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DE10330111A1 - Verfahren eines selbstreparierenden dynamischen Direktzugriffsspeichers - Google Patents

Verfahren eines selbstreparierenden dynamischen Direktzugriffsspeichers Download PDF

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DE10330111A1
DE10330111A1 DE10330111A DE10330111A DE10330111A1 DE 10330111 A1 DE10330111 A1 DE 10330111A1 DE 10330111 A DE10330111 A DE 10330111A DE 10330111 A DE10330111 A DE 10330111A DE 10330111 A1 DE10330111 A1 DE 10330111A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
circuit
memory cell
dram
address
integrated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE10330111A
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English (en)
Inventor
Katherine Bosch
Johnathan Edmonds
Jennifer Faye Huckaby
Leonel R. Nino Jun.
Torsten Partsch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Qimonda AG
Original Assignee
Infineon Technologies AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Infineon Technologies AG filed Critical Infineon Technologies AG
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Ceased legal-status Critical Current

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Abstract

Ein Verfahren einer Selbstreparatur für eine integrierte DRAM-Schaltung umfaßt ein internes Erzeugen eines Bitmusters und ein Schreiben des Musters an ein Array von Speicherzellen innerhalb der integrierten Schaltung. Die integrierte DRAM-Schaltung liest von dem Array und vergleicht intern die gelesenen Daten mit dem erzeugten Muster, um Adressen für defekte Speicherzellen zu bestimmen. Die integrierte DRAM-Schaltung setzt interne weiche Sicherungen, die die Adressen der defekten Speicherzellen aufzeichnen und Ersatzspeicherzellen für die defekten Speicherzellen aus einem redundanten Speicherabschnitt des Arrays liefern. Der Selbstreparaturprozeß tritt jedes Mal auf, wenn die integrierte DRAM-Schaltung hochgefahren wird, wodurch so ermöglicht wird, daß sich die integrierte Schaltung an Defekte anpaßt, wenn dieselbe in Elektronikvorrichtungen installiert wird, und so der Bedarf nach einer Reparatur während der Herstellung gemindert wird.

Description

  • Diese Erfindung bezieht sich auf einen dynamischen Direktzugriffsspeicher. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren eines selbstreparierenden dynamischen Direktzugriffsspeichers.
  • Viele Elektronikvorrichtungen und -systeme umfassen integrierte Schaltungen für die Speicherung von Daten während der Operation der Vorrichtungen. Elektronikvorrichtungen, wie z. B. Computer, Druckvorrichtungen, Scanvorrichtungen, Personal-Digital-Assistenten, Rechner, Arbeitsplatz-Computer, Audio- und Video-Vorrichtungen, Kommunikationsvorrichtungen, wie z. B. Mobiltelephone und Router für paketvermittelte Netze, können z. B. einen Speicher in der Form integrierter Schaltungen zum Behalten von Daten als Teil ihrer Operation umfassen. Vorteile eines Verwendens eines Integriertschaltungsspeichers verglichen mit anderen Formen von Speicher umfassen eine Raumerhaltung und -miniaturisierung, ein Erhalten eingeschränkter Batterieressourcen, ein Senken einer Zugriffszeit auf in dem Speicher gespeicherte Daten und ein Senken der Kosten eines Aufbauens der Elektronikvorrichtungen.
  • Ein dynamischer Direktzugriffsspeicher („DRAM") ist ein Beispiel eines Integriertschaltungsspeichers. Ein DRAM weist üblicherweise ein Array von Halbleiterkondensatorzellen auf, wobei jede derselben eine Menge einer elektrischen Ladung halten kann, die den logischen Wert eines gespeicherten Bits darstellt. Die Zellen in dem Array sind üblicherweise in Zeilen und Spalten angeordnet. Jede Zelle ist durch den Schnittpunkt einer Zeile und einer Spalte definiert. Auf jede Zelle in dem DRAM-Array kann durch ein gleichzeitiges Adressieren der sich schneidenden Zeile und Spalte zugegriffen werden.
  • In Betrieb erfassen interne Verstärker in dem DRAM die Mengen elektrischer Ladungen, die auf den Kondensatoren gespeichert sind. Basierend auf den erfaßten elektrischen Ladungen stellen die Ausgaben der Erfassungsverstärker die logischen Werte der Bits dar, die in dem DRAM-Array gespeichert sind. Auf diese Weise können die in dem Array gespeicherten Daten aus der integrierten DRAM-Schaltung zur Verwendung durch andere integrierte Schaltungen in der Elektronikvorrichtung extrahiert werden. Zusätzlich frischt ein anderer interner Schaltungsaufbau auf dem DRAM die Ladungen auf diesen Zellen auf. Auf diese Weise gleicht der DRAM Lecks einer elektrischen Ladung von den Halbleiterkondensatorzellen aus, wie z. B. ein Lecken in das Substrat der integrierten DRAM-Schaltung. Ein derartiges Lesen, Schreiben und Erhalten einer Ladung auf den Zellen sind wesentliche interne Operationen des DRAM.
  • Einige Zellen können jedoch defekt sein. Diese Defekte können aus Herstellungsungenauigkeiten, einem Kurzschließen der elektrischen Verbindungen mit Zellen in benachbarten Zeilen oder Spalten oder einem Kurzschließen zwischen den elektrischen Verbindungen sich schneidender Zeilen und Spalten entstehen. Um derartige Defekte in dem DRAM zu reparieren, umfaßt das Array üblicherweise redundante Zeilen und Spalten, die, falls Bedarf besteht, für die defekten Zeilen und Spalten eingesetzt werden können. Der DRAM kann dann programmiert werden, um die Adresse einer defekten Zeile oder Spalte zu speichern und eine Speicherspeicherung und -wiedergewinnung zu einer ausgewählten redundanten Zeile oder Spalte zu übertragen, wenn ein Versuch unternommen wird, auf die defekte Zeile oder Spalte zuzugreifen.
  • Ein Reparieren defekter Zellen, Zeilen und/oder Spalten wird üblicherweise während des Verfahrens eines Herstellens und Testens des DRAM durchgeführt. Eine Testschaltung, die entweder innerhalb oder außerhalb der integrierten DRAM-Schaltung sein kann, bestimmt, welche Zellen, Zeilen und/oder Spalten defekt sind. Bei einem Beispiel schreibt die Testschaltung eine logische „1" und/oder eine logische „0" an jede der Zellen in dem DRAM-Array. Bei einem anderen Beispiel erzeugt die Testschaltung eines oder mehrere Muster von Bits und schreibt die Bitmuster an das DRAM-Array. Die Testschaltung liest nachfolgend die Logikpegel der Zellen und vergleicht die Ergebnisse mit dem, was auf die Zellen geschrieben wurde. Unterschiede zwischen dem, was geschrieben wurde, und dem, was gelesen wird, zeigen den Ort defekter Zellen in dem Array und die Adressen der zugeordneten defekten Zeilen und Spalten, die die defekten Zellen enthalten, an.
  • Nach einem Vergleichen der Leseergebnisse mit den geschriebenen Mustern speichert die Testschaltung die Orte der defekten Zellen, Zeilen und/oder Spalten. Basierend auf den gespeicherten Orten von der Testschaltung werden programmierbare Sicherungen auf dem DRAM durchgebrannt, um die Adressen der defekten Zellen, Zeilen und/oder Spalten auf dem DRAM aufzuzeichnen. Spätere Versuche, auf eine defekte Zelle, Zeile und/oder Spalte unter Verwendung einer aufgezeichneten Adresse zuzugreifen, führen zu einer Übereinstimmung der Adresse innerhalb des Schaltungsaufbaus, der die durchgebrannten Sicherungen enthält. Anstatt eines Zugriffs auf die defekte Zelle, Zeile und/oder Spalte überträgt der DRAM einen Zugriff zu einer ausgewählten redundanten Zelle, Zeile und/oder Spalte, die als ein Ersatz für die defekte Zelle, Zeile und/oder Spalte bezeichnet ist.
  • Die programmierbaren Sicherungen sind üblicherweise „harte" Sicherungen, die nicht rückgesetzt werden können, sobald sie durchgebrannt sind. Ein Beispiel einer harten Sicherung ist eine schmale Polysiliziumleitung auf der integrierten DRAM-Schaltung, die durch ein Schneiden mit einem Präzisi onslaser durchgebrannt wird. Ein weiteres Beispiel einer harten Sicherung ist eine schmale Polysiliziumleitung auf der integrierten DRAM-Schaltung, die durch ein Leiten eines Abschmelzstroms durch die Leitung durchgebrannt wird. Eine Reparatur des DRAM ist unter Verwendung des oben beschriebenen Verfahrens irreversibel.
  • Wie oben beschrieben ist, wird ein Reparieren defekter Zellen, Zeilen und/oder Spalten üblicherweise während des Prozesses eines Herstellens und Testens des DRAM durchgeführt. Keine weitere Reparatur tritt auf, nachdem der DRAM in eine Elektronikvorrichtung eingebaut ist. Einige Defekte entwickeln sich u. U. jedoch erst, wenn der DRAM innerhalb der Elektronikvorrichtung in Betrieb ist. Außerdem werden unter Umständen einige Defekte während des Testens des DRAM nicht entdeckt und werden erst ersichtlich, wenn der DRAM innerhalb der Elektronikvorrichtung in Betrieb ist. Ein Verwenden harter Sicherungen, die während des Herstellungs- und Testverfahrens durchgebrannt werden, schließt so die Reparatur zusätzlicher Defekte aus, die auftreten, wenn der DRAM innerhalb der Elektronikvorrichtung in Betrieb ist. Eine derartige Situation kann eine Operation der Elektronikvorrichtung verhindern und ist irreparabel.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren, eine selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung oder ein System zu schaffen, mit deren Hilfe Defekte in integrierten Schaltungen auch nach einem Herstellungs- und Testverfahren durchgeführt werden können.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1, 20 oder 25, eine integrierte Schaltung gemäß Anspruch 11 oder 26 oder ein System gemäß Anspruch 22 oder 27 gelöst.
  • Deshalb besteht ein Bedarf nach einer verbesserten integrierten DRAM-Schaltung, die auf Defekte hin testet, wenn der DRAM innerhalb der Elektronikvorrichtung in Betrieb ist. Vorzugsweise führt der DRAM, wenn der DRAM bestimmt, daß eine Auswahl seiner Zellen, Zeilen und/oder Spalten defekt ist, eine Selbstreparatur durch, um redundante Zellen, Zeilen und/oder Spalten für die defekten Zellen, Zeilen und/oder Spalten einzusetzen. Um Mängel des Stands der Technik anzugehen, werden Aspekte der bevorzugten Ausführungsbeispiele bereitgestellt.
  • Ein Aspekt ist ein Verfahren zum Korrigieren im Hinblick auf eine defekte Speicherzelle in einer integrierten DRAM-Schaltung. Das Verfahren umfaßt ein Bestimmen einer Adresse der defekten Speicherzelle, ein Setzen zumindest einer weichen Sicherung, die der integrierten DRAM-Schaltung zugeordnet ist, um die Adresse der defekten Speicherzelle aufzuzeichnen, und ein Zuordnen zumindest einer redundanten Speicherzelle zu der zumindest einen gesetzten weichen Sicherung. Die redundante Speicherzelle wird anstelle der defekten Speicherzelle eingesetzt, wenn die integrierte DRAM-Schaltung mit der Adresse übereinstimmt.
  • Ein weiterer Aspekt ist eine selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung. Der selbstreparierende DRAM umfaßt zumindest eine Speicherzelle, eine Mustergeneratorschaltung, eine Komparatorschaltung und eine Weichsicherungsschaltung bzw. Soft-Fuse-Schaltung. Die Mustergeneratorschaltung schreibt ein Muster an die zumindest eine Speicherzelle. Die Komparatorschaltung vergleicht das Muster mit Daten, die von der zumindest einen Speicherzelle gelesen werden. Die Komparatorschaltung bestimmt außerdem eine Adresse einer defekten Speicherzelle, wenn das Muster und die Daten nicht übereinstimmen. Die Weichsicherungsschaltung zeichnet die Adresse der defekten Speicherzelle auf.
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 ein Diagramm, das eine bevorzugte Konfiguration einer Speicherzelle in einem DRAM-Array darstellt;
  • 2 ein Diagramm, das eine bevorzugte Konfiguration eines DRAM-Arrays darstellt;
  • 3 ein Blockdiagramm, das ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel einer selbstreparierenden integrierten DRAM-Schaltung darstellt;
  • 4 ein Flußdiagramm, das ein bevorzugtes Verfahren zum Korrigieren im Hinblick auf eine defekte Speicherzelle in einer integrierten DRAM-Schaltung darstellt; und
  • 5 ein Flußdiagramm, das ein bevorzugtes Verfahren zum Bestimmen der Adresse der defekten Speicherzelle bei dem Verfahren aus 4 darstellt.
  • 1 ist ein Diagramm, das eine bevorzugte Konfiguration einer Speicherzelle 10 in einem DRAM-Array darstellt. Die Speicherzelle 10 umfaßt bei diesem Beispiel einen N-Typ-Metalloxidhalbleiter-(„MOS"-)Transistor 12 und einen Kondensator 14. Der Transistor 12 und der Kondensator 14 können auf einem Substrat unter Verwendung einer Anzahl von Herstellungstechniken gebildet werden, die Fachleuten auf dem Gebiet der DRAM-Herstellungstechnik bekannt sind. Ein erstes Ende des Leitungspfades des MOS-Transistors 12 ist mit einer Platte des Kondensators 14 verbunden. Ein zweites Ende des Leitungspfades des MOS-Transistors 12 ist mit einem Spaltenleitungspfad 16 verbunden, der allen Zellen 10 gemein ist, die in einer Spalte zugeordnet sind. Für N-Typ-MOS-Transistoren 12 wird das Ende des Leitungspfades, das bezüglich des anderen Endes auf einem höheren Potential ist, üblicherweise von Fachleuten auf diesem Gebiet als ein „Drain" bezeichnet und das andere Ende des Leitungspfades wird üblicherweise als eine „Source" bezeichnet.
  • Der Spaltenleitungspfad 16 wird oft durch Fachleute auf dem Gebiet der DRAM-Herstellungstechnik als „Bitleitung" bezeichnet. Das Gate des MOS-Transistors 12 ist mit einem Zeilenleitungspfad 18 verbunden, der allen Zellen 10 gemein ist, die in einer Zeile zugeordnet sind. Der Zeilenleitungspfad 18 wird durch Fachleute auf dem Gebiet der DRAM-Herstellungstechnik oft als „Wortleitung" bezeichnet. Es sollte für Fachleute auf diesem Gebiet ersichtlich sein, daß die Ausrichtung der Zeilen und Spalten, wie dies in 1 gezeigt ist, zu dem Zweck einer vollständigeren Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele, die unten beschrieben werden, um 90° von der üblichen Bedeutung ihrer Ausrichtung gedreht ist.
  • Der DRAM behält die andere Platte des Kondensators 14 bei einem Potential, das die Hälfte des Potentials ist, das einen logischen Wert Eins oder einen vollständigen Potentialschwung darstellt. Fachleute auf diesem Gebiet bezeichnen das Potential für einen logischen Wert Eins als VCC. Ein Speichern eines logischen Wertes Eins in der Zelle 10 umfaßt ein Anheben der Bitleitung 16 auf ein Potential von VCC und ein Anheben der Wortleitung 18 auf ein höheres Potential, VCCP. VCCP ist ein Potential, das es dem Transistor 12 ermöglicht, während des gesamten Ladeprozesses zu leiten. Der Transistor 12 leitet und die obere Platte des Kondensators 14 ist auf ein Potential VCC geladen. Ein Speichern eines logischen Wertes Eins in der Zelle 10 umfaßt ein Senken der Bitleitung 16 auf ein Potential Null und ein Anheben der Wortleitung 18 auf VCCP. Der Transistor 12 leitet und die obere Platte des Kondensators 14 wird durch den Transistor 12 auf ein Null-Potential entladen.
  • Ein Lesen des in der Zelle 10 gespeicherten logischen Wertes umfaßt ein Anheben des Potentials auf der Wortleitung 18 auf VCCP. Der Transistor 12 leitet und überträgt eine Ladung zwischen dem Kondensator 14 und der Bitleitung 16. Ein Erfassungsverstärker (nicht gezeigt) erfaßt eine Veränderung eines Potentials der Bitleitung 16, verstärkt die Veränderung und liefert eine Ausgabe, die den logischen Wert darstellt, der in der Speicherzelle 10 gespeichert wurde. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Speicherzelle 10 ist die Bitleitung 16 auf ein Potential von 1/2 VCC vorgeladen, bevor das Potential der Wortleitung 18 ansteigt, um das Leseverfahren einzuleiten. Wenn ein logischer Wert Eins in der Zelle 10 gespeichert war, ist zu erwarten, daß das Potential auf der oberen Platte des Kondensators 14 größer als 1/2 VCC ist und aufgrund eines Leckens von VCC gefallen ist. In diesem Fall steigt das Potential auf der Bitleitung 16 leicht von 1/2 VCC. Alternativ ist zu erwarten, daß, wenn ein logischer Wert Null in der Zelle 10 gespeichert war, das Potential auf der oberen Platte des Kondensators 14 kleiner als 1/2 VCC ist und aufgrund eines Leckens von Null angestiegen ist. In diesem Fall fällt das Potential auf der Bitleitung 16 leicht von 1/2 VCC. Der Erfassungsverstärker erfaßt den leichten Anstieg oder Abfall des Potentials auf der Bitleitung 16 und gibt entsprechend ein Potential aus, das einem logischen Wert Null oder Eins entspricht.
  • 2 ist ein Diagramm, das eine bevorzugte Konfiguration eines Abschnitts eines DRAM-Arrays 20 darstellt. Ein DRAM-Array 20 von Speicherzellen 10 kann einen oder mehrere Speicherabschnitte 2226 aufweisen. Ein Beispiel eines DRAM-Arrays 20 ist ein 64 Megabit-(„Mb"-)Array, wobei ein Megabit 220 Bits oder 1.048.576 Bits ist. Wie in 2 gezeigt ist, kann ein Speicherabschnitt 22 einen linken benachbarten Abschnitt 24 und einen rechten benachbarten Abschnitt 26 aufweisen. Abschnitten 22 bis 26 an der Kante des Chips der integrierten DRAM-Schaltung fehlt üblicherweise ein linker 24 oder ein rechter 26 benachbarter Abschnitt.
  • Ein Unterteilen des DRAM-Arrays 20 in Speicherabschnitte 2226 liefert kürzere Bitleitungen und/oder Wortleitungen als dies der Fall wäre, wenn die Leitungen über das gesamte DRAM-Array 20 laufen würden. Wie für Fachleute auf diesem Gebiet bekannt ist, können lange Leitungen große Widerstandswerte aufweisen oder können parasitäre Kapazitäten mit benachbarten Leitungen aufweisen, die die Leistung des DRAM-Arrays 20 reduzieren. Ein 64 Mb-DRAM-Array 20 z. B. könnte 16 Abschnitte 22 bis 26 umfassen, wobei jeder derselben 4 Mb Speicher aufweist. Es wird jedoch darauf verwiesen, daß die exemplarischen Speichergrößen von 64 Mb und 4 Mb lediglich Darstellungszwecken dienen, und daß die vorliegende Erfindung nicht auf 64 Mb-DRAM-Arrays eingeschränkt ist, die 4 Mb-Abschnitte aufweisen, und daß andere Array- und Abschnittgrößen möglich sind.
  • Bei einer bevorzugten Anordnung von Bitleitungen innerhalb des Abschnitts 22 verlassen abwechselnde Bitleitungen den Abschnitt 22 in entgegengesetzten Richtungen. Eine Auswahl von Bitleitungen verläßt den Abschnitt 22 nach rechts von dem Abschnitt 22. Diese Bitleitungen werden durch Fachleute auf diesem Gebiet „rechte Bitleitungen" 28 („RBLs") genannt. Eine andere Auswahl von Bitleitungen verläßt den Abschnitt 22 nach links von dem Abschnitt 22. Diese Bitleitungen werden „linke Bitleitungen" 30 („LBLs") genannt. Jede RBL 28 ist mit einem Erfassungsverstärker 32 verbunden, der durch Fachleute auf diesem Gebiet als „rechter Erfassungsverstärker" 32 bezeichnet wird. Jede LBL 30 ist mit einem Erfassungsverstärker 34 verbunden, der durch Fachleute auf diesem Gebiet oft als „linker Erfassungsverstärker" 34 bezeichnet wird.
  • Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel des DRAM-Arrays 20 verwenden benachbarte Speicherabschnitte 2226 gemeinsame Erfassungsverstärker 32, 34 gemeinsam. Die RBLs 28 des Abschnittes 22 z. B. verwenden die Erfassungsverstärker 32 gemeinsam mit den LBLs 36 des rechten benachbarten Abschnitts 26. Außerdem verwenden die LBLs 30 des Abschnitts 22 die Erfassungsverstärker 34 gemeinschaftlich mit den RBLs 38 des linken benachbarten Abschnitts 24. Diese gemeinschaftliche Verwendung reduziert die Anzahl erforderli cher Leseverstärker 32, 34 für das DRAM-Array 20 um einen Faktor von etwa zwei. Wenn das DRAM-Array 20 nicht mehr als eine Wortleitung 40 zu einem Zeitpunkt abfeuert, treffen die Leseverstärker 32, 34 auf keine Zweideutigkeiten bezüglich dessen, von welchem Abschnitt 2226 sie lesen.
  • Das DRAM-Array 20 umfaßt Wortleitungstreiber 42, die das Potential auf den Gates der Transistoren 12 in einer Zeile zum Lesen, Schreiben oder Auffrischen des Arrays 20 im wesentlichen auf VCCP anheben. Das DRAM-Array 20 umfaßt außerdem Schreibtreiber (nicht gezeigt) zum Anheben oder Senken der Potentiale auf den Bitleitungen 36, die die Kondensatoren 14 von Speicherzellen 10 auf Potentiale laden, die logischen Werten Eins oder Null entsprechen.
  • Selbstreparierender DRAM
  • Bezug nehmend auf 3 kann jeder Abschnitt 2226 des DRAM-Arrays 20 redundante Zellen 10 umfassen, die durch redundante Wortleitungen 40 und/oder Bitleitungen 38 adressiert werden. Die redundanten Zellen 10 werden für defekte Zellen 10 innerhalb des Abschnitts 2226 eingesetzt und können das DRAM-Array 20 durch ein Wiederherstellen des Arrays 20 auf seine nominelle Speicherkapazität reparieren.
  • 3 ist ein Blockdiagramm, das ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel einer selbstreparierenden integrierten DRAM-Schaltung 50 darstellt. Die integrierte DRAM-Schaltung 50 umfaßt ein DRAM-Array 20 von Speicherzellen 10, die in Abschnitten 2226 angeordnet sein können und durch Wortleitungen 18 und Bitleitungen 16 adressiert werden können. Die integrierte DRAM-Schaltung 50 umfaßt einen Adreß- und Befehls-Pfad 52, einen Lesepfad 54 und einen Schreibpfad 56. Die Pfade 5256 übertragen Daten, Befehle und Adressen zwischen der integrierten DRAM-Schaltung 20 und anderen Elektronikkomponenten (nicht gezeigt) in der Elektronikvorrichtung. Der Adreß-/Befehlspfad 52 nimmt Adressen für Zellen, Wortleitungen und/oder Bitleitungen innerhalb des DRAM-Arrays 20 an, auf das Daten geschrieben werden oder von dem Daten gelesen werden. Der Adreß-/Befehlspfad nimmt auch Befehle zum Steuern der Operation des DRAM-Arrays 20 an, wie z. B. ein Instruieren der integrierten DRAM-Schaltung 50, in dem DRAM-Array 20 gespeicherte Daten herauszulesen oder in das DRAM-Array 20 geschriebene Daten zu speichern. Der Lesepfad 54 gibt Daten von dem DRAM-Array 20 aus und der Schreibpfad 56 nimmt Daten zum Speichern in dem DRAM-Array 20 an.
  • Wie in 3 gezeigt ist, umfaßt die selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung 50 außerdem eine Planerschaltung bzw. Scheduler-Schaltung 58, eine Mustergeneratorschaltung 60, eine Komparatorschaltung 62, eine Weichsicherungsschaltung 64, eine Übereinstimmungsschaltung 66, eine Befehlsgeneratorschaltung 68 und Pfadschaltungsschaltungen 7074. Die Pfade 5256 können auch Multiplexer- und/oder Demultiplexerschaltungen (nicht gezeigt) zum Kodieren und/oder Dekodieren binärer Wörter umfassen. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel umfassen die Pfadschaltungsschaltungen 7074 eine oder mehrere Multiplexer- und/oder Demultiplexerschaltungen.
  • Die selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung 50 kann unter Verwendung von Herstellungstechniken einer integrierten Schaltung hergestellt werden, die Fachleuten auf diesem Gebiet vertraut sind, wie z. B. Silizium- oder Galliumarsenid-(„GaAs"-)Techniken. Die Planerschaltung 58, die Mustergeneratorschaltung 60, die Komparatorschaltung 62, die Weichsicherungsschaltung 64, die Übereinstimmungsschaltung 66, die Befehlsgeneratorschaltung 68 und die Pfadschaltungsschaltungen 7074 können unter Verwendung einer schematischen Bibliothek von Schaltungsgrundelementen entworfen und aufgebaut sein, die geeignet für Maskierungsprozesse sind, wie Fachleuten auf diesem Gebiet bekannt ist. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel werden diese Komponenten 5874 auf dem gleichen Substrat wie das DRAM- Array 20 hergestellt. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel werden die Komponenten 5874 auf einem anderen Substrat als das DRAM-Array 20 hergestellt. Bei diesem letzteren Ausführungsbeispiel kann das separate Substrat in dem gleichen Gehäuse wie das DRAM-Array 20 eingeschlossen sein und kann mit dem DRAM-Array 20 durch Drahtverbindungen kommunizieren, die Anschlußflächen auf den Substraten verbinden. Alternativ kann das separate Substrat in einem anderen Gehäuse als das DRAM-Array 20 eingeschlossen sein und kann mit dem DRAM-Array 20 durch Leiterbahnen auf einer gedruckten Schaltungsplatine kommunizieren, die die unterschiedlichen Gehäuse unterbringt.
  • 4 ist ein Flußdiagramm, das ein bevorzugtes Verfahren 80 zum Korrigieren im Hinblick auf eine defekte Speicherzelle 10 in einer integrierten DRAM-Schaltung 50 darstellt. Das Verfahren 80 umfaßt ein Bestimmen einer Adresse der defekten Speicherzelle 10 bei einem Schritt 82. Bei einem Schritt 84 setzt die integrierte DRAM-Schaltung 50 eine oder mehrere weiche Sicherungen, um die Adresse der defekten Speicherzelle 10 aufzuzeichnen. Die integrierte DRAM-Schaltung 50 ordnet eine redundante Speicherzelle 76 der einen oder den mehreren gesetzten weichen Sicherungen bei einem Schritt 86 zu. Die redundante Speicherzelle 76 ersetzt die defekte Speicherzelle 10, wenn die integrierte DRAM-Schaltung 50 mit der Adresse übereinstimmt.
  • Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel führt die integrierte DRAM-Schaltung 50 während eines Hochfahrprozesses einen Selbstreparaturprozeß durch. Der Hochfahrprozeß tritt auf, nachdem zu Beginn eine Leistung an die integrierte DRAM-Schaltung 50 geliefert wird, und bevor die integrierte DRAM-Schaltung 50 Daten speichert. Wenn eine Leistung zu Beginn an die integrierte DRAM-Schaltung 50 geliefert wird, schalten sich interne Spannungsgeneratoren (nicht gezeigt) an. Sobald die Generatoren geeignete Potentiale zur Operation der integrierten DRAM-Schaltung 50 erreicht haben, erzeugt das Hochfahrverfahren ein Hochfahr-(„PU"-)Signal, das die Planerschaltung 58 aktiviert. Die Planerschaltung 58 steuert den Selbstreparaturprozeß.
  • Das PU-Signal bewirkt außerdem, daß die Pfadschaltungsschaltungen 7074 zu einem ersten Schaltzustand schalten. In dem ersten Schaltzustand ist das DRAM-Array 20 von dem Adreß-/Befehlspfad 52, dem Lesepfad 54 bzw. dem Schreibpfad 56 getrennt. Während des Hochfahrprozesses werden keine Daten in das DRAM-Array 20 geschrieben oder aus demselben gelesen. Statt dessen nimmt das DRAM-Array 20 Daten von der Mustergeneratorschaltung 60 an und das DRAM-Array 20 gibt Daten an die Komparatorschaltung 62 aus. Außerdem nimmt während des Hochfahrprozesses das DRAM-Array 20 ansprechend auf das PU-Signal, das die Pfadschaltungsschaltungen 70 in dem Adreß-/Befehlspfad 52 aktiviert, Adressen und Befehle von der Befehlsgeneratorschaltung 68 an.
  • Nach einem Abschließen des Selbstreparaturprozesses löscht die Planerschaltung 58 das PU-Signal, was bewirkt, daß die Pfadschaltungsschaltungen 7074 zu einem zweiten Schaltzustand schalten. In dem zweiten Schaltzustand ist das DRAM-Array 20 mit dem Adreß-/Befehlspfad 52, dem Lesepfad 54 bzw. dem Schreibpfad 56 verbunden. Das DRAM-Array 20 kann danach Adressen und Befehle von dem Adreß-/Befehlspfad 52 annehmen, Daten, die in dem DRAM-Array 20 gespeichert werden sollen, von dem Schreibpfad 56 annehmen und Daten, die in dem DRAM-Array 20 gespeichert sind, an den Lesepfad 54 ausgeben.
  • 5 ist ein Flußdiagramm, das ein bevorzugtes Verfahren zum Bestimmen der Adresse der defekten Speicherzelle 10 bei einem Schritt 82 des Verfahrens 80 aus 4 darstellt. Schritt 82 umfaßt ein Erzeugen eines Musters bei einem Schritt 90. Bei einem Schritt 92 schreibt die integrierte DRAM-Schaltung 50 das Muster an eine oder mehrere Speicherzellen 10 in dem DRAM-Array 20. Die integrierte DRAM-Schaltung 50 liest Daten von der einen oder den mehreren Speicherzellen 10 bei einem Schritt 94. Bei einem Schritt 96 vergleicht die integrierte DRAM-Schaltung 50 die Daten mit dem Muster. Die integrierte DRAM-Schaltung 50 identifiziert die Adresse der defekten Speicherzelle 10, wenn die Daten und das Muster nicht übereinstimmen.
  • Die Planerschaltung 58 steuert den Selbstreparaturprozeß. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die Planerschaltung 58 ein Block festverdrahteter Logikgatter, der das Taktsignal empfängt und seine Ausgabe ansprechend auf jeden zusätzlichen Taktpuls rekonfiguriert. Die festverdrahtete Logik kann z. B. einen Binärzähler umfassen, der binär eine logische Eins zu einem binären Wort mit jedem Taktpuls hinzufügt. Jedes resultierende binäre Wort in dem Binärzähler kann einem unterschiedlichen Satz von Ausgangssignalen durch UND-Logikgatter zugeordnet sein, wie dies Fachleuten auf diesem Gebiet bekannt ist. Der Satz von Ausgangssignalen instruiert andere Elemente 6074 der integrierten DRAM-Schaltung 50, ihre jeweiligen Operationen durchzuführen.
  • Die Planerschaltung 58 instruiert die Mustergeneratorschaltung 60, ein Muster von Logikwerten zur Speicherung in dem DRAM-Array bei Schritt 90 zu erzeugen. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die Mustergeneratorschaltung 60 ein weiterer Block festverdrahteter Logikgatter, wie z. B. Binärzähler, die zyklisch durch eine Sequenz logischer Einsen und Nullen ansprechend auf den Takt laufen. Ein Beispiel des Musters führt zu einer Speicherung eines logischen Wertes Eins in jeder Zelle 10 in dem DRAM-Array 20. Ein weiteres Beispiel des Musters führt zu einer Speicherung eines logischen Wertes Null in jeder Zelle 10, in dem DRAM-Array 20. Noch ein weiteres Beispiel des Musters führt zu einer Speicherung abwechselnder logischer Werte von Eins und Null in den Zellen 10 in dem DRAM-Array 20. Fachleute auf diesem Gebiet nennen dieses Muster auch ein „Schachbrett"-Muster. Während der Speicherungsoperationen instruiert die Planerschaltung 58 den Befehlsgenerator 68, den Befehl zum Schreiben von Daten an das DRAM-Array 20 zu erzeugen. Der Befehlsgenerator 68 erzeugt außerdem die Adressen für die geeigneten Zellen 10 in dem DRAM-Array 20, an das die logischen Werte des Musters geschrieben werden. Auf diese Weise speichert das DRAM-Array 20 das erzeugte Muster bei Schritt 92.
  • Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Befehlsgenerator 68 ein weiterer Block festverdrahteter Logikgatter, die einen Befehl für das DRAM-Array 20 ansprechend auf die von der Planerschaltung 58 empfangene Instruktion zuordnen. Beispiele von Befehlen, die durch den Befehlsgenerator 68 erzeugt werden, umfassen Befehle eines Zeilenadreßübernahmesignals („RAS"), eines Spaltenadreßübernahmesignals („CAS") und einer Schreibaktivierung („WE"), die Fachleuten auf dem Gebiet der DRAM-Technik vertraut sind.
  • Die Planerschaltung 58 der integrierten DRAM-Schaltung 50 instruiert den Befehlsgenerator 68, den Befehl zum Lesen von Daten von dem DRAM-Array 20 zu erzeugen. Der Befehlsgenerator 68 erzeugt außerdem die Adressen für die geeigneten Zellen 10 in dem DRAM-Array 20, von dem die logischen Werte der Daten gelesen werden. Auf diese Weise liest die integrierte DRAM-Schaltung 50 Daten von dem DRAM-Array 20 bei einem Schritt 94 in die Komparatorschaltung 62. Für jede zu testende Speicherzelle 10 in dem DRAM-Array 20 vergleicht die Komparatorschaltung 62 den logischen Wert, der von der Speicherzelle 10 gelesen wird, mit dem logischen Wert, der für diese Speicherzelle 10 durch die Mustergeneratorschaltung 60 erzeugt wird. Wenn die logischen Werte nicht übereinstimmen, identifiziert die Komparatorschaltung 62 die Speicherzelle 10 bei einem Schritt 98 als defekt.
  • Wenn die Komparatorschaltung 62 die defekte Speicherzelle 10 identifiziert, leitet die Komparatorschaltung 62 die Adresse der defekten Speicherzelle 10 an die Weichsicherungsschaltung 64. Bei Schritt 84 des Verfahrens 80 aus 4 setzt die integrierte DRAM-Schaltung 50 eine oder mehrere weiche Sicherungen in der Weichsicherungsschaltung 64, um die Adresse der defekten Speicherzelle 10 aufzuzeichnen. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel speichert die Weichsicherungsschaltung 64 die Adresse der Bitleitung 16, zu der die defekte Speicherzelle 10 gehört. Bei einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel speichert die Weichsicherungsschaltung 64 die Adresse der Wortleitung 80, zu der die defekte Speicherzelle 10 gehört. Bei noch einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel speichert die Weichsicherungsschaltung 64 die Adressen der Bitleitung 16 und der Wortleitung 18, zu der die defekte Speicherzelle 10 gehört, d. h. die Adresse der defekten Speicherzelle 10. Wie für Fachleute auf diesem Gebiet bekannt ist, kann ein Einsetzen einer kompletten Zeile oder Spalte für die Zeile oder Spalte, die die defekte Speicherzelle 10 enthält, anstelle eines Ersetzens der einzelnen defekten Speicherzelle 10 durch eine einzelne redundante Speicherzelle 76 die Geschwindigkeit einer Operation der integrierten DRAM-Schaltung 50 erhöhen.
  • Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die weichen Sicherungen Latch-Schaltungen, wie z. B. Zellen eines statischen Direktzugriffsspeichers („SRAM"). Die weichen Sicherungen verlieren ihre gespeicherten Informationen, wie z. B. die Adressen der defekten Speicherzellen 10, wenn die integrierte DRAM-Schaltung 50 Leistung verliert. Die Übereinstimmungsschaltung 66 ordnet außerdem eine oder mehrere redundante Speicherzellen 76 den weichen Sicherungen zu, die die Adresse der defekten Speicherzelle 10 speichern. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die redundanten Speicherzellen 76 in einer redundanten Zeile oder Spalte des DRAM-Array 20 und das Verfahren 80 zum Reparieren der integrierten DRAM-Schaltung 50 umfaßt die Ersetzung einer vollständigen Zeile oder Spalte, wenn sie eine defekte Speicherzelle 10 erfaßt. Auf diese Weise zeichnet die integrierte DRAM-Schaltung 50 die Adresse der defekten Speicherzelle 10 entweder als eine Bitleitungs-l6-Adresse, eine Wortleitungs-l8-Adresse oder beides auf und liefert eine Ersatzbitleitung 16, eine -wortleitung 18 oder eine -speicherzelle 10 in redundanten Speicherzellen 76 in dem DRAM-Array 20.
  • In Betrieb kann das DRAM-Array 20, nachdem die Planerschaltung 58 das PU-Signal gelöscht hat, Adressen und Befehle von dem Adreß-/Befehlspfad 52 annehmen, Daten, die in dem DRAM-Array 20 gespeichert werden sollen, von dem Schreibpfad 56 annehmen und in dem DRAM-Array 20 gespeicherte Daten an den Lesepfad 54 ausgeben. Wenn die Übereinstimmungsschaltung 66 erkennt, daß eine vorgelegte Adresse auf dem Adreß-/Befehlspfad 52 identisch mit einer gespeicherten Adresse in der Weichsicherungsschaltung 64 ist, ersetzt die Übereinstimmungsschaltung 66 die Adresse der Bitleitung 16, Wortleitung 18 oder Speicherzelle 10 in dem redundanten Speicher 76. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die Übereinstimmungsschaltung 66 ein Block einer festverdrahteten Vergleichslogik, wie z. B. XOR-Logikgatter oder Differenzverstärker, und andere Logikgatter, die Fachleuten auf dem Gebiet der DRAM-Technik bekannt sind.
  • Die integrierte DRAM-Schaltung 20 schreibt Daten auf dem Schreibpfad 56 bei der Ersatzadresse in den zugeordneten redundanten Speicher 76 des DRAM-Arrays 20 anstelle die Daten bei der vorliegenden Adresse in das DRAM-Array 20 zu schreiben. Außerdem liest die integrierte DRAM-Schaltung 20 Daten von dem zugeordneten redundanten Speicher 76 des DRAM-Arrays 20 von der Ersatzadresse auf den Lesepfad 54, anstatt die Daten bei der vorliegenden Adresse von dem DRAM-Array 20 zu lesen.
  • Wenn die weichen Sicherungen rückgesetzt werden, wenn die integrierte DRAM-Schaltung 20 Leistung verliert, führt die integrierte DRAM-Schaltung 20 das Test- und Selbstreparaturverfahren 80 jedes Mal durch, wenn sie hochgefahren wird. Da sich einige Defekte erst entwickeln können, wenn die integrierte DRAM-Schaltung 50 innerhalb der Elektronikvorrichtung in Betrieb ist, ermöglicht es das wiederholte Reparieren auf jedes Hochfahren hin, daß die integrierte DRAM-Schaltung 50 defekte Speicherzellen 10 ausgleicht. Auf diese Weise kann die integrierte DRAM-Schaltung 50 verglichen mit DRAMs eine längere Lebensdauer aufweisen, deren Redundanz permanent während des Prozesses eines Herstellens und Testens fest ist.
  • Die vorangegangene detaillierte Beschreibung ist lediglich darstellend für mehrere physische Ausführungsbeispiele der Erfindung. Physische Abweichungen der Erfindung, die nicht vollständig in dieser Spezifizierung beschrieben sind, können innerhalb des Bereichs der Ansprüche enthalten sein. Zusätzlich können die Schritte der Flußdiagramme in anderen Reihenfolgen als den beschriebenen genommen werden und mehr oder weniger Elemente oder Komponenten können in den Blockdiagrammen verwendet werden. Folglich sollte eine engere Beschreibung der Elemente in der Spezifizierung zur allgemeinen Orientierung verwendet werden, anstatt breitere Beschreibungen der Elemente in den folgenden Ansprüchen übermäßig einzuschränken.

Claims (27)

  1. Verfahren zum Korrigieren im Hinblick auf eine defekte Speicherzelle (10) in einer integrierten DRAM-Schaltung (50), wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: (a) Bestimmen einer Adresse der defekten Speicherzelle (10); (b) Setzen zumindest einer weichen Sicherung, die der integrierten DRAM-Schaltung (50) zugeordnet ist, um die Adresse der defekten Speicherzelle aufzuzeichnen; und (c) Zuordnen zumindest einer redundanten Speicherzelle zu der zumindest einen gesetzten weichen Sicherung, wobei die zumindest eine redundante Speicherzelle die defekte Speicherzelle (10) ersetzt, wenn die integrierte DRAM-Schaltung (50) die Adresse bestimmt.
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, das ferner folgenden Schritt aufweist: Wiederholen der Schritte (a) bis (c), um im Hinblick auf eine Mehrzahl defekter Speicherzellen (10) in der integrierten DRAM-Schaltung zu korrigieren.
  3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem die Schritte (a) bis (c) während eines Hochfahrprozesses für die integrierte DRAM-Schaltung (50) durchgeführt werden.
  4. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem Schritt (a) folgende Schritte aufweist: Erzeugen eines Musters logischer Werte; Schreiben des Musters an zumindest eine Speicherzelle in der integrierten DRAM-Schaltung (50); Lesen von Daten von zumindest einer Speicherzelle; Vergleichen der Daten mit dem Muster; und Identifizieren der Adresse der defekten Speicherzelle (10), wenn die Daten und das Muster nicht übereinstimmen.
  5. Verfahren gemäß Anspruch 4, bei dem der Erzeugungsschritt folgenden Schritt aufweist: Zuordnen eines logischen Wertes Eins zu der einen oder den mehreren Speicherzellen (10) in der integrierten DRAM-Schaltung.
  6. Verfahren gemäß Anspruch 4, bei dem der Erzeugungsschritt folgenden Schritt aufweist: Zuordnen eines logischen Wertes Null zu der zumindest einen Speicherzelle in der integrierten DRAM-Schaltung (50).
  7. Verfahren gemäß Anspruch 4, bei dem der Erzeugungsschritt folgende Schritte aufweist: Zuordnen eines logischen Wertes Eins zu einer ersten Auswahl der zumindest einen Speicherzelle in der integrierten DRAM-Schaltung; und Zuordnen eines logischen Wertes Null zu einer zweiten Auswahl der zumindest einen Speicherzelle in der integrierten DRAM-Schaltung.
  8. Verfahren gemäß Anspruch 7, bei dem die erste Auswahl und die zweite Auswahl abwechselnde Speicherzellen (10) sind.
  9. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 4 bis 8, das ferner folgenden Schritt aufweist: Konfigurieren zumindest einer Pfadschaltungsschaltung (7074), die der integrierten DRAM-Schaltung zugeordnet ist, zu einem ersten Schaltzustand, wobei die zumindest eine Speicherzelle (10) in dem ersten Schaltzustand von zumindest einem Pfad getrennt ist.
  10. Verfahren gemäß Anspruch 9, das ferner folgenden Schritt aufweist: Konfigurieren der zumindest einen Pfadschaltungsschaltung (7074), die der integrierten DRAM-Schaltung zugeordnet ist, zu einem zweiten Schaltzustand, wobei die zumindest eine Speicherzelle (10) in dem zweiten Schaltzustand mit dem zumindest einen Pfad verbunden ist.
  11. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung mit folgenden Merkmalen: zumindest einer Speicherzelle (10); einer Mustergeneratorschaltung (60) zum Schreiben eines Musters logischer Werte an die zumindest eine Speicherzelle; einer Komparatorschaltung (62) zum Vergleichen des Musters mit Daten, die von der zumindest einen Speicherzelle gelesen werden, und zum Bestimmen einer Adresse einer defekten Speicherzelle (10), wenn das Muster und die Daten nicht übereinstimmen; und einer Weichsicherungsschaltung (64) zum Aufzeichnen der Adresse der defekten Speicherzelle.
  12. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung gemäß Anspruch 11, bei der die Mustergeneratorschaltung (60), die Komparatorschaltung (62) und die Weichsicherungsschaltung (64) während eines Hochfahrprozesses für die integrierte DRAM-Schaltung arbeiten.
  13. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung gemäß Anspruch 11 oder 12, bei der die Weichsicherungsschaltung (64) eine oder mehrere Latch-Schaltungen aufweist.
  14. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung gemäß einem der Ansprüche 11 bis 13, die ferner folgende Merkmale aufweist: zumindest eine Speicherzelle (10); und eine Übereinstimmungsschaltung (66) zum Zuordnen der zumindest einen redundanten Speicherzelle zu der aufgezeichneten Adresse in der Weichsicherungsschaltung.
  15. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung gemäß Anspruch 14, bei der die Übereinstimmungsschaltung (66) die Adresse der defekten Speicherzelle (10) durch zumindest eine Adresse der zumindest einen redundanten Speicherzelle ersetzt, wenn ihr die Adresse der defekten Speicherzelle vorgelegt wird.
  16. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung gemäß einem der Ansprüche 11 bis 15, die ferner folgende Merkmale aufweist: eine Befehlsgeneratorschaltung (68) zum Erzeugen von Befehlen, die die integrierte DRAM-Schaltung während einer Selbstreparatur betreiben; und eine Planerschaltung (58) zum Steuern der Mustergeneratorschaltung (60), der Komparatorschaltung (62), der Weichsicherungsschaltung (64) und der Befehlsgeneratorschaltung (68).
  17. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung gemäß einem der Ansprüche 11 bis 16, bei der die Befehlsgeneratorschaltung (68) und die Planerschaltung (58) während eines Hochfahrprozesses für die integrierte DRAM-Schaltung (50) arbeiten.
  18. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung gemäß Anspruch 16 oder 17, bei der die Befehlsgeneratorschaltung (68) Adressen erzeugt, um während einer Selbstreparatur auf die zumindest eine Speicherzelle (10) zuzugreifen.
  19. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung gemäß einem der Ansprüche 11 bis 18, die ferner folgendes Merkmal aufweist: zumindest eine Schaltungsschaltung (7074), wobei die zumindest eine Speicherzelle während einer Selbstreparatur durch die zumindest eine Schaltungsschaltung von zumindest einem Pfad getrennt ist.
  20. Verfahren zum Aufzeichnen einer Adresse einer defekten Speicherzelle (10) in einem Array in einer integrierten DRAM-Schaltung, die ein Array von Speicherzellen aufweist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: internes Erzeugen eines Musters von Logikwerten und Schreiben des Musters an das Array; Vergleichen des Musters mit Daten, die aus dem Array herausgelesen werden, in einer Komparatorschaltung (62) der integrierten DRAM-Schaltung, um die Adresse der defekten Speicherzelle (10) zu bestimmen, wenn das Muster und die Daten nicht übereinstimmen; und Setzen zumindest einer weichen Sicherung, um die Adresse aufzuzeichnen.
  21. Verfahren gemäß Anspruch 20, das ferner folgenden Schritt aufweist: Zuordnen zumindest einer redundanten Speicherzelle zu der zumindest einen internen weichen Sicherung, um die defekte Speicherzelle (10) durch dieselbe zu ersetzen.
  22. Chipinternes System zum Ersetzen von Adressen defekter Speicherzellen in einem Array durch Adressen redundanter Speicherzellen in einer integrierten DRAM-Schaltung, die ein Array von Speicherzellen und redundanten Speicherzellen aufweist, mit folgenden Merkmalen: einer internen Mustergeneratorschaltung zum Erzeugen eines Musters logischer Werte und zum Schreiben des Musters an das Array; einer internen Komparatorschaltung zum Vergleichen des Musters mit Daten, die aus dem Array herausgelesen werden, um die Adressen der defekten Speicherzellen zu bestimmen, wenn das Muster und die Daten nicht übereinstimmen; und einer internen Weichsicherungsschaltung, die die Adressen der defekten Speicherzellen aufzeichnet.
  23. Chipinternes System gemäß Anspruch 22, das ferner folgendes Merkmal aufweist: eine interne Planerschaltung zum Steuern der internen Mustergeneratorschaltung, der internen Komparator schaltung und der internen Weichsicherungsschaltung während eines Hochfahrprozesses für die integrierte DRAM-Schaltung (50).
  24. Chipinternes System gemäß Anspruch 23, das ferner folgendes Merkmal aufweist: eine interne Befehlsgeneratorschaltung zum Erzeugen von Befehlen, die die integrierte DRAM-Schaltung treiben, und Adressen für das Array von Speicherzellen ansprechend auf Instruktionen von der internen Planerschaltung.
  25. Verfahren zum Korrigieren im Hinblick auf eine defekte Speicherzelle (10) in einer integrierten DRAM-Schaltung (50), wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Konfigurieren zumindest einer Pfadschaltungsschaltung (7074), die der integrierten DRAM-Schaltung zugeordnet ist, während eines Hochfahrprozesses zu einem ersten Schaltzustand, wobei zumindest eine Speicherzelle in dem ersten Schaltzustand von zumindest einem Pfad getrennt ist; Erzeugen eines Musters logischer Werte; Schreiben des Musters an zumindest eine Speicherzelle (10) in der integrierten DRAM-Schaltung; Lesen von Daten von der zumindest einen Speicherzelle; Vergleichen der Daten mit dem Muster; Identifizieren der Adresse der defekten Speicherzelle (10), wenn die Daten und das Muster nicht übereinstimmen; Setzen zumindest einer weichen Sicherung, die der integrierten DRAM-Schaltung (50) zugeordnet ist, um die Adresse der defekten Speicherzelle aufzuzeichnen; Zuordnen zumindest einer redundanten Speicherzelle zu der zumindest einen gesetzten weichen Sicherung, wobei die zumindest eine redundante Speicherzelle die defekte Speicherzelle ersetzt, wenn die integrierte DRAM-Schaltung die Adresse bestimmt; und Konfigurieren der zumindest einen Pfadschaltungsschaltung (7074) zu einem zweiten Schaltzustand, wobei die zumindest eine Speicherzelle in dem zweiten Schaltzustand mit dem zumindest einen Pfad verbunden ist.
  26. Selbstreparierende integrierte DRAM-Schaltung mit folgenden Merkmalen: einer oder mehreren Speicherzellen (10); einer Mustergeneratorschaltung (60) zum Schreiben eines Musters logischer Werte an die eine oder die mehreren Speicherzellen; einer Komparatorschaltung (62) zum Vergleichen des Musters mit Daten, die von der einen oder den mehreren Speicherzellen gelesen werden, und zum Bestimmen einer Adresse einer defekten Speicherzelle (10), wenn das Muster und die Daten nicht übereinstimmen; und einer Weichsicherungsschaltung zum Aufzeichnen der Adresse der defekten Speicherzelle (10); einer oder mehreren redundanten Speicherzellen; einer Übereinstimmungsschaltung (66) zum Zuordnen der einen oder der mehreren redundanten Speicherzellen zu der aufgezeichneten Adresse in der Weichsicherungsschaltung, wobei die Übereinstimmungsschaltung (66) die Adresse der defekten Speicherzelle durch eine oder mehrere Adressen der einen oder der mehreren redundanten Speicherzellen ersetzt, wenn derselben die Adresse der defekten Speicherzelle (10) vorgelegt wird; einer Befehlsgeneratorschaltung (68) zum Erzeugen von Befehlen, die die integrierte DRAM-Schaltung treiben, und Erzeugen von Adressen, um während einer Selbstreparatur auf die eine oder mehreren Speicherzellen zuzugreifen; und einer Planerschaltung (58) zum Steuern der Mustergeneratorschaltung (60), der Komparatorschaltung (62), der Weichsicherungsschaltung (64), der Übereinstimmungsschaltung (66) und der Befehlsgeneratorschaltung (68) während eines Hochfahrprozesses.
  27. System zum Korrigieren im Hinblick auf eine defekte Speicherzelle (10) in einer integrierten DRAM-Schaltung, mit folgenden Merkmalen: (a) einer Einrichtung zum Bestimmen einer Adresse der defekten Speicherzelle (10); (b) einer Einrichtung zum Aufzeichnen der Adresse der defekten Speicherzelle, wobei (b) in Kommunikation mit (a) steht, um die Adresse von (a) zu empfangen; und (c) einer Einrichtung zum Zuordnen zumindest einer redundanten Speicherzelle zu der Adresse, wobei (c) in Kommunikation mit (b) steht, um die defekte Speicherzelle (10) durch die zumindest eine redundante Speicherzelle zu ersetzen, wenn die integrierte DRAM-Schaltung (50) die Adresse bestimmt.
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