DE2615681A1

DE2615681A1 - Gasentladungsanzeigevorrichtung mit einer steuerstruktur

Info

Publication number: DE2615681A1
Application number: DE19762615681
Authority: DE
Inventors: Martin Dipl Ing Dr Bechteler; Georg Dipl Chem Dr Eckert; Christian Dipl Ing Stein; Werner Dr Veith
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1976-04-09
Filing date: 1976-04-09
Publication date: 1977-10-13
Also published as: DE2615681C2

Description

Gasentladungsanzeigevorrichtung mit einer Steuerstruktur
Die Erfindung betrifft eine Gasentladungsanzeigevorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Derartige Display sind bereits in einigen Ausführungen bekanntgeworden; man vergl.
hierzu beispielsweise die DD-AS 18 11 272, DT-OS 24 12 869 oder US-PS 3 800 186. Sie arbeiten nach folgendem Prinzip: Elektronen eines im Entladungsraum erzeugten Plasmas gelangen durch selektiv angesteuerte Matrixpunkte der Steuers truktur in den Nachbeschleunigungsraum, nehmen dort Energien von einigen kV auf, treffen schließlich auf die Schirmanode und erzeugen dort; auf dem zwischen der Anode und einer Frontplatte befindlichen Phosphor einen Lichtpunkt. Mit solchen Zwei-Eammer-Anzeigen, bei denen die Gasentladung lediglich als Elektronenquelle dient, lassen sich hohe Leuchtstärken erzielen, insbesondere dann, wenn man das Plasma zwischen einer großflächigen, parallel zur Matrix verlaufenden Kathode und jeweils einer selektiv angesteuerten Zeile brennen läßt (keilförmige Langsen+-ladung nach DT-OS 24 12 869).
Trotz der theoretisch zu erwartenden hohen Lichtausbeuten ist bislang ein auf dem Prinzip der getrennten Elektronenerzeugung und -beschleunigung beruhender Bildschirm noch nicht zur Fertigungsreife gebracht worden, da eine Reihe von technologischen Problemen noch nicht befriedigend gelöst werden konnte. Eine dieser Schwierigkeiten besteht darin, daß bekanntlich im Betrieb der Anzeige aus der Flasmakathode ständig Metallatome herausgeschlagen werden (sog. "Eathodensputtern"), die dann im Entladungsraum herumvagabundieren und, wenn sie sich auf der Steuerstruktur niederschlagen, zu Kurzschlüssen und damit zu einer Verschlechterung der optischen Darstellung bishin zum vollständigen Funktionsausfall führen können (vergl. hierzu auch "Advances in Electronics and Elektron Pkysics'' 35 (1974) S. 191 bis 267, insb. Abschnitt II.D). Besonders gefährdet ist die Steuerstruktur, wenn die Entladung in Form des an sich vielversprechenden Längsplasmas gemäß D?-OS 24 12 869 realisiert wird, da hier aufgrund der großflächigen Emissionsfläche mit relativ großen Sputterraten zu reclnen ist.
Bei den bisher vorgeschlagenen Steuerstrukturen - beidseitig mit den Leitern der Matrix versehene Isolierstoffplatten -könnte man durch Vergrößerung der Plattenlocher gegenüber den Leiteröffnungen (32-AS 18 11 272) die Strecken zwischen den Zeilenleitern und den Spaltenleitern leidlich kurzschlußsicher machen; nach wie vor bleibt aber noch die Gefahr eines Eurzschlusses zwischen benachbarten Zeilenleitern.
Zur Beseitiguilg der geschilderten Mängel, insbesondere zur Schaffung einer Steuerstriktur bei der keine sputterbedingten Kurzschlüsse auftreten können, ist eine Anzeige nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen dieses Anspruchs enthaltenen Merkmale charakterisiert.
Bei der vorgeschlagener Anzeigevorrichtung liegen die Leiter stützen derart verborgen hinter den Zeilenleitern, daß sie von den diffundierenden und sich durchaus nicht geradlinig ausbreitenden Metallatomen aus der Kathodenoberfläche nur äußerst selten erreicht werden; damit können sich auf diesen Isolatoren keine leitenden, Kurzschlüsse herbeiführenden Filme ausbilden.
Hinzukommt, daß die Matrixpunkte keine Seitenwände enthalten, die sich durch hindurchtretende Elektronen negativ aufladen und dadurch einen Elektronendurchgang behindern könnten.
Bevorzugte Ausführungen der erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung sind in den Ansprüche 2 bis 9 angegeben, besonders rationelle Herstellungsverfahren sind Gegenstand der Ansprüche 9 bis 16.
Das vorgeschlagene Panel findet vorallem als Fernsehbildschirm Verwendung.
Die Erfindung soll im Folgenden anhand besonders zweckmäßiger Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Figuren der Zeichnung näher erläutert werden. In den Figuren sind einander entsprecnende Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen. Es zeigen: Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung, in einem Seitenschnitt; Fig.-2 aus dem Ausführungsbeispiel der Pig. 1 einen Ausschnitt der Steuerstruktur, im Schnitt II-II; Fig. 3 die Steuerstruktur aus der Fig. 1 im Schnitt III-III; Fig. 4 die Steuerstruktur eines zweiten Ausführungsbeispiels, in der gleichen Darstellungsweise wie Fig. 3; Fig. 5 ein weiteres Ausführungsbeispiel, in der Darstellungsweise der Fig. 1, teilweise weggebrochen; Fig. 6 vom Ausführungsbeispiel der Fig. 5 die Steuerstruktur, in einem teilweise weggebrochenen Seitenschnitt.
Die Figuren der Zeichnung sind teilweise stark vereinfacht.
Alle für das Verständnis der vorliegenden Erfindung nicht unbedingt erforderlichen Teile einer Gasentladungsanzeige wie bei- Elektrodenzuleitungen oder Organe des Ansteuerkreises sind nur angedeutet oder vielfach auch ganz weggelassen.
Die Displayausführung der Fig. 1 ist als Fernsehbildschirm vorgesehen. Sie enthält eine Tülle 1 mit Seitenwandungen 2, einer Frontplatte 3, einer Backplatte 4 und rückwärtigen Stützstreben 5 sowie einer Steuerstruktur 6, einer Kathode 7 und einer Anode 8.
Die Steuerstruktur 6 durchsetzt die Seitenwandungen 2 der Hülle 1 und teilt das Hülleninnere in einen vom Betrachter aus gesehen hinteren Raum (Entladungsraum 9) tnd einen vorderen Raum (Nachbeschleunigungsraum 10).
Die Steuerstruktur selbst enthält eine Schar von Spaltenleitern 11 und eine Schar von Zeilenleitern 12, die zusammen eine Matrix bilden. Im Bereich dieser Matrix sind die Zeilenleiter von den Spaltenleitern durch Stützen 13 voneinander distanziert.
Leiter und Stützen sind in der Fig. t nur schematisch dargestellt, ihre genaue Form geht aus den Fig. 2 und 3 hervor. Die Enden der Zeilen- bzw. Spaltenleiter sind durch die Seitenwandungen der Hülle geführt und stehen mit einem die Hülle umgebenden äußeren Rahmen (Steuerrahmen 14) der Struktur in fester Verbindung. Auf diesem Rahmen befinden sich auch die Bauelemente für den Ansteuerkreis der 'matrix; sie sind in der Figur nur angedeutet und summarisch mit dem Bezugszeichen 15 versehen. Rahmen, Bauelemente und Leiterenden sind zur Erhöhung der mechanischen Stabilität und zum Schutz gegen atmosphärische Einflüsse zusammen mit der Hülle in einen Kunstharzmantel 16 eingebettet.
Die Kathode (Flächenkathode) 7 ist im Entladungsraum 9 angeordnet, sie liegt der Innenseite der Druckplatte 4 an und überdeckt den gesamten Matrixbereich. Die Anode (Schirmanode, Beschleunigungsanode) 8 überzieht eine auf der Innenseite der Frontplatte 3 befindliche Phosphorschicht 7 und erstreckt sich ebenfalls über den gesamten Matrixbereich. Für die erforderliche Distanzierung der Steuerstruktur von der Beschleunigungs anode ist zwischen Steuerstruktur und Frontplatte ein Rahmen 18 mit vergrößerter Weglänge eingesetzt und werden die Spaltenleiter durch Stifte 19 gegen die Frontplatte abgestützt. Diese Stifte sollten von den gleichen Orten wie die Stützen l3ausgehen, damit die einzelnen Spaltenleiter möglichst geringen Biegekräften ausgesetzt sind. Statt der Stifte könnten natürlich auch andere Abstandselemente, beispielsweise in Siebdruck- und Sintertechcik aufgebrachte Glaspfosten verwendet werden.
In der geschilderten Ausführung bestehen die einzelnen Teile aus folgenden Materialien: Für die Hülle einschließlich der Frontplatte und der Rückplatte sowie für den Rahmen und die Stützen der Steuerstruktur ist ein geeignetes Glas gewählt, die Stifte, Pfosten oder dergleichen sind aus Keramik oder ebenfalls aus Glas. Die Kathode besteht aus einem wenig sputternden Kaltkathodenmaterial wie beispielsweise Nickel oder Aluminium, die Anode aus einer mit Phosphor bedeckten SnO2-Sckicht, der Phosphor aus Cr-Wolframat (Zn-Silikat, Y-Vanadat). Das Material der Zeilen- und Spaltenleiter ist beispielsweise galvanisch abgeschiedenes Nickel oder Nickel/Eisen, als Füllgas kann ein Neon-Argon-Penninggemisch, N2 oder ein anderes Edelgas genommen werden. Der Fülldruck liegt bei einigen Torr.
Zum Betrieb der Anzeige kann man für die einzelnen Elektroden folgende Potentiale wählen: Für die Flächenkathode -200 bis -300V, für die jeweils angesteuerte Zeile Erdpotential, für die nicht angesteuerten Spalten -30V, die bei voller Durchsteuerung Erdpotential annehmen, und für die Beschleunigungsanode 2 bis 5 kV. Die nicht angesteuerten Zeilen nehmen das Potential ihrer Umgebung an, sie "schwimmen" und beeinflussen die zwischen der Plächenkathode und der angesteuerten Zeile keilförmige brennende Gasentladung nicht.
Für weitere Herstellungs- und Betriebseinzelheiten wird auf die bereits zitierte DT-OS 24 12 869 sowie auf die Patentanmeldungen P (VrA 76 P 1035 BRD ) und P (VPA 76 P 1037 BRD ) verwiesen.
Den Fig. 2 und 3 entnimmt man, daß die Zeilen- und Spaltenleiter an ihren Kreuzungspunkten gelocht sind (Öffnungen 20). Diese Öffnungen haben eine Schlitzform mit abgeschrägten Schlitzen-en, die Öffnungen der Spaltenleiter sind zusätzlich mit einem Gitter aus einzelnen Stegen 21 versehen. Die schlitzartige Ausbildung sowie die Vergitterung der Spaltenleiteröffnungen tragen dazu bei, daß die Matrixpunkte mit einem nur geringen Spannunrshub von wenigen 10 V sauber geschaltet werden können: nicht oder nur halb angesteuerte Öffnungen sind für die Elektronen aus dem Entladungsraum unpassierbar, während durch voll angesteuerte Öffnungen große Elektronenströme in den Nachbeschleunigungsraum geschleust werden. Eine mehr ins Einzelne gehende Darsterlung des Zusammenhangs zwischen der Öffnungsform und den Steuereigenschaften der Öffnung wird in der Patentanmeldung P (VPA 76 P ) gegeben, in der auch andere geeignete Formgebungen beschrieben sind.
Die länglichen Leiteröffnungen erstrecken sich längs der Spalten und sind in dengeradzahligen Zeilen gegenüber den ungeradzahligen Zeilen versetzt angeordnet. Auf diese Weise lassen sich pro Flächeneinheit, insbesondere pro Zeile, sehr viele Matrixpunkte unterbringen und können zugleich die Lochberandungen den erforderlichen Abstand zueinander einhalten (zu geringe Berandungsabstände würden zu kapazitiven Kopplungen und damit zu einer höheren Belastung der Stromquelle führen).
Von den Innenseiten der Leiter 11,12 gehen jeweils Stützabschnitte mit rechteckigen Querschnitten aus (in den Fig. 2 und 3-ragen diese Abschnitte aus der Zeichenebene heraus). Die Tsängsseiten dieser Rechteckprofile liegen parallel zur Längs erstreckung der die Abschnitte tragenden Leiter, so daß sich beim Zusammensetzen der beiden Strukturhälften jeder Abschnitt mit einem anderen kreuzen und sich mit diesem Partner zu einer Stütze ergänzen kann.
Die geschilderte Steuerstruktur läßt sich folgendermaßen besonders einfach herstellen: Zunächst wird auf einem metallischen Hilfsträger ganzflächig eine Schicht eines zweiten Metalls stromlos oder galvanisch abgeschieden. Mit Hilfe der Fotoätztechnik werden dann in an sich bekannter Weise aus der abgeschieaenen Metallschicht die Leiterbahnen selektiv herausgeätzt. Nach diesem Schritt druckt man mittels Siebdruck den Leiterbahnen kurze stabförmige Stützenabschnitte aus Glas auf. Sodann werden die beiden Hilfsträger so übereinander gelegt, daß sich möglichst; jeder Stützenabschnitt mit einem gegenüberliegenden Abschnitt kreuzt. Dann verschmilzt man die jeweils eine volle Stütze bildenden Abschnitte miteinander. Schließlich werden noch die beiden metallischen Hilfsträger selektiv weggeätzt. Für das genannte Verfahren müssen solche Trägermaterialien bzw.
Schichtmaterialien gewählt werden,- die sich gegeneinander und gegebenenfalls auch gegen Glas selektiv ätzen lassen. Als Trägermetall kann beispielsweise Kupfer, als Schichtmetall Nickel oder Nickel/Eisen genommen werden. Es sind aber auch andere Werkstoffpaarungen möglich.
Bei der Herstellung der Struktur ließe sich ein Arbeitsgang einsparen, wenn man auf die Hilfsträger nicht erst eine Schicht ganzflächig aufbringt und diese Schicht dann selektiv ätzt sondern gleich die Leiter in ihrer endgültigen Form galvanoplastisch abscheidet.
Die Spaltenleiter könnten nach dem Ablösen der Hilfsträger auf ihren der Beschleunigungsanode zugewandten Seiten nocWeinmal mit ähnlichen Stiften bzw. Glaspfosten versehen werden, die dann zur Beabstandung der Steuerstruktur von der Frontplatte dienen würden. Diese Distanzierungselemente sollten gegenüber den Stützenabschnitten der Spaltenleiter möglichst wenig versetzt sein.
Die erforderliche Distanzierung der Steuerstruktur vorallem gegen die Beschleunigungsanode kann auch auf andere Weise erfolgen, beispielsweise mittels zwischen die Anode und die Kathode gesetzten, die Steuerstruktur durchdringenden Stützplatten. Besonders geeignete Beabstandungsmittel sind in der Patentanmeldung P (VPA 76 P 1035 ) beschrieben.
Wenn die Leiter miteinander verfestigt und gegebenenfalls mit Distanzierungsetiften ausgerüstet sind, werden ihre Enden zunächst an einem ersten Rahmen (Spannrahmen) fixiert. In diesem Zustand werden die Leiter dann mit der Hülle verschmolzen uzw.
mittels Glaslot verkittet. Der Spannrahmen befindet sich dabei außerhalb der Hülle, er umgibt sie mit einem gewissen Abstand.
Nach dem Schmelzen bzw. Verkitten befestigt man die Leiterenden mit dem die Steuerorgane tragenden Steuerrahmen, vergießt ihn mit der Hülle undentfernt hiernach den: Spannrahmen.
Fig. 4 zeigt eine abgewandelte Steuerstruktur, bei der die Spaltenleiter spaltenparallele Fäden 24 aus einem Glas mit angepaßtem thermischen Ausdehnungskoeffizienten tragen. Man erkennt, daß die untereinanderliegenden Leiteröffnungen nicht mehr wie im Beispiel der Fig. 2 und 3 gegeneinander versetzt liegen, da anderenfalls die Glasfäden jede zweite der untereinanderliegenden Öffnungen durchdringen und dann bei diesen Öffnungen die Ventileigenschaften beeinträchtigen Yürden. Glasfadenstützen haben den Vorteil, daß man den Abstand zwischen den Zeilenleitern einerseits und den Spaltenleitern andererseits verhältnismäßig groß wählen und, wenn man Glasfäden konstanter Dicke nimmt, über große Flächenbereiche in einem definierten Maß halten kann. Die Zeilenleiter liegen den Glasfäden entweder direkt auf oder tragen ebenfalls Glasfäden bzw. Stützenabschnitte, die die Glasfäden der Spaltenleiter kreuzen.
Wenn auch durchgehende Glasfäden von den Zeilenleitern nicht vollständig überdeckt werden können, so ist die Gefahr eines sputterbedingten Kurzschlusses - insbesondere bei Verwendung zusätzlicher Stützenabschnitte - noch immer außerordentlich gering.
Beim Ausführungsbeispiel der Fig. 5 ragt der Steuerrahmen in das Hülleninnere hinein und bildet eine unmittelbare Begrenzung der Bildmatrix. Eine solche Gestaltung hat einen besonders günstigen Aufbau (einwandfreie Durchführung der Zuleitungen, Ansteuerbauelemente außerhalb der Hülle auf der gleichen Folie, mechanisch robuste und leicht zu handhabende Steuerstruktur) und kann vorallem besonders bequem hergestellt werden: Man geht von einer zusammenhängenden Glasfolie aus und erzeugt auf der Unter-und Oberseite dieser Folie die Leiterbaknen, am besten durch Fotoätztechnik oder Galvanoplastik. Dann ätzt man die Folie selektiv, beiæpiaelsweise mit Flußsäure.'Die-Casätzung erfolgt nun nicht nur durch die Leiteröffnungen sondern durch die Lücken zwischen den einzelnen Beiterbhnen hindurch. Bei richtig gewählter Ätzdauer entsteht durch Unterätzung automatisch ein System aus vollständig verdeckten, voneinander isolierten Säulen mit eingeschnürten Taillen. Diese auf besonders elegante Weise erzeugte Stützenanordnung verfügt über eine über den gesamten Matrixbereich hinweg gleichmäßig hohe Kurzschlußfestigkeit.
Wählt man für die.in Fig. 5 dargestellteAusführung Leiterformen gemäß den Fig. 2 und 3, so verbleiben.bel:genauer Einhaltung der Ätzzeit Säulen an den Stellen, an denen die breiten Öffnungsrandbereiche der Spaltenleiter den großen Zeilenleiterflächen zwischen den Öffnungen gegenüberliegen. Man kann den Stützen aber auch eine andere Form und Verteilung geben, wenn man vor der Glasätzung die leitertragende Folienoberfläche, vorallem die spaltenseitige Fläche, an geeigneten Stellen mit einem gegen das Ätzmedium beständigen Lack abdeckt, der nach dem Atzprozeß wieder entfernt wird. Eine dieser Stellen ist in der Fig. 3 strichpunktiert eingetragen und mit 25 bezeichnet. Von der gewählten Größe des Lackflecks hängt dann der Grad der Unterätzung ab. Beispielsweise lassen sich genau symmetrische Stützen profile erzeugen (Fig. 6). Bei geeigneter Maskierung ist dann auch kein Grund mehr vorhanden, den Lochrändern Bereiche mit verschiedener Breite zu geben. Im übrigen spielt es für die Anwendung der Ätztechnik keine Rolle, in welchem Muster die Leiteröffnungen angeordnet sind, ob sie beispielsweise zueinander versetzt oder in Reihe liegen.
17 Patentansprüche 6 Figuren L e e r s e i t e

Claims

P a t e n t a n s p r ü C h e 1. Gasentladungsanzeigevorrichtung, enthaltend eine gasgefüllte gasdichte Hülle mit einer das Hülleninnere in zwei Räume unterteilenden plattenförmigen Steuerstruktur, mit mindestens einer, vorzugsweise als eine parallel zur Steuerstruktur verlaufende Flächenkathode ausgebildeten Plasmaelektrode in dem einen Hüllenraum (Entladungsraum) und mit einer Leuchtschirm-Flächenelektrode (Beschleunigungsanode) in dem anderen Hüllenraum (Nachbeschleunigungsraum) wobei die Steuerstruktur eine Matrix aus Zeilenleitern und zu diesen Leitern über elektrisch isolierendes Material beabstandeten Spaltenleitern umfaßt sowie an den Rreuzungspunkten der Matrix durc':-gehende Öffnungen aufweist und wobei ferner die Plasmaelektrode derart plaziert ist, daß im Betladungsraum eine Gasentladung brennen kann, während die Beschleunigungsanode den ihr zugewandten Leitern der Steuerstruktur (Steuerelektroden) derart genähert ist, daß selbst eine Spannung von einigen kV im Nachbeschleunigungsraum keine Gasentladung auslösen kann, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das elektrisch iQlierende Material zumindest im Bereich der Matrix aus einzelnen Stützen (13) besteht, die von den dem Entladungsraum (9) zugewandten Leitern der Steuerstruktur (Hilfsanoden 12) praktisch vollstandig verdeckt werden, und daß die Hilfsanoden (12)-ursd die Steuerelektroden (11) selbsttragend ausgebildet sind.
2. Anzeigevorrichtung nach Anscruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die einzelnen Stützen (13) aus zwei in Richtung der Matrixnormalen verlaufenden, miteinander und mit je einem Leiter verfestigten Abschnitten (22,23) bestehen, die jeweils einen länglichen Querscbnitt haben und gegeneinander um ihre Längsachse verdreht sind.
3. Änzeigevorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß die einzelnen Stützen aus in der Matrixebene verlaufenden, mit mehreren Leitern verfestigten Fäden (24) aus einem thermisch angepaßten Glas gebildet sind.
4. Änzeigevorrichtung nach Anspruch 3, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Glasfäden (24) eine vorgegebene Dicke haben.
5. Anzeigevorrichtung nach Ansprucn 1, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Stützen (13) dadurch gebildet sind, daß mit den Leitern eines der beiden Leiter typen (Zeilenleiter 12 oder Spaltenleiter 11) Fäden (24) verfestigt sind, die sich parallel zu diesen Leitern erstrecken und aus einem thermisch angepaßten Gläs bestehen, und daß an den Leitern des anderen Leitertyps Stützenabschnitte (22) fixiert sind, die einenlänglichen Querschnitt haben, die Glasfäden (24) kreuzen und mit diesen fest verbunden sind.
6. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, d a d a r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Stützen (13) in Form von Säulen ausgebildet sind, deren Profil sich von den beiden, den Leitern anliegenden Säulenenden zur Säulenmitte hin stetig verjüngt.
7. Anzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Enden der Leiter (11,12) durch die Seitenwandung (2) der Hülle (1) geführt und an einem die Hülle umgebenden Rahmen (Steuerrahmen 14) der Steuerstruktur (6) befestigt sind und daß der Rahmen (14) zugleich auch die für die Ansteuerung der Steuerstruktur erfordellichen Bauelemente (15) trägt.
8. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 7, d a d u r e h g e k e n n z e i c h II e t , daß der die Hülle umgebende Steuerrahmen (14) durch die Seitenwandung (2) der Hülle (1) in das Hülleninnere hineinragt und vorzugsweise bis unmittelbar an den Bereich der Matrix heranreicht.
9. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Steuerrahmen (14) einschließlich der Ansteuerbauelemente (15) und Leiterenden mit der Hülle (1) in einen Eunstharzmantel (16) eingebettet ist.
10.Verfahren zur Herstellung der Steuerstruktur einer Anzeige-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1,2,7 bis 9, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß zunächst auf zwei metallische Hilfsträger jeweils eine Schicht eincs zweiten Metalls ganzflächig abgeschieden wird, wobei das Trägermaterial gegen das Schihtmateriil sowie gegen Glas und das Schichtmaterial gegen das Trägermaterial selektiv --geätzt werden können, daß daraufhin auf der Metailsehicht des einen Hilfsträgers die Zeilenleiter und auf der Metallschicht des anderen Hilfsträgers die Spaltenleiter selektiv herausgeätzt werden, daß sodann die Glasstützen auf die Zeilenleiter oder Spaltenleiter, gegebenenfalls Glasstützenabschnitte auf beide Leitertypen, aufgedruckt und Der schmolzen werden, daß anschließend beide Hilfsträger selektiv weggeätzt werden und daß gegebenenfalls hiernach die Glasstützenabschnitte beider Leitertypen aufeinandergesetzt und miteinander verschmolzen werden.
11. Verfahren nach Anapruch 10, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Leiter auf den Hilfsträgern nicht durch ganzfläcniges Abscheiden einer Metallschicht und nachfolgendes Herausätzen gebildet sondern direkt in einem Arbeitsgang galvanoplastisch erzeugt-werden.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß als Trägermetall Kupfer und als Schichtmetall Nickel oder Nickel/Eisen ver>endet werden.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1, 3 bis 5, 7 bis 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß zunächst auf zwei metallische Hilfsträger jeweils eine Schicht eines zweiten Metalls ganzflächig abgeschleden wird, wobei das Trägermaterial gegen das Schichtmaterial sowie gegen Glas und das Schichtmaterial gegen das TrägermaterIal selektiv geätzt werden können, daß daraufhin auf der Metallschicht des einen Hilfsträgers die Zeilenleiter und auf der Metallschicht des anderen Rilfsträgers die Spaltenleiter selektiv herausgeätzt werden, daß sodann die Glasfäden zwischen die Zeilenleiter einerseits und die Spaltenleiter andererseits gelegt und verschmolzen werden, gegebenenfalls die Glasfäden auf die Zeilenleiter oder Spaltenleiter gelegt und verschmolzen werden und Glasstützenabschnitte auf die Leiter des jeweils anderen Leitertyps aufgedruckt und verschmolzen werden und hiernach die Glasfäden mit den GlasstUtzenabsohnitten verschmolzen werden.
14. Verfahren zur Herstellung einer Anzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche 1,6bis 9, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß zunächst eine durchgehende Glasfolie auf der einen Seite mit Zeilenleitern und auf der anderen Seite mit Spaltenleitern versehen wird und daß dann das Glas im Bereich der Matrix solange einem selektiv wirkenden Ätzmedium ausgesetzt wird, bis von der Folie nur mehr einzelne, verdeckte Stützen und vorzugsweise ein den Matrixbereich umgebender, die Leiterenden tragender Rahmen (Steuerrahmen) zurückbleiben.
15. Verfahren nach Anspruch 14, d a d u r c h g e -k e n nz e i c h n e t , daß zur Gestaltung der Stützenform und -anordnung vor dem ätzprozeß die leitertragende, vorzugsweise die steuerelektrodenseitige Oberfläche der Glasfolie im Bereich der Matrix an einzelnen Stellen mit einem Fiim aus einem gegen das Ätzmedium beständigen Material abgedeckt wird und daß nach dem Ätzprozeß das ätzbeständige Material wieder entfernt wird.
16. Verfahren zur Herstellung einer Anzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, d a d u-r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Leiterenden der bereits miteinander verfestigten Leiter auf einen ersten, außerhalb der Hülle befindlichen und die Eüllenwandung mit Abstand umgebenden Rahmen (Spannrahmen) befestigt werden, daß dann die durch die Seitenwandung der Hülle geführten Leiterenden mit der Hülle verschmolzen bzw. mittels Glaslot verfestigt werden, daß daraufhin die Leiterenden an dem Steuerrrahmen befestigt werden, daß hiernach Steuerrahmen, Ansteuerbauelemente und Leiterenden mit der Hülle in einen gunstharzmantel eingebettet werden und daß schließlich der Spannnahmen entfernt wird.
17. Anzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, g e k e n n z e i c h n e t d u r c h ihre Verwendung als Bernsehbildschirm.