DE19513325A1 - Hallsensorwegmeßeinrichtung - Google Patents

Description

Anwendungsgebiet

Die Erfindung betrifft eine Hallsensorwegmeßeinrichtung, wie sie insbesondere zur planaren Feinpositionierung im µ-Bereich Anwendung findet.

Charakteristik des bekannten Standes der Technik

Im Stand der Technik ist es bekannt, daß neben den offenen Steuerketten für Linear- und Planarantriebe Wegmeßsysteme eingesetzt werden. In der Regel basieren diese Wegmeßeinrichtungen auf der Laserwegmeßtechnik bzw. auf Prinzipien, bei denen die Wegmeßnormale mitgeführt sind oder stationär angebracht sind, wobei ein Wegmeßvorgang ständig durch den Abgleich mit dem Wegmeßnormal erfolgt. Diese Anordnungen sind dabei nachteilbehaftet, da sie einen hohen Wegmeßaufwand benötigen, insbesondere für die Mitführung und für die Anbringung von Wegmeßnormalen und der zugehörigen Abtastsensorik.

Ziel der Erfindung

Die Erfindung verfolgt das Ziel, eine Anordnung zu schaffen, die die bekannten Mängel des Standes der Technik mindert und beseitigt und bei den mitgeführte oder angeordnete Wegmeßnormale in Wegfall kommen.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Die Erfindung verfolgt das Ziel, eine Anordnung zu schaffen, die die vorhandene Struktur als Wegmeßsystem mit nutzt.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung soll anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigen im einzelnen:

Fig. 1 eine prinzipielle Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung im Vollschnitt;

Fig. 2 eine prinzipielle Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung im Vollschnitt und Seitenansicht nach Fig. 1;

Fig. 3 eine prinzipielle Darstellung einer erfindungsgemäßen Anordnung in Unteransicht nach Fig. 1;

Fig. 4 eine Vergrößerung einer prinzipiellen Darstellung der Einordnung einer erfindungsgemäßen Anordnung in ein Läuferelement;

Fig. 5 zeigt eine Vorderansicht eines Läufers mit integrierter Anordnung;

Fig. 6 zeigt einen Läufer mit integrierter Anordnung in Draufsicht;

Fig. 7 zeigt eine Vergrößerung der Anordnung;

Fig. 8 zeigt eine prinzipielle Darstellung einer Einordnung der Meßanordnung in einen Läufer im Vollschnitt;

Fig. 9 zeigt eine prinzipielle Darstellung einer prinzipiellen Meßanordnung in Unteransicht in einen Läufer;

Fig. 10 zeigt eine erfindungsgemäße prinzipielle Darstellung der Anordnung in Seitenansicht und Vollschnitt;

Fig. 11 zeigt eine Vergrößerung nach Fig. 11.

Jede Struktur in 90° versetzt
Schnitt A-A -- 0°
Schnitt B-B -- 270°
Schnitt C-C - 90°
Schnitt D-D -- 180°

Liste der verwendeten Bezugszeichen

1

Gesamtanordnung

2

Gehäuse

3

Funktionsplatte

4

linke Meßeinrichtung

5

rechte Meßeinrichtung

6

Übertragungsbereich

7

Trägerplatte (Leiterplatte zur Signalgewinnung)

8

linker Verstärker

9

rechter Verstärker

10

linker Stellwiderstand

11

rechter Stellwiderstand

12

Rückschlußplatte

13

linker Permanentmagnet

14

rechter Permanentmagnet

15

linke Verteilerplatte

16

rechte Verteilerplatte

17

linker äußerer Hallsensor

18

linker innerer Hallsensor

19

rechter innerer Hallsensor

20

rechter äußerer Hallsensor

21

linker äußerer Strukturkörper

22

linker innerer Strukturkörper

23

rechter innerer Strukturkörper

24

rechter äußerer Strukturkörper

25

Vergußmasse

26

Funktionsplattensitz

27

Strukturkörperzahn

28

Strukturkörperzahnlücke

29

Strukturkörpersitz

30

Vergußmasse

31

Hallsensorzuleitungen

32

Stator

33

Läufer

34

Läuferantriebssystem

35

Statorstruktur

Claims (3)

1. Hallsensorwegmeßeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß entsprechend den Fig. 1 bis 11 alle Bezugszeichen im Hauptanspruch integriert sind.

2. Hallsensorwegmeßsystem, nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Strukturkörper (21 bis 24) aus Weichei­ sen bestehen.

3. Hallsensorwegmeßsystem, nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Strukturkörper (21 bis 24) ent­ sprechend den Schnitten A-A; B-B; C-C und D-D mit ihren Strukturkörperzähnen versetzt sind.