DE1239022B - Halter fuer eine Anzahl von Bauteilen - Google Patents

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

PATENTSCHRIFT

Int. Cl.

HOll

Deutsche KL: 21g-11/02

Nummer:

Aktenzeichen: Anmeldetag: Auslegetag: Ausgabetag:

N 20589 Vinc/21g 23. September 1961 20. April 1967 26. Oktober 1967

Patentschrift stimmt mit der Auslegeschrift überein

Die Erfindung betrifft einen Halter für eine Anzahl von Bauteilen mit Zuführungsdrähten zur Verwendung bei der Massenfertigung von Halbleiteranordnungen, der entlang einer Führung einer Produktionsmaschine, vorzugsweise schrittweise, beweglich ist und mit einer Vielzahl von sich in Längsrichtung des Halters erstreckenden Festhaltemitteln zur Aufnahme der aus den Bauteilen herausragenden Drähte versehen ist, wobei der Abstand zwischen den Mitten benachbarter Festhaltemittel, in Längsrichtung des Halters gesehen, gleich der Summe der Abstände zwischen den Mitten der an den Enden des Halters befindlichen Festhaltemittel und den daneben befindlichen Enden des Halters ist. Solche Halter sind bereits vorgeschlagen worden.

Bei der Massenherstellung Von Halbleiteranordnungen werden die Bauteile an ihren Drähten im Halter festgehalten, der vorzugsweise zusammen mit anderen Haltern schrittweise auf einer Bahn bewegbar ist. Die Bauteile werden dabei in diesen Hai- ao tern mehreren aufeinanderfolgenden Bearbeitungen unterworfen und erst dann aus diesem Halter entfernt, wenn die letzte Bearbeitung beendet ist.

Es wurde gefunden, daß ein solcher Halter erheblich an Brauchbarkeit gewinnt, wenn er so ausgebildet wird, daß mit dem Bauteil, während er im Halter festgehalten wird, ein elektrischer Kontakt hergestellt werden kann.

Der so verbesserte Halter ist gemäß der Erfindung so ausgebildet, daß jedes Festhaltemittel mit mehreren sich von einer zur Längsrichtung senkrechten Oberfläche des Halters her erstreckenden Eingangsöffnungen zur Aufnahme der Drähte und des weiteren mit sich senkrecht hierzu erstreckenden Ausgangsöffnungen versehen ist, durch die die in die Eingangsöffnungen gebrachten und somit praktisch ganz im Halter aufgenommenen Drähte für einen elektrischen Kontakt zugänglich sind.

Gemäß einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung liegen die Eingangsöffnungen in einer parallel zur Längsrichtung des Halters verlaufenden Ebene, und die an die Eingangsöffnungen anschließenden Bohrungen haben einen derartigen weiteren Verlauf, daß in die Halterung eingebrachte Drähte eine elastisch gespannte Lage einnehmen.

Bei dieser Bauart liegen somit sämtliche aus den festgehaltenen Bauteilen herausragenden Drähte in einer Ebene. Eine elektrische Messung ist infolgedessen an vom Bauteil entfernten Stellen der Drähte, und zwar an den Stellen, wo diese aus den öffnungen herausragen, durchführbar.

Um pro Längeneinheit des Halters eine größere Halter für eine Anzahl von Bauteilen Patentiert für:

N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven (Niederlande)

Vertreter:

Dipl.-Ing E. E. Walther, Patentanwalt, Hamburg 1, Mönckebergstr. 7

Als Erfinder benannt: Raymond Clarence Chance Wadey, Ashurst, Southampton, Hants (Großbritannien) Beanspruchte Priorität: Großbritannien vom 27. September 1960 (33 156)

Anzahl von Bauteilen festhalten zu können, kann gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung der Halter so ausgebildet sein, daß jedes Festhaltemittel drei Eingangsöffnungen hat, die in einer parallel zur Längsrichtung des Halters und senkrecht zur Ebene, in der die Festhaltemittel angeordnet sind, verlaufenden Ebene liegen, daß die zwei äußeren Eingangsöffnungen mit je einer Ausgangsöffnung derart in offener Verbindung stehen, daß in die Eingangsöffnungen eingebrachte Drähte für einen elektrischen Kontakt zugänglich sind, und daß die mittlere Eingangsöffnung mit einer im Halter vorgesehenen Kammer in Verbindung steht, wobei in dieser Kammer elektrisch leitende federnde Kontakte angeordnet sind, die einen in jede mittlere Eingangsöffnung eingesteckten Draht axial festhalten, und die Kammer mindestens eine seitliche Ausgangsöffnung aufweist, durch die hindurch ein elektrischer Kontakt mit dem mittleren Draht hergestellt werden kann.

Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen

F i g. 1 und 2 Seitenansichten eines ersten Ausführungsbeispiels eines Halters nach der Erfindung,

Fig. 3 eine Draufsicht auf den Halter nach Fig. 1,

F i g. 4 einen Schnitt entlang der Linie IV-IV in Fig. 1,

709 703/298

Claims (1)

F i g. 5 eine Seitenansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Halters nach der Erfindung, F i g. 6 einen Schnitt entlang der Linie VI-VI in F i g. 5 und F i g. 7 einen Schnitt entlang der Linie VII-VII in Fig. 6. Der in den Fig. 1 bis 4 dargestellte Halter 1 umfaßt zehn sich in der Längsrichtung des Halters erstreckende Festhaltemittel 2, die je mit drei ersten öffnungen 3 mit rundem Querschnitt versehen sind. Diese öffnungen 3 erstrecken sich von der oberen Fläche des Halters her. Die Längsachsen der öffnungen 3 liegen in einer gemeinsamen Ebene parallel zur Längsrichtung des Halters. Die öffnungen sind in Fig. 1 durch gestrichelte Linien angegeben und sind in Fig. 2 der Deutlichkeit halber weggelassen. Jede erste öffnung 3 weist einen trichterförmigen Teil 4 und einen zylindrischen Teil 5 auf, der in offener Verbindung mit einer zweiten öffnung 6 steht, die sich von der Oberfläche 7 des Halters her erstreckt. Die Mittelpunkte 8 von je drei Öffnungen 3 liegen bei dieser Ausführungsform in Teilung in der Längsrichtung des Halters. Die obere Fläche des Halters ist mit rechteckigen Ansätzen 9 versehen, die sowohl zwischen den je aus drei öffnungen 3 bestehenden Öffnungsgruppen als auch an den Enden des Halters hegen. Die Ansätze 9 an den Enden fluchten mit den Stirnflächen des Halters, und die Abmessung dieser Ansätze in der Längsrichtung des Halters ist die Hälfte der entsprechenden Abmessung der übrigen Ansätze. Auf diese Weise sind die Mittelpunkte 8 an den Enden des Halters um eine halbe Teilung von den zugeordneten Enden entfernt. An der Seite 10 (F i g. 2) des Halters sind Verstellmittel 11 vorgesehen. Sie können, wenn der Halter schrittweise in seiner Längsrichtung bewegt wird, mit einer Sperrklinke zusammenarbeiten. Dabei ist die Teilung der Verstellmittel 11 gleich der Teilung zwischen den Mittelpunkten 8. Die Verstellmittel 11 weisen einen dreieckigen waagerechten Querschnitt auf (F i g. 3). Der untere Teil des Halters 1 besteht aus einem Sockel 12, der in eine Führung 14 einer Maschine paßt. Mehrere nacheinander angeordnete Halter sind schrittweise über diese Führung bewegbar. Dadurch, daß die Wand 13 eine schräge Lage hat, kann ein in eine öffnung 3 eingesteckter und aus einer öffnung 6 herausragender Draht eine gekrümmte Lage einnehmen-und-festgehal Der geschilderte Halter ist bestimmt zur Verwendung bei der Herstellung von Halbleiteranordnun-. gen, z. B. von Transistoren, wobei drei aus einem Halbleiterbauteil hervortretende Metalleiter in die ersten öffnungen 3 eingesteckt werden und, während sie aus den zweiten öffnungen 6 herausragen, eine elastisch gekrümmte Lage einnehmen. Wenn der Bauteil im Halter festgehalten wird, wird er z. B. einer Reihe von Bearbxtnmgen unterworfen, z. B. wird auf ihm ein Halbleiterkörper angebracht. Um eine im Halter festgehaltene Halbleiteranordnung während der Herstellung prüfen zu können, werden gesonderte elektrische Kontakte mit den aus den zweiten öffnungen 6 herausragenden Metalleitern hergestellt. Der Halter läßt sich auf einfache Weise als ein einheitliches Werkstück aus Kunststoff fertigen. Bei einer anderen Halterbauart nach den F i g. 5 bis 7 besteht der Halter aus zwei aus Kunststoff, z. B. Nylon, gepreßten Teilen 22 und 23, die durch Schrauben 24 aneinander befestigt sind. In der Längsrichtung des Halters liegen zehn Festhaltemittel. Jedes Festhaltemittel weist drei erste öffnungen 26, 27 und 28 auf. wobei die die Längsachsen dieser öffnungen enthaltende Ebene sich quer zur Längsrichtung des Halters erstreckt. In der Längsrichtung ίο des Halters betrachtet liegen die öffnungen 27 wieder in Teilung. Die zwei äußeren ersten öffnungen 26 und 28 haben einen kreisförmigen Querschnitt und stehen mit zweiten öffnungen 29 bzw. 30 in Verbindung, die sich in den Flächen 31 bzw. 32 des Halters befinden. Diese zweiten öffnungen sind durch auf jeder Seite vorgesehene Wände 33 voneinander getrennt. Die mittlere erste öffnung 27 hat auch einen kreisförmigen Querschnitt und besteht aus zwei halbkreis- ao förmigen Aussparungen in den Teilen 22 bzw. 23. Die öffnungen 27 stehen mit einer Kammer 36 in Verbindung, die öffnungen 37 aufweist. Die ersten öffnungen haben sich auswärts erweiternde Oberteile 38, um das Einstecken der Drähte zu erleichtern. In jeder Kammer 36 befindet sich weiter ein nachgiebiges Glied 39, das aus einem Phosphorbronzestreifen besteht. Der Teil 40 dieses Gliedes umschließt einen aus Messing hergestellten Teil 41, der in Form eines umgekehrten T gestaltet ist, während die Teile 42 dieses Gliedes nachgiebige Zungen bilden, die einen in die mittlere' öffnung eingesteckten Draht festzuhalten imstande sind. Der Halter ist unten durch eine Platte 45, die mit Schrauben 46 an der Unterseite des Halters befestigt, ist, verschlossen. Dadurch, daß ein Stift in eine der öffnungen 37 eingesteckt wird, kann über den Teil 40 ein elektrischer Kontakt mit einem in die öffnung 27 eingeführten Draht hergestellt werden. An der Stelle der öffnungen 29 bzw. 30 kann ein direkter elektrischer Kontakt mit den in die öffnungen 26, 28 eingeführten Drähten hergestellt werden. Bei dieser Halterbauart können gleichfalls Verstellmittel vorgesehen sein. Hierzu dient die Nut 43, in der gegebenenfalls eine Zahnstange untergebracht werden kann. Patentansprüche:

1. Halter für eine Anzahl von Bauteilen mit Zuführungsdrähten zur Verwendung bei der -Massenfertigung-voB^Halbleiteranordnungen, die entlang einer Führung einer Produktionsmaschine, vorzugsweise schrittweis_e,^e\y^lich_ ist und mit einer Vielzahl von sich in Längsrichtung des Halters erstreckenden Festhaltemitteln zur Aufnahme der aus den Bauteilen herausragenden Drähte versehen ist, wobei der Abstand zwischen den Mitten benachbarter Festhaltemittel, in Längsrichtung des Halters gesehen, gleich der Summe der Abstände zwischen den Mitten der an den Enden des Halters befindlichen Festhaltemittel und den daneben befindlichen Enden des Halters ist, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Festhaltemittel (2) mit mehreren sich von einer zur Längsrichtung senkrechten Oberfläche des Halters her erstreckenden Eingangsöffnungen (3 bzw. 26, 27, 28) zur Aufnahme der Drähte und des weiteren mit sich