstellbaren Position zu befestigen.
Die herkömmliche Heizvorrichtung hat den Vorteil, daß, selbst wenn die Fluidsteuervorrichtung von oben gesehen Vertiefungen und Vorsprünge hat, das Heizband entlang der Fluidsteuergeräte positioniert werden kann, um die Steuergeräte gleichmäßig zu erhitzen, ohne durch die Vertiefungen und Vorsprünge beeinflußt zu werden. Die Grundplatte benötigt jedoch Bereiche, um die unteren Wände der Klammern daran zu befestigen, so daß an der Grundplatte und entsprechend der Steuervorrichtung zur Verwendung der Heizvorrichtung ein vergrößerte Installationsbereich vorgesehen sein werden muß. Andererseits ist die Vergrößerung des Installationsbereiches nicht wünschenswert für die Integration der Fluidsteuervorrichtung. Die Installation der Heizvorrichtung bringt deswegen das Problem mit sich, daß die Vergrößerung des Installationsbereiches minimiert werden muß. Da die Leitungen in sehr kleinen Abständen angebracht sind, hat die eingebaute Fluidsteuervorrichtung weiter das Problem, daß die herkömmliche Heizvorrichtung auch das Problem hat, ein sehr umständliches Verfahren beim Befestigen wie beim Justieren der Klammern mit Schrauben auf der Grundplatte zu erfordern. Das Dokument EP 0863 348 offenbart eine Fluidsteuervorrichtung, die die in dem Oberbegriff von Anspruch 1 beschriebenen Merkmale umfaßt.
Zusammenfassung der Erfindung
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Fluidsteuervorrichtung zur Verfügung zu stellen, die mit einer Heizvorrichtung ausgestattet ist, wobei die Vorrichtung eine reduziere Vergrößerung des Installationsbe reiches für die bereitgestellte Heizvorrichtung erfordert.
Die vorliegende Erfindung stellt eine Fluidsteuervorrichtung zur Verfügung, welche eine Mehrzahl von Leitungen umfaßt, die parallel auf einem Grundelement angebracht sind, wobei jede der Leitungen eine Mehrzahl von Fluidsteuergeräten, die auf einem oberen Niveau angeordnet sind, und eine Mehrzahl von Blockverbindungselementen, die auf einem niedrigeren Niveau angeordnet sind, umfaßt. Die Fluidsteuervorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß ein Paar von Heizbändern auf jeweils gegenüberliegenden Seiten von mindestens einer der Leitungen angebracht ist und an den entsprechenden Verbindungselementen durch eine Mehrzahl von Klammern gehalten wird, wobei jede der Klammern ein sich gegenübergestelltes sowie mit einer vorbestimmten Distanz zueinander beabstandetes Paar von Seitenwänden und einen Verbindungssteg umfaßt, der das Paar von Seitenwänden im mittleren Bereich von dessen Höhe verbindet, so daß sich die unteren Bereiche der Seitenwände auseinander bewegen, wenn die oberen Bereiche der Seitenwände einer Kraft ausgesetzt werden, die bewirkt, daß die oberen Bereiche sich einander nähern, und die Seitenwände den Originalzustand wiedererhalten, wenn die Kraft entfernt wird.
Der Verbindungssteg kann gerade sein oder kann mindestens einen vorspringenden oder mit Vertiefung versehenen mittleren Besatz haben. Vorzugsweise ist der Verbindungssteg mit den Seitenwänden so verbunden, daß er relativ zu den Seitenwänden verformbar ist, und sind die Zentren der Verbindungsstellen auf einer Linie, die durch die Mittelpunkte der Seitenwände geht, positioniert. Die unteren Enden der Seitenwände werden dann auseinander bewegt, um der Bewegung der oberen Bereiche der Seitenwände zu folgen, wenn die Bereiche der oberen Platten einander genähert werden.
Entsprechend der Erfindung wird ein Paar von Heizbändern auf den gegenüberliegenden Seiten der Leitung, die erhitzt werden soll, positioniert, und werden die Klammern dazu gebracht, an den entsprechenden Verbindungselementen gehalten zu werdne, indem die oberen Bereiche der Seitenwände von jeder Klammer mit der Hand gegriffen werden, die Seitenwände an die gegenüberliegenden Seiten einer Leitung von oben an der erforderlichen Position plaziert werden, während die oberen Bereiche einander durch das Anlegen einer Kraft an diese genähert werden, und danach die Klammer mit der Hand losgelassen wird, um den Originalzustand der Seitenwände wieder herzustellen. Die erforderliche Leitung kann dann erhitzt werden. Die Heizvorrichtung kann somit durch ein sehr einfaches Verfahren montiert werden, da kein Zwang besteht, die die Heizvorrichtung haltenden Klammern mit Schrauben an der Grundplatte zu befestigen. Darüber hinaus kann die Vergrößerung des Installationsbereiches sehr klein sein. Es ist auch sehr einfach, die Heizvorrichtung zu installieren, da die Klammern von oberhalb der Leitung her verwendet werden können.
Gemäß einer Ausführungsform umfaßt jede der Seitenwände einen die Heizvorrichtung haltenden Bereich, der allgemein rechteckig ist und in Kontakt mit dem Heizband steht, einen nach oben ragenden Vorsprung, der vom oberen Mittelbereich des die Heizvorrichtung haltenden Bereiches nach oben ragt, einen allgemein L-förmigen Griff, der vom mittleren Bereich des nach oben ragenden Vorsprungs abragt, und den Verbindungssteg, der die oberen Enden des nach oben ragenden Vorsprungs des Paares von Seitenwänden miteinander verbindet. Die Seitenwände sind durch den Verbindungssteg so miteinander verbunden, daß sie parallel zueinander positioniert sind, wenn sie frei von einer externen Kraft sind. Die Verbindungsstellen zwischen dem Verbindungssteg und den oberen Enden der nach oben ragenden Vorsprünge haben eine relativ kleine Fläche, so daß, wenn die Griffe mit der Hand gehalten werden, die die Heizvorrichtung haltenden Bereiche sich öffnen, wobei ihre unteren Enden voneinander weg positioniert sind, und eine elastische Kraft erzeugt wird, die so wirkt, daß die geöffneten Bereiche im Originalzustand wiederhergestellt werden. Wenn die Griffe mit der Hand losgelassen werden, werden die Heizbänder von den die Heizvorrichtungen haltenden Bereichen gegen die Verbindungselemente gedrückt. Entsprechend können die Griffe so positioniert werden, daß sie frei von jeder Beeinflussung durch die Fluidsteuergeräte sind und sie einfach mit den Fingern gehalten werden können.
Vorzugsweise wird die Klammer einteilig aus einer dünnen Metallplatte hergestellt. Die obige Konstruktion der Seitenwände macht es möglich, die Klammer aus einer einzigen dünnen Metallplatte herzustellen. Dies dient dazu, die Zahl der Komponenten zu reduzieren. Entsprechend der Ausführungsform umfaßt der Verbindungssteg einen Körper, welcher sich horizontal erstreckt, und einen gebogenen Bereich, an jedem der gegenüberliegenden Enden des Körpers, wobei der gebogene Bereich ein Ende hat, welches mit dem oberen Ende des nach oben ragenden Vorsprungs verbunden ist. Die die Heizvorrichtung haltenden Bereiche können dann einfach durch das Halten der Griffe mit den Fingern so geöffnet werden, daß ihre unteren Enden voneinander entfernt positioniert sind, während dessen die elastische Kraft zum wiederherstellen des Originalzustandes der haltenden Bereiche sofort zur Verfügung steht.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen:
1 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Fluidsteuervorrichtung entsprechend der Erfindung zeigt;
2 ist eine Frontansicht einer Klammer;
3 ist eine Seitenansicht der Klammer; und
4 ist eine Draufsicht, die eine herkömmliche Steuervorrichtung zeigt.
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform
Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die Zeichnungen eine Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
Wie im Beispiel in 4 gezeigt, umfaßt die Fluidsteuervorrichtung der Erfindung eine Mehrzahl von Leitungen, die parallel auf einer Grundplatte angebracht sind. Mindestens eine der Leitungen ist mit einer Heizvorrichtung 10 versehen, wie in 1 gezeigt ist. Die 1 zeigt eine Massendurchflußsteuerung 21, Schaltventile oder desgleichen, welche am Einlaß oder Auslaß der Steuerung angeordnet sind, und Blockverbindungselemente 24, um die Fluidsteuergeräte 21, 22, 23, wie die Massendurchflußsteuerung, Schaltventile usw. in Verbindung miteinander zu halten.
Die Heizvorrichtung 10 umfaßt ein Paar von Heizbändern 11, die jeweils auf gegenüberliegenden Seiten an einer der Leitungen angebracht sind, und eine Mehrzahl von Klammern 12, um die Heizbänder 11 an den Verbindungselementen zu halten.
Jede der Klammern 12 ist aus einer dünnen Metallplatte gemacht und umfaßt ein Paar von Seitenwänden 13, die sich so gegenübergestellt sind, daß sie mit einer vorbestimmten Distanz beabstandet sind, und einen Verbindungssteg 14, der als Verbindungsmittel dient, um das Paar von Seitenwänden 13 so miteinander zu verbinden, daß die unteren Bereiche der Seitenwände 13 sich voneinander wegbewegen, wenn die oberen Bereiche der Seitenwände 13 einer Kraft ausgesetzt werden, die bewirkt, daß die oberen Bereiche der Seitenwände 13 sich nähern, und daß der Originalzustand der Seitenwände 13 wieder hergestellt wird, wenn die Kraft weggenommen wird.
Jede der Seitenwände 13 umfaßt einen die Heizvorrichtung haltenden Bereich 15, der allgemein rechteckig ist und in Kontakt mit den Heizbändern 11 steht, einen nach oben ragenden Vorsprung 16, der vom oberen Mittelteil des die Heizvorrichtung haltenden Bereiches 15 nach oben abragt, und einen allgemein L-förmigen Griff 17, der vom mittleren Bereich des nach oben ragenden Vorsprungs 16 abragt.
Wie in den 2 und 3 in einem vergrößerten Maßstab gezeigt ist, umfaßt der Griff 17 einen horizontalen Bereich 17a, der vom mittleren Bereich des nach oben ragenden Vorsprungs 16 nach vorn oder nach hinten ragt, und einen vertikalen Bereich 17b, der vom äußeren Ende des horizontalen Bereiches 17a nach oben ragt. Die Länge des horizontalen Bereichs 17a ist so beschaffen, daß der vertikale Bereich 17b nicht außerhalb des die Heizvorrichtung haltenden Bereiches positioniert ist, und der vertikale Bereich 17b hat ein oberes Ende, das über den nach oben ragenden Vorsprung 16 ragt.
Der Verbindungssteg 14 umfaßt einen Körper 14a, welcher sich horizontal erstreckt, und einen gebogenen Bereich 14b, der einen spitzen Winkel hat und an jedem der gegen überliegenden Enden des Körpers 14a vorgesehen ist. Der gebogene Bereich 14b hat ein Ende, des nach oben ragenden Vorsprungs 16 verbunden ist.

Claims

Eine Fluidsteuervorrichtung mit einer Mehrzahl von Leitungen, welche parallel auf einem Grundelement angebracht sind, wobei jede der Leitungen eine Mehrzahl von Fluidsteuergeräten (21) (22) (23), die auf einem oberen Niveau angeordnet sind, und eine Mehrzahl von Blockverbindungselementen (24), die auf einem unteren Niveau angeordnet sind, umfaßt und ein Paar von Heizbändern (11) jeweils auf den gegenüberliegenden Seiten von mindestens einer Leitung angebracht sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizbänder (11) an den entsprechenden Verbindungselementen durch eine Mehrzahl von Klammern (12) gehalten werden, jede der Klammern (12) ein Paar von Seitenwänden (13), die so gegenübergestellt sind, daß sie mit einer vorbestimmten Distanz beabstandet sind, und einen Verbindungssteg (14) umfaßt, der das Paar von Seitenwänden (13) im mittleren Bereich von seiner Höhe so verbindet, daß die unteren Bereiche der Seitenwände (13) sich voneinander weg bewegen, wenn die oberen Bereiche der Seitenwände (13) einer Kraft ausgesetzt werden, die bewirkt, daß die oberen Bereiche der Seitenwände (13) sich nähern, und sich der Originalzustand der Seitenwände wieder herstellt, wenn die Kraft weggenommen wird.
Eine Fluidsteuervorrichtung nach Anspruch 1, worin jede der Seitenwände (13) einen die Heizvorrichtung haltenden Bereich (15), der allgemein rechteckig ist und im Kontakt mit dem Heizband (11) steht, einen nach oben ragenden Vorsprung (16), der vom oberen Mittelbereich des die Heizvorrichtung haltenden Bereiches (15) nach oben ragt, einen allgemein L-förmigen Griff (17), der vom mittleren Bereich des nach oben ragenden Vorsprungs (16) abragt, und einen Verbindungssteg (14), der die oberen Enden des nach oben ragenden Vorsprungs (16) des Paars von Seitenwänden (13) verbindet, umfaßt.
Eine Fluidsteuervorrichtung nach Anspruch 2, worin der Verbindungssteg (14) einen Körper (14a), welcher sich horizontal erstreckt, und einen gebogenen Bereich (14b), an jeden der gegenüberliegenden Enden des Körpers (14a) umfaßt, wobei der gebogene Bereich (14b) ein Ende hat, welches mit dem oberen Ende des nach oben ragenden Vorsprungs (16) verbunden ist.