DE3013770C2 - - Google Patents
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- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
- G01P15/124—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance by semiconductor devices comprising at least one PN junction, e.g. transistors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
- G01L23/22—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid for detecting or indicating knocks in internal-combustion engines; Units comprising pressure-sensitive members combined with ignitors for firing internal-combustion engines
- G01L23/221—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid for detecting or indicating knocks in internal-combustion engines; Units comprising pressure-sensitive members combined with ignitors for firing internal-combustion engines for detecting or indicating knocks in internal combustion engines
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
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Description
Die Erfindung betrifft einen Sensor nach dem Oberbegriff des Patent
anspruchs 1.
Es ist bekannt, daß bei Brennkraftmaschinen unter bestimmten Ar
beitsbedingungen ein sogenanntes Klopfen auftritt. Hierunter
versteht man tonfrequente Schwingungen des komprimierten
Kraftstoff-Luft-Gemisches, die durch eine Stoßwelle ausgelöst
werden. Während dieser Schwingungen ist der Wärmeübergang an Kolben
und Zylinderwänden der Brennkraftmaschine stark überhöht. Dies
bedingt eine schädliche thermische Überlastung dieser Flächen, so
daß das Klopfen grundsätzlich zu vermeiden ist. Da man jedoch
andererseits bestrebt ist, den bestehenden Arbeitsbereich der
Brennkraftmaschine möglichst weitgehend auszunützen, besteht
Interesse an einem Sensor, der das Klopfen frühzeitig und sicher
anzeigt.
Bekannte Sensoren zu diesem Zweck sind piezoelektrische
Druckindikatoren, die in eine besondere Bohrung im Zylinderkopf
einer Brennkraftmaschine eingeschraubt werden und mit dem Innenraum
des Zylinders der Brennkraftmaschine in Verbindung stehen. Eine der
artige Befestigungsart ist jedoch außerordentlich aufwendig und
teuer.
Aus dem Buch von Hans R. Camenzind, "Circuit Design for Integrated
Electronics", Addision-Wesley Publishing Company, 1968, ist ein
Resonanzelement bekannt, das aus einer resonanzfähigen Zunge
besteht, die über einem Kanal einer FET-Struktur angeordnet ist.
Aus der DE-OS 28 01 969 ist des weiteren bereits ein Sensor nach dem
Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bekannt, bei dem das Resonanz
element als piezoelektrisches Element ausgebildet ist. Das
elektrische Ausgangssignal wird hierbei an zwei metallischen Belägen
abgenommen, die an den beiden freien Flächen der resonanzfähigen
Zunge des piezoelektrischen Elements angebracht sind. Dieser be
kannte Sensor hat jedoch den Nachteil, daß er als diskretes Bau
element ausgebildet ist und nicht Bestandteil einer monolitisch
integrierten Schaltung sein kann. Ein weiterer Nachteil besteht
darin, daß das elektrische Ausgangssignal des piezoelektrischen
Elements nicht mit einer weiteren Frequenz modulierbar ist, so daß
eine Auswertung des Ausgangssignals im Trägerfrequenzverfahren bei
dem bekannten Sensor nicht möglich ist.
Aus der US-PS 34 13 573 ist des weiteren bereits ein als
Feldeffektransistor-Resonator ausgebildetes Resonanzelement
bekannt, bei dem ein resonanzfähiges, als Stab ausgebildetes Glied
über einem Kanal einer FET-Struktur angeodnet ist. Das elektrische
Ausgangssignal der FET-Struktur ist hierbei über eine zusätzliche
Elektrode modulierbar, die sich außerhalb der FET-Struktur befindet
und auf das resonanzfähige Glied einwirkt.
In der DE-Patentanmeldung P 28 29 246 wurde des weiteren eine Ein
richtung zur Erfassung der beim Klopfen einer Brennkraftmaschine
auftretenden Schwingungen vorgeschlagen, bei der ein
piezoelektrischer Biegeschwinger als Resonanzelement dient. Auch
dieser Sensor hat den Nachteil, daß er als diskretes Bauelement aus
gebildet ist und nicht Bestandteil einer monolitisch integrierten
Schaltung sein kann.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Sensor nach dem
Oberbegriff des Patentanspruchs 1 derart auszubilden, daß er Be
standteil einer monolitisch integrierten Schaltung sein kann, und
gleichzeitig Mittel vorzusehen, durch die das elektrische Ausgangs
signal des Resonanzelements mit einer Frequenz modulierbar ist, die
wesentlich höher als die Klopffrequenz liegt.
Erfindungsgemäß ist diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale
des Patentanspruchs 1 gelöst. Weitere Vorteile der Erfindung ergeben
sich aus dem Unteranspruch 2.
Ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Sensors wird anhand
von Figuren in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Resonanzelementes;
Fig. 2 eine Draufsicht der in Fig. 1 dargestellten Anordnung.
Bei dem in Fig. 1 dargestellten Resonanzelement ist auf einem
Substrat 10 vermittels eines Fußteiles 11 eine resonanzfähige Zunge
12 befestigt, die über einem Kanal 13, der ein Gate einer
FET-Struktur bildet, angeordnet ist.
Die FET-Struktur 14 weist weiterhin eine Source-Elektrode 15 und
eine Drain-Elektrode 16 auf. Unter dem freien Ende der Zunge 12 ist
eine Elektrodenplatte 17 angeordnet, die mit einer Spannungsquelle
18 verbunden ist. Die Drain-Elektrode 16 ist weiterhin an eine
Gleichspannungsquelle 19 und über einen Koppelkondensator 20 an eine
Klemme 21 angeschlossen.
Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung bildet ein resonantes System,
wobei die Resonanzfrequenz der Zunge 12 in bekannter Weise von ihrer
Länge, Breite, von der Dichte des verwendeten Materiales und vom
Elastizitätsmodul des Materiales abhängt. Wird die Anordnung ent
sprechend Fig. 1 nun mit einem schwingungsfähigen Teil der Brenn
kraftmaschine verbunden und ist die Resonanzfrequenz der Zunge 12 so
eingestellt, daß sie der Klopffrequenz der jeweiligen Brennkraft
maschine entspricht, entsteht beim Klopfen der Brennkraftmaschine
eine resonante Schwingung der Zunge 12. Diese Resonanzerscheinung
wirkt sich über den Kanal 13 auf die FET-Struktur aus, die im Takt
der Schwingungsbewegung der Zunge 12 moduliert wird. Das Resonanz
signal ließe sich nun bereits über den Koppelkondensator 20 und die
Klemme 21 abgreifen und weiterverarbeiten.
Nach Fig. 2 ist jedoch vorgesehen, daß die FET-Struktur 14 eine
weitere Gate-Elektrode 22 aufweist, die von einem Hochfrequenz
generator 23 gespeist wird. Durch Einspeisung des Hochfrequenz
signales aus dem Hochfrequenzgenerator 23 ist eine Messung der
Resonanz im Trägerfrequenzverfahren möglich, wenn die Frequenz des
Hochfrequenzgenerators 23 wesentlich höher liegt als die Resonanz
frequenz der Zunge 12. Auf diese Weise ist es möglich, bereits am
Meßort den Meßwert in einen Frequenzbereich umzusetzen, der frei von
den im Kraftfahrzeug üblichen Störsignalen ist.
Will man die Resonanz der Zunge 12 in definierter Weise bedämpfen,
kann man sich hierzu der Elektrodenplatte 17 bedienen. Über die
Spannungsquelle 18 wird hierzu eine Polarisationsspannung zwischen
die Zunge 12 und die Elektrodenplatte 17 gelegt, so daß sich
zwischen dem freien Ende der Zunge 12 und der Elektrodenplatte 17
ein elektrisches Feld ausbildet. Die durch Anlegung einer konstanten
Polarisationsspannung auftretende Kraft zwischen dem freien Ende der
Zunge 12 und der Elektrodenplatte 17 bewirkt dabei die gewünschte
Dämpfung der Zunge 12.
Claims (2)
1. Sensor zur Erfassung der beim Klopfen einer Brennkraftmaschine
auftretenden Schwingungen mit einem ein elektrisches Ausgangssignal
abgebenden Resonanzelement, das eine resonanzfähige Zunge (12) ent
hält, dadurch gekennzeichnet, daß das Resonanzelement als Feld
effekttransistor-Resonator ausgebildet ist, bei dem die resonanz
fähige Zunge (12) über einem Kanal (13) einer FET-Struktur (14) an
geordnet ist, das elektrische Ausgangssignal an der Source-Drain-
Strecke der FET-Struktur (14) abgenommen ist und die FET-Struktur
(14) ein zusätzliches Gate (22) aufweist, über das das elektrische
Ausgangssignal der FET-Struktur (14) mit einer Frequenz modulierbar
ist, die wesentlich höher als die Klopffrequenz liegt.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das freie En
de der Zunge (12) in dichtem Abstand von einer Elektrodenplatte (17)
angeordnet ist und daß zur Dämpfung der Schwingungen des Resonanz
elementes eine Polarisationsspannung zwischen Zunge (12) und Elek
trodenplatte (17) geschaltet ist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19803013770 DE3013770A1 (de) | 1980-04-10 | 1980-04-10 | Sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19803013770 DE3013770A1 (de) | 1980-04-10 | 1980-04-10 | Sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3013770A1 DE3013770A1 (de) | 1981-10-29 |
| DE3013770C2 true DE3013770C2 (de) | 1989-11-30 |
Family
ID=6099656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19803013770 Granted DE3013770A1 (de) | 1980-04-10 | 1980-04-10 | Sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3013770A1 (de) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2578323B1 (fr) * | 1985-03-01 | 1987-11-20 | Metravib Sa | Capteur integre de grandeurs mecaniques a effet capacitif et procede de fabrication. |
| DE3515349A1 (de) * | 1985-04-27 | 1986-10-30 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn | Elektrischer geber zur messung mechanischer groessen |
| FR2599833B1 (fr) * | 1986-06-10 | 1992-02-14 | Metravib Sa | Capteur de grandeurs mecaniques integre sur silicium et procede de fabrication |
| US5070843A (en) * | 1989-05-15 | 1991-12-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Ignition timing control apparatus of internal-combustion engine |
| EP0826967A1 (de) * | 1996-09-02 | 1998-03-04 | STMicroelectronics S.r.l. | Halbleiter-Beschleunigungsmessaufnehmer |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3413573A (en) * | 1965-06-18 | 1968-11-26 | Westinghouse Electric Corp | Microelectronic frequency selective apparatus with vibratory member and means responsive thereto |
| DE2801969C2 (de) * | 1978-01-18 | 1982-11-04 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Sensor für Schwingungen |
| DE2829246A1 (de) * | 1978-07-04 | 1980-01-17 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zur erfassung der beim klopfen einer brennkraftmaschine auftretenden schwingungen |
-
1980
- 1980-04-10 DE DE19803013770 patent/DE3013770A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3013770A1 (de) | 1981-10-29 |
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