DE19528525A1 - Hochtemperaturbeständiger, gesinterter Verbund-Werkstoff, Verfahren zu seiner Herstellung sowie dessen Verwendung - Google Patents
Hochtemperaturbeständiger, gesinterter Verbund-Werkstoff, Verfahren zu seiner Herstellung sowie dessen VerwendungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen hochtemperaturbeständigen, gesinterten
Verbund-Werkstoff der all gemeinen Basis-Zusammensetzung [SiC]x[Si₃N₄]1-x,
Verfahren zu seiner Herstellung sowie dessen Verwendung.
SiC-Si₃N₄-Verbund-Werkstoffe sind an sich seit langem bekannt, die bislang
bekannt gewordenen Varianten weisen jedoch durchwegs Defizite in ihren Eigen
schaftspotentialen und/oder technologische Nachteile auf. So wird häufig von teu
ren, über Polymerpyrolyse hergestellten Rohstoffen ausgegangen, und/oder für eine
vollständige Verdichtung sind druckunterstützte Sinterverfahren wie das Heißpres
sen oder Heißisostatische Pressen (HIP) nötig. So offenbart die US-A 4 184 882
einen derartigen, unter Zusatz von MgO als Sinterhilfsmittel heißgepreßten
SiC-Si₃N₄-Verbund-Werkstoff mit verbesserter Wärmeleitfähigkeit gegenüber dem
reinen Si₃N₄-Werkstoff. Da jedoch durch Heißpressen nur geometrisch einfache
Körper gefertigt werden können, schließt sich an die Verdichtung eine aufwendige
mechanische Bearbeitung zur Herstellung komplexerer, genau dimensionierter
Bauteile an.
Auch in der US-A 5 134 097 wird ein derartiger Werkstoff beschrieben, der
entweder von einem aufwendig hergestellten amorphen SiC-Si₃N₄-Hybridpulver
oder aber einer Pulvermischung der genannten Hauptbestandteile ausgeht. Neben
nicht näher spezifizierten Sinteradditiven, wobei in den Beispielen durchwegs
6 Gew.-% Y₂O₃+2 Gew.-% Al₂O₃ eingesetzt werden, werden diesem Ausgangs
material noch große SiC-Partikel von 2 bis 50 µm mittleren Durchmessers oder
SiC-Whisker mit Dicken von 0,05 bis 10 µm und Streckungsgraden (Verhältnis
Länge zu Dicke der faserförmigen Teilchen) von 5 bis 300 zugesetzt.
Neben der bekannten toxikologischen Gefährdung durch Whisker und der damit
verbundenen Notwendigkeit des Einsatzes aufwendiger Schutzmaßnahmen bei
ihrer Verarbeitung, weist die letztgenannte Maßnahme bekanntermaßen auch den
Nachteil auf, daß die Sinterverdichtung durch die groben SiC-Partikel und
insbesondere durch die Whisker wesentlich erschwert wird. Aus diesem Grunde
dürfte in den zitierten Beispielen auch nur das Heißpressen angewendet worden
sein, dessen technologische Nachteile zur Herstellung komplex geformter Bauteile
bereits ausgeführt wurden.
Ein ähnliches Material wird in der US-A 5 352 641 offenbart, wobei jedoch wie
derum von einem teueren amorphen Compositepulver ausgegangen wird, das die
Bestandteile Si, N und C enthält. In einem aufwendigen Processing wird dieses
Material vor oder nach der Zugabe spezifizierter Sinteradditive kristallisiert, offen
bar zur Entfernung von störendem freien Kohlenstoff an Luft geglüht, den
Beispielen zufolge durch Heißpressen verdichtet und in einem weiteren Wärmebe
handlungsschritt die Gefügebeschaffenheit hinsichtlich des Verteilungsverhältnisses
von SiC im Si₃N₄-Korn zum SiC-Ahteil in Korngrenzen modifiziert.
In der EP-A 0 397 464 wird dagegen ein Werkstoff und Verfahren beschrieben,
einen SiC-Si₃N₄-Verbund-Werkstoff aus handeisüblichen Si₃N₄- und SiC-Pulvern
unter Zusatz spezifizierter Sinteradditive durch Sintern unter N₂-Normaldruck oder
erhöhtem N₂-Gasdruck herzustellen. Die beschriebenen guten Eigenschaften bei
hohen Temperaturen werden jedoch nur nach einer zusätzlichen Kristallisationsbe
handlung nach dem Sintern erhalten.
Im beschriebenen Stand der Technik wird von verbesserten mechanischen
Eigenschaften berichtet, z. B. im Vergleich zum SiC-freien Matrixmaterial. Es wird
aber keine Lehre zum Handeln mitgeteilt, um zu hochtemperaturbeständigen
Werkstoffen und Bauteilen zu kommen, wie sie z. B. für Gasturbinen benötigt
werden. Das dafür benötigte Eigenschaftsspektrum umfaßt die Kurzzeitfestigkeiten
bei hohen Temperaturen, die Kriech- und Oxidationsbeständigkeit und die Werk
stoffkennwerte RI und RII, die gemäß den beiden folgenden Formeln das Thermo
schockverhalten (TWB) eines Werkstoffes charakterisieren:
Legende:
σ = Biegefestigkeit, MPa
ν = Poissonsche Konstante
α = Wärmdehnungskoeffizient, K-1
E = Elastizitätsmodul, GPa
λ = Wärmeleitfähigkeit, W/m·K
RI charakterisiert dabei in erster Näherung die Temperaturdifferenz ΔTmax, die ein Werkstoff bei Abschreckung in Wasser gerade noch ohne Schädigung übersteht. Die besten Literaturwerte hierfür liegen für dichte Si₃N₄-Werkstoffe bei 600 K, für dichtes SiC bei 300 K. RII ist ein entsprechender Kennwert für die maximal mög liche Abkühlgeschwindigkeit einer Probe ohne Schädigung.
σ = Biegefestigkeit, MPa
ν = Poissonsche Konstante
α = Wärmdehnungskoeffizient, K-1
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RI charakterisiert dabei in erster Näherung die Temperaturdifferenz ΔTmax, die ein Werkstoff bei Abschreckung in Wasser gerade noch ohne Schädigung übersteht. Die besten Literaturwerte hierfür liegen für dichte Si₃N₄-Werkstoffe bei 600 K, für dichtes SiC bei 300 K. RII ist ein entsprechender Kennwert für die maximal mög liche Abkühlgeschwindigkeit einer Probe ohne Schädigung.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung bestand darin, Werkstoffe sowie Verfah
ren zu deren Herstellung zur Verfügung zu stellen, die einerseits ein in allen ge
forderten Kennwerten ausreichendes Eigenschaftspotential aufweisen und mit mög
lichst einfachen und kostengünstigen technologischen Verfahren herstellbar sind.
Im Bestreben, gegenüber existierenden Si₃N₄-Werkstoffen verbesserte Werkstoffe
hinsichtlich der Hochtemperatureigenschaften zu entwickeln, wurden Si₃N₄
oder/und SiC-Basismischungen erstellt und mit verschiedenen Additiven durch
Sintern verdichtet. Der SiC-Gehalt wurde hierbei zwischen 0% (reines Si₃N₄) bis
zu 100% (reines SiC), bezogen auf die Summe der Anteile an Si₃N₄ und SiC,
variiert. Als Sinteradditive wurden verschiedene Kombinationen und Konzentratio
nen untersucht.
Die Eigenschaften der resultierenden Werkstoffe sind in Tabelle 1 zusammenge
faßt, der Präparationsgang wird weiter unten beschrieben.
Anhand der resultierenden Werkstoffeigenschaften wurden die folgenden überra
schenden Beobachtungen gemacht:
- - Die Festigkeit von SiC/Si₃N₄-Werkstoffen bei hohen Temperaturen, speziell bei 1400°C and Luft, ist deutlich besser, wenn nur Y₂O₃ oder ein anderes Selten Erdoxid (mit Ausnahme von La₂O₃ und CeO₂) als Sinteradditiv eingesetzt wird im Vergleich zu Systemen, die Y₂O₃ bzw. andere Selten Erdoxide und Al₂O₃ und/oder Erdalkalioxide enthalten.
- - Trotz der Abwesenheit von Al₂O₃ und/oder Erdalkalioxiden ist eine gute Sinterbarkeit (ohne mechanische Druckunterstützung wie beim Heißpressen oder Heißisostatpressen) der Si₃N₄-, SiC/Si₃N₄- und auch SiC-Sinteransätze gemäß obigem Punkt immer dann gegeben, wenn die Feinheit des Mate rials, charakterisiert durch die spezifische Oberfläche 10 m²/g ist, keine Teilchen 3 µm, bevorzugt 2 µm, vorliegen, das molare Verhältnis Sinteradditiv zum SiO₂ als integraler Bestandteil des SiC/Si₃N₄-Pulverge misches sich zwischen 0,5 und 1,0 bewegt und das Volumen der Sinter additive und des SiO₂ zwischen 5 und 15 Vol.-% beträgt.
Gegenstand dieser Erfindung ist somit ein hochtemperaturbeständiger, gesinterter
Verbund-Werkstoff der allgemeinen Basis-Zusammensetzung [SiC]x[Si₃N₄] 1-x,
wobei x Werte von 0,02 bis 1,0 annehmen kann, der zusätzlich als Sinteradditiv
Y₂O₃ und/oder ein oder mehrere Selten Erdoxide, mit Ausnahme von CeO₂ und
La₂O₃, enthält, das molare Verhältnis der Sinteradditive zum Sauerstoffgehalt der
Basis-Zusammensetzung, gerechnet als SiO₂, 0,5 bis 1 und das Volumen der sich
aus dem (den) Sinteradditiv(en) und dem SiO₂ bildenden Sekundärphase 5 bis
15 Vol.-% beträgt.
Hinsichtlich der eingesetzten Rohstoffe erwies es sich als zweitrangig, ob von
reinen Si₃N₄- und SiC-Pulvern ausgegangen wird, oder ob entsprechende vorsyn
thetisierte Compositerohstoffe eingesetzt werden, die z. B. durch carbothermische
Reduktion (z. B. 4 SiO₂ + 5 C + 2 N₂ → Si₃N₄ + SiC + 4 CO₂), durch Elementsyn
these (z. B. 4 Si + C + 2 N₂ → Si₃N₄ + SiC) oder durch einen Gasphasenprozeß
(z. B. CH₃SiXn + 2 N₂ → Si₃N₄ + SiC + HX mit X = Halogenid) hergestellt wer
den. Zur Erzielung der günstigen und erfindungsgemäßen Hochtemperatureigen
schaften der Sinterwerkstoffe ist es allerdings notwendig, daß der Gehalt an einzel
nen Verunreinigungselementen jeweils < 100 ppm ist. Ausnahmen davon sind
Sauerstoff, dessen möglicher Gehalt über das Additiv/SiO₂-Verhältnis spezifiziert
ist und freier Kohlenstoff, dessen Konzentration 1 Gew.-% sein muß.
Die ebenfalls mögliche Synthese derartiger Rohstoffe über die Pyrolyse element
organischer Verbindungen wird dagegen aus Kostengründen nicht verfolgt und
wird als nicht erfindungsgemäß angesehen.
Sind die Bedingungen hinsichtlich der spezifizierten Ansatzcharakteristika erfüllt
und liegt ein Mindestgehalt von 2 Gew.-% SiC, bezogen auf die Summe der
Feststoffe, vor, so scheiden sich beim Sintern neben den Matrixbestandteilen
β-Si₃N₄ und (α- oder β-SiC in den Korngrenzen und Tripelpunkten Yttriumsilicate
wie Y₂SiO₅, Y₂5i₂O₇ und/oder die stickstoffhaltige Apatitphase Y₅(SiO₄)₃N oder
die entsprechenden Selten Erden-Verbindungen aus. Diese Ausscheidungen führen
zu einer außerordentlich guten Hochtemperatur-Kurzzeitfestigkeit der Verbund-
Werkstoffe, die dadurch gekennzeichnet ist, daß das Verhältnis der Biegefestigkeit
bei 1400°C in Luft zu der bei Raumtemperatur 70% ist.
Zunehmende SiC-Anteile im SiC-SN Verbund-Werkstoff führen zu einem Anstieg
des Elastizitätsmoduls, was sich negativ auf die TWB-Kennwerte RI und RII
auswirkt. Bei Verwendung der oben spezifizierten bevorzugten Sinteradditive re
sultiert jedoch ein Verhältnis des E-Moduls bei 1400°C an Luft zu dem bei Raum
temperatur von 90% d. h. die Werkstoffe weisen auch bei 1400°C noch eine
ausgezeichnete Steifigkeit auf.
Hinsichtlich der Langzeiteigenschaften bei hohen Temperaturen zeigte sich überra
schenderweise, daß die stationäre Kriechrate der entsprechend den ausgeführten
Spezifikationen gefertigten Werkstoffe bei 1400°C und 100 MPa nach 100 h
immer geringer als 5· 10-5 h-1 ist.
Für die ebenfalls das Langzeitverhalten charakterisierende Oxidationsbeständigkeit
wurde überraschenderweise gefunden, daß bei Verwendung der spezifizierten be
vorzugten Additive nach 100 h bei 1400°C an Luft die maximale Oxidationsrate
nur 75 mg/m².h betrug. Mit zunehmendem SiC-Gehalt nimmt die Oxidationsrate
weiter ab.
Die angewandten Verfahren zur Bestimmung der genannten Werkstoffeigenschaf
ten werden im Beispielteil beschrieben.
Errechnet man auf der Basis der in Tabelle 1 zusammengestellten relevaten Werk
stoffeigenschaften die TWB-Kennwerte RI und RII unter Annahme einer (allge
mein referierten) Querkontraktionszahl ν für reine Si₃N₄-Werkstoffe mit 0,28, für
reine SiC-Werkstoffe mit 0,26 und für SiC-Si₃N₄-Composite mit linear interpolier
ten Werten, so resultieren für die erfindungsgemäßen Werkstoffe Werte für RI von
350 K und RII von 20 000 W/m, was das exzellente Potential dieser Materia
lien für thermoschockbehaftete Hochtemperatureinsätze wiederspiegelt. Das Errei
chen von RI- und RII-Kennwerten gleich oder größer der genannten Werte wird
mit als Gegenstand der Erfindung angesehen.
In einer bevorzugten Ausführungsform weist somit der erfindungsgemäße Ver
bund-Werkstoff ein Verhältnis der Kurzzeitfestigkeit bei 1400°C an Luft zur
Festigkeit bei Raumtemperatur von 70%, ein entsprechendes Verhältnis der
Elastizitätsmoduli von 90% eine maximale Kriechrate bei 1400°C und
100 MPa nach 100 h an Luft von 5 ·10-5 h-1, eine maximale Oxidationsrate bei
1400°C, 100 h an Luft von 75 mg/m².h sowie rechnerisch ermittelte Thermo
schock-Kennwerte RI von 350 K und RII von 20 000 W/m auf.
Somit liegt mit den erfindungsgemäßen Verbund-Werkstoffen ein gegenüber dem
Stand der Technik bezüglich des Langzeit-Hochtemperaturverhaltens wesentlich
verbessertes Material vor, das unter Verwendung von handelsüblichen, kostengün
stigen Rohstoffen und wirtschaftlichen Sinterverfahren hergestellt und durch Varia
tion des SiC-Si₃N₄-Verhältnisses für bestimmte Einsatzfälle maßgeschneidert
werden kann.
Die ausgeführten Punkte werden durch die in Tabelle 1 zusammengestellten Ver
suchsergebnisse begründet, eine Beschreibung der Ausführungsform wird im
folgenden Beispiel gegeben, ohne daß hierin eine Beschränkung des Umfangs der
Erfindung zu sehen ist.
Si₃N₄- und/oder SiC-Ausgangspulver der Zusammensetzung entsprechend Tabel
le 1 wurden zusammen mit den erfindungsgemäßen Additiven arteigen, d. h. mit
Si₃N₄- oder SiC-ausgekleideten Hochleistungsmühlen, mit Si₃N₄- oder SiC-
Mahlkugeln in Isopropanol derart aufbereitet, daß die genannten Zielwerte der
Feinheit, charakterisiert durch eine spezifische Oberfläche der Pulvermischung von
mindestens 10 m²/g und/oder der Teilchengrößenverteilung von 100% <3 µm,
erreicht werden. Die genauen Bedingungen hierfür werden durch Prozeßunterbre
chung und Analyse dieser Ansatzcharakteristika ermittelt. Zur Erzielung einer aus
reichenden Mischungshomogenität wird eine Mindestmahldauer von 5 h einge
halten. Als Preßhilfsmittel wurde simultan zum Mühlenansatz oder erst kurz vor
Beendigung der Mahlung Polyvinylalkohol in einer Konzentration von
3 Gew.-% zugesetzt.
Nach der Mahlung wurde der Schlicker eingedampft und siebgranuliert. Das somit
vorliegende Preßgranulat wurde durch axiales und/oder isostatisches Pressen bei
möglichst hohen Drucken zu den gewünschten Formkörpern geformt.
Die Teile wurden zum Sintern in C-, SiC- oder Si₃N₄-Tiegel gesetzt und nach
einer Vakuumstufe bis ca. 1000°C unter Schutzgas zu möglichst hohen Dichten
gesintert. Die exakten Bedingungen müssen in Vorversuchen mit der Ansatzzu
sammensetzung und der Sinteraktivität der verwendeten Pulver korreliert werden,
wobei als Zielgröße das Erreichen von mindestens 98,5% der theoretischen Dichte
bei möglichst niedriger Sintertemperatur anzustreben ist, um exzessives Korn
wachstum zu unterdrücken. Als Orientierungswerte können für reine Si₃N₄-Werk
stoffe Tmax 1900°C und Haltezeiten von 1 h unter einem N₂-Druck von
100 bar genannt werden. Für SiC-Si₃N₄-Mischwerkstoffe darf der N₂-Druck bei
1900°C 30 bar nicht überschreiten, um eine Reaktion von SiC und N₂ zu Si₃N₄ zu
verhindern. Eine Unterdrückung dieser Reaktion kann auch durch Zumischung von
CO zur Ofenatmosphäre erfolgen. Bei reinen SiC-Werkstoffen kann Tmax bis zu
2000°C betragen bei Haltezeiten von 1 h in einer Gasatmosphäre von
bevorzugt Ar oder Ar + CO-Mischungen von 5 bar.
Nach dem Sintern wurde bis ca. 1500°C rasch abgekühlt, von 1500°C bis ca.
1000°C betrug die Abkühlgeschwindigkeit 10 K/min, um die Kristallisation der
amorphen Korngrenzphase zu ermöglichen. Außer dieser kontrollierten Abkühlung
sind keine weitergehenden Maßnahmen zum Erhalt einer überwiegend kristallinen
Korngrenzphase bei Einhaltung der erfindungsgemäßen Zusammensetzung notwen
dig.
An den gesinterten Werkstoffen bzw. daraus präparierten Prüfkörpern wurden nach
den im folgenden beschriebenen Verfahren die in Tabelle 1 aufgeführten Werk
stoffeigenschaften ermittelt.
Die Bestimmung der Biegefestigkeit bei Raumtemperatur erfolgte nach DIN
51110, Teil 1, vom Februar 1990 in 4-Punkt-Belastung und Stützrollen-Abständen
von 40 und 20 mm. Die Probenpräparation wurde ebenfalls gemäß DIN 51110
ausgeführt.
Die Bestimmung der Biegefestigkeit bei 1400°C erfolgte nach DIN EN 843, mit
einer normgerechten Prüfvorrichtung aus SiC innerhalb eines elektrisch beheizten
Ofens an Luft.
Die Bestimmung des Elastizitätsmoduls erfolgte an speziellen Prüfkörpern der
Geometrie 100 × 6 × 3 mm durch mechanische Anregung zu Biegeschwingungen.
Die resultierenden Eigenfrequenzen werden in Abhängigkeit von der Temperatur
ermittelt und unter Einbezug der Probengeometrie und -dichte, des Wärmedeh
nungskoeffizienten und der Poissonschen Konstante der E-Modul bei der jewei
ligen Prüftemperatur berechnet.
Die Bestimmung des Kriechverhaltens erfolgte analog der Biegefestigkeitsbestim
mung bei 1400°C unter Beaufschlagung der Probe mit einer Prüflast von 100
MPa. Als Meßgröße wird die mittige Durchbiegung der Probe in Abhängigkeit
von der Zeit registriert. Nach einer anfangs starken Durchbiegung stellt sich übli
cherweise nach 10 bis 20 Stunden eine nahezu stationäre Kriechrate ein, d. h. eine
konstante Zunahme der Durchbiegung pro Zeiteinheit. Zur Charakterisierung des
Kriechverhaltens der Proben wird der Wert der Kriechrate nach einer Versuchs
dauer von 100 Stunden bestimmt.
Die Bestimmung der Oxidationsrate erfolgt dadurch, daß die nach 100 Stunden
Oxidations-Auslagerung eingetretene Gewichtszunahme pro Flächeneinheit der
Probe durch die Gesamtdauer der Oxidations-Auslagerung, z. B. 100 Stunden, divi
diert wird:
O.R. = (ΔG/A)/t, mg/m²·h [3]
mit O.R. = Oxidationsrate
ΔG = Gewichtsänderung der Probe, mg
A = Fläche der Probe, m²
t = Dauer der Oxidations-Auslagerung, h.
O.R. = (ΔG/A)/t, mg/m²·h [3]
mit O.R. = Oxidationsrate
ΔG = Gewichtsänderung der Probe, mg
A = Fläche der Probe, m²
t = Dauer der Oxidations-Auslagerung, h.
Claims (4)
1. Hochtemperaturbeständiger, gesinterter Verbund-Werkstoff der allgemeinen
Basis-Zusammensetzung [SiC]x[Si₃N₄]1-x, wobei x Werte von 0,02 bis 1,0
annehmen kann, der zusätzlich als Sinteradditiv Y₂O₃ und/oder ein oder
mehrere Selten Erdoxide, mit Ausnahme von CeO₂ und La₂O₃, enthält, das
molare Verhältnis der Sinteradditive zum Sauerstoffgehalt der Basis-Zu
sammensetzung, gerechnet als SiO₂, 0,5 bis 1 und das Volumen der sich
aus dem (den) Sinteradditiv(en) und dem SiO₂ bildenden Sekundärphase 5
bis 15 Vol.-% beträgt.
2. Verbund-Werkstoff gemäß Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß er ein
Verhältnis der Kurzzeitfestigkeit bei 1400°C an Luft zur Festigkeit bei
Raumtemperatur von 70%, ein entsprechendes Verhältnis der Elastizi
tätsmoduli von 90%, eine maximale Kriechrate bei 1400°C und
100 MPa nach 100 h an Luft von 5·10-5 h-1, eine maximale Oxidationsrate
bei 1400°C, 100 h an Luft von 75 mg/m²·h sowie rechnerisch ermittelte
Thermoschock-Kennwerte RI von 350 K und RII von 20 000 W/m auf
weist.
3. Verfahren zur Herstellung der Verbund-Werkstoffe gemäß einem der
Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Basis-Zusam
mensetzung entsprechende Menge an SiC, Si₃N₄ und der Sinteradditive auf
Teilchengrößen von < 3 µm naßgemacht, getrocknet, zu einem Formkörper
verpreßt und unter Schutzgas mit einer auf die Werkstoffkomposition
abgestimmten Gaszusammensetzung aus Stickstoff und/oder Argon und
gegebenenfalls Kohlenmonoxid zu einer Dichte von mindestens 98,5% der
theoretischen Dichte gesintert und nach der Sinterung unterhalb 1500°C mit
10 K/min abgekühlt wird.
4. Verwendung der Verbund-Werkstoffe für die Herstellung von statisch und
dynamisch hochbeanspruchten Gasturbinen-Komponenten, Teilen im Moto
ren- und Maschinenbau sowie der chemischen Technik.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1995128525 DE19528525A1 (de) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | Hochtemperaturbeständiger, gesinterter Verbund-Werkstoff, Verfahren zu seiner Herstellung sowie dessen Verwendung |
| JP8216667A JPH0948667A (ja) | 1995-08-03 | 1996-07-30 | 高温において安定な焼結複合材料、およびその製造法並びに使用法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1995128525 DE19528525A1 (de) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | Hochtemperaturbeständiger, gesinterter Verbund-Werkstoff, Verfahren zu seiner Herstellung sowie dessen Verwendung |
Publications (1)
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ID=7768597
Family Applications (1)
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| DE1995128525 Withdrawn DE19528525A1 (de) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | Hochtemperaturbeständiger, gesinterter Verbund-Werkstoff, Verfahren zu seiner Herstellung sowie dessen Verwendung |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH0948667A (de) |
| DE (1) | DE19528525A1 (de) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19704910A1 (de) * | 1997-02-10 | 1998-08-13 | Bayer Ag | Flüssigphasengesinterter elektrisch leitfähiger und oxidationsresistenter keramischer Werkstoff, ein Verfahren zu seiner Herstellung und dessen Verwendung |
| DE19705838A1 (de) * | 1997-02-15 | 1998-08-27 | Fraunhofer Ges Forschung | Farbiger Siliciumnitridwerkstoff und Verfahren zu seiner Herstellung |
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- 1995-08-03 DE DE1995128525 patent/DE19528525A1/de not_active Withdrawn
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1996
- 1996-07-30 JP JP8216667A patent/JPH0948667A/ja active Pending
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|---|---|
| JPH0948667A (ja) | 1997-02-18 |
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