DE2631776A1 - Elektrischer kondensator - Google Patents
Elektrischer kondensatorInfo
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Description
Standard Elektrik Lorenz AG
Stuttgart
Stuttgart
P.M.Hille 3
Elektrischer Kondensator
Die Erfindung bezieht sich auf einen elektrischen Kondensator
mit mindestens einem auf einer Unterlage angeordneten und mit dieser verbundenem porösen Körper oder einer porösen
Schicht aus Ventilmetall.
Es sind bereits seit langem elektrische Kondensatoren bekannt, die zur Erzielung einer großen Volumenkapazität poröse
Körper aus Ventilmetall enthalten, bei denen auf der
ganzen äußeren und inneren Oberfläche durch elektrische Formierung eine dielektrische Oxidschicht erzeugt ist. Die
zweite Belegung von solchen Kondensatoren wird durch einen flüssigen oder festen Elektrolyten gebildet. Der elektrische Anschluß an den porösen Körper aus Ventilmetall, wie
z.B. aus Aluminium, Tantal, Niob usw., wird in der Regel
dadurch erhalten, daß ein entsprechender Draht in den Körper mit eingesintert wird. Schwieriger ist die Herstellung
des Kathodenanschlusses, der die elektrische Verbindung zu dem festen oder flüssigen Elektrolyten herstellt.
Bei Verwendung eines flüssigen Elektrolyten ist ein flüssigkeitsdichter Behälter erforderlich, der meist aus Metall
besteht und den Kathodenanschluß selbst darstellt.
Der elektrische Anschluß zu dem porösen Körper aus Ventilmetall
muß dann flüssigkeitsdicht und elektrisch isoliert aus dem Behälter herausgeführt sein. Bei elektrischen Kondensatoren mit sogenanntem festen Elektrolyten, der meist
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aus einem leicht Sauerstoff abgebenden Metalloxid, wie Mangandioxid, besteht, wird der elektrische Anschluß über
eine Schichtenfolge von Kohlenstoff, Leitsilber und Lötmetall vorgenommen. Diese Schichten sind durchweg sehr brüchig,
so daß nicht nur die Gefahr einer mechanischen Zerstörung, sondern auch eines großen Übergangswiderstandes
gegeben ist.
Man hat bei elektrischen Kondensatoren mit einem porösen Körper aus Ventilmetall den porösen Körper auch schon auf
einer Unterlage aufgebracht oder direkt durch Aufsintern auf dieser erzeugt. Als Unterlage wird in der Regel ein
Blech aus dem gleichen Ventilmetall verwendet, aus dem auch der poröse Körper besteht. Der" metallische Träger
bildet dann gleichzeitig den elektrischen Anschluß zum Ventxlmetallkörper. Der elektrische Anschluß zum festen
Elektrolyten muß dann gleichfalls am porösen Ventilmetallkörper isoliert von der Unterlage angebracht werden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, elektrische Kondensatoren
mit einem porösen Körper oder einer porösen Schicht aus Ventilmetall dadurch zu verbessern, daß der
'Kathodenanschluß elektrisch isoliert von dem porösen Ventxlmetallkörper
aber mechanisch starr mit ihm verbunden angeordnet wird.
Diese Aufgabe wird bei einem elektrischen Kondensator der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß der poröse Körper
oder die poröse Schicht aus Ventilmetall auf einer Unterlage aus einem porösen Körper aus wärmebeständigem
Isolierstoff angeordnet ist.
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Ein solcher poröser Körper aus wärmebeständigem Isolierstoff eignet sich dazu, in seinen Poren und auf seiner
Oberfläche einen festen oder flüssigen Elektrolyten aufzunehmen. Der Kathodenanschluß kann auf einer Fläche dieses
Isolierstoffkörpers elektrisch isoliert vom Ventilmetallkörper
angebracht sein. Trotzdem ist aber der Ventilmetallkörper mit dem Kathodenanschluß durch den porösen
Isolierstoffkörper mechanisch starr verbunden. Hierdurch ergibt sich nicht nur ein mechanisch guter Anschluß für
die Kathode des Kondensators, sondern auch ein sehr raumsparender und einfacher Aufbau, so daß ein besonderes Gehäuse
in der Regel entfallen kann. Außerdem wird der Kathodenanschluß auf dem porösen Körper aus Isolierstoff mechanisch
fest gehalten, so daß bei Verwendung von festen Elektrolyten
die Gefahr einer Erhöhung des Übergangswiderstandes oder des Abblätterns der Elektrodenschicht entfällt.
Auch das Herstellungsverfahren von solchen Kondensatoren wird dadurch wesentlich verbessert, da der Sinterkörper aus
Ventilmetall während seiner Behandlung zur Herstellung der Schichtenfolge von dielektrischer Sohieht und der Schicht
des festen Elektrolyten mittels des Körpers aus Isolierstoff in einfacher Weise gehalten und gehandhabt werden
kann. Aber auch elektrische Kondensatoren mit einem flüssigen Elektrolyten lassen sich dadurch wesentlich verein-
fachen, da der flüssige Elektrolyt leicht in die Poren des Isolierstoffkörpers eingebracht werden kann und außer einer schützenden Umhüllung für den Kondensator ein besonderes
Kondensatorgehäuse nicht erforderlich ist.
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Der poröse Körper aus wärmebeständigem Isolierstoff hat vorzugsweise eine Porosität von mindestens 30 %. Er besteht
vorzugsweise aus Keramik oder Aluminiumoxid.
Die Unterlage aus Isolierstoff für den porösen Körper aus Ventilmetall kann verschiedene Formen haben.
Für Kondensatoren von besonders flacher Bauweise eignet sich besonders eine Unterlage in Form einer ebenen Platte.
Auf dieser Platte können auf einer oder auf beiden gegenüberliegenden Seiten auch mehrere voneinander getrennte
poröse Körper oder Schichten aus Ventilmetall angeordnet sein. Diese Platte kann nach der Fertigstellung der Kondensatoren
in einzelne Einheiten unterteilt werden, in manchen Fällen wird es aber vorteilhaft sein, mehrere Kondensatoren
auf einer einzigen Unterlage zu belassen, die dann in der erforderlichen Weise miteinander elektrisch
verbunden werden. Wenn zwei Körper oder Schichten auf einer gemeinsamen Unterlage aus Isolierstoff angeordnet
sind, so werden diese durch die beide umgebende Schicht aus festem Elektrolyten oder durch den in der porösen Isolierschicht
enthaltenen flüssigen Elektrolyten derart miteinander verbunden, daß sich eine bipolare Kondensatoreinheit
ergibt.
Die Unterlage aus porösem Isolierstoff kann aber auch eine andere Form haben. So kann sie als zylindrischer langge-
streckter Körper ausgebildet sein, also in Form eines Stabes, der nach Erzeugung verschiedener Kondensatoreinheiten
ebenfalls in einzelne Elemente unterteilt werden kann.
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Die zylindrische Form der porösen Isolierstoffunterlage kann aber auch als Rohr ausgebildet sein, so daß sich der
poröse Körper aus Ventilmetall im Inneren des Rohres befindet, und so die Unterlage aus Isolierstoff gleichzeitig
eine mechanische Umhüllung und einen Schutz für den porösen Körper aus Ventilmetall bildet.
Zur Erzielung einer besonders großen Oberfläche kann der
poröse Körper aus Isolierstoff so ausgebildet sein, daß er im Querschnitt einspringende Winkel aufweist. Ein soleher
Körper hat beispielsweise einen sternförmigen Querschnitt. Dadurch wird eine weitere Vergrößerung der Oberfläche
bei kleiner Bauweise erzielt.
Der Kathodenanschluß, also der Anschluß an dem festen oder
flüssigen Elektrolyten, kann auf der Unterlage aus porösem Isolierstoff in Form einer fest haftenden Schicht angeordnet
sein. Besonders vorteilhaft ist es aber, in dem porösen Isolierstoffkörper
eine Vertiefung oder eine Bohrung vorzusehen, in der der Kathodenanschluß in Form eines Metallstiftes, Metalldrahtes oder Bleches eingesteckt ist und da-
durch noch besser mechanisch gehalten ist.
Es ist zwar bereits bekannt, in einem Sinterkörper aus
Ventilmetall die Gegenelektrode in einer Vertiefung oder Bohrung mechanisch zu haltern bzw. federnd zu lagern
(DT-AS 1 142 967). Im vorliegenden Falle wird aber die
Elektrode nicht in dem Sinterkörper aus Ventilmetall, sondern in der Unterlage aus porösem Isolierstoff gehalten.
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Der Anschluß an dem porösen Körper aus Ventilmetall wird in der Weise erhalten, daß der Körper oder die Schicht
aus Ventilmetall an einer geeigneten Stelle vor der Erzeugung der dielektrischen Oxidschicht abgedeckt wird.
Nach dem Aufbringen oder der Erzeugung der halbleitenden Schicht j die den festen Elektrolyten darstellt, wird diese
Abdeckung wieder entfernt, wodurch das Ventilmetall an dieser Stelle freigelegt wird, so daß dort ein elektrischer
Anodenanschluß angebracht werden kann. Die Abdeckung kann beispielsweise mittels eines geeigneten
härtenden Isolierstoffs erfolgen, der später durch Abschleifen oder Ablösen wieder entfernt wird.
Der Kondensator gemäß der Erfindung kann aber auch so aufgebaut sein, daß er aus einer Schicht aus porösem Ventilmetall
besteht, die beidseitig von Schichten aus porösem Isolierstoff begrenzt ist. In Weiterbildung dieser Ausbildungsform
kann auch eine mehrfache Folge von abwechselnden Schichten aus Isolierstoff und Ventilmetall vorgesehen
sein. Bei diesen Ausführungsformen ist es vorteilhaft, den Kathodenanschluß an einer Stirnseite der Schichtenfolge
aufzubringen, wobei das Ventilmetall an dieser Stirnseite durch Abschleifen freigelegt wird. In diesem Falle muß nur
darauf geachtet werden, daß der Kathodenanschluß ausschließlich mit der Ventilmetallschicht in Kontakt steht und nicht
mit dem in der porösen Isolierschicht vorhandenen Elektrolyten. Gegebenenfalls muß an dieser Stelle ein geeigneter
Isolierstoff oberflächlich in die Poren des porösen Isolierst off körpers eingebracht werden, um zu verhindern, daß
der Elektrolyt an dieser Stelle an die Oberfläche tritt.
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Der elektrische Kontakt an der Ventilmetallschicht und mit dem Elektrolyten auf der Oberfläche des Isolierstoffkörpers
kann auch über geeignete Kontaktfedern erfolgen.
Zum Schutz des Kondensators kann er nach seiner Fertigstellung
mit einer geeigneten Isolierschicht als Schutzhülle überzogen werden. Dies geschieht am einfachsten dadurch, daß der Kondensator und ein Teil der Anschlußdrähte
in einen zunächst flüssigen und dann erhärtenden Isolierstoff getaucht wird.
Die Herstellung des Kondensators kann gemäß der Erfindung
in der Weise erfolgen, daß das Ventilmetallpulver mit einem
geeigneten Bindemittel vermischt auf eine poröse Unterlage aus wärmebeständigem Isolierstoff aufgebracht und anschliessend
zu einem porösen Körper oder einer porösen Schicht gesintert wird.
Es ist aber auch möglich, das Ventilmetallpulver mit einem Bindemittel vermischt auf einen noch .. nicht gebrannten Körper
aus dem Material der Unterlage, z.B. aus Keramikrohmasse aufzubringen und beide gemeinsam miteinander zu einem
zusammenhängenden Körper zu sintern.
Dieses Verfahren, bei dem das Ventilmetallpulver und das Material der Unterlage gemeinsam gesintert werden, kann in
der Weise weitergebildet werden, daß sowohl das Ventilmetallpulver,
als auch das Rohmaterial für die Unterlage unter Zusatz eines Lösungs- oder Dispersionsmittels sowie
eines organischen polymeren Bindemittels zu selbsttragenden
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Schichten verarbeitet werden, von denen geeignete Teile aufeinander gebracht und miteinander gesintert werden. Das
Verfahren zur Herstellung von Kondensatoren aus Ventilmetallpulver unter Zusatz eines polymeren Bindemittels und
eines Lösungs- oder Dispersionsmittels ist an sich aus der DT-OS 2 418 117 bekannt.
Wenn nach einem dieser Verfahren der poröse Isolierstoffkörper mit dem darauf angeordneten porösen Körper aus
Ventilmetall oder der porösen Schicht aus Ventilmetall hergestellt ist, wird in üblicher Weise eine elektrische
Formierung in einem geeigneten Elektrolyten zur Herstellung der dielektrischen Oxidschicht auf dem .Ventilmetallkörper
vorgenommen. Dabei dringt der Elektrolyt in die Poren des porösen Isolierstoffkörpers und gelangt so auch
von der Seite an den Ventilmetallkörper, wo er auf der Unterlage aufliegt. Nach der Formierungsbehandlung muß natürlich
der Formierelektrolyt wieder aus den Poren des Isolierstoff körpers entfernt werden, sofern er nicht gleichzeitig
der Betriebselektrolyt des Kondensators ist.
Nach Herstellung der dielektrischen Oxidschicht wird die
zweite Belegung auf die Oxidschicht in Form eines geeigneten Elektrolyten aufgebracht. Zu diesem Zweck wird der
ganze einstückige poröse Körper mit dem Elektrolyten getränkt. Bei Verwendung von flüssigen Elektrolyten ist es
vorteilhaft, wenn die Schicht oder der Körper aus Ventilmetall beidseitig oder allseitig von dem porösen Körper
aus Isolierstoff bedeckt ist.
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Zur Erzeugung einer Schicht von festen Elektrolyten kann beispielsweise in an sich bekannter Weise die Anordnung
in eine wässrige Lösung aus Mangannitrat getaucht und
durch Erhitzen des Mangannitrats in den Poren zu Mangandioxid zersetzt werden. Es bildet sich dann eine zusammenhängende
Schicht aus Mangandioxid, sowohl auf der inneren als auch auf der äußeren Oberfläche der porösen Körper
aus Ventilmetall und aus Isolierstoff.
Der elektrische Kontakt zu dem Elektrolyten wird in der
oben beschriebenen Weise durch eine geeignete leitende Schicht auf dem Isolierstoffkörper oder durch einen Leiter,
der in eine Vertiefung oder Bohrung des Isolierstoffkörpers
eingesteckt ist, hergestellt.
In der Zeichnung sind schematisch Ausführungsbeispiele für
elektrische Kondensatoren gemäß der Erfindung dargestellt.
Figur 1 zeigt einen Querschnitt durch einen Kondensator mit
einer plattenförmigen Isolierstoffunterlage;
Figur 2 zeigt drei verschiedene Querschnittsformen von Isolierstoffkörper
und Ventilmetallschicht;
Figur 3 zeigt im Schnitt und in Draufsicht eine andere Ausführungsform für einen Kondensator gemäß der Erfindung.
Der im Schnitt dargestellte Kondensator nach Figur 1 besteht
aus einer plattenförmigen Unterlage 1 aus porösem
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Isolierstoff, auf der eine poröse Ventilmetallschicht 2 angeordnet
ist. Die Ventilmetallelektrode k ist in Form einer leitenden Schicht auf der Ventilmetallschicht 2 angeordnet
und zwar dort, wo diese nicht mit einer dielektrisehen Oxidschicht und einer Halbleiterschicht 3 bedeckt
ist. Die Halbleiterelektrode 5 ist in Form einer leitenden Schicht auf der Halbleiterschicht 3 angeordnet und zwar
dort, wo diese direkt auf der porösen Unterlage 1 aufliegt. Zur besseren Übersicht ist sowohl die dielektrische Oxidschicht
auf der ganzen Oberfläche der Ventilmetallschicht weggelassen, als auch die Erstreckung der Halbleiterschicht
3 in die Poren der porösen Körper 1 und 2.>An den Elektroden
4 und 5 sind die Anschlußdrähte 6 und 7 angebracht. Der ganze Kondensator ist mit einer geeigneten Isoliermasse 8
umhüllt.
Figur 2 zeigt als Beispiel drei verschiedene Querschnittsformen für die poröse isolierende Unterlage und die darauf
angeordnete poröse Ventilmetallschicht. Figur 2a zeigt im
Querschnitt eine stabförmige poröse Unterlage 1 aus Isolierstoff,
die von einem Mantel aus einer porösen Ventilmetallschicht 2 umgeben ist.
Bei der Ausführungsform von Figur 2b ist die poröse Isolierstoff
unterlage 1 als Hohlzylinder ausgebildet, der von dem porösen Ventilmetallkörper 2 ausgefüllt ist. Figur 2c
zeigt eine Ausführungsform, bei der die poröse Unterlage 1 einen sternförmigen Querschnitt hat, also einspringende
Winkel aufweist, wie dies bei 9 zu sehen ist. Dadurch wird eine besonders große Oberfläche der Unterlage und damit
eine große Fläche der porösen Ventilmetallschicht 2 auf kleinem Raum erzielt.
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Figur 3 zeigt im Schnitt und in Draufsicht einen elektrischen Kondensator gemäß der Erfindung, bei dem die poröse
Unterlage 1 als rechteckige Platte ausgebildet ist. Auf
den beiden einander gegenüberliegenden Flächen dieser Plat· te sind zwei poröse Schichten aus Ventilmetall 2a und 2b
angeordnet, die durch eine gemeinsame Halbleiterschicht 3 miteinander verbunden sind. Die dielektrische Oxidschicht
auf der äußeren und inneren Oberfläche der Ventilmetallschichten und die im Inneren der porösen Körper 1, 2a und
2b angeordneten Teile der Halbleiterschicht 3 sind in der Figur nicht dargestellt. An freigelegten Stellen der Venr
tilmetallschiehten 2a und 2b sind die Elektroden 1Ja und Hb
in Form von leitenden Schichten angeordnet, an denen die
Anschlußdrähte 'Vk und 6b angebracht sind. Die Isolierstoffplatte
1 besitzt bei 10 eine Bohrung, in welche auch die Halbleiterschicht 3 hineinreicht. Diese ist dort durch einen
eingeschobenen Anschlußdraht oder Stab 7 a kontaktiert. Die ganze Anordnung kann natürlich auch, wie in Figur 1
dargestellt, noch mit einer schützenden Isolierhülle umgeben sein.
Verzeichnis der Bezugszeichen
| 1 | 2a, | 2b | poröse Isolierstoffunterlage |
| 2, | poröse Ventilmetallschicht | ||
| 3 | 4a, | i\b | Halbleiterschicht |
| 4, | Ventilmetallelektrode | ||
| 5 | 6a, | 6b | Halbleiterelektrode |
| 6, | 7a | Anschlußdraht | |
| 7, | |||
| 8 | Umhüllung | ||
| 9 | einspringender Winkel | ||
| 10 | Halbleiterelektrode | ||
| 709883/0369 | |||
23 Patentansprüche
1 Bl. Zeichnung
1 Bl. Zeichnung
Leerseife
Claims (1)
- P.M.Hille 3Ansprüchel.)7 Elektrischer Kondensator mit mindestens einem auf einer —' Unterlage angeordneten und mit dieser verbundenen porösen Körper oder einer porösen Schicht aus Ventilmetall, dadurch gekennzeichnet, daß die • Unterlage aus einem porösen Körper (1) aus einem wärmebeständigen Isolierstoff besteht.2.) Kondensator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Porosität der Unterlage (1) mindestens 30 % beträgt.3.) Kondensator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (1) aus Keramik besteht.1U) Kondensator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (1) aus Aluminium/besteht.5.) Kondensator nach einem der Ansprüche 1 bis 1T, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (1) eine ebene Platte ist.6.) Kondensator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (1) ein zylindrischer Körper ist. ■■".-"7.) Kondensator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (1) ein Rohr ist.709883/0369 χP.M.Hille 38.) Kondensator nach Anspruch 1 bis H, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (1) aus einem Körper besteht, dessen Querschnitt einspringende Winkel aufweist.9.) Kondensator nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Unterlage (1) mehrere voneinander getrennte poröse Körper (2a, 2b) oder Schichten aus Ventilmetall angeordnet sind.10.) Kondensator nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet, daß voneinander getrennte poröse Körper (2a, 2b) oder Schichten aus Ventilmetall nebeneinander auf der gleichen Oberfläche der Unterlage (1) angeordnet sind.11.) Kondensator nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß voneinander getrennte poröse Körper (2a, 2b) oder Schichten aus Ventilmetall auf einander gegenüberliegenden Seiten der Unterlage (1) angeordnet sind.12.) Kondensator nach Anspruch 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß auf der inneren und äußeren Oberfläche des porösen Sinterkörpers (2) oder der Schicht aus Ventilmetall eine durch Formierung erzeugte dielektrische Oxidschicht angeordnet ist und daß auf der Oxidschicht und der inneren und äußeren Oberfläche der Unterlage (1) eine Schicht aus einem halbleitenden Oxid (3) angeordnet ist.13.) Kondensator nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß in der Unterlage (1) mindestens eine Vertiefung oder Bohrung vorhanden ist, in der ein Elektrodenanschluß (10) angeordnet ist.709883/0369P.M.Hille 314.) Kondensator nach Anspruch 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß ein poröser Ventilmetallkörper (2) oder eine Ventilmetallschicht zwischen zwei porösen Unterlagen (1) aus Isolierstoff angeordnet ist.15·) Kondensator nach Anspruch 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß abwechselnd mehrere poröse Ventilmetallschichten (2) und poröse Isolierstoffschichten (1) aufeinander angeordnet sind.16. ) Kondensator nach Anspruch I1J und 15, dadurch gekennzeichnet, daß die poröse Ventilmetallschicht (2) an der Stirnseite des Schichtaufbaus kontaktiert ist.17.) Kondensator nach Anspruch 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (1) mindestens im Bereich des darauf angeordneten porösen Körpers (2) oder der Schicht aus Ventilmetall mit Isolierstoff (8) überzogen ist.18.) Verfahren zur Herstellung von elektrischen Kondensatoren nach Anspruch 1 bis 17» dadurch gekennzeichnet, daß das Ventilmetallpulver mit einem Bindemittel vermischt, auf eine poröse Unterlage aus wärmebeständigem Isolierstoff aufgebracht und anschließend zu einem porösen Körper oder zu einer porösen Schicht gesintert wird.19.) Verfahren zur Herstellung von elektrischen Kondensatoren nach Anspruch 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventilmetallpulver mit einem Bindemittel vermischt auf einen Körper aus Keramikrohmasse aufgebracht und beide gemeinsam zu miteinander zusammenhängenden porösen Körpern gesintert werden.709883/0369 · / ·P.M.Hille 32Ot) Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl das Ventilmetallpulver als auch das Rohmaterial für die keramische Unterlage unter Zusatz eines Lösungsoder Dispersionsmittels sowie eines organischen polymeren Bindemittels zu selbsttragenden Schichten verarbeitet werden, von denen geeignete Teile aufeinandergebracht und miteinander gesintert werden.21.) Verfahren nach Anspruch 18 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß größere einstückige Körper hergestellt und diese vor oder nach der Sinterung in einzelne Einheiten verteilt werden.22.) Verfahren nach Anspruch 18 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Sintern Teile der porösen Ventilmetallkörper oder -schichten abgedeckt und nach der Erzeugung der dielektrischen Oxidschicht und der halbleitenden Oxidschicht die Abdeckung entfernt und das Ventilmetall an dieser Stelle kontaktiert wird.23«) Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß nach Erzeugung der halbleitenden Schicht auf der dielektrischen Oxidschicht des porösen Ventilmetallkörpers und auf der ganzen Oberfläche der porösen Unterlage Kontaktschichten dort auf der halbleitenden Oxidschicht angebracht werden, wo sie direkt auf der porösen Unterlage aufliegen.Pr/pr - 9.7.1976709883/0369
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