DE1119557B

DE1119557B - Perot-Fabry interferometer with adjustable plate spacing

Info

Publication number: DE1119557B
Application number: DEC19657A
Authority: DE
Inventors: Pierre Jacquinot; Renan Bellevue; Robert Chabbal
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 1958-08-30
Filing date: 1959-08-21
Publication date: 1961-12-14

Description

Interferometer nach Perot-Fabry mit einstellbarem Plattenabstand Die Erfindung betrifft ein Interferometer nach Perot-Fabry mit zwei teilweise spiegelnden, durch eine Luftschicht getrennten lichtdurchlässigen Platten, die an oder in einem rahmen- oder ringförmigen Plattenträger sitzen und sowohl auf einen bestimmten Abstand als auch auf genaue Parallelität einstellbar sind. Es ermöglicht eine exakte und dauerhafte Justierung der beiden planparallelen Glasscheiben.Perot-Fabry interferometer with adjustable plate spacing Die The invention relates to a Perot-Fabry interferometer with two partially reflective, translucent panels separated by a layer of air, attached to or in a Frame-shaped or ring-shaped plate carriers sit and both at a certain distance as well as being adjustable for exact parallelism. It allows for an exact and permanent adjustment of the two plane-parallel glass panes.

Bekanntlich hängt das Auflösungsvermögen von Perot-Fabry-Interferometern von der Planparallelität der die wesentlichen Bauteile darstellenden teildurchlässigen Glasoberflächen ab. Dabei werden an die Planparallelität der Anordnung sehr hohe Anforderungen gestellt. Es ist z. B. für sehr viele Zwecke erforderlich, daß die Abweichungen von der Parallelität nur Bruchteile einer Wellenlänge betragen. Derart geringe Unterschiede setzen eine genaue Einstellbarkeit der Platten und deren weitgehende Unabhängigkeit von Temperaturschwankungen, Vibrationen und ähnlichen Störungen voraus. It is known that the resolving power of Perot-Fabry interferometers depends on the plane parallelism of the partially permeable parts, which represent the essential components Glass surfaces. The plane parallelism of the arrangement is very high Requirements. It is Z. B. required for many purposes that the Deviations from parallelism are only fractions of a wavelength. Like that small differences mean that the plates can be adjusted precisely and that they are largely adjustable Independence from temperature fluctuations, vibrations and similar disturbances.

Wenn man überdies die Wellenlängeneinstellung ändern will, muß es möglich sein, die Dicke der Luftschicht zwischen den Spiegelflächen der beiden Glasplatten möglichst stetig verändern zu können. Moreover, if you want to change the wavelength setting, you have to be possible, the thickness of the air layer between the mirror surfaces of the two glass plates to be able to change as continuously as possible.

Bei den üblichen Interferometern werden Zwischenlagen verwendet, mit deren Hilfe die Glaspatten in einem gegebenen Abstand voneinander gehalten werden. Die genau bearbeiteten Zwischenlagen werden entweder unmittelbar zwischen den Glasplatten oder zwischen metallenen, die Glasplatten tragenden, meist ringförmigen Rahmen angeordnet, und die Feineinstellung der Parallelität der Platten erfolgt durch entsprechendes Zusammendrücken der unterschiedlichen Zwischenlagen, deren Stärken bei der Herstellung wenigstens ungefähr gleich ausgeführt werden. With the usual interferometers, intermediate layers are used, with the help of which the glass plates are kept at a given distance from each other. The precisely machined intermediate layers are either placed directly between the glass plates or arranged between metal frames, mostly ring-shaped, carrying the glass plates, and the fine adjustment of the parallelism of the plates is carried out by the corresponding Compression of the different intermediate layers, their strengths during manufacture be carried out at least approximately the same.

Derartige Vorrichtungen haben den Nachteil, daß die Interferenzplatten nicht frei von Biegespannungen bleiben, so daß die Planheit der Oberflächen nicht gewährleistet ist. Such devices have the disadvantage that the interference plates does not remain free from bending stresses, so that the flatness of the surfaces does not is guaranteed.

Bei einem bekannten Interferometer für Dickenmessungen ist eine einstellbare, als Interferometerplatte ausgebildete Linse vorgesehen, die an diametral gegenüberliegenden Stellen auf Stützen schwenkbar und an einer normal und radial in bezug auf die Schwenkachse gelegenen Stelle auf einer Schraube gelagert ist, um die Parallelität zur anderen Platte herzustellen. Mit einer solchen Plattenbefestigung läßt sich keine große Genauigkeit erreichen. Diese hängt von der mechanischen Beschaffenheit der Einstellschrauben in sehr hohem Maße ab. Auch bei bestmöglicher Vermeidung von Spielräumen zwischen Schraube und Schraubenlagerung läßt sich keine Justierung der Interferometerplatte auf Bruchteile einer Lichtwellenmenge erreichen. In a known interferometer for thickness measurements, an adjustable, designed as an interferometer plate lens provided on diametrically opposite Places pivotable on supports and on a normal and radial with respect to the pivot axis located point is mounted on a screw in order to be parallel to the other Plate manufacture. With such a plate attachment no large Achieve accuracy. This depends on the mechanical properties of the adjusting screws to a very high degree. Even with the best possible avoidance of leeway between screw and screw bearings, the interferometer plate cannot be adjusted to a fraction a quantity of light waves.

Bei einer anderen bekannten Interferometermeßvorrichtung ist vorgesehen, bei einer Interferometerplatte durch an verschiedenen Stellen konzentrisch angreifende, verschieden starke Federkräfte die Parallelität der Spiegel zu beeinflussen. Diese Bauart behindert jedoch den Strahlengang und ist außerdem nur bei Interferometerplatten anzuwenden, die in ihren Fassungen auf zum Spiegelrand konzentrischen Kreise auf elastischen Zwischenlagen ringsum gleichmäßig aufliegend gelagert sind. Die Verwendung von elastischen Zwischenlagen ist jedoch für Interferometer, bei denen nicht nur eine Parallelität, sondern auch noch ein genauer Abstand der Interferometerplatten gegeben sein soll, nicht geeignet. In another known interferometer measuring device it is provided in the case of an interferometer plate by concentrically acting at different points, different strong spring forces to influence the parallelism of the mirrors. These However, the design obstructs the beam path and is also only available with interferometer plates apply, which in their sockets on circles concentric to the mirror edge elastic intermediate layers are evenly supported all around. The usage However, from elastic intermediate layers is for interferometers where not only parallelism, but also an exact distance between the interferometer plates should be given, not suitable.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Tragkonstruktion für Interferometerplatten zu schaffen, bei der diese sich sehr genau und mit einem bestimmten, fest bleibenden Abstand parallel stellen lassen. The invention is based on the object of a support structure for To create interferometer plates, in which these are very precisely and with a certain, Let the remaining distance set parallel.

Die Erfindung geht aus von einem Interferometer nach Perot-Fabry, bei dem die Platten an oder in einem rahmen- oder ringförmigen Plattenträger sitzen. The invention is based on a Perot-Fabry interferometer, in which the plates sit on or in a frame or ring-shaped plate carrier.

Die Lösung der Aufgabe ist im wesentlichen darin zu sehen, daß jeder der beiden Piattenträger in an sich bekannter Weise aus je zwei über ein elastisch verformbares Glied miteinander verbundenen Teilen besteht, von denen jeweils die ersten, vorzugsweise außenliegenden Teile beider Plattenträger zur festen gegenseitigen Verbindung derselben dienen, während die zweiten, vorzugsweise innenliegenden Teile je eine der Platten tragen und einer von ihnen durch Mittel zur Einstellung der Parallelität der Platten, der andere durch Mittel zur Änderung des Abstandes der Platten gegenüber dem ersten Teil des betreffenden Plattenträgers bewegbar ist, wobei die Mittel zur Einstellung der Parallelität wenigstens drei Druckorgane umfassen, die unabhängig voneinander auf mehreren Stellen des inneren Teiles eines der Plattenträger Druckkräfte ausüben und von denen jedes eine mittels einer Regelschraube belastbare Feder enthält, deren eines Ende an dem inneren Teil anliegt und deren anderes Ende an dem äußeren Teil des betreffenden Plattenträgers befestigt ist, und wobei die Mittel zur Änderung des Abstandes ein empfindliches, auf den inneren Teil des zweiten Plattenträgers wirkendes Übersetzungssystem bilden, das die folgenden Teile umfaßt: a) einen Bügel, der um eine parallel zur Platte angeordnete Achse schwenkbar ist und auf den inneren Teil des Plattenträgers entweder unmittelbar oder über elastische Zwischenglieder einwirkt; b) einen starr mit dem Bügel verbundenen Torsionsstab, dessen Achse die unter a) erwähnte Achse ist und dessen Enden festgehalten sind; c) eine flexible Strebe, deren eines Ende die Torsion des Torsionsstabes bewirkt, wenn an dem anderen freien Ende die zu untersetzende Betätigungsbewegung ausgeübt wird. The solution to the problem is essentially to be seen in the fact that everyone of the two disk carriers in a manner known per se from two each via an elastic deformable member interconnected parts, each of which the first, preferably outer parts of both plate carriers for fixed mutual Serve connection of the same, while the second, preferably internal parts each wear one of the plates and one of them by means of adjusting the Parallelism of the plates, the other by means of changing the spacing of the Plates can be moved with respect to the first part of the plate carrier in question, wherein the means for adjusting the parallelism comprise at least three pressure elements, which are independent of each other on several points of the inner part of one of the plate carriers Apply pressure forces and each of which can be loaded by means of a regulating screw Contains spring, one end of which rests against the inner part and the other end is attached to the outer part of the plate carrier in question, and wherein the Means for changing the distance one sensitive to the inner part of the second Form the plate carrier acting translation system, which comprises the following parts: a) a bracket which is pivotable about an axis arranged parallel to the plate and on the inner part of the plate carrier either directly or via elastic Acts intermediate links; b) a torsion bar rigidly connected to the bracket, whose axis is the axis mentioned under a) and whose ends are fixed; c) a flexible strut, one end of which causes the torsion bar to twist, when the actuating movement to be reduced is exercised at the other free end will.

Als elastisches Glied ist vorzugsweise eine dünne membranartige Metallscheibe verwendet, die jeweils die beiden Teile eines Plattenträgers verbindet und geringe Bewegungen eines der Teile relativ zu dem anderen gestattet. A thin, membrane-like metal disk is preferably used as the elastic member used, each connecting the two parts of a plate carrier and low Movement of one of the parts relative to the other is allowed.

Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn die dünne Metallmembran mit den beiden Teilen einen einstückigen Körper bildet. It is also advantageous if the thin metal membrane with the two parts forms an integral body.

Zur Verbindung der beiden Plattenträger über ihre äußeren Teile sind am einfachsten Muttern und Gegenmuttern verwendet, welche den äußeren Teil eines der Plattenträger an in dem äußeren Teil des anderen Plattenträgers befestigten Gewindebolzen einstellbar festlegen. To connect the two plate carriers via their outer parts are The easiest way to use nuts and jam nuts is the outer part of a the plate carrier attached to in the outer part of the other plate carrier Set threaded bolts adjustable.

Die Genauigkeit der Parallelität der Glasplatten wird nicht gemindert oder beseitigt, wenn man den lichten Abstand zwischen den beiden Platten verändert. The accuracy of the parallelism of the glass plates is not reduced or eliminated if the clear distance between the two plates is changed.

Die gemäß der Erfindung zu erhaltenden Vorteile sind: sehr genaue Einstellbarkeit der Parallelität der beiden Glasplatten; stetige Änderung des Abstandes der beiden Glasplatten, was die Einstellung innerhalb eines größeren Spektralbereiches möglich macht; einwandfreies Einhalten der Parallelität bei Anderung des lichten Abstandes zwischen den Glasplatten. The advantages to be obtained according to the invention are: very precise Adjustability of the parallelism of the two glass plates; constant change in distance of the two glass plates, which allows the setting within a larger spectral range makes possible; Perfect compliance with the parallelism when changing the clear Distance between the glass plates.

Unter Bezugnahme auf die Zeichnung wird nun ein Ausführungsbeispiel eines gemäß der Erfindung ausgeführten Interferometers beschrieben. Es zeigt Fig. 1 eine perspektivische Darstellung der beiden zusammengebauten Plattenträger, Fig. 2 einen Axialschnitt durch die beiden Plattenträger, Fig. 3 einen Querschnitt durch denjenigen Plattenträger, in dem die Regelung der Parallelität erfolgt, Fig. 4 eine perspektivische Darstellung desjenigen Teiles der Vorrichtung, an dem die Regelung oder Einstellung des Abstandes der Platten erfolgt, Fig. 5 eine von unten gesehene Ansicht der Tragvorrichtung des Interferometers, Fig. 6 eine abweichende Ausführung einer Einzelheit der Druckübertragung von dem Bügel an den Träger. Referring to the drawing, an embodiment will now be shown an interferometer designed according to the invention is described. It shows Fig. 1 is a perspective view of the two assembled plate carriers, Fig. 2 shows an axial section through the two plate carriers, FIG. 3 shows a cross section through that plate carrier in which the regulation of the parallelism takes place, Fig. 4 a perspective view of that part of the device on which the control or the distance between the plates is adjusted, FIG. 5 is a view from below View of the support device of the interferometer, FIG. 6 shows a different embodiment a detail of the transfer of pressure from the bracket to the wearer.

Es sind in den Figuren der Zeichnung lediglich diejenigen Elemente und Teile dargestellt, die zum Verständnis der Erfindung notwendig sind; einander entsprechende Elemente sind in den unterschiedlichen Figuren mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet worden. There are only those elements in the figures of the drawing and parts are shown which are necessary for an understanding of the invention; each other Corresponding elements are given the same reference symbols in the different figures been designated.

Die Fig. 1 zeigt die Zusammenstellung der beiden Plattenträger 1 und 2, die miteinander unter Verwendung dreier Gewindebolzen 3 fest verbunden sind. 1 shows the combination of the two plate carriers 1 and 2, which are firmly connected to one another using three threaded bolts 3.

Die Gewindebolzen 3 sitzen starr in dem Plattenträger 1, und zwar senkrecht zu seiner Grundebene; die Achsen der drei Bolzen liegen an den Ecken eines gleichseitigen Dreiecks. Der Plattenträger 2 ist auf den Gewindebolzen durch Einstellmuttern 4 und Gegenmuttern 5 festgelegt, mit deren Hilfe der Plattenträger 2 in dem gewünschten Abstand von dem Plattenträger 1 festgelegt werden kann. Dabei erfolgt gleichzeitig eine grobe Einstellung der Parallelität der beiden Plattenträger bzw. der in ihnen sitzenden Glasplatten.The threaded bolts 3 sit rigidly in the plate carrier 1, namely perpendicular to its base plane; the axes of the three bolts lie at the corners of one equilateral triangle. The plate carrier 2 is on the threaded bolts by adjusting nuts 4 and lock nuts 5 set, with the help of which the plate carrier 2 in the desired Distance from the plate carrier 1 can be set. This takes place at the same time a rough adjustment of the parallelism of the two plate carriers or that in them seated glass plates.

Die Fig. 2 zeigt, daß jeder der beiden Plattenträger aus einem kräftigen und infolgedessen sehr steifen äußeren Ring 6 bzw. 7 und aus einem inneren, als Buchse ausgebildeten Ring 8 bzw. 9 besteht, der ebenfalls in sich relativ steif ist. Zwischen den äußeren Ringen 6 und 7 und den inneren Ringen 8 und 9 befindet sich je eine dünnwandige Ringscheibe 10 bzw. 11, die jeweils den inneren mit dem äußeren Ring verbindet und eine leicht verformbare elastische Membran bildet. Fig. 2 shows that each of the two plate carriers consists of a strong and as a result very stiff outer ring 6 and 7 and from an inner, as Bush formed ring 8 or 9, which is also relatively stiff in itself is. Located between the outer rings 6 and 7 and the inner rings 8 and 9 each a thin-walled washer 10 and 11, each with the inner with the outer ring connects and forms an easily deformable elastic membrane.

Die Vorrichtung für die Feineinstellung der Parallelität der beiden Platten ist in Fig. 3 dargestellt. The device for fine-tuning the parallelism of the two Plates is shown in FIG. 3.

Die Fassung der Glasplatte 12 in dem Plattenträger 2 besteht aus dem inneren Ring 9 und der Stahlbuchse 13, die in den Ring 9 eingebaut ist. Um eine Parallelität der beiden einander gegenüberliegenden Glasplatten zu erzielen, läßt man drei einstellbare Kräfte auf den 1 Flansch der Buchse 13 wirken, und zwar an drei Punkten (val. Punkt in Fig. 3) dieses Flansches, die an den Eckpunkten eines gleichseitigen Dreiecks liegen. Die Kräfte werden von drei Federn 14 ausgeübt, die mit ihrem einen Ende auf dem Außenring 7 befestigt sind und deren Verformung durch drei Regelschrauben 15 durchgeführt wird.The version of the glass plate 12 in the plate carrier 2 consists of the inner ring 9 and the steel sleeve 13, which is built into the ring 9. To a To achieve parallelism of the two opposing glass plates, can three adjustable forces act on the 1 flange of the socket 13, namely at three points (val. Point in Fig. 3) of this flange, which at the corner points of a equilateral triangle. The forces are exerted by three springs 14, the are fastened with one end on the outer ring 7 and their deformation by three adjusting screws 15 is carried out.

In der Fig. 4 sieht man die. Vorrichtung, mit der die Parallelverschiebung des inneren Ringes 8 des Plattenträgers 1 durchgeführt wird. Die Glasplatte 16, die auch »bewegliche Glasplatte« genannt wird, sitzt sitzt fest in dem inneren Ring 8. Die senkrecht zur Ebene dieser Glasplatte auszuübenden Kräfte wirken auf die Stirnfläche des inneren Ringes 8 in zwei Zonen oder Flächenbereichen B und B', die am Umfang dieses inneren Ringes 8 einander genau gegenüberliegen. An diesen beiden Stellen stützen sich die Arme eines gabelartigen Bügels 17 auf den inneren Ring ab, der eine Schwenkbewegung mit geringem Schwenkwinkel um eine parallel zur Ebene des Platz tenträgers 1 angeordnete Achse 18 ausführen kann. In Fig. 4 you can see the. Device with which the parallel displacement of the inner ring 8 of the plate carrier 1 is carried out. The glass plate 16, the "movable glass plate" is also called, sits firmly in the inner ring 8. The forces to be exerted perpendicular to the plane of this glass plate act on the End face of the inner ring 8 in two Zones or areas B and B ', which are exactly opposite one another on the circumference of this inner ring 8. The arms of a fork-like bracket 17 are supported at these two points the inner ring, which has a pivoting movement with a small pivot angle by a parallel to the plane of the square tenträgers 1 arranged axis 18 can run.

Unter der Wirkung der von dem Bügel 17 ausgeübten Drücke wird der innere Ring 8 axial verschoben, da sich die dünne, membranartige Ringscheibe 10 relativ leicht verformen läßt.Under the action of the pressures exerted by the bracket 17, the inner ring 8 displaced axially, since the thin, membrane-like annular disk 10 can be deformed relatively easily.

Der Bügel 17 ist starr an dem zylindrischen Torsionsstab 18 befestigt, dessen beide Enden in Klemmstücken 19 und 20 festgelegt sind, die ihrerseits starr an einer Tragkonstruktion der gesamten Vorrichtung befestigt sind. The bracket 17 is rigidly attached to the cylindrical torsion bar 18, both ends of which are fixed in clamping pieces 19 and 20, which in turn are rigid are attached to a supporting structure of the entire device.

Durch die Torsion des Torsionsstabes 18 wird die Schwenkbewegung des Bügels 17 ermöglicht, und die Schwenkachse dieses Bügels ist gleichzeitig die Achse des Torsionsstabes. Die Torsion wird durch ein Drehmoment herbeigeführt, das mittels einer federnden Metallbandstrebe 21 auf den Torsionsstab 18 ausgeübt wird. Diese Metallbandstrebe 21 ist an dem unteren kurzen Hebelarm des Bügels 17 festgelegt und wird an ihrem freien Ende durch irgendein Betätigungsmittel, beispielsweise eine Kurvenscheibe oder eine Einstellschraube (die nicht in der Zeichnung dargestellt sind), belastet und geschwenkt. Die Bewegung des Endes der Federstrebe 21 wird mehrfach untersetzt auf den inneren Ring 8 übertragen. Man kann durch dieses Untersetzungssystem die Glasplatte 16 um wenige Mikron verschieben, so daß es möglich ist, einen spektralen Bereich zu durchforschen, der mehrere aufeinanderfolgende Interferenzordnungen enthält. Due to the torsion of the torsion bar 18, the pivoting movement of the bracket 17 allows, and the pivot axis of this bracket is also the Axis of the torsion bar. The torsion is brought about by a torque that is exerted on the torsion bar 18 by means of a resilient metal band strut 21. This metal strut 21 is fixed to the lower short lever arm of the bracket 17 and is at its free end by some actuating means, for example a cam or an adjusting screw (not shown in the drawing are), loaded and swiveled. The movement of the end of the spring strut 21 becomes multiple transferred to the inner ring 8 stocky. You can go through this reduction system move the glass plate 16 by a few microns so that it is possible to obtain a spectral Explore the area containing several consecutive interference orders.

Die Fig. 5 zeigt den die ganze Vorrichtung tragenden Sockel oder Grundteil, der aus einer Platte 22 besteht, auf welcher der Plattenträger 1 an zwei einander genau gegenüberliegenden Punkten C und C' befestigt ist. Die beiden Punkte C und C' liegen in einer senkrecht zur Fläche des Plattenträgers 1 liegenden Axialebene, in der auch die Druckpunkte B und B' liegen, in denen die Enden des Bügels 17 auf den inneren Ring 8 einwirken. Durch diese Anordnung wird erreicht, daß die in den Punkten C und C' angreifenden Reaktionskräfte der Drücke des Bügels keine unsymmetrischen Verformungen erzeugen und die Bewegung der Glasplatte 16 tatsächlich eine reine axiale Verschiebung ist. Der äußere Umfang des Außenringes 6 des Plattenträgers 1 ist durch eine gestrichelte Linie dargestellt. 5 shows the base or base carrying the entire device Base part, which consists of a plate 22 on which the plate carrier 1 to two is attached exactly opposite points C and C '. The two points C and C 'lie in an axial plane lying perpendicular to the surface of the plate carrier 1, in which the pressure points B and B 'lie, in which the ends of the bracket 17 on the inner ring 8 act. This arrangement ensures that the in the Points C and C 'acting reaction forces of the pressure of the bracket are not asymmetrical Generate deformations and the movement of the glass plate 16 is actually pure is axial displacement. The outer circumference of the outer ring 6 of the plate carrier 1 is represented by a dashed line.

Der Schnitt gemäß Fig. 6 liegt in der Mittelebene eines der beiden Arme des Bügels 17 und senkrecht zu dem Torsionsstab 18. Man sieht in dieser Figur die Bandfeder 23, die das elastische Element bildet, das an einem Arm des Bügels 17 befestigt ist und sich über eine Druckwarze 24 auf die Zone B des inneren Ringes 8 abstützt; der andere Arm des Bügels 17 trägt das gleiche elastische Druckelement. Das System der Übertragung des Bügeldruckes auf den inneren Ring 8 gemäß dieser besonderen Ausführungsform gestattet es, noch eine weitere Untersetzung der Bewegungsamplituden zu erreichen und die Stabilität des Gesamten zu verbessern. The section according to FIG. 6 lies in the center plane of one of the two Arms of the bracket 17 and perpendicular to the torsion bar 18. One can see in this figure the ribbon spring 23, which forms the elastic element, which is attached to one arm of the bracket 17 is attached and extends over a pressure nipple 24 on zone B of the inner ring 8 supports; the other arm of the bracket 17 carries the same elastic pressure element. The system of transferring the ironing pressure to the inner ring 8 according to this A special embodiment allows a further stepping down of the movement amplitudes to achieve and to improve the stability of the whole.

Die freie Länge der Buchse 13 kann bei geeigneter Wahl des Materials so bemessen werden, daß man eine Kompensation der durch Temperatureinflüsse bedingten Längenänderungen der Gewindebolzen einerseits und der Summe der änderungen der Buchse 13 und der Glasplatte 16 anderseits erzielt. The free length of the socket 13 can with a suitable choice of material be dimensioned in such a way that one compensates for the temperature effects Changes in length of the threaded bolts on the one hand and the sum of the changes in the socket 13 and the glass plate 16 on the other hand achieved.

Die Temperaturkompensation ist genau genommen nur für eine bestimmte Dicke der Luftschicht zwischen den beiden Glasplatten gültig7 sie ist aber auf jeden Fall in einem gewissen Dickenbereich dieser Luftschicht praktisch ausreichend. The temperature compensation is strictly speaking only for a certain one Thickness of the air layer between the two glass plates is valid7 but it is on everyone Case in a certain thickness range of this air layer is practically sufficient.

Die Möglichkeit, Buchsen 13 mit unterschiedlicher Länge zu verwenden, gestattet es schließlich, diese Kompensation bei unterschiedlichen Dicken der Luftschichten stets möglichst genau zu machen. The possibility of using sockets 13 of different lengths, it finally allows this compensation with different thicknesses of the air layers always to be as accurate as possible.

Claims

PATENT CLAIMS: 1. Perot-Fabry interferometer with two partial reflective, translucent panels separated by a layer of air that adhere to or sit in a frame or ring-shaped plate carrier and both on one certain distance as well as exact parallelism can be set, characterized in that that each of the two plate carriers in a known manner from two over one elastically deformable member consists of interconnected parts, each of which the first, preferably outer parts of both plate carriers for fixed mutual Connection of the two plate carriers are used, while the second, preferably internal Parts each carry one of the plates and one of them by means of adjustment the parallelism of the plates, the other by means of changing the distance the plates can be moved in relation to the first part of the plate carrier in question, wherein the means for adjusting the parallelism are at least three pressure elements, which are independent of each other on several points of the inner part of one of the plate carriers Apply pressures and each of which is a spring loaded by means of a regulating screw contains, one end of which rests against the inner part and the other end of which rests against the outer part of the plate carrier in question is attached, and the means for Change of the distance a sensitive, on the inner part of the second plate carrier form an effective reduction system comprising the following parts: a) a bracket, which is pivotable about an axis arranged parallel to the plate and on the inner part of the plate carrier either directly or via elastic intermediate links acts; b) a torsion bar rigidly connected to the bracket, the axis of which is the under a) mentioned axis and the ends of which are held; c) a flexible one Strut, one end of which causes the torsion bar to twist, if at the other, the free end of the actuating movement to be reduced is exerted.

2. Interferometer according to claim 1, characterized in that the elastic member is a thin membrane-like metal disc that joins the two parts the plate carrier connects and small mutual movements of one of the parts relative allowed to the other.

3. Interferometer according to claim 2, characterized in that the thin metal membrane forms an integral body with both parts.

4. Interferometer according to one of claims 1 to 3, characterized in that that for the connection of the two plate carriers on their outer parts nuts and Lock nuts are used which attach the outer part of one of the plate carriers adjustable threaded bolts fastened in the outer part of the other plate carrier determine.

References considered: U.S. Patent No. 2743 645, 2462292, 2571937; German Patent No. 818 877; French patent specification No. 687748; Austrian Patent No. 128072; German interpretative document no. 1,021,595; J. Opt Soc. Am, 47 (1957) p. 1097; J. Scient. Instr., 33 (1956), p. 478 to 482.