DE19613616A1 - Fremdmagazin-Transportvorrichtung eines Prüfgeräts für Halbleiterbausteine - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Fremdmagazin-Transportvor­ richtung eines Prüfgeräts für Halbleiterbausteine (-bauelemente) und insbe­ sondere eine Fremdmagazin-Transportvorrichtung zum Transpor­ tieren des Bausteine enthaltenden Fremdmagazins zu einer Stufe eines Laders/Entladers mit einer einzelnen Transport­ vorrichtung und gleichzeitigen Transportieren eines leeren Fremdmagazins zu einer Ablage des Laders/Entladers.

In Übereinstimmung mit den jüngsten Entwicklungen hin zu kleinen und leichten Komponenten wird auch die Dicke von Halbleiterbausteinen zunehmend dünner. Ein typischer Baustein ist ein TSOP (thin small outline package = Dünnbaustein mit kleinen Abmessungen).

Die Dicke des TSOP beträgt etwa 1 mm, und seine Leistung wird nach Produktionsabschluß in einem Handhabungsgerät ge­ prüft. Hat jedoch die Ober- oder Unterseite des TSOP einen Aufprall infolge rauher Handhabung während seines Transports zu einem Prüfverfahren im Handhabungsgerät erfahren, ver­ schlechtern sich die Bausteineigenschaften, wobei insbeson­ dere der Kompaktchip selbst beschädigt werden kann. Somit ist beim Transport des TSOP im Handhabungsgerät oder bei der Prü­ fung des TSOP in einem Prüfmagazin eine sorgfältige Behand­ lung notwendig, damit der TSOP keinen Aufprall erfährt.

Während des Transports des beladenen Prüfmagazins zwi­ schen den Verfahren wird der TSOP einer Prüfung seiner Eigen­ schaften unterzogen.

Die Bausteine befinden sich während des Transports zu den Verfahren in Fremdmagazinen aus Kunststoffmaterial und werden fortlaufend in die Ablage eines Laderabschnitts gela­ den. Derartige Fremdmagazine werden nacheinander abgetrennt und zur Stufe des Laderabschnitts transportiert.

Herkömmlich gilt, daß ein den Baustein enthaltendes Fremdmagazin oder ein keinen Baustein enthaltendes Fremdmaga­ zin nacheinander in die Ablage eines Laders/Entladers geladen werden.

In einem Zustand, in dem das den Baustein enthaltende Fremdmagazin geladen wird, wirkt ein im unteren Abschnitt der Ablage eingebauter Anschlag, um ein in der zweiten Position befindliches Fremdmagazin zu halten. Danach wird ein an der untersten Position befindliches Fremdmagazin von der Ablage abgetrennt und zur Stufe des Laderabschnitts mittels einer zusätzlichen Transporteinrichtung transportiert.

Nachdem alle im Fremdmagazin enthaltenen Bausteine gela­ den sind, wirkt außerdem eine weitere zusätzliche Transport­ einrichtung auf gleiche Weise, um das in der Stufe des Lader­ abschnitts befindliche leere Fremdmagazin zum untersten Ab­ schnitt der in einem Entladerabschnitt eingebauten Ablage zu schieben, um darin geladen zu werden.

Da jedoch das Fremdmagazin in der herkömmlichen Vorrich­ tung im unteren Abschnitt der Ablage abgetrennt oder geladen wird, erweitert sich der Bewegungsbereich der Transportein­ richtung zum Transportieren des abgetrennten Fremdmagazins. Damit wird die Einbaufläche der Vorrichtung groß, und es kommt zu Arbeitszeitverzögerungen infolge des folgegebundenen Betriebs der Transporteinrichtungen.

Zur Lösung dieser Probleme besteht eine Aufgabe der Er­ findung in der Bereitstellung einer Fremdmagazin-Transport­ vorrichtung zum Transportieren des den Baustein enthaltenden Fremdmagazins zur Stufe des Laderabschnitts und gleichzeiti­ gen Entladen des leeren Magazins in der Ablage des Entlader­ abschnitts, nachdem der Baustein von der Stufe des Laderab­ schnitts zum Prüfmagazin überführt wird, unter Verwendung ei­ ner einzelnen Transporteinrichtung.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Ansprüche ge­ löst.

Die erfindungsgemäße Fremdmagazin-Transportvorrichtung eines Prüfgeräts für Halbleiterbausteine weist insbesondere auf: einen Lader/Entladerabschnitt, in dem ein Fremdmagazin selektiv geladen/entladen wird; eine unter dem Lader/Entla­ derabschnitt befindliche Ablage, die mehrere Fremdmagazine enthält; ein Haltegerät zum Halten und Abtrennen des Fremdma­ gazins von der Ablage durch waagerechtes Bewegen zwischen dem Lader/Entladerabschnitt und der Ablage und selektives Bewegen zur Oberseite des Fremdmagazins; und eine Anordnungsplatte zum Hochfahren des Fremdmagazins vom Lader/Entladerabschnitt, wenn sich das Haltegerät von der Ablage durch waagerechte Be­ wegung trennt, nach Aufnehmen des durch das Haltegerät abge­ trennten Fremdmagazins.

Vorzugsweise weist in der Erfindung das Haltegerät auf: eine Fremdmagazin-Haltetafel, die sich waagerecht durch einen Schieber bewegt und bei Antrieb eines Zylinders hochfährt/herabfährt; eine Sperre, die drehbar eingebaut ist, um unter der Fremdmagazin-Haltetafel freigelegt zu werden, zum Halten beider Seiten des Fremdmagazins; und eine Sperrendreheinrich­ tung, die am oberen Abschnitt des Fremdmagazins eingebaut ist, zum Drehen der Sperre.

Die genannte Aufgabe sowie Vorteile der Erfindung gehen deutlicher aus der näheren Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform von ihr anhand der beigefügten Zeichnungen hervor. Es zeigen:

Fig. 1 eine Draufsicht als Veranschaulichung der Erfin­ dung;

Fig. 2 einen Senkrechtschnitt zum Erläutern des Betriebs der Erfindung; und

Fig. 3 eine Schnittansicht an der Linie A-A.

Eine Ablage 2 (Stapelmagazin, stacker) ist in eine Lader/Entlader 1 eingebaut. Im Inneren der Ablage 2 ist eine Hubplatte 4 zum Anheben ei­ nes Fremdmagazins 3 oder eines leeren Fremdmagazins 3a um ei­ nen Schritt (die Höhe eines Fremdmagazins) eingebaut, um bei Antrieb eines (nicht gezeigten) Linearmotors hochfahren/her­ abfahren zu können. Eine Schiebertafel 6 ist eingebaut, um sich waagerecht an einer waagerechten LM-Führung 7 entlang an einer Seitentafel 5 zu bewegen, die an der Rückseite des La­ ders/Entladers 1 eingebaut ist. Ein Ende einer Fremdmagazin- Haltetafel 10 zum Hochfahren/Herabfahren entlang einer senk­ rechten LM-Führung 9 mittels eines ersten Zylinders 8 ist mit der Schiebertafel 6 gekoppelt.

Die Ablage 2 ist so eingebaut, daß sie nach vorn zu ei­ nem Bediener an einer (nicht gezeigten) Führungsschiene ent­ lang vorragen kann, um so das Laden des Fremdmagazins 3 zu erleichtern. Beim Einschieben der Ablage 2 in den Mechanismus wird die Ablage 2 durch einen Arretierhebel 11 arretiert, da­ mit sie sich nicht in der Führungsschiene bewegt.

An der Unterseite der Fremdmagazin-Haltetafel 10 sind vier Sperren 12 zum Halten des Fremdmagazins 3 eingebaut. Die Sperren 12 drehen sich gleichlaufend mittels einer (nicht ge­ zeigten) Sperrendreheinrichtung, und jede Sperre wird in eine Sperrnut 3b eingefügt, die auf beiden Seiten des Fremdmaga­ zins 3 ausgebildet ist. Eine Anordnungsplatte 13 zum Hochfah­ ren/Herabfahren mittels eines an einer Stütztafel 14 befe­ stigten dritten Zylinders 15 ist senkrecht unter der Fremdma­ gazin-Haltetafel 10 eingebaut. Die Anordnungsplatte 13 dient zum Freilegen des Fremdmagazins 3 über jeder Stufe durch eine Öffnung 1a, die zwischen dem senkrecht unteren Abschnitt der Haltetafel 10 und jeder Stufe des Laders/Entladers 1 ausge­ bildet ist. Ein Ende der Anordnungsplatte 13 ist an einer Stange des dritten Zylinders 15 gemäß Fig. 3 befestigt.

Die Dreheinrichtung der Sperre 12, die drehbar an der Unterseite der Fremdmagazin-Haltetafel 10 angebaut ist, ent­ spricht Fig. 1. Ein Schieber 17 ist mit einer LM-Führung 16 gekoppelt, die am oberen Abschnitt der Fremdmagazin-Halteta­ fel 10 befestigt ist. Bei Antrieb eines zweiten Zylinders 18 bewegt sich der Schieber 17 waagerecht und wird dabei durch die LM-Führung 16 geführt. An beiden Enden des Schiebers 17 ist ein erstes Verbindungsglied 19 angebaut, in dem ein Lang­ loch 19a ausgebildet ist, das senkrecht zur Bewegungsrichtung des Schiebers 17 verläuft. Ein an beiden Enden des Schiebers 17 ausgebildeter Vorsprung 17a ist in das Langloch 19a einge­ fügt, und beide Enden des ersten Verbindungsglieds 19 sind durch einen Stift 21 gelenkig mit einem zweiten Verbindungs­ glied 20 gekoppelt, das an der Sperre 12 befestigt ist. Bei waagerechter Bewegung des Schiebers 17 unter Führung des LM- Schiebers 16 durch Antrieb des zweiten Zylinders 18 läuft da­ durch das erste Verbindungsglied 19 um, um so das zweite Ver­ bindungsglied 20 zu drehen, an dem die Sperre 12 befestigt ist.

Am oberen Abschnitt der Fremdmagazin-Haltetafel 10 ist ein Stück 22 befestigt, das gemäß Fig. 2 nach unten gefaltet ist. Im Inneren jedes Stücks 22 ist ein erster Sensor 23 zum Erfassen des Fremdmagazins 3 befestigt. Ein zweiter Sensor 24 zum Erfassen des auf der Anordnungsplatte 13 geladenen Fremd­ magazins 3 ist an der Stütztafel 14 befestigt, die sich an einem Anordnungspunkt der Anordnungsplatte 13 befindet, der eine Halteposition des Fremdmagazins 3 ist. Dies dient zum Steuern des Antriebs des ersten und dritten Zylinders 8 und 15 durch Erfassen des Herabfahrens der Fremdmagazin-Halteta­ fel 10 und der Anordnungsplatte 13.

Zwischen der Fremdmagazin-Haltetafel 10 und dem ersten Verbindungsglied 19 ist ein elastisches Teil 25 verbunden, z. B. eine Zugfeder. Diese dient zum stabileren Drehen der Sperre 12 in das Innere einer Sperrnut 3b des Fremdmagazins 3, wenn eine Stange des zweiten Zylinders 18 gemäß der Dar­ stellung auf der rechten Seite in Fig. 1 zurückfährt.

Möglich ist, an der Schiebertafel 6 eine Fremdmagazin- Haltetafel 10 zum Halten eines leeren Fremdmagazins 3a anzu­ bauen, das auf das Fremdmagazin 3 oder die Anordnungsplatte 13 gesetzt ist, die in der Ablage 2 geladen sind, was vorste­ hend erwähnt wurde. Eine Entfernung des auf die Anordnungs­ platte 13 gesetzten leeren Fremdmagazins 3a (ein leeres Fremdmagazin, aus dem alle Bausteine geladen wurden), bevor das von der Ablage 2 gehaltene Fremdmagazin 3 auf die Anord­ nungsplatte 13 geladen wird, ist jedoch rationeller. Somit sind in einer Ausführungsform der Erfindung zwei Fremdmaga­ zin-Haltetafeln 10a und 10b eingebaut, und gleichzeitig kann jede Fremdmagazin-Haltetafel einzeln betrieben werden. Das heißt, Laden und Entladen des Fremdmagazins 3 kann gleichlau­ fend erfolgen.

An der Unterseite der Fremdmagazin-Haltetafel 10 ist ein Positionsbestimmungsstift 26 befestigt, um eine Position des auf der Ablage 2 und der Anordnungsplatte 13 befindlichen Fremdmagazins 3 zu bestimmen, bevor die das Fremdmagazin 3 haltende Sperre 12 befestigt wird. Beim Halten des Fremdmaga­ zins 3 kann daher die Sperre 12 genau in die auf beiden Sei­ ten des Fremdmagazins 3 ausgebildete Sperrnut 3b eingefügt werden.

Im folgenden werden der Betrieb und die Auswirkungen der Erfindung mit dem vorgenannten Aufbau beschrieben.

Zunächst werden in einem Zustand, in dem die Ablage 2 nach vorn zu einem Bediener durch Lösen des Arretierhebels 11 der Ablage 2 gemäß Fig. 3 gezogen ist, Bausteine enthaltende Fremdmagazine 3 nacheinander in die Ablage 2 geladen, und an­ schließend wird die herausgezogene Ablage zurückgeschoben und durch den Arretierhebel 11 arretiert.

Bis das oberste Fremdmagazin 3 in der Ablage 2 durch ei­ nen (nicht gezeigten) Sensor erfaßt wird, fährt danach die Hubplatte 4 durch Antrieb des Linearmotors hoch. Bei Stoppen des Linearmotorantriebs stoppt das Hochfahren der Hubplatte 4, und gleichlaufend wird die Schiebertafel 6 zum oberen Ab­ schnitt des in der Ablage 2 geladenen Fremdmagazins 3 an der an der Seitentafel 5 befestigten waagerechten LM-Führung 7 entlang transportiert. Danach stoppt ihr Transport an einer Position, an der die Fremdmagazin-Haltetafel 10a auf einer Seite der Schiebertafel 6 mit dem Fremdmagazin 3 überein­ stimmt.

Während dieser Bewegung wird die mit der Schiebertafel 6 einarmig gekoppelte Fremdmagazin-Haltetafel 10a durch den er­ sten Zylinder 8 an der obersten Position angeordnet, was im linken Abschnitt von Fig. 2 gezeigt ist. Die an der Stange des dritten Zylinders 15 einarmig befestigte Anordnungsplatte 13 sitzt an der Unterseite des Laders/Entladers 1, was durch eine punktierte Linie auf der rechten Seite von Fig. 2 und 3 gezeigt ist. Somit verursacht das in der Ablage 2 geladene Fremdmagazin 3 keine Störung sonstiger Vorrichtungen (obwohl die Fremdmagazin-Haltetafel 10a der rechten Zeichnungsseite ebenfalls in der obersten Position positioniert ist, ist die Haltetafel zur Erläuterung des Betriebszustands in der Posi­ tionierung an der untersten Position gezeigt).

In einem Zustand, in dem sich die Fremdmagazin-Halteta­ fel 10a einer Seite (der rechten Seite in Fig. 2) senkrecht über dem Fremdmagazin 3 befindet, wird die Fremdmagazin-Hal­ tetafel 10a durch Betrieb des ersten Zylinders 8 gezogen. Da­ bei fährt die Fremdmagazin-Haltetafel 10a unter Führung durch die senkrechte LM-Führung 9 herab. Die Fremdmagazin-Halteta­ fel 10a fährt herab, bis der am Stück 22 befestigte Sensor 23 das auf die Anordnungsplatte 13 gesetzte Fremdmagazin 3 er­ faßt, d. h., sie fährt in den auf der rechten Seite von Fig. 2 veranschaulichten Zustand herab. Befindet sich beim Herab­ fahren der Fremdmagazin-Haltetafel 10a gemäß der vorstehenden Beschreibung die Sperre 12 in der gleichen waagerechten Ebene wie die am Fremdmagazin 3 ausgebildete Sperrnut 3b, wird die Position des Fremdmagazins 3 durch den Positionsbestimmungs­ stift 26 genau korrigiert, der an der Unterseite der Fremdma­ gazin-Haltetafel 10a befestigt ist.

Ferner ist an der Unterseite der Fremdmagazin-Haltetafel 10a ein (nicht gezeigter) Vorsprung so ausgebildet, daß er der Mitte jedes Fremdmagazinraums entspricht, und somit be­ rührt der Vorsprung die Oberseite der im Raum enthaltenen Bausteine. Dadurch bewegen sich die Bausteine nicht im Raum des Fremdmagazins in einem Zustand, in dem das Fremdmagazin 3 gehalten wird.

Wird in einem solchen Zustand der Schieber 17 durch die Wirkung des an der Oberseite der Fremdmagazin-Haltetafel 10a befestigten zweiten Zylinders 18 gezogen, wird das mit beiden Seiten des Schiebers 17 gekoppelte erste Verbindungsglied 19 in eine Pfeilrichtung gemäß Fig. 1 bewegt. Da das an der Sperre 12 befestigte zweite Verbindungsglied 20 durch den Stift 21 an beiden Enden des ersten Verbindungsglieds 19 ge­ lenkig gekoppelt ist und der an beiden Enden des Schiebers 17 ausgebildete Vorsprung 17a in das im ersten Verbindungsglied 19 ausgebildete Langloch 19a eingefügt ist, wird das zweite Verbindungsglied 20 gedreht, wenn das erste Verbindungsglied 19 umläuft. Dadurch wird die Sperre 12, die sich außerhalb der am Fremdmagazin 3 ausgebildeten Sperrnut 3b befindet, nach innen in die Sperrnut 3b gedreht. Folglich wird ein Fremdmagazin 3 gehalten, das sich am obersten Abschnitt der Ablage 2 befindet.

Bei Bewegung des ersten Verbindungsglieds 19 in die Pfeilrichtung gemäß der vorstehenden Beschreibung wird das erste Verbindungsglied 19 stabil durch eine Rückstellkraft des elastischen Teils 25 bewegt, das in ausgezogenem Zustand zwischen der Fremdmagazin-Haltetafel 10a und dem ersten Ver­ bindungsglied 19 verbunden ist.

Nachdem ein am oberen Abschnitt der Ablage 2 angeordne­ tes Fremdmagazin 3 durch die mit der Fremdmagazin-Haltetafel 10a gekoppelte Sperre 12 gehalten wird, arbeitet der erste Zylinder 8, um die Fremdmagazin-Haltetafel 10a an der ober­ sten Position anzuordnen. Damit ist die Abtrennung des Fremdmagazins 3 von der Ablage 2 abgeschlossen.

Da der an der Stütztafel 14 befestigte dritte Zylinder 15 betrieben wird, während die Schiebertafel 6 an der waage­ rechten LM-Führung 7 entlang zu einem Seitenabschnitt bewegt wird, an dem das Hoch- und Herabfahren der Anordnungsplatte 13 nach der vorstehend beschriebenen Abtrennung des Fremdma­ gazins 3 nicht gestört wird, fährt die eng an die Unterseite des Laders/Entladers 1 angefügte Anordnungsplatte 13 herab. Die Anordnungsplatte 13 fährt herab, bis der auf beiden Sei­ ten der Stütztafel 14 befestigte Sensor 24 das auf die Anord­ nungsplatte 13 gesetzte leere Fremdmagazin 3a erfaßt.

Beim Eintreffen der Anordnungsplatte 13 an der untersten Position wird die zum Seitenabschnitt bewegte Schiebertafel 6 an der waagerechten LM-Führung 7 entlang transportiert. Da­ durch wird die Fremdmagazin-Haltetafel 10b am Seitenabschnitt ohne Halten eines Fremdmagazins 3 senkrecht über dem leeren Fremdmagazin 3a positioniert.

Anschließend fährt auf die vorgenannte Weise die Fremd­ magazin-Haltetafel 10b herab und hält das leere Fremdmagazin 3a, das auf der Anordnungsplatte 13 durch die Sperre 12 ange­ ordnet ist, und fährt anschließend durch Antrieb des ersten Zylinders hoch, um so in der obersten Position positioniert zu sein.

Nachdem das leere Fremdmagazin 3a durch die Fremdmaga­ zin-Haltetafel 10a an dem einem Seitenabschnitt gehalten ist, wird die Schiebertafel 6 um einen Schritt zu einem Seitenab­ schnitt bewegt und stoppt danach die Bewegung. Dabei wird die Fremdmagazin-Haltetafel 10a, die das Fremdmagazin 3 mit den Bausteinen hält, am oberen Abschnitt der Anordnungsplatte 13 angeordnet.

Anschließend wird die Fremdmagazin-Haltetafel 10a an der untersten Position unter Antrieb durch den ersten Zylinder 8 positioniert, und gleichzeitig wird der Schieber 17 unter An­ trieb durch den zweiten Zylinder 18 vorwärts bewegt. Die ge­ radlinige Wirkung des Schiebers 17 wird durch das erste und zweite Verbindungsglied 19 und 20 in eine Drehwirkung umge­ wandelt, um dadurch die Sperre 12 zu drehen. Folglich wird das gehaltene Fremdmagazin 3 gelöst und wird auf den oberen Abschnitt der Anordnungsplatte 13 gesetzt.

Nachdem sich das in der Ablage 2 geladene Fremdmagazin 3 auf diese Weise auf der Oberseite der Anordnungsplatte 13 be­ findet, wird die Fremdmagazin-Haltetafel 10a an der obersten Position durch Antrieb durch den ersten Zylinder 8 positio­ niert, und gleichzeitig wird die Schiebertafel 6 an der waa­ gerechten LM-Führung 7 entlang zu einem Seitenabschnitt be­ wegt, an dem das Hochfahren der Anordnungsplatte 13 nicht gestört wird.

Bei Bewegung der Schiebertafel 6 zu dem einen Seitenab­ schnitt gemäß der vorstehenden Beschreibung wird die Anord­ nungsplatte 13 an der obersten Position durch Antrieb durch den dritten Zylinder 15 positioniert, so daß sie eng die Un­ terseite des Laders/Entladers 1 berührt. Hierbei wird das auf die Anordnungsplatte 13 gesetzte Fremdmagazin über der Ober­ seite jeder Stufe durch die Öffnung 1a des Laders/Entladers 1 freigelegt. Die Bausteine werden aus dem freigelegten Fremd­ magazin durch eine Greifeinrichtung entnommen, um in den Raum des Prüfmagazins bewegt zu werden.

Ferner wird das durch die Fremdmagazin-Haltetafel 10b an einem Seitenabschnitt gehaltene leere Fremdmagazin 3a an der waagerechten LM-Führung 7 entlang zum oberen Abschnitt der Ablage 2 als leeres Fremdmagazin des Entladerabschnitts transportiert. Das transportierte leere Fremdmagazin wird in der Ablage 2 gestapelt. Die Fremdmagazin-Haltetafel 10b, die das leere Fremdmagazin 3a entladen hat, kehrt zum Ausgangszu­ stand zurück, wodurch ein kontinuierlicher Transportablauf des Fremdmagazins 3 möglich ist.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung wird in der Erfin­ dung das in der Ablage des Laderabschnitts geladene Fremdma­ gazin fortlaufend zur Stufe des Laderabschnitts bewegt, und gleichzeitig wird das in der Stufe des Laderabschnitts be­ findliche leere Fremdmagazin zur Ablage des Entladerab­ schnitts transportiert. Somit verringert sich die Zykluszeit beim Transportieren des Fremdmagazins, und die Produktivität steigt. Ferner ist der Aufbau selbst vereinfacht, und der Vorrichtungsraum läßt sich maximal ausnutzen.

Claims (6)

1. Fremdmagazin-Transportvorrichtung eines Prüfgeräts für Halbleiterbausteine mit:
einem Lader/Entladerabschnitt, in dem ein Fremdmagazin selektiv geladen/entladen wird;
einer unter dem Lader/Entladerabschnitt befindlichen Ab­ lage, die mehrere Fremdmagazine enthält;
einem Haltegerät zum Halten und Abtrennen des Fremdmaga­ zins von der Ablage durch waagerechtes Bewegen zwischen dem Lader/Entladerabschnitt und der Ablage und selekti­ ves Bewegen zu der Oberseite des Fremdmagazins; und
einer Anordnungsplatte zum Hochfahren des Fremdmagazins von dem Lader/Entladerabschnitt, wenn sich das Haltege­ rät von der Ablage durch waagerechte Bewegung trennt, nach Aufnehmen des durch das Haltegerät abgetrennten Fremdmagazins.

2. Fremdmagazin-Transportvorrichtung eines Prüfgeräts für Halbleiterbausteine nach Anspruch 1, wobei das Haltege­ rät aufweist:
eine Fremdmagazin-Haltetafel, die sich waagerecht durch einen Schieber bewegt und bei Antrieb eines Zylinders hochfährt/herabfährt;
eine Sperre, die drehbar eingebaut ist, um unter der Fremdmagazin-Haltetafel freigelegt zu werden, zum Halten beider Seiten des Fremdmagazins; und eine Sperrendreheinrichtung, die an dem oberen Abschnitt des Fremdmagazins eingebaut ist, zum Drehen der Sperre.

3. Fremdmagazin-Transportvorrichtung eines Prüfgeräts für Halbleiterbausteine nach Anspruch 2, wobei die Sperren­ dreheinrichtung aufweist:
einen Schieber, der gekoppelt ist, um sich waagerecht an einer LM-Führung entlang bewegen zu können, die an dem oberen Abschnitt der Fremdmagazin-Haltetafel befe­ stigt ist;
einen zweiten Zylinder, der an dem oberen Abschnitt der Fremdmagazin-Haltetafel befestigt ist, zum Bewegen des Schiebers;
ein erstes Verbindungsglied, das eingebaut ist, um zu­ sammen mit dem Schieber an beiden Enden des Schiebers hin- und herbewegt zu werden; und
ein zweites Verbindungsglied, dessen eines Ende mit dem ersten Verbindungsglied gelenkig gekoppelt ist und des­ sen anderes Ende an der Sperre befestigt ist, wobei die Sperre gedreht wird, während sich der Schieber an der LM-Führung entlang durch Antrieb des zweiten Zylinders bewegt.

4. Fremdmagazin-Transportvorrichtung eines Prüfgeräts für Halbleiterbausteine nach Anspruch 3, wobei ein elasti­ sches Teil zwischen der Fremdmagazin-Haltetafel und dem ersten Verbindungsglied verbunden ist.

5. Fremdmagazin-Transportvorrichtung eines Prüfgeräts für Halbleiterbausteine nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei mehrere Positionsbestimmungsstifte zum Bestimmen der Position des Fremdmagazins, wenn das Fremdmagazin gehalten wird, an der Unterseite der Fremdmagazin-Halte­ tafel befestigt sind.

6. Fremdmagazin-Transportvorrichtung eines Prüfgeräts für Halbleiterbausteine nach einem der Ansprüche 1 bis 5, ferner mit:
einer Anordnungsplatte zum Abwärtsbewegen des Fremdmaga­ zins, nachdem die Arbeit in dem Lader/Entladerabschnitt abgeschlossen ist; und
einer Haltevorrichtung zum waagerechten Bewegen zu einem Abschnitt, in dem die Anordnungsplatte nicht gestört wird, nachdem das Fremdmagazin gehalten und von der An­ ordnungsplatte abgetrennt ist, in Abtrennung von der Ab­ lage und anschließender Annäherung an die Ablage, um das Fremdmagazin auf der Ablage zu laden.