DE19932870A1 - Vorrichtung zur optischen Partikel- und Partikelströmungsanalyse - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optischen berührungsfreien Partikel- und Partikelströmungsanalyse in einem transparenten Meßvolumen, das aus einem flüssigen oder gasförmigen Medium oder Vakuum bestehen könnte. DOLLAR A Aufgabe war es, eine Vorrichtung zu schaffen, mit der sowohl die Eigenschaften der Partikel als auch die Strömungseigenschaften dieser Partikel im fluiden oder gasförmigen Medium oder im Vakuum mit möglichst geringem apparativen Aufwand exakt sowie ohne die Einschränkungen der jeweils an sich bekannten Partikelmikroskopie und der an sich bekannten Abbildung von Partikelbewegungen durch stroboskopische Beleuchtung bestimmt werden können. DOLLAR A Erfindungsgemäß ist zur Beleuchtung des Mediums neben der bekannten Blitzlampe (8) zusätzlich ein hochfrequent modulierbarer Laser (9) vorgesehen, dessen von den Partikeln im Medium gestreutes Licht ebenfalls über das Mikroskop (3) auf die Kamera (5) abgebildet wird. Es wird eine universell anwendbare Vorrichtung geschaffen, die je nach Anwendungsfall die Bilder unter Beleuchtung der beiden Lichtquellen gemeinsam oder auch separat auswerten kann. Ein und dieselben Partikel können somit im Echtzeitbetrieb einerseits in ihrer Teilchencharakteristik als auch in ihren Bewegungs- oder Strömungseigenschaften im Medium untersucht werden, ohne das Medium zu beeinflussen oder gar Proben von diesem entnehmen zu müssen. DOLLAR A Die Vorrichtung ist sehr gut zur Meßüberwachung und Kontrolle der Partikel und der Partikelbewegung in der ...

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optischen berührungsfreien Partikel- und Partikelströmungsanalyse in einem transparenten Meßvolumen, das aus einem flüssigen oder gasförmigen Medium oder Vakuum bestehen könnte.

Es ist bekannt (z. B. Allen T.: Paticle Size Measurements, Chapman and Hall, London, 4. Auflage oder C. Crowe et al.: In Multiphase Flows with Droplets and Paticles, CRC Press LLC, 285-372, 1986 oder DE 297 07 013 U1), zur Untersuchung von Partikeln in Medien Proben von diesen zu entnehmen und durch mikroskopische Verfahren zu analysieren. Die Untersuchung von entnommenen Proben lassen jedoch nur eine sehr eingeschränkte Aussage über die Partikel im Originalmedium zu. Geschwindigkeitsmessungen strö­ mender Partikel sind nicht möglich. Außerdem kann die Probenentnahme bei empfindlichen Partikelstrukturen sogar zur Beeinträchtigung oder Zerstörung des zu analysierenden Mediums oder der Probe führen.

Andere Verfahren (DE 197 26 518 A1) bringen das Meßinstrument selbst oder Teile davon in das Meßvolumen, wodurch zwar die Probenentnahme entfällt, jedoch eine mechanische Beeinflussung des Meßobjektes (Selektionseffekt z. B. durch Beeinflussung der Partikelströmung oder Beschädigung bzw. Zerstörung der Partikel durch das Meßinstrument) erfolgt, welche die Messung verfälschen kann.

Bekannt sind auch Integralmethoden, Verfahren, die Aussagen über das mittlere Teilchenensemble (z. B. winkelabhängige Messung von Licht nach Intensität oder/und Polarisation, das von einem Partikelensemble gestreut wird, Extinktions-, Reflexions- und Beugungsmessung (Swithenbank J. et al.: A laser diagnostic technique for the measurement of droplet and particle size distribution, Prog. in Astro. and Aero., AIAA, 1977, 421 oder Hirleman D. E. et al. Response characteristics of laser diffraction particle size analyzers, Optical sample volume and lense effects, Optical Engineering 23, 1984, 610 oder Weiners B. B.: Particle and droplet, sizing using Fraunhofer diffraction, In modern Methods of Particle Size Analysis, Barth H. G. (ed.), Wiley J., New York, 1984, 135 oder Levasseur-Regourd A.-C. et al.: The CODAG Light Scattering Experiment, Light Scattering Measurements by Dust Particles and their aggregates, Adv. Space Res. 23 (7), 1271 oder DE 197 18 875 C1 oder DE 40 25 789 A1). Mit diesen Methoden werden allerdings Form, Abmessung, Anzahl und Ausrichtung nicht direkt sondern nur gekoppelt bestimmbar, das heißt, die sichere Bestimmung der einen Größe setzt eine gewisse Kenntnis der anderen voraus. Oft sind komplizierte und von der sphärischen Form abweichende Teilchenformen nicht oder zumindest nur bedingt bestimmbar, und dies gilt noch dazu nur dann, wenn alle Partikel weitgehend übereinstimmende oder wenigstens ähnliche Eigen­ schaften aufweisen. Die Strömungsgeschwindigkeit und -richtung eines Einzelpartikels sowie die Stromlinien können nicht erfaßt werden.

Zur Partikelströmungsanalyse gibt es ebenfalls Integralverfahren. Ein Inte­ gralverfahren ist die Kreuzkorrelationsmessung (Kipphan H., Bestimmung der Transportkenngrößen bei Mehrphasenströmungen mit Hilfe von Korrelations­ technik, Chem.-Ing.-Techn. 49, 1977, 695).

Außerdem werden auch die Laser-Doppler- und Phasen-Doppler-Anemome­ trie oder Laser-Doppler-Velozimetrie angewendet (z. B. Umhauer H. et al.: Particle size distribution analysis by scattered light measurements using an optically defined measuring volume, J. Aerosol Sci. 14, 1983, 765 oder Umhauer H. et al.: Pulse holography and phase-Doppler technique, A comparison when applied to swirl pressure-jet atomizers, Particle and Particle Systems Characterization 7, 1990, 226 oder Durst F.: Review-combined measurements of particle velocities, size distributation and concentration, J. of Fluids Eng. 104, 1982, 284 oder Tropea C.: Laser Doppler anemomentry, Recent developments and future challenges, Meas. Sci. Tech. 6, 1995, 605 oder Bauckage K.: The phase-Doppler-difference-method, a new laser- Doppler technique for simultaneous size an velocity measurements, Particle and Particle Systems Characterization 5, 1988, 16-22, Grehen et al.: Simultaneous measurements of velocities and size of particles in flows using a combined system incorporating a top-hat beam technique. Appl. Opt. 25, 1986, 3527 oder DE 44 26 956 C2 oder DE 41 30 627 A1). Mit diesen Verfahren sind jedoch keine Teilchenformen bestimmbar.

Es sind auch abbildende Verfahren bekannt (z. B. Van Dyke M.: An Album of Fluid Motion, To Prabolic Press, Stanford CA, 1982 oder Longmire E. K. et al.: Structure of a particle-laden round jet, J. Fluid Mech. 236, 1992, 217 oder Wen C. Y. et al.: Particle dispersion by vortex structures in plane mixing layers, J. Fluids Engr. 114, 1992, 657 oder Huber N. et al.: Characterization of cross-sectional particle concentration distribution in pneumatic convexing systems, Powder Tech. 79, 1977, 695 oder Philip O. G. et al.: Development of a high speed particle image velocimetry technique using fluorescent tracers to study streams bubble collapse, Nuclear Eng. Design 149, 1994, 375 oder Tokuhiro A. et al.: The effect of a single bubble on turbulence structure in grid turbulence flow by combined shadow-image and PIV technique, Proc. of the 8th Int. Sdymp. on Applications of Laser Techniques to Fluid Mechanics, Lissabon, 1996). Diese Methoden bilden die in der Praxis z. B. mit Blitzlicht beleuchtete Probe über ein Mikroskop auf eine Kamera ab. Die Kameraaufnahmen werden hinsichtlich einer Ortsveränderung der Teilchen ausgewertet. Durch die Beschränkung im Gesichtsfeld, in der Beleuchtungs­ dauer, Blitzfrequenz und Bildauslesefrequenz ist die maximal nachweisbare Partikelgeschwindigkeit eingeschränkt. Zum Nachweis hoher Partikelge­ schwindigkeiten ist ein großes Gesichtsfeld erforderlich, das mit einer Verminderung der räumlichen Auflösung einhergeht, so daß die Bestimmung von Partikelgröße und Partikelform eingeschränkt wird. (Wurm G.: Experi­ mentelle Untersuchungen zu Bewegung und Agglomerationsverhalten mikro­ metergroßer Teilchen in protoplanetaren Scheiben, Dissertation an der Friedrich-Schiller-Universität Jena, 1997). Zur Bestimmung von Partikel­ bewegungen gibt es die Möglichkeit der Abbildung der Partikelbahnen unter Verwendung einer stroboskopischen Beleuchtung (Poppe T.: Stoßexperi­ mente zur Entstehung von Planetesimalen aus kleinen Festkörperteilchen, Dissertation an der Friedrich-Schiller-Universität Jena, 1999). Hierbei wird im angegebenen Beispiel das nach vorne gestreute Licht aufgenommen und die Partikelbahn als unterbrochene Linie abgebildet. Eine Form- und Größen­ bestimmung ist nicht direkt möglich.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zu Grunde, eine Vorrichtung zu schaffen, mit der sowohl die Eigenschaften der Partikel als auch die Strömungseigenschaften dieser Partikel im fluiden oder gasförmigen Medium oder im Vakuum mit möglichst geringem apparativen Aufwand exakt sowie ohne die Einschränkungen der jeweils an sich bekannten Partikelmikroskopie und der an sich bekannten Abbildung von Partikelbewegungen durch strobo­ skopische Beleuchtung bestimmt werden können.

Insbesondere sollen am selben Ort im Medium gleichzeitig die Partikel- und ihre Strömungseigenschaften erfaßt werden können.

Erfindungsgemäß ist zur Beleuchtung des die zu untersuchenden Partikel enthaltenden Mediums neben der an sich bekannten Blitzlampe zusätzlich eine modulierbare Lichtquelle, vorzugsweise ein hochfrequent modulierbarer Laser, vorgesehen, dessen von den Partikel im Medium gestreutes Licht zum Zweck einer stroboskopischen Partikelströmungsanalyse ebenfalls über das Mikroskop auf die Kamera abgebildet wird.

Auf diese Weise wird eine universell anwendbare Vorrichtung geschaffen, die zwar je nach Anwendungsfall auch die Messung mit jeder Lichtquelle separat ausführen kann, die aber insbesondere eine gemeinsame Aufnahme und Auswertung von Messungen mit beiden Lichtquellen gleichzeitig, nacheinan­ der oder abwechselnd ermöglicht, so daß ein und dieselben Partikel im Echtzeitbetrieb einerseits in ihrer Partikelcharakteristik als auch in ihren Strömungseigenschaften im Medium untersucht werden können, ohne das Medium zu beeinflussen oder gar Proben von diesem entnehmen zu müssen. Für die besagten Analysen müssen auch keine zwei unterschiedlichen Meßaufbauten realisiert werden, sondern alle Meßaufgaben können grund­ sätzlich mit den in Anspruch 1 genannten Mitteln der erfindungsgemäßen Vorrichtung, d. h. mit denselben Bauteilen, erfüllt werden. In unterschiedli­ chen Spektralbereichen ist das ins Mikroskop fallende Licht dabei entweder mittels einer Farbkamera oder durch die Verwendung zweier Kameras und eines farbempfindlichen Strahlteilers sofort unterscheidbar und kann separat ausgewertet werden. Die Vorrichtung ist somit sehr gut zur Meßüberwachung und Kontrolle von fluiden bzw. gasförmigen Medien oder Vakuum in ihrem bestimmungsgemäßen Einsatz geeignet (beispielsweise in der Umgebungsluft oder in Behältern und Rohren mit Gasen oder Flüssigkeiten sowie zur Untersuchung von Strömungen mit Hilfe von Tracerpartikeln), wobei ein Rechner zur Auswertung der Kameraaufnahmen sofort kritische Situationen erkennen, bei Bedarf darauf reagieren und auch Langzeitbeobachtungen durchführen kann.

Die Vorteile der bekannten Hellfeldmikroskopie durch Blitzlampenbeleuch­ tung, die in der mittleren Bildhelligkeit die Gesamtdichte des durchstrahlten Mediums enthält und daher neben einer lokalen Auflösung auch eine globale Dichte widerspiegelt, werden beibehalten.

Insgesamt können mit der Erfindung gleichzeitig oder jeweils einzeln die Form, die Struktur, die Größe, die Teilchendichte, die Stromlinien von Partikeln, die Strömungsgeschwindigkeit sowie die Strömungsrichtung dieser Partikel und die Strömungsgeschwindigkeit von Partikelensembles, noch dazu im Echtzeitbetrieb, bestimmt werden. Dabei ermöglicht die kombinatorische Anordnung der beiden Beleuchtungsmöglichkeiten u. a. auch, daß die Intensi­ tät des von den Partikeln gestreuten Lichtes der zusätzlichen modulierten Lichtquelle als eine weitere Aussage über die Partikeleigenschaften zusätzlich zur Hellfeldmikroskopie mittels Blitzlampe herangezogen werden kann. Dies ist insbesondere von Bedeutung, wenn die Partikel so klein sind, daß die Hell­ feldmikroskopie ungeeignet ist, um Strukturen optisch aufzulösen.

In den Unteransprüchen sind weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Vorrichtung aufgeführt.

Die Erfindung soll nachstehend anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels für einen möglichen konstruktiven Prinzipaufbau näher erläutert werden.

In einem Raum 1 für den Gegenstand der Untersuchung zwischen einem Gehäuse 2 und einem langreichweitigen Mikroskop 3 befinden sich die Partikel, deren Eigenschaften und deren Bewegung von Interesse sind. Die Partikel können zum Beispiel in der Umgebungsluft enthalten sein oder in einem Behälter bzw. Rohr mit transparenten Wänden oder Fenstern, in dem sich ein transparentes Medium (Gas, Flüssigkeit oder Vakuum) befindet. Das Mikroskop 3, dessen Fokus 4 auf das Zentrum vom Raum 1 gerichtet ist, bildet diesen Bereich des Mediums auf eine CCD-Kamera 5 ab, für welche vorteilhaft eine Hochgeschwindigkeits-CCD-Kamera verwendet werden kann und die mit einem Rechner 6 in Verbindung steht zur Auswertung, Überwachung und Steuerung. An den Rechner 6 ist ein Monitor 7 angeschlossen, auf dem nicht nur die Programm-, Steuer- und Auswertedaten des Rechners 6 visualisiert werden können, sondern auch das Bild der CCD- Kamera 5 von dem zu untersuchenden Medium.

Die Partikel im Raum 1 werden von einer im Gehäuse 2 angeordneten Blitzlampe 8 beleuchtet, deren Licht in das Mikroskop 3 fällt und auf dem CCD-Chip der CCD-Kamera 5 abgebildet wird. Außerdem werden die Partikel von einer modulierbaren Laserdiode 9 beleuchtet, deren Licht durch Streuung an den Partikeln im Raum 1 ebenfalls in das Mikroskop 3 fällt. Um die Bildaufnahmen der beiden Lichtquellen voneinander zu trennen, erfolgt die Partikelbeleuchtung in unterschiedlichen Spektralbereichen, vorzugsweise über an der Blitzlampe 8 und an der Laserdiode 9 angeordnete Spektralfilter, so daß das Licht der beiden Lichtquellen auf separaten CCD-Chips der CCD- (Farb-)Kamera 5 abgebildet wird (aus Übersichtsgründen nicht in der Zeich­ nung dargestellt). Eine andere Möglichkeit wäre, das von den Lichtquellen stammende Licht zur spektralgetrennten Aufnahme über einen spektral empfindlichen Strahlteiler jeweils auf separate Kameras (ebenfalls nicht in der Figur gezeigt) zu leiten.

Da die CCD-Kamera 5 eine räumliche Auflösung besitzt, wird die Partikel­ bahn als unterbrochene Linie auf dem entsprechenden CCD-Chip abgebildet. Dadurch, daß sowohl für die Hellfeldmikroskopie als auch für die strobosko­ pische Partikelbahnabbildung das gleiche Mikroskop 5 verwendet wird, ist gewährleistet, daß ein und dasselbe Volumen im Raum 1 mit beiden Methoden analysiert wird und daß einer Partikelabbildung die entsprechende Partikelbahnabbildung zugeordnet werden kann, mithin eine umfassende Analyse eines Partikels und seines Bewegungszustands erfolgt.

Zur Beleuchtung ein und desselben Meßvolumens auf derselben optischen Achse durch die beiden Lichtquellen (Blitzlampe 8 und Laserdiode 9) ist die Verwendung einer Kombinationsoptik 10 vorgesehen. Diese kann beispiels­ weise so funktionieren (aus Übersichtsgründen gleichfalls nicht in der Zeichnung dargestellt), daß die Blitzlampe 8 durch ein zur optischen Achse geneigtes Fenster leuchtet, in dessen Mitte (auf der optischen Achse) sich auf der blitzlampenabgewandten Seite ein kleiner spiegelnder Fleck befindet. Der spiegelnde Fleck ist so klein, daß er die Helligkeit der Blitzlampe nicht wesentlich vermindert. Die Laserdiode 9 leuchtet auf diesen spiegelnden Fleck, der maximal so groß sein soll, daß er den gesamten Laserstrahl in die optische Achse reflektiert.

Um die Partikelbeleuchtung in der optischen Achse und im Fokus 4 des Mikroskops 3 zu gewährleisten, sind das Gehäuse 2 und das Mikroskop 3 über eine biegesteife Verbindung 11 fest miteinander gekoppelt.

Bei der Messung steuert der Rechner 6 die aktiven Komponenten der Meßeinrichtung, nämlich die Blitzlampe 8, die Laserdiode 9 und die CCD- Kamera 5. Diese Steuerung erfolgt entweder infolge der Eingabebefehle des Bedieners oder aufgrund einer Auswertung der Meßdaten, denen die Steuerung automatisch angepaßt wird. Je nach Erfordernis werden so die Blitzdauer, Blitzfrequenz und Helligkeit der Blitzlampe 8, die Auslese­ frequenz und Belichtungsdauer der CCD-Kamera 5 sowie die Modulation und Helligkeit der Laserdiode 9 geregelt. Die Modulation der Laserdiode 9 besteht in ihrem periodischen an- und abschalten oder ihrer periodischen Helligkeits­ änderung. Sie kann vorteilhafterweise so gewählt werden, daß nicht nur die Bewegungsgeschwindigkeit erkennbar ist, wie es bei einer einfachen Rechteck- oder Sinusmodulation der Fall wäre, sondern auch die Bewegungsrichtung jedes einzelnen Partikels; hierzu wird eine Modulation verwendet, welche die Beleuchtung kurz an, kurz ab-, lang an- und lang abschaltet oder welche die Helligkeit in einer Sägezahnfunktion periodisch steigert oder vermindert.

Der an den Rechner 6 angeschlossene Monitor 7 stellt dem Benutzer auf Wunsch die aufgenommenen Bilder der Partikel und ihrer Bewegung direkt dar. Durch geeignete Rechnerprogramme sind die Bilder archivierbar, und kann es auch ermöglicht werden, die Bilder beispielsweise im Hinblick auf Partikelgröße, -form, -ausrichtung, Geschwindigkeit, Bewegungsrichtung statistisch auszuwerten. Ferner ist es möglich, durch eine Extinktionsmessung bei der Hellfeldmikroskopie mit Blitzlampe Aussagen über die Partikeldichte zu gewinnen. Darüber hinaus kann die Intensität des von den Partikeln gestreuten Laserlichts als eine weitere Aussage über die Partikeleigenschaften herangezogen werden. Dies ist insbesondere von Bedeutung, wenn die Partikel so klein sind, daß die Hellfeldmikroskopie ungeeignet ist, um Strukturen optisch aufzulösen.

Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen

1

Raum

2

Gehäuse

3

Mikroskop

4

Fokus

5

CCD-Kamera

6

Rechner

7

Monitor

8

Blitzlampe

9

Laserdiode

10

Kombinationsoptik

11

biegesteife Verbindung

Claims (16)

1. Vorrichtung zur optischen Partikel- und Partikelströmungsanalyse, bei der zur Hellfeldmikroskopie eine Lichtquelle, vorzugsweise eine Blitzlampe, zur Beleuchtung angeordnet deren Licht über ein Mikroskop auf eine Kamera abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine zusätzliche modulierbare Lichtquelle (9) zur Beleuchtung der Partikel vorgesehen ist, deren von den Partikeln gestreutes Licht zum Zweck einer stroboskopischen Partikelströ­ mungsanalyse ebenfalls über das Mikroskop (3) auf die Kamera (5) abgebil­ det wird.

2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als zusätz­ liche Lichtquelle (9) ein hochfrequent modulierbarer Laser eingesetzt wird.

3. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätz­ liche Lichtquelle (9) zum Zweck einer Erkennung der Strömungsrichtung der Partikel so moduliert ist, daß diese in wechselnden Intervallen ein- und ausgeschaltet, beispielsweise kurz ein, kurz aus, lang ein, lang aus, oder in ihrer Helligkeit verändert wird.

4. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Lichtquellen (8, 9) zur getrennten Bildaufnahme der beiden Lichtquel­ len (8, 9) Filter mit unterschiedlichen Spektralbereichen vorgesehen sind.

5. Vorrichtung gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildauf­ nahme in den unterschiedlichen Spektralbereichen eine Farbkamera (5) vorgesehen ist.

6. Vorrichtung gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildauf­ nahme in den unterschiedlichen Spektralbereichen ein farbempfindlicher Strahlteiler und zwei Kameras vorgesehen sind.

7. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kombi­ nationsoptik (10) vorgesehen ist, welche die Beleuchtung der Partikel in der optischen Achse des Mikroskops (3) sowie in dessen Fokus (4) durch die zwei Lichtquellen (8, 9) gestattet.

8. Vorrichtung gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kombi­ nationsoptik (10) aus einem zur optischen Achse geneigten Fenster für das Licht der Lichtquelle (8) besteht, in dessen Mitte sich auf der blitzlampen­ abgewandten Seite ein kleiner spiegelnder Fleck befindet, der das Licht der zusätzlichen modulierbaren Lichtquelle (9) in die optische Achse reflektiert.

9. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Gewähr­ leistung der durch die beiden Lichtquellen (8, 9) vorgesehenen Partikelbe­ leuchtung in der optischen Achse und im Fokus (4) des Mikroskops (3) die beiden Lichtquellen (8, 9) und das Mikroskop (3) mit der Kamera (5) über eine biegesteife Verbindung (11) miteinander gekoppelt sind.

10. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur univer­ sellen Untersuchung von Partikeln, insbesondere in größeren Meßvolumina, ein langreichweitiges Mikroskop (3) Verwendung findet.

11. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind zur Ausblendung der direkten Strahlung der zusätzlichen Lichtquelle aus der Kameraaufnahme.

12. Vorrichtung gemäß Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel aus einem dunklen Fleck im Mittelpunkt des Eintrittsfensters vom Mikroskop (3) bestehen.

13. Vorrichtung gemäß Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, die es gestatten, den dunklen Fleck möglichst klein zu halten und somit die Messung möglichst wenig zu beeinträchtigen.

14. Vorrichtung gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel aus zwei einstellbaren Optiken bestehen, die den Lichtstrahl zunächst diver­ gieren und anschließend wieder konvergieren läßt, so daß gleichzeitig am dunklen Fleck die Querschnittsfläche des Lichtstrahls als Beleuchtungsfläche minimiert und im Fokus den Meßanforderungen angepaßt werden kann.

15. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Monitor (7) zur Visualisierung der Kameraaufnahmen.

16. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Rechner (6) vorgesehen ist zur Steuerung der Beleuchtung, der Kamera­ aufnahmen sowie der Bildauswertung der Kameraaufnahmen.