DE20012378U1 - Anordnung zur spektral empfindlichen Auf- und Durchlichtbeleuchtung - Google Patents

Description

Anordnung zur spektral empfindlichen Auf- und Durchlichtmikroskopie

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur spektral empfindlichen Auf- und Durchlichtmikroskopie mehrerer Spektralbereiche des Auf- oder Durchlichts einer Probe, insbesondere zur Detektion des von einer Scaneinrichtung im Detektionsstrahlengang eines Mikroskops kommenden Lichts.

Vorrichtungen zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche sind aus der Praxis seit geraumer Zeit bekannt, und zwar unter der Bezeichnung "Multibanddetektor". Dabei handelt es sich um aufwendige optische Anordnungen, die mit zusätzlicher Optik eine Mehrfachfokusierung ermöglichen. Solche Anordnungen erfordern zur spektralen Multibanddetektion einen ganz erheblichen Raum, verursachen demnach eine nicht unbeachtliche Baugröße. Darüber hinaus tritt dort regelmäßig ein Defokusierungseffekt auf, so dass ein ständiges Nachfokussieren mit der zusätzlichen Optik — bezogen auf den jeweiligen Spektralbereich — erforderlich ist. Diese Vorrichtungen finden hauptsächlich in der konfokalen Scanmikroskopie Anwendung (siehe hierzu: DE 199 02 625.4 und DE 43 30 447).

Ebenso werden im Stand der Technik, DE 198 35 070, zur Analyse des von der Probe ausgehenden Lichts Farbfilter verwendet, die eine Detektion mehrerer Wellenlängen ermöglichen. Dabei wird die Probe mit einem Laser über eine Scaneinrichtung im Auflicht beleuchtet.

Der oben beschriebene Stand der Technik erlaubt es nicht bei flächiger Beleuchtung, von einer zu untersuchenden Probe im Auf- oder Durchlicht in beliebigen Spektralbereichen, insbesondere nicht simultan in mehreren Spektralbereichen, Probendaten zu nehmen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zu schaffen, bei der die aus dem Stand der Technik bekannten Probleme vermieden werden.

Die erfindungsgemäße Anordnung der gattungsgemäßen Art löst die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Schutzanspruches 1.

Danach ist eine solche Anordnung dadurch gekennzeichnet, dass eine dass eine Beleuchtungseinrichtung vorgesehen ist und dass eine Scaneinrichtung vorgesehen ist, die zeitlich nacheinander jeweils das von einem Detektionsbereich der zu untersuchenden Probe ausgehende Licht auf einen Multibanddetektor (7) richtet.

Erfindungsgemäß ist erkannt worden, dass die gleichzeitige Detektion mehrerer Spektralbereiche des Detektionslichts (von der Probe ausgehendes Durchlicht) dann ohne weiteres möglich ist, wenn man das Detektionslicht zunächst spektral auffächert und anschließend aus der Dispersionsebene heraus eine Aufspaltung des aufgefächerten Lichts vornimmt. Die Aufspaltung des aufgefächerten Lichts aus der Dispersionsebene heraus erfolgt in erfindungsgemäßer Weise mittels einer besonderen optischen Anordnung, wobei die in Spektralbereiche aufgespalteten Lichts bzw. die Spektralbereiche selbst detektiert werden, und zwar gleichzeitig. Wesentlich ist hier, dass der eigentlichen Aufspaltung in Spektralbereiche ein Auffächern des Detektionslichts vorangeht, so dass die Aufspaltung aus der Dispersionsebene heraus am aufgefächerten Strahl stattfinden kann. Eine Mehrfachfokusierung mit zusätzlicher Optik ist hier jedenfalls nicht erforderlich.

Wie bereits zuvor ausgeführt, sind erfindungsgemäß zwei optische Anordnungen vorgesehen, nämlich einmal zum spektralen Auffächern des Detektionslichts und ein anderes Mal zum Aufspalten und anschließenden Detektieren. Der Anordnung zum spektralen Auffächern des Detektionslichts kann ein Pinhole vorgeschaltet sein, auf das der ankommende Detektionslicht fokussiert ist, wobei das Pinhole einem Scaneinrichtung unmittelbar nachgeschaltet sein kann.

Von dort aus verläuft der divergente Strahl zu der Anordnung zum spektralen Auffächern des Detektionslichts, wobei diese Anordnung Fokussieroptiken

und Dispersionsmittel umfasst. Die Dispersionsmittel können im Hinblick auf eine besonders einfache Konstruktion als Prisma ausgeführt sein. Vor und nach den Dispersionsmitteln bzw. dem Prisma ist in weiter vorteilhafter Weise jeweils eine Fokussieroptik angeordnet, die wiederum eine Linsenanordnung umfassen kann.

Das auf das Prisma auftreffende Licht wird durch die Fokussieroptiken in die später noch zu erläuternde SpalWDetektoranordnung fokussiert, von wo aus die Aufspaltung in Spektralbereiche stattfindet.

Insbesondere im Hinblick auf eine geringe Baugröße sind der Anordnung zum Auffächern des Detektionslichts Reflexionsmittel zur Rückfaltung des aufgefächerten Lichts nachgeordnet, wobei es sich bei den Reflexionsmitteln um eine verspiegelte Fläche bzw. um einen Spiegel handeln kann. Jedenfalls erlaubt die zumindest einmalige Rückfaltung des aufgefächerten Lichts eine geringe Baugröße der gesamten Vorrichtung.

Wie bereits zuvor erwähnt, ist das Detektionslicht mittels der Fokusieroptiken in die SpalWDetektoranordnung fokusierbar. Diese Spalt-/Detektoranordnung ist demnach im Strahlengang des aufgefächerten Lichts angeordnet und umfasst Spaltblenden bildende Reflexionsflächen, die das aufgefächerten Licht einerseits durch Spaltbildung und andererseits durch Reflexion aus der Dispersionsebene heraus in mehrere Lichtstrahlen und somit in Spektralbereiche zerlegen. Mit anderen Worten dienen die Spaltblenden zum teilweisen Durchlassen des dort ankommenden Lichts — entsprechend der Blendenbreite - und andererseits zur Reflexion an den dort vorgesehenen Reflexionsflächen, so dass bereits bei einer Spaltblende und zwei Reflexionsflächen (beidseits je eine Reflexionsfläche zur Bildung der Spaltblende) eine Zerlegung in drei Lichtstrahlen und somit in drei Spektralbereiche möglich ist. Diese Aufteilung erfolgt am aufgefächerten Licht aus dessen Dispersionsebene heraus. Selbstverständlich kann sowohl der an der Spaltblende durchgelassene Lichtstrahl als auch der reflektierte Teilstrahl abermals auf eine Spaltblende auftreffen und dort weiter gemäß voranstehender Erläuterung zerlegt werden. Die Zerlegung in mehrere Teilstrahlen ist somit durch Mehrfachanordnung von Spaltblenden mit entsprechenden Reflexionsflächen möglich.

Die aufgespalteten Lichtstrahlen gelangen unmittelbar zu Detektoren, wobei die Anzahl der Detektoren der Anzahl der Lichtstrahlen entspricht.

Für die hier vorgesehenen Spaltblenden ist des weiteren wesentlich, dass sie in etwa im Fokus des aufgefächerten Lichts platziert bzw. angeordnet sind. Die Reflexionsflächen der Spaltblenden sind als verspiegelte Flächen bzw. Spiegel ausgeführt, wobei sich die verspiegelten Flächen entsprechend dem Trägermaterial beispielsweise aufdampfen lassen.

Hinsichtlich einer konkreten Aufgestaltung der Spaltblenden ist es von Vorteil, wenn die verspiegelte Fläche einer die Spaltblende bildenden Spaltblendebacke zugeordnet ist und wenn die Spaltblendenbacke in ihrer die Spaltblende, den zu reflektierenden Bereich des aufgefächerten Lichts und ggf. den Reflexionswinkel definierenden Position einstellbar bzw. verstellbar oder verschiebbar ist. Somit lässt sich durch Einstellen der Spaltblendenbacke nicht nur der Spektralbereich des durchgelassenen Lichtstrahls sowie der reflektierte Lichtstrahl festlegen, sondern auch die Richtung, in die die reflektierten Lichtstrahlen laufen. Die Anordnung der Detektoren ist somit zumindest in einem gewissen Bereich variabel.

Im Konkreten könnten die Spaltblendenbacken als jeweils kubischer Stab mit zumindest teilweise verspiegelter Fläche ausgeführt sein. Eine der Flächen dient dann — zumindest teilweise — als Reflexionsfläche, wobei es sich dabei um die an den eigentlichen Spalt angrenzende Fläche handelt. Zur Herstellung der Spaltblendenbacke kommt ein Glas-Vollkörper in Frage, der entsprechend dem verwendeten Glastyp bereits eine Totalreflexion an seiner Oberfläche bieten kann. Außerdem lässt sich Glas einfach bearbeiten und verfügt über einen äußerst geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, so dass eine temperaturabhängige Justage der Anordnung nicht erforderlich ist.

In weiter vorteilhafter Weise sind die Spaltblendenbacken im Sinne eines Schiebers mit drehangetriebener Spindel bzw. mit entsprechendem Gewindegang ausgeführt. Insoweit könnte die Einstellung der Spaltblendenbacken über Aktoren erfolgen, die einen Vorschub und ggf. eine Drehung der verspiegelten Fläche der Spaltblendenbacke verursachen. Durch Verstellen der Position der Spaltblendenbacke lässt sich die Spaltbreite und

die Breite des reflektierten Lichts und somit der jeweilige Spektralbereich einstellen. Durch Verstellen der Winkelstellung der Spaltblendenbacke und somit des Reflexionswinkels ist eine Justierung auf fest positionierte Detektoren möglich. Bei den Aktoren kann es sich um beliebige Handbetätigungen handeln. In vorteilhafter Weise dienen als Aktoren Elektromotore, insbesondere Elektromotore mit Feintrieb.

Innerhalb der SpalWDetektoranordnung können Maßnahmen zur Unterdrückung von Streulicht vorgesehen sein, so bspw. sogenannte Lichtfallen oder Blenden, wie sie zur Streulichtunterdrückung aus dem Stand der Technik hinlänglich bekannt sind.

Als Detektoren für die unterschiedlichen Spektralbereiche bzw. Farben lassen sich jedwede herkömmliche Detektoren verwenden. So ist es bspw. auch möglich, handelsübliche CCD-Sensoren zu verwenden.

Im Hinblick auf eine kompakte Bauweise der gesamten Anordnung ist es von Vorteil, wenn die Einrichtung zum spektralen Auffächern des Detektionslichts und die SpalWDetektoranordnung von einem einzigen Chassis getragen werden, welches unmittelbar an der Scaneinrichtung montiert bzw. festlegbar ist. Die Spalt-/Detektoranordnung mit den dort vorgesehenen Spaltblendenbacken könnte in einem als Einschub handhabbaren Gehäuse angeordnet sein. Der Einschub könnte wiederum zur Einstellung des Einfallswinkels und der Dispersionsebene des aufgefächerten Lichts in seiner Position justierbar sein.

Schließlich ist es auch denkbar, dass das Gehäuse für die Spalt-/Detektoranordnung thermisch weitgehend isoliert ist, um nämlich thermische Einflüsse auf die dortige Anordnung wirksam zu vermeiden.

Erfindungsgemäß ist es anstelle der beschriebenen Anordnung auch eine Anordnung von dichroitischen Strahlteilern, die vorzugsweise kaskadiert angebracht sind, als Multibanddetektor zu verwenden.
Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfolgende Erläuterung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des

bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung werden auch im allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert.

In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und
wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der

Erfindung für Durchlicht,

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der

Erfindung für Auflicht,

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der

Erfindung für Durchlicht unter Verwendung von Dichroiten,

Fig. 4 in einer schematischen Prinzip-Darstellung die

Funktionsweise der Spalt-/Detektoranordnung und

Fig. 5 in einer schematischen Darstellung eine mögliche

Anordnung der Bauteile der Spalt-/Detektoranordnung.

Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform der Erfindung für Durchlicht. Eine Beleuchtungsquelle 1 erzeugt ein breitbandiges Strahlenbündel, das sich im wesentlichen entlag einer optischen Achse 2 ausbreitet. Ein Kondensor 3 formt das Strahlenbündel zur Beleuchtung im Durchlicht eines Bereichs einer Probe 4. Das Durchlicht gelangt durch das Objektiv 5 auf eine Scaneinrichtung 6. Die Scaneinrichtung 6 leitet das Licht zu einem Multibanddetektor 7. Dem Multibanddetektor 7 ist ein Pinhole 7a vorgeschaltet, das somit das Licht von einem Detektionsbereichder Probe 4, der kleiner als der Durchmesser des Pinholes 7a ist, auf den Multibanddetektor 7 richtet. In der nachfolgenden Beschreibung wird der Aufbau des Multibanddetektors 7 genauer erläutert.

Das in Fig. 2 dargestellte Ausführungsbeispiel offenbart eine Anordnung zur Auflichtbeleuchtung. Dabei sind die den in Fig. 1 ähnlichen Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Eine Beleuchtungsquelle 1 erzeugt ein breitbandiges Strahlenbündel, das sich im wesentlichen entlang einer optischen Achse 2 ausbreitet. Das Strahlenbündel wird über einen Strahlteiler 8 in den Strahlengang eines Mikroskops eingekoppelt. Das Auflicht gelangt

über das Objektiv 5 zur Probe 4. Das Detektionslicht gelangt durch das Objektiv 5 zurück zum Strahlteiler 8, passiert diesen und trifft auf eine Scaneinrichtung 6. Von der Scaneinrichtung 6 gelangt das Detektionslicht durch das Pinhole 7a auf den Multibanddetektor 7.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 3 dargestellt. Dabei sind die den in Fig. 1 ähnlichen Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Die Ausführungsform beschreibt ebenfalls eine Durchlichtanordnung. Nach der Scaneinrichtung 6 gelangt das Detektionslicht durch das Pinhole 7a auf einen Multibanddetektor 7, der in dieser Ausführungsform mindestens einen Dichroiten 9 oder 10 umfasst und somit das Detektionslicht spektral selektiv auf Detektoren 11 bis 13 verteilt.

In Fig. 4 ist schematisch eine Detailansicht des Multibanddetektors 7 der z.B. im Strahlengang des Detektionslichts in Fig. 1 angeordnet ist. Der Multibanddetektor 7 umfasst Mittel 33 einerseits zum Ausblenden eines zweiten Spektraibereichs 34 und andererseits zur weiteren Reflexion zumindest eines Teils 30 oder 35 des hier nicht ausgeblendeten Spektraibereichs. Der zweite Detektor 32 ist im Strahlengang des ausgeblendeten zweiten Spektraibereichs 34 und ein dritter Detektor 36 ist im Strahlengang des weiter reflektierten Spektraibereichs 35 angeordnet.

Der Multibanddetektor 7 umfasst des weiteren im Strahlengang des weiter reflektierten Spektraibereichs 35 angeordnete Mittel 38 zum Ausblenden eines dritten Spektraibereichs 39, wobei der dritte Detektor 36 im Strahlengang des ausgeblendeten dritten Spektraibereichs 39 angeordnet ist. Folglich werden mit dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel insgesamt drei Spektralbereiche 29, 34 und 39 selektiert und detektiert. Entsprechend den Ausführungen in der allgemeinen Beschreibung ist eine Kaskadierung mehrerer Spektralbereiche ausblendenden und reflektierenden Mittel sowie Detektoren 26 möglich, so daß ohne weiteres auch mehr als drei Spektralbereiche gleichzeitig selektierbar und detektierbar sind.

Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Mittel 27 zur spektralen Zerlegung des Lichtstrahls 14 als Prisma ausgeführt. Die Mittel 28, 33 und 38 sind jeweils als Spaltblende ausgeführt, wobei zur Reflexion

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zumindest eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs auf einer dem einfallenden Licht zugewandten Oberfläche jeweils eine reflektierende Beschichtung 41 vorgesehen ist.

Fig. 5 zeigt die prinzipielle Funktionsweise und andererseits die grundsätzliche Anordnung der jeweiligen Bauteile innerhalb der Spalt-/Detektoranordnung bzw. des Multibanddetektors 7.

In der SpalWDetektoranordnung 7 wird der aufgefächerte Strahl 17 durch die Spaltblenden 20 und die verspiegelten Flächen 21 in mehrere Teilstrahlen bzw. Spektralbereiche 70, 80, 90 aus der Dispersionsebene 6 heraus zu den Detektoren 70a, 80a, 90a geleitet.

Bei der Darstellung in Fig. 5 sind sowohl die Detektoren 70a, 80a, 90a als auch die als Elektromotoren ausgeführten Aktoren 22 lediglich schematisch gezeigt. Gleiches gilt für die Spaltblenden 20 bildende Spaltblendenbacken 23 nebst den verspiegelten Flächen 21, die unmittelbar an den Spaltblendenbacken 23 vorgesehen sind.

Fig. 5 zeigt deutlich, daß Teile des in die SpalWDetektoranordnung 7 einlaufenden, spektral aufgefächerten Strahls 17 an den verspiegelten Flächen 21 nach oben und nach unten zu den Detektoren 90a, 80a, abgelenkt werden. Ein weiterer Teilstrahl bzw. Spektralbereich 70 passiert die Spaltblende 20 und gelangt zum Detektor 70a.

Die Aktoren 22 ermöglichen eine Einstellung des Spalts 20 zwischen den Spaltblendenbacken 23, wodurch eine individuelle Einstellung der Spektralbereiche 70, 80, 90 möglich ist, deren Teilstrahlen schließlich zu den Detektoren 70a, 80a, 90a gelangen.

Durch die Aufspaltung des einfallenden aufgefächerten Strahls 17 ist es möglich, die Spaltblenden 20 hinreichend genau im Fokus des aufgefächerten Strahls 17 zu platzieren.

Schließlich sei angemerkt, daß der einfacheren Darstellung wegen in Fig. 5 lediglich zwei der insgesamt vier Aktoren 22 dargestellt sind.

Durch die erfindungsgemäße Anordnung ist es möglich, das von der Probe 4 kommende Detektionslicht spektral zu analysieren. Dabei wird die Spaltöffnung 20 in der Auffächerungsebene linear verfahren und liefert somit

eine spektrale Intensitätsverteilung des von der Scaneinrichtung 6 aktuell auf den Multibanddetektor 7 treffenden Lichts.

Mit der Erfindung ist es möglich mit einer einfachen Beleuchtungsquelle, die z.B. eine herkömmliche Halogenlampe ist, von einer zu untersuchende Probe Bilder zu verschiedenen Wellenlängen zu erzeugen. Anders ausgedrückt man kann von einer zu untersuchenden Probe eine Serie spektraler Bilder aufnehmen, die sich über das gesamte sichtbare Spektrum erstrecken können. Hinzu kommt, dass mit dem Multibanddetektor 7 eine gleichzeitige Aufnahme von mehreren Bildern in verschiedenen spektralen Abschnitten des gesamten Spektrums möglich ist.

Im Folgenden ist erläutert wie, die sequentielle Aufnahme von Bildern in verschiedenen spektralen Breichen erfolgt. Dazu wird die Anordnung mit der Durchlichtbeleuchtung verwendet und der Multibanddetektor 7 ist als Spalt-/Detektoranordnung (siehe Fig. 5) ausgebildet. Die Probe 4 wird mit der Beleuchtungseinrichtung 1 durchstrahlt. Die Beleuchtung der Probe 4 ist dabei derart ausgewählt, dass sie zumindest in dem Probenbereich flächig ausgeleuchtet ist, der durch das Objektiv 5 aufgenommen wird. Die dem Objektiv 5 nachgeordnete Scaneinrichtung 6 richtet das von der Probe ausgehende Licht auf den Multibanddetektor 7. Die Scaneinrichtung 6 rastert dabei die Probe oder einen ausgewählten Bereich davon punktweise ab, somit gelangt zeitlich nacheinander Information des gesamten zu untersuchende Probenbereichs zum Multibanddetektor 7. Punktweise ist nicht so zu verstehen, dass nur Punkte der Probe 4 abgerastert werden. Punktweise bedeutet vielmehr, dass sehr kleine Detektionsbereiche nacheinander abgetastet werden. Die Größe derDetektionsbereiche, richtet sich z.B. nach der Eintrittsöffnung des Multibanddetektors 7 oder im Falle eines Pinholes 7a nach dessen Durchmesser.

Wie bereits oben erwähnt ist es mit dem Multibanddetektor 7 möglich, parallel mindestens zwei Bilder in einer unterschiedlichen spektralen Lage aufzunehmen. Ferner kann man z.B. den Multibanddetektor 7 derart einstellen, dass nacheinander Bilder aufgenommen werden, die sich in Ihrer Farbe unterscheiden. Der Multibanddetektor 7 kann derart eingestellt werden,

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dass das gesamte Spektrum durchfahren wird. Als Ergebnis erhält man spektral aufgefächerte Bilder der Probe und somit Information welche Stellen der Probe Licht einer bestimmten Lage im Spektrum aussenden, durchlassen oder reflektieren.

Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.

B 3174
11.07.00

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Bezugszeichenliste:

1	Beleuchtungsquelle
2	optische Achse
3	Kondensor
4	Probe
5	Objektiv
6	Scaneinrichtung
7	Multibanddetektor
7a	Pinhole
8	Strahlteiler
9	Dichroit
10	Dichroit
11	Detektor
12	Detektor
13	Detektor
14	Lichtstrahl
17	aufgefächerter Strahl
20	Spaltöffnung
21	verspiegelte Flächen
22	Aktoren
23	Spaltblendenbacken
26	Detektoren
27	Mittel zur spektralen Zerlegung
28	Mittel zum Ausblenden
29	Spektralbereich
30	reflektierter Spektralbereich
31	erster Detektor
32	zweiter Detektor
33	Mittel zum Ausblenden
34	zweiter Spektralbereich
35	reflektierter Spektralbereich
36	dritter Detektor
38	Mittel zum Ausblenden

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39 dritter Spektralbereich

41 reflektierende Beschichtung

70 Spektralbereich

70a Detektor80 Spektralbereich

80a Detektor

90 Spektralbereich

90a Detektor

Claims (8)

1. Anordnung zur spektral empfindlichen Auf- und Durchlichtmikroskopie, wobei zumindest ein Bereich einer zu untersuchenden Probe (4) flächig ausgeleuchtet wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine Beleuchtungseinrichtung (1) vorgesehen ist und dass eine Scaneinrichtung (6) vorgesehen ist, die zeitlich nacheinander jeweils das von einem Detektionsbereichder zu untersuchenden Probe ausgehende Licht auf einen Multibanddetektor (7) richtet.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (1) die Probe (4) flächig durchleuchtet.

3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (1) die Probe (4) flächig im Auflicht beleuchtet.

4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Multibanddetektor (7) ein Pinhole angebracht ist, wobei der Detektionsbereich kleiner als das Pinhole ist.

5. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Multibanddetektor (7) mindestens zwei Datensätze der Probe (4) von unterschiedlicher spektraler Zusammensetzung aufnimmt.

6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Multibanddetektor (7) eine Spalt-/Detektoranordnung darstellt.

7. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Multibanddetektor (7) durch mindestens einen dichroitischen Strahlteiler (9, 10) gebildet wird, der entsprechend der Filtereigenschaften das Licht auf einen zugeordneten Detektor (11, 12, 13) richtet.

8. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Scaneinrichtung (6) den zu untersuchenden Bereich der Probe (4) derart abrastert, dass das Licht der Detektionsbereiche, die wesentlich kleiner, als der zu untersuchende Bereich der Probe (4) sind, nacheinander in den Multibanddetektor (7) gelangt.