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DE1145807B - Vorrichtung zum Messen der Lageaenderungen eines beweglichen Organs gegenueber einemBezugssystem - Google Patents

Vorrichtung zum Messen der Lageaenderungen eines beweglichen Organs gegenueber einemBezugssystem

Info

Publication number
DE1145807B
DE1145807B DEN16142A DEN0016142A DE1145807B DE 1145807 B DE1145807 B DE 1145807B DE N16142 A DEN16142 A DE N16142A DE N0016142 A DEN0016142 A DE N0016142A DE 1145807 B DE1145807 B DE 1145807B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mirror
grid
light
optical system
roof
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEN16142A
Other languages
English (en)
Inventor
Hendrik De Lang
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of DE1145807B publication Critical patent/DE1145807B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum Messen der Lageänderungen eines beweglichen Organs gegenüber einem Bezugssystem Beim Einstellen von Geräten mit geradlinigen Bewegungen, z.B. bei Werkzeugmaschinen, wie Bohrmaschinen, Fräsmaschinen u. dgl., kommt es vor, daß kleine, von Hand oder selbsttätig durchgeführte Verschiebungen eines beweglichen Organs gegenüber einem stillstehenden Organ, z. B. eines Schlittens gegenüber einem Gestell, mit großer Genauigkeit selbsttätig gemessen werden müssen.
  • Es ist bekannt, hierfür optisch-elektronische Mittel mit mehreren optischen Linienrastern zu verwenden, von denen eines mit dem beweglichen Organ gekoppelt ist und ein anderes stillsteht; dabei ist eine Lichtquelle vorhanden, die ein Strahlenbündel durch die Raster hindurchwirft, so daß bei der Bewegung der Raster zueinander Lichtimpulse erzeugt werden, die von einer Photozelle oder einem ähnlichen Element in elektrische Impulse umgewandelt werden. Diese Impulse werden auf elektronischem Wege gezählt, und deren Anzahl ist ein Maß für die Verschiebung.
  • Bei einer bekannten Vorrichtung dieser Art werden zwei Raster mit z. B. 2000 Linien pro Zentimeter auf einem durchsichtigen Untergrund verwendet, von denen eines mit dem Schlitten einer Werkzeugmaschine in einer zu den Linien nahezu senkrechten Richtung beweglich ist, während das andere stillsteht. Das Lichtbündel wird periodisch unterbrochen oder abgeschwächt.
  • Es sind auch Vorrichtungen bekannt, bei denen die durch die Bewegung in der einen Richtung, z. B. in der Vorwärtsrichtung, erzeugten Impulse positiv und die durch die Bewegung in der Rückwärtsrichtung erzeugten Impulse negativ gezählt werden. Hierbei werden mehrere stillstehende Raster benutzt, die je mit einer Photozelle kombiniert und derart zueinander angeordnet sind, daß in den Photozellen Impulsreihen erzeugt werden, die zueinander phasenverschoben sind, wobei die zyklische Reihenfolge der Impulse der verschiedenen Reihen von der Bewegungsrichtung abhängt. Auch werden zwei Raster verwendet, die zueinander etwas gedreht sind, so daß ein Moirémuster entsteht. Auch hierbei können in zwei photoelektrischen Zellen zueinander phasenverschobene Impulsreihen erzeugt werden. In den beiden Fällen wird bei Verwendung entsprechender elektronischer Zählvorrichtungen eine Zählung erzielt, die entsprechend der Richtung der Verschiebung positiv oder negativ ist.
  • Ein Nachteil der meisten bekannten Vorrichtungen dieser Art besteht darin, daß zwei oder mehr Raster erforderlich sind, die mit außerordentlicher Genauigkeit ausgebildet und sehr kleinem Abstand voneinander angeordnet werden müssen.
  • Es ist ferner eine Vorrichtung zum Messen der Lage- änderungen eines beweglichen Organs gegenüber einem Bezugssystem bekannt, z.B. des beweglichen Teiles einer Werkzeugmaschine gegenüber einem Gestell, bestehend aus einem mit dem beweglichen Organ gekoppelten Raster mit nahezu senkrecht zu der Bewegungsrichtung verlaufenden Linienscharen und aus Mitteln zum Erzeugen eines auf oder durch Raster hindurchfallenden Lichtbündels sowie photoelektrischen Tastelementen zum Umwandeln der bei der Lageänderung in einem Punkt auftretenden Änderungen der Beleuchtungsstärke in elektrische Impulse, deren in einem vorbestimmten Zeitintervall erzeugte Anzahl als ein Maß für die Lageänderung in diesem Zeitintervall bestimmt wird, wobei durch ein stillstehendes optisches System eine bei der Lageänderung des Organs eine zu der des Rasters selbst entgegengesetzte Bewegung beschreibende Abbildung des Rasters dadurch erzeugt wird, daß dabei das abbildende Strahlenbündel nochmals durch das Raster hindurch auf das photoelektrische Element oder die photoelektrischen Elemente mit wechselnder Beleuchtungsstärke einwirkt.
  • Für diese bekannte Einrichtung ist es jedoch wesentlich, daß ein Teil des Rasters auf einen anderen Teil des Rasters abgebildet wird. Es sind daher immer die Umkehrung bewirkende Spiegelsysteme und zwei optische Systeme für die Abbildung erforderlich.
  • Demgegenüber ist die Weiterbildung der Vorrichtung nach der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß der abgebildete Rasterteil und die Abbildung wenigstens teilweise zusammenfallen.
  • Nunmehr werden unter allen Umständen zwei gleichartige Größen miteinander verglichen. Eine Veränderung der Rasterkonstante und des Radarwinkels über die Breite des Rasters, was bei solchen Rastern nicht zu vermeiden ist, wird bei der Einrichtung nach der Erfindung vollständig ausgeschaltet.
  • Die Erfindung ist an Hand der Zeichnungen, in denen einige Ausführungsbeispiele dargestellt sind, erläutert.
  • Fig. 1 stellt eine Vorrichtung mit einem Raster 3 dar mit mehreren senkrecht zur Zeichnungsebene verlaufenden, kein Licht durchlassenden Zeilen, die in sehr geringem Abstand voneinander angeordnet sind und das senkrecht zur Rasterfläche fallende Licht abfangen, wobei sie durch lichtdurchlässige Zonen getrennt sind, welche die gleiche Breite wie die Linien haben können. Es können z. B. 2000 Linien pro Zentimeter Länge vorhanden sein. Das Raster ist auf nicht dargestellte Weise mit einem gleichfalls nicht dargestellten beweglichen Organ gekoppelt, dessen Verschiebungsrichtung parallel zur Rasterfläche und senkrecht zu den Linien ist. Man wünscht dabei die Verschiebung zu messen, die der Körper in einer bestimmten Zeitdauer aus führt, was durch Zählung der Anzahl in dieser Zeitdauer durch einen bestimmten Punkt hindurchgegangener Rasterlinien erfolgt.
  • Es ist weiterhin eine Lichtquelle 1 vorgesehen, die mittels einer Linse 2 auf dem Raster 3 abgebildet wird.
  • Vor dem Raster ist eine Linse 4 angeordnet, welche die Linse 2 im Unendlichen abbildet. Das Raster wird vom Mikroskopobjektiv 5, das mit einem flachen oder einem sphärischen Spiegel 6 kombiniert ist, in der hinteren Brennebene an sich in natürlicher Größe abgebildet. Der Verlauf der verschiedenen Strahlen ist in der Figur durch Pfeile angegeben. Eine Eigenschaft der beschriebenen telezentrischen Anordnung mit dem Spiegel in der hinteren Brennebene ist, daß die Vergrößerung der Abbildung konstant gleich Eins ist, unabhängig von der axsialen Lage des Rasters.
  • Das Licht der Abbildung fällt durch das Raster hindurch und trifft über den halbdurchlässigen Spiegel 7 auf die Photozelle 8, die sich vorzugsweise an der Stelle des endgültigen Bildes der Linse 2 befindet. Da bei einer Verschiebung des Rasters das Rasterbild sich in entgegengesetzter Richtung bewegt, entsteht bei Verschiebung des Rasters über einen Abstand der Rasterteilung eine doppelte Lichtänderungsperiode.
  • Neben dem Umstand, daß nur ein einziges Raster erforderlich ist, bietet diese Vorrichtung somit den Vorteil, daß bei gleichem Maß der Verschiebung die doppelte Anzahl Impulse gegenüber den obenbeschriebenen bekannten Vorrichtungen erzeugt wird. Die Anzahl der Impulse kann in bekannter Weise in einem elektronischen Zähler T gezählt werden.
  • Bei dieser Vorrichtung werden Impulse gezählt, ohne daß bei der Zählung zwischen den Verschiebungsrichtungen ein Unterschied gemacht wird. Dies ist jedoch der Fall bei der Ausführungsform nach Fig. 2.
  • Der Strahlengang ist hierbei grundsätzlich gleich demjenigen in Fig. 1, aber der normale flache oder sphärische Spiegel ist durch einen sogenannten Dachspiegel D ersetzt, dessen beide flache Spiegelteile genau senkrecht zueinander stehen mit der Schnittlinie nahezu senkrecht zur Richtung der Rasterlinien. Statt eines solchen Dachspiegels kann naturgemäß auch ein Dachprisma verwendet werden.
  • Das Raster wird daher nicht umgekehrt, sondern gespiegelt gegenüber der Schnittlinie der Spiegel, an sich abgebildet. Wenn die Schnittlinie des Dachspiegels um einen vorbestimmten kleinen Winkel um die optische Achse gedreht wird, entsteht an der Stelle des Rasters eine Abbildung, die um den doppelten Winkel gedreht ist, so daß an der Stelle des Rasters ein Kreuzmoiri erzeugt wird, dessen dunkle Zonen sich bei Bewegung des Organs nahezu in Richtung der Rasterlinien bewegen. Bei der Vorrichtung nach Fig. 2 sind zwei Photozellen 8 und 8' vorhanden, die in einem solchen gegenseitigen Abstand zueinander versetzt in einer- r Zeichenebene senkrechten Richtung angeordnet sind, daß der Phasenunterschied zwischen den in ihnen erzeugten Impulsreihen z. B. 90" beträgt. In der Vorrichtung T werden die Impulse wieder gezählt, wobei zwischen den Impulsen für positive Verschiebungen und denen für negative Verschiebungen unterschieden werden kann.
  • Die Wiederholungsperiode der vom Moirémuster herbeigeführten Impulse und demnach auch die gegenseitige Phase der Impulsreihen hängen dabei von der Lage der abgebildeten Rasterzeilen gegenüber der der ursprünglichen Rasterlinien ab. Eine verhältnismäßig geringe Drehung des Dachspiegels D oder des Rasters kann dadurch zu einer wesentlichen Änderung des Phasenunterschieds zwischen den Impulsreihen füliren, welche einen nachteiligen Einfluß auf die Zäg haben kann. In dieser Hinsicht ergeben die Ausfübrungsformen nach den Fig. 3 und 4 gewiß Verbesser rungen.
  • Hierbei ist der Strahlengang ähnlich dem nach Fig 1, jedoch bei Fig.3 besteht der Spiegel aus zwei Teil 6 und 6', die um eine zu den Rasterlinien parallele Wachse etwas zueinander gedreht sind. Man kann auch mehrere solcher Spiegel verwenden. Der gleiche Effekt ergibt sich durch teilweise Bedeckung eines einzigen-Spiegels mit einer keilförmigen Spiegelschicht, z. B. durch ,Aufdampfen eines Metalls.
  • Die Photozellen sind in den Punkten angeordnet, in denen die Bilder der Spiegelteile erzeugt werden An der Stelle der Photozellen werden Lichtänderungen erzeugt, die zueinander phasenverschoben sind. Der Phasenunterschied zwischen den erzeugten Impidsreihen ist durch 4f d gegeben, wobei 8 den Winkel in Radialen zwischen den Spiegelteilen, d die Rasterkonstante oder Teilung der Rasterlinien und f die Brennweite des Objektivs darstellt. Dieser Phasenunterschied kann somit durch Einstellen des Winkels 8 eingestellt werden. Der Phasenunterschied ist bei erster Annäherung unabhängig von der Drehung der Rasterlinienrichtung um die optische Achse.
  • In Fig. 4 sind die einzelnen Spiegelteile von Es, 3 durch eine kontinuierlich spiegelnde Oberfläche D von zueinander gedrehten Spiegelelementen ersetzt, indem in der hinteren Brennebene des Objektivs ein toroidförmiger Spiegel angeordnet ist. Statt dessen kann vor einem flachen Spiegel eine toroidförmige Linse angeordnet werden, die mit der Hauptkrümmungsrichtung schräg zur Rasterlinienrichtung steht. Im Bild des Spiegels entsteht ein Moiremuster mit der Periode (auf den Spiegel rückprojiziert) Dabei ist d die Rasterkonstante, f die Brennweite des Objektivs, 0 der Winkel zwischen der y-Richtung des Spiegels und den Rasterlinien, und r und r sind die Hauptkrümmungsradien des toroidförmigen Spiegels in der x- bzw. y-Richtung. Das in der Spiegelebene erzeugte Moiremuster wird an der Stelle der Photozellen abgebildet; die Moireperiode ist in erster Annäherung unabhängig von kleinen Drehungen der Rasterlinienrichtung, wenn der Winkel # etwa 45° beträgt. Praktisch ist es aber schon ausreichend, wenn der Winkel 0 groß gegenüber der in der Praxis unvermeidbaren, über das Gesichtsfeld gerechnet mittleren Änderung der Zeilenrichtung ist. Mittels der Größe kann die Moireperiode eingestellt werden.
  • Die Moiréperiode kann noch mit dem Winkel fein eingestellt werden.
  • Bei Verwendung eines Dachspiegels können die Rasterlinien beliebig orientiert sein. Sie können z. B. parallel zur Zeichenebene verlaufen.
  • Man kann eine genau sinusförmige, von der Rasterverschiebung abhängige Beleuchtungsstärke an der Stelle der Photozellen erzielen, wenn durch optische Mittel festgelegte Biegungsmaxima abgetrennt werden.
  • Die bisher behandelten Ausführungsbeispiele sind insbesondere für sogenannte Absorptionsraster bestimmt, bei denen das Licht eines Bündels von den Rasterlinien abgefangen wird. Auch können sogenannte Phasenraster angewendet werden, die nicht eine stellenweise Absorption aufweisen, sondern bei denen die Linien von Teilen einer durchsichtigen Platte gebildet werden, wo die optische Stärke des Materials von der der zwischenliegenden Teile abweichend ist.
  • Ohne ganzbestimmte Änderungen sind die im vorherigen beschriebenen Anordnungen bei Anwendung von Phasenrastern nicht ohne weiteres verwendbar, da der Licht-Dunkel-Kontrast zu klein werden würde.
  • Man muß also von den bei der Abbildung des Rasters auftretenden Biegungsmaxima wenigstens zwei abtrennen. Beim Abtrennen zweier Maxima ergibt sich der Vorteil, daß das im Ausgang jeder Photozelle auftretende Signal sinusförmig mit der Rasterverschiebung verläuft, was das Interpolieren zwischen zwei Rasterlinien erleichtert.
  • In Fig. 5 ist auf elementare Weise dargestellt, wie eine Vorrichtung nach der Erfindung arbeitet, wenn sie mit einem Phasenraster 17 versehen ist. Es wird hier ein Punkt L der monochromatischen Lichtquelle 1 betrachtet, und es ist wieder Linse 4 vorgesehen, welche die Lichtstrahlen zu einem parallelen Bündel konzentriert. Das Bündel fällt durch die Linse 5 hindurch, worauf die Strahlen in der Brennebene, in der der Spiegel 6 angeordnet ist, vereinigt werden.
  • Infolge des Vorhandenseins des Phasenrasters 17 zerfällt das Bündel in mehrere verschieden gerichtete Bündel paralleler Lichtstrahlen. Auf diese ist die bekannte Beugungstheorie anzuwenden. Diese Bündel geben an der Stelle des in der Brennebene der Linse 5 angeordneten Spiegels 6 zu Biegungsmaxima Anlaß.
  • Dies sind in Wirklichkeit Bilder L0, L1, 41, L2 usw. des Punktes L. Die verschiedenen Bündel werden vom Spiegel zurückgeworfen und vom Objektiv 5 je zu Bündeln paralleler Strahlen gebildet. Diese Bündel führen an der Stelle des Rasters zu einer Abbildung desselben. Es sind wenigstens zwei Bündel erforderlich, um durch Interferenz eine Abbildung entstehen zu lassen. Die Bündel fallen durch das Raster hindurch, wobei jedes Bündel wieder in mehrere abgelenkte Bündel auseinanderfällt, die über die Linse 4 und den Spiegel 7 in der Ebene 16 zu den Biegungsmaxima L0,0,L0,1, Los Lo,2 usw. führen. Die Indizes beziehen sich auf die Ordnungszahl der abgelenkten Bündel beim ersten bzw. zweiten Durchgang durch das Raster.
  • In der Fig. 5 ist mit Pfeilen der Verlauf eines einzigen Strahles a angedeutet, der nach dem ersten Durchgang durch das Raster nach L1 abgelenkt wird und beim zweiten Durchgang zum Maximum Ll, führt.
  • Macht man z. B. den Spiegel nur an der Stelle L,ul und L,u2 reflektierend, so treten in der endgültigen Bildebene an jeder Stelle nur zwei Ordnungen auf, nämlich ,u .111 und u = 2 Wenn nun das Raster in Fig. 5 sich über die Rasterperiode abwärts bewegt, so wird der Hinweg für die ,u-te Ordnung ,uy länger und der Rückweg für die y-te Ordnung yA kürzer. Die optische Weglänge von L noch L8y wird dann also (µ-γ) A länger.
  • Läßt man nun L,ul, Yi und Lfl2, Y1 2+81 interferieren, so ändert sich das Licht über 2 (1-2) Perioden beim Verschieben des Rasters über die Rasterperiode, und zwar genau sinusförmig.
  • Ist z. B. yl = 0 und 82 = 1, so ist bei Interferenz von Lo,1 und L1,o, 2 (t<1-2) = 2. Dies bedeutet, daß das Licht bei jeder Verschiebung über eine Rasterperiode sich zweimal ändert. Ist Cr, = 1 und =1, = - 1, so tritt bei Interferenz von L~l,+l,~ L+l,~l eine vierfache Änderung auf, da 2 (/182) = 4.
  • Bei Verwendung einer Anordnung ähnlich Fig. 3 ergibt sich ein Signal jedes Spiegelteiles, wobei der Phasenunterschied zwischen den beiden Signalen durch µ1 - µ2 . 4 # # # d gegeben ist.
  • Hierbei ist es wieder möglich, mit zwei in einer zu den Zeilen senkrechten Richtung gegenseitig verschobenen Photozellen positiv oder negativ zu zählen, entsprechend dem Sinn der Rasterverschiebung.
  • Bei Verwendung einer Anordnung nach Fig. 4 wird wieder ein Moire erzielt, bei dem die Moiréperiode, auf den Spiegel rückprojiziert, durch gegeben ist.
  • Ebenso wie bei der Anordnung nach Fig. 4 werden hier zwei Photozellen verwendet, die gegenseitig in der Linienrichtung verschoben sind.
  • Fig. 6 stellt eine in der Praxis brauchbare Anordnung dar, bei der der halbdurchlässige Spiegel weggelassen ist.
  • Auch bei der mit Absorptionsrastern arbeitenden Vorrichtung wäre bei einer ähnlichen Anordnung der Spiegel entbehrlich.
  • Grundsätzlich kann man somit ähnliche Anordnungen wie nach den Fig. 1 bis 4 verwenden, wobei nur Sorge dafür getragen werden muß, daß nur die gewünschten Ordnungen zur Wirkung kommen.
  • Macht man den Spiegel nur an der Stelle L,a1 und LF2 reflektierend, so treten in der endgültigen Bildebene an jeder Stelle nur zwei Ordnungen auf, nämlich y =y 1 und lld = 2e Bei Rastern, bei denen ein wichtiger Teil des Lichtes in bestimmten Ordnungen konzentriert ist (»blazing«), ist es oft nicht notwendig, diese Auswahl von Ordnungen in der Spiegelebene anzuwenden.
  • Man kann auch eine Abbildung des Rasters ohne die Anwendung von Linsen erzielen. Dies kann nach Fig. 7 mit einem Dachspiegel oder Prisma S erfolgen, dessen Kante parallel zu den Rasterlinien ist. Das Rasterbild ist das Spiegelbild des Rasters gegenüber den Kanten.
  • Ein Kreuzmoire kann dabei dadurch erzielt werden, daß die Kanten und die Rasterlinienrichtung zueinander um eine zur Rasterebene senkrechte Linie etwas gedreht werden.
  • Statt dessen kann ein Dreifachspiegel oder Prisma verwendet werden. In diesem Falle ist das Rasterbild das Spiegelbild des Rasters gegenüber dem Spiegelwinkelpunkt. Durch Drehung des Rasters entsteht kein Kreuzmoiré.
  • Diese Anordnung könnte den Nachteil haben, daß der Abstand zwischen dem Raster und dem Rasterbild verhältnismäßig groß wird, so daß eine sehr schmale Lichtquelle verwendet werden muß.
  • Der Nachteil der Anordnung nach Fig. 7 kann dadurch beseitigt werden, daß nach Fig. 8 zwei Dachspiegel oder -prismen verwendet werden, je mit der Kante S1 und S2 parallel zu den Rasterlinien. Die Kanten sind dabei derart angeordnet, daß der von einem Punkt P des Rasters ausgehende Hauptstrahl der Ordnung ,al vom ersten Dachspiegel und der Hauptstrahl der Ordnung 82 vom zweiten Dachspiegel zurückgeworfen wird, und zwar in der Weise, daß die zurückgeworfenen Strahlen sich in einem Punkt 1>' begegnen, der nahezu an der Stelle des Rasters liegt.
  • Die Bedingung hierfür ist a=htgfl t ctg.
  • Ist diese Bedingung erfüllt, so ist von P nach P' der Unterschied in optischer Weglänge für die beiden Ordnungen in erster Annäherung unabhängig von kleinen Richtungsänderungen des einfallenden Strahles, und dies gilt für jeden Punkt des Rasters, wenigstens insoweit die Ordnungen auf die dazu bestimmten Spiegel fallen. Vorzugsweise wählt man a = p und b = c. Dann ist auch in zweiter Annäherung der Weglängenunterschied stationär und außerdem in erster Annäherung achromatisch.
  • Ein Kreuzmoire kann dadurch erzielt werden, daß die Richtung der Rasterlinien gegenüber den Spiegelkanten um eine zur Rasterebene senkrechte Linie gedreht wird. Das Moiremuster entsteht in der durch die Spiegelkanten hindurchgehenden Ebene.
  • Wenn angenommen wird, daß nur zwei Ordnungen interferieren, so ist das Signal bei Rasterverschiebung genau sinusförmig.
  • An Stelle von zwei Dachspiegeln oder -prismen können auch zwei Dreifachspiegel oder Dreifachprismen mit der Verbindungslinie der Winkelpunkte senkrecht zu den Rasterlinien verwendet werden.
  • Es kann nun durch Drehung des Rasters kein Kreuzmoire erzielt werden. Eine Anzahl phasenverschobener Signale kann dadurch erzielt werden, daß von einem der Dreifachspiegel eine Fläche doppelt ausgebildet wird. Diese besteht demnach aus zwei parallel zueinander verschobenen Teilen. So entstehen eigentlich zwei Satz Dreifachspiegel.
  • Fig. 9 stellt eine praktisch brauchbare Anordnung dar. Hierbei sind zwei Dachprismen zu einem einzigen Block B vereinigt, und da die Strahlen über einen großen Teil ihres Weges durch Glas hindurchgehen, ändert sich die obenerwähnte Formel in a = 2 bl tg ec + 2 b2 tg p bc sinsin .
  • Die Lichtquelle 1, die vorzugsweise monochromatisches oder nahezu monchromatisches Licht gibt, befindet sich im Brennpunkt der Linse 1. Das m der Hinterfläche des Prismablocks liegende Moirémuster wird von der Linse auf die Photozellen abgebildet.
  • Ein aus zu den Rasterlinien parallelen Zeilen bestehendes und auch in der Hinterfläche des Prismablocks liegendes Moiremuster kann dadurch erzielt werden, daß man die Winkel an der Hinterfläche etwas von 90" abweichen läßt.
  • Es ist einleuchtend, daß auch die beiden Dreifach-Prismen zu einem einzigen Körper vereinigt werden können, mittels dessen ein bestimmtes Moirémuster erzielt werden kann.
  • Es ist naturgemäß möglich, mit bekannten optischen Mitteln die Teile des an der Stelle der Zellen erzeugten Lichtmusters weiter voneinander zu trennen, falls die Abmessungen der Photozellen dies notwendig machen würden.
  • PATBNTANSPRüCHE: 1. Vorrichtung zum Messen der Lageänderungen eines beweglichen Organs gegenüber einem Bezugssystem, z. B. des beweglichen Teiles einer Werkzeugmaschine gegenüber einem Gestell, bestehend aus einem mit dem beweglichen Organ gekoppelten Raster mit nahezu senkrecht zu der Bewegungsrichtung verlaufenden Linienscharen und aus Mitteln zum Erzeugen eines auf oder durch das Raster hindurchfallenden Lichtbündels sowie photoelektrischen Tastelementen zum Umwandeln der bei der Lageänderung in einem Punkt auftretenden Änderungen der Beleuchtungsstärke in elektrische Impulse, deren in einem vorbestimmten Zeitintervall erzeugte Anzahl als ein Maß für die Lag änderung in diesem Zeitintervall bestimmt wird, wobei durch ein stillstehendes optisches System eine bei der Lageänderung des Organs eine zu der des Rasters selbst entgegengesetzte Bewegung beschreibende Abbildung des Rasters dadurch erzeugt wird, daß dabei das abbildende Strahlen bündel nochmals durch das Raster hindurch auf das photo elektrische Element oder die photoelektrischen Elemente mit wechselnder Beleuchtungsstärke einwirkt, dadurch gekennzeichnet, daß der abgebildete Rasterteil und seine Abbildung wenigstens teilweise zusammenfallen.

Claims (1)

  1. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch ein optisches System das Lichtstrahlenbündel der Lichtquelle durch das Raster hindurchgeworfen wird und daß ein einziges optisches System mit Spiegel die Lichtstrahlen abfängt und derart zurückwirft, daß an der Stelle des Rasters gleichzeitig eine Abbildung desselben erzeugt wird und die Lageänderungen der reflektierten Lichtstrahlen mittels eines photoelektrischen Elementes in elektrische Impulse umgewandelt werden.
    3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zurückkehrenden Lichtstrahlen von einem halbdurchlässigen Spiegel nach einem die Abbildung erzeugenden optischen System zurückgeworfen werden und daß der halbdurchlässige Spiegel im Wege der hingehenden Lichtstrahlen angeordnet ist.
    4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Spiegel ein Dachspiegel bzw. ein Dachprisma ist, dessen Kante gegenüber einer zu den Rasterlinien senkrechten Linie etwas gedreht ist, in der Weise, daß an der Stelle der photoelektrischen Elemente ein Moiremuster entsteht.
    5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei photoelektrische Zellen derart angeordnet sind, daß bei der Rasterbewegung Impulsreihen erzeugt werden, die in der Phase verschieden sind, und daß d1s Zählorgan für die Impulse auch einen Phasendetektor enthält, so daß die Impulse negativ gezählt werden, wenn das bewegliche Organ in negativem Sinne verschoben wird.
    6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Spiegel in zwei Teile geteilt ist, deren Flächen um eine zu den Rasterlinien parallele Achse zueinander etwas gedreht sind, und daß die Anordnung derart ist, daß das von jedem Spiegelteil zurückgeworfene Licht auf eine Photozelle trifft, so daß die von den Spiegelteilen herbeigeführten Lichtänderungen einen vorbestimmten Phasenunterschied aufweisen, der in den Photozellen zu Impulsen führt, die eine positive oder negative Zählung ermöglichen.
    7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel eine toroidförmige Oberfläche hat, deren Hauptkrümmungsrichtung um die Hauptachse um einen schrägen Winkel gegenüber einer zu den Rasterlinien parallelen Linie gedreht ist, in der Weise, daß an der Stelle der photo elektrischen Elemente ein Moiremuster entsteht, das sich bei der Bewegung des Organs verschiebt und in wenigstens zwei Photozellen die Erzeugung zweier in der Phase verschiedener Impulsreihen bewirkt.
    8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, insbesondere mit Phasenrastern, dadurch gekennzeichnet, daß von den bei der Abbildung des Rasters auftretenden Biegungsmaxima eine beschränkte Anzahl zur weiteren Bilderzeugung abgetrennt wird.
    9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das optische System aus einem einzigen Dachspiegel besteht, der eine Abbildung des Rasters hinter dem Spiegel selbst erzeugt.
    10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das optische System aus zwei Dachspiegeln bzw. Dachprismen besteht, deren Kanten nahezu parallel zu den Rasterlinien sind und Licht von verschiedenen Ordnungen abfangen und zurückwerfen.
    11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das optische System aus zwei Dreifachspiegeln oder -prismen besteht und daß die Verbindungslinie der Winkelpunkte nahezu senkrecht zu den Rasterzeilen steht.
    12. Vorrichtung nach den Ansprüchen 10 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Spiegel oder Prismen zu einem einzigen Körper vereinigt sind.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Britische Patentschriften Nr. 760 321, 782 831; Zeitschrift »Feingerätetechnik«, H. 8, 1957, S. 358 bis 375.
DEN16142A 1958-01-21 1959-01-17 Vorrichtung zum Messen der Lageaenderungen eines beweglichen Organs gegenueber einemBezugssystem Pending DE1145807B (de)

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