DE1968343U

DE1968343U - Doppelobjektiv.

Info

Publication number: DE1968343U
Application number: DEL44499U
Authority: DE
Original assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Current assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date: 1967-04-18
Filing date: 1967-04-18
Publication date: 1967-09-14

Description

Doppelobjektiv

In verschiedenen Bereichen der Technik, vor allem aber bei der Herstellung von Halbleiter- und Mikroschaltungen auf fcopiertechnischem Wege werden Doppelobjektive benötigt, die es gestatten, gleichzeitig zwei Punkte eines Objektes, die etwa einen Abstand von 15 bis 50 mm haben können, gleichzeitig stark vergrößert zu betrachten. Diese Aufgabe stellt sich beim jeweiligen Ausrichten einer Maskenseheibe in Bezug auf eine Halbleiterscheibe.

Der Neuerung lag die Aufgabe zugrunde, ein hierfür geeignetes Doppelobjektiv zu schaffen.

Gegenstand der Neuerung ist ein Doppelobjektiv zum Erzeugen von zwei in der gleichen Sehfeldebene nebeneinander liegenden vergrößerten Bildern von Zielpunkten, die im Objekt so weit auseinanderliegen, daß sie nicht mehr von einem einzigen Objektiv gemeinsam abgebildet werden können. Das Doppelobjektiv zeichnet sich dadurch aus, daß zwei Objektive an einem Gehäuse gelagert sind und daß die durch die Objektive hindurchtretenden Strahlenbündel über Planspiegel auf einen gemeinsamen Teilerspiegel gelenkt werden, dem ein Okular naehgeschaltet ist. Jedes Objektiv ist mit dem ihm zugehörigen Umlenkspiegel starr verbunden und der Abstand zwischen den beiden Objektiven ist einstellbar* Zur Einspiegelung des beleuchtenden Lichtes ist im Beobachtungsstrahlengang ein Strahlenteiler vorhanden. Zwischen Beleuch-

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Patentabteilung Lü/GG

B 2415 14.4.1967.

tungsquelle und Spiegel kann sich ein einstellbares Polarisationsfilter befinden.

Wie in Fig.1 schematisch gezeigt, sind die beiden Objektive 1, 2 an einem Gehäuse 3 gelagert. In diesem befinden sich drei Planspiegel 4-6, welche die abbildenden Strahlenbündel der beiden Objektive auf einen Strahlenteiler in Form eines teildurchlässigen Spiegels 7 leiten, der die beiden Strahlenbündel vereinigt zum Okular leitet. Der Spiegel 4 ist mit dem Objektiv 1, der Spiegel 6 mit dem Objektiv 2 starr verbunden, so daß bei einer Abstandsänderung der beiden Objektive, welche zu diesem Zweck verschieblieh am Gehäuse 3 gelagert sind, die beiden Spiegel ebenfalls ihren Abstand zueinander entsprechend ändern. Dabei können die beiden Objektive bis zur gegenseitigen Berührung aneinander angenähert werden. Die Stellung der Spiegel 4, 6 im jeweiligen Strahlengang ist derart, daß im Sehfeld der Anordnung die Bilder des Doppelobjektivs nebeneinanderliegend erscheinen. Dem Spiegel 7 ist ein weiterer Strahlenteiler in Form eines teildurchlässigen Spiegels 9 nachgeschaltet, der in bekannter Weise zum Einspiegeln des Lichtes einer Lichtquelle 10 dient.

Fig.2 zeigt ein mögliches Objekt 20 mit Zielpunkten 21. Gestrichelt sind die von den Objektiven 1 und 2 erfaßten Objektbereiche eingezeichnet, die im gleichen okularen Sehfeld erscheinen.

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Durcia die ungleiche Behandlung der beiden Strahlengänge am Spiegel 7 ergibt es sich, daß die beiden Bilder in der Betrachtungsbildebene unterschiedliche Helligkeiten aufweisen. Um diese auszugleichen, ist in den Beleuchtungs· strahlengang zwischen die Lichtquelle 10 und den Teilerspiegel 9 ein einstellbares Polarisationsfilter 11 eingefügt. Durch Drehen desselben läßt sich eine gleiche Helligkeit der beiden Bilder erreichen.

Auch ist es möglich, durch Anwendung von Polarisations— mitteln die beiden Strahlengänge unterschiedlich zu kennzeichnen.

Claims

1.

Schutzansprüche

Doppelobjektiv zum Erzeugen von zwei in der gleichen Sehfeldebene nebeneinander liegenden Bildern, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Objektive (1, 2) an einem Gehäuse (3) gelagert sind und daß die durch die Objektive hindurchtretenden Strahlenbündel über Planspiegel (4, 5. 6) auf einen gemeinsamen Teilerspiegel (7) gelenkt werden, dem ein Okular (8) nachgeschaltet ist.

2. Doppelobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Objektiv (1 bzw. 2) mit dem ihm zugehörigen Umlenkspiegel (4 bzw. 6) starr verbunden ist und daß der Abstand zwischen den beiden Objektiven (1, 2) einstellbar ist.

3· Doppelobjektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Einspiegelung des Lichtes einer Beleuchtungsquelle (10) im Beobachtungsstrahlengang ein teildurchlässiger Spiegel (9) vorhanden ist.

4. Doppelobjektiv nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Beleuchtungsquelle (ΐθ) und Spiegel (9) ein einstellbares Polarisationsfilter (ii) vorhanden ist.