DE2621753A1

DE2621753A1 - Verfahren zur herstellung von aluminid-ueberzuegen auf nickel-, kobalt- und eisen-basislegierungen

Info

Publication number: DE2621753A1
Application number: DE19762621753
Authority: DE
Inventors: Richard Carroll Krutenat; Carlino Panzera
Original assignee: United Technologies Corp
Current assignee: RTX Corp
Priority date: 1975-05-27
Filing date: 1976-05-15
Publication date: 1976-12-09
Also published as: FR2333055B1; IL49460A; FR2333055A1; US3979273A; NO761748L; NL180026B; NO142448C; NL7604718A; JPS51144345A; IL49460A0; NO142448B; CA1049862A; DK227976A; JPS5856751B2; NL180026C; GB1545305A; CH619740A5; IT1064588B; BE842270A

Description

PATENTANWÄLTE MENGES & PRAHL

Erhardtstrasse 12. D-8000 München 5

'iiiiinianwalto Menges & Prahl. Erhardtstr 12, D-8000 München 5

Dipl.-Ing. Rolf Menges Dipl.-Chem.Dr Horst Prahl

Telefon (089) 26 3847 Telex 529581 BIPATd Telegramm BIPAT München

IhrZeichen/Your ref

Unser Zeichen/Our ref U 313

Datum/Date

14. Mai 1976

UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION Hartford, CT O6lOl, V.St.A.

Verfahren zur Herstellung von Aluminid-Überzügen auf Nickel-, Kobalt- und Eisen-Basislegierungen

Die Erfindung betrifft allgemein oxydations- und korrosionsbeständige Überzüge für Metalle und insbesondere ein Verfahren zur Herstellung eines Aluminid-Überzugs auf Superlegierungen auf Nickel- und Kobalt-Basis.

Die Oxydationsbestiindigkeit der verschiedenen Nickel-, Kobaltoder Eisen-Basislegierungen, die in Gasturbinentriebwerken

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eingesetzt werden, wird üblicherweise durch Aluminid-Überziige verbessert. Typisch für die angewandten Verfahren zum Überziehen sind die in den US-PSen 3 257 230 und 3 544 348 beschriebenen Packungsüberzieh-Verfahren und die Aufschlämm-Methode der US-PS 3 102 Ok¹I, Diese Verfahren werden angewandt, um durch Reaktion mit einem oder mehreren der Substratelemente und zusammen mit gleichzeitiger und/ oder nachfolgender Diffusionswärmebehandlung eines oder mehrere verschiedene Aluminide zu bilden, die eine gute Oxydntions-Erosionsbesth'ndigkeit entwickeln und so die Lebensdauer der Legierungskomponenten im Betrieb weit über die im nichtüberzogenen Zustand erzielbare Lebensdauer hinaus zu verlängern.

Auch ist es, wie in den US-PSen 3 677 789 und 3 692 554 beschrieben, bekannt, eine gesonderte Schicht eines Metalls der Platingruppe vor der Aluminium-Diffusionsbehandlung anzuwenden, um die Hochtemperatur-Korrosionsbeständigkeit und die Zunderbeständigkeit zu erhöhen. Allerdings wird auch die Anweisung gegeben, daß die kostspielige Platinschicht wenigstens 3 μπι, vorzugsweise 7 μπι dick sein muß.

Aufgabe der Erfindung ist die Verbesserung der Beständigkeit gegenüber Oxydation und Sulfidbildung von Aluminidüberzügen und Erzeugnissen mit Überzügen insbesondere bei Anwendung auf Gasturbinentriebwerk-Legierungskomponenten auf Nickel-, Kobalt- oder Eisen-Basis unter Verwendung minimaler Mengen teuerer Platingruppenmetalle.

Diο Erfindung hat das Verfahren zum Verbessern der Eigenschaften der Schutzüberzüge auf Aluminiumbasis auf der Basis-Legierung zum Gegenstand, wobei (l) auf deren Oberfläche ein Überzug bis zu einer Dicke von weniger als 3 pm

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aufgebracht wird, der im wesentlichen aus (a) 90 bis 97 Gewichtsprozent'eines Platingruppenmetalls aus der Gruppe Platin, Palladium, Rhodium, Ruthenium, Osmium und Iridium und (b) 3 bis 10 Gewichtsprozent eines aktiven Metalls aus der Gruppe Yttrium, Hafnium und Zirkon besteht, und (2) aluminiert wird. Für einen vorläufigen Platin/ Yttrium-Überzug ist die bevorzugte Konzentration etwa 95 bis 97 Gewichtsprozent Platin und 3 bis 5 Gewichtsprozent Yttrium, wobei die optimale Konzentration 97 % Pt und 3 % Y ist.

Nach einer bevorzugten Technik wird der Überzug durch Zerstäuben des Platingruppenmetalls und des aktiven Metalls, entweder aufeinanderfolgend oder gleichzeitig, aufgebracht.

Für den Fachmann wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die nachfolgende eingehende Beschreibung im Zusammenhang mit der Figur noch leichter erkennbar, wobei die Figur eine schematische Darstellung einer Zerstäubungseinrichtung ist, die zur praktischen Durchführung der Erfindung geeignet ist.

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Verbesserung der Oxydations- und Korrosionsbeständigkeit von Aluminid-Legierungen. Insbesondere wird ein dünner, ein Platingruppenmetall enthaltender, vorläufiger Kombinationsüberzug auf der Oberfläche einer derzeitigen Nickel-, Kobalt- oder Eisen-Basislegierung abgeschieden, die zur Verwendung in einem Gasturbinentriebwerk geeignet ist, und dann aluminiert. Der vorläufige Überzug ist weniger als 3 Jim dick und besteht im wesentlichen aus einer Kombination von 90 bis 97 Gewichtsprozent eines Platingruppenmetalls der aus Platin, Palladium, Rhodium, Ruthenium, Osmium und Iridium bestehenden Gruppe und 3 bis 10 Gewichtsprozent eines aktiven Metalls aus der Gruppe Yttrium, Hafnium und Zirkon.

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Der vorläufige Überzug kann nach einer Vielzahl von Techniken aufgebracht werden, wobei das Platingruppenmetall und das aktive Metall entweder aufeinanderfolgend oder gleichzeitig aufgebracht werden. Erfolgt das Aufbringen nacheinander, liegt der Kombinationsüberzug in Form einer Vielzahl getrennter Schichten vor. In diesem Falle ist es, wenn auch die Schichten in beliebiger Reihenfolge abgeschieden sein können, bevorzugt, das Platingruppenmetall zuletzt abzuscheiden, um die anfängliche Abscheidung aktiven Metalls (z.B. Y) gegen Verunreinigung oder Oxydation zu schützen. Dies macht es möglich, den Überzug getrennt von der Abscheidungseinrichtung der Wärmebehandlung zu unterwerfen. Unabhängig von der Folge jedoch müssen beide Komponenten des Kombinationsüberzugs vor dem Aluminieren durch die Packung abgeschieden werden. Natürlich spielt es keine Rolle, welche Komponente zuerst abgeschieden wird, wenn die Wärmebehandlung in situ (unter Schutzatmosphäre) erfolgt. Bei gleichzeitigem Aufbringen, z.B. bei gemeinsamem Zerstäuben, liegt der Kombinationsüberzug entweder in Form einer innigen Durchsetzung eines Metalls im anderen, z.B. Y in Pt, oder in Form einer Legierung der beiden Metalle vor.

Der Kombinationsüberzug kann beispielsweise galvanisch

aus einer Flüssigkeit, Tauchen, Flammsprühen, Reaktionsabscheidung, direkte Dampfabscheidung, Heißsprühen, Verbundplattieren, Aufschlämmungsdiffusion (vorausgesetzt, das aktive Metall bleibt in abgeschiedenem Zustand nichtoxydiert), durch Zerstäuben oder ein anderes Vakuumabscheidungsverfahren, das Schutz gegen Oxydation beim Abscheiden bietet, aufgebracht werden. Eine bevorzugte Technik zum Aufbringen der Schicht auf dem Superlegierungs-Strukturerzeugnis umfaßt das gemeinsame Zerstäuben des reinen Platingruppenmetalls und des reinen zweiten metallischen Elements auf dem rotie-

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renden Substrat.

Zu bemerken ist, daß bei der Anwendbarkeit einer joden der vorgenannten Techniken der erfahrene Praktiker als Hauptkonzept zu beachten hat, daß zur Senkung der eingesetzton Platin- oder Platingruppenmetallmenge der Anteil an Dispersion aktiven Metalls innerhalb des Platingruppenmetn11s von vorrangiger Bedeutung ist. So ist, wenn getrennte Schichten aktiven Metalls und des Platingrupponmotalls in Betracht kommen, je größer die Zahl der Schichten ist, umso besser auch ihre Vermischung - was zu besserer nach innen gerichteter Diffusion und minimaler Bildung von Vorbindungen führt.

Beispiele für herkömmliche Nickel-, Kobalt- und Eisen-Basislegierungen, die für Gastrubinentriebwerke verwendbar sind, sind die in der Industrie wie folgt bezeichneten:

Legierungsbezeichnung Nennzusammensetzung(Gewichtsprozent)

B-1900 8 Cr, 10 Co, 1 Ti, 6 Al, 6 Mo,

0,11 C, 4,3 Ta, 0,15 B, 0,07 Zr, Rest Ni

MAR-M3O2 21,5 Cr, 10 W, 9 Ta, 0,85 C,

0,25 Zr, 1 Fe, Rest Co

IN 100 10 Cr, 15 Co, 4,5 Ti, 5,5 Al,

3 Mo, 0,17 C, 0,75 V, 0,075 Zr₁ 0,015 B, Rest Ni

MAR-M200 9 Cr, 10 Co, 2 Ti, 5 Al, 12,5 W,

0,15 C, 1 Nb, 0,05 Zr, 0,015 Π, Rest Ni

WI 52 21 Cr, 1,75 Pe, 11 W, 2(Nb+Ta),

0,45 C, Rest Co

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Uditnet 7OO 15 Cr, l8,5 Co, 3,3 Ti, 4,3 Al,

5 Mo, 0,07 C, 0,03 B, Rest Ni

MAR-M509 23,4 Cr, 10 Ni, 7 W, 3,5 Ta,

0,02 Ti, 0,5 Zr, Rest Co

AMS 5616 13 Cr, 2 Ni, 3 W, 0,17 C, Rest Fo

AMS 5504 12,5 Cr, Rest Fe

Wie angegeben, können die erwünschten Ergebnisse mit oinoni vorläufigen Kombinationsüberzug erzielt werden, der im wesentlichen aus 90 bis 97 Gewichtsprozent Platingruppenmetall und 3 bis 10 % aktiven Metalls besteht. Für einen Platin/Yttrium-Vorüberzug ist der bevorzugte Konzentrationsbereich etwa 95 bis 97 Gewichtsprozent Platin und 3 bis 5 Gewichtsprozent Yttrium, wobei die optimale Konzentration 97 % Pt und 3 % Y ist.

Besonders zu schätzen ist, daß das beschriebene erfindungsgemäße Verfahren eine minimale Menge an Platin erfordert, um ausgezeichnete Oxydationsbeständigkeit und insbesondere ausgezeichnete Beständigkeit gegenüber Sulf'idbildung zu bieten. Es wird angenommen, daß dieses Merkmal der Anwesenheit des aktiven Metalls, z.B. des Yttriums, zuzuschreiben ist, das eine erhöhte Haftung des Aluminiumoxids bewirkt, das sich in oxydierender Umgebung bei hoher Temperatur bildet. So bietet der Überzug einen überlegenen Schutz sowohl gegen oxydierende als auch sulfidbildcndc Bedingungen beim Betrieb eines Turbinentriebwerks mit dor geringsten Menge an teuren Materialien.

Nach dem Aufbringen oder Abscheiden wird das so überzogene Substrat aluminiert, d.h. einer Aluminiumquelle ausgesetzt, wobei das Aluminium eindiffundiert wird, um die höchste

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Konzentration an Platingruppenmetall und aktivem Metall an der Außenfläche der Komponente zu erzielen. Wie dor Fachmann erkennen wird, kann Aluminium nach jeder gocignoten Technik aufgebracht werden, wie z.B. durch Dampfabscheidung, Flammen- oder Plasmasprühen, Elektrophorese, galvanisch, durch Aufschlämmungsüberziehcn, Packun.oisx.omentieren oder dergleichen, wobei die Packungstechnik bevorzugt wird. Während und/oder nach dem Überziehen wird das Teil diffusionswärmebehandelt, um Diffusion des Aluminiums, des Platingruppenmetalls und des aktiven Mot,-\ I I;; in die Oberfläche der Substratlegierung zu bewirken.

Wie angegeben, ist die bevorzugte Technik zur Abscheidung des Vorüberzugs aus Platingruppenmetall und zweitem Metall die Zerstäubungstechnik, da sich das Zerstäubt;η leicht zur Steuerung der Abscheidungsgeschwindigkeit und der Substrattemperatur eignet und zugleich das aktive Element gegen Oxydation schützt. Eine Zerstäubungseinrichtung des Tetroden-Typs, die zur Durchführung der Abscheidung durch Kondensation von Dampf von getrennten Zorstäubungskathoden (sogenannten Targets) geeignet ist, ist in der Figur schematisch dargestellt. Eine Vakuumkammer 1.0 mit einer Deckplatte 12 und einer Grundplatte Ik ist mit geeigneten AbsperrOrganen, Pumpen und isolierten Durchführungen ausgestattet und wird durch eine Öffnung l6 gegen eine gesteuerte Argon-Zufuhr, die durch einen Gasreiniger l8 und eine Einlaßöffnung 19 erfolgt, zur Aufrechterhaltung eines dynamischen Drucks in der Kammer von 1 bis 10 χ 1O~^ Torr ausgepumpt. Eine elektrisch erhitzte Einrichtung für thermionische Emission mit einer Vielzahl von Wolframdrähten 21 befindet sich in einer Kammer 20 auf der Grundplatte l4 über dem Einlaß für das gereinigte Argon. Die Kammer 20 ist vollständig geschlossen, mit Ausnahme der Argon-

BAD ORIGJNAL

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Einlaßöffnung 19 und einer Öffnung 23 in ihrer oberen Wandung. Auf der oberen Wandung der Heizkammer 20, die Öffnung 23 umgebend, ist eine Plasmakammer 2'i (bevorzugt mit Tantal-Wandungen) zur Aufnahme des in der Kammer 20 erzeugten Plasmas angeordnet. Ein Paar einander gegenüberliegender Zerstäubungskathoden 22 sind jeweils gerade außerhalb der Öffnungen in den inneren Tantal-Wandungfii der Kammer 2k angeordnet, um das Zerstäuben nach hinten und seitwärts durch die Zerstäubungskathoden 22 zu beseitigen. Hinter den Zerstäubungskathoden sind auch äußere Abschi rmwandungen 25 aus Tantal angeordnet. Ein zu überziehendos Substrat 26 ist an einer drehbaren Halterung 28, wie 7..Π. einem Metallstab, befestigt und zwischen den Zerstäubnn.irskathodcn 22 in der Plasmakammer 24 über der Öffnung 'Λ~> angeordnet. Ein Gitter 30 in Form einer Tantal-Drahtschloife zur Stabilisierung des erzeugten Plasmas ist unter dem Substrat direkt über der Öffnung 23 angeordnet, während eine Anode 32 in Form einer flachen Metallplatte in einem Abstand darüber und die Plasmakammer 24 abdeckend über dem Substrat angeordnet ist, wie in der Figur dargestellt.

Beim Betrieb werden die Wolfram-Drähte innerhalb der Ileizkammer 20 zur Elektronenemission aufgeheizt und ionisieren so das Argon-Gas innerhalb der Kammer. Das ionisierte Gas strömt durch die Öffnung 23 und füllt die Plasmakammer 2^!i um das Substrat herum. Die Elektronen werden zum Substrat gezogen und helfen bei dessen Aufheizen, aber auch zur Anode, um den elektrischen Kreis zu schließen, ^3it einer axisreichenden negativen Spannung, z.B. -10 bis -5000 V, vorzugsweise -100 bis -2000 V, die an den Zerstäubungskathoden 22 anliegt, werden die positiven Argon-Ionen dorthin angezogen und lösen in üblicher Weise die Zerstäubung aus. Jede Zorstäubungskathode ist für sich mit ihrer eigenen Stromquelle verbunden und kann gleichzeitig oder nacheinander zum Substrat hin zerstäubt werden. Bei jeder dieser Techniken ist

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eine geeignete Steuerung notwendig, um im richtigen Verhältnis Abscheidung des Platingruppenmetalls und des aktiven Metalls sicherzustellen. Auf jeden Fall wird die Rotation des Substrats als notwendig angesehen, woboi die Rotationsgeschwindigkeit hoch genug ist, um HbormäiVi ges Kornwachstum und Leiterausbildung zu vermeiden.

Bei den Untersuchungen wurde ein Zerstäubungssystem dos vorstehend beschriebenen Tetroden-Typs eingesetzt, wobei das Bombardement des Substrats mit niederenergotischon Elektronen von der Plasmaentladung verwendet wurde, um die Substrattemperatur zu halten. Das System wurde vor der Abscheidung gründlich im Vakuum entgast, und das zerstaubende Argon-Gas wurde gereinigt, indem es über (800 C) heiße Titanspäne geführt wurde. Das Platingruppenmetal1-Zerstäubungstarget war typischerweise ein gerolltes Platinblech in Form eines rechteckigen Streifens von 38,1 χ 76,2 x3» l8 mm mit einem Tantal-Stützblech. Jeder andere chemisch stabile Träger kann als Träger für das Platin dienen. Das Platin hatte eine analytische Reinheit von 99,9 %· Das zweite Metallzerstäubungstarget, aus Yttrium, hatte die gleichen Abmessungen und Form wie das Platin und vorwendete ein Tantal-Stützblech, um eine Reihe gegossener Y-Stäbe in rechtwinkliger Anordnung zu halten. Das Yttrium hatte eine analytische Reinheit von 99,9 % mit Spuren von Al, Ca, F, Fe und Mg in Mengen von weniger als 0,03 Gewichtsprozent .

Ein Stift aus B-1900 Nickel-Basislegierung (Nennzusammensetzung 8 Cr, 10 Co, 1 Ti, 6 Al, 6 Mo, 0,11 C, 'i, 3 Ta, 0,015 B, 0,08 Zr, Rest Ni) von etwa 6,35 x 76,2 mm wurde mit SiC-Papier, 600 Schleifkorn, poliert und unter Ultraschall mit einem Gemisch aus Trichloräthylen, Aceton und Benzol unmittelbar vor dem Einführen in die Zerstäuborein-

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heit entfettet. Der Substratstift wurde an der Halterung 28 befestigt, die ein Drehen der Probe von außen ermöglichte. Das System wurde bis auf 5 x 10 Torr ovakuiort, wobei der Elektronenemitter in Betrieb war, dann würfle Ti-gegettertes Argon bis auf 5x1° Torr in das System eingerührt. Ein Entladungsstrom von etwa 21 A wurde in kontrollierter Weise zwischen dem Substrat (12 A), der Hilfsanode (βλ) und dem Gitter (l A) aufgeteilt, um das Plasma zu erzeugen und das Substrat aufzuheizen.

Nach 15 min Elektronenbombardement zur Erzielung einer Substrattemperatur von IO5O C wurde mit dem Zerstäuben begonnen, indem an das Platintarget eine negative Vorspannung von 15OO V gelegt wurde. Etwa 48 min lang erfolgte Abscheidung von dem sich drehenden Substrat, bis ein Überzug von 2,5 Jim Platin erreicht war. Dann wurde an das Yttrium-Target eine negative Vorspannung von 5OO V gelegt und die Abscheidung für etwa 26 min durchgeführt, um einen Überzug von 0,3 μηι Yttrium zu erzeugen. Für ebene, nichtrotierende Oberflächen waren für die Abscheidung l6 min für das Pt + 8 min für Y erforderlich. Nach der Abscheidung wurde das System still-gelegt, und die Probe wurde in einen Vakuumofen überführt, wo sie 5 Stunden bei 1000 °C behandelt wurde. Sodann wurde sie nach den Lehren der US-PS 3 544 348 packungsaluminiert. Insbesondere wurde die Probe in eine Packungsmischung eingebettet, die 5 bis Gewichtsprozent Aluminium, 0,5 bis 3 % Ammoniumchlorid, Rest Aluminiumoxid, enthielt. Die Packung wurde 1,5"Stunden bei 76Ο C in einer inerten Atmosphäre (Argon) erhitzt Darauf wurde der Gegenstand einer duktil machenden Wärmebehandlung in Argon für 8 Stunden bei etwa IO8O ⁰C unterworfen.

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Cyclische Sulfidierung an dem aluminisieren, mit Pt + Y überzogenen Stift wurde bei 982 °C (unter Verwondun,»· eines mit Propan betriebenen Brenners,in den eine kleine Menge einer ein lösliches Sulfatsalz enthaltenden Lösung, z.B. einer wässrigen Lösung Na₃SOi, injiziert wurde) übor 1200 Stunden ohne Fehlverhalten des Überzugs betrieben, der sich mit dickeren Überzügen (etwa 10 μΐη) , ausgebildet auf einem zweiten B-1900-Substrat in gleicher Wfi.ise, aber ohne Y, als gleichwertig erwies. Ein Aluminid-Überzug (von etwa 100 μπι) unter Anwendung der gleichen Packung und Parameter auf ein drittes B-1900-Substrat, aber ohne die Zwischenschicht des Platin- und Yttrium-Überzugs hielt nur 150 Stunden bei dem identischen Test.

Andere geeignete Proben wurden nach der Zerstäubungstochnik hergestellt, wobei eine durch gemeinsames Zerstäuben von Pt und Y gebildet wurde und die wünschenswerte innige Vermischung der beiden Elemente in dem. Überzug zeigte.

Der Fachmann wird erkennen,daß, obgleich in der vorliegenden Versuchsbeschreibxmg eine Tetroden-Zerstäubungseinrichtung mit einer Einrichtung verwendet wurde, wodurch ein Elektronenstrom vom Elektronenemitter zum Substrat geführt wurde, es geeignet wäre, von einem Diodensystem mit einer Widerstandsheizung zu zerstäuben, um zum Substrat hin eine Strahlung zu liefern, die ausreicht, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Für flache Flächen, Platten oder Bleche z.B. kann dies erreicht werden, indem eine heizplattenartige flache Heizeinrichtung mit Nichrome-Windungen verwendet wird , oder durch Hohlkathoden-Elektronenstrahleinrichtungen, die in dem für das Zerstäubungsverfahren erforderlichen Argon-Druckbereich arbeiten. Alternativ kann Wechselstromzerstäubung eingesetzt werden, wobei zwei Stäbe, ein Platin- und ein Yttrium-Stab, durch Wechselstrom von 5OO V

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aktiviert werden und jeder Stab mit einem die Stromstärke steuernden Widerstand in Reihe geschaltet ist, so daß die Zerstäubungsabscheidung im geeigneten Verhältnis von Pt
zu Y erfolgt. Wie bei der anderen Technik kann die erforderliche Substrattemperatur durch jede geeignete Maßnahme, sogar durch Widerstandsheizung des Substrats selbst, erreicht werden.

Die obigen Ausführungen sollen in erster Linie beispielhaft sein, um dem Fachmann die praktische Durchführung der Erfindung zu ermöglichen, und daher versteht es sich, daß
die Erfindung auch in anderer als der speziell beschriebenen Weise durchgeführt werden kann.

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Claims

PATENTANSPRÜCHE

1. Verfahren zur Herstellung eines oxydations- und sulfidierungsbeständigen Legierungsüberzugs auf einem Gasturbinentriebwerksteil aus einer Nickel-, Kobaltoder Eisen-Basislegierung, wobei ein Platingruppenmetall auf der Legierung abgeschieden und dann aluminisiert wird, um sowohl das Aluminium als auch das PIatingruppenmotall in deren Oberfläche einzudiffundieren, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Aluminisieron auf der Legierung ein Kombinationsüberzug von wenigstens etwa 1 μηι, jedoch weniger als 3 μπι Dicke, im wesentlichen bestehend aus 90 bis 97 Gewichtsprozent Platingruppenmetall der aus Platin, Palladium, Rhodium, Ruthenium, Osmium und Iridium bestehenden Gruppe und 3 bis 10 Gewichtsprozent eines aktiven Metalls aus der aus Yttrium, Hafnium und Zirkon bestehenden Gruppe aufgebracht wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Platingruppenmetall und das aktive Metall zur Bildung mehrerer getrennter Schichten nacheinander aufgebracht werden.

3. Verfahren nach Anspruch I₁ dadurch gekennzeichnet, daß das Platingruppenmetall und das aktive Metall gleichzeitig unter Bildung einer innigen Durchmischung des nktiven Metalls in dem Platingruppenmetall aufgebracht werden.

4. Verfahren nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß als aktives Metall Yttrium und als Platingruppenmetall Platin eingesetzt werden, wobei diese Metalle gleich·

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zeitig unter Bildung eines Kombinationsüberzugs, der im wesentlichen aus wenigstens etwa 1, aber weniger als 3 μπι dickem Platin mit etwa 3 bis 5 Gewxchtsprozent Yttrium, das innig darin verteilt ist, besteht, gleichzeitig abgeschieden werden«

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Yttrium gleichzeitig mit dom Platin gemeinsam zerstäubt wird.

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