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DE3305683A1 - Feuchtigkeitsmessfuehler - Google Patents

Feuchtigkeitsmessfuehler

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DE3305683A1
DE3305683A1 DE19833305683 DE3305683A DE3305683A1 DE 3305683 A1 DE3305683 A1 DE 3305683A1 DE 19833305683 DE19833305683 DE 19833305683 DE 3305683 A DE3305683 A DE 3305683A DE 3305683 A1 DE3305683 A1 DE 3305683A1
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DE
Germany
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moisture
humidity
insulating substrate
sensitive layer
zirconium
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DE19833305683
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Akira Ootsu Shiga Kumada
Michihiro Kyoto Murata
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Description

  • Beschreibung
  • Gegenstand der Erfindung ist ein Feuchtigkeitsmeßfühler bzw. eine Feuchtigkeitsmeßsonde, die insbesondere im Hinblick auf die Materialzusammensetzung ihrer feuchtigkeitsempfindlichen Schicht verbessert ist.
  • Feuchtigkeitsmeßfühler sind im allgemeinen so aufgebaut, daß sie auf einem isolierenden Substrat einander gegenüberliegende Elektroden aufweisen und auf der Oberfläche des isolierenden Substrats mindestens zwischen den einander gegenüberliegenden Elektroden eine feuchtigkeitsempfindliche Schicht oder ein feuchtigkeitsempfindlicher Film vorliegt. Die feuchtigkeitsempfindliche Schicht umfaßt ein Material, welches eine vorbestimmte Feuchtigkeits/Widerstands-Charakteristik aufweist. Dabei ist der innere Widerstandswert der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht in Abhängigkeit von der Umgebungsfeuchtigkeit variabel, so daß über den Widerstandswert des Feuchtigkeitsmeßfühlers die Feuchtigkeit gemessen werden kann.
  • Bei einem herkömmlichen Feuchtigkeitsmeßfühler wird eine Schicht aus einem organischen Material, wie Cellulose, verwendet, die pulverförmigen Kohlenstoff enthält. Der Nachteil dieser Feuchtigkeitsmeßfühler ist darin zu sehen, daß das organische Material sich mit der Zeit verändert, so daß keine stabile Meßcharakteristik erreicht werden kann.
  • Ein weiteres Beispiel von herkömmlichen Feuchtigkeitsmeßfühlern sind jene, die als feuchtigkeitsempfindliche Schicht ein Metalloxid, wie Fe2O3, Fe304, Al2O3, Cr203 und dergleichen aufweisen. Dabei wird die feuchtigkeitsempfindliche Schicht durch Aufdampfen, Aufsputtern oder anderweitiges Aufbringen dieser Metalloxide gebildet. Es hat sich gezeigt, daß eine dünne Schicht oder ein dünner Film eines solchen Metalloxids ein überlegenes Absorptionsverhalten besitzt. Mit diesen Feuchtigkeitsmeßfühlern kann die Anderung der Feuchtigkeit über die Anderung des elektrischen Widerstands aufgrund der absorbierten Feuchtigkeit gemessen werden. Ein Vorteil dieser Feuchtigkeitsmeßfühler ist darin zu sehen, daß ihre feuchtigkeitsempfindliche Schicht ein schnelles Ansprechen zeigt.
  • Sie besitzen jedoch den Nachteil, daß sie einen relativ hohen Widerstandswert aufweisen und die Messung geringer Feuchtigkeitswerte schwierig ist.
  • Ein drittes Beispiel von herkömmlichen Feuchtigkeitsmeßfühlern verwendet keramische Halbleiter. Wenngleich die keramischen Halbleiter ausgezeichnete Wärmebeständigkeiten aufweisen, leiden sie an dem Nachteil, daß sie einen hohen spezifischen Widerstand aufweisen und im Vergleich zu jenen Feuchtigkeitsmeßfühlern mit einer feuchtigkeitsempfindlichen Schicht auf der Grundlage eines organischen Widerstandsfilms, wie sie als erstes Beispiel angesprochen sind, kostspielig sind.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht nun darin, die oben angesprochenen Probleme der herkömmlichen Feuchtigkeitsmeßfühler zu überwinden und einen Feuchtigkeitsmeßfühler zu schaffen, der eine große Änderung des Widerstandswerts in Abhängigkeit von der Feuchtigkeit zeigt, eine hohe Lebensdauer aufweist und selbst bei geringen Feuchtigkeitsgehalten reproduzierbare genaue Meßwerte ergibt.
  • Diese Aufgabe wird nun gelöst durch den Feuchtigkeitsmeßfühler gemäß Hauptanspruch. Die Unteransprüche betreffen besonders bevorzugte Ausführungsformen dieses Erfindungs- gegenstands.
  • Gegenstand der Erfindung ist somit ein Feuchtigkeitsmeßfühler mit einem isolierenden Substrat, auf der Oberfläche des isolierenden Substrats im Abstand voneinander ausgebildeten ersten und zweiten Elektroden und einer auf der Oberfläche des isolierenden Substrats angeordneten feuchtigkeitsempfindlichen Schicht, die mindestens den Bereich zwischen den einander gegenüberliegenden Elektroden bedeckt, und der dadurch gekennzeichnet ist, daß die feuchtigkeitsempfindliche Schicht (a) mindestens einen Vertreter der leitende Pulver und Halbleiterpulver umfassenden Gruppe, (b) einen pulverförmigen festen Elektrolyt und (c) ein organisches Polymer, welches mindestens zum Teil mit einer Zirkoniumverbindung vernetzt ist, enthält.
  • Als leitendes Pulver können pulverförmiger Kohlenstoff und Metallpulver, wie Palladiumpulver oder dergleichen, verwendet werden. Als Halbleiterpulver kann man pulverförmiges CrO2, NiO, Fe304, ZnO, SnO2, MnO2, TiO2x und halbleitende Titanate, wie Halbleiter aus der Bariumtitanatgruppe, Halbleiter aus der Strontiumtitanatgruppe und dergleichen einsetzen.
  • Als pulverförmigen festen Elektrolyt kann man Protonenleiter und Alkaliionenleiter einsetzen. Beispiele für Protonenleiter sind H3Mo12PO4029H2O, H3W12PO4029H2O, H8U02P04 4H20, hydratisiertes H3O+ ß-Al2O3, hydratisiertes 3 ß"-Al2O3, NH4+/H(H2O)x+ß"Al2O3, Montmorillonitaustauscher in der H -Form, Sb205-4H20 und SnO2.3H2O.
  • Beispiele für Alkaliionenleiter sind Na -ßAl2O3, Na+-ß"Al2O3, Na3Zr2PSi2O12, Li14Zn+(GeO4)4, Li4AlO4, Li4B7O12Cl, LiI+40 Mol-% Al203, Li -ßAl2O3, Li+ -B" Al2O3, K+-BAl2O3, K+-ß"Al203 K1,6Mg0,8 7,206,. K1,76 1,76 7,12 16' Li3VO4 und Li4GeO4.
  • Als organisches Polymer, das zumindest teilweise mit einer Zirkoniumverbindung vernetzt ist, kann man Epoxidharze, Ethylcellulose, Polyvinylalkohol, wasserlösliche Polymere, Siliconharze, Fluorharze und dergleichen verwenden. Das mit der Zirkoniumverbindung vermischte organische Polymer wird erhitzt, wodurch mindestens in einem Teil des organischen Polymers Brücken gebildet werden.
  • Als Zirkoniumverbindung kann man Zirkoniumoxidchlorid, Zirkoniumacetat und durch Hydratation dieser Salze gebildete Derivate verwenden.
  • Die feuchtigkeitsempfindliche Schicht des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitsmeßfühlers kann mindestens einen Vertreter aus den oben angegebenen Gruppen von Verbindungen enthalten.
  • Der Vernetzungsgrad des mit der Zirkoniumverbindung vernetzten organischen Polymers kann durch Anderung des Mischungsverhältnisses der Verbindungen, durch die angewandte Temperatur oder andere Bedingungen beeinflußt werden. Im Hinblick auf das Mischungsverhältnis der Bestandteile der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht ist festzustellen, daß das leitende Pulver und/oder das Halbleiterpulver sowie der pulverförmige feste Elektrolyt die Hauptmenge ausmachen, während der Rest durch das mit der Zirkoniumverbindung vernetzte organische Polymer gestellt wird.
  • Ein wesentliches Merkmal des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitsmeßfühlers ist die Anwendung eines pulverförmigen festen Elektrolyts. Durch die Verwendung eines pulverförmigen festen Elektrolyts ergibt sich der Vorteil, daß die Ionenleitung durch Adsorption von Wasser erleichtert wird, so daß der Feuchtigkeitsmeßfühler eine starke Anderung des Widerstandswerts in Abhängigkeit von Feuchtigkeitsänderungen zeigt. Weiterhin ergibt sich eine gesteigerte Änderung des Widerstandswerts im Bereich hoher Feuchtigkeit.
  • Feuchtigkeitsmeßfühler, die auf Ionenleitung basieren, besitzen die Möglichkeit, daß die durch Absorption von Feuchtigkeit erzeugten Ionen in dem Material verbleiben.
  • Wenn dann eine erneute Absorption von Feuchtigkeit erfolgt, kann die Menge der erzeugten Ionen zu groß sein.
  • Wenn andererseits eine inaktive Verbindung gebildet wird, kann die Menge der erzeugten Ionen zu gering sein. Das Ergebnis hiervon ist, daß eine Verschlechterung der Charakteristik des Feuchtigkeitsmeßfühlers zu beobachten ist.
  • Erfindungsgemäß wird jedoch das oben angesprochene Problem der Veränderung oder Verschlechterung der Meßcharakteristik durch die Anwendung eines festen Elektrolyts gelöst. Demzufolge besitzt der erfindungsgemäße Feuchtigkeitsmeßfühler eine Meßcharakteristik mit hoher Verläßlichkeit und Reproduzierbarkeit und zeigt eine geringere Verschlechterung oder Veränderung der Meßcharakteristik.
  • Weiterhin zeigt der erfindungsgemäße Feuchtigkeitsmeßfühler selbst im Tauzustand eine geringere Veränderung oder Verschlechterung der Meßcharakteristik und stellt damit einen ausgezeichneten Taumeßfühler dar.
  • Ein weiteres Merkmal des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitsmeßfühlers ist die Verwendung einer Zirkoniumverbindung.
  • Die Zirkoniumverbindung besitzt eine hohe Reaktivität und neigt zur Bildung eines anorganischen Polymers. Wenn die Zirkoniumverbindung mit einem mit der Zirkoniumverbindung verträglichen organischen Polymer kombiniert wird, dient die Zirkoniumverbindung als Vernetzungsmittel und bildet eine -O-Zr-Brücke mit dem organischen Polymer und stabilisiert in dieser Weise die Struktur der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht. Es hat sich weiterhin gezeigt, daß die Anwesenheit eines Zirkonium enthaltenden anorganischen Polymers nicht nur die Schicht als solche verfestigt, sondern bei der Absorption von Feuchtigkeit auch in starkem Maße den Widerstandswert absenkt, wenngleich der Widerstandswert der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht in trockenem Zustand sehr hoch ist, so daß in Abhängigkeit von der Feuchtigkeitsabsorption eine beträchtliche Anderung des Widerstandswerts erreicht wird. Wenngleich die genauen Hintergründe dieses Verhaltens nicht bekannt sind, wird angenommen, daß durch die Steigerung des hydrophilen Verhaltens der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht durch Einbringen einer Zirkoniumverbindung als auch durch die Ionenleitfähigkeit des festen Elektrolyts die Änderungsrate des Widerstandswerts in Abhängigkeit von der absorbierten Feuchtigkeit vergrößert wird.
  • Wenngleich man eine Änderung des elektrischen Widerstands in Abhängigkeit von der absorbierten Feuchtigkeit selbst bei Anwendung lediglich eines organischen Polymers beobachtet, ergibt sich selbst im Zustand absorbierter Feuchtigkeit ein extrem hoher Widerstandswert und es lassen sich keine großen Änderungen des Widerstandswerts beobachten, was für die praktische Anwendung nachteilig ist.
  • Weiterhin ist es äußerst schwierig, die Feuchtigkeits/ Widerstands-Charakteristik zu variieren. Erfindungsgemäß kann man jedoch selbst bei geringen Feuchtigkeitswerten relativ große änderungen des Widerstandswerts erreichen.
  • Weiterhin kann man erfindungsgemäß durch Änderung des Mischungsverhältnisses des leitenden Pulvers und/oder des Halbleiterpulvers, des pulverförmigen festen Elektrolyts, der Zirkoniumverbindung und des organischen Polymers den Bereich der Anderung des Widerstandswerts erweitern und damit Feuchtigkeitsmeßfühler mit der gewünschten Feuchtigkeits/Widerstands-Charakteristik erzeugen. Weiterhin kann der erfindungsgemäße Feuchtigkeitsmeßfühler sowohl als Taumeßfühler als auch als Feuchtigkeitsmeßfühler ausgelegt werden.
  • Die Erfindung sei im folgenden näher unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigen Fig. 1 eine Draufsicht auf ein Beispiel eines typischen erfindungsgemäßen Feuchtigkeitsmeßfühlers und Fig. 2 eine graphische Darstellung, die die Feuchtigkeits/Widerstands-Charakteristiken der Feuchtigkeitsmeßfühler der Beispiele 1 bis 7 wiedergibt.
  • Der erfindungsgemäße Feuchtigkeitsmeßfühler ist im allgemeinen so aufgebaut, daß auf einem isolierenden Substrat aus Glas, Keramik oder dergleichen eine feuchtigkeitsempfindliche Schicht so angeordnet wird, daß sie die'auf dem isolierenden Substrat ausgebildeten, einander gegenüberliegenden Elektroden bedeckt.
  • Ein Beispiel des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitsmeßfühlers ist in der Fig. 1 dargestellt. Wie zu erkennen ist, umfaßt der Meßfühler ein isolierendes Substrat 1 und auf dem isolierenden Substrat 1 angeordnete, einander gegenüberliegende Elektroden 2 und 3. Die einander gegenüberliegenden Elektroden 2 und 3 sind kammförmig ausgebildet und so angeordnet, daß die Zinkenbereiche ineinandergeschoben ange- ordnet sind bzw. die Zinken der einen Elektrode in den Lücken der anderen kammförmigen Elektrode angeordnet sind.
  • Dann wird eine feuchtiglceitsempfindliche Schicht oder ein feuchtigkeitsempfindlicher Film 4 auf dem isolierenden Substrat 1 derart ausgebildet, daß er die Oberfläche des isolierenden Substrats 1 dort bedeckt, wo die einander gegenüberliegenden Elektroden 2 und 3 angeordnet sind.
  • So wird die feuchtigkeitsempfindliche Schicht 4 auf der Oberfläche des isolierenden Substrats 1 mindestens zwischen den Elektroden 2 und 3 angeordnet. Mit den Endbereichen der entsprechenden gegenüberliegenden Elektroden 2 und 3 sind Leiteranschlüsse 5 und 6 elektrisch verbunden, über die der Feuchtigkeitsmeßfühler mit der Meßeinrichtung verbunden wird.
  • Im folgenden sei ein Beispiel eines Verfahrens zur Ausbildung der oben beschriebenen feuchtigkeitsempfindlichen Schicht 4 auf dem isolierenden Substrat 1 erläutert. Man vereinigt die Ausgangsmaterialien in einem vorbestimmten Mischungsverhältnis und mischt sie gut durch und mischt dann ein Lösungsmittel, wie Ethylalkohol, ein, um eine pastenartige, gleichmäßig dispergierte Mischung zu erhalten. Die in dieser Weise erhaltene pastenartige Mischung wird in Form einer Schicht auf die Oberfläche des isolierenden Substrats 1 aufgebracht, wo die einander gegenüberliegenden Elektroden 2 und 3 ausgebildet sind. Anschließend wird das Ganze auf eine Temperatur von 1000C bis zu einer Temperatur, bei der die Zirkoniumverbindung nicht zersetzt wird, erhitzt, so daß in dieser Weise die gewünschte feuchtigkeitsempfindliche Schicht 4 auf dem isolierenden Substrat 1 erhalten wird.
  • Bei dem obigen Beispiel wird nach dem Vermischen der Ausgangsmaterialien ein Lösungsmittel zugesetzt, um eine pastenartige Mischung zu bilden; es ist jedoch auch möglich, das Lösungsmittel alternativ zu der Zirkoniumverbindung zuzugeben und dann die anderen Materialien zuzusetzen, um in dieser Weise eine pastenartige Mischung zu bilden.
  • Die folgenden Beispiele dienen der weiteren Erläuterung der Erfindung, ohne daß diese jedoch darauf beschränkt sein soll.
  • Beispiel 1 Man gibt zu 0,7 g eines Epoxidharzes des Säureanhydridtyps 4,7 g MnO2 als Halbleiterpulver und 3,8 g H3O+-ßAl2O3 als pulverförmigen festen Elektrolyt. Dann gibt man eine alkoholische Lösung von Zirkoniumoxidchlorid (entsprechend 0,2 g ZrO2) zu, mischt die in dieser Weise erhaltene Mischung gut durch und vermischt mit Ethylalkohol unter Bildung einer pastenartigen Mischung geeigneter Viskosität.
  • Die erhaltene pastenartige Mischung wird in Form einer Schicht auf die Oberfläche eines isolierenden Substrats aus Aluminiumoxid aufgebracht, auf dem einander gegenüberliegende Goldelektroden ausgebildet sind. Die einander gegenüberliegenden Elektroden sind in einem Abstand von 0,5 mm angeordnet.
  • Dann mißt man die Anderung des Widerstandswerts des in dieser Weise erhaltenen Feuchtigkeitsmeßfühlers bei verschiedenen relativen Feuchtigkeiten. Die Fig. 2 verdeutlicht die Beziehung zwischen der relativen Feuchtigkeit und dem Widerstandswert (Feuchtigkeits/Widerstands-Charakteristik) des in dieser Weise erhaltenen Meßfühlers.
  • Dabei gibt die in der Fig. 2 mit der Bezugsziffer 1 bezeichnete Kurve die Charakteristik des Meßfühlers dieses Beispiels wieder.
  • Weiterhin unterwirft man den Feuchtigkeitsmeßfühler dieses Beispiels alternierend 1500 Zyklen von trockenen und feuchten Bedingungen unter angelegter Spannung. In der folgenden Tabelle sind die Widerstandswerte des Feuchtigkeitsmeßfühlers dieses Beispiels am Anfang und am Ende dieser Untersuchung angegeben.
  • Widerstandswert Widerstandswert bei einer Feuch- im Tauzustand tigkeit von 70 % Anfangswert 1 x 10 Mfl 460 k Wert nach dem Test 1 x 104 MR 360 k Wie aus der obigen Tabelle hervorgeht, zeigt der erfindungsgemäße Feuchtigkeitsmeßfühler eine geringe Änderung der Charakteristik bei der oben beschriebenen Betriebsdaueruntersuchung.
  • Weiterhin zeigt der erfindungsgemäße Feuchtigkeitsmeßfühler eine gute Empfindlichkeit zum Nachweis des Tauzustands im Vergleich zu herkömmlichen Feuchtigkeitsmeßfühlern und kann auch niedrige Feuchtigkeitswerte entsprechend einer relativen Feuchtigkeit von 20 bis 30 % messen.
  • Beispiel 2 Man gibt zu 0,7 g eines Epoxidharzes des Säureanhydridtyps 5,2 g MnO2 als Halbleiterpulver und 3,3 g H30 -ßAl2O3 als pulverförmigen festen Elektrolyt. Dann gibt man eine alkoholische Lösung von Zirkoniumoxidchlorid zu (entsprechend 0,6 g ZrO2), mischt gut durch, vermischt weiterhin mit Ethylalkohol unter Bildung einer pastenartigen Mischung der geeigneten Viskosität.
  • Dann bildet man nach der Verfahrensweise von Beispiel 1 einen Feuchtigkeitsmeßfühler. Die in der Fig. 2 dargestellte Kurve 2 verdeutlicht die relative Feuchtigkeits/ Widerstands-Charakteristik des Meßfühlers von Beispiel 2.
  • Wie aus der Fig. 2 zu entnehmen ist, zeigt der Feuchtigkeitsmeßfühler dieses Beispiels 2 eine gut proportionale oder lineare Widerstandsänderung in Abhängigkeit von der relativen Feuchtigkeit.
  • Beispiel 3 Durch Auflösen von Ethylcellulose in Ethylenglykolmonobutylether bildet man 2 g einer 16 %-igen Lösung dieses Materials. Dann gibt man 1,7 g pulverförmiges MnO2 als Halbleiterpulver und1,4 g pulverförmiges Li +-ßAl 203 als pulverförmigen festen Elektrolyt zu, mischt gut durch und versetzt mit einer alkoholischen Lösung von Zirkoniumoxidchlorid (entsprechend 0,16 g ZrO2) unter Bildung einer pastenartigen Mischung.
  • Die pastenartige Mischung wird nach der in Beispiel 1 beschriebenen Verfahrensweise zur Bildung eines Feuchtigkeitsmeßfühlers verwendet. Die Widerstandswerte des in dieser Weise erhaltenen Feuchtigkeitsmeßfühlers werden bei verschiedenen relativen Feuchtigkeiten gemessen. Die in der Fig. 2 dargestellte Kurve 3 verdeutlicht die erzielten Meßergebnisse.
  • Beispiel 4 Nach der Verfahrensweise des Beispiels 3 stellt man einen Feuchtigkeitsmeßfühler her, wobei man jedoch anstelle von Zirkoniumoxidchlorid Zirkoniumacetat (entsprechend 40 mg ZrO2) verwendet.
  • Die in der Fig. 2 dargestellte Kurve 4 verdeutlicht die Anderung des Widerstandswerts in Abhängigkeit von der relativen Feuchtigkeit.
  • Beispiel 5 Man bereitet 1 g einer 10 %-igen wäßrigen Lösung von Po-und lyvinylalkohol und gibt 0,31 g MnO2 und 0,14 g H30 -ßAl2O3 zu. Dann gibt man Zirkoniumoxidchlorid (entsprechend 0,018 g Zero2) zu und mischt gut durch. Die in dieser Weise erhaltene pastenartige Mischung wird nach der Verfahrensweise von Beispiel 1 zur Herstellung eines Feuchtigkeitsmeßfühlers verwendet, wobei man das Material während 20 Minuten auf 1200C erhitzt.
  • Die in der Fig. 2 dargestellte Kurve 5 verdeutlicht die Anderung des Widerstandswerts des in dieser Weise gebildeten Feuchtigkeitsmeßfühlers in Abhängigkeit von der relativen Feuchtigkeit.
  • Beispiel 6 Man gibt zu 0,7 g eines Epoxidharzes des Säureanhydridtyps 4,7 g MnO2 und 3,8 g Na -ßAl2O3. Anschließend versetzt man mit einer alkoholischen Lösung von Zirkoniumoxidchlorid (entsprechend 0,2 g ZrO2) und mischt gut unter Bildung einer pastenartigen Mischung durch. Die in dieser Weise erhaltene Paste wird nach der Verfahrensweise von Beispiel 1 zur Herstellung eines Feuchtigkeitsmeßfühlers verwendet.
  • Die Widerstandswerte des in dieser Weise erhaltenen Feuchtigkeitsmeßfühlers werden bei verschiedenen relativen Feuchtigkeiten gemessen. Die in der Fig. 2 dargestellte Kurve 6 verdeutlicht die Charakteristik dieses Feuchtigkeitsmeßfühlers. Der Widerstandswert im Tauzustand be- trägt 500 k Q.
  • Beispiel 7 Zu 0,7 g eines Epoxidharzes vom Säureanhydridtyp gibt man 8,5 g H30 -BAl203 und gibt eine alkoholische Lösung von Zirkoniumoxidchlorid (entsprechend 0,2 g ZrO2) zu. Dann mischt man die Mischung gut durch und verarbeitet die erhaltene Paste nach der Verfahrensweise von Beispiel 1 zu einem Feuchtigkeitsmeßfühler.
  • Man mißt den Widerstandswert des in dieser Weise erhaltenen Feuchtigkeitsmeßfühlers bei verschiedenen relativen Feuchtigkeiten. Die hierbei erhaltenen Ergebnisse sind in der Fig. 2 dargestellt. Dabei verdeutlicht die Kurve 7 die Meßergebnisse dieses Feuchtigkeitsmeßfühlers. Dieser Feuchtigkeitsmeßfühler zeigt im Tauzustand einen Widerstandswert von 400 kh, ein Wert, der größer ist als bei anderen Feuchtigkeitsmeßfühlern.
  • Wie aus den obigen Beispielen hervorgeht, ist es mit den erfindungsgemäßen Feuchtigkeitsmeßfühlern möglich, die Feuchtigkeits/Widerstands-Charakteristik durch Einstellen des Mischungsverhältnisses der zur Bildung der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht verwendeten Materialien zu steuern, so daß je nach Wunsch der Anderungsbereich des Widerstandswerts groß oder klein ausgelegt werden kann und in Abhängigkeit von den Anforderungen ein Feuchtigkeitssensor oder ein Tausensor gebildet werden kann. Weiterhin kann durch Einbringen eines festen Elektrolyts in die feuchtigkeitsempfindliche Schicht die Verschlechterung der Charakteristik durch Ionenleitung vermieden werden, so daß ein Feuchtigkeitsmeßfühler mit großer Verläßlichkeit erhalten wird. Da die feuchtigkeitsempfindliche Schicht weiterhin ein mit einer Zirkoniumverbindung ver- netztes organisches Polymer enthält, wird die Festigkeit der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht als solche gesteigert, was den Vorteil einer geringeren zeitabhängigen Verschlechterung der Meßcharakteristik mit sich bringt.
  • Weiterhin ergibt sich durch die Steigerung des hydrophilen Verhaltens der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht als Folge der Zirkoniumverbindung neben der Ionenleitfähigkeit als Folge des festen Elektrolyts ein Feuchtigkeitsmeßfühler mit ausgezeichneten Feuchtigkeitsmeßeigenschaften.

Claims (3)

  1. Feuchtigkeitsme ß fühler Patentansprüche Feuchtigkeitsmeßfühler mit einem isolierenden Substrat, auf der Oberfläche des isolierenden Substrats im Abstand voneinander ausgebildeten ersten und zweiten Elektroden und einer auf der Oberfläche des isolierenden Substrats angeordneten feuchtigkeitsempfindlichen Schicht, die mindestens den Bereich der Oberfläche zwischen den Elektroden bedeckt, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß die feuchtigkeitsempfindliche Schicht (4) (a) mindestens einen Vertreter der leitende Pulver und Halbleiterpulver umfassenden Gruppe, (b) einen pulverförmigen festen Elektrolyt und (c) ein organisches Polymer, welches mindestens zum Teil mit einer Zirkoniumverbindung vernetzt ist, enthält.
  2. 2. Feuchtigkeitsmeßfühler nach Anspruch 1, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der pulverförmige feste Elektrolyt ein Pulver mindestens eines Materials aus der Protonenleiter und Alkaliionenleiter umfassenden Gruppe ist.
  3. 3. Feuchtigkeitsmeßfühler nach Anspruch 1, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Zirkoniumverbindung aus der Gruppe ausgewählt ist, die Zirkoniumoxidchlorid, Zirkoniumacetat und die durch Hydratation dieser Zirkoniumverbindungen erhaltenen Derivate umfaßt.
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