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DE1162161B - Verfahren und Vorrichtung zum Anzeigen einer vorbestimmten AEtztiefe - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Anzeigen einer vorbestimmten AEtztiefe

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Publication number
DE1162161B
DE1162161B DEN11143A DEN0011143A DE1162161B DE 1162161 B DE1162161 B DE 1162161B DE N11143 A DEN11143 A DE N11143A DE N0011143 A DEN0011143 A DE N0011143A DE 1162161 B DE1162161 B DE 1162161B
Authority
DE
Germany
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sample
etching
workpiece
display device
depth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEN11143A
Other languages
English (en)
Inventor
Eugene L Triman
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
North American Aviation Corp
Original Assignee
North American Aviation Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by North American Aviation Corp filed Critical North American Aviation Corp
Publication of DE1162161B publication Critical patent/DE1162161B/de
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/26Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring depth
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41CPROCESSES FOR THE MANUFACTURE OR REPRODUCTION OF PRINTING SURFACES
    • B41C1/00Forme preparation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/02Local etching
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/08Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/32Polishing; Etching

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Description

  • Verfahren und Vorrichtung zum Anzeigen einer vorbestimmten Ätztiefe Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Anzeigen einer vorbestimmten Ätztiefe in einem in ein chemisches Ätzbad eingesetzten Werkstück.
  • Bisher wurde beim Ätzen von Metallen die Ätztiefe eines in ein chemisches Ätzbad eingesetzten Werkstücks im wesentlichen nach zwei verschiedenen Verfahren ermittelt: erstens durch genaue Einhaltung einer bestimmten Atzzeit und zweitens durch periodisches Herausnehmen des Werkstücks und Messen der noch vorhandenen Dicke des Werkstücks. Das zuerst genannte Verfahren berücksichtigt nur ungenügend die Veränderungen des Ätzgrades, die den verhältnismäßig lang andauernden Ätzvorgang begleiten, während das zweite Verfahren eine Vergeudung von Zeit und Einbußen an Genauigkeit durch das periodische Herausnehmen des Werkstücks aus dem Bad zur Folge hat. Befindet sich eine größere Anzahl von Werkstücken gleichzeitig in dem chemischen Ätzbad, dann ergeben sich sehr leicht Irrtümer und Fehler, weil sich die Eigenschaften des Bades verändern können, ohne daß dies rechtzeitig und in dem erforderlichen Umfang bemerkt wird. Diese Probleme spielen insbesondere dann eine große Rolle, wenn bei den zu ätzenden Werkstücken die Einhaltung enger Toleranzen verlangt wird.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu schaffen, um die Tiefe der chemischen Bearbeitung bzw. Ätzung so genau wie nur irgend möglich zu überwachen.
  • Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß an dem Werkstück oder in dessen unmittelbarer Nachbarschaft ein Musterstück in dem Atzbad angeordnet wird, das aus demselben Material wie das Werkstück besteht und dessen Mindestdicke in einem ganz bestimmten Verhältnis zu der Ätztiefe steht, und daß beide Stücke den gleichen Ätzbedingungen unterworfen werden, bis infolge der Schwächung oder der vollständigen Durchätzung des Musterstücks eine Anzeigevorrichtung betätigt wird, welche die Erreichung der vorbestimmten Ätztiefe in dem Werkstück anzeigt bzw. eine Tauchvorrichtung betätigt.
  • Die Materialschwächung oder die Durchätzung des Musterstückes in dem Ätzbad werden also dazu benutzt, elektrische, mechanische oder pneumatische Anzeigesignale für die Erreichung der gewünschten Ätztiefe des Werkstücks zu geben. Als besonders vorteilhaft hat sich ein Verfahren erwiesen, bei dem durch das Musterstück ein elektrischer Strom geleitet wird, dessen Stärke je nach dem Umfang der Materialabnahme durch das Ätzen herabgesetzt bzw. auf Null zurückgeführt wird, so daß auf diese Weise ein Abtasten der erreichten Atztiefen erzielt wird.
  • Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung enthält eine elektrische Ermittlungsvorrichtung (z. B. einen Leiter oder ein Schaltgerät), die in einem eine Stromquelle und das Musterstück enthaltenden elektrischen Stromkreis liegt und auf elektrische Änderungen in dem Stromkreis anspricht.
  • Im folgenden sollen einige Ausführungsbeispiele des Erfindungsgegenstandes unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben werden. In der Zeichnung ist F i g. 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung, F i g. 2 ein Schaltschema einer Ausführungsform der elektrischen Ermittlungseinrichtung, F i g. 3 eine abgewandelte Schaltanordnung für die Ermittlungseinrichtung nach der Erfindung, F i g. 4 ein Schnitt durch ein Musterstück und stellt die Ätzwirkung dar, F i g. 5 ein Teil einer elektrischen Ermittlungseinrichtung mit einem einen Bestandteil des Werkstücks bildenden Musterstück, F i g. 6 eine Draufsicht auf den überzug bzw. das Blech gemäß F i g. 5, F i g. 7 eine Schrägansicht auf eine andere Ausführungsform eines Musterstücks, F i g. 8 eine mechanische Ermittlungseinrichtung zur überwachung der Ätztiefe, F i g. 9 eine abgeänderte Ausführungsform der mechanischen Ermittlungseinrichtung nach F i g. 8 und F i g. 10 eine pneumatische Ermittlungseinrichtung zur Überwachung der Ätztiefe.
  • Wie F i g. 1 zeigt, wird das Werkstück 2 in einen Trog oder Tank 1 eingebracht und besteht bei dem gewählten Ausführungsbeispiel aus einem gebogenen Stück Blech, dessen Kanten mit einem ätzfesten Film 3 überzogen werden. Das Ätzmittel ätzt das Metall in dem Bereich 4 weg, so daß ein Blech entsteht, das einen zentralen Bereich geringerer Dicke als das ursprüngliche Material und übrige, nicht geätzte Teile aufweist. Mit 5 ist die übliche Vorrichtung bezeichnet, die dazu dient, das Ätzgut in den Tank hinein und aus diesem heraus zu befördern.
  • In dem Tank 1 befindet sich das Musterstück 6, das den gleichen Ätzbedingungen wie das Werkstück 2 unterworfen wird. Es besteht im allgemeinen aus demselben Material wie das Werkstück und besitzt Mindestabmessungen, die der gewünschten Ätztiefe proportional sind. Diese Mindestabmessungen haben im allgemeinen einen solchen Wert, daß eine Durchätzung des Musterstücks eintritt, wenn die vorbestimmte Ätztiefe erreicht ist. Bei getrennt angeordnetem Musterstück wird die Mindestabmessung im allgemeinen gleich der gewünschten Ätztiefe sein. Bei der Ermittlung durch Abnahme eines Stromdurchflusses endet der nachstehend beschriebene Nebenschlußeffekt des Musterstücks bei einem kritischen Wert von annähernd 25 - 10-s mm in Abhängigkeit von den tatsächlichen Abmessungen des Musters. Dieser Wert stellt dann den theoretischen Grenzwert dar, bei dem die Anzeige erfogt. Infolge der verhältnismäßig großen Ungenauigkeit, die der Ätzbehandlung an sich anhaftet, werden jedoch die Toleranzen der hier beschriebenen Überwachungseinrichtungen gewöhnlich in der Größenordnung von ±0,025 bis 0,050 mm liegen.
  • Während des gleichzeitigen Ätzangriffs auf das Werkstück 2 und das Muster 6 wird ein elektrischer Strom über die Zuführungen 7 und 8 durch das Werkstück geleitet. Eine Ermittlungseinrichtung 9, die vorzugsweise als kompaktes Aggregat in der Nähe des Tanks angeordnet ist, dient dazu, eine vorbestimmte Schwächung des Musterstücks 6 zu erkennen. Tritt diese Schwächung ein und wird sie festgestellt, dann kann über die Zuleitungen 11 ein Ermittlungssignal einer Meldeeinrichtung 10 oder über die Zuleitungen 13 einer Auslöseeinrichtung 12 und der Bedienungsvorrichtung 5 zugeführt werden. Auf diese Weise wird die Bedienungsperson des Ätzbades durch ein optisches oder akustisches Signal von dem Erreichen der vorbestimmten Ätztiefe in Kenntnis gesetzt, und das Werkstück kann von Hand oder maschinell aus dem Bad entnommen werden.
  • Die Überwachungseinrichtung dient zwar vorzugsweise zum Überwachen des selektiven Ätzens verschiedener Werkstücke, es können aber auch andere Sorten Bleche. Schmiedestücke, Gußstücke und Stanzstücke durch die Ermittlungseinrichtung überwacht werden. Die Werkstücke können daher ohne weiteres auch aus Titan, Aluminium oder Stahl bestehen, die in alkalischen oder sauren Ätzlösungen geätzt und kontrolliert werden sollen.
  • Während des Atzens des Werkstücks und des gleichzeitigen, in demselben Ausmaß erfolgenden Ätzens des Musterstücks 23 liegt letzteres als Nebenschluß am Stromkreis durch die Primärwicklung des Transformators 17. Dieser Nebenschluß verhindert, daß eine wesentliche Spannung an ein Relais gelangt, das parallel zu dem Musterstück geschaltet ist. Die Schwächung des Musterstücks während des Atzvorgangs kann bis zu einem Mindestmaß erfolgen (beispielsweise 25.10-6 mm), bei dem der Nebenschlußeffekt durch Querschnittsverminderung aufhört oder eine völlige Zerstörung des Musterstücks eintritt.
  • Die bei der Schwächung an dem Musterstück ansteigende Spannung beeinflußt einen Transformator 25, wird in einem Gleichrichter 26 gleichgerichtet und durch einen Kondensator 27 geglättet und betätigt schließlich ein elektromagnetisches Relais 28.
  • Nach F i g. 2 kann die Speisespannung der Sekundärseite eines Transformators 25a zugeführt werden, wobei die Nebenschlußwirkung des Musterstücks über den Transformator nutzbar gemacht wird. Diese Auswirkung ist das normale Ergebnis der Grundeigenschaften eines Transformators, die darin besteht, die Impedanz der einen Wicklung auf die andere Wicklung zu übertragen. Dies ermöglicht eine vollständige Isolation jedes einzelnen Musterstücks und das Fortlassen des Transformators 17. Bei dieser Schaltanordnung müssen die Widerstände 20a und 21a dem Wert nach den umlaufenden höheren Spannungen angepaßt werden.
  • Eine weitere Abwandlung einer elektrischen Ermittlungs- und Anzeigeeinrichtung wird in F i g. 3 dargestellt. Nach dieser wird die Netzspannung an dem Schalter 69 mit einer »Ein« anzeigenden Lampe 70 zugeführt. Zum Regeln der Empfindlichkeit der Schaltung ist ein Widerstand 71 und ein zu dem Musterstück 23 führender Abwärtstransformator 72 vorgesehen. An der Primärseite des Abwärtstransformators 72 liegen ein fester Widerstand 73 und eine Glimmlampe 74. 1m Betrieb ist der Stromkreis bei 69 geschlossen, das Licht 70 eingeschaltet, und es fließt ein Strom durch die Glimmlampe 74, die aber als Folge der Nebenschlußwirkung des Transformators 72 auf die Speisespannung nicht glimmt. Tritt bei dem Musterstück 23 eine Schwächung ein, so erreicht der Widerstand in diesem einen Maximalwert, wobei die Impedanz der Primärseite des Transformators im Vergleich zu dem Widerstand 71 so hoch wird, daß der Spannungsabfall an der Lampe 74 das darin enthaltene Gas ionisiert und ein Zünden der Lampe bewirkt. Das Glimmen der Lampe 74 zeigt daher eine vorbestimmte Schwächung des Musters und damit das Erreichen der gewünschten Ätztiefe an. Die Glimmlampe 74 kann eine beliebige Gasentladungslampe, wie Neon-Lampe, oder ein Thyratron sein. Weiterhin kann an den Glimmlampenkreis eine akustische Einrichtung angeschlossen werden, die das Zünden dieser Lampe akustisch anzeigt.
  • F i g. 4 stellt die normale Ätzwirkung auf eine Metallfläche dar. Ein Metallblech 47 ist auf der Rückseite mit einer ätzfesten Schicht 49 und auf der zu ätzenden Vorderseite teilweise mit einer ätzfesten Schicht 48 abgedeckt. Soll das Blech 47 bis zu einer vorbestimmten Tiefe d geätzt werden, wirkt die Ätzung gleichzeitig unter die frei liegende Kante der ätzfesten Schicht 48, so daß sich eine Hohlkehle bildet. Die Hohlkehle besitzt einen von dem Punkt 51 ausgehenden Radius 50, der gleich der gewünschten Tiefe d der Ätzung ist.
  • Diese Erscheinung wird als Grundlage für die Bestimmung der Ätztiefe eines einen Teil des Werkstücks bildenden Musterstücks, wie in F i g. 5 dargestellt, benutzt. Es wird am Werkstück 52 ein das Musterstück bildender Abschnitt unter Verwendung einer ätzfesten Scheibe 54 od. dgl. hergestellt, deren Durchmesser doppelt so groß ist wie die gewünschte Ätztiefe.
  • Bei dem selektiven Ätzen des Werkstücks 52 wird dieses mit einer ätzfesten Schicht 53 überzogen, wobei eine zu ätzende Fläche der ätzfesten Schicht ausgespart wird. Die ätzfeste Scheibe 54 wird auf einer ungeschützten, als Musterstück dienenden Zone des Blechs 52 befestigt und das ganze Blech der Einwirkung des Ätzmittels ausgesetzt. Die Ätztätigkeit wird außer dem Wegfressen des direkt exponierten Materials auch die Scheibe 54 hinterätzen, und zwar in einem Ausmaß, das gleich der tatsächlichen Tiefe der Atzung in einem ungeschützten Bereich ist. F i g. 5 zeigt die durch das Hinterätzen gebildeten Hohlkehlen mit den Radien 56. Durch die ätzfeste Schicht und die Scheibe 54 hindurch werden bei 55 bzw. 57 elektrische Anschlüsse hergestellt. Ist die gewünschte Ätztiefe d erreicht, so zeigt der Teil 57 a die in F i g. 5 bedeutend vergrößert dargestellte Schwächung.
  • Der in F i g. 5 dargestellte Schaltungsteil umfaßt eine Wechselspannungsquelle 14, einen Abwärtstransformator 17, Empfindlichkeitsregler 20, 21 und den Aufwärtstransformator 25.
  • Die Schaltung ist so aufgebaut, daß während des Ätzvorganges das Musterstück als ein Teil des Werkstücks als Nebenschluß zwischen den Kontaktpunkten 57 und 55 wirkt. Tritt bei dem Musterstück 57a eine wirksame Schwächung auf, so hört die Nebenschlußwirkung auf, und der Stroinfluß durch den Transformator 25 vergrößert sich bis auf einen vorherbe.itimmten Wert, bei dem er das Anzeigesignal auslöst.
  • F i g. 6 ist eine Draufsicht auf das einen Bestandteil des Werkstücks bildende Musterstück nach F i g. 5. Das Werkstück 52 ist in seinem Randbereich mit einem Überzug 53 versehen und mit der ätzfesten Scheibe 54, die eine Stromzuführung 54 a zur Überwachung einer Ätztiefe gleich dem halben Durchmesser der Scheibe 54 besitzt.
  • Fig.7 stellt eine bevorzugte Ausführungsform eines vom Werkstück getrennten Musterstückes 23 dar, das vorzugsweise aus einem Metallstück desselben Materials wie das Werkstück besteht. Das dargestellte Musterstück wird gewöhnlich verwendet, wenn nur eine Seite des Werkstücks geätzt werden soll. An der Unterseite des Musters und an dessen Stirnseiten ist eine ätzfeste Schicht 59 aufgebracht. Die Zuführungen 60 sind an die Stirnseiten des Musterstücks 23 durch die Schicht 59 hindurch angeschlossen. In der Oberfläche 58 des Musterstücks ist ein Kanal 61 vorgesehen, dessen Grund eine wirksame kritische Dicke 62 des Musterstücks einstellt, die gleich der gewünschten Ätztiefe ist. Im Betrieb greift das Ätzmittel in gleichem Umfang sowohl das Werkstück als auch das Musterstück an. Ist der Atzvorgang entsprechend der gewünschten Ätztiefe fortgeschritten und hat sich dabei die kritische Dicke 62 entsprechend vermindert, hört der Nebenschlußeffekt des Musterstücks 23 auf. Die überwachungseinrichtung ermittelt diese Schwächung und signalisiert deren Auftreten.
  • Wenn das Werkstück auf beiden Seiten geätzt werden soll, kann die ätzfeste Schicht 59 entfallen. Die kritische Dicke 62 muß jedoch so bemessen sein, daß sie der gewünschten Gesamtätztiefe auf beiden Seiten entspricht. Dabei müssen die Verbindungen der Zuführungen 60 zu dem Musterstück 23 vor der Ätzwirkung geschützt werden. Dies kann normalerweise dadurch bewirkt werden, daß sich die ätzfeste Schicht 59 entlang den Stirnseiten des Musterstücks, wie in F i g. 7 dargestellt, erstreckt.
  • Beim Ätzen von plattiertem Blech wird der Kanal gewöhnlich an der Unterseite des Musterstücks angeordnet, so daß die kritische Dicke 62 das gesamte Plattierungsmaterial umfaßt. Dadurch werden durch das Plattierungsmaterial bedingte Unterschiede in der Ätzwirkung berücksichtigt. Wird die Ätztiefe, wie im folgenden beschrieben, mechanisch ermittelt, können die Schutzschicht des Musterstücks und der schwächende Kanal entfallen, da dann kein Bereich mit entsprechend dem Ätzgrad variablem elektrischem Widerstand erforderlich ist.
  • F i g. 8 stellt eine mechanische Einrichtung zum Ermitteln der Schwächung des Musterstücks und eine mechanische Einrichtung zum Auslösen und Weitermelden, daß eine solche Schwächung erreicht worden ist, dar. Das Muster 23 ist in dem Ätztank 1 zwischen einer Haltevorrichtung 63 und einer Federeinrichtung 64 untergebracht. Mit der Feder 64 steht ein Hebelglied 65 in Verbindung und ist an einem Stützarm 68 drehbar angebracht. Gewöhnlich sind an dem Hebel 65 ein Gegengewicht 67 und ein Fahnensignal 66 befestigt. Das Musterstück 23 wird der gleichen Ätzwirkung ausgesetzt wie das nicht dargestellte Werkstück im Tank 1. Die Dicke des Musterstücks 23 ist so gewählt, daß sie der gewünschten Ätztiefe auf dem Werkstück entspricht. Ist diese gewünschte Ätztiefe erreicht, wird die Kraftwirkung der Feder 64 größer als die Festigkeit in der durchätzten geschwächten Zone des Musterstücks, und dieses bricht, wodurch die Anzeige ausgelöst wird.
  • Die Federspannung wird so gewählt, daß die Vorrichtung bei einer vorherbestimmten Verminderung der Festigkeit des Musterstücks anspricht. Dieses reißt dann auseinander und bewirkt, daß sich die Signalfahne 66 in die gestrichelt dargestellte Stellung hebt. Dies ist für die Bedienung ein sichtbares Zeichen, daß die gewünschte Ätztiefe erreicht ist. Ferner kann das Hebelglied 65 die Kontakte 33 und 33 a überbrücken, um einen Läutekreis zu betätigen, der eine Energiequelle 14 und eine Klingel 37 enthält.
  • Eine weitere Einrichtung zum Überwachen des Erreichens der gewünschten Ätztiefe ist in F i g. 9 dargestellt. Eine Luftröhre 88 od. dgl. kann in den Tank 1 eingesetzt werden. An den Enden der genannten Röhre ist eine Federklammer oder eine andere Klemmvorrichtung 87 vorgesehen. Zwischen die Enden der Röhre 88 und den Federn der Klammer 87 wird ein Musterstück 23 eingesetzt. Vorzugsweise wird dazwischen eine Gummidichtung 89 gelegt. Die Leitung 88 wird durch eine einen z. B. pneumatischen Druck erzeugende Einrichtung 92 unter Druck gesetzt. Während des Ätzvorganges bleibt die Leitung 88 durch den Verschluß der Luftröhre 88 mittels Gummidichtung und Musterstück 23 unter Druck. Wird das Musterstück 23 durch das Ätzen zerstört, kann die Luft aus der Röhre 88 in den Tank 1 entweichen, wobei in der Röhre 88 ein Druckabfall oder eine Veränderung verursacht wird. Diese Druckveränderung kann ein Druckventil 90 betätigen, das zu einer Sicht- oder Hör-Signalleitung 91 führt, oder sie kann eine Membran 94 bewegen, wodurch ein sichtbares Schwimmersignal 93 betätigt wird. Es können auch andere mechanische Ermittlungseinrichtungen verwendet werden. Beispielsweise kann nach F i g. 10 das Musterstück 23 durch die Vorrichtungen 63 und 64 horizontal gehalten und darauf ein Gewicht mit einer Fahnenstange 65 a od. dgl. angeordnet werden. Ist ein entsprechender Teil des Musterstücks abgeätzt, bricht das Gewicht das Musterstück auseinander und fällt, in der Röhre 65b geführt, auf den Boden des Tanks. Durch das Herabfallen des Gewichtes 65a kann eine akustische oder optische Signaleinrichtung ausgelöst werden.
  • Die verschiedenen beschriebenen Einrichtungen bieten eine wartungsfreie Vorrichtung zum genauen Bestimmen des Zeitpunktes, wann eine gegebene Materialtiefe aus dem Werkstück durch Ätzen entfernt worden ist. Eine Kompensation der Veränderungen der Temperatur des Bades oder von Veränderungen der Konzentration des Ätzmittels sowie anderer möglicher Variationen und Merkmale sind wegen der Gleichförmigkeit des Angriffs auf das Musterstück einerseits und das Werkstück andererseits unnötig. Durch das vorliegende Verfahren und die Einrichtung zu dessen Durchführung werden relativ enge Toleranzen erhalten, wenn das Werkstück sofort aus der Atzlösung entnommen wird, nachdem das Signal aufgenommen worden ist.
  • Obwohl die Erfindung im einzelnen beschrieben und dargestellt ist, versteht sich von selbst, daß es sich hierbei nur um Beispiele handelt, die keine Abgrenzung darstellen.

Claims (10)

  1. Patentansprüche: 1. Verfahren zum Anzeigen einer vorbestimmten Ätztiefe in einem in ein chemisches Ätzbad eingesetzten Werkstück, d a d u r c h g e k e n n -zeichnet, daß an dem Werkstück oder in dessen unmittelbarer Nachbarschaft ein Musterstück in dem Ätzbad angeordnet wird, das aus demselben Material wie das Werkstück besteht und dessen Mindestdicke in einem ganz bestimmten Verhältnis zu der Ätztiefe steht, und daß beide Stücke den gleichen Ätzbedingungen unterworfen werden, bis infolge der Schwächung oder der vollständigen Durchätzung des Musterstücks eine Anzeigevorrichtung betätigt wird, welche die Erreichung der vorbestimmten Ätztiefe in dem Werkstück anzeigt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeigevorrichtung durch Schwächung oder Unterbrechung eines durch das Musterstück geschickten elektrischen Stromes betätigt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeigevorrichtung mechanisch oder pneumatisch betätigt wird.
  4. 4. Musterstück zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß es aus einem Stück des Werkstücks hergestellt ist, das seinerseits mit einer ätzfesten Scheibe bedeckt ist, deren Durchmesser doppelt so groß ist wie die gewünschte Ätztiefe.
  5. 5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeigevorrichtung eine elektrische Ermittlungsvorrichtung (z. B. einen Leiter oder ein Schaltgerät) enthält, die in einem eine Stromquelle und das Musterstück enthaltenden elektrischen Stromkreis liegt und auf elektrische Änderungen in dem Stromkreis anspricht.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrische Ermittlungsgerät ein Relais ist, welches auf eine Änderung durch die teilweise oder vollständige Durchätzung des Musterstücks anspricht.
  7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Ermittlungseinrichtung einen Aufwärtstransformator und eine Signaleinrichtung mit Glimmlampe enthält, die bei Erreichen einer vorbestimmten Zündspannung in Tätigkeit tritt, die von einer Änderung der Transformatorimpedanz als Folge der teilweisen oder vollständigen Unterbrechung der Leitfähigkeit des Musterstücks abhängt. B.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzahl von Musterstücken und eine Anzahl von Schaltgeräten parallel zueinander geschaltet sind und eine erste Anzeigevorrichtung vorgesehen ist, die eine teilweise oder vollständige Unterbrechung bei jedem der Musterstücke anzeigt, und eine zweite Anzeigevorrichtung dazu dient, eine teilweise oder vollständige Zerstörung bei irgendeinem der Musterstücke anzuzeigen.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ermittlungseinrichtung aus einem mechanischen Teil besteht, der auf eine bestimmte Abnahme der Dehnungsfähigkeit des Musterstücks anspricht.
  10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ermittlungseinrichtung eine in den Atztank (1) ragende, durch das Musterstück (23) verschlossene pneumatische Anordnung (87 bis 94) einschließt und auf eine durch Zerstörung des Musterstücks ausgelöste Druckänderung in der Anordnung (87 bis 94) anspricht.
DEN11143A 1954-09-02 1955-09-01 Verfahren und Vorrichtung zum Anzeigen einer vorbestimmten AEtztiefe Pending DE1162161B (de)

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DE (1) DE1162161B (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1521714B1 (de) * 1966-10-11 1971-11-18 Chemcut Corp Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Regelung der Foerdergeschwindigkeit von zu aetzenden Gegenstaenden
DE19646841A1 (de) * 1996-11-13 1998-05-14 Eilenburger Elektrolyse & Umwelttechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Direktbestimmung der Abtragsgeschwindigkeit von Metallen in Ätz- und Beizlösungen

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