DE4112722A1

DE4112722A1 - Lotrechter magnetischer duennschicht-aufzeichnungs- und wiedergabekopf

Info

Publication number: DE4112722A1
Application number: DE4112722A
Authority: DE
Inventors: Masami Yamashita; Noboru Iwato; Hideki Mine; Toshiaki Wada
Original assignee: Denki Kagaku Kogyo KK; Sumitomo Special Metals Co Ltd
Current assignee: Denka Co Ltd; Proterial Ltd
Priority date: 1990-04-19
Filing date: 1991-04-18
Publication date: 1991-10-31
Also published as: JPH04137209A; US5181151A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen lotrechten magneti schen Dünnschicht-Aufzeichnung- und Wiedergabekopf nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Es handelt sich dabei um einen Dünnschichtkopf, der für eine lotrechte magnetische Aufzeichnung und Wiedergabe von Daten oder Information in einem Computer, einem Band- oder Video bandrecorder oder ähnlichen Geräten verwendet wird.

Die magnetische Aufzeichnung und Wiedergabe von Daten oder Information auf ein bzw. von einem Aufzeichnungsmedium, beispielsweise eine flexible oder starre Platte, erfolgt gewöhnlich durch Magnetisierung seiner magnetischen Schicht in Richtung seiner Oberfläche und Ausnutzung der Restmagne tisierung. Diese Art der magnetischen Aufzeichnung besitzt jedoch einen Nachteil. Wird eine höhere Aufzeichnungsdichte durch Aufzeichnung von Signalen mit einer kürzeren Wellenlän ge erreicht, so bewirkt eine Erhöhung des Diamagnetismus im Aufzeichnungsmedium eine Reduzierung der Rest-Magnetfluß dichte, woraus folgt, daß das Medium bei Wiedergabe kein ausreichendes Ausgangssignal abgibt.

Es ist daher ein großer Forschungs- und Entwicklungsaufwand getrieben worden, um einen praktisch brauchbaren Magnetkopf für lotrechte Aufzeichnung zu realisieren, mit dem die magne tische Schicht eines Aufzeichnungsmediums in Richtung ihrer Dicke magnetisiert werden kann, um bei Aufzeichnung von Sig nalen mit kurzer Wellenlänge zwecks Realisierung einer ver besserten Aufzeichnungsdichte den Diamagnetismus zu reduzie ren. Für diesen Typ von Magnetkopf sind verschiedene Kon struktionsarten vorgeschlagen worden. Aus praktischen Gründen hat sich jedoch ein Kopf mit einem einzigen Pol und Zugang von einer Seite am zweckmäßigsten erwiesen.

Das Bedürfnis nach einer höheren Aufzeichnungsdichte und einer kürzeren Zugriffszeit macht jedoch einen kleineren und leichteren Magnetkopf erforderlich. Das Interesse hat sich daher auf einen Dünnschichtkopf für lotrechte magnetische Aufzeichnung konzentriert.

Ein bekannter lotrechter magnetischer Dünnschicht-Aufzeich nungs- und Wiedergabekopf ist in den Fig. 5a und 5b darge stellt. Fig. 5a zeigt eine Vorderansicht des Wandlerteils des Kopfes, der einem Aufzeichnungsmedium 30 zugekehrt ist, wäh rend Fig. 5b einen Vertikalschnitt zeigt.

Der Kopf besitzt ein magnetisches Element 1, beispielsweise aus einem weichmagnetischen Ferrit, ein darüberliegendes, eine Spaltschicht definierendes nichtmagnetisches Material 3, eine Dünnschicht-Leiterspule 4 auf dem nichtmagnetischen Ma terial 3, eine die Spule 4 bedeckende Isolationsschicht 5, eine auf der Isolationsschicht 5 ausgebildete magnetische Dickschicht 7, beispielsweise aus Permalloy, Sendust oder einem amorphen Kobaltlegierung, eine auf der Schicht 7 aus gebildete Hauptpolschicht 8, welche bei Aufzeichnung die magnetische Sättigung der Schicht 8 verhindert, sowie eine auf der Schicht 8 ausgebildete Schutzschicht 9 zum Schutz des Kopfes.

Die Hauptpolschicht mit sehr geringer Dicke liegt mit ihrem Ende in der Endfläche des Kopfes frei und ist dem Aufzeich nungsmedium zugekehrt, wie dies in den Fig. 5a und 5b darge stellt ist, wodurch der magnetische Fluß auf das freiliegen de Ende der Hauptpolschicht konzentriert wird, so daß die Aufzeichnung von Signalen durch eine starke magnetische Wechselwirkung hervorgerufen wird, welche zwischen dem frei liegenden Ende der Hauptpolschicht und der magnetischen Schicht des ihr zugekehrten Aufzeichnungsmediums auftritt. Aufgrund der lotrechten magnetischen Aufzeichnung durch die sen Kopf kann daher gegenüber einem bekannten Kopf, der die magnetische Schicht des Aufzeichnungsmediums in Längsrich tung von dessen Oberfläche magnetisiert wird, eine höhere Aufzeichnungsdichte realisiert werden. Der Dünnschichtkopf ist jedoch mit einem schwerwiegenden Problem behaftet, daß sich aus der sehr geringen Dicke seiner Hauptpolschicht er gibt. Diese Schicht wird leicht durch ein äußeres Magnetfeld beeinflußt, das beispielsweise durch eine Welle oder einen Kopfantriebmotor erzeugt wird. Daher wird das Ausgangssignal bei Wiedergabe stark abgesenkt oder verschwindet sogar.

Es sind daher Versuche unternommen worden, die Quelle derartiger äußerer Magnetfelder abzuschirmen. Dabei wird jedoch nicht nur der Aufwand erhöht, sondern es wird auch der Einfluß derartiger Magnetfelder nicht vollständig eliminiert. Es ist daher sehr schwierig, einen zuverlässigen Aufzeich nungs- und Wiedergabekopf zu realisieren.

Eine Lösung dieses Problems ist beispielsweise in der JP-OS 1 29 909/1987 und 1 29 926/1987 beschrieben. Bei einem derarti gen Magnetkopf ist ein einen Hauptmagnetpol und einen Hilfs magnetpol aufweisendes Kopfplättchen in einer Ausnehmung in einem Block aus magnetischem Material montiert, der als mag netische Abschirmung dient. Ein derartiger Kopf ist jedoch schwer ausreichend klein und leicht in Form eines Dünn schichtkopfes herzustellen. Darüber hinaus beschränkt seine spezielle Konstruktion die Möglichkeiten seiner Formaus gestaltung.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Dünnschicht-Magnetkopf anzugeben, welcher in einfacher Weise von einem durch eine äußere Quelle, beispielsweise einem Scheibenantriebsmotor, erzeugten Magnetfeld abgeschirmt werden kann, ausreichend klein und leicht bleibt und bei dem der durch den Hauptmagnetpol erzeugte magnetische Fluß nicht nur bis zu einer dem Hauptmagnetpol zugekehrten Fläche ge langt sondern auch in den Bereich des Hauptmagnetpols zurück geführt werden kann.

Diese Aufgabe wird bei einem magnetischen Dünnschicht-Auf zeichnungs- und Wiedergabekopf der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Patentanspruchs 1 gelöst.

Der Erfindung zugrundeliegende Untersuchungen haben zu einer magnetischen Abschirmung geführt, welche in einfacher Weise auf einem Dünnschicht-Magnetkopf herstellbar ist und den Kopf gegen den Einfluß des von einer äußeren Quelle, beispielswei se einem Scheibenantriebsmotor, erzeugten Magnetfeld schützen kann und gleichzeitig die effektive Ausnutzung des durch den Hauptmagnetpol erzeugten magnetischen Flusses möglich macht. Es hat sich dabei gezeigt, daß eine beispielsweise durch Sputtern, Aufdampfen oder Galvanisieren auf der Schutzschicht und der Seitenwandfläche des Kopfes aufgebrachte magnetische Schicht als magnetische Abschirmung wirkt und den Kopf gegen den Einfluß von extern erzeugten magnetischen Feldern schützt, wobei der durch den Hauptmagnetpol erzeugte magneti sche Fluß nicht nur eine ihm zugekehrte Fläche erreichen kann, sondern auch in dessen Bereich rückgeführt wird, wo durch der Kopf bei Wiedergabe ein besseres Ausgangssignal ab gibt.

Die als magnetische Abschirmung wirkende Schicht ist eine weichmagnetische Schicht, die durch Abscheidung aus der Gas phase, wie Sputtern oder Galvanisieren, beispielsweise aus einer Kobaltlegierung, Permalloy, Sentust oder Ferrit herge stellt werden kann. Die Schicht besitzt vorzugsweise eine Dicke von 0,02 bis 100 µm. Ist die Dicke kleiner als 0,02 µm, so ist es möglich, daß sie keine wirksame Abschirmung mehr gewährleistet, während bei einer 100 µm überschreitenden Dicke keine ins Gewicht fallende Verbesserung mehr zu erwarten ist. Die Dicke liegt vorzugsweise in einem Bereich von 0,1 bis 30 µm.

Die als magnetische Abschirmung wirkende Schicht wird vor zugsweise auf der Schutzschicht und der Seitenwandfläche des Kopfes ausgebildet, und zwar vorzugsweise mit Ausnahme der Anschlußteile des Kopfes, auf denen die Schicht aus Isola tionsgründen nicht vorhanden ist. Zwar kann sich die Schicht auch auf die Gleitfläche des Kopfes erstrecken; sie ist je doch vorzugsweise von der Gleitschicht geringfügig beabstan det, so daß kein Randrauschen oder ein anderes Problem auf treten können.

Die Schicht gewährleistet eine weitere Verbesserung der mag netischen Abschirmung, wenn sie aus wenigstens einer Schicht folge ausgebildet ist, die aus abwechselnden magnetischen Schichten und beispielsweise aus Al₂O₃ oder SiO₂ gebildeten nichtmagnetischen Schichten zusammengesetzt ist. Zwischen der Schutzschicht und der die magnetische Abschirmung bildenden Schicht kann zur Verbesserung der Haftung zwischen ihnen eine Schutzschicht, beispielsweise aus Chrom, vorgesehen sein. Das magnetische Material für die als magnetische Abschirmung wir kende Schicht ist eines der Materialien, die oben beispiels weise angegeben wurden. Die Auswahl des Materials basiert auf dem für die Schicht geforderten magnetischen Abschirmeffekt und damit auf deren magnetischen Eigenschaften. Da die meisten Materialien nicht sehr hart sind, kann es zweckmäßig sein, auf der Oberfläche der die magnetische Abschirmung bil denden Schicht zum Schutz gegen Oberflächendefekte sowie zur Vermeidung ihrer Abtrennung eine Schutzschicht aus einem an organischen Material, beispielsweise Al₂O₃ oder ZrO₂ vorzu sehen.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von Un teransprüchen.

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines in den Figuren der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher er läutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines erfindungsgemä ßen Dünnschichtmagnetkopfes;

Fig. 2a eine Vorderansicht des erfindungsgemäßen Kopfes;

Fig. 2b einen Vertikalschnitt des Kopfes gemäß Fig. 2a;

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht eines magnetischen Substrates, das zur Herstellung von erfindungsge mäßen Dünnschicht-Magnetköpfen verwendet wird;

Fig. 4a bis 4f eine Verfahrensabfolge zur Herstellung des erfindungsgemäßen Dünnschicht-Magnetkopfes;

Fig. 5a eine Vorderansicht des bereits erläuterten be kannten Dünnschichtmagnetkopfes;

Fig. 5b einen Vertikalschnitt des Kopfes gemäß Fig. 5a; und

Fig. 6 ein Diagramm des Ausgangssignals des erfindungsge mäßen Kopfes bzw. des bekannten Kopfes im Ver gleich.

Ein erfindungsgemäßer Dünnschicht-Magnetkopf ist in den Fig. 1, 2a und 2b dargestellt. Ein Verfahren zur Herstellung des Kopfes wird im folgenden anhand der Fig. 3 und 4a bis 4f be schrieben. Der Aufbau des Kopfes ist der folgende:

1) In einer Hauptfläche eines Substrats 1 aus magnetischem Material, wie beispiels ein Ni-Zn- oder Mn-Zn- Ferrit werden mehrere Parallele und gleichbeabstandete schmale Nuten 2 hergestellt und mit geschmolzenem oder gesputterten nichtmagnetischem Material 3 in Form von anorganischen Materialien, wie beispielsweise Glas, SiO₂, Al₂O₃ und Bariumtitanat gefüllt, wodurch ein mit Nuten versehenes magnetisches Substrat erhalten wird. Die mit Nuten versehene Oberfläche des Substrates 1 wird sodann mechano chemisch poliert (siehe Fig. 3).
2) Auf der polierten Oberfläche des mit Nuten versehenen magnetischen Substrates 1 wird beispielsweise durch Sputtern oder Vakuumabscheiden eine Dünnschicht- Leiterspule 4 hergestellt (Fig. 4a). Ist das Substrat 1 ein Mn-Zn-Ferrit, so wird vor der Herstellung der Spule 4 auf ihm eine Isolationsschicht ausgebildet.
3) Auf der Spule 4 wird eine Zwischenisolationsschicht 5 aus organischem Oxid, wie beispielsweise SiO₂ oder Al₂O₃ oder einem organischen Material, wie beispielsweise Polyimide ausgebildet, um zwischen der Spule 4 und einer später auszu bildenden Hauptpoldickschicht 7 eine elektrische Isolation zu realisieren (Fig. 4b).
4) Besitzt die Isolationsschicht 5 eine durch die da runterliegende Spule 5 bedingte unebene Oberfläche, so wird sie durch Präzisionspolieren, beispielsweise mit einem Dia mantwerkzeug oder durch Rückätzen auf eine 0,05 µm nicht übersteigende Rauhigkeit geglättet.
5) Ein Fenster 6, durch das die herzustellende Haupt pol-Dickschicht 7 mit dem magnetischen Substrat 1 verbunden wird, wird beispielsweise durch Ionenätzen oder chemisches Ätzen in der Zwischenisolationsschicht 5 hergestellt (Fig. 4c).
6) Die Hauptpol-Dickschicht 7 wird in einem speziel len Muster auf der Oberfläche der Zwischenisolationsschicht 5 und der Oberfläche des durch das Fenster 6 freigelegten magnetischen Substrates 1, beispielsweise aus einer Eisen legierung, wie Permalloy oder Sendust oder einem amorphen Ma terial, beispielsweise durch Sputtern, Abscheiden aus der Gasphase oder Galvanisieren hergestellt (Fig. 4d).
7) Auf der Hauptpol-Dickschicht 7 wird beispielsweise durch Sputtern, Abscheiden aus der Gasphase oder Galvanisie ren eine Hauptpolschicht 8 in einem speziellen Muster her gestellt (Fig. 4e).
8) Auf den Schichten 7 und 8 wird eine harte Schutz schicht 9 ausgebildet (Fig. 4f).
9) Das Substrat wird an einer geeigneten Stelle rela tiv zu den Nuten 2 geschnitten und in eine geeignete Größe und Form gebracht, um einen Dünnschicht-Magnetkopf 40 in Form eines Plättchens gemäß den Fig. 1 und 2 herzustellen.
10) Nach Gießen von Anschlußflächen 42, beispielsweise aus Harz, wird der Kopf in eine Sputteranlage eingebracht und auf seiner Oberfläche eine dünne magnetische Schicht 41 zur Bildung einer magnetischen Abschirmung aufgebracht (Fig. 1).

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbei spiels näher erläutert.

Durch Bearbeiten der genau fertiggestellten Oberfläche eines Substrates aus einem Ni-Zn-Ferrit wird eine Vielzahl von Nuten mit jeweils einer Breite von 0,3 mm, einer Tiefe von 0,015 mm und einer Länge von 50 mm hergestellt. Die Nuten werden so mit Glas gefüllt, daß das Glas pro Kubikmillimeter nicht mehr als eine Blase mit einem Durchmesser von 5 µm oder mehr aufweist. Die Oberfläche des Substrates wird dann mecha nochemisch poliert, wonach eine Dünnschicht-Leiterspule aus Kupfer durch Sputtern in einem speziellen Muster auf der polierten Oberfläche des Substrates hergestellt wird.

Auf der Spule wird eine Zwischenisolationsschicht aus einem photoempfindlichen Polyimidharz hergestellt, in der wiederum durch Photolithographie ein Fenster hergestellt wird. Die Oberfläche der Isolationsschicht wird durch Rückätzen auf eine 0,05 µm nicht übersteigende Rauhigkeit geglättet.

Auf der Oberfläche der Isolationsschicht und der freiliegen den Fläche des Substrates wird durch Sputtern eine Hauptpol- Dickschicht aus einer amorphen Kobaltlegierung in einem spe ziellen Muster hergestellt. Auf diese Hauptpol-Dickschicht wird durch Sputtern eine Hauptpolschicht aus einer amorphen Kobaltlegierung in einem speziellen Muster hergestellt. Da rauf wird eine Kopfschutzschicht aus Al₂O₃ hergestellt.

Das Substrat wird zur Realisierung eines Dünnschicht-Magnet kopfes in Form eines Plättchens auf entsprechende Größe und Form geschnitten. Die Anschlußverbindungsbereiche auf dem Kopf werden durch ein Harz maskiert und es wird ein magne tischer Film mit einer Dicke von 3 µm aus einer Co-Zr-Nb-Mo- Legierung durch Sputtern auf den Plättchen hergestellt, wodurch ein erfindungsgemäßer Dünnschicht-Magnetkopf erhal ten wird.

Zum Vergleich mit dem erfindungsgemäßen Kopf wird ein konven tioneller Dünnschichtkopf ohne einen eine magnetische Ab schirmung bildenden Film hergestellt. Beide Köpfe werden hinsichtlich ihrer Ausgangscharakteristik bei Wiedergabe auf Selbstaufzeichnungs- und Wiedergabebasis getestet. Die Ergeb nisse sind in Fig. 6 dargestellt. Daraus ist ersichtlich, daß der erfindungsgemäße Kopf offensichtlich aufgrund des Vorhan denseins der eine magnetische Abschirmung bildenden Schicht im Vergleich zum konventionellen Kopf eine sehr gute Aus gangscharakteristik besitzen. Im folgenden wird eine Zusam menfassung von die Köpfe betreffenden Daten, der Herstel lungsbedingungen und der noch nicht erläuterten Tests ange geben.

Aufzeichnungsmedium

Zum Testen der Köpfe wird ein Medium mit einem zweischichti gen Film verwendet, der sich aus CoCr und NiFe mit einer lotrechten Koerzitivkraft H_c von 500 Oe und einer Schutz schicht aus Kohlenstoff zusammensetzt.

Kopf

Sowohl der erfindungsgemäße Kopf als auch der bekannte Kopf besitzen eine Hauptpolschicht aus einer Co-Zr-Nb-Mo-Legie rung mit einer Dicke von 0,3 µm und einer Spurbreite von 50 µm.

Bedingungen für mechanochemisches Polieren
Maschine:
Mechanochemische Poliermaschine mit 15 Zoll
Schleifer:	nichtverwobenes Tuch
Pulver:	MgO-Pulver mit einem 0,02 µm nicht-übersteigenden Durchmesser
Rotationsgeschwindigkeit:	20 Umdrehungen/min
Druck:	0,5 kg/mm²

Diamantpolieren
Maschine:
Einzelflächenläppmaschine mit mit 15 Zoll
Schleifer:	Zinnscheibe
Diamant:	Partikel mit einem Durchmesser von 0,5 bis 1,0 µm
Rotationsgeschwindigkeit:	30 Umdrehungen/min
Druck:	0,5 kg/mm²

Sputterbedingungen
Target:
Co-Zr-Nb-Mo-Legierung
Leistung:	500 Watt
Gasdruck:	0,4 Pa
Versorgungsquelle:	HF-Quelle

Bedingungen für Aufzeichnungs- und Wiedergabe-Ausgangssignal-Tests
Scheibenrotationsgeschwindigkeit:
3600 Umdrehungen/min
Medium:	CoCr/NiFe
Aufzeichnungsfrequenz:	0,5 bis 20 MHz
Aufzeichnungsstrom:	20 mAp-p
Relativgeschwindigkeit:	v = 10 m/s

Claims

1. Lotrechter magnetischer Dünnschicht-Aufzeichnungs- und Wiedergabekopf (40) mit einem einen Rückführungsweg definierenden magnetischen Element (1), das in einer seiner Hauptflächen parallel zu einer einen magneti schen Aufzeichnungsmedium (30) zugekehrten Gleitfläche eine schmale Nut (2) aufweist, einem die Nut (2) fül lenden nichtmagnetischen Material (3) und einer oberhalb der Nut (2) vorgesehenen Dünnschichtanordnung, die in Aufeinanderfolge wenigstens eine Dünnschicht- Leiterplatte (4), eine Zwischenisolationsschicht (5), eine Hauptpol-Dickschicht (7), eine Hauptpolschicht (8) sowie eine Schutzschicht (9) aufweist, wobei das magnetische Element (1) über ein Fenster (6) mit der Hauptpolschicht (8) verbunden und an der Gleitfläche im Bereich der Hauptpolschicht (8) so frei liegt, daß es dem Aufzeichnungsmedium (30) zugekehrt ist, gekennzeichnet durch eine magnetische Dünnschicht (41) , welche die Schutzschicht (9) sowie die Kopf-Seitenwand fläche als magnetische Abschirmung abdeckt und mit der Seitenwandfläche des magnetischen Elementes (1) verbun den ist.

2. Kopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die als magnetische Abschirmung dienende Schicht aus einem weichmagnetischen Material hergestellt ist, das aus der aus Kobaltverbindungen, Permalloys, Sendusts und Ferriten bestehenden Gruppe gewählt ist.

3. Kopf nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die als magnetische Abschirmung wirkende Schicht (41) eine Dicke von 0,02 bis 100 µm besitzt.

4. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn zeichnet, daß die Dicke im Bereich von 0,1 bis 30 µm liegt.

5. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn zeichnet, daß die als magnetische Abschirmung wirkende Schicht (41) durch Sputtern, Abscheidung aus der Gaspha se, chemische Dampfabscheidung oder Galvanisierung her gestellt ist.

6. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn zeichnet, daß die als magnetische Abschirmung dienende Schicht (41) sich bis nahezu an die Gleitfläche er streckt und die Schutzschicht (9) mit Ausnahme von An schlußflächen (42) bedeckt.

7. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die als magnetische Abschirmung dienende Schicht (41) wenigstens eine Schichtfolge umfaßt, die sich aus einer Schicht aus weichmagnetischem Material und einer Schicht aus anorganischem Material, das aus der Gruppe Al₂O₃ und SiO₂ ausgewählt ist, zusammenge setzt ist.

8. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch eine Zwischenschicht zwischen der Schutzschicht (9) und der als magnetische Abschirmung wirkenden Schicht (41) zur Sicherstellung der Haftung zwischen diesen Schichten.

9. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch eine aus einem Material, das aus der Gruppe Al₂O₃ und ZrO₂ ausgewählt ist, hergestellte Schutzschicht, welche die als magnetische Abschirmung dienende Schicht (41) bedeckt.

10. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekenn zeichnet, daß das magnetische Element (1) aus einem Ma terial hergestellt ist, das aus der Gruppe NiZn-Ferrit und Mn-Zn-Ferrit ausgewählt ist.

11. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekenn zeichnet, daß das nichtmagnetische Material aus der Ma terialgruppe Glas, SiO₂, Al₂O₃ und Bariumtitanat ausge wählt ist.

12. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekenn zeichnet, daß das die Nut (2) füllende nichtmagnetische Material (3) durch Schmelzen, Sputtern oder Vakuumab scheidung aufgebracht ist.

13. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekenn zeichnet, daß das magnetische Element (1) aus einem Mn- Zn-Ferrit hergestellt ist und daß zwischen dem magneti schen Element (1) und der Dünnschicht-Leiterspule (4) eine Isolationsschicht vorgesehen ist.

14. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekenn zeichnet, daß die Dünnschicht-Leiterspule (4) aus einem Material der Gruppe Gold, Kupfer, Chrom und Aluminium hergestellt ist.

15. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekenn zeichnet, daß die Dünnschicht-Leiterspule (4) durch Sputtern oder Vakuumabscheidung hergestellt ist.

16. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekenn zeichnet, daß die Zwischenisolationsschicht (5) aus einem Material der Gruppe SiO₂, Al₂O₃ sowie Polyimiden hergestellt ist.

17. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekenn zeichnet, daß das Fenster (6) durch Ionenätzen oder che misches Ätzen hergestellt ist.

18. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekenn zeichnet, daß die Hauptpol-Dickschicht (7) und die Hauptpolschicht (8) aus einem Material der Gruppe Eisenoxide, wie Permalloys und Sendusts, und amorphen Kobaltlegierungen hergestellt ist.

19. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekenn zeichnet, daß die Hauptpol-Dickschicht (7) und die Hauptpolschicht (8) durch Sputtern, Vakuumabscheidung oder Galvanisieren hergestellt sind.

20. Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekenn zeichnet, daß die Schutzschicht (9) aus einem anorgani schen Material der Gruppe Al₂O₃ und ZrO₂ hergestellt ist.