DE1279279B

DE1279279B - Mehrstufige Treibmittelpumpe

Info

Publication number: DE1279279B
Application number: DE1962L0043195
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Werner Baechler
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1962-10-12
Filing date: 1962-10-12
Publication date: 1968-10-03

Description

Mehrstufige Treibmittelpumpe Die Erfindung betrifft eine mehrstufige Treibmittelpumpe mit konzentrisch ausgebildeten Umkehrdüsen in einem kegelstumpfförinigen, den Ansaugraum bildenden Gehäuse und mit einer zwischen Rezipient und Ansaugraum auswechselbar angeordneten Abscheidevorrichtung.
Von den verschiedenen möglichen Bauarten bei Treibmittelpumpen werden Diffusions- und Dampf strahlpumpen mit Umkehrdüsen an konzentrischen Dampfsteigrohren wegen ihrer einfachen raumsparenden Bauart in der Praxis bevorzugt. Derartige Diffusions- und Dampfstrahlpumpen weisen neben den bekannten Vorteilen auch den gleichfalls bekannten Nachteil auf, daß Dämpfe des Treibmittels aus der Dampfströmung in Richtung des Ansaugstutzens der Pumpe wandern und von dort in den zu evakuierenden Rezipienten eindringen. Es ist daher in vielen Fällen erforderlich, den Rezipienten gegen das Eindringen dieser Dämpfe zu schützen. Ein solcher Schutz kann in bekannter Weise durch die Anordnung gekühlter Prallflächen in einer Abscheidevorrichtung erreicht werden, die zwischen Rezipient und Treibmittelpumpe eingeschaltet ist. Die gekühlten Prallflächen müssen dabei derart angeordnet sein, daß innerhalb der als Arbeitsbereich der Pumpe vorgesehenen Drücke jedes aus der Pumpe in Richtung zum Rezipienten entweichende Dampfmolekül mit großer Wahrscheinlichkeit an ihnen kondensiert wird. Die Prallflächen sollen jedoch den Strömungswiderstand in der Ansaugleitung des Rezipienten nur gering erhöhen. Die Wirksamkeit der Abscheidevorrichtung ist dabei von der räumlichen Anordnung und von der Kühltemperatur abhängig. Zum Tiefhalten der Temperatur der Abscheidevorrichtung ist es bekannt, das Gehäuse der Abscheidevorrichtung zu kühlen, so daß die damit in metallischer Verbindung stehenden Prallflächen ebenfalls gekühlt werden. Außerdem sind Abscheidevorrichtungen bekannt, die in ihrem Innenraum Rohrschlangen und ähnliche kühlmitteldurchströmte Elemente aufweisen.
Durch die notwendige Verbindung von Pumpe und Abscheidevorrichtung vergrößert sich das Bauvolumen der aus beiden Teilen bestehenden Einheit, und es tritt insbesondere eine unerwünschte Steigerung der Gesamtbauhöhe ein.
Die Erfindung geht von der Aufgabenstellung aus, bei derartigen mit einer Abscheidevorrichtung kombinierbaren Treibmittelpumpen der eingangs genannten Art eine wesentliche Verringerung der Bauhöhe in der Gesamtanordnung herbeizuführen. Diese Aufgabe wird bei einer solchen Treibmittelpumpe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die hochvakuumseitige Umkehrdüse den Anschlußflansch der Pumpe so weit überragt, daß die Düsenunterkante oberhalb der Flanschebene liegt.
Durch diesen konstruktiven Aufbau wird bei der oben weiteren kegelförmigen Gesamtanordnung der freie Raum in der Abscheidevorrichtung vorteilhaft ausgenutzt, wobei sich eine Verbesserung der Abscheidewirkung mit Verringerung des gesamten Strömungswiderstandes ergibt. In diesem freien Raum kann sich nämlich von der hochvakuumseitigen Umkehrdüse aus die Dampfströmung ungestört ausbilden, und zwar kann sich der Dampfstrahl über die geometrische Leitlinie von der geneigten Düsenhutkappe zur Kondensationsfläche hinaus als Dampfraum aufwölben, ohne von Bauteilen behindert zu sein.
In der Zeichnung ist eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen mehrstufigen Treibmittelpumpe schematisch dargestellt. Es zeigt F i g. 1 einen Längsschnitt und teilweise Seitenansicht der Pumpe, F i g. 2 einen Querschnitt des oberen Pumpenteiles. Ein Pumpengehäuse 1 mit einem seitlichen Vorvakuumanschluß 15 ist mittels eines Flansches 16 mit einer Abscheidevorrichtung 2 über einen zweiten Flansch 261 durch eine feste Klemmverbindung 211 verbunden. An der Hochvakuumseite der Abscheidevorrichtung 2 ist ein Flansch 26 an deren innerem Durchmesser angebracht, an welchen ein nicht gezeigter Rezipient angeschlossen ist.
Innerhalb des Pumpengehäuses 1 ist ein Düsensystem (Pumpenstufen) 3 angeordnet, welches aus einem (bzw. mehreren) zylindrischen oder kegelstumpfförmigen inneren Teil 32 mit aufgesetzten Düsenblechen 321, 322, 323 besteht. Die Hochvakuumstufe 31 ragt in den inneren Raum der Abscheidevorrichtung 2 hinein. Oberhalb eines Düsenhutes 311 der Hochvakuumstufe 31 ist eine Kappe 25 angeordnet, welche vorzugsweise über den Rand des Düsenhutes 311 hinausragt. Die Kappe 25 ist mit einem in der Abscheidevorrichtung 2 angeordneten Baffle 24, welches als Platte ausgebildet ist, an Streben 23, die innerhalb der Abscheidevorrichtung 2 angeschweißt oder eingeklemmt sind, mittels Schrauben 231 auswechselbar angebracht.
Das Baffle 24 ist mit einem Kühlmantel 22 umgeben, welcher über eine Leitung 21 mitt6ls Schraubverbindungen 210 mit einem weiteren, das Pumpengehäuse umgebenden Kühlmantel 12 in Verbindung steht. Innerhalb des Kühlmantels 12 ist eine Silicongummischnur 121 spiralförmig angeordnet, welche das Kühlmittel spiralförmig, vorzugsweise von oben nach unten (in Pfeilrichtung) leitet. Das Pumpengehäuse 1 ist auf einem Fuß 4 befestigt, welcher eine aus Bakkerrohren bestehende Heizvorrichtung aufnimmt.
In F i g. 2 sind im wesentlichen die gleichen Elemente wie in Fig. 1 erkennbar. Der Flansch 26 .der Äbscheidevorrichtung 2 weist Bohrungen 261 zur Aufnahme von Schrauben 260 zur Verbindung mit dem Rezipienten auf. Mittels der Schraubverbindungen 231 ist das Baffle 24 an den Streben 23 befestigt. Man erkennt ferner die Kühlmittelzuleitung 21 mit Schraubverbindungen 20, 201 zum Kühlmantel 22, welcher an einer Seite aufgeschnitten gezeichnet ist.

Claims

Patentanspruch: Mehrstufige Treibmittelpumpe mit konzen-2risch ausgebildeten Umkehrdüsen in einem kegelstumpfförmigen, den Ansaugraum bildenden Gehäuse und mit einer zwischen Rezipient und Ansaugraum auswechselbar angeordneten Abscheidevorrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß die hochvakuumseitige Umkehrdüse den Anschlußflansch der Pumpe so weit überragt, daß die Düsenunterkante oberhalb der Flanschebene liegt. In Betracht gezogene Druckschriften: 'Deutsche Patentschriften Nr. 696 374, 966 418; deutsche Auslegeschrift Nr.1017 741; britische Patentschrift Nr. 903 966.