DE1968343U

DE1968343U - DOUBLE LENS.

Info

Publication number: DE1968343U
Application number: DEL44499U
Authority: DE
Original assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Current assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date: 1967-04-18
Filing date: 1967-04-18
Publication date: 1967-09-14

Description

DoppelobjektivDouble lens

In verschiedenen Bereichen der Technik, vor allem aber bei der Herstellung von Halbleiter- und Mikroschaltungen auf fcopiertechnischem Wege werden Doppelobjektive benötigt, die es gestatten, gleichzeitig zwei Punkte eines Objektes, die etwa einen Abstand von 15 bis 50 mm haben können, gleichzeitig stark vergrößert zu betrachten. Diese Aufgabe stellt sich beim jeweiligen Ausrichten einer Maskenseheibe in Bezug auf eine Halbleiterscheibe.In various areas of technology, but especially in the manufacture of semiconductor and microcircuits For copier technology, double lenses are required that allow two points of an object, which can have a distance of about 15 to 50 mm, at the same time to be viewed greatly enlarged. This task arises when aligning a mask disk in relation to a semiconductor wafer.

Der Neuerung lag die Aufgabe zugrunde, ein hierfür geeignetes Doppelobjektiv zu schaffen.The innovation was based on the task of finding a suitable one To create double lens.

Gegenstand der Neuerung ist ein Doppelobjektiv zum Erzeugen von zwei in der gleichen Sehfeldebene nebeneinander liegenden vergrößerten Bildern von Zielpunkten, die im Objekt so weit auseinanderliegen, daß sie nicht mehr von einem einzigen Objektiv gemeinsam abgebildet werden können. Das Doppelobjektiv zeichnet sich dadurch aus, daß zwei Objektive an einem Gehäuse gelagert sind und daß die durch die Objektive hindurchtretenden Strahlenbündel über Planspiegel auf einen gemeinsamen Teilerspiegel gelenkt werden, dem ein Okular naehgeschaltet ist. Jedes Objektiv ist mit dem ihm zugehörigen Umlenkspiegel starr verbunden und der Abstand zwischen den beiden Objektiven ist einstellbar* Zur Einspiegelung des beleuchtenden Lichtes ist im Beobachtungsstrahlengang ein Strahlenteiler vorhanden. Zwischen Beleuch-The object of the innovation is a double lens for generating two side by side in the same field of view plane enlarged images of target points that are so far apart in the object that they are no longer of a single one Objectively can be mapped together. The double lens is characterized by the fact that two lenses a housing are mounted and that by the lenses passing through a beam of rays on a plane mirror common splitter mirror to which an eyepiece is connected. Every lens is associated with it Deflecting mirror rigidly connected and the distance between the two lenses is adjustable * For mirroring of the illuminating light there is a beam splitter in the observation beam path. Between lighting

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B 2415 14.4.1967. B 2415 April 14, 1967.

tungsquelle und Spiegel kann sich ein einstellbares Polarisationsfilter befinden.An adjustable polarization filter can be located between the power source and the mirror.

Wie in Fig.1 schematisch gezeigt, sind die beiden Objektive 1, 2 an einem Gehäuse 3 gelagert. In diesem befinden sich drei Planspiegel 4-6, welche die abbildenden Strahlenbündel der beiden Objektive auf einen Strahlenteiler in Form eines teildurchlässigen Spiegels 7 leiten, der die beiden Strahlenbündel vereinigt zum Okular leitet. Der Spiegel 4 ist mit dem Objektiv 1, der Spiegel 6 mit dem Objektiv 2 starr verbunden, so daß bei einer Abstandsänderung der beiden Objektive, welche zu diesem Zweck verschieblieh am Gehäuse 3 gelagert sind, die beiden Spiegel ebenfalls ihren Abstand zueinander entsprechend ändern. Dabei können die beiden Objektive bis zur gegenseitigen Berührung aneinander angenähert werden. Die Stellung der Spiegel 4, 6 im jeweiligen Strahlengang ist derart, daß im Sehfeld der Anordnung die Bilder des Doppelobjektivs nebeneinanderliegend erscheinen. Dem Spiegel 7 ist ein weiterer Strahlenteiler in Form eines teildurchlässigen Spiegels 9 nachgeschaltet, der in bekannter Weise zum Einspiegeln des Lichtes einer Lichtquelle 10 dient.As shown schematically in FIG. 1, the two objectives 1, 2 are mounted on a housing 3. In this there are three plane mirrors 4-6, which direct the imaging beam bundles of the two objectives onto a beam splitter in the form of a partially transparent mirror 7 which, combined, directs the two beam bundles to the eyepiece. The mirror 4 is rigidly connected to the objective 1, the mirror 6 to the objective 2, so that if the distance between the two objectives, which are displaceably mounted on the housing 3 for this purpose, changes, the two mirrors also change their distance from one another accordingly. The two lenses can be brought closer together until they touch each other. The position of the mirrors 4, 6 in the respective beam path is such that the images of the double objective appear next to one another in the field of view of the arrangement. The mirror 7 is followed by a further beam splitter in the form of a partially transparent mirror 9 , which is used in a known manner to reflect the light from a light source 10.

Fig.2 zeigt ein mögliches Objekt 20 mit Zielpunkten 21. Gestrichelt sind die von den Objektiven 1 und 2 erfaßten Objektbereiche eingezeichnet, die im gleichen okularen Sehfeld erscheinen.2 shows a possible object 20 with target points 21. The object areas covered by the objectives 1 and 2, which are in the same ocular, are shown in dashed lines Field of view appear.

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Durcia die ungleiche Behandlung der beiden Strahlengänge am Spiegel 7 ergibt es sich, daß die beiden Bilder in der Betrachtungsbildebene unterschiedliche Helligkeiten aufweisen. Um diese auszugleichen, ist in den Beleuchtungs· strahlengang zwischen die Lichtquelle 10 und den Teilerspiegel 9 ein einstellbares Polarisationsfilter 11 eingefügt. Durch Drehen desselben läßt sich eine gleiche Helligkeit der beiden Bilder erreichen.Durcia the unequal treatment of the two ray paths at the mirror 7 it results that the two images in the viewing image plane have different brightnesses exhibit. In order to compensate for this, the illumination beam path is between the light source 10 and the splitter mirror 9 an adjustable polarization filter 11 inserted. By turning it, the same can be achieved Achieve brightness of the two images.

Auch ist es möglich, durch Anwendung von Polarisations— mitteln die beiden Strahlengänge unterschiedlich zu kennzeichnen.It is also possible to use polarization means to differentiate the two beam paths mark.

Claims

1.

Protection claims

Double lens to create two in the same field of view plane adjacent images, characterized in that two lenses (1, 2) on a housing (3) are stored and that the bundles of rays passing through the lenses on plane mirrors (4, 5, 6) a common splitter mirror (7) can be steered, which is followed by an eyepiece (8).

2. Double lens according to claim 1, characterized in that each lens (1 or 2) is rigidly connected to its associated deflection mirror (4 or 6) and that the distance between the two lenses (1, 2) is adjustable.

3 · Double lens according to claim 1 or 2, characterized in that that to reflect the light from an illumination source (10) in the observation beam path a partially transparent Mirror (9) is present.

4. Double lens according to claim 3, characterized in that between the illumination source (ΐθ) and mirror (9) an adjustable Polarizing filter (ii) is present.