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DE502005007003D1 - Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen

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DE502005007003D1
DE502005007003D1 DE502005007003T DE502005007003T DE502005007003D1 DE 502005007003 D1 DE502005007003 D1 DE 502005007003D1 DE 502005007003 T DE502005007003 T DE 502005007003T DE 502005007003 T DE502005007003 T DE 502005007003T DE 502005007003 D1 DE502005007003 D1 DE 502005007003D1
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DE
Germany
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drive
tool
workpiece
producing microstructures
fast
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Application number
DE502005007003T
Other languages
English (en)
Inventor
Heinrich Ostendarp
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schott AG
Original Assignee
Schott AG
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Publication date
Application filed by Schott AG filed Critical Schott AG
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Anticipated expiration legal-status Critical
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    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/32—Feeding working-spindles

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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005044087A1 (de) 2005-09-08 2007-03-15 Schott Ag Aktor zur Bewegung eines Werkzeuges
US7328638B2 (en) * 2005-12-27 2008-02-12 3M Innovative Properties Company Cutting tool using interrupted cut fast tool servo
JP5031459B2 (ja) * 2007-06-27 2012-09-19 株式会社アルバック 粗微移動装置及びそれを備えた液体供給装置
DE102010029242A1 (de) * 2010-05-21 2011-11-24 Index-Werke Gmbh & Co. Kg Hahn & Tessky Führungseinrichtung und Werkzeugmaschine mit einer derartigen Führungseinrichtung
CN102152131B (zh) * 2011-02-28 2012-06-13 西安理工大学 滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及导轨装置
AT511468B1 (de) * 2011-04-20 2012-12-15 Fill Gmbh Dämpfungsrolle
DE102011101935B4 (de) * 2011-05-18 2014-10-09 Wsengineering Gmbh & Co.Kg Werkzeughalter mit axialem Ausweichmechanismus und Verfahren zur Herstellung eines Werkzeughalters mit einem Ausweichmechanismus
AT511330B1 (de) * 2011-06-03 2012-11-15 Piezocryst Advanced Sensorics Sensor für die messung von druck und/oder kraft
CN103567459B (zh) * 2012-07-20 2016-06-08 鸿准精密模具（昆山）有限公司 具有非回转曲面的工件
DE102013104923B3 (de) * 2013-05-14 2014-09-11 Hochschule Furtwangen Vorrichtung zur vibrationsunterstützten Werkstückbearbeitung
DE102014005543B3 (de) * 2014-04-16 2015-02-19 Innolite Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur ultrapräzisen Bearbeitung einer gewölbten und eisenhaltigen Negativfläche eines Formeinsatzes, Formeinsatz sowie ein damit hergestelltes optisches Element
TWI579537B (zh) * 2015-12-09 2017-04-21 財團法人金屬工業研究發展中心 Method of extracting dynamic vibration frequency
JP7413001B2 (ja) * 2019-12-20 2024-01-15 デクセリアルズ株式会社 ロール金型製造方法、ロール金型製造装置およびプログラム
JP7343384B2 (ja) * 2019-12-20 2023-09-12 デクセリアルズ株式会社 ロール金型製造方法、ロール金型製造装置およびプログラム
CN116079335A (zh) * 2023-02-28 2023-05-09 华南理工大学 一种关节轴承表面微结构的加工方法和一种关节轴承
CN116576095B (zh) * 2023-05-12 2024-06-07 烟台东德氢能技术有限公司 一种隔膜压缩机与电机对中调整方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58137542A (ja) * 1982-02-10 1983-08-16 Nakamuratome Seimitsu Kogyo Kk 複合旋盤における刃物台の支持装置
GB8912552D0 (en) * 1989-06-01 1989-07-19 Pilkington Plc Machine tool for single point diamond turning
EP0439425B1 (de) * 1990-01-24 1993-04-14 Ciba-Geigy Ag Vorrichtung zum Herstellen einer Kontaktlinse mit insbesondere asphärischer Vorder- und/oder Rückfläche
JPH04129602A (ja) * 1990-09-20 1992-04-30 Toyoda Mach Works Ltd 非真円創成装置
JP2682260B2 (ja) * 1991-05-09 1997-11-26 松下電器産業株式会社 微小研磨方法及び微小研磨工具
US5467675A (en) * 1993-11-15 1995-11-21 North Carolina State University Apparatus and method for forming a workpiece surface into a non-rotationally symmetric shape
GB2314452A (en) * 1996-06-17 1997-12-24 Rank Taylor Hobson Ltd Electromechanical actuator
DE19952996A1 (de) * 1999-11-04 2001-05-10 Heidelberger Druckmasch Ag Gravierorgan für elektronische Graviermaschine
JP3659132B2 (ja) * 2000-06-16 2005-06-15 株式会社村田製作所 荷重制御型アクチュエータ
DE10126039C2 (de) * 2001-05-21 2003-03-27 Univ Dresden Tech Einrichtung zur Feinzustellung eines Drehmeißels
AU2003249653A1 (en) * 2002-05-29 2003-12-19 Massachusetts Institute Of Technology Rotary fast tool servo system and methods
DE10224755A1 (de) * 2002-06-04 2003-12-24 Siemens Ag Steuerungsverfahren für eine industrielle Bearbeitungsmaschine

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