DE3731686A1 - Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer korrosionsfesten schicht auf der oberflaeche von mit lack ueberzogenen werkstuecken - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer korrosionsfesten schicht auf der oberflaeche von mit lack ueberzogenen werkstueckenInfo
- Publication number
- DE3731686A1 DE3731686A1 DE19873731686 DE3731686A DE3731686A1 DE 3731686 A1 DE3731686 A1 DE 3731686A1 DE 19873731686 DE19873731686 DE 19873731686 DE 3731686 A DE3731686 A DE 3731686A DE 3731686 A1 DE3731686 A1 DE 3731686A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- vacuum chamber
- protective
- corrosion
- polymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000003973 paint Substances 0.000 title 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 35
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 9
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 5
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 claims description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N methylsilane Chemical compound [SiH3]C UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/60—Deposition of organic layers from vapour phase
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D5/00—Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures
- B05D5/06—Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain multicolour or other optical effects
- B05D5/067—Metallic effect
- B05D5/068—Metallic effect achieved by multilayers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21S—NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES; SYSTEMS THEREOF; VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLE EXTERIORS
- F21S41/00—Illuminating devices specially adapted for vehicle exteriors, e.g. headlamps
- F21S41/30—Illuminating devices specially adapted for vehicle exteriors, e.g. headlamps characterised by reflectors
- F21S41/37—Illuminating devices specially adapted for vehicle exteriors, e.g. headlamps characterised by reflectors characterised by their material, surface treatment or coatings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V7/00—Reflectors for light sources
- F21V7/22—Reflectors for light sources characterised by materials, surface treatments or coatings, e.g. dichroic reflectors
- F21V7/24—Reflectors for light sources characterised by materials, surface treatments or coatings, e.g. dichroic reflectors characterised by the material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V7/00—Reflectors for light sources
- F21V7/22—Reflectors for light sources characterised by materials, surface treatments or coatings, e.g. dichroic reflectors
- F21V7/28—Reflectors for light sources characterised by materials, surface treatments or coatings, e.g. dichroic reflectors characterised by coatings
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vor
richtung zur Herstellung einer korrosionsfesten
Schicht mit hohem Reflexionsverhalten auf der Ober
fläche von Werkstücken, insbesondere von aus einem
Kunststoff gebildeten Reflektoreinsätzen, in einer
Vakuumkammer, mit einer Glimmkathode und einem Ver
dampfer.
Es ist ein Verfahren zur Herstellung einer Schutz
schicht auf der Oberfläche optischer Reflektoren,
vorzugsweise aluminiumbedampfter Reflektoren, in
einem Vakuum-Rezipienten, bekannt (DAS 26 45 448),
bei dem die Reflektoren einem monomeren Dampf orga
nischer Verbindungen ausgesetzt werden und bei dem
die Schutzschicht durch Polymerisation aus der
Dampfphase mit Hilfe der Strahlung aus einer elek
trischen Gasentladung abgeschieden wird, wobei die
Schutzschicht durch Polymerisation einer silizium
organischen Substanz gebildet wird.
Die Praxis hat jedoch gezeigt, daß die Erzeugung
eines Schichtenpaketes aus einer Lackschicht, einer
Aluminiumschicht und einer einzigen, aus einem
Polymer gebildeten Schutzschicht, insbesondere die
von der Automobilindustrie geforderte Korrosions
festigkeit nicht erreicht.
Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufga
be zugrunde, ein Schichtpaket anzugeben, das eine
herausragende Korrosionsfestigkeit bei besonders
gutem Reflexionsverhalten zeigt und auch die Vor
richtung zu ihrer Herstellung zu schaffen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst,
daß auf eine erste, aus einem Schutzlack bestehende
Schicht in der evakuierten Vakuumkammer eine zweite
Schicht aus einem Polymer, vorzugsweise aus Hexadi
methylsilan, anschließend eine dritte Schicht aus
einem Metall, vorzugsweise Aluminium, und schließ
lich eine vierte Schicht aus einem Polymer, vor
zugsweise aus Hexadimethylsilan, abgeschieden sind.
Vorzugsweise wird die zweite und vierte Schutz
schicht als monomerer Dampf aus einem Vorratsbehäl
ter in die Vakuumkammer eingelassen wird, in dem
sich die polymerisierbare Substanz in flüssiger
Form befindet.
Mit Vorteil wird während der Polymerisation der
Schutzschicht eine dauernde Durchströmung der Vaku
umkammer mit monomerem Dampf aufrecht erhalten.
Zweckmäßigerweise werden sowohl die Metallbedamp
fung zur Erzeugung der Reflexionsschicht wie auch
die Polymerisation der Schutzschichten auf der Re
flexionsschicht und der Lackschicht in der gleichen
Vakuumkammer in aufeinanderfolgenden Arbeitsgängen
durchgeführt, weshalb sich auch eine besonders ra
tionelle und kostengünstige Arbeitsweise ergibt.
Das Aufbringen der beiden polymeren Schutzschichten
und der reflektierenden Aluminiumschicht erfolgt
zweckmäßigerweise in einer Vorrichtung mit einer
Vakuumkammer, in der wenigstens eine thermische
Verdampferquelle und eine Glimmkathode vorgesehen
sind, wobei die Verdampferquelle aus einer Wolfram
wendel gebildet ist und der zu verdampfende Alumi
niumdraht in den von der Wendel umschlossenen Hohl
raum einschiebbar ist und wobei die Substrate auf
planetenartig in der Vakuumkammer rotierenden Trä
gern gehalten sind.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungs
möglichkeiten zu; eine davon ist in den anhängenden
Zeichnungen näher dargestellt, die in den Fig. 1
und 2 eine Aufdampfanlage zum Metallisieren vom
Scheinwerferreflektoren rein schematisch im Längs
und im Querschnitt und in Fig. 3 einen Teilschnitt
durch einen Scheinwerferreflektor mit den auf die
sen aufgebrachten vier Schichten zeigt.
Die Aufdampfanlage besteht gemäß Fig. 1 im wesent
lichen aus einer hohlzylindrischen Vakuumkammer 3
mit dem in dieser drehbar angeordneten Beschickungs
käfig 4, einem abnehmbaren Deckel 5 mit einem Schau
glas 6, der weit in die Vakuumkammer 3 hineinragen
den, am Bodenteil gehaltenen Glimmkathode 8, einem
ebenfalls am Bodenteil 7 gehaltenen Verdampfer 9,
einer Pumpeinrichtung, die mit der Vakuumkammer 3
über ein Vorvakuumventil 16 und ein Hochvakuumven
til 11 in Verbindung steht und aus der Diffusions
pumpe 12, einer Tiefkühlfalle 13, einer Betätigungs
einrichtung 14 für das Hochvakuumventil 11, einer
Wälzkolbenpumpe 17 und einer Sperrschieberpumpe 18.
Fig. 2 zeigt einen Schnitt quer durch die Vakuum
kammer 3 und insbesondere den Beschickungskäfig 4
mit den auf diesem angeordneten Scheinwerferreflek
toren 19, 19′, .... Der Beschickungskäfig 4 ist mit
mehreren, auf seinem Umfang verteilt angeordneten
Wellen 20, 20′, ... versehen, wobei jede Welle 20,
20′, ... wiederum mehrere Halterungen 21, 21′, ...
zur Aufnahme der einzelnen Reflektoren 19, 19′, ...
aufweist. Für den Beschickungskäfig 4 ist eine in
den Zeichnungen nicht näher dargestellte Antriebsvor
richtung mit Antriebsmotor und Getriebe vorgesehen,
die dafür sorgt, daß während des Beschichtungsvor
gangs jede einzelne Welle 20, 20′, ... sowohl um
ihre eigene Längsaches rotiert, als auch gleichzei
tig um die Längsachse der hohlzylindrischen Vakuum
kammer 3.
Nach dem Lackieren der Reflektoren 19, 19′, ...
werden diese getrocknet und anschließend in die
Vakuumkammer 3 eingefahren, die anschließend evaku
iert wird. Zum physikalischen Reinigen und zum Ver
bessern der Haftfestigkeit kann nun vor dem Auf
dampfen eine intensive Glimmentladung erzeugt wer
den.
Mit Hilfe der Kathode 8 wird nun über ein sich bil
dendes Plasma eine Polymerisation erzielt, indem
das Monomer in Dampfform aus einem Vorratsbehälter
in die Vakuumkammer 3 eingelassen wird, wobei sich
die polymerisierbare Substanz, in diesem Falle
Hexadimethylsilan (das auch unter dem Warenzeichen
"Glipoxan" im Handel ist), in flüssiger Form im
Vorratsbehälter (24) befindet. Um den Gaszufluß
regeln zu können, ist in die Gaszufuhrleitung 25
ein Regelventil 26 eingeschaltet, das über einen
nicht näher dargestellten elektrischen Schaltkreis
(ebenso wie auch die übrigen Aggregate, wie bei
spielsweise Pumpen 12, 17, 18, das Flutventil 27
und das Vorvakuumventil 16, die Betätigungseinrich
tung 14 für das Hochvakuumventil 11, die Glimmka
thode 8 und die Heizwendel 28 des Verdampfers 9 in
diesen Schaltkreis mit einbezogen sind) gesteuert
wird.
Nach dem Aufbringen der zweiten Schicht 30 wird bis
zu dem zum Bedampfen erforderlichen Arbeitsvakuum
weiter evakuiert und die Antriebsvorrichtung für
die Rotation der Reflektoren 19, 19′, ... einge
schaltet. Die thermischen Verdampferquellen, d.h.
die Heizwendel 28 , werden nun soweit erhitzt, daß
die in diese eingeschobenen Aluminiumstäbe 23
schmelzen, wobei sich das flüssige Aluminium zu
nächst auf der Wendel 28 verteilt. Bei einer weite
ren Aufheizung der Wendel 28 verdampft dann das
Aluminium und kondensiert auf den Formteilen bzw.
den Scheinwerferreflektoren 19, 19′, ... als dritte
Schicht 31. Auf diese dritte Schicht 31, die die
reflektierende Schicht bildet, wird nun eine vierte
Schicht 32 aufgebracht, die in ihrer Zusammenset
zung der zweiten Schicht 30 gleicht, also auch aus
einer siliziumorganischen Substanz entsprechend der
Formel (CH3)3 SiSi (CH3)3 besteht.
Der aus den vier Schichten 29 bis 32 bestehende
Belag zeichnet sich durch eine außergewöhnliche
Korrosionsbeständigkeit und Haftfähigkeit bei sehr
gutem Reflexionsvermögen aus. Der vierschichtige
Belag (29 bis 32) ist besonders gut bei Scheinwer
ferreflektoren für Kraftfahrzeuge einsetzbar, da
die Reflektoren auch bei jahrelangem Einsatz zu
keinerlei Verschleiß bzw. Erblindung neigen.
Auflistung der Einzelteile:
3 Vakuumkammer
4 Beschickungskäfig
5 Deckel
6 Schauglas
7 Bodenteil
8 Glimmkathode
9 Verdampfer
10 Pumpeinrichtung
11 Hochvakuumteil
12 Diffusionspumpe
13 Tiefkühlfalle
14 Betätigungseinrichtung
15 Umwegventil
16 Vorvakuumventil
17 Wälzkolbenpumpe
18 Sperrschieberpumpe
19, . . . Scheinwerferreflektoren
20, . . . Welle
21, . . . Halterung
23 Aluminiumstab
24 Vorratsbehälter
25 Gaszufuhrleitung
26 Regelventil
27 Flutventil
28 Heizwendel
29 Lackschicht
30 Polymer-Schicht
31 Aluminium-Schicht
32 Polymer-Schicht
4 Beschickungskäfig
5 Deckel
6 Schauglas
7 Bodenteil
8 Glimmkathode
9 Verdampfer
10 Pumpeinrichtung
11 Hochvakuumteil
12 Diffusionspumpe
13 Tiefkühlfalle
14 Betätigungseinrichtung
15 Umwegventil
16 Vorvakuumventil
17 Wälzkolbenpumpe
18 Sperrschieberpumpe
19, . . . Scheinwerferreflektoren
20, . . . Welle
21, . . . Halterung
23 Aluminiumstab
24 Vorratsbehälter
25 Gaszufuhrleitung
26 Regelventil
27 Flutventil
28 Heizwendel
29 Lackschicht
30 Polymer-Schicht
31 Aluminium-Schicht
32 Polymer-Schicht
Claims (5)
1. Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer
korrosionsfesten Schicht mit hohem Reflexions
verhalten auf der Oberfläche von Werkstücken,
insbesondere von aus Kunststoff gebildeten
Reflektoreinsätzen (19, 19′, ...) in einer
Vakuumkammer (3) mit einer Glimmkathode (8) und
einem Verdampfer (9), dadurch gekennzeichnet,
daß auf eine erste, aus einem Schutzlack be
stehenden Schicht (29) in der evakuierten Vaku
umkammer (3) eine zweite Schicht (30) aus einem
Polymer, vorzugsweise aus Hexadimethylsilan,
anschließend eine dritte Schicht (31) aus einem
Metall, vorzugsweise Aluminium, und schließlich
eine vierte Schicht (32) aus einem Polymer,
vorzugsweise aus Hexadimethylsilan, abgeschie
den ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die zweite und vierte Schutzschicht
(30 bzw. 32) als monomerer Dampf aus einem Vor
ratsbehälter (24) in die Vakuumkammer (3) ein
gelassen wird, in dem sich die polymerisierbare
Substanz in flüsiger Form befindet.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch
gekennzeichnet, daß während der Polymerisation
der Schutzschichten (30 bzw. 32) eine dauernde
Durchströmung der Vakuumkammer (3) mit monome
rem Dampf aufrecht erhalten wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl die
Metallbedampfung zur Erzeugung der Reflexions
schicht (31) wie auch die Polymerisation der
Schutzschichten (30, 32) auf der Reflexions
schicht (31) und der Lackschicht (29) in der
gleichen Vakuumkammer (3) in aufeinanderfolgen
den Arbeitsgängen durchgeführt werden.
5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß in der Vakuumkammer (3) wenig
stens eine thermische Verdampferquelle (9) und
eine Glimmkathode (8) vorgesehen sind, wobei die
Verdampferquelle aus einer Wolframwendel (28)
gebildet ist und der zu verdampfende Aluminium
draht (23) in den von der Wendel (28) umschlos
senen Hohlraum einschiebbar ist und wobei die
Substrate (19, 19′, ...) auf planetenartig in
der Vakuumkammer (3) rotierenden Trägern (21,
21′, ...) gehalten sind.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873731686 DE3731686A1 (de) | 1987-09-21 | 1987-09-21 | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer korrosionsfesten schicht auf der oberflaeche von mit lack ueberzogenen werkstuecken |
| US07/380,674 US4956196A (en) | 1987-09-21 | 1989-07-14 | Method for producing a corrosion-resistant coating on the surface of lacquered workpieces |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873731686 DE3731686A1 (de) | 1987-09-21 | 1987-09-21 | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer korrosionsfesten schicht auf der oberflaeche von mit lack ueberzogenen werkstuecken |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3731686A1 true DE3731686A1 (de) | 1989-04-06 |
Family
ID=6336479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19873731686 Ceased DE3731686A1 (de) | 1987-09-21 | 1987-09-21 | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer korrosionsfesten schicht auf der oberflaeche von mit lack ueberzogenen werkstuecken |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4956196A (de) |
| DE (1) | DE3731686A1 (de) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4010663A1 (de) * | 1990-04-03 | 1991-10-10 | Leybold Ag | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von vorderflaechenspiegeln |
| DE4039352A1 (de) * | 1990-12-10 | 1992-06-11 | Leybold Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von schichten auf oberflaechen von werkstoffen |
| WO1995008755A1 (de) * | 1993-09-23 | 1995-03-30 | Heraeus Noblelight Gmbh | Strahlungsanordnung mit reflektorkörper und deren verwendung |
| DE102004049111A1 (de) * | 2004-10-07 | 2006-04-13 | Leybold Optics Gmbh | Verfahren zur Glanzbeschichtung von Substraten sowie glanzbeschichtetes Substrat |
| DE102007012000A1 (de) * | 2007-03-10 | 2008-09-11 | Alexander Kuhn | Verfahren und Einrichtung zur Herstellung einer Beschichtung |
| DE10348639B4 (de) * | 2003-10-15 | 2009-08-27 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Schleusensystem für eine Vakuumanlage |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4204082A1 (de) * | 1992-02-12 | 1993-08-19 | Leybold Ag | Verfahren zur herstellung einer haftvermittelnden schicht auf werkstueckoberflaechen |
| US5320869A (en) * | 1992-12-04 | 1994-06-14 | Davidson Textron Inc. | Method for producing high gloss bright colored plastic articles |
| FR2756292B1 (fr) * | 1996-11-26 | 1998-12-24 | Saint Gobain Vitrage | Procede de preparation d'une feuille en matiere plastique, cette feuille et vitrage la comportant |
| DE19859695A1 (de) * | 1998-12-23 | 2000-06-29 | Leybold Systems Gmbh | Verfahren zum Beschichten von Substraten aus Kunststoff |
| US6520650B2 (en) * | 1999-02-08 | 2003-02-18 | Valeo Sylvania L.C.C. | Lamp reflector with a barrier coating of a plasma polymer |
| FR2796647B1 (fr) * | 1999-07-21 | 2002-05-03 | Valeo Vision | Procede de traitement de surface de pieces optiques pour vehicule automobile, en matiere plastique |
| JP3836657B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2006-10-25 | 株式会社小糸製作所 | ライン式膜形成方法 |
| US6599584B2 (en) * | 2001-04-27 | 2003-07-29 | The Coca-Cola Company | Barrier coated plastic containers and coating methods therefor |
| DE60226718D1 (de) * | 2002-07-08 | 2008-07-03 | Galileo Vacuum Systems S R L | Vorrichtung zur chargenweisen Vakuumbeschichtung von Gegenständen |
| CN101200798A (zh) * | 2006-12-15 | 2008-06-18 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 表面处理方法和电子装置 |
| CN102560402A (zh) * | 2012-02-10 | 2012-07-11 | 肇庆市振华金冠真空设备有限公司 | 车灯反光杯镀膜的方法 |
| US10544499B1 (en) * | 2018-08-13 | 2020-01-28 | Valeo North America, Inc. | Reflector for vehicle lighting |
| US12170189B2 (en) | 2019-12-18 | 2024-12-17 | Jiangsu Favored Nanotechnology Co., Ltd. | Coating apparatus and coating method |
| US11898248B2 (en) * | 2019-12-18 | 2024-02-13 | Jiangsu Favored Nanotechnology Co., Ltd. | Coating apparatus and coating method |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1521250A1 (de) * | 1966-05-03 | 1969-05-29 | Bayer Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Bedampfen von kleinen Gegenstaenden,insbesondere Linsen,mit Quarz oder Metallen |
| GB1191616A (en) * | 1968-01-26 | 1970-05-13 | Philips Electronic Associated | Improvements in or relating to a Method of Manufacturing Reflectors. |
| DE2263480A1 (de) * | 1972-01-24 | 1973-08-02 | Balzers Hochvakuum | Schutzschicht auf unterlagen zum schutz gegen mechanische und chemische einfluesse |
| DE2537416B2 (de) * | 1975-08-22 | 1977-06-30 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer schutzschicht auf der oberflaeche optischer reflektoren |
| US4358507A (en) * | 1978-11-13 | 1982-11-09 | Nhk Spring Co., Ltd. | Multi-layer reflectors |
| DE2650048C2 (de) * | 1975-11-21 | 1988-08-18 | National Aeronautics And Space Administration, Washington, D.C. | Verfahren zum Beschichten von Kunststoffgegenständen und -flächen |
-
1987
- 1987-09-21 DE DE19873731686 patent/DE3731686A1/de not_active Ceased
-
1989
- 1989-07-14 US US07/380,674 patent/US4956196A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1521250A1 (de) * | 1966-05-03 | 1969-05-29 | Bayer Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Bedampfen von kleinen Gegenstaenden,insbesondere Linsen,mit Quarz oder Metallen |
| GB1191616A (en) * | 1968-01-26 | 1970-05-13 | Philips Electronic Associated | Improvements in or relating to a Method of Manufacturing Reflectors. |
| DE2263480A1 (de) * | 1972-01-24 | 1973-08-02 | Balzers Hochvakuum | Schutzschicht auf unterlagen zum schutz gegen mechanische und chemische einfluesse |
| DE2537416B2 (de) * | 1975-08-22 | 1977-06-30 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer schutzschicht auf der oberflaeche optischer reflektoren |
| DE2650048C2 (de) * | 1975-11-21 | 1988-08-18 | National Aeronautics And Space Administration, Washington, D.C. | Verfahren zum Beschichten von Kunststoffgegenständen und -flächen |
| US4358507A (en) * | 1978-11-13 | 1982-11-09 | Nhk Spring Co., Ltd. | Multi-layer reflectors |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ULLMANN: Encyclopädie der Technischen Chemie, Verlag Chemie Weinheim New York, 4. Aufl. 1978, Bd. 15, S. 343-346 * |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4010663A1 (de) * | 1990-04-03 | 1991-10-10 | Leybold Ag | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von vorderflaechenspiegeln |
| EP0450165A3 (en) * | 1990-04-03 | 1992-01-15 | Leybold Aktiengesellschaft | Process and apparatus for coating upper surface reflecting mirrors |
| US5378284A (en) * | 1990-04-03 | 1995-01-03 | Leybold Aktiengesellschaft | Apparatus for coating substrates using a microwave ECR plasma source |
| DE4010663C2 (de) * | 1990-04-03 | 1998-07-23 | Leybold Ag | Vorrichtung und Verfahren zur plasmagestützten Beschichtung von Werkstücken |
| DE4039352A1 (de) * | 1990-12-10 | 1992-06-11 | Leybold Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von schichten auf oberflaechen von werkstoffen |
| EP0490028A1 (de) * | 1990-12-10 | 1992-06-17 | Leybold Aktiengesellschaft | Schichtsystem auf Oberflächen von Werkstoffen und Verfahren für seine Herstellung |
| WO1995008755A1 (de) * | 1993-09-23 | 1995-03-30 | Heraeus Noblelight Gmbh | Strahlungsanordnung mit reflektorkörper und deren verwendung |
| DE10348639B4 (de) * | 2003-10-15 | 2009-08-27 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Schleusensystem für eine Vakuumanlage |
| US8136549B2 (en) | 2003-10-15 | 2012-03-20 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Sluice system for a vacuum facility |
| DE102004049111A1 (de) * | 2004-10-07 | 2006-04-13 | Leybold Optics Gmbh | Verfahren zur Glanzbeschichtung von Substraten sowie glanzbeschichtetes Substrat |
| DE102007012000A1 (de) * | 2007-03-10 | 2008-09-11 | Alexander Kuhn | Verfahren und Einrichtung zur Herstellung einer Beschichtung |
| EP1970128A2 (de) | 2007-03-10 | 2008-09-17 | Kuhn, Alexander | Verfahren und Einrichtung zur Herstellung einer Beschichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4956196A (en) | 1990-09-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3731686A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer korrosionsfesten schicht auf der oberflaeche von mit lack ueberzogenen werkstuecken | |
| DE4209384C1 (de) | ||
| DE3742204C2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer korrosionsfesten, weitgehend absorptionsfreien Schicht auf der Oberfläche eines Werkstücks | |
| DE19802740A1 (de) | Verfahren zur Behandlung von Oberflächen von Substraten aus Kunststoff | |
| DE4204082A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer haftvermittelnden schicht auf werkstueckoberflaechen | |
| DE102004005313A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Ultrabarriere-Schichtsystems | |
| EP0857518B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Schutzbeschichtung von Verspiegelungsschichten | |
| DE19505258C2 (de) | Beschichtungsvorrichtung | |
| EP0892081B1 (de) | Vakuumbeschichtungsvorrichtung zum allseitigen Beschichten von Substraten durch Rotation der Substrate im Partikelstrom | |
| DE2826165C2 (de) | Verfahren zum Verdampfen von Legierungsschmelzen aus Metallen mit voneinander abweichenden Dampfdrücken und seine Anwendung | |
| DE69302507T2 (de) | Thermische Verdampfung in zwei Ebenen | |
| EP1816232B1 (de) | Verfahren zum allseitigen Beschichten von Gegenständen | |
| DE2625448A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer schutzschicht auf der oberflaeche optischer reflektoren und nach diesem verfahren hergestellte reflektoren | |
| DE102008046318A1 (de) | Vakuumbedampfungsvorrichtung, Vakuumbedampfungsverfahren und verdampfter Gegenstand | |
| DE19523550A1 (de) | PVD-Hartstoffbeschichtung | |
| DE102008028537A1 (de) | Verfahren zum Abscheiden einer Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat | |
| DE4444538C2 (de) | Einrichtung zur langzeitstabilen Verdampfung von Elementen und Verbindungen für die reaktive Abscheidung auf bewegten Substraten, vorzugsweise breiten Bändern | |
| WO2012143150A1 (de) | Verfahren zum abscheiden eines transparenten barriereschichtsystems | |
| GB2049737A (en) | Sputtering Device Target | |
| DE1032998B (de) | Vorrichtung zur Herstellung von duennen Schichten aus mehreren Komponenten | |
| EP1164388B1 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Gegenstands, der optische Schichten aufweist | |
| EP1104033A3 (de) | Verfahren zur Erzeugung einer supraleitfähigen Schicht | |
| WO2002097157A2 (de) | Modifizierter dlc-schichtaufbau | |
| DE2628658A1 (de) | Verfahren zur anbringung einer reflektierenden schicht, insbesondere auf den reflektoren von scheinwerfern | |
| DE2537416B2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer schutzschicht auf der oberflaeche optischer reflektoren |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| 8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 |
|
| 8131 | Rejection |