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DE1279279B - Multi-stage propellant pump - Google Patents

Multi-stage propellant pump

Info

Publication number
DE1279279B
DE1279279B DE1962L0043195 DEL0043195A DE1279279B DE 1279279 B DE1279279 B DE 1279279B DE 1962L0043195 DE1962L0043195 DE 1962L0043195 DE L0043195 A DEL0043195 A DE L0043195A DE 1279279 B DE1279279 B DE 1279279B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pump
nozzle
recipient
flange
stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE1962L0043195
Other languages
German (de)
Inventor
Dipl-Phys Werner Baechler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus GmbH filed Critical Leybold Heraeus GmbH
Priority to DE1962L0043195 priority Critical patent/DE1279279B/en
Publication of DE1279279B publication Critical patent/DE1279279B/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00Diffusion pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)

Description

Mehrstufige Treibmittelpumpe Die Erfindung betrifft eine mehrstufige Treibmittelpumpe mit konzentrisch ausgebildeten Umkehrdüsen in einem kegelstumpfförinigen, den Ansaugraum bildenden Gehäuse und mit einer zwischen Rezipient und Ansaugraum auswechselbar angeordneten Abscheidevorrichtung.Multi-stage propellant pump The invention relates to a multi-stage Propellant pump with concentric reversible nozzles in a frustoconical, the housing forming the suction space and with one between the recipient and the suction space exchangeably arranged separation device.

Von den verschiedenen möglichen Bauarten bei Treibmittelpumpen werden Diffusions- und Dampf strahlpumpen mit Umkehrdüsen an konzentrischen Dampfsteigrohren wegen ihrer einfachen raumsparenden Bauart in der Praxis bevorzugt. Derartige Diffusions- und Dampfstrahlpumpen weisen neben den bekannten Vorteilen auch den gleichfalls bekannten Nachteil auf, daß Dämpfe des Treibmittels aus der Dampfströmung in Richtung des Ansaugstutzens der Pumpe wandern und von dort in den zu evakuierenden Rezipienten eindringen. Es ist daher in vielen Fällen erforderlich, den Rezipienten gegen das Eindringen dieser Dämpfe zu schützen. Ein solcher Schutz kann in bekannter Weise durch die Anordnung gekühlter Prallflächen in einer Abscheidevorrichtung erreicht werden, die zwischen Rezipient und Treibmittelpumpe eingeschaltet ist. Die gekühlten Prallflächen müssen dabei derart angeordnet sein, daß innerhalb der als Arbeitsbereich der Pumpe vorgesehenen Drücke jedes aus der Pumpe in Richtung zum Rezipienten entweichende Dampfmolekül mit großer Wahrscheinlichkeit an ihnen kondensiert wird. Die Prallflächen sollen jedoch den Strömungswiderstand in der Ansaugleitung des Rezipienten nur gering erhöhen. Die Wirksamkeit der Abscheidevorrichtung ist dabei von der räumlichen Anordnung und von der Kühltemperatur abhängig. Zum Tiefhalten der Temperatur der Abscheidevorrichtung ist es bekannt, das Gehäuse der Abscheidevorrichtung zu kühlen, so daß die damit in metallischer Verbindung stehenden Prallflächen ebenfalls gekühlt werden. Außerdem sind Abscheidevorrichtungen bekannt, die in ihrem Innenraum Rohrschlangen und ähnliche kühlmitteldurchströmte Elemente aufweisen.There are various possible designs for propellant pumps Diffusion and steam jet pumps with reversible nozzles on concentric steam riser pipes preferred in practice because of their simple, space-saving design. Such diffusion and steam jet pumps, in addition to the known advantages, also have the known disadvantage that vapors of the propellant from the steam flow in the direction of the suction port of the pump and from there to the recipient to be evacuated penetration. It is therefore necessary in many cases to challenge the recipient against the To protect against penetration of these vapors. Such protection can be done in a known manner achieved by arranging cooled baffles in a separation device that is connected between the recipient and the propellant pump. The chilled Impact surfaces must be arranged in such a way that within the working area the pump provided pressures each escaping from the pump in the direction of the recipient Vapor molecule is very likely to condense on them. The baffles however, the flow resistance in the suction line of the recipient should only be low raise. The effectiveness of the separation device depends on the spatial arrangement and depends on the cooling temperature. To keep the temperature of the separation device low it is known to cool the housing of the separation device, so that with it Metal-connected baffles can also be cooled. aside from that Separation devices are known, which in their interior pipe coils and the like Have elements through which coolant flows.

Durch die notwendige Verbindung von Pumpe und Abscheidevorrichtung vergrößert sich das Bauvolumen der aus beiden Teilen bestehenden Einheit, und es tritt insbesondere eine unerwünschte Steigerung der Gesamtbauhöhe ein.Due to the necessary connection between pump and separator the volume of the unit consisting of both parts increases, and it in particular, there is an undesirable increase in the overall height.

Die Erfindung geht von der Aufgabenstellung aus, bei derartigen mit einer Abscheidevorrichtung kombinierbaren Treibmittelpumpen der eingangs genannten Art eine wesentliche Verringerung der Bauhöhe in der Gesamtanordnung herbeizuführen. Diese Aufgabe wird bei einer solchen Treibmittelpumpe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die hochvakuumseitige Umkehrdüse den Anschlußflansch der Pumpe so weit überragt, daß die Düsenunterkante oberhalb der Flanschebene liegt.The invention is based on the task at hand with such a separator combinable propellant pumps of the aforementioned Kind of bringing about a significant reduction in the overall height of the overall arrangement. In the case of such a propellant pump, this object is achieved according to the invention in that that the reversing nozzle on the high vacuum side protrudes so far beyond the connection flange of the pump, that the lower edge of the nozzle is above the plane of the flange.

Durch diesen konstruktiven Aufbau wird bei der oben weiteren kegelförmigen Gesamtanordnung der freie Raum in der Abscheidevorrichtung vorteilhaft ausgenutzt, wobei sich eine Verbesserung der Abscheidewirkung mit Verringerung des gesamten Strömungswiderstandes ergibt. In diesem freien Raum kann sich nämlich von der hochvakuumseitigen Umkehrdüse aus die Dampfströmung ungestört ausbilden, und zwar kann sich der Dampfstrahl über die geometrische Leitlinie von der geneigten Düsenhutkappe zur Kondensationsfläche hinaus als Dampfraum aufwölben, ohne von Bauteilen behindert zu sein.Due to this structural design, the above is further conical Overall arrangement, the free space in the separation device is advantageously used, whereby there is an improvement in the separation efficiency with a reduction in the total Flow resistance results. In this free space can namely from the high vacuum side Reverse nozzle from the steam flow can form undisturbed, namely the steam jet via the geometric guideline from the inclined nozzle cap to the condensation surface bulge out as a vapor space without being obstructed by components.

In der Zeichnung ist eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen mehrstufigen Treibmittelpumpe schematisch dargestellt. Es zeigt F i g. 1 einen Längsschnitt und teilweise Seitenansicht der Pumpe, F i g. 2 einen Querschnitt des oberen Pumpenteiles. Ein Pumpengehäuse 1 mit einem seitlichen Vorvakuumanschluß 15 ist mittels eines Flansches 16 mit einer Abscheidevorrichtung 2 über einen zweiten Flansch 261 durch eine feste Klemmverbindung 211 verbunden. An der Hochvakuumseite der Abscheidevorrichtung 2 ist ein Flansch 26 an deren innerem Durchmesser angebracht, an welchen ein nicht gezeigter Rezipient angeschlossen ist.In the drawing is an embodiment of the multi-stage according to the invention Propellant pump shown schematically. It shows F i g. 1 a longitudinal section and partial side view of the pump, FIG. 2 shows a cross section of the upper part of the pump. A pump housing 1 with a lateral fore-vacuum connection 15 is by means of a Flange 16 with a separation device 2 through a second flange 261 a fixed clamp connection 211 is connected. On the high vacuum side of the separator 2, a flange 26 is attached to its inner diameter, to which one is not shown recipient is connected.

Innerhalb des Pumpengehäuses 1 ist ein Düsensystem (Pumpenstufen) 3 angeordnet, welches aus einem (bzw. mehreren) zylindrischen oder kegelstumpfförmigen inneren Teil 32 mit aufgesetzten Düsenblechen 321, 322, 323 besteht. Die Hochvakuumstufe 31 ragt in den inneren Raum der Abscheidevorrichtung 2 hinein. Oberhalb eines Düsenhutes 311 der Hochvakuumstufe 31 ist eine Kappe 25 angeordnet, welche vorzugsweise über den Rand des Düsenhutes 311 hinausragt. Die Kappe 25 ist mit einem in der Abscheidevorrichtung 2 angeordneten Baffle 24, welches als Platte ausgebildet ist, an Streben 23, die innerhalb der Abscheidevorrichtung 2 angeschweißt oder eingeklemmt sind, mittels Schrauben 231 auswechselbar angebracht.A nozzle system (pump stages) 3 is arranged within the pump housing 1 and consists of one (or more) cylindrical or frustoconical inner part 32 with nozzle plates 321, 322, 323 attached. The high vacuum stage 31 protrudes into the inner space of the separation device 2. Above a nozzle cap 311 of the high vacuum stage 31, a cap 25 is arranged, which preferably protrudes over the edge of the nozzle cap 311. The cap 25 with a baffle 24 arranged in the separating device 2, which is designed as a plate, is attached to struts 23 which are welded or clamped inside the separating device 2, by means of screws 231, in an exchangeable manner.

Das Baffle 24 ist mit einem Kühlmantel 22 umgeben, welcher über eine Leitung 21 mitt6ls Schraubverbindungen 210 mit einem weiteren, das Pumpengehäuse umgebenden Kühlmantel 12 in Verbindung steht. Innerhalb des Kühlmantels 12 ist eine Silicongummischnur 121 spiralförmig angeordnet, welche das Kühlmittel spiralförmig, vorzugsweise von oben nach unten (in Pfeilrichtung) leitet. Das Pumpengehäuse 1 ist auf einem Fuß 4 befestigt, welcher eine aus Bakkerrohren bestehende Heizvorrichtung aufnimmt.The baffle 24 is surrounded by a cooling jacket 22 which is connected via a line 21 by means of screw connections 210 to a further cooling jacket 12 surrounding the pump housing. A silicone rubber cord 121 is arranged in a spiral shape inside the cooling jacket 12 and guides the coolant in a spiral shape, preferably from top to bottom (in the direction of the arrow). The pump housing 1 is fastened on a foot 4 which receives a heating device consisting of Bakker tubes.

In F i g. 2 sind im wesentlichen die gleichen Elemente wie in Fig. 1 erkennbar. Der Flansch 26 .der Äbscheidevorrichtung 2 weist Bohrungen 261 zur Aufnahme von Schrauben 260 zur Verbindung mit dem Rezipienten auf. Mittels der Schraubverbindungen 231 ist das Baffle 24 an den Streben 23 befestigt. Man erkennt ferner die Kühlmittelzuleitung 21 mit Schraubverbindungen 20, 201 zum Kühlmantel 22, welcher an einer Seite aufgeschnitten gezeichnet ist.In Fig. 2 essentially the same elements as in FIG. 1 can be seen. The flange 26 of the separating device 2 has bores 261 for receiving screws 260 for connection to the recipient. The baffle 24 is fastened to the struts 23 by means of the screw connections 231. One can also see the coolant feed line 21 with screw connections 20, 201 to the cooling jacket 22, which is shown cut open on one side.

Claims (1)

Patentanspruch: Mehrstufige Treibmittelpumpe mit konzen-2risch ausgebildeten Umkehrdüsen in einem kegelstumpfförmigen, den Ansaugraum bildenden Gehäuse und mit einer zwischen Rezipient und Ansaugraum auswechselbar angeordneten Abscheidevorrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß die hochvakuumseitige Umkehrdüse den Anschlußflansch der Pumpe so weit überragt, daß die Düsenunterkante oberhalb der Flanschebene liegt. In Betracht gezogene Druckschriften: 'Deutsche Patentschriften Nr. 696 374, 966 418; deutsche Auslegeschrift Nr.1017 741; britische Patentschrift Nr. 903 966.Claim: Multi-stage propellant pump with concentric design Reversible nozzles in a frustoconical housing that forms the intake space and with a separating device arranged to be exchangeable between the recipient and the suction chamber, characterized in that the reversing nozzle on the high vacuum side has the connecting flange the pump protrudes so far that the lower edge of the nozzle is above the flange level. Considered publications: 'Deutsche Patentschriften Nr. 696 374, 966 418; German Auslegeschrift No. 1017 741; British Patent No. 903,966.
DE1962L0043195 1962-10-12 1962-10-12 Multi-stage propellant pump Pending DE1279279B (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2047445A5 (en) * 1969-05-07 1971-03-12 High Edwards Vacuum Int
FR2233879A5 (en) * 1973-06-15 1975-01-10 British Oxygen Co Ltd

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DE696374C (en) * 1938-02-16 1940-09-19 Siemens & Halske Akt Ges Cooling device for the suction line of diffusion pumps
DE966418C (en) * 1952-12-21 1957-08-01 Heraeus Gmbh W C Cold trap to prevent back diffusion of the propellant from diffusion and steam jet pumps
DE1017741B (en) * 1956-05-16 1957-10-17 Balzers Geraeteverkaufsgesells High vacuum pump with condenser
GB903966A (en) * 1960-03-09 1962-08-22 Balzers Hochvakuum Improvements in and relating to the blocking of vacuum pipes against the through-flow of organic substances

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