DE2118430A1

DE2118430A1 - Dickschicht Induktor mit feitomag netischem Kern

Info

Publication number: DE2118430A1
Application number: DE19712118430
Authority: DE
Inventors: Brian Highstown N J Guiot Jean Mane Ann Arbor Mich Astle, (V St A)
Original assignee: RCA Corp
Current assignee: RCA Corp
Priority date: 1970-04-20
Filing date: 1971-04-16
Publication date: 1971-11-04
Also published as: NL7105237A; BE765971A; FR2092386A5; JPS486749B1; CA918264A; US3798059A; GB1303913A; ES390094A1

Description

Dipl.-Ing. H. Sauerland - Dr.-Ing. R. König

¹^ ^ö Dipl.-Ing. K₀ Bergen ^α

Patentanwälte · 4ooo Düsseldorf · CecilienaTlee 7G · Telefon 43373a

Unsere Akte: 26 604 15» April 1971

RCA Corporation, 30 Rockefeiler Plaza, New York, N₀Y₀ 10020 (V.St.A.)

"Dickschicht-Induktor mit ferromagnetische!!! Kern"

Eine Art der allgemein gebräuchlichen mikrominiaturisierten Schaltungen ist die monolithische Halbleiter—Schaltung, Bei dieser Schaltung werden alle aktiven und passiven Schaltungs-Bauteile auf oder in einem einzigen Plättchen aus halbleitendem Einkristall-Material hergestellt. Die monolithische Schaltung hat mehrere Vorteile, wie etwa die sehr geringe Größe, die sehr kurzen Verbindungs-Leitungen, die gute Reproduzierbarkeit und die niedrigen Herstellungskosten bei gleichzeitiger Herstellung hunderter ähnlicher Schaltungen auf einer einzigen Scheibe aus Halbleiter-Material β

Die monolithische Schaltung hat jedoch auch gewisse Grenzen und Nachteile» Wegen ihrer extrem geringen Größe kann sie keine allzu großen Leistungen verarbeiten. Auch die maximale Kapazität, die sich auf jeder solchen Schaltung unterbringen läßt, ist klein, weil nur ein begrenzter Platz zur Verfügung steht. Bis heute ist es schließlich fast unmöglich, Induktoren in diese Schaltungen einzubauen. Das hatte zur Folge, daß die Schaltungs-Konstrukteure gezwungen waren, solche Schaltungen zu entwerfen, die keine Induktoren nötig hatten.

Wegen dieser Grenzen und des Wunsches nach größerer Beweg-

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lichkeit bei der Konstruktion gingen die Hersteller von Schaltungen in zunehmendem Maße auf sogenannte Hybrid— Schaltungen über. Derartige Schaltungen enthalten gewöhnlich herkömmliche Halbleiter-Plättchen mit Transistoren und Dioden. Diese Plättchen sind aber auf einem isolierenden Substrat befestigt, das auch noch passive Bauelemente wie Widerstände, Kondensatoren und Induktivitäten in irgend einer Form enthält_β

Die passiven Bauelemente können z.B. herkömmliche, diskrete Miniatur-Elemente sein, die einzeln auf dem Substrat befestigt und untereinander mittels gedruckter Leitungen oder eingelöteter Drähte verbunden sind» Oder man trägt die passiven Bauelemente als Schichten auf, was wegen der niedrigeren Herstellungskosten vorzuziehen ist.

Eine Art von Schaltungen mit aufgetragenen Schichten wird dadurch erzeugt, daß man die benötigten Schichten aus Leitern, Nichtleitern und Widerstands-Materialien durch Bedampfen aufträgt. Solche Schaltungen werden als Dünnfilm-Schaltungen bezeichnet. Wünschenswerter vom Standpunkt der Her-Stellungskosten aus betrachtet sind Dickschicht-Schaltungen. Bei diesen werden die Schichten aus den verschiedenen Materialien gewöhnlich mit Hilfe des Siebdruck-Verfahrens auf ein keramisches Substrat aufgebracht, wenngleich auch andere Verfahren verwendet werden können.

Obwohl bei Dickschicht-Schaltungen die Herstellung und der Einbau von Induktivitäten leicht möglich ist, haben diese bisher gewöhnlich nur aus einfachen Spralen aus Metall-Farbe bestanden^ die direkt auf ein keramisches oder sonstiges isolierendes Substrat aufgedruckt wurden,, Bei derartigen Induktivitäten wird das Magnetfeld ausschließlich durch den Strom in der Induktor-Schicht erzeugt, weil das Substrat-Material nicht magnetisch ist, Macht man die Spirale größer, um einen größeren praktischen Nutzen von der Induktivität

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zu haben, so wird durch die Länge der Spirale ein zusätzlicher hoher Serien-Widerstand eingeführt, der zu niedrigerem Gütefaktor Q führt.

Es hat verschiedene Versuche gegeben, diese Nachteile zu beheben. Einer dieser Versuche besteht darin, daß Schichten aus magnetischen Materialien (etwa aus Metallen) auf die Unterseite oder die Oberseite (oder auf beide Seiten) einer Metall-Spirale aufgedampft werden. Ein derartiges Bauteil ist verhältnismäßig kostspielig in der Herstellung, ist nicht kompatibel mit anderen Im Maskendruck-Verfahren hergestellten Bauteilen und läßt sich nicht bei höheren Frequenzen verwenden.

Bei einer anderen Art von bekannten Induktoren besteht das Substrat selbst aus einem magnetischen Material, ζ„Β_β aus einer Ferrit-Platte. Hierbei wird der Ferrit-Körper zum magnetischen Kern der Anordnung, welche im übrigen eine Wendel aus schichtförmigen Leitern enthalten kann, die um die beiden Oberflächen und um die Kanten der Platte oder um einen Teil der Platte verlaufen. Bei dieser Art von Induktor sind Q und andere elektrische Eigenschaften zufriedenstellend, jedoch gibt es andere Nachteile„ Wird das gesamte Substrat der Schaltung aus Ferrit hergestellt, so sind die Kosten wesentlich höher als wenn das Substrat aus einer keramischen Substanz, wie etwa Aluminiumoxid besteht. Darüber hinaus können sich Schwierigkeiten bei der Vorbereitung der Oberfläche des Ferritkörpers zur Aufnahme von im Siebdruck-Verfahren aufzudruckenden Widerständen und Kondensatoren ergeben. Verwendet man den Ferritkörper jedoch nur als Substrat für den Induktor, dann wird der In-. duktor wieder zu einem Einzel-Bauteil und muß als solches auf dem Substrat der Schaltung befestigt werden.

Eine weitere Art von Induktor, die ebenfalls schon vorgeschlagen wurde, wird folgendermaßen hergestellt: Eine

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Schicht aus einer ungebrannten, ferritbildenden Mischung wird auf ein keramisches Substrat, eine Spirale aus Golddraht auf diese Schicht und eine weitere Schicht aus der ferritbildenden Mischung auf die Gold-Spirale- aufgebracht. Dieses zusammengesetzte Gebilde wird sodann gesintert, um so das magnetische Ferrit-Material zu bilden» Ein Leiter aus Gold muß deshalb verwendet werden, um die Sinter-Temperatur auszuhalten. Mit dieser Methode lassen sich Induktoren mit hohen Gütefaktoren und großer Induktivität pro Flächeneinheit herstellen. Wegen der hohen Verarbeitungs-Temperaturen während der Herstellung muß ein solcher Induktor jedoch unabhängig vom Rest der Schaltung fabriziert werden. Dabei muß er entweder gebrannt werden, bevor andere Bauelemente im Siebdruck-Verfahren aufgebracht werden, oder er muß als separate montierbare Einheit hergestellt werden»

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Induktor mit hohem Gütefaktor für Dickschicht-Hybrid-Schaltungen zu schaffen, der bei niedrigen Herstellungskosten als Induktoreinheit für Dickschicht-Hybrid-Schaltungen ein verhältnismäßig hohes Q auch bei hohen Frequenzen aufweist und verbesserte Induktor-Konstruktionen für Hybrid-Schaltungen zuläßt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Induktor aus aufeinanderfolgend aufgebrachten Schichten aus gesintertem, pulverisiertem ferromagne ti schein Material in einem katalytisch härtbaren Kunststoff und aus einer Anordnung elektrischer Leiter aus Metallteilchen in einem katalytisch härtbaren Kunststoff, der dem für die magnetischen Schichten verwendeten entsprechen kann, aufgebaut wird«

Anhand der beigefügten Zeichnungen wird die Erfindung näher erläutert. Es zeigen:

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Fig, 1 eine Draufsicht auf ein Substrat mit Anschlüssen

während eines ersten Fertigungsschrittes eines erfindungsgemäßen Induktors;

Fig. 2. 5 und 4 weitere Fertigungsstufen bei der Herstellung des Induktors, in Draufsicht;

Fig, 5 eine Draufsicht auf einen Zweifach-Spiralen-Induktor gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung, in einem frühen Fertigungsstadium;

Fig. 5a einen Querschnitt längs der Linie 5a-5a in Fig. 5»

Fig. 6 und 7 spätere Fertigungsstadien des Zweifach-Spiralen-Induktors, in Draufsicht;

Fig. 6a einen Querschnitt längs der Linie 6a-6a in Fig. 6;

Fig. 8 eine Draufsicht auf einen neuartigen Flach-Toroid-Induktor gemäß der vorliegenden Erfindung, in frühem Fertigungsstadium;

Fig. 9 und 10 ähnliche Draufsichten wie Fig. 8 zur Veranschaulichung späterer Fertigungsstadien des Flach-Toroids;

Fig. 11 eine Draufsicht auf eine andere Ausführungsform

eines erfindungsgemäßen Induktors, in frühem Fertigungsstadium;

Fig. 12 einen Querschnitt entlang der Linie 12-12 in
Fig. 11;

Fig. 13 eine Draufsicht entsprechend Fig. 11 zur Veranschaulichung eines späteren Fertigungsstadiums des Induktors gemäß Fig. 11;

. 14 einen Querschnitt entlang der Linie 14-14 in
Fig. 13;

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Fig« 15 eine Draufsicht zur Veranschaulichung eines noch späteren Fertigungsstadiums des Induktors gemäß Fig. 11;

Fig, 16 einen Querschnitt entlang der Linie 16-16 in Fig. 15.

Beispiel 1

Ein Einfach-Spiralen-Induktor gemäß der vorliegenden Erfindung kann folgendermaßen gefertigt werden» Auf ein Aluminiumoxid-Plättchen 2 (Fig. 1) werden ein Mittelanschluß 4 und ein Kantenanschluß 6 aufgetragen,, Diese Anschlüsse werden aus einer Mischung aus 4 Gewichtsteilen Silberpulver und 1 Gewichtsteil eines Binders hergestellt, welcher seinerseits zu 54 Gewichtsteilen aus Epoxydharz (etwa Araldit 6010) und zu 46 Gewichtsteilen aus Epoxydharz-Härter (etwa Araldit Härter 916) besteht,, Die Mischung aus Metallpulver und Harz (welchem unmittelbar vor dem Einsatz noch ein Beschleuniger wie etwa Araldit 062 zugegeben wird) wird im Siebdruck-Verfahren auf das Substrat aufgebracht und bei 150°C etwa 30 min bis 1 h lang ausgehärtete

Wie aus Fig. 2 ersichtlich, wird eine erste Schicht 8 aus magnetischem Ferrit auf das Substrat 2 und über die Anschlüsse 4 und 6 aufgetragen. Im vorliegenden Beispiel besteht die Schicht 8 aus zwei separaten Schichten, die beide mittels identischer Verfahren hergestellt werden. Diese separaten Schichten werden im Siebdruck-Verfahren hergestellt, indem eine Mischung aufgedruckt wird, die ein gesintertes und pulverisiertes Ferrit enthält. Dieses Ferrit wird durch Brennen einer Mischung aus 10% NiO, 6% ZnO, 1% MnO und 83% Fe₂O, erzeugte Sämtliche Prozentzahlen bedeuten hierbei Gewichtsprozente„ Das so zusammengesetzte Ferrit ist ein kommerzielles Ferrit mit der Handelsbezeich-

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nung "Ceramag 11". Dieses Ferrit hat eine Anfangspermeabilität von 115 und einen spezifischen Durchgangswiderstand von 2,5 · 10' Ohm.Zentimeter bei 3O⁰C. Das gesinterte, pulverisierte Ferrit wird mit der gleichen Epoxydharz-Mischung versetzt, wie sie oben beschrieben wurde, und zwar im Verhältnis von 4 Gewichtsteilen Ferrit zu 1 Gewichtsteil Kunstharz-Härter-Mischung. Jede der beiden separaten aufgedruckten Schichten hat eine Dicke von etwa 0,076 mm und wird nach dem Aufdrucken mindestens 30 min lang bei 150⁰C wärmebehandelt.

Die zusammengesetzte Schicht 8 hat eine Mittelöffnung 10, wodurch ein Zutritt zum Mittelanschluß 4 erhalten bleibt. Die Schicht 8 ist so bemessen, daß sie den Kantenanschluß 6 nicht bedeckt.

Anschließend wird eine leitfähige Spirale 12 (Fig. 3) auf die ausgehärtete Ferritschicht 8 aufgebracht. Für Versuchszwecke kann eine 4-windige Spirale mit der äußeren Abmessung von 10 mm auf einer Seite Verwendung finden. Der Windungsabstand der Spirale beträgt 0,5 mm. Die Spirale wird durch Aufdrucken einer leitfähigen Farbe von gleicher Zusammensetzung, wie oben beschrieben, hergestellt. Das Auf- λ drucken erfolgt mittels des Maskendruck-Verfahrens. Nach dem Aufb:
handelt.

dem Aufbringen wird die Spirale 30 min lang bei 150⁰C be-

AIs nächster Schritt wird eine zweite Ferritschicht 14 über die Metall-Spiralen-Schicht 12 aufgebrachte Die Ferritschicht 14 ist ebenfalls eine zusammengesetzte Schicht aus zwei separaten Schichten, welche beide auf gleiche Art hergestellt werden, wie es oben im Zusammenhang mit der zusammengesetzten Schicht 8 beschrieben wurde. Diese Schicht 14 füllt auch die Mittelöffnung 10 in der Schicht 8 aus, und ihre äußeren Abmessungen entsprechen der der

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Schicht 8, so daß die Enden der Anschlüsse 4 und 6 unbedeckt bleiben« Die gesamte fertiggestellte Vorrichtung wird sodann
mebehandelt,

wird sodann zusätzlich etwa 2 Stunden lang bei 15O⁰C wär-

Der gemäß obigem Beispiel hergestellte Induktor wurde mit einer ähnlichen Spule verglichen, die auf ein keramisches Substrat ohne Ferritschichten aufgedruckt worden war. Er hatte ein höheres Q als die Spule ohne Ferritschichten bei Frequenzen bis hinauf zu 50 Megahertz,, Ferner hatte er bei allen untersuchten Frequenzen bis hinauf zu einschließlich 100 Megahertz eine höhere Induktivität. Zum Beispiel hatte eine Spule ohne Ferrit eine Induktivität von 0,24 Mikrohenry, während eine gleichartige Spule mit Ferrit eine Induktivität von 0,34 Mikrohenry hatte.

Es wurden auch Induktoren hergestellt, bei denen die obere und die untere Ferritschicht jeweils aus drei separaten Schichten von je 0,076 mm Dicke zusammengesetzt waren. Diese Vorrichtung hatte ein etwas geringeres Q bei allen Frequenzen, jedoch höhere Werte der Induktivitä-t, die sich um 0,36 Mikrohenry bewegten.

Bei Verwendung von vier Ferritschichten in jeder der beiden zusammengesetzten Schichten betrug die durchschnittliche Induktivität 0,41 Mikrohenry.

Eine Anzahl von Modifikationen im Aufbau des Induktors sind im Rahmen der vorliegenden Erfindung möglich. Einige dieser Modifikationen betreffen die verwendeten Werkstoffe.

Das magnetische Material sollte einen niedrigen dielektrischen Verlustfaktor tan ,-Γ bei den Betriebsfrequenzen haben. Es sollte weiterhin eine magnetische Permeabilität von min-

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destens 20 besitzen, gemessen vor der Pulverisierung. Wenn auch Ferrite vorzuziehen sind, so können doch auch andere magnetische Materialien, etwa Karbonyl-Eisen Verwendung finden.

Das Gewichtsverhältnis von magnetischem Pulver zu Binder sollte so hoch sein, wie es im Zusammenhang mit der verwendeten Aufträge-Methode nur möglich ist. Im Maskendruck-Verfahren wird z.B. eine Grenze hinsichtlich der Viskosität der Auftragsmasse gesetzt« Es können auch andere Aufträge-Verfahren gewählt werden, wie etwa Aufstreichen oder Auf- ' bringen mit einer Rakel. Bei Verwendung eines zeitweilig wirksamen Lösungsmittels, wie etwa Butyl-Karbitol-Azetat, war es möglich, den Gewichtsanteil an Ferrit auf 85% zu steigern.

Die Vorteile des hier beschriebenen Epoxydharz-Systems sind folgende: (1) Es ist kein Brenn-Vorgang nötig, (2) Nach der Wärmebehandlung hält das System Temperaturen bis zu 200⁰C aus, (3) Das zusätzlich zu den Windungen aufgebrachte magnetische Material erhöht die Induktivität (und bei niedrigen Frequenzen auch den Gütefaktor Q), Andere katalysator-härtende Harze können ebenfalls Verwendung fin- ä den.

Es können auch andere Metallisier-Mischungen, die sich im Maskendruck-Verfahren aufbringen lassen, zur Herstellung der Leiter Verwendung finden. Allgemein sollte ein pulverisiertes Metall mit guten Leitfähigkeits-Eigenschaften, eingebettet in ein katalysator-härtendes Harz, verwendet werden. Silber oder Silberlegierungen werden bevorzugt, weil dabei auch das Metalloxid ein guter elektrischer Leiter ist, so daß keine speziellen Vorsichtsmaßnahmen zum Verhindern der Oxydation notwendig sind.

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Es sind auch vielerlei Modifikationen hinsichtlich der Geometrie der erfindungsgemäßen Induktoren möglich.

Eine dieser Modifikationen besteht darin, daß die obere zusammengesetzte Ferritschicht völlig weggelassen wird, ■ obwohl dies normalerweise zu einer niedrigeren Induktivität führt als wenn sowohl die untere als auch die obere Ferritschicht Verwendung finden,

Beispiel 2

Eine andere Ausführungsform der Erfindung ist in den Figuren 5 bis 7 dargestellt. Es handelt sich hier um eine Zweifach-Spiralen-Anordnung, welche eine erste Ferritschicht 8 enthält, die auf ein keramisches Substrat-Plättchen 2 aufgebracht ist, sowie eine erste Leiter-Spirale 15, die im Maskendruck-Verfahren auf die erste Ferritschicht 8 aufgebracht ist. Ein aufgedruckter Anschluß 16 erstreckt sich von der äußeren Kante der Spirale 15 bis zu einer Kante des Keramik-Plättchens 2„ Eine weitere Anschlußfahne 18 ist in der Mitte der Spirale 15 vorgesehen.

Eine zweite Ferritschicht 20 wird über der ersten Spirale 15 aufgetragen. Diese Ferritschicht 20 hat eine Mittelöffnung 21, die die Anschlußfahne 18 freiläßt.

Auf die zweite Ferritschicht 20 wird sodann eine zweite Leiter-Spirale 22 aufgetragen. Der Wicklungssinn dieser Spirale 22 ist so j daß bei Verbindung ihrer innersten Windung mit der Anschlußfahne 18 der ersten Spirale 15 der Strom durch beide Spiralen in der gleichen Richtung fließt. Ein weiterer gedruckter Anschluß 24 ist zwischen der äußersten Windung der Spirale 22 und einer Außenkante des Keramik-Plättchens 2 vorgesehen,,

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Schließlich wird eine dritte Ferritschicht 26 über der Leiter-Spirale 22 aufgetragene

Beispiel 5

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist in den Figuren 8 bis 10 dargestellt. Gemäß Fig. 8 wird eine in etwa kreisringförmige Anordnung einzelner blattförmiger Metall-Elemente 28a bis 28g auf ein keramisches Substrat 2 mittels eines geeigneten Verfahrens, z.B. Maskendruck aufgebracht. Jedes dieser Elemente 28a bis 28g wird zu einer ' halben Windung einer Toroid-Wicklung, weshalb jedes Element eine solche Form erhält, daß seine Innenkante einen Bogen aus einem kleinen Kreis in der Nähe der Mitte des Plättchens 2 darstellt, während seine äußere Kante als längerer Bogen aus einem größeren Kreis ausgebildet ist, der mit größerem Radius um die Mitte des Plättchens 2 verläuft. Sämtliche Seitenkanten der einzelnen blattförmigen Elemente sind Teile von Sehnen des größeren Kreises und verlaufen unter solchen Winkeln, daß sich nach Fertigstellung des Gegenstandes mit einer Trennschicht und einer oberen Reihe von Elementen ein Toroid ergibt, dessen Wicklung platten- oder bandförmig und nicht fadenförmig ist. λ

Eines der Elemente, 28g, ist mit einer Verbindungslasche 30 versehen, die sich nach außen bis zur Kante des Keramik-Substrats 2 erstreckt.

Wie .in Fig. 9 dargestellt, wird eine kreisringförmige Ferritschicht 32 über der Serie von Elementen 28a bis 28g aufgebracht, wobei die inneren und äußeren Kanten eines jeden Elements unbedeckt bleiben.

Sodann wird, wie aus Fig. 10 zu ersehen, eine weitere Reihe von Metall-Elementen 34a bis 34g auf die Ferritschicht 32

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aufgebracht ι und zwar so, daß sich die äußeren und inneren Kanten eines jeden Elements über die äußere bzw« innere Kante des Ferrit-Kreisringes 32 hinaus erstrecken Die äußere Kante eines jeden oberen Elements 34a bis 34f entspricht einer äußeren Kante eines der unteren Elemente 28a bis 28f und ist an dieser befestigt. Die innere Kante eines jeden oberen Elements 34a bis 34g ist mit der inneren Kante desjenigen unteren Elements 28a bis 28g verbunden, das demjenigen Element benachbart ist, an dem die äußere Kante des gleichen oberen Elements befestigt ist.

Das obere Element 34g ist mit einer Anschluß-Verbindungslasche 36 versehen, die sich nach außen bis zur Kante des Keramik-Substrats 2 erstreckt.

Der auf diese Weise hergestellte Gegenstand ist eine Toroid-Spule mit bandförmiger Wicklung auf einem Ferrit-Kern. Diese Bauart eines Induktors bietet gegenüber einem solchen mit fadenförmiger Wicklung die Vorteile einer höheren Strombelastbarkeit und einer höheren Magnetflußdichte pro Flächeneinheit. Der breite Leiter trägt dazu bei, den Fluß innerhalb des Kerns zusammenzuhalten,,

Beispiel 4

In den Figuren 11 bis 16 sind die Fertigungsstadien einer weiteren Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt.

Bei dieser Ausführungsform ist die Dicke des Schaltungs-Elements dadurch verringert, daß eine der Ferritschichten in das Keramik-Substrat 2 eingelassen ist. Wie aus Fig. 11 ersichtlich, wird eine kreisringförmige Ferritschicht 38 innerhalb einer entsprechend geformten Vertiefung 37 in einer Oberfläche des Keramik-Substrats 2 aufgebracht. Vor

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dem Aufbringen der Ferritschicht 38 innerhalb der Vertiefung 37 wird eine Leitungsbahn in Form eines Metallbandes 40 innerhalb der Vertiefung 37 angebracht. Dieses Metallband 40 erstreckt sich von der Innenkante 42 bis zur Außenkante 44 der Vertiefung 37. An dem der Innenkante des Ferritringes 38 benachbarten Ende der Leitungsbahn 40 ist eine Anschlußfahne 46 vorgesehen. Eine weitere Anschlußfahne 48 befindet sich an demjenigen Ende der Leitungsbahn 40, das der Außenkante des Ferritringes 38 benachbart ist«

Wie aus den Figuren 13 und 14 ersichtlich, wird eine Spira-Ie 50 aus leitfähigem Material auf den Ferritring 38 aufgebracht. Das innere Ende dieser Spirale 50 ist an die Anschlußfahne 46 angeschlossen, welche ihrerseits über die Leitungsbahn 40 mit der Anschlußfahne 48 in Verbindung steht. Das äußere Ende der Spirale 50 ist an eine weitere Anschlußfahne 52 angeschlossen, die ebenfalls auf das Keramik-Substrat 2 aufgebracht wurde« Anschließend wird, wie aus den Figuren 15 und 16 ersichtlich, eine zweite Ferritschicht 54 über die leitfähige Spirale 50 aufgetragen, welche dabei auch die untere Ferritschicht 38 und das Mittelstück des Keramik-Substrats 2 bedeckt_o Man kann diese obere Ferritschicht 54 allerdings auch weglassen.

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Claims

RCA Corporation, 30 Rockefeller Plaza, New York. N.Y. 10020 (V.St.A.)

Patentansprüche:

'Λ.] Induktor für eine Dickschicht-Hybrid-Schaltung, g e - *~~"^ kennzeichnet durch eine auf ein isolierendes Substrat (2) aufgebrachte Schicht (8), die aus Partikeln einer gesinterten ferromagnetischen Substanz in einem Binder besteht, sowie durch eine Anordnung von Leitern (12) auf der Schicht (8), die eine Induktivität bilden und aus Metall-Partikeln in einem Binder gebildet werden, wobei beide Binder aus einem behandelten katalytisch härtbarem Harz bestehen,

2«, Induktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Gewichtsanteil an ferromagnetischer Substanz in der Schicht (8) mindestens viermal so groß ist als der Gewichtsanteil an Binder in dieser Schicht (8).

3. Induktor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß das ferromagnetische Material ein Ferrit ist.

4. Induktor nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Harz in der Schicht (8) und in dem Leitungsmuster (12) ein Epoxydharz ist.

5. Induktor nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Leiter eine fadenförmige Spirale bilden.

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6. Induktor nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5» gekennzeichnet durch eine zweite Schicht (14, 20) aus ferromagnetischen Partikeln in einem behandelten, katalytisch härtbaren Harz-Binder,,

7e Induktor nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch ein zweites Muster elektrischer Leiter (22) auf der zweiten Schicht (20), die an das erste Leitungsmuster (12) angeschlossen ist.

8. Induktor nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, * dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (32) aus ferromagnetischen Partikeln und Kunstharz-Binder die Form eines Kreisringes hat, und daß die Anordnung von elektrischen Leitern (28a bis 28g, 34a bis 34g) eine toroidale Wicklung um diesen Kreisring (32) herum bildet.

9. Induktor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die toroidale. Wicklung bandförmig ist_e

10, Induktor nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die | Schicht (8, 38) aus ferromagnetischen Partikeln und Kunstharz-Binder in einer Vertiefung innerhalb des Substrats (2) angeordnet ist.

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