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Vorrichtung zum Messen der Lageänderungen eines beweglichen Organs
gegenüber einem Bezugssystem Beim Einstellen von Geräten mit geradlinigen Bewegungen,
z.B. bei Werkzeugmaschinen, wie Bohrmaschinen, Fräsmaschinen u. dgl., kommt es vor,
daß kleine, von Hand oder selbsttätig durchgeführte Verschiebungen eines beweglichen
Organs gegenüber einem stillstehenden Organ, z. B. eines Schlittens gegenüber einem
Gestell, mit großer Genauigkeit selbsttätig gemessen werden müssen.
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Es ist bekannt, hierfür optisch-elektronische Mittel mit mehreren
optischen Linienrastern zu verwenden, von denen eines mit dem beweglichen Organ
gekoppelt ist und ein anderes stillsteht; dabei ist eine Lichtquelle vorhanden,
die ein Strahlenbündel durch die Raster hindurchwirft, so daß bei der Bewegung der
Raster zueinander Lichtimpulse erzeugt werden, die von einer Photozelle oder einem
ähnlichen Element in elektrische Impulse umgewandelt werden. Diese Impulse werden
auf elektronischem Wege gezählt, und deren Anzahl ist ein Maß für die Verschiebung.
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Bei einer bekannten Vorrichtung dieser Art werden zwei Raster mit
z. B. 2000 Linien pro Zentimeter auf einem durchsichtigen Untergrund verwendet,
von denen eines mit dem Schlitten einer Werkzeugmaschine in einer zu den Linien
nahezu senkrechten Richtung beweglich ist, während das andere stillsteht. Das Lichtbündel
wird periodisch unterbrochen oder abgeschwächt.
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Es sind auch Vorrichtungen bekannt, bei denen die durch die Bewegung
in der einen Richtung, z. B. in der Vorwärtsrichtung, erzeugten Impulse positiv
und die durch die Bewegung in der Rückwärtsrichtung erzeugten Impulse negativ gezählt
werden. Hierbei werden mehrere stillstehende Raster benutzt, die je mit einer Photozelle
kombiniert und derart zueinander angeordnet sind, daß in den Photozellen Impulsreihen
erzeugt werden, die zueinander phasenverschoben sind, wobei die zyklische Reihenfolge
der Impulse der verschiedenen Reihen von der Bewegungsrichtung abhängt. Auch werden
zwei Raster verwendet, die zueinander etwas gedreht sind, so daß ein Moirémuster
entsteht. Auch hierbei können in zwei photoelektrischen Zellen zueinander phasenverschobene
Impulsreihen erzeugt werden. In den beiden Fällen wird bei Verwendung entsprechender
elektronischer Zählvorrichtungen eine Zählung erzielt, die entsprechend der Richtung
der Verschiebung positiv oder negativ ist.
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Ein Nachteil der meisten bekannten Vorrichtungen dieser Art besteht
darin, daß zwei oder mehr Raster erforderlich sind, die mit außerordentlicher Genauigkeit
ausgebildet und sehr kleinem Abstand voneinander angeordnet werden müssen.
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Es ist ferner eine Vorrichtung zum Messen der Lage-
änderungen eines
beweglichen Organs gegenüber einem Bezugssystem bekannt, z.B. des beweglichen Teiles
einer Werkzeugmaschine gegenüber einem Gestell, bestehend aus einem mit dem beweglichen
Organ gekoppelten Raster mit nahezu senkrecht zu der Bewegungsrichtung verlaufenden
Linienscharen und aus Mitteln zum Erzeugen eines auf oder durch Raster hindurchfallenden
Lichtbündels sowie photoelektrischen Tastelementen zum Umwandeln der bei der Lageänderung
in einem Punkt auftretenden Änderungen der Beleuchtungsstärke in elektrische Impulse,
deren in einem vorbestimmten Zeitintervall erzeugte Anzahl als ein Maß für die Lageänderung
in diesem Zeitintervall bestimmt wird, wobei durch ein stillstehendes optisches
System eine bei der Lageänderung des Organs eine zu der des Rasters selbst entgegengesetzte
Bewegung beschreibende Abbildung des Rasters dadurch erzeugt wird, daß dabei das
abbildende Strahlenbündel nochmals durch das Raster hindurch auf das photoelektrische
Element oder die photoelektrischen Elemente mit wechselnder Beleuchtungsstärke einwirkt.
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Für diese bekannte Einrichtung ist es jedoch wesentlich, daß ein
Teil des Rasters auf einen anderen Teil des Rasters abgebildet wird. Es sind daher
immer die Umkehrung bewirkende Spiegelsysteme und zwei optische Systeme für die
Abbildung erforderlich.
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Demgegenüber ist die Weiterbildung der Vorrichtung nach der Erfindung
dadurch gekennzeichnet, daß der abgebildete Rasterteil und die Abbildung wenigstens
teilweise zusammenfallen.
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Nunmehr werden unter allen Umständen zwei gleichartige Größen miteinander
verglichen. Eine Veränderung der Rasterkonstante und des Radarwinkels über die Breite
des Rasters, was bei solchen Rastern nicht zu vermeiden ist, wird bei der Einrichtung
nach der Erfindung vollständig ausgeschaltet.
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Die Erfindung ist an Hand der Zeichnungen, in denen einige Ausführungsbeispiele
dargestellt sind, erläutert.
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Fig. 1 stellt eine Vorrichtung mit einem Raster 3 dar mit mehreren
senkrecht zur Zeichnungsebene verlaufenden, kein Licht durchlassenden Zeilen, die
in sehr geringem Abstand voneinander angeordnet sind und das senkrecht zur Rasterfläche
fallende Licht abfangen, wobei sie durch lichtdurchlässige Zonen getrennt sind,
welche die gleiche Breite wie die Linien haben können. Es können z. B. 2000 Linien
pro Zentimeter Länge vorhanden sein. Das Raster ist auf nicht dargestellte Weise
mit einem gleichfalls nicht dargestellten beweglichen Organ gekoppelt, dessen Verschiebungsrichtung
parallel zur Rasterfläche und senkrecht zu den Linien ist. Man wünscht dabei die
Verschiebung zu messen, die der Körper in einer bestimmten Zeitdauer aus führt,
was durch Zählung der Anzahl in dieser Zeitdauer durch einen bestimmten Punkt hindurchgegangener
Rasterlinien erfolgt.
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Es ist weiterhin eine Lichtquelle 1 vorgesehen, die mittels einer
Linse 2 auf dem Raster 3 abgebildet wird.
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Vor dem Raster ist eine Linse 4 angeordnet, welche die Linse 2 im
Unendlichen abbildet. Das Raster wird vom Mikroskopobjektiv 5, das mit einem flachen
oder einem sphärischen Spiegel 6 kombiniert ist, in der hinteren Brennebene an sich
in natürlicher Größe abgebildet. Der Verlauf der verschiedenen Strahlen ist in der
Figur durch Pfeile angegeben. Eine Eigenschaft der beschriebenen telezentrischen
Anordnung mit dem Spiegel in der hinteren Brennebene ist, daß die Vergrößerung der
Abbildung konstant gleich Eins ist, unabhängig von der axsialen Lage des Rasters.
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Das Licht der Abbildung fällt durch das Raster hindurch und trifft
über den halbdurchlässigen Spiegel 7 auf die Photozelle 8, die sich vorzugsweise
an der Stelle des endgültigen Bildes der Linse 2 befindet. Da bei einer Verschiebung
des Rasters das Rasterbild sich in entgegengesetzter Richtung bewegt, entsteht bei
Verschiebung des Rasters über einen Abstand der Rasterteilung eine doppelte Lichtänderungsperiode.
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Neben dem Umstand, daß nur ein einziges Raster erforderlich ist,
bietet diese Vorrichtung somit den Vorteil, daß bei gleichem Maß der Verschiebung
die doppelte Anzahl Impulse gegenüber den obenbeschriebenen bekannten Vorrichtungen
erzeugt wird. Die Anzahl der Impulse kann in bekannter Weise in einem elektronischen
Zähler T gezählt werden.
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Bei dieser Vorrichtung werden Impulse gezählt, ohne daß bei der Zählung
zwischen den Verschiebungsrichtungen ein Unterschied gemacht wird. Dies ist jedoch
der Fall bei der Ausführungsform nach Fig. 2.
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Der Strahlengang ist hierbei grundsätzlich gleich demjenigen in Fig.
1, aber der normale flache oder sphärische Spiegel ist durch einen sogenannten Dachspiegel
D ersetzt, dessen beide flache Spiegelteile genau senkrecht zueinander stehen mit
der Schnittlinie nahezu senkrecht zur Richtung der Rasterlinien. Statt eines
solchen
Dachspiegels kann naturgemäß auch ein Dachprisma verwendet werden.
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Das Raster wird daher nicht umgekehrt, sondern gespiegelt gegenüber
der Schnittlinie der Spiegel, an sich abgebildet. Wenn die Schnittlinie des Dachspiegels
um einen vorbestimmten kleinen Winkel um die optische Achse gedreht wird, entsteht
an der Stelle des Rasters eine Abbildung, die um den doppelten Winkel gedreht ist,
so daß an der Stelle des Rasters ein Kreuzmoiri erzeugt wird, dessen dunkle Zonen
sich bei Bewegung des Organs nahezu in Richtung der Rasterlinien bewegen. Bei der
Vorrichtung nach Fig. 2 sind zwei Photozellen 8 und 8' vorhanden, die in einem solchen
gegenseitigen Abstand zueinander versetzt in einer- r Zeichenebene senkrechten Richtung
angeordnet sind, daß der Phasenunterschied zwischen den in ihnen erzeugten Impulsreihen
z. B. 90" beträgt. In der Vorrichtung T werden die Impulse wieder gezählt, wobei
zwischen den Impulsen für positive Verschiebungen und denen für negative Verschiebungen
unterschieden werden kann.
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Die Wiederholungsperiode der vom Moirémuster herbeigeführten Impulse
und demnach auch die gegenseitige Phase der Impulsreihen hängen dabei von der Lage
der abgebildeten Rasterzeilen gegenüber der der ursprünglichen Rasterlinien ab.
Eine verhältnismäßig geringe Drehung des Dachspiegels D oder des Rasters kann dadurch
zu einer wesentlichen Änderung des Phasenunterschieds zwischen den Impulsreihen
füliren, welche einen nachteiligen Einfluß auf die Zäg haben kann. In dieser Hinsicht
ergeben die Ausfübrungsformen nach den Fig. 3 und 4 gewiß Verbesser rungen.
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Hierbei ist der Strahlengang ähnlich dem nach Fig 1, jedoch bei Fig.3
besteht der Spiegel aus zwei Teil 6 und 6', die um eine zu den Rasterlinien parallele
Wachse etwas zueinander gedreht sind. Man kann auch mehrere solcher Spiegel verwenden.
Der gleiche Effekt ergibt sich durch teilweise Bedeckung eines einzigen-Spiegels
mit einer keilförmigen Spiegelschicht, z. B. durch ,Aufdampfen eines Metalls.
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Die Photozellen sind in den Punkten angeordnet, in denen die Bilder
der Spiegelteile erzeugt werden An der Stelle der Photozellen werden Lichtänderungen
erzeugt, die zueinander phasenverschoben sind. Der Phasenunterschied zwischen den
erzeugten Impidsreihen ist durch 4f d gegeben, wobei 8 den Winkel in Radialen zwischen
den Spiegelteilen, d die Rasterkonstante oder Teilung der Rasterlinien und f die
Brennweite des Objektivs darstellt. Dieser Phasenunterschied kann somit durch Einstellen
des Winkels 8 eingestellt werden. Der Phasenunterschied ist bei erster Annäherung
unabhängig von der Drehung der Rasterlinienrichtung um die optische Achse.
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In Fig. 4 sind die einzelnen Spiegelteile von Es, 3 durch eine kontinuierlich
spiegelnde Oberfläche D von zueinander gedrehten Spiegelelementen ersetzt, indem
in der hinteren Brennebene des Objektivs ein toroidförmiger Spiegel angeordnet ist.
Statt dessen kann vor einem flachen Spiegel eine toroidförmige Linse angeordnet
werden, die mit der Hauptkrümmungsrichtung schräg zur Rasterlinienrichtung steht.
Im Bild des
Spiegels entsteht ein Moiremuster mit der Periode (auf
den Spiegel rückprojiziert)
Dabei ist d die Rasterkonstante, f die Brennweite des Objektivs, 0 der Winkel zwischen
der y-Richtung des Spiegels und den Rasterlinien, und r und r sind die Hauptkrümmungsradien
des toroidförmigen Spiegels in der x- bzw. y-Richtung. Das in der Spiegelebene erzeugte
Moiremuster wird an der Stelle der Photozellen abgebildet; die Moireperiode ist
in erster Annäherung unabhängig von kleinen Drehungen der Rasterlinienrichtung,
wenn der Winkel # etwa 45° beträgt. Praktisch ist es aber schon ausreichend, wenn
der Winkel 0 groß gegenüber der in der Praxis unvermeidbaren, über das Gesichtsfeld
gerechnet mittleren Änderung der Zeilenrichtung ist. Mittels der Größe
kann die Moireperiode eingestellt werden.
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Die Moiréperiode kann noch mit dem Winkel fein eingestellt werden.
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Bei Verwendung eines Dachspiegels können die Rasterlinien beliebig
orientiert sein. Sie können z. B. parallel zur Zeichenebene verlaufen.
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Man kann eine genau sinusförmige, von der Rasterverschiebung abhängige
Beleuchtungsstärke an der Stelle der Photozellen erzielen, wenn durch optische Mittel
festgelegte Biegungsmaxima abgetrennt werden.
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Die bisher behandelten Ausführungsbeispiele sind insbesondere für
sogenannte Absorptionsraster bestimmt, bei denen das Licht eines Bündels von den
Rasterlinien abgefangen wird. Auch können sogenannte Phasenraster angewendet werden,
die nicht eine stellenweise Absorption aufweisen, sondern bei denen die Linien von
Teilen einer durchsichtigen Platte gebildet werden, wo die optische Stärke des Materials
von der der zwischenliegenden Teile abweichend ist.
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Ohne ganzbestimmte Änderungen sind die im vorherigen beschriebenen
Anordnungen bei Anwendung von Phasenrastern nicht ohne weiteres verwendbar, da der
Licht-Dunkel-Kontrast zu klein werden würde.
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Man muß also von den bei der Abbildung des Rasters auftretenden Biegungsmaxima
wenigstens zwei abtrennen. Beim Abtrennen zweier Maxima ergibt sich der Vorteil,
daß das im Ausgang jeder Photozelle auftretende Signal sinusförmig mit der Rasterverschiebung
verläuft, was das Interpolieren zwischen zwei Rasterlinien erleichtert.
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In Fig. 5 ist auf elementare Weise dargestellt, wie eine Vorrichtung
nach der Erfindung arbeitet, wenn sie mit einem Phasenraster 17 versehen ist. Es
wird hier ein Punkt L der monochromatischen Lichtquelle 1 betrachtet, und es ist
wieder Linse 4 vorgesehen, welche die Lichtstrahlen zu einem parallelen Bündel konzentriert.
Das Bündel fällt durch die Linse 5 hindurch, worauf die Strahlen in der Brennebene,
in der der Spiegel 6 angeordnet ist, vereinigt werden.
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Infolge des Vorhandenseins des Phasenrasters 17 zerfällt das Bündel
in mehrere verschieden gerichtete Bündel paralleler Lichtstrahlen. Auf diese ist
die bekannte Beugungstheorie anzuwenden. Diese Bündel geben an der Stelle des in
der Brennebene der Linse 5 angeordneten Spiegels 6 zu Biegungsmaxima Anlaß.
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Dies sind in Wirklichkeit Bilder L0, L1, 41, L2 usw. des Punktes L.
Die verschiedenen Bündel werden vom Spiegel zurückgeworfen und vom Objektiv 5 je
zu Bündeln paralleler Strahlen gebildet. Diese Bündel führen an der Stelle des Rasters
zu einer Abbildung desselben. Es sind wenigstens zwei Bündel erforderlich, um durch
Interferenz eine Abbildung entstehen zu lassen. Die Bündel fallen durch das Raster
hindurch, wobei jedes Bündel wieder in mehrere abgelenkte Bündel auseinanderfällt,
die über die Linse 4 und den Spiegel 7 in der Ebene 16 zu den Biegungsmaxima L0,0,L0,1,
Los Lo,2 usw. führen. Die Indizes beziehen sich auf die Ordnungszahl der abgelenkten
Bündel beim ersten bzw. zweiten Durchgang durch das Raster.
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In der Fig. 5 ist mit Pfeilen der Verlauf eines einzigen Strahles
a angedeutet, der nach dem ersten Durchgang durch das Raster nach L1 abgelenkt wird
und beim zweiten Durchgang zum Maximum Ll, führt.
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Macht man z. B. den Spiegel nur an der Stelle L,ul und L,u2 reflektierend,
so treten in der endgültigen Bildebene an jeder Stelle nur zwei Ordnungen auf, nämlich
,u .111 und u = 2 Wenn nun das Raster in Fig. 5 sich über die Rasterperiode abwärts
bewegt, so wird der Hinweg für die ,u-te Ordnung ,uy länger und der Rückweg für
die y-te Ordnung yA kürzer. Die optische Weglänge von L noch L8y wird dann also
(µ-γ) A länger.
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Läßt man nun L,ul, Yi und Lfl2, Y1 2+81 interferieren, so ändert
sich das Licht über 2 (1-2) Perioden beim Verschieben des Rasters über die Rasterperiode,
und zwar genau sinusförmig.
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Ist z. B. yl = 0 und 82 = 1, so ist bei Interferenz von Lo,1 und
L1,o, 2 (t<1-2) = 2. Dies bedeutet, daß das Licht bei jeder Verschiebung über
eine Rasterperiode sich zweimal ändert. Ist Cr, = 1 und =1, = - 1, so tritt bei
Interferenz von L~l,+l,~ L+l,~l eine vierfache Änderung auf, da 2 (/182) = 4.
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Bei Verwendung einer Anordnung ähnlich Fig. 3 ergibt sich ein Signal
jedes Spiegelteiles, wobei der Phasenunterschied zwischen den beiden Signalen durch
µ1 - µ2 . 4 # # # d gegeben ist.
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Hierbei ist es wieder möglich, mit zwei in einer zu den Zeilen senkrechten
Richtung gegenseitig verschobenen Photozellen positiv oder negativ zu zählen, entsprechend
dem Sinn der Rasterverschiebung.
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Bei Verwendung einer Anordnung nach Fig. 4 wird wieder ein Moire
erzielt, bei dem die Moiréperiode, auf den Spiegel rückprojiziert, durch
gegeben ist.
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Ebenso wie bei der Anordnung nach Fig. 4 werden hier zwei Photozellen
verwendet, die gegenseitig in der Linienrichtung verschoben sind.
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Fig. 6 stellt eine in der Praxis brauchbare Anordnung dar, bei der
der halbdurchlässige Spiegel weggelassen ist.
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Auch bei der mit Absorptionsrastern arbeitenden Vorrichtung wäre
bei einer ähnlichen Anordnung der Spiegel entbehrlich.
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Grundsätzlich kann man somit ähnliche Anordnungen wie nach den Fig.
1 bis 4 verwenden, wobei nur Sorge dafür getragen werden muß, daß nur die gewünschten
Ordnungen zur Wirkung kommen.
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Macht man den Spiegel nur an der Stelle L,a1 und LF2 reflektierend,
so treten in der endgültigen Bildebene an jeder Stelle nur zwei Ordnungen auf, nämlich
y =y 1 und lld = 2e Bei Rastern, bei denen ein wichtiger Teil des Lichtes in bestimmten
Ordnungen konzentriert ist (»blazing«), ist es oft nicht notwendig, diese Auswahl
von Ordnungen in der Spiegelebene anzuwenden.
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Man kann auch eine Abbildung des Rasters ohne die Anwendung von Linsen
erzielen. Dies kann nach Fig. 7 mit einem Dachspiegel oder Prisma S erfolgen, dessen
Kante parallel zu den Rasterlinien ist. Das Rasterbild ist das Spiegelbild des Rasters
gegenüber den Kanten.
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Ein Kreuzmoire kann dabei dadurch erzielt werden, daß die Kanten
und die Rasterlinienrichtung zueinander um eine zur Rasterebene senkrechte Linie
etwas gedreht werden.
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Statt dessen kann ein Dreifachspiegel oder Prisma verwendet werden.
In diesem Falle ist das Rasterbild das Spiegelbild des Rasters gegenüber dem Spiegelwinkelpunkt.
Durch Drehung des Rasters entsteht kein Kreuzmoiré.
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Diese Anordnung könnte den Nachteil haben, daß der Abstand zwischen
dem Raster und dem Rasterbild verhältnismäßig groß wird, so daß eine sehr schmale
Lichtquelle verwendet werden muß.
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Der Nachteil der Anordnung nach Fig. 7 kann dadurch beseitigt werden,
daß nach Fig. 8 zwei Dachspiegel oder -prismen verwendet werden, je mit der Kante
S1 und S2 parallel zu den Rasterlinien. Die Kanten sind dabei derart angeordnet,
daß der von einem Punkt P des Rasters ausgehende Hauptstrahl der Ordnung ,al vom
ersten Dachspiegel und der Hauptstrahl der Ordnung 82 vom zweiten Dachspiegel zurückgeworfen
wird, und zwar in der Weise, daß die zurückgeworfenen Strahlen sich in einem Punkt
1>' begegnen, der nahezu an der Stelle des Rasters liegt.
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Die Bedingung hierfür ist a=htgfl t ctg.
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Ist diese Bedingung erfüllt, so ist von P nach P' der Unterschied
in optischer Weglänge für die beiden Ordnungen in erster Annäherung unabhängig von
kleinen Richtungsänderungen des einfallenden Strahles, und dies gilt für jeden Punkt
des Rasters, wenigstens insoweit die Ordnungen auf die dazu bestimmten Spiegel fallen.
Vorzugsweise wählt man a = p und b = c. Dann ist auch in zweiter Annäherung der
Weglängenunterschied stationär und außerdem in erster Annäherung achromatisch.
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Ein Kreuzmoire kann dadurch erzielt werden, daß die Richtung der
Rasterlinien gegenüber den Spiegelkanten um eine zur Rasterebene senkrechte Linie
gedreht wird. Das Moiremuster entsteht in der durch die Spiegelkanten hindurchgehenden
Ebene.
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Wenn angenommen wird, daß nur zwei Ordnungen interferieren, so ist
das Signal bei Rasterverschiebung genau sinusförmig.
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An Stelle von zwei Dachspiegeln oder -prismen können auch zwei Dreifachspiegel
oder Dreifachprismen mit der Verbindungslinie der Winkelpunkte senkrecht zu den
Rasterlinien verwendet werden.
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Es kann nun durch Drehung des Rasters kein Kreuzmoire erzielt werden.
Eine Anzahl phasenverschobener Signale kann dadurch erzielt werden, daß von einem
der Dreifachspiegel eine Fläche doppelt ausgebildet wird. Diese besteht demnach
aus zwei parallel zueinander verschobenen Teilen. So entstehen eigentlich zwei Satz
Dreifachspiegel.
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Fig. 9 stellt eine praktisch brauchbare Anordnung dar. Hierbei sind
zwei Dachprismen zu einem einzigen Block B vereinigt, und da die Strahlen über einen
großen Teil ihres Weges durch Glas hindurchgehen, ändert sich die obenerwähnte Formel
in a = 2 bl tg ec + 2 b2 tg p bc sinsin .
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Die Lichtquelle 1, die vorzugsweise monochromatisches oder nahezu
monchromatisches Licht gibt, befindet sich im Brennpunkt der Linse 1. Das m der
Hinterfläche des Prismablocks liegende Moirémuster wird von der Linse auf die Photozellen
abgebildet.
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Ein aus zu den Rasterlinien parallelen Zeilen bestehendes und auch
in der Hinterfläche des Prismablocks liegendes Moiremuster kann dadurch erzielt
werden, daß man die Winkel an der Hinterfläche etwas von 90" abweichen läßt.
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Es ist einleuchtend, daß auch die beiden Dreifach-Prismen zu einem
einzigen Körper vereinigt werden können, mittels dessen ein bestimmtes Moirémuster
erzielt werden kann.
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Es ist naturgemäß möglich, mit bekannten optischen Mitteln die Teile
des an der Stelle der Zellen erzeugten Lichtmusters weiter voneinander zu trennen,
falls die Abmessungen der Photozellen dies notwendig machen würden.
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PATBNTANSPRüCHE: 1. Vorrichtung zum Messen der Lageänderungen eines
beweglichen Organs gegenüber einem Bezugssystem, z. B. des beweglichen Teiles einer
Werkzeugmaschine gegenüber einem Gestell, bestehend aus einem mit dem beweglichen
Organ gekoppelten Raster mit nahezu senkrecht zu der Bewegungsrichtung verlaufenden
Linienscharen und aus Mitteln zum Erzeugen eines auf oder durch das Raster hindurchfallenden
Lichtbündels sowie photoelektrischen Tastelementen zum Umwandeln der bei der Lageänderung
in einem Punkt auftretenden Änderungen der Beleuchtungsstärke in elektrische Impulse,
deren in einem vorbestimmten Zeitintervall erzeugte Anzahl als ein Maß für die Lag
änderung in diesem Zeitintervall bestimmt wird, wobei durch ein stillstehendes optisches
System eine bei der Lageänderung des Organs eine zu der des Rasters selbst entgegengesetzte
Bewegung beschreibende Abbildung des Rasters dadurch erzeugt wird, daß dabei das
abbildende Strahlen bündel nochmals durch das Raster hindurch auf das photo elektrische
Element oder die photoelektrischen Elemente mit wechselnder Beleuchtungsstärke einwirkt,
dadurch gekennzeichnet, daß der abgebildete Rasterteil und seine Abbildung wenigstens
teilweise zusammenfallen.