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DE60119538T2 - Herstellungsverfahren eines magnetkopfes mit planarer wicklung - Google Patents

Herstellungsverfahren eines magnetkopfes mit planarer wicklung Download PDF

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DE60119538T2
DE60119538T2 DE60119538T DE60119538T DE60119538T2 DE 60119538 T2 DE60119538 T2 DE 60119538T2 DE 60119538 T DE60119538 T DE 60119538T DE 60119538 T DE60119538 T DE 60119538T DE 60119538 T2 DE60119538 T2 DE 60119538T2
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magnetic coil
coil
formation
layer
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Koninklijke Philips Electronics NV
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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes mit einer Kopffläche und einer Magnetspule, welche sich parallel zu der Kopffläche erstreckt.
  • Ein Verfahren dieser Art ist aus dem Artikel IEEE Transactions on Magnetics, Bd. 25, Nr. 5, September 1989, Seiten 3190–3193, bekannt. Dieser Artikel beschreibt ein Herstellungsverfahren zur Realisierung von Dünnschichtköpfen auf Silicium, IC-Köpfe genannt, zur hochdichten Magnetaufzeichnung. Das Herstellungsverfahren beginnt mit einer Siliciumscheibe, in welche Vertiefungen geätzt werden. In diesen Vertiefungen werden Magnetköpfe mit Leiterspiralen ausgebildet. Am Ende des Verfahrens werden Luftpolsterflächen gebildet, und es werden Slider durch Ätzung definiert, bevor die Scheibe in einzelne Komponenten zertrennt wird.
  • Eine Möglichkeit, eine hochdichte Aufzeichnung zu realisieren, ist, von einer magneto-optischen (MO) Aufzeichnung Gebrauch zu machen. In einem solchen Aufzeichnungsverfahren wird eine Magnetaufzeichnungsschicht eines magnetischen Datenträgers, z.B. einer Platte, unter Verwendung eines Magnetfelds zur Polarisierung von Magnetteilchen in der Aufzeichnungsschicht mit Daten beschrieben. Informationen können aus einer solchen Schicht ausgelesen werden, indem die Kerr-Drehung von polarisiertem Licht, welches von der relevanten Schicht reflektiert wird, optisch erfasst wird. Bei den meisten magnetischen Datenträgern ist ein relativ starkes Magnetfeld erforderlich, um auf Grund der hohen Koerzitivkraft des Datenträgers eine vollständige Polarisation des magnetischen Materials zu erzielen. Durch eine Erwärmung eines magnetischen Datenträgers wird der Schwellenwert der Magnetfeldstärke, welche für eine vollständige Polarisation erforderlich ist, drastisch reduziert. Eine thermisch unterstützte Magnetaufzeichnung erfolgt unter Einsatz dieses Phänomens. Bei z.B. MO-Schreibverfahren mit Laserimpuls-Magnetfeldmodulation (LP-MFM) wird ein Laserimpuls verwendet, um einen magnetischen Datenträger lokal zu erwärmen, während ein Magnetfeld, welches mit der zeitlichen Steuerung des Laserimpulses synchronisiert wird, die erwärmte Fläche polarisiert. Ein Magnetkopf, welcher sich zur magneto-optischen Aufzeichnung mit LP-MFM eignet, sollte eine Magnetfeldmodulations-(MFM)-Spule und normalerweise eine transparente Führung zur Führung eines Laserstrahls aufweisen. Der Laserstrahl kann sowohl zur Erwärmung eines magnetischen Datenträgers als auch zum Auslesen von Daten aus dem magnetischen Datenträger mit Hilfe der Erfassung des Kerr-Effekts verwendet werden. Gewöhnlich ist die transparente Führung so angeordnet, dass sie koaxial mit der Spule verläuft. Um genügend hohe Magnetfeldstärken bei begrenztem Stromverbrauch zu erreichen, ist der Innenradius der Spule so klein wie möglich.
  • Die Größe der Datenbits, welche durch thermisch unterstützte Magnetaufzeichnung auf einen MO-Datenträger geschrieben werden können, ist durch die Größe des Spots des fokussierten Laserstrahls und das thermische Profil des Spots sowie die thermischen Eigenschaften des Datenträgers selbst begrenzt. Die optische Größe des Spots ist von der Wellenlänge (λ) des verwendeten Laserlichts und der numerischen Apertur (NA) des Strahlengangs abhängig, wobei sich ein beugungsbegrenzter Spot mit einem Radius (r) in der Größenordnung von 0,61 λ/NA ergibt. Bei Nahfeldaufzeichnung ist unter Verwendung der abklingenden Wellen, welche auf einer Totalreflexionsfläche eines refraktiven, optischen Bauelements auftreten, eine NA von mehr als 1 möglich. Es ist erforderlich, dass der Magnetkopf, insbesondere das optische Bauelement desselben, gegenüber dem Aufzeichnungsmedium in einem Abstand, welcher lediglich einen Bruchteil der Wellenlänge des verwendeten Laserlichts ausmacht, positioniert wird. Um bei MO-Aufzeichnung, wie z.B. Nahfeldaufzeichnung, höhere Aufzeichnungsdichten zu realisieren, wird in Betracht gezogen, den Abstand zwischen Kopf und Medium zu dem Submikrometerbereich hin zu reduzieren.
  • Bei einem System zur Magnetaufzeichnung in ein Speichermedium werden optische Bauelemente mit einem Slider kombiniert, wobei der Slider durch eine Aufhängung getragen wird und unterhalb einer Objektivlinse eines Aktuators positioniert ist, wobei in den Slider eine MFM-Spule integriert ist. Der Slider ist mit einer Luftpolsterfläche (ABS) versehen, um während des Betriebs auf einer Oberfläche des Speichermediums auf einem Luftpolster zu gleiten.
  • Bei einem solchen Slider ist es unbedingt notwendig, dass die Spule des Magnetkopfes eine planare Spule in der Nähe der Ebene der ABS ist. Bei dem in dem zuvor erwähnten IEEE-Artikel beschriebenen Verfahren wird dieses realisiert, indem in einer Siliciumscheibe ein Graben ausgebildet und danach in dem Graben eine Spule vergraben wird. Nachteil dieses bekannten Verfahrens ist, dass die Ausbildung eines Grabens mit gro ßer Mühe verbunden ist. Darüber hinaus ist ein solcher Graben bei den meisten optischen Materialien, wie z.B. Mehrkomponentengläser, schwer zu realisieren, da diese Materialien im Allgemeinen schwer zu ätzen sind. Da die Spulenstrukturen unter Anwendung photolithographischer Techniken definiert werden, ist die Ausbildung einer Spule in einer Vertiefung auf Grund der damit verbundenen Topographie ein kritisches Verfahren. Zudem ist eine Zwischenplanarisierung zwischen nachfolgenden Spulenschichten mechanisch unmöglich.
  • Der Erfindung liegt als Aufgabe zugrunde, ein einfaches Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes vorzusehen, bei welchem sich eine planare Spule in der Nähe der Kopffläche befindet.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch das Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes mit einer Kopffläche und einer Magnetspule, welche sich parallel zu der Kopffläche erstreckt, gelöst, wobei die Magnetspule auf einer ersten Seite eines ersten Substrats ausgebildet wird, das mit der Magnetspule versehene, erste Substrat danach mit seiner ersten Seite auf einer Seite eines zweiten Substrats haftend angebracht, vorzugsweise mit dieser verklebt, und anschließend Material des ersten Substrats von einer zweiten Seite des ersten Substrats, welche von der ersten Seite abgewandt ist, entfernt wird, um die Kopffläche auszubilden.
  • Das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst lediglich einige wenige Maskierungsschritte, welche erforderlich sind, um eine planare Magnetspule nahe der Kopffläche zu realisieren. Bei einem Magnetkopf, welcher zur Verwendung in einem Slider dienen soll, kann der Magnetkopf in den Slider integriert sein, wobei die Kopffläche zumindest einen Teil einer Luftpolsterfläche bildet.
  • In einem Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung kann das erste Substrat ein Substrat aus Silicium sein, welches mit einer Oberschicht, z.B. einem Oxid, wie z.B. SiO2 oder ZrO4, oder einem harten Material, wie z.B. Diamant, versehen ist, wobei diese Oberschicht in Angrenzung an die erste Seite des ersten Substrats vorgesehen ist. Im Allgemeinen bildet die Oberschicht die erste Seite des ersten Substrats. Das Substrat aus Silicium kann eine Si-Scheibe sein. Nach Verkleben des ersten Substrats mit dem zweiten Substrat wird zumindest ein Teil des Siliciumsubstrats entfernt, um die Kopffläche auszubilden. Dieses kann, z.B. unter Verwendung einer heißen KOH-Ätzlösung, welche ein selektives Ätzmittel für Si und SiO2 ist, durch Ätzung, vorzugsweise durch einen selektiven Ätzprozess, welcher an der Oberschicht endet, erfolgen.
  • In einem Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung wird, nach Ausführung eines Verfahrensschritts, der die Ausbildung einer Schicht aus einem Metall auf dem ersten Substrat umfasst, mindestens ein weiterer Verfahrensschritt, welcher die Ausbildung einer Schicht aus einem nicht leitenden Material und die Ausbildung einer weiteren Schicht aus einem Metall sowie die Ausbildung von Verbindungen zwischen zwei benachbarten Schichten aus Metall umfasst, ausgeführt, um die Magnetspule vorzusehen. Die Schichten aus Metall können durch Aufbringen, z.B. durch elektrochemisches Abscheiden, eines geeigneten Metalls, wie z.B. Cu, ausgebildet werden. Die Schicht aus einem nicht leitenden Material kann z.B. durch Aufbringen eines Oxids, wie z.B. Al2O3, oder durch Aufschleudern eines Polymers oder aber auf andere geeignete Weise, wie z.B. durch Aufschleudern auf Glas, ausgebildet werden. Die Zwischenverbindung kann ausgebildet werden, nachdem Löcher in der Schicht aus nicht leitendem Material, z.B. durch Ätzung, vorgesehen wurden. Die Zwischenverbindung kann ebenfalls unter Anwendung eines lithographischen Verfahrens ausgebildet werden.
  • Die nicht leitende Schicht kann, z.B. unter Anwendung eines Polierverfahrens, wie zum Beispiel chemisch-mechanisches Polieren, welches die Qualität der Spule verbessert, planarisiert werden.
  • In einem Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Substrat aus einem Glasmaterial als zweites Substrat verwendet werden. Dieses Verfahren resultiert in einem Magnetkopf, welcher transparente Teile aufweist. Ein solcher Magnetkopf kann als MO-Kopf eingesetzt werden und einen Lichtleiter aufweisen.
  • In einem zusätzlichen Verfahrensschritt kann der transparente Leiter aus einem Material gefertigt sein, welches einen Brechungsindex aufweist, der mit diesem des Glassubstrats übereinstimmt, um optische Probleme, wie z.B. unerwünschte Reflexionen an Schnittstellen, zu verhindern.
  • Der Erfindung liegt als weitere Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Sliders, vorzugsweise eines Sliders, welcher für ein System zur magnetooptischen Aufzeichnung verwendbar ist, vorzusehen, wobei erfindungsgemäß eine Magnetspule, eine definierte Luftpolsterfläche sowie eine definierte Positionierung der Magnetspule gegenüber der Luftpolsterfläche in einer begrenzten Anzahl von Verfahrensschritten realisiert werden können.
  • Diese weitere Aufgabe wird durch das Verfahren zur Herstellung eines Sliders mit einer Luftpolsterfläche und einer planaren Magnetspule, welche sich parallel zu der Luftpolsterfläche erstreckt, gelöst, wobei die Magnetspule in dem Verfahren auf einer ersten Seite eines ersten Substrats ausgebildet, das erste Substrat danach mit seiner ersten Seite auf eine Seite eines zweiten Substrats aufgeklebt, anschließend Material des ersten Substrats von einer zweiten Seite des ersten Substrats, welche von der ersten Seite abgewandt ist, entfernt wird, um eine ebene Fläche auszubilden, und die Fläche danach zur Ausbildung der Luftpolsterfläche strukturiert wird. Es kann zur Ausführung der wenigen Schritte des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung eine Standardtechnologie angewandt werden. Eine Entfernung des Materials des ersten Substrats und eine Strukturierung der Fläche werden vorzugsweise durch Ätzung vorgenommen. Im Grunde genommen stellt die ausgebildete Magnetspule einen Teil eines, in den vorgesehenen Slider integrierten Magnetkopfes dar. Selbstverständlich weist die Magnetspule Zuleitungen für elektrische Anschlüsse auf.
  • In einem Ausführungsbeispiel des Verfahrens zur erfindungsgemäßen Herstellung eines Sliders auf einem Siliciumsubstrat ist eine Oberschicht aus einem Isoliermaterial vorgesehen, um das erste Substrat auszubilden, wobei sich die Oberschicht in Angrenzung an die erste Seite befindet, wobei ein Substrat aus Glas als zweites Substrat verwendet wird, und wobei nach Aufkleben des ersten Substrats auf das zweite Substrat das Siliciumsubstrat entfernt wird. Im Allgemeinen bildet die Oberschicht die erste Seite. Das Substrat aus Silicium kann durch eine Siliciumscheibe dargestellt sein. Die Oberschicht kann aus einem Oxid, wie z.B. SiO2, gebildet sein.
  • Da die Oberschicht als Schutzschicht für den vorgesehenen Slider dient, um während der Verwendung Schäden an dem Slider, z.B. auf Grund einer Kollision mit der Oberfläche eines Aufzeichnungsmediums oder eines Auftreffens auf Staubteilchen, auszuschließen, wird eine Oberschicht aus einem harten Material, wie z.B. eine diamantartige Beschichtung oder eine Schicht aus ZrO2, bevorzugt. Es ist von Vorteil, dass für die Schutzschicht keine zusätzlichen Verfahrensschritte erforderlich sind, sondern diese einfach durch die Oberschicht des ersten Substrats gebildet wird.
  • Ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens zur Herstellung eines Sliders ist dadurch gekennzeichnet, dass während der Ausbildung der Magnetspule eine Metallschicht neben der Magnetspule vorgesehen wird, welche zumindest zum Teil entfernt wird, um während der Strukturierung der ebenen Fläche zur Ausbildung der Luftpolsterfläche eine Vertiefung auszubilden. Die Metallschicht wird vorzugsweise durch Aufbringen des gleichen metallischen Materials, wie zur Ausbildung der Magnetspule verwendet, z.B. Cu, vor gesehen. Ein Entfernen des metallischen Materials kann einfach durch Ätzung, z.B. unter Verwendung eines Cu-Standardätzmittels, erfolgen. Die Tiefe der gewünschten Vertiefung kann durch die Dicke der Metallschicht optimiert werden.
  • Ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, dass bei Herstellung während der Ausbildung der Magnetspule eine Wärmeableitschicht neben der Magnetspule ausgebildet wird. Ein geeignetes Material für die Wärmeableitschicht ist Cu, welches ebenfalls als Material für die Magnetspule verwendet werden kann. Die Wärmeableitschicht ist vorzugsweise um oder zum Teil um die Magnetspule positioniert. Die Wärmeableitschicht in dem resultierenden Slider dient dazu, Wärme von der Magnetspule zu einem oder mehreren Rändern des Sliders, wo Luftkühlung und Radiation sehr effektiv sein können, um den Slider zu kühlen, zu übertragen. Wenn gewünscht, kann eine reale, thermische Verbindung zwischen dem Wärmeableiter und einem Kühlkörper mit einer vergrößerten Fläche oder einem aktiven Kühlmittel, wie z.B. einem Peltier-Element, vorgesehen sein.
  • In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird ein Block aus untereinander verbundenen Spulenschichten ausgebildet, um die Magnetspule vorzusehen.
  • Es sei erwähnt, dass das beanspruchte Verfahren zur Herstellung eines Sliders Vorteile und Wirkungen aufweist, welche denen gleichen, die durch das beanspruchte Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes erzielt wurden.
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich weiterhin auf einen Slider, welcher unter Anwendung des Verfahrens gemäß der Erfindung hergestellt wurde. Der Slider gemäß der vorliegenden Erfindung weist eine planare Magnetspule in Angrenzung an eine Luftpolsterfläche auf und ist vorzugsweise lokal so transparent, dass ein Lichtstrahl durch eine zentrale Fläche der Spule axial hindurchtreten kann. Der Slider weist vorzugsweise das Merkmal, wie in Anspruch 11 definiert, auf.
  • Des Weiteren bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein System zur magnetischen oder magnetooptischen Aufzeichnung von Informationen in ein Speichermedium, wobei das System den Slider gemäß der vorliegenden Erfindung vorsieht.
  • Unter Bezugnahme auf die Ansprüche sei erwähnt, dass verschiedene charakteristische Merkmale, wie in dem Satz Ansprüche definiert, in Kombination auftreten können.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1 bis 8 eine schematische Darstellung verschiedener Schritte eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung, wobei
  • 8 ebenfalls ein erstes Ausführungsbeispiel des Sliders gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 9A eine schematische Darstellung eines Querrisses eines zweiten Ausführungsbeispiels des Sliders gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 9B das zweite Ausführungsbeispiel in einer Schnittansicht entlang Linie IXB-IXB von 9A; sowie
  • 10 eine schematische Darstellung einer perspektivischen Ansicht eines Ausführungsbeispiels eines Systems gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • Unter Bezugnahme auf die 1 bis 8 wird nun im Folgenden ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung zur Herstellung eines Sliders 10 beschrieben. Dieses Ausführungsbeispiel beginnt bei einem Substrat 1 aus Silicium, welches Teil einer Si-Scheibe bilden kann. Auf einer Hauptfläche des Substrats 1 wird ein Isoliermaterial, vorzugsweise ein Oxid, wie z.B. SiO2 oder Al2O3, z.B. durch thermische Oxidation, durch Sputtern oder durch Aufdampfung aufgebracht, um eine dünne Oberschicht 3 mit einer Dicke von z.B. 0,5 μm auszubilden. Das Substrat 1 und die Oberschicht 3 bilden zusammen ein erstes Substrat mit einer ersten Seite 5a und einer zweiten Seite 5b parallel zu der ersten Seite 5a. Auf der ersten Seite 5a des ersten Substrats wird eine erste leitende oder metallische Schicht 7a mit einem oder mehreren Spulenwindungsabschnitten durch Aufsputtern oder galvanische Abscheidung von Kupfer oder einem anderen geeigneten, elektrisch leitenden Material ausgebildet. Sodann wird auf der ersten leitenden Schicht 7a eine nicht leitende Schicht 7b durch z.B. Abscheidung von SiO2 oder Al2O3 oder durch Aufschleudern eines Polymers ausgebildet. Danach wird auf der Isolationsschicht 7b eine zweite leitende Schicht 7c vorgesehen und eine Verbindung zwischen der ersten und der zweiten leitenden Schicht, z.B. durch lokale Ätzung der nicht leitenden Schicht 7b vor Ausbildung der zweiten leitenden Schicht 7c, hergestellt.
  • Die Schichten 7a, 7b und 7c bilden zusammen eine planare Magnetspule 7 mit einer Spulenachse 7A. Es sei erwähnt, dass in einem weiteren Ausführungsbeispiel die Spule 7 nur eine leitende Schicht aufweisen kann. Nach Ausbildung der Spule 7 wird das erste Substrat mit seiner ersten Seite 5a, welche in diesem Ausführungsbeispiel auf Grund von technologischen Schritten verschoben wurde, auf einer Seite 9a eines zweiten Substrats 9, z.B. aus Glas, haftend angebracht, vorzugsweise mit dieser verklebt. Das zweite Substrat 9 kann einen Teil eines Glaswafers bilden. Ein geeignetes Klebemittel ist z.B. Acrylharzlack, 1,6-Hexandiodiacrylat. In einem nachfolgenden Schritt wird das Substrat 1 entfernt, vorzugsweise weggeätzt, z.B. in einer heißen KOH-Ätzlösung, wodurch sich eine Fläche 13 ergibt. Anschließend wird die Fläche 13 strukturiert, indem zuerst die Oberschicht 13, z.B. durch lokales Wegätzen von Isoliermaterial, und danach Material einer oder mehrerer freigelegten Abschnitte 7b der ersten leitenden Schicht 7a, z.B. durch lokale Ätzung, lokal entfernt werden, um eine Luftpolsterfläche 15 vorzusehen, welche durch die Fläche 13, die mit einem oder mehreren vertieften Teilen 13a versehen ist, gebildet wird. Im Falle Cu als leitendes Material für die Spule 7 verwendet wird, kann eine Cu-Standardätzlösung eingesetzt werden, um die Luftpolsterfläche 15 auszubilden. Die Tiefe des vertieften Teils bzw. der vertieften Teile 13a kann durch Verwendung mehrerer metallischer Schichten optimiert werden.
  • Während der Verwendung des Sliders dient die Luftpolsterfläche 15 des durch das obige Verfahren vorgesehenen Sliders dazu, den Luftstrom, welcher zwischen einer Oberfläche eines beweglichen Speichermediums und dem sich in Angrenzung an die Oberfläche befindlichen Slider 10 erzeugt wird, zu steuern, um einen Kontakt des Sliders mit dem Speichermedium zu verhindern.
  • Es sei erwähnt, dass das oben beschriebene Verfahren ebenfalls zur Herstellung eines Magnetkopfes angewandt werden kann. In diesem Fall können die Verfahrensschritte, wie in den 7 und 8 dargestellt, weggelassen werden. Das heißt, dass das in 6 dargestellte Produkt ein Magnetkopf sein kann, wobei die Fläche 13 eine Magnetkopffläche bildet. Sowohl bei dem Slider als auch bei dem Magnetkopf kann die Oberschicht als Schutzschicht dienen.
  • Es sei weiterhin erwähnt, dass der Slider, wie in 8 dargestellt, einen transparenten Spulenmittelpunkt 7C aufweist und durch eine geeignete Wahl transparenter Materialien entlang der Spulenachse 7A transparent ist, was darin resultiert, dass der Slider für einen, durch den Mittelpunkt hindurchgehenden Lichtstrahl durchlässig ist.
  • Bei einer Variante des oben beschriebenen Ausführungsbeispiels wird während der Ausbildung der Spule 7 eine Wärmeableitschicht ausgebildet. Die 9A und 9B zeigen ein Ausführungsbeispiel des Sliders gemäß der vorliegenden Erfindung, welcher mit einem Wärmeableiter 17 versehen ist. Elemente dieser Variante, welche gleichen bzw. ähnlichen Elementen des bereits beschriebenen Ausführungsbeispiels entsprechen, wurden durch die gleichen Bezugsziffern gekennzeichnet. Bei der relevanten Variante wird der Wärmeableiter durch Aufbringen des gleichen Metalls, wie dieses zur Ausbildung der Magnetspule 7 sowie deren Verbindungsflächen 7f1 und 7f2 aufgebracht wurde, gleichzeitig mit der Spule 7 ausgebildet. Der Wärmeableiter 17 ist in Angrenzung an die Magnetspule 7, d.h. zumindest zum Teil um diese und/oder oberhalb oder unterhalb derselben, angeordnet und dient dazu, Wärme von der Windung bzw. den Windungen der Spule auf die Ränder des Sliders zu übertragen, wo Konvektion und Radiation den Slider während dessen Verwendung effektiv kühlen. In einem speziellen Ausführungsbeispiel kann eine thermische Verbindung zwischen dem Wärmeableiter und einem Kühlkörper mit einer vergrößerten Fläche oder einem aktiven Kühlmittel, wie z.B. einem Poltier-Element, vorgesehen werden.
  • Ein Ausführungsbeispiel des in 10 dargestellten Systems gemäß der vorliegenden Erfindung eignet sich zum Beschreiben und/oder Lesen einer magnetooptischen Informationsplatte 100. Die Platte 100 wird von einer, in einer Basis angebrachten, elektrisch steuerbaren Spindel drehbar getragen. Während der Verwendung wird die Platte 100 in einer durch den Pfeil A gekennzeichneten Rotationsrichtung gedreht. Das System weist einen Arm 102 auf, welcher auf der Basis verschiebbar gehalten wird und ein Biegeelement 102a aufweist, welches eine Ausführungsform des Sliders gemäß der vorliegenden Erfindung, gekennzeichnet durch die Bezugsziffer 110, mit einem transparenten Körper, gekennzeichnet durch die Bezugsziffer 104, trägt. Es ist eine elektrische Steuerung vorgesehen, um den Arm 102 zu verschieben, wobei der Slider 110 bei Verschieben über die Platte 100 in Radialrichtungen, durch den Pfeil B gekennzeichnet, bewegt wird. Während des Schreib- und/oder Lesevorgangs befindet sich die Luftpolsterfläche des Sliders gegenüber einer Hauptfläche der Platte 100 sowie in einem Abstand von derselben. Der Arm 102 trägt einen Linsenteil 106 mit einer optischen Achse 106a, welche durch den transparenten Mittelpunkt der Magnetspule des Sliders 110 verläuft. Die Spule ist hier durch die Bezugsziffer 107 gekennzeichnet.
  • Das System gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Datenspeicherungssystem sein. Alternativ kann das System ein Audio- und/oder Videosystem sein. An Stelle eines verschiebbaren Armes kann ein drehbarer Arm verwendet werden.

Claims (9)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes mit einer Kopffläche und einer Magnetspule, welche sich parallel zu der Kopffläche erstreckt, wobei die Magnetspule auf einer ersten Seite eines ersten Substrats ausgebildet wird, das mit der Magnetspule versehene, erste Substrat danach mit seiner ersten Seite auf einer Seite eines zweiten Substrats haftend angebracht und anschließend Material des ersten Substrats von einer zweiten Seite des ersten Substrats, welche von der ersten Seite abgewandt ist, entfernt wird, um die Kopffläche auszubilden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei ein Substrat aus Silicium, welches mit einer Oberschicht aus einem Isoliermaterial versehen ist, als erstes Substrat verwendet wird, wobei sich die Oberschicht in Angrenzung an die erste Seite befindet.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei, nach Ausführung eines Verfahrensschritts, der die Ausbildung einer Schicht aus einem Metall auf dem ersten Substrat umfasst, mindestens ein weiterer Verfahrensschritt, welcher die Ausbildung einer Schicht aus einem nicht leitenden Material und die Ausbildung einer weiteren Schicht aus einem Metall sowie die Ausbildung von Verbindungen zwischen zwei benachbarten Schichten aus Metall umfasst, ausgeführt wird, um die Magnetspule vorzusehen.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei ein Substrat aus einem Glasmaterial als zweites Substrat verwendet wird.
  5. Verfahren zur Herstellung eines Sliders mit einer Luftpolsterfläche und einer planaren Magnetspule, welche sich parallel zu der Luftpolsterfläche erstreckt, wobei die Magnetspule in dem Verfahren auf einer ersten Seite eines ersten Substrats ausgebildet, das erste Substrat danach mit seiner ersten Seite auf eine Seite eines zweiten Substrats aufgeklebt, anschließend Material des ersten Substrats von einer zweiten Seite des ersten Sub strats, welche von der ersten Seite abgewandt ist, entfernt wird, um eine ebene Fläche auszubilden, und die Fläche danach zur Ausbildung der Luftpolsterfläche strukturiert wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, wobei auf einem Siliciumsubstrat eine Oberschicht aus einem Isoliermaterial vorgesehen ist, um das erste Substrat auszubilden, wobei sich die Oberschicht in Angrenzung an die erste Seite befindet, wobei ein Substrat aus Glas als zweites Substrat verwendet wird, und wobei nach Aufkleben des ersten Substrats auf das zweite Substrat das Siliciumsubstrat entfernt wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 5, wobei während der Ausbildung der Magnetspule eine Metallschicht neben der Magnetspule vorgesehen wird, welche zumindest zum Teil entfernt wird, um während der Strukturierung der ebenen Fläche zur Ausbildung der Luftpolsterfläche eine Vertiefung auszubilden.
  8. Verfahren nach Anspruch 5, wobei bei der Herstellung während der Ausbildung der Magnetspule eine Wärmeableitschicht neben der Magnetspule ausgebildet wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 5, wobei ein Block aus untereinander verbundenen Spulenschichten ausgebildet wird, um die Magnetspule vorzusehen.
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