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DE19612825A1 - Wälzlager, insbesondere Radlager für Kraftfahrzeuge - Google Patents

Wälzlager, insbesondere Radlager für Kraftfahrzeuge

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DE19612825A1
DE19612825A1 DE19612825A DE19612825A DE19612825A1 DE 19612825 A1 DE19612825 A1 DE 19612825A1 DE 19612825 A DE19612825 A DE 19612825A DE 19612825 A DE19612825 A DE 19612825A DE 19612825 A1 DE19612825 A1 DE 19612825A1
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rolling bearing
bearing according
acceleration
sensors
bearing
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DE19612825A
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Josef Prof Dr Rer Nat Binder
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FAG Automobiltechnik AG
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Description

Die Erfindung betrifft ein Wälzlager nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Wälzlager mit Sensoren sind in vielen Ausführungen bekannt, so zeigt die DE 37 35 070 A1 ein Wälzlager mit Impulsring zur Drehzahlerfassung. Die EP 0 432 122 A3 zeigt eine Radlagerung für Kraftfahrzeuge mit einer Kraftmeßeinrichtung. Aus der DE 42 39 828 A1 ist eine Naben- und Lager­ anordnung mit integriertem Drehsensor und Temperaturmessung bekannt.
Zur aktiven Fahrzeugstabilisierung eines Automobils ist eine Vielzahl von Pa­ rametern zu erfassen, die den augenblicklichen Zustand des Fahrzeuges be­ schreiben und als Eingangsparameter für Regelsysteme dienen.
Dabei ist die Messung von direkten Meßgrößen von Vorteil. Zu diesen Größen zählen Brems- und Antriebskräfte (Lateralkräfte), die Raddrehzahl, die Winkel­ beschleunigung sowie seitliche, auf das Chassis wirkende Kräfte. Das Radla­ ger stellt aufgrund der Kraftübertragung von der Straße auf das Chassis des Fahrzeuges eine ideale Meßstelle zur Erfassung von Kräften und Beschleuni­ gungen dar. Die Messung der Winkelbeschleunigung am rotierenden Teil so­ wie die der Lateralbeschleunigung, die durch Antriebs- oder Bremsvorgänge gegeben ist, ermöglicht eine indirekte Bestimmung des Schlupfes, eine der wichtigen Meßgrößen beim Antiblockiersystem, der Antischlupfregelung und der dynamischen Fahrwerkstabilisierung.
Ein für die Messung der genannten Größen vorgesehenes Sensorsystem kann sowohl in die Radlager der getriebenen Räder als auch der nicht-getriebenen Räder integriert werden und somit als intelligentes Subsystem in das Automobil eingebaut werden.
Im Rahmen von Antiblockier- oder Antischlupfregelsystemen kommen derzeit als sensorische Komponenten passive oder aktive Sensoren zur Messung der Raddrehzahl zum Einsatz. Ferner sind zukünftige integrierte kostengünstige Sensoren für die Giermomenterfassung vorgesehen (siehe Zeitschrift Elektro­ nik 13/1995 Seite 34 und 36), wobei das bei einem Schleudervorgang auftre­ tende Giermoment mit dem Lenkradeinschlag verglichen wird.
Die direkte Aufnahme von Lastkollektiven, also z. B. von Kräften im Radlager sowie des Reibwertes Reifen und Fahrbahn konnte bislang nur mit Hilfe teurer Meßsysteme, die an Prototypen zum Einsatz kommen, realisiert werden.
In diesem Zusammenhang ist eine Mehrkomponenten-Radnabe zu erwähnen, wobei Kräfte und Momente mit einer relativ aufwendigen und teuren Dehnungs­ meßstreifen-(Dms-)Applikation verbunden mit aufwendiger Signalverarbeitung und Meßwertübertragung aufgenommen werden.
Bekannt ist auch ein sog. Meßradsystem, welches ebenfalls die im Radlager auftretenden Kräfte indirekt über Kraftmeßdosen auf DMS-Basis mißt.
Andere Meßsysteme ermöglichen die Messung des Reibwertes zwischen Rei­ fen und Fahrbahn dadurch, daß kleinste Permanentmagnete in den Reifen ein­ vulkanisiert werden und die durch den Brems- oder Beschleunigungsvorgang gegebene Magnetfeldänderung mittels Hallsensoren detektiert wird.
Allen Systemen sind ein hoher Aufwand und somit hohe Kosten gemeinsam, so daß die Anwendung als Serienprodukt nicht in Frage kommt.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Wälzlagers, das zuverlässig die verschiedenen Parameter, welche an dem Lager vorliegen erfaßt und einer Auswertung zugänglich macht, wobei eine platz- und kostengünstige Konstruk­ tion verwirklicht werden soll.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt mit den im kennzeichnenden Teil des An­ spruchs 1 angegebenen Merkmalen. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Ansprüchen 2-14 angegeben.
Mit Hilfe des vorgeschlagenen Sensorsystems können im Radlager Lateralkraft und -beschleunigung, die Winkelbeschleunigung sowie die Raddrehzahl erfaßt werden. Das System besteht aus Mikrokomponenten, die mit Verfahren der Mikrosystemtechnik kostengünstig hergestellt werden und somit als Serienpro­ dukt in allen 4 Rad lagern des Fahrzeuges eingesetzt werden können.
Die Grundidee der Erfindung besteht darin, daß Mikrosensoren in Form von Mikroschalter-Arrays im rotierenden Teil des Radlagers und optional im stati­ schen Teile des Radlagers eingebaut werden. Kräfte und Beschleunigungen sowie die Drehzahl wird durch einen Mikrosensor, der am beweglichen Teil des Radlagers (z. B. an der Staubschmutzmanschette) angebracht ist, gemessen. Diese Daten werden mit elektronisch abgespeicherten Grundmustern oder mit einem gleichartigen oder ähnlichen Mikrosensor, der am festen Teil des Radla­ gers angebracht ist, verglichen. Die Mikrosensoren bestehen aus einem in Mi­ krotechnologie gefertigten Array von beweglichen Biegebalkensystemen, die sich lateral gegen zwei oder mehrere mechanische Anschläge unter Kraftein­ fluß bewegen lassen.
Die Energieversorgung sowie die Signalübertragung muß beim rotierenden System zwingend mittels Telemetrie, z. B. durch induktive Kopplung, erfolgen, wobei beim statischen System wahlweise Telemetrie oder Kabelübertragung eingesetzt werden kann. Die induktive Kopplung erfolgt mittels Spulen, die in einigen vorgeschlagenen Appliktionen aus galvanisch abgeschiedenen und mikrostrukturierten Planarspulen bestehen können.
Durch den Vergleich der Signale von jeweils in 4 Radlagern eingebauten Mi­ krosensoren mit den Signalen der statischen Mikrosensoren können prinzipiell folgende für Brems-, Antischlupf- und Fahrwerkregelungssysteme relevanten Größen erfaßt werden:
  • - Raddrehzahl
  • - Lateralkräfte (Brems- und Antriebskräfte)
  • - Lateralkräfte am statischen Teil des Radlagers
  • - Tagentialkraft, d. h. Winkelbeschleunigung am rotierenden System
  • - Durch Vergleich der Lateralbeschleunigung mit der Winkelbeschleunigung indirekte Erfassung des Schlupfes
  • - Seitenkräfte
Prinzipiell kann der rotierende Mikrosensor zur Raddrehzahlmessung verwen­ det werden, wobei dies bis zur Fahrzeuggeschwindigkeit v = 0 möglich ist. Da­ durch entfällt der Einsatz passiver und aktiver Magnetfeldsensoren sowie der Einsatz entsprechender passiver und aktiver Encoder.
Der Mikrosensor besteht aus einem Array von Mikrobiegebalken, die mittels galvanischer Abscheideverfahren und Mikrostrukturierungstechniken auf einem Siliziumchip realisiert sind. Mikroschalter-Array und Herstellungsverfahren sind in der Patentanmeldung P 44 11 130.4 beschrieben.
Neuartig ist jedoch der Einsatz dieses Mikrochips innerhalb eines rotierenden Systems im Radlager sowie verschiedene Designvarianten, die die Messung oben genannter Größen erst ermöglichen.
Die lateral schwingenden Arrays von Mikrobiegebalken weisen verschiedene Eigenschaften auf. So können unterschiedliche Schaltschwellen zum einen durch den Abstand der Anschläge von Biegebalken, zum anderen durch die Dimensionen der Biegebalken beeinflußt und definiert werden.
Weitere Parameter, die das Mikroschalter-Array beschreiben, sind die Schalt­ zeit, die Empfindlichkeit, die Resonanzfrequenz, die Schaltschließdauer und die Dämpfung.
Auf einem 4 × 4 mm² großen Siliziumchip sind bis zu 50 Biegebalken integrier­ bar. Bei einem dynamischen Vorgang wird (unter Einfluß von Kräften und Mo­ menten) eine bestimmte Anzahl von Biegebalken einen elektrischen Kontakt schließen, die restliche Menge bleibt offen.
Handelt es sich um schwache Kräfte, dann werden nur wenige Mikrobiegebal­ ken ihre Fühlersignale (Anschläge) liefern, bei starken Kräften aber entspre­ chend mehr Mikrobiegebalken. Damit entsteht ein digitales Wort, das den au­ genblicklichen dynamischen Zustand des Systems beschreibt. Während eines Brems- oder Beschleunigungsvorganges erzeugen die verschiedenen Phasen laufend verschiedene Muster von Fühlersignalen (bzw. verschiedene digitale Wörter).
Dabei sind mehrere Varianten eines Mikrosensors im rotierenden Teil des Radlagers möglich. Variante 1 weist eine symmetrische Struktur auf, wobei Abmessungen und Schaltschwelle aller Mikrobiegebalken gleich dimensioniert sind. Dieses System kann in der Mitte der Radnabe appliziert werden, wobei die Signalübertragung mittels einer gegenüber dem Mikrochip angebrachten Mikrospule induktiv erfolgen soll. Auf die rosettenartig angeordneten Biegebal­ ken wirken 4 Kräfte, nämlich die Lateralkraft, die durch die Winkelbeschleuni­ gung bedingte Tangentialkraft, die radial gerichtete Zentrifugalkraft sowie die Erdanziehung. Bei "kräftefreier Fahrt" (Brems- und Antriebskräfte gleich Null) wirkt je nach aktueller Position des Mikrochips die Erdanziehung, was bei Be­ trachtung eines Balkens zu einer sinusförmige Auslenkung führt.
Bei einer Anordnung mehrerer (bis zu 50) Biegebalken ergibt sich bei rotieren­ der kräftefreier Bewegung ein digitales Wort, das durch die erdanziehungsbe­ dingte Auslenkung der Biegebalken gegeben ist.
Durch den Einfluß der bei einem Brems- oder Beschleunigungsvorgang auftre­ tenden Kräfte wird nun das "Schaltmuster" und somit das digitale Wort modifi­ ziert. Die Tangentialkraft als Folge der Winkelbeschleunigung bewirkt für eine Hälfte der Biegebalken eine positive Überlagerung der Erdanziehung und der Tangentialkraft, für die andere Hälfte eine negative Überlagerung. In dem ent­ sprechenden Schaltmuster bedeutet dies eine effektive Anhebung des Si­ nussignals gegenüber der Schaltschwelle.
Es muß nun noch die Lateralkraft vektoriell addiert werden, die zu einer "Phasenverschiebung" des Schaltbildes führt. Mit Hilfe dieses Chips können grundsätzlich die Lateralkraft (-beschleunigung), die Tangentialkraft (Winkelbeschleunigung) sowie die Drehzahl (über die Frequenz des Musters) ermittelt werden.
Damit sind die folgenden systemspezifischen Vorteile gegeben:
  • 1. Die Drehzahlmessung, die bis zu v = 0 möglich ist, macht herkömmliche Systeme auf der Basis passiver oder aktiver Magnetfeldsensoren und entsprechende Encoder obsolet. Damit ergibt sich ein Kosteneinspa­ rungspotential.
  • 2. Die Erfassung der Lateralbeschleunigung und Winkelbeschleunigung kann an allen 4 Lagern durchgeführt werden, so daß dadurch eine "indirekte Messung" des Schlupfes möglich ist, ohne daß ein weiterer Mi­ krosensor im statischen Teil des Radlagers erforderlich wäre.
Ein Problem bei konzentrischem Einbau des Mikrochips liegt verglichen mit der auftretenden Lateralbeschleunigung und Erdbeschleunigung in der geringen Winkelbeschleunigung. Das macht eine hohe Genauigkeit und eine hohe Überlastfestigkeit des Mikroschalter-Arrays erforderlich.
Dieses Problem läßt sich durch den Einbau des Chips auf einen Ring (z. B. in der Staubschutzmanschette) des Radlagers beheben, bei dem aufgrund des großen Abstandes zum Rotationsmittelpunkt die Winkelbeschleunigung um mindestens eine Größenanordnung höher ist, als in dem vorher beschriebenen Fall.
Eine mögliche Designvariante des Mikrochips in der genannten Applikation ergibt sich, wenn ein Chip aus zwei Array-Anordnungen besteht, die jeweils parallel und senkrecht zur radial wirkenden Zentrifugalkraft angeordnet sind. Beim parallel angeordneten Array führen während des Umlaufs lediglich Late­ ral- und Winkelbeschleunigung zu einer Auslenkung der Biegebalken, während die Zentrifugalkraft ohne Einfluß bleibt. Das senkrecht angeordnete Array er­ faßt über die Zentrifugalkraft die Raddrehzahl.
An der empfindlichen "Parallel Array"-Anordnung wirken die Lateralkraft (-be­ schleunigung), die Tangentialkraft (Winkelbeschleunigung) sowie die Erdan­ ziehung. Im kraftfreien Zustand ergibt sich somit wieder das Grundmuster eines digitalen Wortes. Lateralbeschleunigung und Winkelbeschleunigung führen zu einer Änderung des Wortmusters. Im Unterschied zu Einbauvariante 1 (Mitte der Radnabe) ist jedoch, bedingt durch den Radius des Rings (Einbauort des Mikrosensors), die Winkelbeschleunigung wesentlich größer, so daß vergli­ chen mit der Lateralkraft und Erdbeschleunigung eine ausreichende Meßge­ nauigkeit bei der Erfassung der Winkelbeschleunigung vorliegt.
Zur Erhöhung der Genauigkeit und unter dem Aspekt einer möglichst einfachen und kostengünstigen Datenübertragung am Mittelpunkt der Radnabe wird ein analoges System in Form einer Differentialkondenstoranordnung vorgeschla­ gen.
Diese Variante zeigt einen in Galvanik-/Additivtechnik hergestellte "spiralenförmige" Drehkondensator, der ähnlich einer Uhrenmechanik zu Torsi­ onsbewegungen angeregt werden kann. Diese Struktur stellt im Prinzip einen Drehmomentsensor dar, der - appliziert am Mittelpunkt der Radnabe - Winkel­ beschleunigungen aufnehmen kann. Der Signalabgriff erfolgt dabei mittels ei­ ner Differentialkondensatorenanordnung. Die Drehmomenterfassung ist bei dieser Variante weitgehend unabhängig von der Lateralbeschleunigung und der Erdbeschleunigung, zudem ist eine relativ einfache Kompensation vibrati­ onsbedingter Störeffekte möglich.
Grundsätzliche Vorteile des Mikrosensorsystems liegen zum einen in sy­ stemspezifischen Vorteilen sowie in technologiebedingten und kostenspezifi­ schen Vorteilen. Zum erstgenannten Bereich zählen die einfache Applizierbar­ keit der Mikrosensoren (im Vergleich zu herkömmlichen DMS-Strukuren), die direkte digital Datenerfassung (mechanischer A/D-Wandler), der durch das Sensorprinzip bedingte geringe Leistungsverbrauch sowie die hohe elektromagnetische Verträglichkeit. Zu den technologie- und kostenspezifi­ schen Vorteilen zählen die einfache Integration des Mikroschalter-Arrays mit einem Auswerte-IC, dem Telemetriechip sowie mit der Mikrospule mittels gal­ vanischer Additivtechnik.
Die Erfindung soll an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.
Es zeigt:
Fig. 1 einen Querschnitt durch ein Wälzlager, das mit einem auf der Dichtung angeordneten Mikrosensor versehen ist.
Fig. 2 die Vorderansicht des Wälzlagers nach Fig. 1.
Fig. 3 die Einzelheit X von Fig. 2, nämlich den Mikrosensor.
Fig. 4 schematisch die an den Biegebalken angreifenden Kräfte bzw. Be­ schleunigungen, wenn der Mikrosensor auf der Dichtung des Wälzlagers an­ geordnet ist.
Fig. 5 schematisch die an den Biegebalken angreifenden Kräfte bzw. Be­ schleunigungen, wenn der Mikrosensor konzentrisch zur Achse des Wälzlagers angeordnet ist.
Fig. 6 schematisch einen Mikrosensor mit unterschiedlich langen Biegebal­ ken.
Fig. 7 schematisch die Anordnung von Mikrochip und Mikrospule im Naben­ mittelpunkt.
Fig. 8 das Chip-Design mit den an den Biegebalken angreifenden Kräften.
Fig. 9 das Muster des digitalen Signals.
Fig. 10 eine Tabelle der Meßgrößen.
Fig. 11 schematisch die Anordnung von Mikrochip auf der Dichtung des Wälzlagers und die Mikrospule.
Fig. 12 das Chip-Design mit den an den Biegebalken angreifenden Kräften bei der in Fig. 11 gezeigten Anordnung.
Fig. 13 das Muster des digitalen Signals.
Fig. 14 eine Tabelle der Meßgrößen.
Fig. 15 schematisch den Mikrosensor in Form eines Drehkondensators.
In Fig. 1 ist in den Wälzlageraußenring 1 der Radflansch 2 integriert. Der Wälzlageraußenring 1 weist zwei Laufbahnen für die Kugelreihen 3 auf, die zwischen Außenring und Wälzlagerinnenring 4 angeordnet sind. Der Wälzla­ gerinnenring ist bei dieser Ausführung zweiteilig. Am drehenden Außenring ist eine Dichtung 5 befestigt, die einen Mikrosensor 6 trägt.
In Fig. 2 ist die Anordnung der Dichtung 5 und des Mikrosensors 6 auf dem Radlager nochmals dargestellt. Der Mikrosensor 6 kann dabei auf der Dichtung 5 durch Kleben befestigt sein oder er ist in den Dichtwerkstoff einvulkanisiert oder sonstwie am drehenden Lagerring angeordnet.
Aus Fig. 3 ist zu sehen, daß der Mikrosensor 6 aus zwei um 90° zueinander versetzten Arrays 7 von jeweils 6 Mikrobiegebalken 8 besteht. Auf einem Chip können bis zu 50 Mikrobiegebalken 8 angeordnet sein, da die heutige Mikro­ technologie die Fertigung sehr feiner Strukturen ermöglicht.
Wie aus Fig. 4 ersichtlich ist, besitzen die Biegebalken 8 unterschiedliche Längen, so daß sie auf die angreifenden Kräfte unterschiedlich reagieren und somit spezielle Schaltmuster erzeugen, wenn sie unter dem Krafteinfluß an den Schaltanschlägen 9 anliegen und einen elektronischen Kontakt schließen, also ein typisches Signal abgeben. Dieses Schaltmuster kann mit einem elektro­ nisch gespeicherten Grundmuster verglichen werden oder in Bezug zu einem zweiten Schaltmuster gesetzt werden, welches von einem oder mehreren am stehenden Lagerteil angeordneten Mikrosensor 6′ erzeugt wird.
In Fig. 5 sind die Mikrobiegebalken 8 strahlenförmig angeordnet und die Schaltanschläge 9 von 1-16 durchnumeriert.
Fig. 6 zeigt eine spiralenförmige Anordnung der Biegebalken 8 und der Schaltanschläge 9.
In Fig. 7 ist der Mikrosensor 6 konzentrisch auf einer Radnabe 10 angeord­ net, die sich dreht. Die Energieversorgung sowie die Signalübertragung erfolgt durch induktive Kopplung mittels Spulen 11, die z. B. als aus galvanisch abge­ schiedenen und mikrostrukturierten Planarspulen ausgebildet sind.
In Fig. 8 sind die an einem Mikrobiegebalken 8 angreifenden Kräfte darge­ stellt. Dabei bedeutet Fr Radialkraft, FL Lageralkraft, Ft Tangentialkraft und Fg Erdanzierungskraft.
Das Muster eines digitalen Signals, also ein Schaltmuster, zeigt Fig. 9 und eine Tabelle der erfaßten und ausgewerteten Meßgrößen Fig. 10. Damit ent­ steht ein digitales Wort, das den augenblicklichen Zustand des Systems be­ schreibt. Während eines Brems- oder Beschleunigungsvorgangs erzeugen die verschiedenen Phasen laufend verschiedene Muster, die dann entsprechend ausgewertet werden.
In Fig. 11 ist der Mikrosensor 6 exzentrisch auf einer Radnabe 10 bzw. auf der Dichtung 5 angeordnet, die sich dreht. Die Energieversorgung sowie die Signalübertragung erfolgt wieder durch induktive Kopplung mittels Spulen 11.
In Fig. 12 sind die an einem Mikrobiegebalken 8 angreifenden Kräfte darge­ stellt. Dabei bedeutet Fr Radialkraft, FL Lateralkraft und Ft Tangentialkraft.
Das Muster eines digitalen Signals zeigt Fig. 13 und eine Tabelle der erfaß­ ten und ausgewerteten Meßgrößen Fig. 14.
Fig. 15 stellt schematisch den Mikrosensor in Form eines Drehkondensators dar, der ähnlich einer Uhrenmechanik zu Torsionsbewegungen angeregt wer­ den kann und in Galvanik-/Additivtechnik hergestellt ist. Diese Struktur stellt im Prinzip einen Drehmomentsensor dar, der -appliziert am Mittelpunkt der Rad­ nabe-Winkelbeschleunigungen aufnehmen kann. Der Signalabgriff erfolgt da­ bei mittels einer Differentialkondensatoranordnung. Die Drehmomenterfassung ist bei dieser Variante weitgehend unabhängig von der Lateralbeschleunigung und der Erdbeschleunigung, zudem ist eine relativ einfach Kompensation vi­ brationsbedingter Störeffekte möglich.

Claims (14)

1. Wälzlager, insbesondere Radlager für Kraftfahrzeuge, mit Sensoren zur Erfassung von Raddrehzahl bzw. Radbeschleunigung und Antriebs- und/oder Bremskräften, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoren als Mikrosensoren (6) in Form von Mikroschalter-Arrays ausgebildet sind, von denen mindestens einer am drehenden Teil (5) des Lagers ange­ bracht ist und dessen Signale mit (abgespeicherten) Grundmustern oder mit den Signalen eines gleichartigen oder ähnlichen am stehenden Teil des Lagers angeordneten Mikrosensors (6) verglichen und/oder ausge­ wertet werden.
2. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikro­ sensoren (6) aus einem in Mikrotechnologie gefertigten Array (7) von beweglichen Biegebalkensystemen (8) bestehen, die sich lateral gegen zwei oder mehrere mechanische Anschläge (9) unter Krafteinfluß bewe­ gen.
3. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikro­ sensoren (6) auf einem Chip angeordnet sind welcher an dem jeweiligen Lagerteil (5) z. B. durch Kleben oder Einvulkanisieren befestigt ist.
4. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die lateral schwingenden Arrays von Mikrobiegebalken (8) verschiedene Eigen­ schaften aufweisen und unterschiedliche Schaltwellen haben, wobei der Abstand der Anschläge der Biegebalken und/oder deren Dimensionie­ rung variiert.
5. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikro­ schalter-Arrays unterschiedliche Schaltzeiten, Empfindlichkeiten, Reso­ nanzfrequenzen und/oder Dämpfungen aufweisen.
6. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Energie­ versorgung und/oder die Signalübertragung beim rotierenden System mittels Telemetrie durch induktive Kopplung erfolgt und beim statischen System wahlweise Telemetrie oder Kabelübertragung eingesetzt ist.
7. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die induktive Kopplung durch Spulen (11) erfolgt, die aus galvanisch abgeschiedenen und mikrostrukturierten Planarspulen bestehen.
8. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Chip bis zu 50 Biegebalken angeordnet sind.
9. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Signale alle an den 4 Rädern angeordneten Sensoren ausgewertet werden.
10. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikro­ sensoren (6) die Form eines Differentialkondensators (Drehkondensator) aufweisen, die einem in Galvanik-/Additivtechnik hergestellten "spiralenförmigen" Drehkondensator ähnlich einer Uhrenmechanik ent­ spricht und auftretende Torsionsbewegungen registrierten.
11. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Chip zwei Array-Anordnungen vorgesehen sind, die jeweils parallel und senkrecht zur radial wirkenden Zentrifugalkraft angeordnet sind.
12. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die lateral beweglichen Biegebalkenelemente (8) strahlenförmig auf dem Chip an­ geordnet sind.
13. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweili­ gen Schaltmuster der Biegebalken (8) als digitales Wort modifiziert und ausgewertet werden.
14. Wälzlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Auswer­ tung des Fahrzustandes die Raddrehzahl, die Lateralkräfte am drehen­ den und stehenden Teil, die Tangentialkraft d. h. die Winkelbeschleuni­ gung am rotierenden System, die Seitenkräfte und durch Vergleich der Lageralbeschleunigung mit der Winkelbeschleunigung indirekt der Schlupf erfaßt werden.
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