DE20112633U1 - Handhabungsvorrichtung, insbesondere zur Handhabung von Platten und Folien - Google Patents
Handhabungsvorrichtung, insbesondere zur Handhabung von Platten und FolienInfo
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Description
G 19762 - rets 23. Juli 2001
Platten und Folien
Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung, insbesondere zur Handhabung von Platten und Folien, mit einer Vielzahl von in einer Ebene angeordneten Sauggreifern.
Beispielsweise bei der Leiterplattenfertigung müssen Leiterplatten für die verschiedenen Arbeitsvorgänge positioniert, umgesetzt und zur nächsten Bearbeitungsstation weitergeführt werden. In bekannter Weise erfolgt die Positionierung und Bewegung der Leiterplatten mit einer Handhabungsvorrichtung, bei der eine Vielzahl von Sauggreifern in einer Ebene angeordnet ist. Die Sauggreifer werden mittels einer Positioniereinrichtung auf die jeweilige Leiterplatte abgesenkt und dann mit einem gegenüber dem Atmosphärendruck geringeren Saugdruck beaufschlagt, um die Platte pneumatisch an der Handhabungsvorrichtung zu fixieren. Danach kann die Leiterplatte mittels der Positioniereinrichtung in die gewünschte nächste Arbeitsposition bewegt werden.
Diese bekannte Handhabungsvorrichtung eignet sich jedoch nur für relativ steife Leiterplatten mit einer Plattenstärke von beispielsweise mehr als 0,5 mm. Dünnere Leiterplatten würden durch die Sauggreifer selbst bei geringem Saugdruck irre-
2 *·
versibel verformt, so dass derartige dünne Leiterplatten oder Leiterfolien nicht mit einer derartigen Handhabungsvorrichtung bewegt werden können.
Zur Positionierung und Handhabung derartiger dünner Platten oder Folien sind luftdurchlässige Saugplatten bekannt, die über ihre gesamte Ansaugfläche einen gleichmäßigen geringen Ansaugdruck erzeugen, so dass sich dünne Platten oder Folien an diese Ansaugfläche pneumatisch anlegen und dabei nicht verformt werden. Diese Saugplatten eignen sich dagegen nicht zur Handhabung von steiferen Platten, da diese fertigungsbedingt üblicherweise nicht exakt eben sind und dadurch nicht vollflächig anliegen können. Dadurch haften diese Platten nicht ausreichend an der Saugplatte an.
In der Praxis werden daher in Abhängigkeit der jeweiligen Plattenstärke der zu verarbeitenden Platten unterschiedliche Handhabungsvorrichtungen eingesetzt, die gegebenenfalls bei Umstellung der Fertigung von dünneren auf dickere Platten ausgewechselt werden müssen. Dies ist insbesondere bei schnellen Fertigungswechseln sehr umständlich und arbeitsintensiv.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Handhabungsvorrichtung zu schaffen, die gleichermaßen für die Handhabung von stärkeren Platten als auch dünneren Platten und Folien geeignet ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass eine aus einemrpSÄPseii'Mä'teiial: oder:'.Si*nHeEmatteiiSl bestehende,
mit einem Saugdruck beaufschlagbare Saugplatte vorgesehen ist, die mit den Durchgriff der Sauggreifer gestattenden Durchbrüchen versehen ist, und dass Positioniermittel vorgesehen sind, durch die in einer ersten Positionierstellung die Sauggreifer über die Ansaugfläche der Saugplatte vorstehen und durch die in einer zweiten Positionierstellung die Sauggreifer in die Durchbrüche hinein zurückversetzt sind, derart, dass sie nicht mehr über die Ansaugfläche der Saugplatte vorstehen.
Diese Handhabungsvorrichtung kann durch eine einfache Betätigung der Positioniermittel zwischen den beiden Positionierstellungen umgeschaltet werden, wobei die erste Positionierstellung zur Handhabung von dickeren und steiferen Platten und die zweite Positionierstellung zur Handhabung von sehr dünnen Platten und Folien dient, ohne diese zu beschädigen. Eine Umrüstung der Arbeitsstationen ist somit nicht mehr erforderlich, und die Produktion kann sehr schnell und einfach von dünnen Platten und Folien auf dicke Platten und umgekehrt umgestellt werden. Die Umstellung kann programmgesteuert erfolgen, Rüstzeiten entfallen.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 angegebenen Handhabungsvorrichtung möglich.
Zweckmäßigerweise sind Steuermittel zur Beaufschlagung der Saugplatte einerseits und der Sauggreifer andererseits mit Saugdruck vorgesehen, wobei die Sauggreifer nur in der ersten
ning'mit Saiigdrut£k# belaufscliljagibar sind. Hier-
durch wird verhindert, dass die Sauggreifer in der zweiten Positionierstellung trotz gewissem Abstand von der zu handhabenden dünnen Folie oder Platte diese noch in die Durchbrüche hineinziehen und möglicherweise beschädigen. Dabei kann in dieser ersten Positionierstellung zweckmäßigerweise der Saugdruck für die Saugplatte abgeschaltet werden, um einen unnötigen Verbrauch zu verhindern. Weiterhin kann Saugdruck dadurch eingespart werden, dass bei kleineren zu handhabenden Platten nur diejenigen Sauggreifer bzw. nur diejenigen Bereiche der Saugplatte mit Saugdruck beaufschlagt werden, die der Gestalt der Platte im Wesentlichen entsprechen.
In einer vorteilhaften konstruktiven Ausgestaltung ist die Saugplatte an ihrer von der Ansaugfläche abgewandten Seite mit einer Saugdruck-Zuführungsplatte dichtend verbunden, die mit wenigstens einem Saugdruck-Zuführungsanschluss versehen ist, wobei dieser wenigstens eine Saugdruck-Zuführungsanschluss mit wenigstens einem flächigen Hohlraum zwischen den Platten verbunden ist, der durch eine Einformung an wenigstens einer der Platten gebildet ist. Durch den oder die flächigen Hohlräume wird erreicht, dass eine möglichst große Oberfläche der Saugplatte dem Saugdruck ausgesetzt ist, was wiederum dazu führt, dass die Saugdruckbeaufschlagung an der Ansaugfläche möglichst gleichmäßig ist. Die Saugdruck-Zuführungsplatte ist dabei zweckmäßigerweise mit den der Saugdruckplatte entsprechenden Durchbrüchen für die Sauggreifer versehen.
Die Positioniermittel sind zweckmäßigerweise als wenigstens ein pneumatisches, in seiner Länge veränderbares Stellglied ausgebildet und zwischen der Saugplatte und einer insbesondere eine Halteplatte aufweisenden Haltevorrichtung für die Sauggreifer angeordnet. In vorteilhafter Weise ist dabei das wenigstens eine Stellglied als Kontraktionsglied ausgebildet, das über einen sich zwischen zwei Kopfstücken erstreckenden und bei Innendruckbeaufschlagung eine Längenkontraktion erfahrenden Kontraktionsschlauch verfügt. Das Bau- und Funktionsprinzip derartiger Kontraktionsglieder kann beispielsweise demjenigen entsprechen, wie es in dem von der Anmelderin herausgegebenen Prospekt "Fluidic Muscle" oder in der EP 0161750 Bl beschrieben ist. Durch eine derartige Ausbildung des wenigstens einen Stellglieds kann die Positionierung der Saugplatte bzw. der Sauggreifer sehr präzise erfolgen, wobei geringe Kosten und ein einfacher, verschleißarmer Aufbau als weitere Vorteile zu nennen sind. Mit herkömmlichen Stellgliedern ist eine Höhenpositionierung im Bereich von beispielsweise 10 mm in Zehntelschritten nur mit sehr großem Aufwand an Mechanik und Steuerungstechnik möglich, da insbesondere bei großflächigen Saugplatten von beispielsweise 600 &khgr; 800 mm die Gefahr des Verkantens besteht.
Zweckmäßigerweise ist eine die Bewegung in Richtung der ersten Positionierstellung begrenzende Anschlagvorrichtung vorgesehen, durch die das Vorstehen der Sauggreifer über die Ansaugfläche sehr exakt eingestellt werden kann. Zur präzisen Bewegung der Haltevorrichtung kann auch eine die Haltevor-
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richtung relativ zur Saugplatte führende Führungseinrichtung dienen.
Eine besonders präzise Positionierung des oder der Kontraktionsglieder wird durch ein damit verbundenes, den Innendruck gemäß einem vorgegebenen Sollwert einstellendes Proportional-Druckregelventil erreicht. Durch ein elektrisches Sollwert-Vorgabemodul können beliebige analoge Sollwerte beispielsweise über ein jeweils darin integriertes Potentiometer eingestellt werden. Eine digitale Sollwertvorgabe ist selbstverständlich ebenfalls möglich.
In vorteilhafter Weise ist auch eine die gesamte, wenigstens aus der Saugplatte, der Haltevorrichtung für die Sauggreifer und dem wenigstens einen Stellglied bestehende Anordnung positionierende Positioniereinrichtung vorgesehen, die zur Ausführung von Positionierbewegungen wenigstens in zwei Raumrichtungen ausgebildet ist, von denen eine der Bewegungsrichtung des wenigstens einen Stellglieds entspricht. Neben der Fortbewegung der zu handhabenden Platte, beispielsweise von einer Arbeitsstation zur nächsten, kann dadurch in der vertikalen Richtung die Saugplatte sehr präzise an die zu ergreifende dünne Platte oder Folie herangeführt werden, indem zunächst eine Grobpositionierung durch die Positioniereinrichtung erfolgt und dann die exakte Heranführung der Saugplatte durch das oder die Kontraktionsglieder bewirkt wird.
♦:
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. l eine Vertikalschnittdarstellung einer Handhabungsvorrichtung als Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 2 eine Ansicht der mit Einforraungen versehenen Flachseite eine Saugdruck-Zuführungsplatte, die mit einer Saugplatte verbunden wird, und
Fig. 3 eine Druckregelanordnung für die aus vier Kontraktionsgliedern bestehenden Positioniermittel.
Die in Fig. 1 als Ausführungsbeispiel dargestellte Handhabungsvorrichtung weist eine Verbundplatte auf, die aus einer aus einem porösen, luftdurchlässigen Material oder luftdurchlässigem Sintermaterial bestehenden Saugplatte 10 und einer damit verbundenen Saugdruck-Zuführungsplatte 11 besteht. Die Saugplatte 10 besteht dabei beispielsweise aus luftdurchlässigem Aluminium, wie es unter' der Bezeichnung Metapor im Handel erhältlich ist. Andere metallische Sinterplatten können selbstverständlich ebenfalls eingesetzt werden. Auch die Saugdruck-Zuführungsplatte 11 besteht beispielsweise aus Aluminium, einer Aluminiumlegierung oder einem sonstigen Leichtmetall oder Metall.
Die von der Saugplatte 10 abgewandte Flachseite der Saugdruck-Zuführungsplatte 11 ist mit pneumatischen Anschlüssen 12 versehen, die über Kanäle 13 mit flächigen Einformungen an der gegenüberliegenden Flachseite dieser Saugdruck-
Zuführung5platrte.*lJ..'\fer«bun&eTi':siJjd***.:B*eüm VejrE&nden der beiden • ::** .·': : : ·* :*. :..: \.: *..: :·· ···
Platten 10, 11 bilden diese Einformungen 14 flächige Hohlräume, durch die der an die Anschlüsse 12 angelegte Saugdruck eine möglichst große Fläche der Saugplatte 10 beaufschlagen kann. Hierdurch wird an der von der Saugdruck-Zuführungsplatte 11 abgewandten Flachseite der Saugplatte 10, die die Ansaugfläche 15 bildet, ein möglichst gleichmäßiger Saugdruck zur Fixierung dünner zu handhabender Platten erzeugt. Die neben den Einformungen 14 angeordneten und diese umgreifenden Kontaktflächen 16 der Saugdruck-Zuführungsplatte 11 werden dichtend mit der Saugplatte 10 verbunden, beispielsweise unter Zuhilfenahme geeigneter Klebe- oder Dichtungsmassen.
Alternativ hierzu können die Einformungen 14 prinzipiell auch an der Saugplatte 10 oder an beiden Platten 10, 11 angeordnet sein.
An einer parallel zu den Platten 10, 11 angeordneten Halteplatte 17 ist eine Vielzahl von Sauggreifern 18 fixiert, von denen in Fig. 1 vier dargestellt sind, drei in der Schnittebene und einer hinter der Schnittebene. Diese Sauggreifer 18 erstrecken sich bis in Durchbrüche 19 hinein, die durch die Saugplatte 10 und die Saugdruck-Zuführungsplatte 11 hindurch jeweils fluchtend verlaufen. Dabei sind in der in Fig. 1 dargestellten Positionierstellung am Saugende der Sauggreifer 18 angeordnete Ansaugelemente 2 0 innerhalb der Durchbrüche 19 angeordnet, das heißt, sie stehen nicht über die Ansaugfläche 15 der Saugplatte 10 über.
Die Sauggreifer 18 sind mittels T-Stücken an eine Saugdruckleitung 22*.a:nges^hlo'ssdn, ·&&idiagr;·&eacgr;':&zgr;&igr;&ohacgr;; simuitaiieh'Baugdruck-
beaufschlagung der Sauggreifer 18 dient. Eine entsprechende Anordnung ist auch für die pneumatischen Anschlüsse 12 erforderlich bzw. vorgesehen, jedoch zur Vereinfachung nicht dargestellt.
Die Saugdruck-Zuführungsplatte 11 und die Halteplatte 17 sind über vier als Kontraktionsglieder 23 ausgebildete pneumatische Stellglieder miteinander verbunden. Die Kontraktionsglieder 23 besitzen jeweils einen sich zwischen zwei Kopfstücken 24, 25 erstreckenden Kontraktionsschlauch 26 aus gummielastischem Material, der über einen pneumatischen Anschluss 27 innen mit einem Betätigungsfluid beaufschlagt werden kann. Die Druckbeaufschlagung bewirkt eine radiale Expansion des Kontraktionsschlauches 26, wobei eine beispielsweise in den Schlauchkörper eingebettete Faseranordnung eine axiale Kontraktion hervorruft, so dass die beiden Kopfstücke zueinander gezogen werden. Die daraus resultierende Längenveränderung des Kontraktionsgliedes 23 kann entsprechend dem eingestellten Druck des Betätigungsfluids sehr exakt vorgegeben werden.
Die unteren Kopfstücke 24 der Kontraktionsglieder 23 sind dabei jeweils über Fixierglieder 2 8 mit der Saugdruck-Zuführungsplatte 11 und die oberen Kopfstücke 2 5 über Fixierglieder 29, die auch mit den pneumatischen Anschlüssen 27 versehen sind, an L-förmigen Halteelementen 30 fixiert, die sich galgenartig von der Halteplatte 17 aus nach oben erstrecken. Die Kontraktionsglieder 23 verlaufen dabei durch entsprechende Durchbrüche in der Halteplatte 17. Zur Führung der Bewegun,g;jler.*Ba:lliei>labte'"]:7:eineVsoitfe tm£ der mit der
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Saugplatte 10 kombinierten Saugdruck-Zuführungsplatte 11 andererseits gegeneinander und voneinander weg dient ein Führungselement 31, wobei je nach Erfordernis und Plattengröße auch mehrere Führungselemente 31 vorgesehen sein können. Dasselbe gilt für die Kontraktionsglieder 23, die im Ausführungsbeispiel mit vier angegeben ist. Auch diese Zahl kann in Abhängigkeit der Führungselemente 31 variieren.
An der Halteplatte 17 angeordnete und sich zur Saugdruck-Zuführungsplatte 11 hin erstreckende Anschlagglieder 32 begrenzen die Bewegung der Halteplatte 17 gegen die Saugdruck-Zuführungsplatte 11 derart, dass in der Anschlagposition die Ansaugelemente 2 0 der Sauggreifer 18 so nach unten über die Ansaugfläche 15 überstehen, dass eine zu handhabende Platte durch sie ergriffen werden kann.
Eine pneumatische oder elektrische Positioniereinrichtung 33, von der zur Vereinfachung nur die Enden von Betätigungsgliedern, beispielsweise Kolbenstangen von Pneumatikzylindern, dargestellt sind, dient zur Bewegung und Positionierung der gesamten Anordnung. Diese Positioniereinrichtung 33 greift an einer Haltevorrichtung 34 an, die im Ausführungsbeispiel mit den Halteelementen 30 verbunden ist. Sie kann beispielsweise auch direkt an der Halteplatte 17 oder einer damit verbundenen Vorrichtung angreifen. Durch diese Positioniereinrichtung 33 kann die gesamte Anordnung beispielsweise in den drei Raumrichtungen positioniert werden und bei Bedarf auch geschwenkt oder gedreht werden.
In der in Fig. 1 dargestellten Positionierung sind die Ansaugelemente 2 0 der Sauggreifer 18 in die Durchbrüche 19 hineingezogen, so dass die Ansaugfläche 15 der Saugplatte 10 die unterste Ebene darstellt. Durch Saugdruckbeaufschlagung der pneumatischen Anschlüsse 12 wird eine flächige Saugwirkung durch die Saugplatte 10 bewirkt, durch die sehr dünne Platten, beispielsweise Leiterplatten, oder Folien beschädigungsfrei angezogen werden können, um sie dann anschließend zusammen mit der gesamten Anordnung mittels der Positioniereinrichtung 33 handhaben zu können, beispielsweise zu positionieren oder von einer Arbeitsstation zur nächsten überzuführen.
Um dickere oder steifere Platten handhaben zu können, werden die pneumatischen Anschlüsse 27 der Kontraktionsglieder 23 mit Arbeitsdruck beaufschlagt, so dass sich diese zusammenziehen, bis die Saugdruck-Zuführungsplatte 11 in Kontakt mit den Anschlaggliedern 32 gelangt. Nunmehr stehen die Ansaugelemente 20 der Sauggreifer 18 nach unten über die Ansaugfläche 15 der Saugplatte 10 über, und durch Saugdruckbeaufschlagung der Saugdruckleitung 22 kann eine solche Platte an den Ansaugelementen 2 0 fixiert werden, um anschließend positioniert oder weiterbewegt zu werden. Das anschließende Ablegen sowohl der dickeren als auch der dünneren Platten in der gewünschten Position kann durch Druckerhöhung über den Atmosphärendruck hinaus erfolgen.
Die exakte Positionierung der Kontraktionsglieder 23 erfolgt gemäß Fig. 3 durch Druckbeaufschlagung über ein Proportional-
DruckregelVe'iit'il'35·- plfesetft ist \&\n -prtickre^lfer 36 vorge-
schaltet. Ein derartiges Proportional-Druckregelventil 35 ist beispielsweise als Bauteil MPPES-3-1/8-10-010 der Anmelderin im Handel erhältlich. In Abhängigkeit der gewünschten Stellposition der Kontraktionsglieder 23 wird ein Solldruck Ps vorgegeben, beispielsweise über ein elektrisches Sollwert-Modul, wie es unter der Bezeichnung MPZ-1-24DC SGH-6SW im Handel erhältlich ist. Hierbei hat man die Möglichkeit, sechs analoge Sollwerte über jeweils ein integriertes Potentiometer einzustellen und durch jeweils einen zugeordneten digitalen Eingang abzurufen. Die Regelung erfolgt durch Vergleich mit dem Druck-Istwert Pi am Ausgang des Proportional-Druckregelventils 35. Durch eine derartige Anordnung lassen sich Stellpositionen im Bereich 1/10 mm exakt einstellen, wozu keine Positionsgeber an den Kontraktionsgliedern 23 erforderlich sind.
Die Kontraktionsglieder 23 eignen sich auch unabhängig von der Positionierung der Sauggreifer 28 zur Feinpositionierung der Saugplatte 10 bzw. der mit der Saugplatte 10 verbundenen Saugdruck-Zuführungsplatte 11. Hierzu müssen sich die Kontraktionsglieder 23 im zumindest teilweise kontraktierten Zustand befinden, während eine Grobpositionierung durch die Positioniereinrichtung 33 erfolgt. Diese Grobpositionierung erfolgt dabei wenige mm oder 1/10 mm über der zu ergreifenden dünnen Platte oder Folie. Durch Druckreduzierung in den Kontraktionsgliedern 2 3 erfolgt dann ein exaktes Absenken der Saugplatte 10 und Positionieren bis an die handzuhabende Platte oder Folie heran. Hierzu können die Kontraktionsglieder 23 noch mit einer Federanordnung versehen sein, die
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bei einer Druckreduzierung das Längerwerden der Kontrakt ions glieder 23 erleichtert oder unterstützt.
Diese Anordnung ist selbstverständlich nicht nur in Verbindung mit Greifereinrichtungen einsetzbar, sondern überall auch dort, wo eine Platte oder ein anderer Gegenstand sehr exakt positioniert werden soll, indem nach einer Grobpositionierung noch eine Feinpositionierung erfolgt.
Bei der Anwendung für eine Handhabungsvorrichtung können anstelle der Kontraktionsglieder 2 3 selbstverständlich auch andere Stellglieder, wie pneumatische oder hydraulische Stellzylinder oder elektromotorische Stelleinheiten, treten.
Claims (10)
1. Handhabungsvorrichtung, insbesondere zur Handhabung von Platten und Folien, mit einer Vielzahl von in einer Ebene angeordneten Sauggreifern, dadurch gekennzeichnet, dass eine aus einem porösen Material oder Sintermaterial bestehende, mit einem Saugdruck beaufschlagbare Saugplatte (10) vorgesehen ist, die mit den Durchgriff der Sauggreifer (18) gestattenden Durchbrüchen (19) versehen ist, und dass Positioniermittel (23) vorgesehen sind, durch die in einer ersten Positionierstellung die Sauggreifer (18) über die Ansaugfläche (15) der Saugplatte (10) vorstehen und durch die in einer zweiten Positionierstellung die Sauggreifer (18) in die Durchbrüche (19) hinein zurückversetzt sind, derart, dass sie nicht mehr über die Ansaugfläche (15) der Saugplatte (10) vorstehen.
2. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Steuermittel zur Beaufschlagung der Saugplatte (10) einerseits und der Sauggreifer (18) andererseits mit Saugdruck vorgesehen sind, wobei die Sauggreifer nur in der ersten Positionierstellung mit Saugdruck beaufschlagbar sind.
3. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugplatte (10) an ihrer von der Ansaugfläche (15) abgewandten Seite mit einer Saugdruck- Zuführungsplatte (11) dichtend verbunden ist, die mit wenigstens einem Saugdruck-Zuführungsanschluss (12) versehen ist, wobei dieser wenigstens eine Saugdruck-Zuführungsanschluss (12) mit wenigstens einem flächigen Hohlraum (14) zwischen den Platten (10, 11) verbunden ist, der durch eine Einformung an wenigstens einer der Platten (11) gebildet ist.
4. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugdruck-Zuführungsplatte (11) mit den der Saugdruckplatte (10) entsprechenden Durchbrüchen (19) für die Sauggreifer (18) versehen ist.
5. Handhabungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Positioniermittel als wenigstens ein pneumatisches, in seiner Länge veränderbares Stellglied ausgebildet und zwischen der Saugplatte (10) und einer insbesondere eine Halteplatte (17) aufweisenden Haltevorrichtung für die Sauggreifer (18) angeordnet sind.
6. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine Stellglied der Positioniermittel (23) als Kontraktionsglied ausgebildet ist, das über einen sich zwischen zwei Kopfstücken (24, 25) erstreckenden und bei Innendruckbeaufschlagung eine Längenkontraktion erfahrenden Kontraktionsschlauch (26) verfügt.
7. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine die Gegeneinanderbewegung der Platten (10, 11) in Richtung der ersten Positionierstellung begrenzende Anschlagvorrichtung (32) vorgesehen ist.
8. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass eine die Bewegung der Haltevorrichtung relativ zur Saugplatte (10) führende Führungseinrichtung (31) vorgesehen ist.
9. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass zur Positionierung des Stellglieds oder der Stellglieder der Positioniermittel (23) ein damit verbundenes, den Innendruck gemäß einem vorgebbaren Sollwert (Ps) einstellendes Proportional-Druckregelventil (35) vorgesehen ist.
10. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine die gesamte, wenigstens aus der Saugplatte (10), der Haltevorrichtung für die Sauggreifer (18) und die Positioniermittel (23) bestehende Anordnung positionierende Positioniereinrichtung (33) vorgesehen ist, die zur Ausführung von Positionierbewegungen wenigstens in zwei Raumrichtungen ausgebildet ist, von denen eine der Bewegungsrichtung der Positioniermittel (23) entspricht.
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