DE2823360A1

DE2823360A1 - Vorrichtung zur ueberfuehrung von gegenstaenden

Info

Publication number: DE2823360A1
Application number: DE19782823360
Authority: DE
Inventors: Georg Fischer; Richard Heim
Original assignee: Texas Instruments Deutschland GmbH
Current assignee: Texas Instruments Deutschland GmbH
Priority date: 1978-05-29
Filing date: 1978-05-29
Publication date: 1979-12-06
Also published as: CH612612A5; DE2823360B2; DE2823360C3; US4221533A

Description

	Patentanwälte	Dipl -Ing.	29.	Mai	1978
Dipl -Ing	Dipl -Chem	G. Leiser
E. Prinz	Dr. G. Häuser
	pi nsbeigerstrasse 19
	8 München 60

TEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH Haggertystraße 1
8050 PREISING

Unser Zeiotien: T 3091

Vorriotitung zur Überführung von Gegenständen

Die Erfindung bezieht sioh auf eine Vorrichtung zur Überführung von Gegenständen von einer auf einem Gestell befindlichen Erfassungsstelle, an weIohe die Gegenstände der Reihe nach gebraoht werden, zu einer in Abstand davon auf dem Gestell liegenden Abgabestelle, mit einem Kopf, der eine Erfassungsvorriohtung trägt und relativ zu eine» auf dem Gestell angeordneten Kopfträger derart zwischen zwei Stellungen beweglioh ist, daß sich die Erfassungsvorriohtung in der ersten Stellung an der Erfassungsstelle und in der zweiten Stellung an der Abgabestelle befindet, wobei die Erfassungsvorriohtung derart steuerbar ist, daß sie den an der Erfassungsstelle befindlichen Gegenstand erfassen und ihn an der Abgabestelle freigeben kann, mit steuerbaren Antriebsvorrichtungen für die Bewegung des Kopfes

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zwischen den beiden Stellungen und mit einer Hauptsteueranordnung für die Steuerung der Antriebsvorrichtungen und der Erfassungsvorrichtung in einem Arbeitszyklus, in dessen erstem Halbzyklus die Erfassungsvorrichtung an der Erfassungsstelle zum Erfassen des Gegenstands betätigt wird und anschließend die Antriebsvorrichtungen zum Bewegen des Kopfes von der ersten Stellung in die zweite Stellung betätigt werden und in dessen zweitem Halbzyklus die Erfassungsvorrichtung zum Freigeben des Gegenstandes an der Abgabestelle betätigt wird und anschließend die Antriebsvorrichtungen zum Bewegen des Kopfes von der zweiten Stellung in die erste Stellung betätigt werden.

Auf bestimmten Gebieten der automatisierten Massenfertigung ist es oft erforderlich, kleine Gegenstände oder Werkstücke, die der Erfassungsstelle zugeführt werden, mit großer Genauigkeit auf Träger aufzusetzen, die der Reihe nach an die Abgabestelle gebracht werden. Ein bekanntes Beispiel ist die Herstellung von Halbleitervorrichtungen, wie Transistoren oder integrierten Schaltungen, die zunächst in großer Anzahl auf einer einzigen Halbleiterscheibe gebildet werden, die anschließend in einzelne Halbleiterplättehen zertrennt wird. Jedes dieser Halbleiterplattchen muß dann mit großer Genauigkeit auf einem eigenen Leiterrahmen befestigt werden, damit weitere automatische Fertigungsschritte, beispielsweise das Anbringen von Verbindungsdrähtchen zwischen den Kontaktflächen auf dem Halbleiterplättchen und den Anschlußleitern des Leiterrahmens, durchgeführt werden können.

Bei bekannten Geräten der eingangs angegebenen Art wird jedes Halbleiterplättchen an der gleichen, durch die Bewegung des Kopfes festgelegten Abgabestelle auf den Leiterrahmen

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aufgesetzt. Es hat sich gezeigt, daß die dadurch erzielte Genauigkeit in der Positionierung des Halbleiterplättohens nicht immer ausreichend ist. Einerseits kann es infolge von Pertigungstoleranzen bei der Herstellung der Leiterrahmen oder auch infolge von DeJustierungen der Maschine vorkommen, daß die leiterrahmen nicht die vorgeschriebene Position an der Abgabestelle einnehmen oder daß sich die Abgabestelle relativ zum Gestell verschiebt. Andrerseits kann es oft auch absichtlich erwünscht sein, die Lage der HaIbleiterplättchen auf den Leiterrahmen zu verändern, beispielsweise zur Anpassung an verschiedene Typen von Halbleitervorrichtungen. Zu diesem Zweck müssen bei den bekannten Vorrichtungen der eingangs angegebenen Art meohanische Justierungen durch geschulte Fachkräfte vorgenommen werden, die den Arbeitsprozeß für längere Zeit unterbrechen.

Aufgabe der Erfindung ist die Sohaffung einer Vorrichtung der eingangs angegebenen Art, bei der erforderliche Justierungen der Lage der überführten Gegenstände an der Abgabestelle schnell und einfach vorgenommen werden können.

Nach der Erfindung wird dies dadurch erreicht, daß der Kopfträger relativ zu dem Gestell parallel zu der Ebene verstellbar ist, in der die Bewegung des Kopfes erfolgt, und daß eine Steueranordnung vorgesehen ist, mit welcher dem Kopfträger während des ersten Halbzyklus eine voreingestellte Verstellung relativ zu dem Gestell erteilt werden kann und die dem Kopfträger während des zweiten Halbzyklus die entgegengesetzte Verstellung erteilt.

Bei der Vorrichtung nach der Erfindung erfolgt keine bleibende mechanische Justierung, sondern es wird in jedem Arbeitszyklus die gleiche Justierbewegung ausgeführt und anschließend wieder rückgängig gemacht. Die Justierung kann daher auch von wenig geschulten Bedienungspersonen leicht und schnell eingestellt, durch visuelle

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Beobachtung verbessert und nach. Bedarf verändert werden· Der Arbeitsprozeß wird durch die erforderlichen Einstellungen kaum unterbrochen. Da jederzeit schnell eine Anpassung an geänderte Verhältnisse möglich ist, wird der Ausschuß verringert.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels an Hand der Zeichnung. In der Zeichnung zeigen:

Pig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Fertigungsmaschine für Halbleitervorrichtungen mit einer Vorrichtung nach der Erfindung,

Fig. 2 eine zum Teil geschnittene Seitenansicht des oberen Teils der Maschine von Fig. 1,

Fig. 3 eine schematische Darstellung zur Erläuterung der Wirkungsweise der Vorrichtung von Fig. 1 und 2,

Fig. 4 Zeitdiagramme der Betätigung verschiedener Bestandteile der Vorrichtung von Fig. 1 und 2 und

Fig. 5 ein Schaltbild einer Steueranordnung für die Vorrichtung von Fig. 1 und 2.

Die Figuren 1 und 2 der Zeichnung zeigen eine Vorrichtung zur Überführung von Gegenständen in Anwendung bei einer Maschine, die in der Fertigung von Halbleitervorrichtungen eingesetzt wird. Es ist bekanntlich üblich, eine große Anzahl von Halbleiterbauelementen, wie Transistoren oder integrierte Schaltungen, gleichzeitig auf einer einzigen Halbleiterscheibe geringer Dicke zu bilden und diese

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Scheibe anschließend in die einzelnen Bauelemente zu zertrennen, welche die Form von rechteckigen Plättchen haben. Zu diesem Zweck wird die Halbleiterscheibe auf eine Unterlage in Form einer elastischen Kunststoffolie geklebt, deren Rand in einen Rahmen eingespannt ist. Die Halbleiterscheibe wird dann in die einzelnen Halbleiterplättchen getrennt, für welche der Rahmen mit der eingespannten Unterlage als vorläufiger Träger dient. Fig. 3 zeigt schematisch einen solchen Träger 11 mit einem kreisrunden Rahmen 12, in den eine Kunststoffolie 13 eingespannt ist. Ferner sind einige der auf die Kunststofffolie 13 aufgeklebten rechteckigen Halbleiterplättohen 14 dargestellt, deren Anzahl in Wirklichkeit sehr viel größer sein kann. I

Die Halbleiterplättchen 14 müssen einzeln der Reihe nach von dem Träger 11 abgenommen werden, und jedes Halbleiterplättchen muß auf einem eigenen Leiterrahmen (lead frame) befestigt werden. Die leiterrahmen sind gewöhnlich derart aus Blech ausgestanzt, daß eine größere Anzahl von ihnen durch seitliche Längsstreifen zusammengehalten werden. Fig. 3 zeigt schematisch einen Abschnitt eines solchen Leiterrahmenstreifens 15, wobei drei Leiterrahmen 16a, 16b, 16c dargestellt sind. Jeder Leiterrahmen 16 hat eine Montagefläche 17 für die Aufnahme eines HaIbleiterplättohens 14 und seitlich abstehende Anschlußleiter 18. Die Enden der Anschlußleiter 18 sind durch die seitlichen Längsstreifen 19 zusammengehalten, die später zur Trennung der Leiterrahmen 16 abgeschnitten werden.

Die Leiterrahmenstreifen 15 können entlang einer Führungsbahn schrittweise so vorgeschoben werden, daß die einzelnen

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leiterrahmen 16 nacheinander an eine Stelle gebraoht werden, an welcher die einzelnen, vom !Präger 11 abgenommenen Halbleiterplättchen 14 darauf befestigt werden können. Das Befestigen kann beispielsweise durch Aufkleben mittels eines Epoxydharzklebers oder auch duroh Anlegieren erfolgen. Es besteht somit das Problem, die Halbleiterplättohen 14 der Reihe naoh von dem Träger 11 abzuheben und zu den Leiterrahmen 16 zu überführen. Diesem Zweck dient die Vorrichtung 10 bei der in Fig. 1 und 2 dargestellten Maschine.

Die Maschine hat ein Gestell 21, dessen Oberseite einen Tisoh 22 bildet, auf dem die verschiedenen Bestandteile montiert sind. Der Tisoh 22 trägt einen Kreuztisch 23, auf dem ein Halter 20 befestigt ist, der jeweils einen Träger 11 auswechselbar aufnimmt. Der Kreuztisch 23 wird in üblicher Weise durch Motore 24 (Fig. 1) und 25 (Fig. 2), die vorzugsweise Schrittmotore sind, in zwei zueinander senkrechten Achsrichtungen angetrieben. Mittels des Kreuztisohes 23 kann der Träger 11 in den beiden Aohsrichtungen schrittweise so verstellt werden, daß der Reihe nach jedes Halbleiterplättchen 14 an eine in bezug auf das Gestell 21 genau definierte Erfassungsstelle A gebracht werden kann. Die Steuerung der Schrittmotore 24, 25 für diese Verstellung, wie auch die Steuerung der übrigen in der Maschine ablaufenden Vorgänge, kann duroh eine Hauptsteueranordnung erfolgen, die im Oberteil 26 der Maschine untergebracht ist.

Ferner ist auf dem Tisoh 22 ein Sockel 27 montiert, dessen Oberseite eine Führungsbahn 28 aufweist, in welcher die Leiterrahmenstreifen 15 durch eine nicht näher dargestellte Vorschubeinrichtung schrittweise so

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vorgesohoben werden, daß der Reihe nach jeder leiterrahmen 16 an eine in bezug auf das Gestell 21 genau definierte Abgabestelle B gebracht wird, an der jeweils ein vom Träger 11 abgenommenes Halbleiterplattehen 14 auf den Leiterrahmen 16 aufgesetzt werden soll. Die unbestückten Leiterrahmenstreifen 15 können sich in größerer Anzahl in Magazinen befinden, aus denen sie der Reihe nach entnommen und in die Führungsbahn 28 eingebracht werden; die mit den Halbleiterplättchen 14 versehenen Leiterrahmenstreifen 15 können anschließend wieder in gleichartige Magazine eingefüllt werden. Zu diesem Zweck ist an jedem Ende der Führungsbahn 28 ein Maganzinweohsler 29 bzw. 30 vorgesehen. Der Magazinweohsler 29 enthält die Magazine mit den unbestüokten Leiterrahmenstreifen 15, und der Magazinwechsler 30 enthält Magazine für die Aufnahme der mit den Halbleiterplättchen bestückten Leiterrahmenstreifen. An einer zwischen dem Magazinweohsler 29 und der Abgabestelle B befindlichen Station befindet sich eine Vorrichtung 31 zum Aufbringen des Klebemittels auf die Leiterrahmen. Die Vorschubeinrichtung, die Magazinwechsler 29, 30 und die Vorrichtung 31 werden gleichfalls durch die im Oberteil 26 untergebrachte Hauptsteueranordnung in der richtigen zeitlichen Beziehung zum Betrieb der Maschine gesteuert.

In Fig. 3 ist angenommen, daß sioh das Halbleiterplättchen 14a an der Erfassungsstelle A befindet. Es kann eine automatische Ausriohtanordnung vorgesehen sein, die durch Einwirkung auf die Sohrittmotore 24 und 25 jedes Halbleiterplättohen an der Erfassungsstelle A in eine genau definierte Lage in bezug auf einen maschinenfesten Bezugspunkt bringt; dieser Bezugspunkt liegt beispielsweise auf der Achse E eines Ausstoßers (Fig. 2), der in einem Ausstoßermechanismus 32 enthalten ist und duroh vertikale

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Aufwärtsbewegung das Ablösen einer erfaßten Halbleiterplättotiens 14 von der Kunststoffolie 13 erleichtert. Der Ausstoßermechanismus 32 ist fest mit dem Gestell 21 der Maschine verbunden, so daß er die Bewegungen des Kreuztisohs 23 nicht mitmacht«

Ferner ist in Fig. 3 angenommen, daß sich der Leiterrahmen 16b an der Abgabestelle B befindet, an der das vom Träger 11 abgenommene Halbleiterplättchen auf dem Leiterrahmen befestigt werden soll. Der Leiterrahmen 16a ist bereits mit einem Halbleiterplättchen 14 bestückt, während der Leiterrahmen 16o noch unbestüokt ist und beim nächsten Vorschubschritt an die Abgabestelle B kommt.

Die Vorrichtung 10 enthält einen Kopf 33, der die Aufgabe hat, jeweils ein auf dem Träger 11 befindliches Halbleiterplättchen 14 an der Erfasssungsstelle A zu erfassen, von dem Träger 11 abzuheben, zu der Abgabestelle B zu überführen und auf den dort befindlichen Leiterrahmen 16 aufzusetzen. Der Kopf 33 ist am vorderen Ende eines auslegerartigen Kopfträgers 34 um eine vertikale Achse Z drehbar gelagert. Er weist eine im Kopfträger 34 drehbar gelagerte Hohlwelle 35 auf, die von einem Motor 36 über einen Riementrieb 37 angetrieben wird. Im Innern der Hohlwelle liegt gleichachsig zu dieser eine Welle 38, die an ihrem oben aus der Hohlwelle 35 herausragenden Ende von einem Motor 39 über einen Riementrieb 40 angetrieben wird. Die Motore 36 und 39 können gleichfalls Schrittmotore sein. Am unteren Ende der Hohlwelle 35 ist exzentrisch ein nach unten ragender Ansatz 41 angebracht, an dem ein horizontaler Arm 42 um eine Achse 43 schwenkbar gelagert ist. Der Arm 42 ist als Winkelhebel ausgebildet, an dessen nach oben ragendem kurzen Schenkel 44 eine Rolle 45 gelagert ist, die am Umfang einer von der Welle 38 getragenen

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Kurvenscheibe 46 anliegt. Eine Feder 47, die einerseits an dem kurzen Schenkel 44 und andererseits an einem von der Hohlwelle 35 getragenen Stift 48 verankert ist, sucht die Rolle 45 in Anlage an der Kurvenscheibe 46 zu halten. Durch Drehen der Kurvenscheibe 46 mittels der Welle 38 relativ zu der Hohlwelle 34 ist es duroh diese Anordnung möglich, den Arm 42 um die Achse 43 zu verschwenken, so daß das freie Ende 49 des Arms 42 eine Auf- oder Abwärtsbewegung ausführt. Durch Drehen der Hohlwelle 35 kann dagegen der Arm 42 um die vertikale Drehachse versohwenkt werden; der Schwenkwinkel, der bei dem dargestellten Beispiel 180° beträgt, ist duroh ein Anschlagstück 50 begrenzt, das mit an der Unterseite des Kopfträgers 34 angebrachten Anschlägen 51 und 52 zusammenwirkt. Dadurch wird erreicht, daß der Arm 42 in seinen beiden Erstellungen genau definierte Lagen in bezug auf den Kopfträger 34 einnimmt.

Die eigentliche Erfassungsvorrichtung für die Halbleiterplättchen 14 ist durch ein am Ende 49 des Arms 42 befestigtes Kapillarrohr 53 gebildet, das an einen Schlauch 54 angeschlossen ist. Der Schlauch 54 folgt dem Verlauf des Arms 42; er ist durch das hohle Innere der Welle 38 hindurchgeführt und mit einer Unterdruckquelle VS verbunden, wie in Fig. 2 sohematisoh angedeutet ist. In der Verbindung zu der Unterdruokquelle liegt ein elektrisch steuerbares Ventil 55, duroh das das Kapillarrohr 53 wahlweise mit der Unterdruokquelle VS verbunden oder von dieser getrennt werden kann. Wenn somit die Mündung des Kapillarrohrs 53 auf ein Halbleiterplättchen 14 aufgesetzt ist und das Ventil 55 geöffnet wird, entsteht eine Saugwirkung, duroh die das Halbleiterplättchen von dem Kapillarrohr festgehalten wird. Durch Schließen des Ventils 55 wird der Unterdruck abgeschaltet, so daß das Halbleiterplättchen von dem Kapillarrohr freigegeben wird.

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Der Kopf 33 ist so ausgeführt und am Kopfträger 34 angeordnet, daß sich, in der einen Grenzstellung des Arms 42, die in Fig. 2 dargestellt ist, die Mündung des Kapillarrohres 53 genau über dem Bezugspunkt an der Erfassungsstelle A befindet, und daß nach einer Drehung des Arms um 180° das Kapillarrohr 53 in der anderen Grenzstellung an die Abgabestelle B gebracht ist. Diese beiden Grenzstellungen des Arms 42 sind auch schematisch in Fig. 3 angedeutet; sie sollen zur Vereinfachung "Stellung PA" bzw. "Stellung PB" genannt werden.

Die Wirkungsweise des bisher beschriebenen Teils der Vorrichtung soll anhand der Zeitdiagramme von Fig. 4 erläutert werden, welche die Zeiten der Einschaltung des Motors 39 in der Hubriohtung (H) bzw. der Senkriohtung (S) und des Motors 36 in der Vorwärtsrichtung (V) bzw. in der Rückwärtsrichtung (R), die Auf- und Abwärtsbewegung des Arms 42, die Drehbewegung des Arms 42 von der Stellung PA in die Stellung PB und zurück sowie das Öffnen und Sohließen des Ventils 55 für einen vollständigen Arbeitszyklus zeigen. Diese Vorgänge werden von der Hauptsteueranordnung gesteuert, die im Oberteil 26 der Maschine untergebracht ist. Die Hauptsteueranordnung, die in Fig. 5 durch einen Kasten MOD dargestellt ist, liefert die Steuersignale für die Betätigung der Motore 36 und 39 und des Unterdruckventils 55 in der in den Diagrammen von Fig. 3 gezeigten Weise.

Im Zeitpunkt t_Q vor Beginn des Arbeitszyklus befindet sich der Arm 42 in der Stellung PA, und er ist angehoben, damit durch Verschieben des Trägers 11 ein neues Halbleiterplättchen 14 an die Erfasssungsstelle A gebracht und dort genau auf den Bezugspunkt ausgerichtet werden kann. An Beginn des Arbeitszyklus im Zeitpunkt t₁ wird der Motor 39 in der Senkrichtung angetrieben, die dem Absenken des Arms 42 entspricht. Somit bewegt eich der Arm nach

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unten, woduroh die Mündung des Kapillarrohrs 53 auf daa an der Erfassungsstelle A "befindliche Halbleiterplättchen 14 aufgesetzt wird. Dieser Vorgang ist im Zeitpunkt t₂ beendet; in diesem Zeitpunkt wird der Motor 39 abgeschaltet und gleichzeitig das Ventil 55 geöffnet, durch das der Unterdruck zu dem Kapillarrohr übertragen wird. Im Zeitpunkt t, wird der Motor 39 in der Hubrichtung eingeschaltet, wodurch der Arm 42 angehoben wird. Bei der Aufwärtsbewegung nimmt das Kapillarrohr 53 das Halbleiterplättchen 14 mit, dau infolge der durch den Unterdruck erzeugten Saugwirkung an der Mündung des Kapillarrohres haften bleibt. Das Ablösen des Halbleiterplättohens von der Kunststoffolie 13 wird dadurch erleichtert, daß zwischen den Zeitpunkten t« und t* auch der Ausstoßermechanismus 32 betätigt wird. Im Zeitpunkt t. hat der Arm 42 wieder seine obere Stellung erreicht; in diesem Zeitpunkt wird der Motor 39 abgeschaltet. Gleichzeitig wird im Zeitpunkt t. der Motor 36 in der Vorwärtsrichtung eingeschaltet, wodurch der Arm 42 aus der Stellung PA in die Stellung PB verschwenkt wird. | Er erreicht diese Stellung im Zeitpunkt te» in welohem der Motor 36 abgeschaltet wird. ι

Im Zeitpunkt te wird der Motor 39 wieder in der Senkrichtung eingeschaltet, so daß das vom Kapillarrohr 53 erfaßte und mitgeführte Halbleiterplättchen 14 auf den in der Abgabestelle B befindlichen Leiterrahmen 16 aufgesetzt wird. Sobald der Arm 42 in Zeitpunkt t_g seine tiefste Stellung erreicht hat, wird der Motor 39 abgeschaltet. Gleichzeitig wird das Ventil 55 geschlossen, so daß das Kapillarrohr 53 von der Unterdruokquelle VS getrennt wird. Dadurch wird das Halbleiterplättchen 14, das auf den zuvor mit dem Klebemittel versehenen Leiterrahmen 16 aufgesetzt worden ist, vom Kapillarrohr 53

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freigegeben. Im Zeitpunkt t~ wird der Motor 39 wieder in der Hubrichtung eingeschaltet; sobald der Arm 42 im Zeitpunkt tg die obere Stellung erreicht hat, wird der Motor 39 abgeschaltet und gleichzeitig der Motor 36 in der entgegengesetzten Drehrichtung eingeschaltet, so daß der Arm 42 wieder von der Stellung PB in die Stellung PA zurückverschwenkt wird. Wenn er diese im Zeitpunkt to erreicht, wird der Motor 36 abgeschaltet, und alle Teile befinden sich wieder in der gleichen Stellung wie im Zeitpunkt t_Q. Der gleiche Vorgang kann beliebig oft wiederholt werden.

Ea ist zu erkennen, daß der ganze Arbeitszyklus aus zwei fast gleichen Halbzyklen besteht, die sich nur dadurch unterscheiden, daß der Motor 36 im ersten Halbzyklus in der Vorwärtsriohtung und im zweiten Halbzyklus in der Rückwärtsrichtung eingeschaltet wird. Der erste Halbzyklus geht vom Zeitpunkt t₁ bis zum Zeitpunkt te, und der zweite Halbzyklus geht vom Zeitpunkt te bis zum Zeitpunkt t«.

Die beschriebenen Vorgänge können sehr schnell ablaufen; der ganze Arbeitszyklus kann in weniger als einer Sekunde durchgeführt werden.

Die bisher beschriebene Vorrichtung ermöglicht ein vollautomatisches Erfassen und Überführen der an die Abgabestelle A gebrachten Halbleiterplättchen 14 zu den an die Abgabestelle gebrachten leiterrahmen 16. Wenn keine weiteren Maßnahmen getroffen werden, werden die Halbleiterplättchen 14 stets an der gleiohen, in bezug auf das Gestell 21 festgelegten Stelle auf die leiterrahmen 16 aufgesetzt.

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Der Vorschub der Leiterrahmenstreifen 15 in der !Führungsbahn 28 und die Verstellung des Trägers 11 kann an geeigneten Stellen innerhalb des beschriebenen Arbeitszyklus erfolgen, oder auch in einem sich an den Zeitpunkt tg anschließenden Zeitintervall vor Beginn des nächsten Arbeitszyklus.

Für die einwandfreie Fertigung von Halbleitervorrichtungen ist es erforderlich, daß die Halbleiterplättohen 14 sehr präzise in genau bestimmter Lage auf den Montagefläohen der Leiterrahmen 16 befestigt werden, damit spätere Bearbeitungsvorgänge, insbesondere das Anbringen der Verbindungsdrähte zwischen den Kontaktflächen auf dem Halbleiterplättchen und den Anschlußleitern des Leiterrahmens, durch automatische Geräte zuverlässig ausgeführt werden können. Aus verschiedenen Gründen sind diese Bedingungen mit der bisher beschriebenen Vorrichtung nicht immer genau erfüllt. Einerseits müssen mit der gleichen Masohine sehr verschiedenartige Halbleiterbauelemente montiert werden, und es kann, sein, daß die vorgeschriebene Lage der Halbleiterbauelemente auf den Montageflächen der Leiterrahmen für verschiedene Typen unterschiedlich ist. Ferner kann es vorkommen, daß infolge von Fertigungstoleranzen die Montageflächen der einzelnen Leiterrahmen innerhalb der Leiterrahmenstreifen bei verschiedenen FertigungsSerien nicht immer genau gleioh sind. Die erforderlichen Justierungen müssen von einer Bedienungsperson vorgenommen werden, naohdem sie duroh visuelle Prüfung,beispielsweise mit Hilfe eines Mikroskops oder einer Fernsehkamera, als notwendig erkannt worden sind.

Zu diesem Zweck ist der Kopfträger 34 nicht fest mit dem Gestell 21 verbunden, sondern auf einem Kreuztisch 56 in

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zwei zueinander senkrechten Achsrichtungen parallel zu der Ebene des Tisoh.es 22 verstellbar. Der Kreuztisch 56 ist dadurch gebildet, daß auf der Oberseite eines vom Gestell 11 nach oben ragenden Sockels 57 (Fig. 2) ein Schlitten 58 senkrecht zu der Zeichenebene von Fig. 2 verschiebbar gelagert ist. Die Verstellung des Sohlittens 58 relativ zum Sockel 57 in dieser Richtung, die als X-Richtung bezeichnet werden soll, erfolgt durch einen Schrittmotor MX. Der Kopfträger 34 ist seinerseits auf der Oberseite des Schlittens 58 parallel zu der Zeichenebene von Fig. 2 verschiebbar gelagert; die Verstellung des Kopfträgers 34 relativ zum Schlitten 58 in dieser Richtung, die als Y-Richtung bezeichnet werden soll, erfolgt durch einen Schrittmotor ΜΪ. Die Schrittmotoren MX und MT werden von einer Steuerschaltung gesteuert, die später anhand von Fig. 5 näher erläutert wird. Wenn keine Justierung erforderlich ist, werden die Sohrittmotoren MX und MY nicht betätigt, so daß alles so abläuft, als ob der Kopfträger 34 starr mit dem Gestell 21 verbunden wäre. Wenn dagegen eine Justierung in der X-Riohtung erforderlich ist, stellt die Bedienungsperson die Größe der erforderlichen Justierung an der Steuerschaltung ein, und die Steuerschaltung bewirkt dann, daß der Schrittmotor MX im ersten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus eine dem Ausmaß dieser Justierung erforderliche Verstellung des Kreuztisches 56 in der entsprechenden X-Richtung (positiv oder negativ) und im zweiten Halbzyklus eine gleich große Verstellung in der entgegengesetzten X-Richtung vornimmt; am Ende des vollständigen Arbeitszyklus hat der Kopfträger also wieder seine ursprüngliche Ausgangsstellung erreicht, und demzufolge befindet sich das Kapillarrohr 53 wieder genau am Bezugspunkt der Erfassungsstelle A. Dagegen

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erfolgt das Aufsetzen des Halbleiterplättchens auf den Leiterrahmen an der Abgabestelle B mit einer der eingestellten Justierung entsprechenden Verschiebung. In entsprechender Weise wird verfahren, wenn eine Justierung in der Y-Richtung erforderlioh ist; das Ausmaß dieser Justierung wird von der Bedienungsperson an der Steuerschaltung eingestellt, und die Steuerschaltung bewirkt, daß dor Schrittmotor ΜΪ im ersten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus eine entsprechende Verstellung des Kreuztisohes 56 in der Y-Richtung und im zweiten Halbzyklus die entgegengesetzte Verstellung vornimmt.

Schließlich kann eine Justierung gleichzeitig in der X-Richtung und in der Y-Richtung erfolgen, wobei jeder der beiden Schrittmotoren MX und MY jeweils im ersten Halbzyklus eine Verstellung in einer Riohtung und im zweiten Halbzyklus eine gleioh große Verstellung in der entgegengesetzten Richtung vornimmt, so daß stets am Ende jedes Arbeitszyklus der Kopfträger 34 wieder die ursprüngliche Position einnimmt und somit die Mündung des Kapillarrohres 53 exakt am Bezugspunkt der Erfassungsstelle steht.

Pig. 5 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Steuerschaltung, mit der diese Wirkung erreicht werden kann. In dieser Figur ist auch die Hauptsteueranordnung IKJD dargestellt, welche die Steuersignale für den zuvor erläuterten Betrieb der Motore 36 und 39 und des Unterdruckventils 55 liefert, sowie Steuersignale für weitere Punktionen der Maschine.

Zur Einstellung der Größe und Riohtung der erforderliohen Justierung ist für die Bedienungsperson ein Tastenfeld KB

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vorgesehen. Zur Vereinfachung ist angenommen, daß in jeder Achsrichtung eine Justierung um 1, 2, 3 oder 4 Schritte des betreffenden Schrittmotors vorgenommen werden kann. Jeder Schritt eines Schrittmotors entspricht einer genau definierten Verstellung des Kreuztisches 56. Das Tastenfeld KB hat deshalb vier X-Tasten X1f X2, X3, X4, wobei eine Betätigung der Taste X1 eine Verstellung des Kreuztisches 56 um einen Schritt des Sohrittmotors MX in der X-Richtung bedeutet, eine Betätigung der Taste X2 um zwei Schritte, der Taste X3 um drei Schritte und der Taste X4 um vier Schritte. Ferner sind zwei X-Richtungstasten XP und XN vorgesehen; die Betätigung der Taste XP bedeutet, daß die mittels einer der Tasten X1, X2, X3, X4 eingestellte Verstellung in der positiven X-Richtung erfolgen soll, während die Betätigung der Taste XN bedeutet, daß die Verstellung in der negativen X-Richtung erfolgen soll. Eine X-Löschtaste CIX dient zur Löschung eines früher eingestellten Wertes für die Justierung in der X-Richtung.

In gleicher Weise sind für die Verstellung in der ΐ-Rictitling vier Y-Tasten Y1, Y2, Y3, Y4_f zwei Y-Richtungstasten YP und YN und eine Y-Iösohtaste CLY vorgesehen. ■

Den vier Tasten X1, X2, X3, X4 sind vier Ausgangsleitungen LX1, LX2, LX3, LX4 zugeordnet, wobei die Schaltung so getroffen ist, daß bei Betätigung der Taste X1 ein Ausgangssignal auf der Leitung LX1 entsteht und auch nach dem Loslassen der Taste bestehen bleibt; bei Betätigung der Taste X2 werden die beiden Ausgangsleitungen LX1 und LX2 erregt, bei Betätigung der Taste X3 die drei Ausgangsleitungen LX1, LX2, LX3 und schließlich bei Betätigung der Taste X4 alle vier Ausgangsleitungen LX1,

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LX2, LX3, LX4. Den vier Y-Tasten Y1, Y2, Y3, Y4 sind vier Leitungen LY1, IY2, LY3, IY4 zugeordnet, äie in gleicher Weise durch die Betätigung der Tasten erregt werden. Den Richtungstasten XP, XN, YP, YN ist jeweils eine Leitung LXP, LXN, LYP, "bzw. LYN zugeordnet; bei Betätigung einer Richtungstaste wird die zugeordnete Leitung erregt, und sie bleibt auch nach dem Loslassen der Taste erregt·

Für die Steuerung des Schrittmotors MX ist eine Steuerschaltung XCON vorgesehen, welche an zwei Ausgängen die erforderlichen Steuerimpulse für den Antrieb des Schrittmotors MX in der einen oder anderen Richtung liefert. Die Ausgänge der Steuerschaltung XCON sind mit den beiden. Eingängen IPX, INX eines Motorsteuerverstärkers AMX verbunden, welcher aufgrund der ihm zugeführten Steuerimpulse die für die Betätigung des Sohrittmotors MX erforderlichen Stromimpulse mit der richtigen Stärke und Polarität erzeugt. Pur jeden dem Eingang IPX zugeführten Steuerimpuls führt der Schrittmotor MX einen Schritt in der positiven X-Richtung und für jeden dem Eingang INX zugeführten Steuerimpuls einen Schritt in der negativen X-Richtung aus. In gleicher Weise ist für den Y-Sohrittmotor MY eine Steuerschaltung YCON vorgesehen, deren Ausgänge mit den Eingängen IPY und INY eines Motorsteuerverstärkers AMY verbunden sind und zu diesen Eingängen die erforderlichen Steuerimpulse für die Drehung des Schrittmotors MY in der positiven bzw. negativen Y-Riohtung liefern.

Die Steuerschaltung XCON empfängt die Ausgangssignale des Tastenfelds KB auf den Leitungen LX1, LX2, LX3, LX4, LXP, LXN, und die Steuerschaltung YCON empfängt die Ausgangssignale des Tastenfelds KB auf den Leitungen LY1, LY2,

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LY3, LY4, LYP, LYN. Der innere Aufbau dieser beiden Steuerschaltungen und ihre Wirkungsweise ist vollständig gleich; es wird daher nachfolgend nur der Aufbau und die Wirkungsweise der Steuerschaltung XCON näher beschrieben.

Die Steuerschaltung XCON enthält eine erste Gruppe von vier Und-Schaltungen AEX1, APX2, APX3, APX4 und eine zweite Gruppe von vier Und-Sohaltungen ANX1, ANX2, ANX3, ANX4-. Die ersten Eingänge der vier Und-Schaltungen APX1 bis APX4 sind gemeinsam mit der Leitung LXP verbunden, während ihre zweiten Eingänge jeweils an eine der Leitungen LX1, LX2, LX3, LX4 angeschlossen sind. Die ersten Eingänge der TJnd-Schaltungen ANX1 bis ANX4 sind gemeinsam mit der Leitung LXN verbunden, während ihre zweiten Eingänge jeweils mit einer der Leitungen LX1, LX2, LX3, LX4 verbunden sind.

Die Ausgänge der vier Und-Sohaltungen APX1 bis APX4 sind mit den vier Signaleingängen D1, D2, D3, D4 eines Decodieres PSPX verbunden, der außerdem vier Adresseneingänge ADD1, ADD2, ADD3, ADD4 hat und in bekannter Weise so ausgeführt ist, daß er bei Zuführung eines Impulses zu einem Adresseneingang das an dem zugeordneten Signaleingang D1, D2, D3, D4 anliegende Signal zum Ausgang W überträgt.

Die Ausgänge der vier Und-Schaltungen ANX1 bis ANX4 sind in gleicher Weise mit den vier Signaleingängen D1, D2, D3, D4 eines Deoodierers PSNX verbunden. Die Adressiereingänge ADD1 bis ADD4 aller vier Decodierer in den beiden Steuerschaltungen XCON und YCON sind mit den entsprechend bezeichneten Ausgängen eines Aaressenimpulsgenerators APG verbunden; der Deutlichkeit wegen sind diese Verbindungen in Fig. 5 nicht gezeichnet, sondern durch Pfeile angedeutet. Der Adressenimpulsgenerator IPG ist so ausgebildet,

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daß er beim Anlegen eines Signals an seinen Auslöseeingang TR der Reihe nach, in vor "be stimmten Zeitabständen jeweils einen Impuls an jedem seiner Ausgänge ADD1, ADD2, ADD3, ADD4- abgibt.

Der Ausgang "W des Decodierers PSIX ist jeweils mit einem Eingang von zwei ünd-Sohaltungen AFX1 und ARX1 verbunden, und in gleicher Weise ist der Ausgang ¥ des Decodierers PSNX mit jeweils einem Eingang von zwei Und-Sohaltungen AFX2 und ARX2 verbunden. Die Ausgänge der beiden Und-Sohaltungen AFX1 und AFX2 sind mit den beiden Eingä gen einer Oder-Schaltung OPX verbunden, deren Ausgang an den Eingang IPX der Motortreiberschaltung DMX angeschlossen ist. Die Ausgänge der beiden Und-Schaltungen ARX1 und ARX2 sind mit den beiden Eingängen einer Oder-Schaltung ORX verbunden, deren Ausgang mit dem Eingang INX des Motorsteuerverstärkers AMX verbunden ist.

Die Hauptsteueranordtiung MCD hat zwei zusätzliche Ausgänge SP und SR. Sie liefert am Ausgang SP ein Signal während der Dauer jedes Zeitintervalle, in dem sie ein Steuersignal zu dem Motor 36 für den Antrieb in der Vorwärtsrichtung liefert, also zwischen den Zeitpunkten t< und te im ersten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus; sie liefert am Ausgang SR ein Signal während der Dauer jedes Zeitintervalls, in dem sie ein Steuersignal zu dem Motor 36 für den Antrieb in der Rückwärtsriohtung liefert, also zwischen den Zeitpunkten t₈ und tg im zweiten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus. Die zweiten Eingänge der beiden Und-Schaltungen AFX1 und ARX2 sind mit dem Augang SP der Hauptateueranordnung MGD verbunden und die zweiten Eingänge der beiden Und-Sohaltungen ARX1 und APX2 sind mit dem Ausgang SR der Hauptsteueranordnung MCD verbunden. Somit sind die beiden Und-Schaltungen AFX1 und ARX2 in jedem ersten Halbzyklus zwischen

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den Zeitpunkten t. und te freigegeben, und die beiden Ünd-Schaltungen ARX1 und AFX2 sind in jedem zweiten Halbzyklus zwischen den Zeitpunkten t_Q und t« freigegeben. Die Ausgänge S3? und SR der Steueranordnung MCD sind ferner mit den beiden Eingängen einer Oder-Schaltung ORA verbunden, an deren Ausgang der Auslöseeingang TR des Adressenimpulsgenerators AFG angeschlossen ist.

Die Bestandteile der Steuerschaltung YCON sind in gleicher Weise angeschlossen; sie sind mit den gleichen Bezugszeichen wie die entsprechenden Bestandteile der Steuerschaltung XCON bezeichnet, wobei lediglich jeweils der Buchstabe X durch den Buchstaben Y ersetzt ist.

Zur Erläuterung der Wirkungsweise der Schaltung von Fig. 5 soll zunächst angenommen werden, daß eine Bedienungsperson visuell festgestellt hat, daß eine Justierung der Lage jedes Halbleiterplättohens beim Aufsetzen auf den leiterrahmen um drei Schritte in der positiven X-Richtung erforderlich ist, während in der Y-Richtung keine Justierung notwendig ist. Die Bedienungsperson betätigt daher die Tasten X3 und XP auf der Tastatur, nachdem sie eine etwa zuvor gespeicherte Information duroh Betätigung der Tasten CLX und CLY gelöscht hat. Infolge der Betätigung der Taste XP führt die Leitung LXP ein Signal, duroh das die vier Ünd-Schaltungen APX1 bis APX4 in der Steuerschaltung XCON freigegeben werden, während die Und-Sohaltungen ANX1 bis ANX4 gesperrt bleiben, weil die Leitung LXN kein Signal führt. Infolge der Betätigung der Taste X3 führen die drei Leitungen LX1, LX2, LX3 ein Signal, doch können diese Signale nur über die Und-Schaltungen APX1, APX2, APX3 übertragen werden, weil die Und-Schaltungen ANX1, ANX2, ANX3, an denen diese Signale gleichfalls anliegen, gesperrt sind. Somit liegen an den Signaleingängen D1, D2, D3 des

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Decodierers PSEX in der Steuerschaltung ZGOS dauernd Signale an, während an den Signaleingängen des Decodierers PSNX dieser Steuerschaltung leeine Signale anliegen.

In der Steuerschaltung YCON sind alle Und-Schaltungen APY1-4» ANY1-4 gesperrt, doch ist dies bedeutungslos, da auch die Leitungen LY1 bis LY4 keine Signale führen. Die Decodierer PSPY und PSNY in der Steuerschaltung YCON empfangen daher keine Eingangssignale.

In jedem von der Hauptsteueranordnung MOD ausgelösten und gesteuerten Arbeitszyklus gibt der Ausgang Sl im ersten Halbzyklus zwischen den Zeitpunkten t, und t,- ein Signal ab, das einerseits die Und-Schaltungen AEX1 und ARX2 öffnet und andererseits über die Oder-Schaltung ORA den Adressenimpulsgenerator APG auslöst. Der Adressenimpulsgenerator liefert somit nacheinander vier Impulse zu den Eingängen ADD1, 2, 3, 4 aller vier Decodierer, dooh sind diese Adressenimpulse nur für den Decodierer PSPX wirksam, da an den anderen drei Deoodierern keine Eingangssignale anliegen. Aufgrund der zugeführten Adressenimpulse erscheinen am Ausgang W des Decodierers PSPX nacheinander drei Impulse, die den an den Eingängen D1, D2, D3 dieses Deoodierers anliegenden Signalen entsprechen. Diese drei Impulse werden über die Und-Schaltung AFX1 und die Oder-Schaltung OPX an den Eingang IPX des Motorsteuerverstärkers AMX angelegt, was zur Folge hat, daß der Schrittmotor MX im Verlauf des Ze it Intervalls t^^c des ersten Halbzyklus drei Schritte in der positiven X-Richtung ausführt. Dies entspricht genau der gewünschten Justierung, so daß sich das zu der Abgabestelle B überführte Halbleiterplattοhen in der gewünschten justierten Lage für das Aufsetzen auf den Leiterrahmen befindet.

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Im anschließenden zweiten Halbzyklus gibt der Ausgang SR der Hauptsteueranordnung MCD rwischen den Zeitpunkten t_Q und tg ein Signal ab, das die Und-Schaltungen ARX1 und AEX2 freigibt, während die Und-Schaltungen AEX1 und ARX2 gesperrt bleiben, da der Ausgang Si¹ im zweiten Halbzyklus kein Signal liefert. Das Ausgangssignal am Ausgang SR löst über dia Oder-Schaltung ORA wieder den Adressenimpulsgenerator APG aus, dessen vier Adressenimpulse wiederum nur für den Decodierer PSPX wirksam sind, der somit in gleicher Weise wie im ersten Halbzyklus drei Impulse liefert. Diese drei Impulse werden aber nunmehr über die Und-Sohaltung ARX1 und die Oder-Sohaltung ORX an den Eingang IKX des Motorsteuerverstärkers AMX angelegt, so daß der Schrittmotor MX drei Schritte in der negativen X-Richtung ausführt. Dadurch wird die im ersten Halbzyklus bewirkte Verstellung in der X-Richtung genau aufgehoben, und am Ende des zweiten Halbzyklus befindet sich somit der Kopf wieder genau in der ursprünglichen Stellung, in welcher sich die Mündung des Kapillarrohrs am Bezugspunkt der Erfassungsstelle A befindet.

Der gleiche Vorgang wiederholt sich bei allen folgenden Arbeitszyklen, so daß alle Halbleiterplättchen mit einer Versetzung um drei Schritte in der positiven X-Richtung auf ihre Leiterrahmen aufgesetzt werden, bis die Bedienungsperson die Notwendigkeit einer erneuten Justierung erkennt und entsprechend geänderte Werte an der Tastatur KB einstellt.

Wenn dagegen die Bedienungsperson feststellt, daß eine Justierung in der negativen X-Richtung erforderlich ist, beispielsweise um zwei Schritte, drüokt sie (nach Löschen der vorhergehenden Eingabe) die Tasten XN und X2, so daß nunmehr die Leitungen LXN, LX1 und LX2 Signale führen.

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Nunmehr sind nur die Und-Sctialtungen ANX1 bis ANX4 freigegeben, und es werden nur an die Eingänge D1 und D2 des Decodierers PSKX Signale angelegt. Es wiederholen sich die zuvor beschriebenen Vorgänge, mit dem Unterschied, daß nunmehr die vier vom Adressenimpulsgenerator APG abgegebenen Adressenimpulae nur für den Decodierer PSKX wirksam sind, so daß dieser in jedem Halbzyklus am Ausgang ¥ zwei Impulse liefert. Die zwischen den Zeitpunkten t. und te des ersten Halbzyklus gelieferten Impulse werden über die Und-Schaltung ARX2 und die Oder-Schaltung ORX zum Eingang INX des Motorsteuerverstärkers AMX übertragen, so daß der Schrittmotor MX zwei Schritte in der negativen X-Riohtung ausführt. Dies entspricht der gewünschten Justierung der Lage des Halbleiterplättchens beim Aufsetzen auf den Leiterrahmen.

Im zweiten Halbzyklus gehen die beiden am Ausgang ¥ des Decodierers PSNX abgegebenen Impulse durch die Und-Schaltung AFX2 und die Oder-Schaltung OEX zum Eingang IPX des Motorsteuerverstärkers AMX, so daß der Schrittmotor MX zwei Verstellschritte in der positiven X-Richtung ausführt. Dadurcti wird die im ersten Halbzyklus vorgenommene Verstellung wieder aufgehoben. Der Kopf befindet sich also am Ende des Arbeitszyklus wieder in der Ausgangsstellung, in der sich die Mündung des Kapillarrohrs 53 genau am Bezugspunkt der Erfassungsstelle A befindet.

Die gleichen Vorgänge laufen in der Steuerschaltung YGON ab, wenn die Bedienungsperson die entsprechenden Tasten für eine Justierung in der positiven oder negativen Y-Richtung betätigt.

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Schließlich können auch gleichzeitig Verstellungen in der positiven oder negativen X-Richtung und in der positiven oder negativen Y-Riohtung eingestellt werden. Die von den beiden Schrittmotoren MX und ΜΪ durchgeführten Verstellungen überlagern sioh dann, und der Kopfträger mit dem Kopf wird in der Resultierenden dieser beiden Bewegungen verstellt. Es ist zu erkennen, daß auch in diesem Fall der Kopf am Ende des Arbeitszyklus stets wieder in seine ursprüngliche Ausgangsstellung zurückgebracht ist.

Die für die Ausführung der Verstellschritte durch die Schrittmotoren MX und/oder ΜΪ vorgesehenen Zeitintervalle sind in Fig. 4· durch schraffierte Bereiche angezeigt.

Die in Fig. 5 dargestellte Steuerschaltung ist nur ein stark vereinfachtes Ausführungsbeispiel zur Erläuterung der Wirkungsweise. Insbesondere kann die Anzahl der Verstellschritte, welche die Schrittmotoren MX und MT in jedem Zyklus ausführen können, wesentlich größer gewählt werden. Es ist dann, auch nicht zweckmäßig, für jeden Verstellschritt eine eigene Taste auf der Tastatur vorzusehen; die Anzahl der Verstellschritte kann beispielsweise in einem Dezimalcode mit Hilfe einer Zehnertastatur eingegeben werden, wobei die Tastatur dann die entsprechenden Codeumsetzer- und Speicherschaltungen enthält, um die eingegebenen Zahlenwerte in Signale umzusetzen, die von den entsprechend erweiterten Steuersohaltungen XCON und YCON verarbeitet werden können.

Schließlich ist es auch möglich, anstelle der beschriebenen digitalen Schaltungen für die Steuerung der Schrittmotoren MX und MY zur Durchführung der Justierbewegungen eine programmgesteuerte Anordnung zu verwenden, welche die erforderlichen Steuersignale zu den Eingängen der beiden Schrittmotors liefert.

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Wie bereits erwähnt, kann die Verstellung des Kopfträgers 34 mittels des Kreuztisch.es 56 dazu benutzt werden, die Lage der Halbleiterplättchen 14 auf den Leiterrahmen absichtlich zu verändern. Dadurch ist es mit der beschriebenen Vorrichtung auch möglich, zwei oder mehr Halbleiterplättchen auf dem gleichen Leiterrahmen zu befestigen, wie es bei manchen integrierten Schaltungen erforderlich ist. Wenn beispielsweise unter Verwendung der Schaltungsanordnung von Pig. 5 zwei Halbleiterplättchen auf einem Leiterrahmen angebracht werden sollen, werden Tastatursignale, welche die Verstellschritte der Schrittmotoren MK und MT angeben, mit denen die richtige Lage des einen bzw. des anderen Halbleiterplättchens auf dem Leiterrahmen erzielt wird, in geeigneter Weise zwischengespeichert. Während der Überführung jedes Halbleiterplättchens werden die ihm zugeordneten Tastatursignale an die Eingänge der Steuerschaltungen XGON und YCON angelegt. Dieser Wechsel kann von der Hauptsteueranordnung MOD gesteuert werden. Der Leiterrahmen bleibt während der Überführung der beiden Halbleiterplättchen an der Abgabestelle B stehen; ein Vorschub des Leiterrahmenstreifens erfolgt erst nach jedem zweiten Arbeitszyklus des Kopfes 33. Die beiden Halbleiterplättchen werden an zwei verschiedenen Stellen auf den Leiterrahmen aufgesetzt, aber an der gleichen Erfassungsstelle A erfaßt, an die sie nacheinander durch entsprechende Verstellung des Trägers 11 gebracht werden. Bei Verwendung einer programmgesteuerten Steueranordnung kann die gleiche Funktion durch eine entsprechende Programmierung erreicht werden.

Ferner kann die Verstellbarkeit des Kopfträgers 34 mittels des Kreuztisches 56 auch dazu benutzt werden, dem Halbleiterplättchen 14 nach dem Aufsetzen auf den Leiterrahmen 16 eine hin- und hergehende oder kreisende Reibbewegung

zu erteilen. Dies ist insbesondere dann erwünscht, wenn die Halbleiterplättchen auf den Leiterrahmen nicht durch Ankleben, sondern durch Legieren befestigt werden. Zu diesem Zweck werden den Schrittmotoren MX und/oder MY durch eine zusätzliche Steuerschaltung oder durch entsprechende Programmierung einer programmgesteuerten Anordnung nach dem Aufsetzen des Halbleiterplättchens, d.h. zwischen den Zeitpunkten tg und t„ in Fig. 4, entsprechende Steuerimpulse zugeführt, so daß die Sohrittmotoren abwechselnd Schritte in beiden Richtungen ausführen, durch welche dem Kopf die gewünschte hin- und hergehende oder kreisende Bewegung erteilt wird.

Die beschriebene Vorrichtung ist nicht auf die Verwendung eines drehbar am Kopfträger gelagerten Kopfes beschränkt. Die gleiche Vorrichtung kann auch in Verbindung mit einem linear hin- und herbewegten Kopf verwendet werden, wobei dann der Kopfträger die normalerweise fest am Gestell angebrachte Schlittenführung ist, die nunmehr auf einem Kreuztisch anzubringen ist.

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Claims

Patentanwälte Dipl.-lng, Mai 1978 Dipl.-lng. Dipl.-Chem. G. Leiser E. Prinz Dr. G. Hauser Ernsbergerstrasse 19 8 München 60 29.

TEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH Haggertystraße 1
8050 PRE ISIN G

Unser Zelohen: T 3091

Patentansprüche

u.Jvorriohtung zur Überführung von Gegenständen von einer ^ auf einem Gestell befindlichen Erfassungsstelle, an welche die Gegenstände der Reihe nach gebracht werden, zu einer im Abstand davon auf dem Gestell liegenden Abgabestelle, mit einem Kopf, der eine Erfassungsvorrichtung trägt und relativ zu einem auf dem Gestell angeordneten Kopfträger derart zwischen zwei Stellungen beweglich ist, daß sich die Erfassungsvorrichtung in der ersten Stellung an der Erfassungsstelle und in der zweiten Stellung an der Abgabestelle befindet, wobei die Erfassungsvorriohtung derart steuerbar ist, daß sie den an der Erfassungsstelle befindlichen Gegenstand erfassen und ihn an der Abgabestelle freigeben kann, mit steuerbaren Antriebsvorriohtungen für die Bewegung des Kopfes zwischen den beiden Stellungen und mit einer Hauptsteueranordnung für die Steuerung der Antriebsvorriohtungen und der Erfassungsvorrichtung in einem Arbeitszyklus, in dessen erstem Halbzyklus die Erfassungsvorriohtung an der Erfassungsstelle zum Erfassen des

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Gegenstands betätigt wird und anschließend die Antriebsvorriohtungen zum Bewegen des Kopfes von der ersten Stellung in die zweite Stellung betätigt werden und in dessen zweitem Halbzyklus die Erfassungsvorriohtung zum Freigeben des Gegenstandes an der Abgabestelle betätigt wird und anschließend die Antriebsvorriohtungen zum Bewegen des Kopfes von der zweiten Stellung in die erste Stellung betätigt werden, daduroh gekennzeichnet, daß der Kopfträger relativ zu dem Gestell parallel zu der Ebene verstellbar ist, in der die Bewegung des Kopfes erfolgt, und daß eine Steueranordnung vorgesehen ist, mit weloher dem Kopfträger während des ersten Halbzyklus eine voreingestellte Verstellung relativ zu dem Gestell erteilt werden kann und die dem Kopfträger während des zweiten Halbzyklus die entgegengesetzte Verstellung erteilt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopfträger auf einem Kreuztisch relativ zu dem Gestell in zwei zueinander senkrechten Aohsrichtungen verstellbar montiert ist.
3. Vorrichtung nach Anspruoh 2, dadurch gekennzeichnet, daß für die Verstellung des Kopfträgers auf dem Kreuztisch in jeder Achsrichtung ein Schrittmotor vorgesehen ist, und daß die Steueranordnung für jede voreingestellte Verstellung in einer Achsrichtung im ersten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus die Ausführung einer entsprechenden Anzahl von Schritten duroh den zugeordnatsn Schrittmotor in einer Richtung und im zweiten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus die Ausführung der gleichen Anzahl von Schritten in der entgegengesetzten Riohtung auslöst.

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4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf am Kopfträger um eine vertikale Aohse drehbar gelagert ist, und daß die Antriebsvorrichtungen den Kopf um einen vorgegebenen Winkel zwischen zwei Stellungen drehen, die der ersten Stellung bzw. der zweiten Stellung entsprechen.
5. Vorrichtung naoh Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel 180° beträgt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Steueranordnung die Verstellungen des Kopfträgers in den beiden Halbzyklen in zeitlioh festgelegter Beziehung zu den Drehbewegungen des Kopfes steuert.

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