[go: up one dir, main page]

DE3013770A1 - Sensor - Google Patents

Sensor

Info

Publication number
DE3013770A1
DE3013770A1 DE19803013770 DE3013770A DE3013770A1 DE 3013770 A1 DE3013770 A1 DE 3013770A1 DE 19803013770 DE19803013770 DE 19803013770 DE 3013770 A DE3013770 A DE 3013770A DE 3013770 A1 DE3013770 A1 DE 3013770A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
tongue
fet
resonance element
damping
externally attached
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19803013770
Other languages
English (en)
Other versions
DE3013770C2 (de
Inventor
Kurt Dr.-Ing. 7000 Stuttgart Binder
Theodor Prof. Dr.-Ing. 1000 Berlin Gast
Günter Dipl.-Ing. 7257 Ditzingen Hönig
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE19803013770 priority Critical patent/DE3013770A1/de
Publication of DE3013770A1 publication Critical patent/DE3013770A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3013770C2 publication Critical patent/DE3013770C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/12Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
    • G01P15/124Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance by semiconductor devices comprising at least one PN junction, e.g. transistors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L23/00Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
    • G01L23/22Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid for detecting or indicating knocks in internal-combustion engines; Units comprising pressure-sensitive members combined with ignitors for firing internal-combustion engines
    • G01L23/221Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid for detecting or indicating knocks in internal-combustion engines; Units comprising pressure-sensitive members combined with ignitors for firing internal-combustion engines for detecting or indicating knocks in internal combustion engines
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0822Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/0825Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0828Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • Sensor
  • Stand der Technik Die Erfindung geht aus von einem Sensor nach der Gattung des Hauptanspruches. Es ist bekannt, daß bei Brennkraftmaschinen unter bestimmten Arbeitsbedingungen ein sogenanntes Klopfen auftritt. Hierunter versteht man tonfrequente Schwingungen des komprimierten Kraftstoff-Luft-Gemisches, die durch eine Stoßwelle ausgelöst werden.
  • Während dieser Schwingungen ist der Wärmeübergang an Kolben und Zylinderwänden der Brennkraftmaschine stark überhöht. Dies bedingt eine schädliche thermische Überlastung dieser Flächen, so daß das Klopfen grundsätzlich zu vermeiden ist. Da man jedoch andererseits bestrebt ist, den bestehenden Arbeitsbereich der Brennkraftmaschine möglichst weitgehend auszunützen, besteht Interesse an einem Sensor, der das Klopfen frühzeitig und sicher anzeigt.
  • Bekannte Sensoren zu diesem Zweck sind piezoelektrische Druckindikatoren, die in eine besondere Bohrung im Zylinderkopf einer Brennkraftmaschine eingeschraubt werden und mit dem Innenraum des Zylinders der Brennkraftmaschine in Verbindung stehen. Eine derartige Befestigungsart ist jedoch außerordentlich aufwendig und teuer.
  • Aus dem Buch von Camenzind, Circuit Design for Integrated Electronics, Addison-Wesley Publishing Company, 1968 ist ein Resonanzelement bekannt, das aus einer resonanzfähigen Zunge besteht, die über einem Kanal einer FET-Struktur angeordnet ist.
  • Vorteile der Erfindung Der erfindungsgemäße Sensor mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs hat gegenüber den bekannten Klopfsensoren den Vorteil, daß der Sensor außen an der Brennkraftmaschine angebracht werden kann und daß das Resonanzelement unmittelbar Bestandteil einer elektronischen Schaltung ist, so daß ein besonders kompakter Aufbau bei gleichzeitig hoher Empfindlichkeit möglich ist.
  • Zeichnung Ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Sensors ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Resonanzelementes; Fig. 2: eine Draufsicht der in Fig. 1 dargestellten Anordnung.
  • Beschreibung des Ausführungsbeispieles Bei dem in Fig. 1 dargestellten Resonanzelement ist auf einem Substrat 10 vermittels eines Fußteiles 11-eine resonanzfähige Zunge 12 befestigt, die über einem Kanal 13, der ein Gate einer FET-Struktur bildet, angeordnet ist. Die FET-Struktur 14 weist weiterhin eine Source-Elektrode 15 und eine Drain-Elektrode 16 auf. Unter dem freien Ende der Zunge 12 ist eine Elektrodenplatte 17 angeordnet, die mit einer Spannungsquelle 18 verbunden ist. Die Drain-Elektrode 16 ist weiterhin an eine Gleichspannungsquelle 19 und über einen Koppelkondensator 20 an eine Klemme 21 angeschlossen.
  • Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung bildet ein resonantes System, wobei die Resonanzfrequenz der Zunge 12 in bekannter Weise von ihrer Länge, Breite, von der Dichte des verwendeten Materiales und vom Elastizitätsmodul des Materiales abhängt. Wird die Anordnung entsprechend Fig. 1 nun mit einem schwingungsfähigen Teil der Brennkraftmaschine verbunden und ist die Resonanzfrequenz der Zunge 12 so eingestellt, daß sie der Klopffrequenz der jeweiligen Brennkraftmaschine entspricht, entsteht beim Klopfen der Brennkraftmaschine eine resonante Schwingung der Zunge 12. Diese Resonanzerscheinung wirkt sich über den Kanal 13 auf die FET-Struktur aus, die im Takt der Schwingungsbewegung der Zunge 12 moduliert wird. Das Resonanzsignal läßt sich dann über den Koppelkondensator 20 und die Klemme 21 abgreifen und in an sich bekannter Weise weiterverarbeiten.
  • Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 2 dargestellt. Hierbei wird die gleiche Vorrichtung wie in Fig. 1 verwendet, mit dem Unterschied, daß die FET-Struktur 14 eine weitere Gate-Elektrode 22 aufweist, die von einem Hochfrequenzgenerator 23 gespeist wird. Durch Einspeisung des Hochfrequenzsignales aus der Hochfrequenzgenerator 23 ist eine Messung der Resonanz im Trägerfrequenzverfahren möglich, wenn die Frequenz des Hochfrequenzgenerators 23 wesentlich höher liegt als die Resonanzfrequenz der Zunge 12. Auf diese Weise ist es möglich, bereits am Meßort den Meßwert in einen Frequenzbereich umzusetzen, der frei von den im Kraftfahrzeug üblichen Störsignalen ist.
  • Will man die Resonanz der Zunge 12 in definierter Weise bedämpfen, kann man sich hierzu der Elektrodenplatte 17 bedienen. über die Spannungsquelle 18 wird hierzu eine Polarisationsspannung zwischen die Zunge 12 und die Elektrodenplatte 17 gelegt, so daß sich zwischen dem freien Ende der Zunge 12 und der Elektrodenplatte 17 ein elektrisches Feld ausbildet. Die durch Anlegung einer konstanten Polarisationsspannung auftretende Kraft zwischen dem freien Ende der Zunge 12 und der Elektrodenplatte 17 bewirkt dabei die gewünschte Dämpfung der Zunge 12.
  • Sensor Zusainmenfassung Es wird ein Sensor zur Erfassung der beim Klopfen einer Brennkraftmaschine auftretenden Schwingungen mit Hilfe eines Resonanzelementes vorgeschlagen, bei dem als Resonanzelement ein an sich bekannter Feldeffekttransistor-Resonator, bestehend aus einer resonanzfähigen Zunge, die über einem Kanal einer FET-Struktur angeordnet ist, verwendet wird.
  • Leerseite

Claims (3)

  1. Ansprüche 1. Sensor zur Erfassung der beim Klopfen einer Brennkraftmaschine auftretenden Schwingungen mit Hilfe eines Resonanzelementes, dadurch gekennzeichnet, daß als Resonanzelement ein an sich bekannter Feldeffekttransistor-Resonator, bestehend aus einer resonanzfähigen Zunge (12), die über einem Kanal (13) einer FET-Struktur (14) angeordnet ist, verwendet wird.
  2. 2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die FET-Struktur (14) ein zusätzliches Gate (22) aufweist, über das die FET-Struktur (14) mit einer Frequenz modulierbar ist, die wesentlich höher als die Klopffrequenz liegt.
  3. 3. Sensor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das freie Ende der Zunge (12) in dichtem Abstand von einer Elektrodenplatte (17) angeordnet ist und zur Dämpfung des Resonanzelementes eine Polarisationsspannung zwischen Zunge (12) und Elektrodenplatte (17) geschaltet ist.
DE19803013770 1980-04-10 1980-04-10 Sensor Granted DE3013770A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19803013770 DE3013770A1 (de) 1980-04-10 1980-04-10 Sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19803013770 DE3013770A1 (de) 1980-04-10 1980-04-10 Sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3013770A1 true DE3013770A1 (de) 1981-10-29
DE3013770C2 DE3013770C2 (de) 1989-11-30

Family

ID=6099656

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19803013770 Granted DE3013770A1 (de) 1980-04-10 1980-04-10 Sensor

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3013770A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2578323A1 (fr) * 1985-03-01 1986-09-05 Metravib Sa Capteur integre de grandeurs mecaniques a effet capacitif et procede de fabrication.
DE3515349A1 (de) * 1985-04-27 1986-10-30 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn Elektrischer geber zur messung mechanischer groessen
FR2599833A1 (fr) * 1986-06-10 1987-12-11 Metravib Sa Capteur de grandeurs mecaniques integre sur silicium et procede de fabrication
DE4015038A1 (de) * 1989-05-15 1990-11-22 Mitsubishi Electric Corp Vorrichtung zum ueberwachen des zuendzeitpunkts einer brennkraftmaschine
EP0826967A1 (de) * 1996-09-02 1998-03-04 STMicroelectronics S.r.l. Halbleiter-Beschleunigungsmessaufnehmer

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3413573A (en) * 1965-06-18 1968-11-26 Westinghouse Electric Corp Microelectronic frequency selective apparatus with vibratory member and means responsive thereto
DE2801969A1 (de) * 1978-01-18 1979-07-19 Bosch Gmbh Robert Sensor fuer schwingungen
DE2829246A1 (de) * 1978-07-04 1980-01-17 Bosch Gmbh Robert Einrichtung zur erfassung der beim klopfen einer brennkraftmaschine auftretenden schwingungen

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3413573A (en) * 1965-06-18 1968-11-26 Westinghouse Electric Corp Microelectronic frequency selective apparatus with vibratory member and means responsive thereto
DE2801969A1 (de) * 1978-01-18 1979-07-19 Bosch Gmbh Robert Sensor fuer schwingungen
DE2829246A1 (de) * 1978-07-04 1980-01-17 Bosch Gmbh Robert Einrichtung zur erfassung der beim klopfen einer brennkraftmaschine auftretenden schwingungen

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2578323A1 (fr) * 1985-03-01 1986-09-05 Metravib Sa Capteur integre de grandeurs mecaniques a effet capacitif et procede de fabrication.
EP0194953A1 (de) * 1985-03-01 1986-09-17 Metravib S.A. Integrierter kapazitiver Sensor für mechanische Grössen und dessen Fabrikationsverfahren
DE3515349A1 (de) * 1985-04-27 1986-10-30 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn Elektrischer geber zur messung mechanischer groessen
FR2581178A1 (fr) * 1985-04-27 1986-10-31 Messerschmitt Boelkow Blohm Capteur electrique pour mesurer des grandeurs mecaniques
FR2599833A1 (fr) * 1986-06-10 1987-12-11 Metravib Sa Capteur de grandeurs mecaniques integre sur silicium et procede de fabrication
WO1987007729A1 (fr) * 1986-06-10 1987-12-17 Metravib R.D.S. Capteur de grandeurs mecaniques integre sur silicium et procede de fabrication
DE4015038A1 (de) * 1989-05-15 1990-11-22 Mitsubishi Electric Corp Vorrichtung zum ueberwachen des zuendzeitpunkts einer brennkraftmaschine
EP0826967A1 (de) * 1996-09-02 1998-03-04 STMicroelectronics S.r.l. Halbleiter-Beschleunigungsmessaufnehmer

Also Published As

Publication number Publication date
DE3013770C2 (de) 1989-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2801969C2 (de) Sensor für Schwingungen
DE4118793C2 (de) Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstandes in einem Behälter
DE3878473T2 (de) Wandler fuer fluessigkeiten.
DE2917213A1 (de) Vorrichtung zum ermitteln der staerke des klopfens einer brennkraftmaschine
DE60102976T2 (de) Signalverarbeitung für einen piezoelektrischen Sensor mit Differenzierer und Integrierer
DE4343135A1 (de) Drehratensensor
DE69930652T2 (de) Monolithischer miniatur-beschleunigungssensor
DE3201755C2 (de) Piezoelektrischer Klopfsensor für Brennkraftmaschinen
DE3933947C1 (en) Combustion pressure determn. method for petrol-diesel engine - using acceleration sensors fitted at crankshaft bearings of engine in cylinder axial direction
DE3013770A1 (de) Sensor
DE3843143A1 (de) Sensor zur bestimmung der winkelgeschwindigkeit
DE4401313B4 (de) Piezoelektrischer, in Resonanz schwingender Klopfsensor für eine Verbrennungskraftmaschine
DE2917406A1 (de) Druckaufnehmer zur erfassung der beim klopfen einer brennkraftmaschine auftretenden schwingungen
DE2952580A1 (de) Klopfsensor zum nachweis des klopfens von kraftfahrzeugmotoren
DE19831270B4 (de) Anordnung und Verfahren zur Bestimmung und Überwachung des Spannungszustandes eines Befestigungselementes
DE3813932C2 (de)
DE3013684C2 (de) Klopfsensor
DE102010014572A1 (de) Vorrichtung zur Erfassung eines Schmiermittelniveaus für eine Brennkraftmaschine
DE4444831A1 (de) Drucksensor
DE4024339A1 (de) Beschleunigungsdetektor
DE2944647C2 (de) Sensor zur Erfassung der beim Klopfen einer Brennkraftmaschine auftretenden Schwingungen
DE3120037C2 (de)
DE4042600C3 (de) Piezoelektrischer Beschleunigungsmesser
DE3028187A1 (de) Sensor
DE10108051C2 (de) Vorrichtung zum Messen des Verbrennungsdruckes

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee